JP2001273794A - フェイル前情報取得回路およびその取得方法 - Google Patents

フェイル前情報取得回路およびその取得方法

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JP2001273794A JP2000089067A JP2000089067A JP2001273794A JP 2001273794 A JP2001273794 A JP 2001273794A JP 2000089067 A JP2000089067 A JP 2000089067A JP 2000089067 A JP2000089067 A JP 2000089067A JP 2001273794 A JP2001273794 A JP 2001273794A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フェイル前情報取得数に左右されるシフト回
路を使用せずに、容易にフェイル前情報を取得できるフ
ェイル前情報取得回路を構成し、また、フェイル前情報
取得回路の小規模化および低価格化を実現する。 【解決手段】 メモリ回路55のアドレスを基準クロッ
クにて常に動作させ、フェイル信号が出力された際に
は、アドレスポインタ1回路52にそのアドレスを記憶
させるとともに、アドレスポインタ2回路53に、フェ
イル後の情報を保持するためのメモリ回路55のアドレ
スを発生させる。また、保持した情報をメモリ回路55
から読み出す際に、読み込み制御回路54に、アドレス
ポインタ1回路52およびアドレスポインタ2回路53
と、メモリ回路55のOE信号を制御し、メモリ回路5
5に保持された情報の読み出しを制御させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、不良デバイスの解
析に使用されるフェイルメモリにおいて、フェイルトリ
ガ以前のデータを取得するフェイル前情報取得回路およ
びその取得方法に関する。
【0002】
【従来の技術】不良デバイスの解析に使用されるフェイ
ルメモリは、フェイルデバイスからのフェイル信号をト
リガとし、フェイル時のアドレス、データ等の情報をリ
アルタイムに取得する回路であり、例えば、バーンイン
テスタで使用される。
【0003】このバーンインテスタは、デバイスに温度
ストレスをかけながら電気的試験を行う半導体試験装置
である。温度および電気信号がプログラム可能な恒温槽
を備え、恒温槽には、被試験デバイスを実装する多数の
バーンインボードが収納される。テスタとバーンインボ
ードとはコネクタを介し接続され、各種電気信号の送信
および受信を行い、各バーンインボードに応じた試験を
行っている。
【0004】従来の、フェイルトリガ以前のデータを取
得するフェイル前情報取得回路の構成を図3に示す。同
図において、フェイル前情報取得回路2は、被測定デバ
イス10、比較回路11、アドレス発生回路12、デー
タ発生回路13、カウンタ21、アドレスポインタ回路
22、シフト回路23、読み込み制御回路24、メモリ
回路25、およびコントローラ30から構成される。
【0005】被測定デバイス10から出力される出力信
号は、データ発生回路13から出力される期待値信号と
比較回路11にて比較され、被測定デバイス10のパス
/フェイルが識別される。そして、比較回路11により
被測定デバイス10のフェイルが識別されると、カウン
タ21は、(フェイル前情報取得数+フェイル後情報取
得数)分のカウントアップを行うとともに、カウントア
ップ毎にメモリ回路25のライトイネーブル(WE)
に、有効なWE信号を出力する。すると、メモリ回路2
5は、データピン(I/O)に入力されている信号を、
アドレス(ADD)に入力されているアドレスが指す、
メモリ回路25内のアドレス空間に格納する。
【0006】このメモリ回路25のADDには、アドレ
スポインタ回路22にて生成されるアドレスが入力され
る。アドレスポインタ回路22は、カウンタ21からの
入力信号を受け、1カウント毎にアドレスポインタをカ
ウントアップし、発生したアドレスをメモリ回路25の
ADDに出力する。
【0007】メモリ回路25のI/Oに入力される信号
(アドレス発生回路12が出力するアドレス信号、デー
タ発生回路13が出力する期待値信号、および被測定デ
バイス10からの出力信号)は、バス40を介し、フェ
イル前情報取得数分のシフトレジスタにより構成される
シフト回路23を経て、入力される。
【0008】また、シフト回路23には、カウンタ21
と共通の基準クロックが入力されるので、メモリ回路2
5のI/Oに入力される信号は、WEに入力される信号
に対して、シフト回路23内のシフトレジスタの段数分
だけ遅れて入力される。このため、フェイルトリガ前の
情報をメモリ回路25に保持できる。
