JP2009053035A

JP2009053035A - Ｉｃテスタ

Info

Publication number: JP2009053035A
Application number: JP2007220005A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Takahashi; 政裕高橋
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2007-08-27
Filing date: 2007-08-27
Publication date: 2009-03-12

Abstract

【課題】既存の試験プログラムをそのまま利用して、試験時間の短縮を図れるＩＣテスタを実現する。
【解決手段】信号設定データのデータ項目に変数データが格納されている場合に、今回取得した変数データの値と前回設定値の値とを比較して（Ｓ７）、両者が不一致であれば変数データの値をピンエレクトロニクスへ送信して登録する一方（Ｓ８）、両者が一致していれば、変数データの値をピンエレクトロニクスへ送信して登録する処理を省略して実行命令を発行することで、無駄な変数データの送信処理を省いて処理時間の短縮を図った。
【選択図】図５

Description

この発明は、ＩＣ（集積回路）やＬＳＩ（大規模集積回路）などの被試験対象の試験を行うＩＣテスタに関する。

ＩＣテスタは、被試験対象（以下、ＤＵＴと記す）に種々の試験パターンの信号を出力するとともに、この信号出力の結果としてＤＵＴから出力される信号を受けて期待パターンと比較することで、ＤＵＴの良否の判定等を行うものである。

一般に、ＩＣテスタは、ＤＵＴの入出力ピンと接続され、ＤＵＴとの間で信号の授受を行う複数のピンエレクトロニクスを備えたテストヘッドと、試験の制御等を主に行うメインフレームとを備えるのが通常である。メインフレームには統括的な制御を行うシステムコントローラが設けられ、ピンエレクトロニクスには信号の入出力制御等を行う制御回路が設けられ、これらテストシステムコントローラとピンエレクトロニクスの制御回路とがデータ通信を行って、両者の協働によりＤＵＴの試験が実行されていくようになっている。

また、本出願人は、ユーザが作成した試験プログラムから、ＤＵＴに出力する信号内容を個々に抽出してデータテーブルとし、且つ、試験プログラムから信号の出力順を示す実行順データを生成し、これらデータテーブルと実行順データとに基づいてピンエレクトロニクスを動作させてＤＵＴに試験パターンの信号を出力するようにしたＩＣテスタを開発している（特許文献１参照）。

詳細には、ＩＣテスタのテストシステムコントローラの記憶部に、試験プログラムに基づいて、図６に示すようなデータテーブルと、図３に示すような実行順データとを構築する。データテーブルには、１行に１通りの信号内容を示す信号設定データが格納され、試験プログラムから抽出された複数種類の信号内容に係る信号設定データが登録されていく。また、実行順データには、データテーブル中のデータ番号の値により、各信号設定データの内容で信号を出力していく順番が示される。ユーザが作成する試験プログラムにおいては、一度定義した信号を再度利用して繰り返し出力するという手法が取られるため、図３の実行順データにおいては、データテーブルの同一のデータ番号が何度も繰り返し出てくるようになっている。

また、このようなＩＣテスタにおいては、ユーザの試験プログラムで変数として定義されている信号値については、データテーブル中に変数データとして格納しておき、テストシステムコントローラからピンエレクトロニクスにデータ値を渡す際に、テストシステムコントローラが変数データからデータ値を求め、この値をピンエレクトロニクスに送信するように構成されている。

このようなＩＣテスタにおいては、システムコントローラからピンエレクトロニクスにデータ値を渡して登録するのに、通信処理等により比較的長い時間を要するため、同じデータ値の送信と登録の処理をなるだけ避けるような工夫がなされている。

図７には、この従来のＩＣテスタにおける試験制御処理のフローチャートを示す。

例えば、図６のデータテーブルのデータ番号「０」の信号設定データのように、信号の設定値が、例えば電圧５Ｖなどの固定値である場合には、試験前などに予めこのデータテーブルのデータ値をピンエレクトロニクスに送信する際に、このデータ番号「０」の信号の設定値をピンエレクトロニクスに送ってそのデータ格納部に登録する一方、このデータ番号「０」の信号を出力させる際には、データ番号の指定と信号出力の処理開始命令の発行とを行うだけで（ステップＳ３１）、ピンエレクトロニクスがそのデータ格納部に登録されているデータ番号「０」の信号設定データを用いて信号の出力を行うようになっている。ピンエレクトロニクスにデータ値が登録してあることの識別は、発行済みフラグの値により行っている（ステップＳ２２）。

