DE10002370A1 - LSI-Testvorrichtung, sowie Zeitverhaltenkalibrierverfahren zur Verwendung hiermit - Google Patents

Abstract

Ein Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis (28), ein Zeitversatzschaltkreis (30) und ein Anschlußstifttreiber (32) sind für jeden aus einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen (22) vorgesehen, welche jeweils einer Mehrzahl von Anschlußstiften entsprechen, welche an einem LSI (Large Scale Integrated Circuit) vorhanden sind. Ein Relais (44) und ein Schleifensteuerschaltkreis (46) sind dafür vorgesehen, ein Ausgangssignal von dem Anschlußstifttreiber (32) zurück zur Eingangsseite des Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises (28) zu liefern. Eine Zeitversatzkarte (100) wird verwendet, den Zeitversatzschaltkreis (30) einzustellen, wodurch eine anfängliche Zeitverhalten-Kalibrierung durchgeführt wird. Mit dem so eingestellten Zeitversatzschaltkreis (30) werden über den Rückkopplungspfad hinweg Oszillationen oder Schwingungen erzeugt und die Anzahl von sich ergebenden Impulsen wird gezählt (um Impulszyklen zu erhalten). Wenn der Zeitversatzschaltkreis (30) so eingestellt wird, daß die Anzahl der gezählten Pulse mit der Anzahl von Pulsen übereinstimmt, welche während der Schwingungen erzeugt wurden, wird eine vereinfachte Form von Zeitverhalten-Kalibrierung möglich gemacht.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine LSI- Testvorrichtung, nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 bzw. 4, sowie ein Zeitverhalten-Kalibrierverfahren zur Verwen­ dung hiermit, nach dem Oberbegriff des Anspruches 9. Insbe­ sondere betrifft die vorliegende Erfindung eine LSI-Test­ vorrichtung, die in der Lage ist, ihre Zeitverhalten-Kali­ brierung in einer kurzen Zeitdauer durchzuführen, sowie ein Zeitverhalten-Kalibrierverfahren, welches es ermöglicht, daß die LSI-Testvorrichtung ihre Zeitverhalten-Kalibrierung rasch durchführen bzw. beenden kann.

Fig. 12 ist ein Blockdiagramm, in dem eine herkömmliche LSI-Testvorrichtung dargestellt ist, welche eine Zeitver­ halten-Kalibrierung ("timing calibration") auf der Grund­ lage eines herkömmlichen Zeitverhalten-Kalibrierverfahrens durchführt. (LSI = Large Scale Integrated Circuit.) Diese bekannte LSI-Testvorrichtung 20 weist eine Mehrzahl von Eingangs-/Ausgangsanschlüssen 22 (I/O) auf, welche mit den Anschlußstiften eines LSI (zum Beispiel mit den Anschluß­ stiften 1 bis N) verbindbar sind, der zu testen ist. Die Testvorrichtung 20 liefert an den zu testenden LSI ein Taktsignal, Adreßsignale und andere Signale über die I/O-Anschlüsse 22 für die gewünschten oder notwendigen Testvorgänge.

Die LSI-Testvorrichtung 20 beinhaltet eine Steuerung 24 und einen Referenzsignalgenerator 26. Der Referenzsignalge­ nerator 26 ist mit Wellenform- und Zeitsignalerzeugungs­ schaltkreisen 28 verbunden, von denen je einer einem der I/O-Anschlüsse 22 zugeordnet ist. Jeder Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ist im wesentlichen aus zwei Schaltkreisen aufgebaut. Ein Schaltkreis erzeugt so­ wohl ein Zeitsignal (Timing Signal) zur Änderung des Wertes eines von dem I/O-Anschluß 22 ausgegebenen Signals und ein Zeitsignal (Timing Signal) zum Bestimmen des Wertes eines Signals, welches dem I/O-Anschluß 22 eingegeben wird; der zweite Schaltkreis bestimmt die Wellenform des Ausgangssi­ gnals.

Der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ist über einen Zeitversatzschaltkreis 30 (Skew Circuit) mit einem Anschlußstifttreiber 32 verbunden. Der Zeitversatz­ schaltkreis 30 wird dafür verwendet, den Anschlußstifttrei­ ber 32 nach einer bestimmten Verzögerung mit einem Impuls­ signal zu versorgen, das von dem Wellenform- und Zeitsi­ gnalerzeugungsschaltkreis 28 erzeugt wird. Der Anschluß­ stifttreiber 32 verstärkt das Impulssignal auf geeignete Weise und liefert dann das verstärkte Signal an den I/O-Anschluß 22.

Jeder I/O-Anschluß 22 ist über ein Relais 34 und einen Anschlußstiftkomparator 36 mit einem Entscheidungsschalt­ kreis 38 verbunden. Der Entscheidungsschaltkreis 38 ist über einen weiteren Zeitversatzschaltkreis 40 mit dem Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 verbunden. Der Zeitversatzschaltkreis 40 wird dafür verwendet, den Entscheidungsschaltkreis 38 nach einer bestimmten Verzöge­ rung mit einem Zeitsignal (Timing Signal) zu versorgen, das von dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 erzeugt worden ist. Der Entscheidungsschaltkreis 38 be­ stimmt den Wert des an den I/O-Anschluß 22 eingegebenen Si­ gnals synchronisierend mit dem Erhaltzeitpunkt oder Emp­ fangszeitpunkt des Zeitsignals.

Damit die LSI-Testvorrichtung die Tests mit hoher Prä­ zision durchführen kann, sind zwei Grundvoraussetzungen notwendig: Einmal sollen die von den einzelnen I/O-Anschlüssen 22 ausgegebenen Signale übereinstimmend und synchron sein und zum anderen sollten die an die einzelnen I/O-Anschlüsse 22 eingegebenen Signale durchweg zu geeigne­ ten Zeitpunkten bestimmt werden. Somit müssen die verwende­ ten Zeitsignale oder Zeitpunkte von Zeit zu Zeit kalibriert werden, um die Genauigkeit der LSI-Testvorrichtung auf­ rechterhalten zu können.

Die herkömmliche LSI-Testvorrichtung führt eine Zeit­ verhalten- oder Timing-Kalibrierung mittels einer gemäß Fig. 12 hiermit verbundenen Zeitversatzkarte 100 durch. Die Zeitversatzkarte 100 beinhaltet eine Relaismatrix 102, die in Hardware realisiert ist. Die Relaismatrix 102 weist Re­ lais entsprechend der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 auf, die an der LSI-Testvorrichtung angeordnet sind. Die Relais­ matrix 102 ist über ein Schaltrelais 104 mit einem Stan­ dardschaltkreis 106 verbunden und wirkt dahingehend, daß einer der I/O-Anschlüsse 22 selektiv mit dem Schaltrelais 104 in leitender Verbindung steht.

Der Standard- oder Normschaltkreis 106 weist einen Standard- oder Normtreiber 108 und einen Standard- oder Normkomparator 110 auf. Der Standardtreiber 108 und der Standardkomparator 110 arbeiten synchron mit einem Refe­ renzsignal CLK, das vom Referenzsignalgenerator 26 der LSI- Testvorrichtung 20 erzeugt wird.

Genauer gesagt, der Standardtreiber 108 liefert, wenn er über das Schaltrelais 104 und die Relaismatrix 102 mit einem bestimmten I/O-Anschluß 22 verbunden ist, an diesen I/O-Anschluß 22 ein Standard- oder Normsignal, welches mit dem Referenzsignal CLK synchronisiert ist. Der Standardkom­ parator 110 bestimmt, wenn er über das Schaltrelais 104 und die Relaismatrix 102 mit einem bestimmten I/O-Anschluß 22 verbunden ist, den Wert des Signals, welches von dem I/O-Anschluß 22 synchron mit dem Referenzsignal CLK ausge­ geben wird.