【0009】メモリ回路25に保持された情報は、読み
込み制御回路24がメモリ回路25のアウトプットイネ
ーブル(OE)に出力するOE信号を制御することによ
り読み出される。すなわち、有効なOE信号が入力され
ると、メモリ回路25は、保持しているフェイル情報を
I/Oより出力し、コントローラ30により蓄積され
る。そして、オペレータは、そのコントローラ30に蓄
積される情報をもとに被測定デバイス10の解析を行
う。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示すような従来のフェイル前情報取得回路2では、フェ
イル前情報を保持するためにシフトレジスタを使用して
いるため、取得したいフェイル前情報取得数分のシフト
レジスタが必要である。このため、取得したいフェイル
情報数が多い、もしくは取得したフェイル情報数が多い
場合、シフト回路23内のシフトレジスタの段数が膨大
になってしまい、また、回路構成も困難になるという問
題があった。
【0011】本発明の課題は、フェイル前情報取得数に
左右されるシフト回路を使用せずに、容易にフェイル前
情報を取得できるフェイル前情報取得回路およびその取
得方法を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項1記載の発明は、フェイルデバイスからフ
ェイル信号が出力される以前のデータを取得するフェイ
ル前情報取得回路であって、前記フェイル信号の出力以
前の情報を取得する際に、ファイル情報を記憶させるメ
モリ(例えば、図1のメモリ回路55)に対してライト
イネーブルを常に入力し、前記フェイル信号の出力によ
ってフェイル前情報取得数とフェイル後情報取得数に基
づいて前記ライトイネーブルをディセーブルするカウン
タ(例えば、図1のカウンタ51)と、前記フェイル信
号が出力されるまでは、前記メモリ内の所定のアドレス
空間に常にデータを保持させておくように制御し、前記
フェイル信号の出力によってそのデータが保持されたア
ドレスを記憶する第1のアドレスポインタ回路(例え
ば、図1のアドレスポインタ1回路52)と、前記フェ
イル信号が出力された際には、前記データが保持された
アドレス以外のアドレスに、該フェイル信号の出力以後
のデータを保持させるように制御する第2のアドレスポ
インタ回路(例えば、図1のアドレスポインタ2回路5
3)と、を備えることを特徴とする。
【0013】また、請求項3記載の発明は、フェイルデ
バイスからフェイル信号が出力される以前のデータを取
得するためのフェイル前情報取得方法であって、前記フ
ェイル信号の出力以前の情報を取得する際に、フェイル
情報を記憶させるメモリに対してライトイネーブルを常
に入力し、前記フェイル信号の出力によってフェイル前
情報取得数とフェイル後情報取得数に基づいて前記ライ
トイネーブルをディセーブルするメモリ制御工程と、前
記フェイル信号が出力されるまでは、前記メモリ内の所
定のアドレス空間に常にデータを保持させておくように
制御し、前記フェイル信号の出力によってそのデータが
保持されたアドレスを記憶する第1のアドレス記憶工程
と、前記フェイル信号が出力された際には、前記データ
が保持されたアドレス以外のアドレスに、該フェイル信
号の出力以後のデータを保持させるように制御する第2
のアドレス記憶工程と、を含むことを特徴とする。
【0014】したがって、フェイル信号が出力された際
に、メモリ内のフェイル前情報を保持したアドレス空間
以外のアドレス空間にフェイル後情報を保持するように
構成することにより、フェイル信号出力前の情報を取得
可能となる。
【0015】さらに、アドレスポインタ回路を2つ用意
することで、それぞれにフェイル前およびフェイル後の
情報を保持するためのアドレスを発生させることによ
り、フェイル情報取得数に左右されない回路構成が可能
となる。そのため、回路規模の縮小化、省スペース化、
低価格化を実現できる。
【0016】請求項2記載の発明は、請求項1記載のフ
ェイル前情報取得回路において、前記メモリ内の所定の
アドレス空間に保持されたデータを読み出す際に、当該
メモリのライトイネーブルを有効とするとともに前記第
1のアドレスポインタ回路を前記記憶したアドレスから
動作させてフェイル前情報取得数分のデータを読み出
し、次いで前記第2のアドレスポインタ回路を動作さ
せ、フェイル後情報取得数分のデータを読み出す読み出
し制御回路(例えば、図1の読み込み制御回路54)を
さらに備えることを特徴とする。
【0017】また請求項4記載の発明は、請求項3記載
のフェイル前情報取得方法において、前記メモリ内の所
定のアドレス空間に保持されたデータを読み出す際に、
当該メモリのライトイネーブルを有効とするとともに前
記第1のアドレス記憶工程で記憶したアドレスからフェ
イル前情報取得数分のデータを読み出し、次いで前記第