一方、図６のデータテーブルのデータ番号「１」の信号設定データのように、信号の設定値が変数データ「ｖ１」により示されている場合には、このデータ番号「１」の指定と信号出力の処理開始命令の発行（ステップＳ３１）を行う直前に、システムコントローラにより、変数データが含まれることの確認と（ステップＳ２３）、変数データ「ｖ１」の値の取得と（ステップＳ２４）と、この変数データ「ｖ１」の値をピンエレクトロニクスに送信してそのデータ格納部に登録する処理と（ステップＳ２５）が行われるようになっている。そして、これらの処理により、ピンエレクトロニクスがそのデータ格納部に登録されているデータ番号「１」の信号設定データを用いて信号の出力を行うようになっている。

また、図６のデータテーブルのデータ番号「３」の信号設定データのように、信号の設定値が変数データ「ｖ２」により示されているが、ユーザが試験プログラム中で、この変数「ｖ２」が固定値（「高速化変数」）であると定義されている場合には、この信号設定データのデータ値は初回の信号出力時にのみピンエレクトロニクスへの送信と登録（ステップＳ２５）が行われ、２回目以降の信号出力時には、ピンエレクトロニクスへの送信や登録処理は省かれるようになっている。すなわち、初回時にこの変数データ「ｖ２」の値がピンエレクトロニクスのデータ格納部に登録されたら（ステップＳ２４，Ｓ２５）、データテーブル中の高速化変数フラグの値に基づき、この変数データ「ｖ２」が高速化変数か否かを判別し（ステップＳ２６）、高速化変数である場合には変数フラグを“０”に落とすことで（ステップＳ２７）、次回以降のステップＳ２３の判別処理では、この変数データ「ｖ２」は固定値として扱われて、ステップＳ２４，Ｓ２５のデータ値の送信と登録処理が省かれるように分岐されるようになっている。

すなわち、変数データ「ｖ２」は固定値であるので、初回の信号出力時にピンエレクトロニクスへ送信し登録したデータ値は、２回目以降にもその値が変わることがないと保証されるため、２回目以降の信号出力時に、データ値の送信や登録の処理を省いて、試験時間の短縮を図る趣旨である。
特開２００６−００３２２７号公報

試験プログラムにおいては、或る信号値を固定値とする場合でも、最初から信号値を固定値として定義することはせず、試験プログラムの生産性や保守性を高めるために、信号値を変数名で表わしておき、この変数に固定値を代入して定義する形式を採るのが通常である。

従って、上記の高速化変数の定義を用いた処理により、この変数に係る信号を出力する初回時のみ信号値の取得や登録を行い、その後は、固定値と同様に扱うことで、テストシステムコントローラからピンエレクトロニクスへの無駄なデータ値の送信や登録処理が省かれて、有効に試験時間の短縮を図ることが可能となる。

しかしながら、コンパイラ等により試験プログラムからデータテーブルを生成する際に、変数データが常に固定値となるのか、値が変更されることがあるのかをコンパイラに判断させるのは難しく、それゆえ、上記の高速化変数フラグを用いた処理を実現するためには、ユーザが、固定値となる変数データに高速化変数であることを示す型の定義を逐一行って、試験プログラムを作成しなければならないといった課題があった。

また、高速化変数を用いていない既存の試験プログラムを用いてＤＵＴの試験を行う際には、試験プログラム中の信号値を表わす変数をユーザが調査しなおして、固定値なのか、それともプログラム中で変更されることのある値なのかを逐一確認し、固定値である場合に、この変数を高速化変数として定義しなおすという非常に煩雑な処理が必要であった。