Die Kalibrierung des Zeitverhaltens oder die Timing-Ka­ librierung der herkömmlichen LSI-Testvorrichtung wird mit dem Standard- oder Normschaltkreis 106 der Zeitversatzkarte 100 durchgeführt, der individuell mit jedem der I/O-Anschlüsse 22 verbindbar ist. Wenn ein einzelner I/O-Anschluß 22 mit dem Standardschaltkreis 106 verbunden ist, werden zwei Prozesse durchgeführt, nämlich einmal die Synchronisierung der Zeitverhalten von Signalen, welche von der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 ausgegeben werden und zum andern Synchronisieren der Zeitverhalten in der Bestim­ mung der Signale, die den einzelnen I/O-Anschlüssen 22 ein­ gegeben werden. Weiter unten wird ein Beispiel beschrieben, in welchem ein bestimmter I/O-Anschluß 22 (zum Beispiel der Anschluß 1) mit dem Standardschaltkreis 106 verbunden ist, das heißt, wo die Relaismatrix 102 den in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 mit dem Schaltrelais 104 verbindet.

Der Prozeß zur Synchronisation der Ausgangszeitpunkte oder -zeitsignale wird durchgeführt, während das Schaltre­ lais 104 auf dem Standardkomparator 110 liegt. In diesem Fall wird der Signalausgang von dem bestimmten I/O-Anschluß 22 dem Standardkomparator 110 zugeführt. Der Standardkompa­ rator 110 bestimmt den Wert des Ausgangssignals in synchro­ ner Beziehung zu dem Referenzsignal CLK. Zur Kalibrierung des Zeitverhaltens wird das Ergebnis dieser Bestimmung als Basis zur Einstellung der Verzögerungszeit des Zeitversatz­ schaltkreises 30 derart verwendet, daß der Umschaltzeit­ punkt des Ausgangssignals synchron mit einem Standardzeit­ punkt oder Standardzeitverhalten wird. Wenn der obige Ab­ lauf an allen I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt worden ist, sind die Einschaltzeitpunkte der Ausgangssignale an allen Anschlüssen 22 synchron.

Der Prozeß zur Synchronisation der Bestimmungszeitpunk­ te für die Eingangssignale wird durchgeführt, wenn das Re­ lais 34 entsprechend dem I/O-Anschluß 22, der momentan in Frage steht, geschlossen ist, wobei das Schaltrelais 104 auf den Standardtreiber 108 geschaltet ist. In diesem Fall wird ein Standardsignal von dem Standardtreiber 108 syn­ chron mit dem Referenzsignal CLK als Eingangssignal zu dem Anschlußstiftkomparator 36 geliefert. Der Entscheidungs­ schaltkreis 38 bestimmt den Wert des Eingangssignals auf der Grundlage des Zeitpunktsignals, welches über den Zeit­ versatzschaltkreis 40 geliefert wird. Zur Zeitpunktkali­ brierung wird die Verzögerungszeit des Zeitversatzschalt­ kreises 40 so eingestellt, daß der Wert des Standardsignals korrekt bestimmt wird. Wenn der obige Prozeß an allen I/O-Anschlüssen durchgeführt worden ist, sind die Bestim­ mungszeitpunkte der Eingangssignale synchron an allen An­ schlüssen 22.

Das herkömmliche Verfahren zur Zeitverhalten-Kalibrie­ rung erlaubt, daß die LSI-Testvorrichtung 20 die Schaltzei­ ten der Ausgangssignale und die Bestimmungszeiten der Ein­ gangssignale an allen I/O-Anschlüssen 22 gemäß obiger Be­ schreibung synchronisiert. Ein Nachteil des herkömmlichen Kalibrierverfahrens ist, daß der Standardschaltkreis 106 in der Zeitversatzkarte 100 nacheinander einzeln mit allen I/O-Anschlüssen 22 verbunden werden muß. Mit anderen Wor­ ten, das herkömmliche Kalibrierverfahren benötigt eine Ab­ lauf- oder Prozeßzeit nicht kleiner als N mal der benötig­ ten Zeit zum Abschluß dieses Vorgangs für einen einzelnen Anschlußstift (N = Anzahl der Anschlußstifte).

In den letzten Jahren wurden, da die Anschlußanzahl an LSIs, welche zu testen sind, größer wurde, mehr und mehr I/O-Anschlüsse 22 an der LSI-Testvorrichtung 20 notwendig. Dies bedeutet, daß es eine nachteilig lange Zeitdauer braucht, das herkömmliche Kalibrierverfahren durchzuführen. Zusätzlich muß die Relaismatrix 102 in der Zeitversatzkarte 100 mit so vielen Relais bestückt werden, wie die Anzahl aller I/O-Anschlußstifte an der LSI-Testvorrichtung 20 be­ trägt. Eine derart wachsende Anzahl von I/O-Anschlußstiften an der Testvorrichtung 20 kann es zunehmend schwierig ma­ chen, die LSI-Testvorrichtung 20 zu handhaben.

Eine Kalibrierung des Zeitverhaltens von LSI-Testvor­ richtungen muß nicht nur nach dem Versand oder Transport oder dem Einbau der Vorrichtung durchgeführt werden, son­ dern auch als Sicherheitsmaßnahme gegen irgendwelche nach­ folgenden Mängel der Vorrichtung, welche Alterungserschei­ nungen oder Änderungen in den Betriebsbedingungen zuzu­ schreiben sind. Dies macht es nötig, daß die Zeitverhalten- Kalibrierung regelmäßig durchgeführt wird. Da die Zeitver­ halten-Kalibrierung sehr häufig durchgeführt werden muß, bewirkt eine hohe Ablaufzeit und die Vergrößerung der Zeit­ versatzkarte 100 ein Problem hinsichtlich der Handhabbar­ keit.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die oben genannten und weitere Mängel und Nachteile im Stand der Technik zu beseitigen und eine LSI-Testvorrichtung zu schaffen, die in der Lage ist, das Zeitverhalten-Kalibrie­ ren innerhalb kurzer Zeitdauer ohne Neuaufbau einer Zeit­ versatzkarte einfach durchführen zu können. Weiterhin ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Zeitverhalten- Kalibrierverfahren zu schaffen, mit welchem eine Zeitver­ halten-Kalibrierung auf vereinfachte Weise innerhalb kurzer Zeitdauer ohne die Anwendung einer Zeitversatzkarte möglich ist.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt hinsichtlich der Testvorrichtung durch die im Anspruch 1 bzw. 4 angegebenen Merkmale und hinsichtlich des Kalibrierverfahrens durch die im Anspruch 9 angegebenen Merkmale, wobei die jeweiligen Unteransprüche vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestal­ tungsformen zum Gegenstand haben.

Erfindungsgemäß wird demnach eine LSI-Testvorrichtung zur Durchführung von Funktionstests an einem LSI mit einer Mehrzahl von Anschlußstiften geschaffen, wobei die LSI- Testvorrichtung zunächst eine Mehrzahl von I/O-Anschlüssen aufweist, die jeweils entsprechend der Mehrzahl von An­ schlußstiften an dem LSI vorgesehen sind. Die Vorrichtung weist weiterhin eine Mehrzahl von Steuerschaltkreisen ent­ sprechend jeweils der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen auf. Je­ der aus der Mehrzahl von Steuerschaltkreisen beinhaltet ei­ nen Wellenform- und Zeitsignalerzeugungschaltkreis zur Er­ zeugung eines Ausgangssignals bei Empfang eines Referenzsi­ gnals. Weiterhin vorgesehen ist ein Zeitversatzschaltkreis zur Einstellung des Zeitverhaltens des Ausgangssignals. Der Steuerschaltkreis beinhaltet weiterhin einen Rückkopplungs­ pfad und eine Zustandserkennungseinheit. Der Rückkopplungs­ pfad ist dafür vorgesehen, es zu ermöglichen, daß das Aus­ gangssignal, welches den Zeitversatzschaltkreis durchlaufen hat, zu einer Eingangsseite des Wellenform- und Zeitsignal­ erzeugungsschaltkreises zurückgeführt wird. Die Zustandser­ kennungseinheit dient zur Erkennung eines Zustands des Zeitversatzschaltkreises auf der Grundlage des über den Rückkopplungspfad geschickten Signals.