2のアドレス記憶工程で記憶したアドレスからフェイル
後情報取得数分のデータを読み出す読出工程をさらに含
むことを特徴とする。
【0018】したがって、アドレス空間に保持されたデ
ータを読み出す際に、読み出し回路が各アドレスポイン
タ回路の動作を制御することにより、メモリ内に保持さ
れたフェイル前情報およびフェイル後情報を区別し、か
つ容易に読み出し可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して実施の形態を
詳細に説明する。
【0020】まず構成を説明する。図1は、本発明を適
用したフェイル前情報取得回路1の構成を示すブロック
図である。同図において、フェイル前情報取得回路1
は、被測定デバイス10、比較回路11、アドレス発生
回路12、データ発生回路13、カウンタ51、アドレ
スポインタ1発生回路52、アドレスポインタ2発生回
路53、読み込み制御回路54、メモリ回路55および
コントローラ30により構成される。
【0021】被測定デバイス10は、本フェイル前情報
取得回路1において測定対象となるデバイスである。被
測定デバイス10のAddress には、アドレス発生回路1
2において発生されたアドレス信号が入力され、被測定
デバイス10は、このアドレス信号に対応してI/Oか
ら出力信号を出力する。
【0022】比較回路11は、被試験デバイス10から
入力される出力信号と、データ発生回路13から入力さ
れる期待値信号とを比較することにより、被測定デバイ
ス10のパス/フェイルを識別し、識別結果をカウンタ
51に出力する。
【0023】また、被試験デバイス10から出力される
出力信号、データ発生回路13から出力される期待値信
号、およびアドレス発生回路12から出力されるアドレ
ス信号は、バス40を介してメモリ回路55のI/Oに
フェイル情報として入力される。
【0024】カウンタ51は、入力される基準クロック
のタイミングに基づいて、メモリ回路55のWEに有効
なWE信号を出力するとともに、カウントアップを行
い、アドレスポインタ1回路52、およびアドレスポイ
ンタ2回路53に出力する。
【0025】また、カウンタ51は、比較回路11から
入力される識別結果を監視する。そして、入力された識
別結果がフェイルである場合、アドレスポインタ1回路
52を停止させるとともに、アドレスポインタ2回路5
3を動作させる。
【0026】アドレスポインタ1回路52は、カウンタ
51より入力される入力信号を受けてアドレスを発生
し、メモリ回路55のADDに出力する。なお、この時
に発生されるアドレスは、メモリ回路55内のある一定
のアドレス空間をループするように発生される。
【0027】また、アドレスポインタ1回路52は、カ
ウンタ51によりその動作を停止させられると、その時
のアドレスを停止アドレスとして保持する。
【0028】アドレスポインタ2回路53は、比較回路
11で被測定デバイス10のフェイルが識別されると、
カウンタ51によって動作させられ、カウンタ51から
入力される入力信号を受けてアドレスを発生し、メモリ
回路55のADDに出力する。なお、この時に発生する
アドレスは、上記アドレスポインタ1回路52が保持す
る停止アドレスとは異なるアドレスを発生するように構
成されている。
【0029】メモリ回路55は、WEに入力される有効
なWE信号にしたがい、ADDに入力されるアドレスが
指すアドレス空間に、I/Oに入力されるフェイル情報
を格納する。I/Oには、被測定デバイス10からの出
力信号、アドレス発生回路12からのアドレス信号、お
よびデータ発生回路13からの期待値信号が常に入力さ
れている。
【0030】また、メモリ回路55のADDに入力され
るアドレスは、アドレスポインタ1回路52またはアド
レスポインタ2回路53のいずれかから入力され、比較
回路11にて出力信号のフェイルを識別する前はアドレ
スポインタ1回路52から、フェイルを識別した後はア
ドレスポインタ2回路53から、それぞれ入力される。
【0031】また、メモリ回路55は、アウトプットイ
ネーブル(OE)に有効なOE信号が入力されることに
より、アドレス空間内に格納したフェイル情報をI/O
から出力する。
【0032】オペレータは、コントローラ30を介し
て、読み込み制御回路54に、メモリ回路55から格納
されているフェイル情報を読み出すよう指示し、読み込
み制御回路54は、この指示にしたがい、メモリ回路5
5のOEに有効なOE信号を出力する。
【0033】次に動作を説明する。図2に示すフローチ
ャートに基づいて、フェイル前情報取得回路1の動作を
説明する。
【0034】アドレス発生回路12は、発生するアドレ
ス信号を被測定デバイス10のAddressに出力し、被測
定デバイス10は、入力されるアドレス信号に対応する
出力信号をI/Oより出力する。そして、この出力信