この発明の目的は、既存の試験プログラムをそのまま利用しても、システムコントローラからピンエレクトロニクスに同じデータ値が繰り返し送信されるのが省かれて、それにより試験時間の短縮が図れるＩＣテスタを提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、被試験対象の試験制御を行うシステムコントローラと、該システムコントローラの制御に基づき前記被試験対象と信号の授受を行うピンエレクトロニクスとを備え、前記システムコントローラは、前記被試験対象へ出力する信号の内容が示される複数の信号設定データを格納するデータテーブルを有し、前記ピンエレクトロニクスは、前記複数の信号設定データの値が登録可能なデータ格納部を有し、前記システムコントローラが、前記複数の信号設定データの値を前記ピンエレクトロニクスに送信して前記データ格納部に登録し、且つ、信号授受の実行命令の発行と信号授受に使用する前記信号設定データの指定とを順次行うことで、前記ピンエレクトロニクスと前記被試験対象との間で前記複数の信号設定データに応じた複数通りの信号の授受が行われて該被試験対象の試験が行われるＩＣテスタであって、前記データテーブルには、前記信号設定データのデータ項目に変数データが格納可能であるとともに、該変数データの値が前記ピンエレクトロニクスに送信される際に当該変数データの値が格納される前回設定値データ項目が設けられ、前記システムコントローラは、前記変数データが含まれる前記信号設定データを指定して信号授受の実行命令を発行する際に、前記変数データの値と前記前回設定値データ項目の値とを比較して、両者が不一致であれば前記変数データの値を前記ピンエレクトロニクスへ送信し前記データ格納部に登録してから前記実行命令を発行する一方、両者が一致していれば、前記変数データの値を前記ピンエレクトロニクスへ送信し前記データ格納部に登録する処理を省略して前記実行命令を発行することを特徴としている。

請求項２記載の発明は、請求項１記載のＩＣテスタにおいて、前記データテーブルには、前記信号設定データのデータ項目に変数データが含まれているか否かを示す変数フラグ項目が設けられ、前記システムコントローラは、前記信号設定データを指定して信号授受の実行命令を発行する際に、前記変数フラグ項目のフラグ値を確認して、該信号設定データに変数データが含まれるか否かを判別することを特徴としている。

請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のＩＣテスタにおいて、前記システムコントローラには、前記実行命令の発行とともに指定される前記信号設定データの順番が示される実行順データが記憶され、前記システムコントローラは、前記実行順データの順番で前記信号設定データを指定して前記実行命令を発行していくことを特徴としている。

本発明に従うと、システムコントローラからピンエレクトロニクスへ任意の信号設定データが指定され実行命令が発行される際に、この信号設定データに変数データが含まれその値が前回送信したときの値と同じ場合には、システムコントローラからピンエレクトロニクスへのデータ値の送信を省略して、ピンエレクトロニクス側でデータ格納部に登録されているデータ値が使用されて信号授受の処理が行われるので、システムコントローラからピンエレクトロニクスへの無駄なデータ値の送信や登録の処理が省かれて、ＤＵＴの試験時間の短縮を図れるという効果がある。

また、上記のようなデータ値の送信を省略するのに、従来技術に示したように、試験プログラム中の変数を高速化変数として定義しなおすといった煩雑な作業が必要ないので、高速化変数の型の指定がなされていない既存の試験プログラムをそのまま用いても、上記のようなＤＵＴの試験時間短縮の効果を図ることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の実施形態のＩＣテスタの要部を示した構成図である。

この実施の形態のＩＣテスタは、テストシステムコントローラ（以下、ＴＳＣと記す）１０を内蔵したメインフレームと、複数のピンエレクトロニクスカード（以下、ＰＥカードと記す）２０を備えたテストヘッドとから構成されるものである。メインフレームとテストヘッドとはデータ通信ケーブル等で結ばれ、互いにデータ通信を行いながら、ＤＵＴ５０の試験を行うように構成されている。

ＴＳＣ１０は、ユーザが操作するコンピュータ端末からの入出力処理や、ＩＣ試験の統括的な制御を主に行うものであり、制御プログラムを実行する制御部１２と、各種の制御データが格納される記憶部１１等を備えている。

ＰＥカード２０は、図示は省略するが、種々の入出力回路や、これら入出力回路をＤＵＴ５０の所定のピンに接続させる多数のリレー回路等が設けられ、これらリレー回路や入出力回路を動作させて、ＤＵＴ５０の任意のピンに任意の電圧や電流を出力したり、ＤＵＴ５０の任意のピンから出力される電圧や電流の測定が可能となっている。

ＰＥカード２０は、上記のリレー回路や入出力回路に加えて、制御プログラムを実行して上記リレー回路や入出力回路の動作制御を行う制御部２２と、上記リレー回路や入出力回路の動作状態が設定される制御レジスタ２３と、各種の設定データが登録される記憶部２１等を備えている。制御部２２は、例えば、制御レジスタ２３へリレー回路や入出力回路の動作内容を示す設定データを書き込み、さらに、制御レジスタ２３の実行フラグをオンにすることで、これら設定データの内容が反映されるようにリレー回路や入出力回路が動作するように構成されている。