Gemäß eines weiteren Aspektes der vorliegenden Erfin­ dung wird eine LSI-Testvorrichtung zur Durchführung von Funktionstests an einem LSI mit einer Mehrzahl von An­ schlußstiften geschaffen, wobei die LSI-Testvorrichtung ei­ ne Mehrzahl von I/O-Anschlüssen jeweils entsprechend der Mehrzahl von Anschlußstiften an dem LSI aufweist. Die Vor­ richtung beinhaltet auch eine Mehrzahl von Steuerschalt­ kreisen entsprechend jeweils der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen. Jeder aus der Mehrzahl von Steuerschalt­ kreisen beinhaltet einen Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungschaltkreis zur Erzeugung eines Ausgangssignals bei Empfang eines Referenzsignals. Ein Zeitversatzschaltkreis ist weiterhin in dem Steuerschasltkreis vorgesehen zur Ein­ stellung des Zeitverhaltens des Ausgangssignals. Der Steu­ erschaltkreis enthält weiterhin einen ersten Rückkopplungs­ pfad und eine Zustandserkennungseinheit. Der erste Rück­ kopplungspfad dient zur Verbindung eines speziellen I/O-An­ schlusses, der zu dem I/O-Anschluß unterschiedlich ist, den das Ausgangssignal vom Zeitversatzschaltkreis erreicht hat (44), mit einer Eingangsseite des Wellenform- und Zeit­ signalerzeugungsschaltkreises. Die Zustandserkennungsein­ heit dient zur Speicherung eines Zustands des Zeitversatz­ schaltkreises abhängig von einem über den ersten Rückkopp­ lungspfad geschickten Signal.

Ein Zeitverhalten-Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Testvorrichtung zur Durchführung von Funktions­ tests an einem LSI mit einer Mehrzahl von Anschlußstiften ist ebenfalls Gegenstand der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Zeitverhalten-Kalibrierverfahren wird ein Zeitver­ satzschaltkreis, der entsprechend einem jeden aus einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen an der LSI-Testvorrichtung zu­ geordnet ist, derart eingestellt, daß Ausgangssignale von den I/O-Anschlüssen in ihrem Zeitverhalten synchronisiert sind. Ein Rückkopplungspfad zum Führen des Ausgangssignals von jedem der I/O-Anschlüsse nach der Einstellung des Zeit­ versatzschaltkreises zu einer Eingangsseite eines Wellen­ form- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises wird ausgebil­ det, der das in Frage stehende Ausgangssignal erzeugt hat. Der Zustand oder Status des Zeitversatzschaltkreises wird auf der Grundlage des über den Rückkopplungspfad geschick­ ten Signals erkannt.

Weitere Einzelheiten, Aspekte und Vorteile der vorlie­ genden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Be­ schreibung von Ausführungsformen anhand der Zeichnung.

Es zeigt:

Fig. 1 ein Blockschaltbild zum Beschreiben eines Zeit­ verhalten-Kalibrierverfahrens, wie es durch eine LSI-Test­ vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung durchgeführt wird;

Fig. 2 in einem Flußdiagramm die Schritte, welche eine anfängliche oder erste Zeitverhalten-Kalibrierung der LSI- Testvorrichtung von Fig. 1 bilden;

Fig. 3A bis Fig. 3E Zeitdiagramme zur Beschreibung von Wellenformen von Signalen, welche erzeugt werden, wenn der Schleifensteuerschaltkreis von Fig. 1 in einem Anhebemodus arbeitet;

Fig. 4A bis 4E Zeitdiagramme zur Beschreibung von Wel­ lenformen von Signalen, die erzeugt werden, wenn der Schleifensteuerschaltkreis von Fig. 1 in einem Absenkmodus arbeitet;

Fig. 5 ein Flußdiagramm von Schritten, welche eine ver­ einfachte Zeitverhalten-Kalibrierung der LSI-Testvorrich­ tung von Fig. 1 bilden;

Fig. 6 ein Blockdiagramm zur Beschreibung eines Zeit­ verhalten-Kalibrierverfahrens, wie es durch eine LSI-Test­ vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung durchgeführt wird;

Fig. 7 ein Flußdiagramm von Schritten, welche eine an­ fängliche oder erste Zeitverhalten-Kalibrierung der LSI- Testvorrichtung von Fig. 6 bilden;

Fig. 8 ein Flußdiagramm von Schritten, welche eine ver­ einfachte Zeitverhalten-Kalibrierung der LSI-Testvorrich­ tung von Fig. 6 bilden;

Fig. 9 ein Flußdiagramm zur Beschreibung eines Zeitver­ halten-Kalibrierverfahrens, wie es durch eine LSI-Testvor­ richtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung durchgeführt wird;

Fig. 10 ein Flußdiagramm von Schritten, welche eine an­ fängliche oder erste Zeitverhalten-Kalibrierung der LSI- Testvorrichtung von Fig. 9 bilden;

Fig. 11 ein Flußdiagramm von Schritten, welche eine vereinfachte Zeitverhalten-Kalbrierung der LSI-Testvorrich­ tung von Fig. 9 bilden; und

Fig. 12 ein Flußdiagramm zur Beschreibung eines Zeit­ verhalten-Kalibrierverfahrens, wie es durch eine herkömmli­ che LSI-Testvorrichtung durchgeführt wird.

Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nun im Detail unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung be­ schrieben, in der gleiche oder einander entsprechende Teile, Abschnitte oder Schritte durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Die wiederholte Beschreibung derarti­ ger gemeinsamer Teile, Abschnitte oder Schritte wird nach­ folgend weggelassen oder abgekürzt, um unnötige Wiederho­ lungen zu vermeiden.

Bezugnehmend auf das Blockdiagramm von Fig. 1, so ist dort eine erste Ausführungsform der Erfindung gezeigt, wie sie bei einer LSI-Testvorrichtung 42 und einem Zeitverhal­ ten-Kalibrierverfahren (nachfolgend auch Timing-Kalibrier­ verfahren bezeichnet) zur Verwendung hiermit angewendet wird. Die erfindungsgemäße LSI-Testvorrichtung 42 weist ei­ ne Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 auf, welche mit den An­ schlußstiften (1 bis N) eines zu testenden LSI verbindbar sind. Die LSI-Testvorrichtung 42 beliefert den zu testenden LSI mit einem Taktsignal, Adreßsignalen und anderen Signa­ len für die gewünschten Tests oder Untersuchungen über die I/O-Anschlüsse 22.

Die LSI-Testvorrichtung 42 beinhaltet eine Steuerung 24 und einen Referenzsignalgenerator 26. Der Referenzsignalge­ nerator 26 ist mit einem Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungsschaltkreis 28 für jeden der I/O-Anschlüsse 22 verbun­ den. Jeder Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ist aus zwei Schaltkreisen aufgebaut. Ein Schaltkreis erzeugt sowohl ein Zeit(takt)signal oder Timing-Signal zur Änderung des Wertes eines Signalausgangs vom I/O-Anschluß 22 und ein Zeit(takt)signal oder Timing-Signal zur Bestim­ mung des Wertes eines Signaleinganges am I/O-Anschluß 22; der andere Schaltkreis bestimmt die Wellenform des Aus­ gangssignals.

Der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ist über einen Zeitversatzschaltkreis 30 mit einem An­ schlußstifttreiber 32 verbunden. Der Zeitversatzschaltkreis 30 wird dazu benutzt, den Anschlußstifttreiber 32 nach ei­ ner bestimmten Verzögerung mit einem Impulssignal zu ver­ sorgen, das von dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungs­ schaltkreis 28 erzeugt wird. Genauer gesagt, der Zeitver­ satzschaltkreis 30 enthält zwei Schaltkreise: Ein Schalt­ kreis stellt die Verzögerungszeit der steigenden Flanken des Impulssignals ein, das durch den Wellenform- und Zeit­ signalerzeugungsschaltkreis 28 erzeugt wird, und der andere Schaltkreis stellt die Verzögerungszeit der fallenden Flan­ ken des gleichen Impulssignals ein. Der Anschußstifttreiber 32 verstärkt das von dem Zeitversatzschaltkreis 30 kommende Impulssignal auf geeignete Weise und liefert das geeignete verstärkte Signal an den in Frage stehenden I/O-Anschluß 22.