号、およびデータ発生回路13が発生する期待値信号が
入力された比較回路11は、両者の信号を比較し、出力
信号のパス/フェイルを識別し、識別結果を出力する。
【0035】また、上記の出力信号は、期待値信号、ア
ドレス信号と共に、バス40を介してメモリ回路55の
I/Oにも出力されている。
【0036】カウンタ51は、入力される基準クロック
のタイミングに基づいて、メモリ回路55のWEに有効
なWE信号を出力するとともに、カウントアップを行
い、アドレスポインタ1回路に出力する。そして、アド
レスポインタ1回路は、カウンタ51からの入力信号を
受けてアドレスを発生し、メモリ回路55のADDに出
力する(ステップS1)。
【0037】メモリ回路55は、WEに入力される有効
なWE信号のタイミングに応じ、アドレスポインタ1回
路52から入力されるアドレスが指すアドレス空間に、
I/Oに入力される信号をフェイル前情報として格納す
る(ステップS2)。
【0038】以上の動作は、比較回路11が出力信号の
フェイルを識別するまで繰り返し行われ、メモリ回路5
5内のある一定のアドレス空間に、常に最新の情報がフ
ェイル前情報として格納されている。
【0039】そして、比較回路11が出力信号のフェイ
ルを識別すると(ステップS3:YES)、識別結果が
入力されたカウンタ51は、アドレスポインタ1回路5
2に対し、その時のアドレスを停止アドレスとして保持
させるとともに(ステップS4)、動作を停止させる
(ステップS5)。このことにより、フェイルが発生し
た直前の情報が、フェイル前情報として停止アドレスの
指す、メモリ回路55内のアドレス空間に格納されたこ
とになる。
【0040】次いで、カウンタ51は、アドレスポイン
タ2回路53に対し、メモリ回路内55の、フェイル前
情報の格納に使用した上記の停止アドレスが指すアドレ
ス空間以外のアドレス空間に情報を格納できるように、
アドレスを発生する動作を行わせる(ステップS6)。
【0041】そして、アドレスポインタ2回路53が、
フェイル後情報取得数分のアドレス発生を行った時点で
(ステップS7)、アドレスポインタ2回路53の動作
を停止させる(ステップS8)。その後、カウンタ51
もその動作を停止する(ステップS9)。
【0042】このことにより、メモリ回路55内の、フ
ェイル前情報が格納されたアドレス空間以外のアドレス
空間にフェイル後情報が格納される。
【0043】以上のように、フェイルが発生し、メモリ
回路55内のアドレス空間に格納されたフェイル前情
報、およびフェイル後情報は、コントローラ30を介し
て読み込み制御回路54に指示することにより、読み出
すことができる。
【0044】読み込み制御回路54は、コントローラ3
0から格納された情報の読込を指示されると、メモリ回
路55のOEに有効なOE信号を出力するとともに(ス
テップS10)、アドレスポインタ1回路に、保持して
いる停止アドレスから動作を行わせる。
【0045】OEに有効なOE信号を入力されたメモリ
回路55は、アドレスポインタ1回路52から入力され
る停止アドレスが指すアドレス空間から、フェイル前情
報取得数分の情報を読み出し、I/Oより出力する(ス
テップS11)。
【0046】フェイル前情報を読み出すと、次いで読み
込み制御回路54は、アドレスポインタ2回路3を動作
させ、アドレスを発生させる。なおこの時、アドレスポ
インタ2回路53には、アドレスポインタ1回路52に
て使用した停止アドレス以外の先頭アドレスから、フェ
イル後情報取得数分のアドレスまでを順番にアクセスで
きるように動作させる。
【0047】そして、メモリ回路55は、入力されたア
ドレスが指すメモリ回路55内のアドレス空間から、フ
ェイル後情報取得数分の情報を読み出し、I/Oより出
力するステップ12)。
【0048】以上のように、メモリ回路55内のある一
定のアドレス空間をフェイル前情報格納のための専用空
間にして常にフェイル前情報取得を行うようにし、フェ
イルが発生するとその動作を停止させ、格納した情報を
保持させる。そして、このアドレス空間以外のアドレス
領域に、フェイル後情報を格納するように構成すること
で、フェイル発生前の情報を取得可能とした。
【0049】また、アドレスポインタ回路を2つ用意
し、それぞれにフェイル前および後の情報を格納するた
めのアドレスを発生させることにより、シフトレジスタ
により構成されるシフト回路を使用する必要がなくな
り、フェイル情報数に左右されない回路構成が可能にな
った。
【0050】
【発明の効果】請求項1または3記載の発明によれば、
フェイル信号が出力された際に、メモリ内のフェイル前
情報を保持したアドレス空間以外のアドレス空間にフェ
イル後情報を保持するように構成することにより、フェ
イル信号出力前の情報を取得可能となる。
【0051】さらに、アドレスポインタ回路を2つ用意
することで、それぞれにフェイル前およびフェイル後の