ＴＳＣ１０の記憶部１１には、ＰＥカード２０からＤＵＴ５０に出力される信号の内容が示される信号設定データおよびそれに付随した各種の制御フラグデータなどが複数種類格納される設定データテーブル１１１と、設定データテーブル１１１に格納される複数種類の信号設定データに基づき信号の出力順が示される実行順データ１１２と、設定データテーブル１１１で信号値が変数データで表わされている場合にその変数データの内容が格納される変数設定値データ１１３等が記憶されている。

これらの設定データテーブル１１１、実行順データ１１２、変数設定値データ１１３は、例えば、ユーザが作成した試験プログラムをコンパイルすることで、コンパイラにより自動生成されるものである。すなわち、コンパイラが、試験プログラムを解析し、該試験プログラム中で定義されている信号を信号設定データとして抽出して設定データテーブル１１１に登録していき、また、試験プログラムのシーケンスで信号の出力順序を解析し、その順番を実行順データ１１２に格納していく。また、試験プログラムに、ＤＵＴ５０に出力される信号値が変数で示されている場合には、設定データテーブル１１１内へは信号値が変数データで示される一方、これら変数の内容が変数設定値データ１１３に格納されるようになっている。

図２は、ＴＳＣ１０の記憶部１１に格納される設定データテーブル１１１の一例を示すデータチャートである。

設定データテーブル１１１には、個々の信号設定データを識別するためのデータ番号、ＰＥカード２０に信号設定データが発行済みで再度の発行を必要としないことを示す発行済みフラグ、変数データについてＰＥカード２０への初回の登録を行ったことを示す初回実行済みフラグ、設定する信号のパラメータ種別を示す設定項目（例えば「Ｖ」なら電圧、「Ｉ」なら電流、「ＶＩ」なら電圧と電流、等々）、信号を出力するピンを示すピン情報、信号の設定値が変数データで表わされていることを示す変数フラグ、信号の値を示す設定値、信号値が変数データで表わされている場合にＰＥカード２０に前回送信した変数データの値が登録される前回設定値、の各データ項目が設けられている。

これらの設定データテーブル１１１の各データ項目のうち、変数フラグ、設定値、前回設定値の各データ項目は、これら１組で１つのパラメータに対応するようになっており、信号の設定項目により複数のパラメータの設定が必要な場合には、変数フラグ、設定値、前回設定値の各データ項目の値が複数組設定されるようになっている。

図３は、テストシステムコントローラの記憶部に格納される実行順データの一例を示すデータチャートである。

実行順データは、ＤＵＴ５０に出力する信号の出力順に前記設定データテーブル１１１のデータ番号を一連に並べたデータである。

次に、ＰＥカード２０の記憶部２１に格納されるデータについて説明する。

ＰＥカード２０の記憶部２１には、図１に示すように、ＤＵＴ５０に出力する複数種類の信号の内容（信号設定データ）が示された設定データテーブル２１１と、設定データテーブル２１１に格納される複数の信号設定データについてその出力の順番が示される実行順データ２１２と、設定データテーブル２１１で信号値が変数データにより表わされている場合に、その変数データの値が格納される変数設定値データ２１３等が記憶される。

設定データテーブル２１１は、ＴＳＣ１０側の設定データテーブル１１１とほぼ同用のものであり（図２の発行済みフラグ、初回実行済みフラグ、前回設定値を省いたもの）、ＩＣ試験の開始前に、ＴＳＣ１０の設定データテーブル１１１に基づきＰＥカード２０の記憶部２１にコピーされたものである。また、実行順データ２１２は、ＴＳＣ１０による試験制御処理においてＴＳＣ１０側から送られてくるデータに基づき、順次、その値が埋められていくデータである。また、変数設定値データ２１３は、ＴＳＣ１０による試験制御処理において、信号設定データに変数データが含まれる場合に、ＴＳＣ１０側からその変数データの値が送られて登録されていくものである。

次に、上記のように構成されたＩＣテスタの試験動作について、フローチャートを参照しながら説明する。

図４と図５には、ＴＳＣ１０により実行される試験制御処理のフローチャートを示す。

先ず、この試験制御処理の準備処理として、ＴＳＣ１０は、図２の設定データテーブル１１１をＰＥカード２０の記憶部２１へコピーする。このとき、設定データテーブル１１１から不要な制御フラグのデータを省いて、これをＰＥカード２０側の設定データテーブル２１１とする。このとき、設定データテーブル１１１において信号の設定値が全て固定値で示されている信号設定データについては、ＰＥカード２０への再度のデータ値の送信が不要となるため、コピー元の設定データテーブル１１１において対応する発行済みフラグが“１”にセットされる。また、信号の設定値に変数データ（ｖ１〜ｖ５など）が含まれる信号設定データについては、変数データのままコピーする。