Jeder I/O-Anschluß 22 ist über ein Relais 34 und einen Anschlußstiftkomparator 36 mit einem Entscheidungsschalt­ kreis 38 verbunden. Der Entscheidungsschaltkreis 38 ist über einen weiteren Zeitversatzschaltkreis 40 mit dem Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 verbunden. Der Zeitversatzschaltkreis 40 wird verwendet, dem Entschei­ dungsschaltkreis 38 nach einer bestimmten Verzögerung ein Zeitsignal (oder Taktsignal) zuzuführen, das von dem Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 erzeugt worden ist. Der Entscheidungsschaltkreis 38 bestimmt den Wert des dem I/O-Anschluß 22 eingegebenen Signals auf der Grundlage des Empfangszeitpunktes des Zeitsignals.

Bei der erfindungsgemäßen LSI-Testvorrichtung 42 ist der Ausgangsanschluß des Anschlußstifttreibers 32 über ein Relais 44 mit einem Schleifensteuerschaltkreis 36 verbun­ den. Wenn das Relais 44 geschlossen ist, wird somit ein von dem Anschußstifttreiber 32 ausgegebenes Signal S1 dem Schleifensteuerschaltkreis 46 zugeführt.

Der Schleifensteuerschaltkreis 46 ist mit dem Wellen­ form-Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 und einem Univer­ salzähler 48 verbunden. Nach Erhalt des Ausgangssignals S1 vom Anschlußstifttreiber 32 erzeugt der Schleifensteuer­ schaltkreis 46 ein Signal S2 an dem Wellenform- und Zeitsi­ gnalerzeugungsschaltkreis 28 und ein Signal S3 an den Uni­ versalzähler 48. Wie nachfolgend noch beschrieben wird, ar­ beitet der Schleifensteuerschaltkreis 46 in einem von zwei Moden: nämlich einem Betriebsmode, der nachfolgend Anhebe­ modus genannt wird, in welchem das Signal S2 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S3 in Phase mit dem Signal S1 ist und einem Betriebsmode, der nachfolgend Absenkmodus genannt wird, in welchem das Signal S2 in Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S3 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist.

In der ersten Ausführungsform überträgt der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ein Impulssignal mit einer Pulsweite Tp an den stromabwärtigen Zeitversatz­ schaltkreis 30 bei Empfang einer fallenden Flanke des Refe­ renzsignals CLK vom Referenzsignalgenerator 26 oder einer fallenden Flanke des Signals S2 vom Schleifensteuerschalt­ kreis 46. Der Universalzähler 48 ist in der Lage, über eine bestimmte Zeitdauer hinweg die Anzahl von fallenden Flanken des Signals S3 vom Schleifensteuerschaltkreis 46 zu zählen.

Die Steuerung 24 enthält ein Speichermedium, beispiels­ weise eine Hard Disk. Die Anzahl von fallenden Flanken, die von dem Universalzähler 48 betreffend einen jeden I/O-Anschluß gezählt werden, können in das Speichermedium geschrieben werden.

Damit die LSI-Testvorrichtung 42 Tests mit hoher Präzi­ sion durchführen kann, sind zwei Grundvoraussetzungen nö­ tig: Die von den einzelnen I/O-Anschlüssen 22 ausgegebenen Signale sollten übereinstimmend und synchron sein und die in die einzelnen I/O-Anschlüsse 22 eingegebenen Signale sollten übereinstimmend zu geeigneten Zeitpunkten oder mit einem geeigneten Zeitverhalten (Timing) bestimmt werden. Somit müssen die verwendeten Zeitsignale, Takte etc., wel­ che hierzu benutzt werden, von Zeit zu Zeit kalibriert (synchronisiert) werden, um die Genauigkeit der LSI-Test­ vorrichtung aufrechterhalten zu können.

Fig. 2 ist ein Flußdiagramm, welches die Schritte zeigt, die ein erstes oder anfängliches Zeitverhalten-Kali­ brieren der LSI-Testvorrichtung 42 bilden. Die anfängliche Zeitverhalten-Kalibrierung der Vorrichtung wird beispiels­ weise zum Zeitpunkt ihres Versandes von dem Hersteller durchgeführt. Der Beginn der anfänglichen Zeitverhalten-Ka­ librierung wird durch Verwendung einer Zeitversatzkarte 100 etwa gemäß Fig. 1 im Schritt 200 gestartet.

Die Zeitversatzkarte 100 beinhaltet eine Relaismatrix 102 auf Hardware-Basis. Die Relaismatrix 102 weist Relais entsprechend der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 an der LSI-Testvorrichtung 42 auf. Die Relaismatrix 102 ist über ein Schaltrelais 104 mit einem Standard- oder Normschalt­ kreis 106 verbunden und wirkt dahingehend, daß einer der I/O-Anschlüsse 22 selektiv mit dem Schaltrelais 104 in Ver­ bindung steht.

Der Standardschaltkreis 106 weist einen Standard- oder Normtreiber 108 und einen Standard- oder Normkomparator 110 auf. Das Schaltrelais 104 ermöglicht, daß die Relaismatrix 102 mit entweder dem Standardtreiber 108 oder dem Standard­ komparator 110 verbunden wird. Der Standardtreiber 108 und der Standardkomparator 110 arbeiten synchron mit dem Refe­ renzsignal CLK, das von dem Referenzsignalgenerator 26 der LSI-Testvorrichtung 42 erzeugt wird.

Genauer gesagt, wenn der Standardtreiber 108 über das Schaltrelais 104 und die Relaismatrix 102 mit einem be­ stimmten I/O-Anschluß 22 verbunden ist, liefert er an die­ sen I/O-Anschluß 22 ein Standardsignal synchronisiert mit dem Referenzsignal CLK. Der Standardkomparator 110 be­ stimmt, wenn er mit einem bestimmten I/O-Anschluß 22 über das Schaltrelais 104 und die Relaismatrix 102 verbunden ist, den Wert des vom I/O-Anschluß 22 ausgegebenen Signals synchron mit dem Referenzsignal CLK.

Die Zeitverhalten-Kalibrierung unter Verwendung der Zeitversatzkarte 100 wird durchgeführt, wobei der Standard­ schaltkreis 106 individuell mit jedem der I/O-Anschlüsse 22 nacheinander verbunden ist. Wenn ein einzelner I/O-Anschluß 22 mit dem Standardschaltkreis 106 verbunden ist, laufen zwei Prozesse ab, nämlich einer zur Synchronisation des Zeitverhaltens von Signalen, die von einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 ausgegeben werden und ein weiterer zur Synchronisation der Bestimmungszeitpunkte der Signale, die in einzelnen I/O-Anschlüssen 22 eingegeben werden. Nachfol­ gend wird ein Beispiel beschrieben, bei welchem ein be­ stimmter I/O-Anschluß 22 (zum Beispiel der Anschluß 1) mit dem Standardschaltkreis 106 verbunden ist, das heißt, wenn die Relaismatrix 102 den in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 mit dem Schaltrelais 104 verbindet.

Der Ablauf zur Synchronisation des Zeitverhaltens (oder Taktes) von Ausgangssignalen wird durchgeführt, während das Schaltrelais 104 auf den Standardkomparator 110 geschaltet ist. In diesem Fall wird das von dem bestimmten I/O-Anschluß 22 ausgegebene Signal dem Standardkomparator 110 zugeführt. Der Standardkomparator 110 bestimmt den Wert des Ausgangssignals in synchronisierter Beziehung zu dem Referenzsignal CLK. Zur Zeitpunktskalibrierung wird das Er­ gebnis dieser Bestimmung als Basis zur Einstellung des Zeitversatzschaltkreises 30 derart verwendet, daß die Schaltzeitpunkte (oder der Takt) des Ausgangssignals syn­ chron mit einem Standard- oder Normzeitverhalten oder Norm­ takt wird, das heißt, so daß steigende und fallende Flanken des Ausgangssignals synchron mit dem Standardzeitverhalten oder Standardtakt erzeugt werden. Wenn der obige Ablauf an allen I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt worden ist, sind die Schaltzeitpunkte der Ausgangssignale an allen Anschlüssen 22 synchron.