情報を保持するためのアドレスを発生させることによ
り、フェイル情報取得数に左右されない回路構成が可能
となる。そのため、回路規模の縮小化、省スペース化、
低価格化を実現できる。
【0052】請求項2または4記載の発明によれば、請
求項1または3記載の発明の効果に加え、アドレス空間
に保持されたデータを読み出す際に、読み出し回路が各
アドレスポインタ回路の動作を制御することにより、メ
モリ内に保持されたフェイル前情報およびフェイル後情
報を区別し、かつ容易に読み出し可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したフェイル前情報取得回路の構
成を示すブロック図である。
【図2】本発明におけるフェイル前情報取得回路の動作
を表すフローチャートである。
【図3】従来のフェイル前情報取得回路の構成を示すブ
ロック図である。
【符号の説明】
1 本発明を適用したフェイル前情報取得回路 10 被測定デバイス 11 比較回路 12 アドレス発生回路 13 データ発生回路 51 カウンタ 52 アドレスポインタ1回路 53 アドレスポインタ2回路 54 読み込み制御回路 55 メモリ回路 30 コントローラ 40 バス 2 従来のフェイル前情報取得回路 21 カウンタ 22 アドレスポインタ回路 23 シフト回路 24 読み込み制御回路 25 メモリ回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フェイルデバイスからフェイル信号が出力
    される以前のデータを取得するフェイル前情報取得回路
    であって、 前記フェイル信号の出力以前の情報を取得する際に、フ
    ェイル情報を記憶させるメモリに対してライトイネーブ
    ルを常に入力し、前記フェイル信号の出力によってフェ
    イル前情報取得数とフェイル後情報取得数に基づいて前
    記ライトイネーブルをディセーブルするカウンタと、 前記フェイル信号が出力されるまでは、前記メモリ内の
    所定のアドレス空間に常にデータを保持させておくよう
    に制御し、前記フェイル信号の出力によってそのデータ
    が保持されたアドレスを記憶する第1のアドレスポイン
    タ回路と、 前記フェイル信号が出力された際には、前記データが保
    持されたアドレス以外のアドレスに、該フェイル信号の
    出力以後のデータを保持させるように制御する第2のア
    ドレスポインタ回路と、 を備えることを特徴とするフェイル前情報取得回路。
  2. 【請求項2】前記メモリ内の所定のアドレス空間に保持
    されたデータを読み出す際に、 当該メモリのライトイネーブルを有効とするとともに前
    記第1のアドレスポインタ回路を前記記憶したアドレス
    から動作させてフェイル前情報取得数分のデータを読み
    出し、次いで前記第2のアドレスポインタ回路を動作さ
    せ、フェイル後情報取得数分のデータを読み出す読み出
    し制御回路をさらに備えることを特徴とする請求項1記
    載のフェイル前情報取得回路。
  3. 【請求項3】フェイルデバイスからフェイル信号が出力
    される以前のデータを取得するためのフェイル前情報取
    得方法であって、 前記フェイル信号の出力以前の情報を取得する際に、フ
    ェイル情報を記憶させるメモリに対してライトイネーブ
    ルを常に入力し、前記フェイル信号の出力によってフェ
    イル前情報取得数とフェイル後情報取得数に基づいて前
    記ライトイネーブルをディセーブルするメモリ制御工程
    と、 前記フェイル信号が出力されるまでは、前記メモリ内の
    所定のアドレス空間に常にデータを保持させておくよう
    に制御し、前記フェイル信号の出力によってそのデータ
    が保持されたアドレスを記憶する第1のアドレス記憶工
    程と、 前記フェイル信号が出力された際には、前記データが保
    持されたアドレス以外のアドレスに、該フェイル信号の
    出力以後のデータを保持させるように制御する第2のア
    ドレス記憶工程と、 を含むことを特徴とするフェイル前情報取得方法。
  4. 【請求項4】前記メモリ内の所定のアドレス空間に保持
    されたデータを読み出す際に、 当該メモリのライトイネーブルを有効とするとともに前
    記第1のアドレス記憶工程で記憶したアドレスからフェ
    イル前情報取得数分のデータを読み出し、次いで前記第
    2のアドレス記憶工程で記憶したアドレスからフェイル
    後情報取得数分のデータを読み出す読出工程をさらに含
    むことを特徴とする請求項3記載のフェイル前情報取得
    方法。
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