この状態で、例えば、ユーザがコンピュータ端末から試験開始コマンドをＴＳＣ１０に送信することで、図４と図５の試験制御処理が開始される。試験制御処理が開始されると、先ず、ＴＳＣ１０は、実行順データ１１２からこの次に信号出力を行うデータ番号を取得し（ステップＳ１）、このデータ番号の信号設定データについて設定データテーブル１１１を参照して発行済みフラグが立っているか（“１”であるか）否かを判別する（ステップＳ２）。その結果、発行済みフラグが立っていれば、この信号設定データのデータ値は再度送信する必要がないものとしてそのままステップＳ１１に移行する。一方、発行済みフラグが立っていなければ、データ値の送信が必要かも知れないものとしてステップＳ３に移行する。

ステップＳ３では、１行の信号設定データの中で個々のパラメータごとに、変数フラグが立っているかを判別し（ステップＳ３）、変数フラグが立っていれば、変数設定値データ１１３から変数データに対応する信号の設定値を取得し（ステップＳ４）、次いで、初回実行済みフラグを確認してこの信号設定データについての処理が初回目か否かの判別を行う（ステップＳ５）。そして、初回実行済みフラグが立っていなければ、順次、初回実行済みフラグを“１”に設定する処理（ステップＳ６）、ステップＳ４で取得した信号の設定値を設定データテーブル１１１の前回設定値に登録する処理（ステップＳ８）、ＰＥカード２０へこの信号の設定値を送信して変数設定値データ２１３に登録する処理（ステップＳ９）を行って、ステップＳ１０に移行する。

一方、ステップＳ５の判別処理で、初回実行済みフラグが立っていると判別されたら、この信号設定データについての変数データの設定値が以前にＰＥカード２０へ送信されたことがあり、設定データテーブル１１１の前回設定値のデータ項目に登録されているものとして、この前回設定値の値と、ステップＳ４で取得した今回の設定値とを比較する（ステップＳ７）。そして、今回取得した設定値が前回設定値と同値であれば、ＰＥカード２０への設定値の送信と登録の処理（ステップＳ９）を省略してそのままステップＳ１０にジャンプする。一方、今回取得した設定値と前回設定値とが同値でなければ、上記したステップＳ８，Ｓ９の処理を行ってからステップＳ１０に移行する。

上記のステップＳ７の判別処理により、変数データについてＰＥカード２０へ前回送信した設定値と同値の場合には、ＰＥカード２０への送信と登録の処理（ステップＳ９）が省略されるので、比較的長い時間を要するＰＥカード２０へのデータ登録処理が必要最小限の回数に制限されて、試験時間の短縮が図られている。

そして、ステップＳ１０で、このような処理を１行の信号設定データ中の全てのパラメータについて処理したか否かを確認し、全パラメータについてステップＳ３〜Ｓ９の処理を繰り返す。そして、１行の信号設定データの中で全てのパラメータについて処理をしたらステップＳ１１に移行する。

ステップＳ１１では、ＰＥカード２０へデータ番号の指定と処理開始命令の発行とを行う。これによりＰＥカード２０では、制御部２２がこのデータ番号の信号設定データを設定データテーブル２１１から読み出し、また、その中に変数データが含まれる場合には、変数設定値データ２１３からステップＳ９の処理で登録されている変数データの設定値を取得して、これらを制御レジスタ２３に書き込む。それにより、ＰＥカード２０のリレー回路や入出力回路が動作して、ＤＵＴ５０に指定された信号の出力が行われるようになっている。

続いて、実行順データ１１２に登録された全てのデータ番号について処理を行ったか確認し（ステップＳ１２）、未だであれば、ステップＳ１に戻ってステップＳ１〜Ｓ１１の処理を繰り返す。そして、実行順データ１１２の全てのデータ番号について処理が完了したら、この試験制御処理を終了する。

以上のように、この実施形態のＩＣテスタによれば、ＩＣ試験処理において、比較的に時間を要するＴＳＣ１０からＰＥカード２０への信号の設定値の送信および登録の処理が、必要最小限の回数しか行われない。すなわち、信号の設定値が固定値であれば準備処理で１回ＰＥカード２０へ送信されるだけとされ、また、信号設定値が変数で表わされているものであれば、送信前に前回送信した値と同値か否か比較されて、前回設定値と同値であればＰＥカード２０への再度の送信および登録の処理が行われない。従って、時間の掛かる信号設定値の送信および登録の処理が省かれて、試験時間が短縮されるという効果が得られる。