Der Ablauf zum Synchronisieren der Bestimmungszeitpunk­ te für Eingangssignale wird durchgeführt, wenn das Relais 34 entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 ge­ schlossen ist, wobei das Schaltrelais 104 auf den Standard­ treiber 108 geschaltet ist. In diesem Fall wird ein Stan­ dardsignal, das vom Standardtreiber 108 synchron mit dem Referenzsignal CLK erzeugt wird, als Eingangssignal an den Anschlußstiftkomparator 36 geführt. Der Entscheidungs­ schaltkreis 38 bestimmt den Wert des Eingangssignals auf der Grundlage des über den Zeitversatzschaltkreis 40 zuge­ lieferten Zeitsignals oder Taktes. Zur Zeitverhalten- oder Taktkalibrierung wird die Verzögerungszeit des Zeitversatz­ schaltkreises 40 so eingestellt, daß der Wert des Standard­ signals korrekt bestimmt wird. Wenn der obige Ablauf an al­ len I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt worden ist, sind die Bestimmungszeitpunkte für die Eingangssignale an allen An­ schlüssen 22 synchron.

Im Schritt 200 wird der oben beschriebene Ablauf zur Kalibrierung an allen I/O-Anschlüssen 22 der LSI-Testvor­ richtung 42 durchgeführt. Obgleich dieser Ablauf Zeit in proportionaler Beziehung zu der Anzahl N der I/O-Anschlüsse 22 benötigt, wird zunächst die LSI-Testvorrichtung 42 genau hinsichtlich ihres Zeitverhaltens kalibriert. Dem Schritt 200 folgt Schritt 202.

Im Schritt 202 wird das Relais 44 entsprechend dem I/O-Anschluß 22 geschlossen. Dies bildet einen Schleifen­ pfad zur Rückführung des Ausgangssignals S1 des Anschluß­ stifttreibers 32 auf den Schleifensteuerschaltkreis 46.

Im Schritt 204 wird eine Überprüfung gemacht, um fest­ zustellen, ob das zu überwachende Zeitverhalten oder der zu überwachende Takt dasjenige oder derjenige der steigenden Flanken des Ausgangssignals ist. Wenn das zu überwachende Zeitverhalten als dasjenige der steigenden Flanken beur­ teilt wird, wird Schritt 206 erreicht, und wenn das zu überwachende Zeitverhalten sich als dasjenige der fallenden Flanken herausgestellt hat, wird Schritt 208 erreicht.

Im Schritt 206 wird der Schleifensteuerschaltkreis 46 so angesteuert, daß er in dem Anhebemodus arbeitet, in wel­ chem das Signal S3 in Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S2 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist.

Im Schritt 208 wird der Schleifensteuerschaltkreis 46 so angesteuert, daß er in dem Absenkmodus arbeitet, in wel­ chem das Signal S3 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S2 in Phase mit dem Signal S1 ist.

Im Schritt 210 gibt der Referenzsignalgenerator 26 das Referenzsignal CLK in Form eines einzelnen Impulses oder Pulses aus. Da ein Schleifenpfad ausgebildet worden ist, mit welchem das Ausgangssignal S1 des Anschlußstifttreibers 32 auf den Schleifensteuerschaltkreis 46 zurückgeführt wer­ den kann, triggert der Ausgang des CLK-Signals Oszillatio­ nen über den Pfad bestehend aus dem Schleifensteuerschalt­ kreis 46, dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschalt­ kreis 28, dem Zeitversatzschaltkreis 30 und dem Anschluß­ stifttreiber 32.

Im Schritt 212 zählt der Universalzähler 48 die Anzahl von steigenden Flanken des Signals S3, welches über eine bestimmte Zeitdauer hinweg erzeugt wird.

Im Schritt 214 wird der Zählwert der steigenden Flanken des Signals S3, wie er vom Universalzähler 48 an jedem der I/O-Anschlüsse 22 entnommen wurde, entsprechend einem jeden I/O-Anschluß 22 in dem Speichermedium der Steuerung 24 ge­ schrieben.

Bei der ersten Ausführungsform werden die Schritte 219 bis 214 zum Speichern des Flankenzählwertes des Signals S3 an allen I/O-Anschlüssen 22 sowohl in dem Anhebemodus als auch dem Absenkmodus, in welchen der Schleifensteuerschalt­ kreis 46 arbeitet, durchgeführt.

Die Fig. 3A bis 3E sind Zeit- oder Taktdiagramme, welche einen Signalfluß darstellen, der auftritt, wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Anhebemodus arbeitet. Wenn ein einzelner Impuls des Referenzsignals CLK im Schritt 210 ausgegeben wird (siehe Fig. 3A), gib der Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ein Impuls­ signal mit einer Pulsbreite Tp bei Empfang der fallenden Flanke des Referenzsignalimpulses aus (siehe Fig. 3B).

Der Zeitversatzschaltkreis 30 erzeugt eine Verzöge­ rungszeit Dup bezüglich der steigenden Flanken des Impuls­ signals von Schaltkreis 28 und eine Verzögerungszeit Ddown bezüglich der fallenden Flanke dieses Signals. Im Ergebnis steigt das Ausgangssignal S1 vom Anschlußstifttreiber 32 nach Verstreichen einer Verzögerungszeit Dup nach jeder steigenden Flanke des Ausgangs von dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises 28 an und fällt nach Ver­ streichen einer Verzögerungszeit Ddown nach jeder fallenden Flanke dieses Ausgangs (siehe Fig. 3C).

Wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Anhebemo­ dus arbeitet, ist das Signal S2 um 180° außer Phase zu dem Signal S1 und wird dem Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungsschaltkreis 28 eingegeben (siehe Fig. 3D). Infolgedes­ sen erzeugt der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschalt­ kreis 28 das nächste Impulssignal in nachfolgend synchroni­ sierter Beziehung zu einer steigenden Flanke des Signals S1, das heißt annähernd bei Verstreichen der Verzögerungs­ zeit Dup folgend einer steigenden Flanke des vorher erzeug­ ten Impulssignals (siehe Fig. 3B).

Wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Anhebemo­ dus arbeitet, wird ein Signal S3, das in Phase mit dem Si­ gnal S1 ist, dem Universalzähler 48 eingegeben (Fig. 3E). Infolgedessen inkrementiert der Universalzähler 48 seinen Zählwert im wesentlichen in synchroner Beziehung zu den steigenden Flanken des Signals S1, das heißt immer dann, wenn der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ein neues Impulssignal erzeugt (nach jedem Ende der Verzö­ gerungszeit Dup). Somit gelangt der Zählwert am Universal­ zähler 48 in Beziehung zu der Verzögerungszeit Dup.

In der ersten Ausführungsform wird das Zählen des Si­ gnals S3 durch den Universalzähler 48 in einem Zustand durchgeführt, in welchem das Ausgangssignal-Zeitverhalten des I/O-Anschlusses 22 präzise kalibriert ist. Hieraus er­ gibt sich, daß, wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Anhebemodus arbeitet, der Zählwert des Signals S3, der in der Steuerung 24 gespeichert wird, in Beziehung zu der Verzögerungszeit Dup (erzeugt von dem Zeitversatzschalt­ kreis 30) tritt, um den Zeitpunkt der steigenden Flanke des Ausgangssignals mit dem Standardzeitpunkt zu synchronisie­ ren.

Die Fig. 4A bis 4E sind Zeitdiagramme oder Taktdia­ gramme, welche einen Signalfluß für den Fall darstellen, daß der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Absenkmodus arbeitet. Wenn ein einzelner Impuls des Referenzsignals CLK im Schritt 210 ausgegeben wird (siehe Fig. 4A), gibt der Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ein Im­ pulssignal mit einer Pulsbreite Tp bei Empfang der fallen­ den Flanke des Referenzsignalimpulses aus (siehe Fig. 4B).

Der Zeitversatzschaltkreis 30 erzeugt Verzögerungen derart, daß das Ausgangssignal S1 vom Anschlußstifttreiber 32 nach Verstreichen einer Verzögerungszeit Dup folgend je­ der steigenden Flanke des Ausgangs vom Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 ansteigt und nach Ver­ streichen einer Verzögerungszeit Ddown nach jeder fallenden Flanke des gleichen Ausgangssignals abfällt (siehe Fig. 4C).

Wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Absenkmo­ dus arbeitet, wird das Signal S2, welches in Phase mit dem Signal S1 ist, dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungs­ schaltkreis 28 eingegeben (Fig. 4D). Somit erzeugt der Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 das nächste Impulssignal im wesentlichen in synchroner Beziehung mit einer fallenden Flanke des Signals S1, das heißt annähernd bei Verstreichen der Verzögerungszeit Ddown nach einer fal­ lenden Flanke des vorher erzeugten Impulssignals (Fig. 4B).

Wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 im Absenkmodus arbeitet, wird das Signal S3, welches um 180° außer Phase zu dem Signal S1 ist, dem Universalzähler 48 eingegeben (Fig. 4E). Der Universalzähler 48 wiederum inkrementiert seinen Zählwert im wesentlichen in synchroner Beziehung mit den fallenden Flanken des Signals S1. In diesem Fall wird der Zählwert jedes Mal dann erhöht, wenn eine bestimmte Zeitdauer (Ddown + Tp) verstrichen ist. Da die Impulsbreite Tp ein bestimmter Wert ist, erhält der Zählwert am Univer­ salzähler 48 eine Beziehung zu den Verzögerungszeiten Ddown.

In der ersten Ausführungsform erfolgt das Zählen des Signals S3 durch den Universalzähler 48 in einem Zustand, in welchem das Zeitverhalten oder Taktverhalten des Aus­ gangssignals am I/O-Anschluß 22 präzise kalibriert ist. Hieraus folgt, daß, wenn der Schleifensteuerschaltkreis 46 in dem Absenkmodus arbeitet, der Zählwert des Signals S3, der in der Steuerung 24 gespeichert ist, in Beziehung zu der Verzögerungszeit Ddown tritt, welche von dem Zeitver­ satzschaltkreis 30 erzeugt wird, um das Zeitverhalten oder den Zeitpunkt der fallenden Flanke des Ausgangssignals mit dem Standardzeitpunkt zu synchronisieren. Nachfolgend wer­ den die Zählwerte des Signals S3, welche in der Steuerung 24 für jeden I/O-Anschluß 22 und für jeden Arbeitsmodus des Schleifensteuerschaltkreises 46 auf die beschriebene Weise gespeichert werden, "Referenzdaten für vereinfachte Bear­ beitung" genannt.

Die LSI-Testvorrichtung 42 ist in der Lage, einem ein­ fachen Kalibriervorgang für das Zeitverhalten oder Taktver­ halten unterworfen zu werden, ohne daß auf die Zeitversatz­ karte 100 zurückgegriffen werden muß, indem die Referenzda­ ten für vereinfachte Bearbeitung verwendet werden. Die Ka­ librierung des Zeitverhaltens oder Taktverhaltens wird nachfolgend als "vereinfachte Kalibrierung" bezeichnet.

Fig. 5 ist ein Flußdiagramm, welches Schritte zeigt, die zur Realisierung der vereinfachten Kalibrierung durch­ geführt werden. Im Schritt 220 wird zunächst dasjenige Re­ lais 44, welches dem in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 entspricht, geschlossen. Dies bildet einen Schleifenpfad zum Rückführen des Ausgangssignals S1 zu dem Schleifensteu­ erschaltkreis 46.

Im Schritt 222 wird eine Überprüfung dahingehend ge­ macht, ob der zu überwachende Zeitpunkt derjenige von stei­ genden Flanken des Ausgangssignals ist. Wenn der zu überwa­ chende Zeitpunkt als derjenige der steigenden Flanken beur­ teilt wird, erfolgt eine Weitergabe zum Schritt 224 und wenn herausgefunden wird, daß der zu überwachende Zeitpunkt derjenige der fallenden Flanken ist, wird zum Schritt 226 verzweigt.

Im Schritt 224 wird der Schleifensteuerschaltkreis 46 veranlaßt, in dem Anhebemodus zu arbeiten, in welchem das Signal S3 in Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S2 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist.

Im Schritt 226 wird der Schleifensteuerschaltkreis 46 veranlaßt, im Absenkmodus zu arbeiten, in welchem das Si­ gnal S3 um 180° außer Phase mit dem Signal S1 ist und das Signal S2 in Phase mit dem Signal S1 ist.

Im Schritt 228 gibt der Referenzsignalgenerator 26 das Referenzsignal CLK in Form eines einzelnen Impulses aus. Da ein Schleifenpfad ausgebildet worden ist, mit welchem das Ausgangssignal S1 des Anschlußstifttreibers 32 auf den Schleifensteuerschaltkreis 46 zurückgeführt wird, triggert der Ausgang des CLK-Signals Oszillationen oder Schwingungen über oder in dem Pfad bestehend aus Schleifensteuerschalt­ kreis 46, Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28, Zeitversatzschaltkreis 30 und Anschlußstifttreiber 32.

Im Schritt 230 zählt der Universalzähler 48 die Anzahl von steigenden Flanken des Signals S3, welches über eine bestimmte Zeitdauer hinweg erzeugt wird. Wenn der Schlei­ fensteuerschaltkreis 46 im Anhebemodus ist, nimmt der Uni­ versalzähler 48 einen Wert an, der in Beziehung zur Verzö­ gerungszeit Dup steht, welche momentan vom Zeitversatz­ schaltkreis 30 erzeugt wird; wenn der Schleifensteuer­ schaltkreis 46 im Absenkmodus ist, tritt der Zählwert in Beziehung zu der Verzögerungszeit Ddown, welche momentan vom Zeitversatzschaltkreis 30 erzeugt wird.

Im Schritt 232 wird ein Vergleich gemacht zwischen dem Zählwert, der im Schritt 230 erhalten worden ist und den Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung, welche sich in der Steuerung 24 befinden. Wenn zwischen dem Zählwert und den Referenzdaten keine Übereinstimmung erkannt wird, wird zu Schritt 234 verzweigt. Wenn eine Anpassung oder Überein­ stimmung erkannt wird, wird zu Schritt 236 verzweigt.

Wenn als Ergebnis des Vergleichs in Schritt 323 der Schritt 234 erreicht wird, wird die Verzögerungszeit Dup oder Ddown des Zeitversatzschaltkreises 30 derart einge­ stellt, daß der Zählwert des Universalzählers 48 mit den Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung übereinstimmt. Die Schritte 230 bis 234 werden wiederholt, bis in Schritt 232 Übereinstimmung erkannt wird.

In der ersten Ausführungsform werden die Schritte 228 bis 234 durchgeführt, wobei der Schleifensteuerschaltkreis 46 sowohl in dem Anhebemodus als auch dem Absenkmodus ar­ beitet. Diese Schritte werden durchgeführt, um die Zustände der Zeitversatzschaltkreise 30 entsprechend einem jeden einzelnen I/O-Anschluß 22 auf diejenigen Zustände zu brin­ gen, welche unmittelbar nach Abschluß der anfänglichen oder ersten Kalibrierung erhalten werden sollten. Kurz gesagt, die oben beschriebenen Schritte stellen Synchronität der Zeitverhalten oder Taktverhalten der Ausgangssignale an al­ len I/O-Anschlüssen 22 untereinander her.