また、上記のような信号設定値の送信と登録処理の省略が、従来技術で示したＩＣテスタのような、試験プログラムにおける変数の型の指定に関係なく行われるので、既存の試験プログラムを用いて試験を行う場合でも、ユーザは変数が固定値となるか否かの調査や試験プログラムにおいて型の再定義を行うなどの煩雑な処理を要することなく、上述の試験時間短縮の効果を享受することが出来る。

なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ＴＳＣ１０からＰＥカード２０へ変数データの設定値を送信した後、ＰＥカード２０ではこの設定値を変数設定値データ２１３に一旦登録し、ＰＥカード２０の制御部２２が設定データテーブル２１１の変数データに基づき、変数設定値データ２１３からその設定値を読み出して制御レジスタ２３に書き込むように動作すると説明したが、ＴＳＣ１０からＰＥカード２０へ変数データの設定値が送信されたら、この設定値を設定データテーブル２１１の対応する設定値のデータ項目に登録するようにしても良い。

その他、実施の形態で示した細部構造および処理内容は、発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

本発明の実施形態のＩＣテスタの要部を示した構成図である。テストシステムコントローラの記憶部に格納される設定データテーブルの一例を示すデータチャートである。テストシステムコントローラの記憶部に格納される実行順データの一例を示すデータチャートである。テストシステムコントローラにより実行される試験制御処理の処理手順を示すフローチャートの一部分である。同、試験制御処理のフローチャートの残りの部分である。従来のＩＣテスタにおける設定データテーブルの一例を示すデータチャートである。従来のＩＣテスタにおいて実行される試験制御処理の処理手順を示すフローチャートである。

符号の説明

１０ＴＳＣ
１１記憶部
１１１設定データテーブル
１１２実行順データ
１１３変数設定値データ
１２制御部
２０ＰＥカード
２１記憶部
２１１設定データテーブル
２１２実行順データ
２１３変数設定値データ
２２制御部
２３制御レジスタ
５０ＤＵＴ

Claims

被試験対象の試験制御を行うシステムコントローラと、該システムコントローラの制御に基づき前記被試験対象と信号の授受を行うピンエレクトロニクスと、を備え、
前記システムコントローラは、
前記被試験対象へ出力する信号の内容が示される複数の信号設定データを格納するデータテーブルを有し、
前記ピンエレクトロニクスは、
前記複数の信号設定データの値が登録可能なデータ格納部を有し、
前記システムコントローラが、
前記複数の信号設定データの値を前記ピンエレクトロニクスに送信して前記データ格納部に登録し、且つ、信号授受の実行命令の発行と信号授受に使用する前記信号設定データの指定とを順次行うことで、前記ピンエレクトロニクスと前記被試験対象との間で前記複数の信号設定データに応じた複数通りの信号の授受が行われて該被試験対象の試験が行われるＩＣテスタであって、
前記データテーブルには、
前記信号設定データのデータ項目に変数データが格納可能であるとともに、
該変数データの値が前記ピンエレクトロニクスに送信される際に当該変数データの値が格納される前回設定値データ項目が設けられ、
前記システムコントローラは、
前記変数データが含まれる前記信号設定データを指定して信号授受の実行命令を発行する際に、前記変数データの値と前記前回設定値データ項目の値とを比較して、両者が不一致であれば前記変数データの値を前記ピンエレクトロニクスへ送信し前記データ格納部に登録してから前記実行命令を発行する一方、両者が一致していれば、前記変数データの値を前記ピンエレクトロニクスへ送信し前記データ格納部に登録する処理を省略して前記実行命令を発行することを特徴とするＩＣテスタ。
前記データテーブルには、
前記信号設定データのデータ項目に変数データが含まれているか否かを示す変数フラグ項目が設けられ、
前記システムコントローラは、
前記信号設定データを指定して信号授受の実行命令を発行する際に、
前記変数フラグ項目のフラグ値を確認して、該信号設定データに変数データが含まれるか否かを判別することを特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
前記システムコントローラには、
前記実行命令の発行とともに指定される前記信号設定データの順番が示される実行順データが記憶され、
前記システムコントローラは、
前記実行順データの順番で前記信号設定データを指定して前記実行命令を発行していくことを特徴とする請求項１又は２に記載のＩＣテスタ。