Die Schritte 228 bis 234 der ersten Ausführungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Mit dem oben beschriebenen Schema der vereinfachten Kalibrierung kann die Zeitverhalten-Kali­ brierung des Ausgangssignals in kurzer Zeit ungeachtet der Anzahl von I/O-Anschlüssen 22 der LSI-Testvorrichtung 42 abgeschlossen werden.

Im Schritt 236 wird das Relais 44 geöffnet, um den Rückkopplungspfad des Signals S1 zu unterbrechen.

Im Schritt 238 wird das Relais 34 zwischen dem I/O-Anschluß 22 und dem Anschlußstiftkomparator 36 ge­ schlossen.

Im Schritt 240 gibt der Anschlußstifttreiber 32 ein Im­ pulssignal synchron mit dem Referenzsignal CLK aus. Da das Zeitverhalten des Ausgangssignals bereits kalibriert worden ist, gibt der Anschlußstifttreiber 32 ein Impulssignal aus, dessen steigende und fallende Flanken mit dem Standardzeit­ verhalten oder -taktverhalten übereinstimmen. Das Impulssi­ gnal vom Anschlußstifttreiber 32 wird über das Relais 34 dem Anschlußstiftkomparator 36 zugeführt.

Im Schritt 242 werden die Verzögerungen des Zeitver­ satzschaltkreises 40 so eingestellt, daß der Wert des Puls­ signals, der sich mit dem Standardzeitverhalten ändert und dem Anschlußstiftkomparator 36 zugeführt wird, von dem Ent­ scheidungsschaltkreis 38 geeignet beurteilt wird.

In der ersten Ausführungsform werden die Schritte 236 bis 242 an den Schaltkreisen entsprechend allen I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt. Somit synchronisieren die obigen Schritte bei ihrem Durchlauf die Bestimmungszeitver­ halten des Eingangssignals an allen I/O-Anschlüssen 22.

Die Schritte 236 bis 242 der ersten Ausführungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Bei dem obigen Schema der verein­ fachten Kalibrierung kann das Bestimmungszeitverhalten am Eingangssignal in einer kurzen Zeitdauer ungeachtet der An­ zahl von I/O-Anschlüssen 22 an der LSI-Testvorrichtung 42 kalibriert werden.

Wie bisher beschrieben kann die LSI-Testvorrichtung 42 gemäß der Erfindung die vereinfachte Kalibrierung unter Verwendung der Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung durchführen. Die vereinfachte Kalibrierung kann in einer kurzen Zeitdauer ohne Zugriff auf eine Zeitversatzkarte 100 abgeschlossen werden. Somit ist die LSI-Testvorrichtung 42 der ersten Ausführungsform in der Lage, die periodisch durchzuführende Zeitverhaltens-Kalibrierung, welche Alte­ rungserscheinungen und Änderungen in den Umgebungsbedingun­ gen aufheben soll, schnell durchzuführen. Somit kann mit der erfindungsgemäßen LSI-Testvorrichtung 42 eine hohe Durchsatzrate bei der Verwendung in Halbleiter-Herstel­ lungsprozessen erzielt werden.

Eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. 6 bis 8 beschrie­ ben. Fig. 6 ist ein Blockdiagramm, welches den Aufbau einer LSI-Testvorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform, sowie den Aufbau einer Funktionskarte 120 zeigt, welche als Zusatz zu der LSI-Testvorrichtung 50 verwendet wird. Die LSI-Testvorrichtung 50 ist mit der Funktionskarte 120 gemäß Fig. 6 verbunden, um die Funktionen eines auf der Karte 120 angeordneten LSI-Bausteins zu testen.

Wie in der ersten Ausführungsform weist die LSI-Test­ vorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform den Schleifensteuerschaltkreis 46 und den Universalzähler 48 entsprechend einem jeden der einzelnen I/O-Anschlüsse 22 auf. Von den I/O-Anschlüssen 22 werden diejenigen entspre­ chend den geradzahligen Anschlußstiften des LSI, welches zu testen ist, geradzahlige Anschlüsse genannt und diejenigen entsprechend den ungeradzahligen Anschlußstiften des ent­ sprechenden LSI werden ungeradzahlige Anschlüsse genannt. Die ungeradzahligen Anschlüsse der LSI-Testvorrichtung 50 sind jeweils mit einem Relais 52 verbunden, welches in Ver­ bindung mit dem Schleifensteuerschaltkreis 46 entsprechend dem benachbarten geradzahligen Anschluß in Verbindung steht. Auf gleiche Weise sind die geradzahligen Anschlüsse der LSI-Testvorrichtung 50 jeweils mit einem Relais 54 in Verbindung, welches mit dem Schleifensteuerschaltkreis 46 entsprechend dem benachbarten ungeradzahligen Anschluß in Verbindung steht.

Die Funktionskarte 120 weist Signalpfade 122 entspre­ chend den einzelnen I/O-Anschlüssen 22 der LSI-Testvorrich­ tung 50 auf. Die Signalpfade 122 sind über nicht näher dar­ gestellte Mittel mit den Anschlußstiften des LSI auf der Funktionskarte 120 verbunden. Weiterhin weist die Funkti­ onskarte 120 Relais 124 auf, welche zwischen dem Signalpfad 122 entsprechend einem jeden ganzzahligen Anschluß der LSI- Testvorrichtung einerseits und dem Signalpfad 122 entspre­ chend dem ungeradzahligen Anschluß benachbart dem in Frage stehenden geradzahligen Anschluß eingesetzt sind.

Schließen eines Relais 52 in der LSI-Testvorrichtung 50 und des Relais 124 auf der Funktionskarte 120 bildet eine Schleife, welche das Ausgangssignal S1 des Anschlußstift­ treibers 32 entsprechend einem geradzahligen Anschluß zu­ rück auf den Schleifensteuerschaltkreis 46 entsprechend dem gleichen Anschluß zurückführt (der Schleifenpfad beinhaltet einen Teil des Signalpfades 122 auf der Funktionskarte 120). Auf ähnliche Weise bildet das Schließen eines Relais 54 und des Relais 124 einen Schleifenpfad, der das Aus­ gangssignal S1 des Anschlußstifttreibers 32 entsprechend einem ungeradzahligen Anschluß zurück auf den Schleifen­ steuerschaltkreis entsprechend dem gleichen Anschluß zu­ rückführt (auch dieser Schleifenpfad beinhaltet einen Teil des Signalpfades 122 auf der Funktionskarte 120).

Fig. 7 ist ein Flußdiagramm, in welchem die Schritte gezeigt sind, welche die anfängliche oder erste Zeitverhal­ ten-Kalibrierung der LSI-Testvorrichtung 50 bilden, welche beispielsweise zum Zeitpunkt des Versandes vom Hersteller durchgeführt wird. In Fig. 7 sind Schritte mit funktionell identischen Inhalten entsprechend den Schritten von Fig. 2 mit gleichen Bezugszeichen versehen und eine nochmalige de­ taillierte Beschreibung hiervon erfolgt nicht oder wird ab­ gekürzt.

Im Schritt 200 wird wie im Falle der ersten Ausfüh­ rungsform die anfängliche oder erste Zeitverhalten-Kali­ brierung unter Verwendung der Zeitversatzkarte 100 begon­ nen. Die Relais 52 und 54 sind beide offen und sämtliche I/O-Anschlüsse 22 werden der Zeitverhalten- oder Taktver­ halten-Kalibrierung in der gleichen Abfolge wie in der er­ sten Ausführungsform unterworfen. Unmittelbar nachdem die erste oder anfängliche Zeitverhalten-Kalibrierung geendet hat, wird Schritt 250 erreicht.

Im Schritt 250 wird die Funktionskarte 120 als Zusatz an die LSI-Testvorrichtung 50 angeschlossen.

Im Schritt 246 werden ein Relais 54 der LSI-Testvor­ richtung 50 und das Relais 124 auf der Funktionskarte 120 beide geschlossen. Dies bildet einen Rückkopplungspfad ent­ sprechend einem ungeradzahligen Anschluß (I/O-Anschluß 22) der LSI-Testvorrichtung 50.

In den Schritten 204, 206 und 208 wird der Arbeits- oder Funktionsmodus des Schleifensteuerschaltkreises 46 ab­ hängig von dem zu überwachenden Zeitverhalten oder Taktver­ halten wie im Falle der ersten Ausführungsform eingestellt. Im Schritt 254 gibt der Referenzsignalgenerator 26 ent­ sprechend dem in Frage stehenden ungeradzahligen oder ge­ radzahligen Anschluß das Referenzsignal CLK in Form eines einzelnen Impulses aus. Wenn das Referenzsignal CLK von ei­ nem Referenzsignalgenerator 26 ausgegeben wird, der mit dem ungeradzahligen Anschluß verbunden ist, wird das Signal CLK aufeinanderfolgend dem Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungsschaltkreis 28 und dem Anschlußstifttreiber 32 ent­ sprechend dem in Frage stehenden ungeradzahligen Anschluß zugeführt. Das Ausgangssignal S1 des Anschußstifttreibers 32, der dem ungeradzahligen Anschluß zugeordnet ist, wird über den Rückkopplungspfad zum Schleifensteuerschaltkreis 46 entsprechend dem in Frage stehenden ungeradzahligen An­ schluß zurückgeführt. Dies triggert Oszillationen oder Schwingungen über oder in dem Pfad mit dem Schleifensteuer­ schaltkreis 46 und dem Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungsschaltkreis 28 entsprechend dem ungeradzahligen An­ schluß. Wenn das Referenzsignal CLK von einem Referenzsi­ gnalgenerator 26 ausgegeben wird, der mit einem geradzahli­ gen Anschluß verbunden ist, wird das Signal CLK nacheinan­ der dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 und dem Anschlußstifttreiber 32 entsprechend dem geradzah­ ligen in Frage stehenden Anschluß zugeführt. Das Ausgangs­ signal S1 des Anschlußstifttreibers 32, der dem geradzahli­ gen Anschluß zugeordnet ist, wird über den Rückkopplungs­ pfad (Relais 54) zum Schleifensteuerschaltkreis 46 entspre­ chend dem ungeradzahligen Anschluß zurückgeführt. Auch dies triggert Oszillationen im Pfad mit dem Schleifensteuer­ schaltkreis 46 und dem Wellenform- und Zeitsignalerzeu­ gungsschaltkreis 28 entsprechend dem ungeradzahligen An­ schluß.

In den Schritten 212 und 214 wird wie im Falle der er­ sten Ausführungsform der Zählwert des Signals S3, der durch den Universalzähler 48 gezählt wird, in dem Speichermedium der Steuerung 24 geschrieben. Die Schritte 254, 212 und 214 werden durchgeführt, wobei der Schleifensteuerschaltkreis 46 sowohl in dem Anhebemodus als auch dem Absenkmodus ar­ beitet. Wenn der obige Ablauf durchgeführt wird, werden die Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung entsprechend dem ungeradzahligen Anschluß gespeichert.

Im Schritt 256 wird überprüft, um festzustellen, ob der Ablauf oder Prozeß zur Speicherung der Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung an allen ungeradzahligen und ge­ radzahligen Anschlüssen abgeschlossen ist. Wenn noch ir­ gendein Anschluß sich dem Datenspeicherungsprozeß unterzie­ hen muß, wird zum Schritt 258 verzweigt; wenn beurteilt wird, daß alle Anschlüsse sich dem Prozeß unterzogen haben, wird der momentane Ablauf beendet.

Im Schritt 258 wird in der LSI-Testvorrichtung 50 ein Relais 54 geöffnet und ein Relais 52 geschlossen, während ein Relais 124 auf der Funktionskarte 120 geschlossen ist. Dies bildet einen Rückkopplungspfad entsprechend einem un­ geradzahligen Anschluß (I/O-Anschluß 22) der LSI-Testvor­ richtung 50.

Danach werden der Schritt 204 und die darauffolgenden Schritte auf gleiche Weise durchgeführt, als ob der Rück­ kopplungspfad für einen ungeradzahligen Anschluß ausgebil­ det wäre. Diese Schritte speichern bei ihrer Durchführung in der Steuerung 24 die Referenzdaten für vereinfachte Be­ arbeitung betreffend dem in Frage stehenden geradzahligen Anschluß. Der obige Prozeß macht es möglich, die Referenz­ daten für vereinfachte Bearbeitung aller I/O-Anschlüsse 22 zu speichern, das heißt, die Zählwerte, welche die Verzöge­ rungszeiten Dup und Ddown wiedergeben, welche von dem Zeit­ versatzschaltkreis 30 derart erzeugt werden, daß die stei­ genden und fallenden Flanken des Ausgangssignals überein­ stimmend mit dem Standardzeitverhalten oder Taktverhalten an allen I/O-Anschlüssen 22 werden.

In einem Halbleiterherstellungswerk wird die LSI-Test­ vorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform zusammen mit der hieran angeschlossenen Funktionskarte 120 verwen­ det. Ohne Rückgriff auf eine neue Zeitversatzkarte 100 kann die mit der Funktionskarte 120 verbundene LSI-Testvorrich­ tung 50 die oben beschriebenen Referenzdaten für verein­ fachte Bearbeitung zur Durchführung der vereinfachten Kali­ brierung verwenden.

Fig. 8 ist ein Flußdiagramm, welches die Schritte zeigt, die zur Durchführung der vereinfachten Kalibrierung durchgeführt werden. In Fig. 8 haben Schritte mit funktio­ nell identischen Inhalten entsprechend den Schritten in Fig. 5 gleiche Bezugszeichen und eine nochmalige detail­ lierte Beschreibung erfolgt entweder nicht oder wird abge­ kürzt.

Bei der vereinfachten Kalibrierung werden im Schritt 260 zunächst die Relais 54 und 124 geschlossen, um einen Rückkopplungspfad entsprechend einem ungeradzahligen An­ schluß zu bilden.

In den Schritten 222, 224 und 226 wird der Betriebsmo­ dus des Schleifensteuerschaltkreises 46 wie im Falle der ersten Ausführungsform abhängig von dem zu überwachenden Zeitverhalten eingestellt.

Im Schritt 262 gibt der Referenzsignalgenerator 26 ent­ sprechend dem in Frage stehenden ungeradzahligen oder ge­ radzahligen Anschluß das Referenzsignal CLK in Form eines einzelnen Impulses aus. Dies triggert Oszillationen über oder im Pfad mit dem Schleifensteuerschaltkreis 46 und dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis 28 entspre­ chend dem ungeradzahligen Anschluß (vergleiche obiger Schritt 254).

In den Schritten 230 bis 234 wird wie im Falle der er­ sten Ausführungsform die Verzögerungszeit Dup oder Ddown des Zeitversatzschaltkreises 30 entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 (in diesem Fall des ungeradzahli­ gen Anschlusses) so eingestellt, daß der Zählwert am Uni­ versalzähler 48 in Übereinstimmung mit den Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung in der Steuerung 24 wird.

In der zweiten Ausführungsform werden die Schritte 262 und 230 bis 234 durchgeführt, während der Schleifensteuer­ schaltkreis 46 sowohl im Anhebemodus als auch im Absenkmo­ dus arbeitet. Diese Schritte werden durchgeführt, um die Zustände der Zeitversatzschaltkreise 30 entsprechend den in Frage stehenden I/O-Anschlüssen 22 (in diesem Falle der un­ geradzahligen Anschlüsse) auf diejenigen Zustände zu brin­ gen, welche unmittelbar nach Abschluß der ersten oder an­ fänglichen Zeitverhalten-Kalibrierung erhalten werden soll­ ten.

Im Schritt 264 wird überprüft, um festzustellen, ob der durch die Schritte 222 bis 234 gebildete Prozeß an allen ungeradzahligen und geradzahligen Anschlüssen abgeschlossen ist. Wenn noch irgendein Anschluß oder irgendwelche An­ schlüsse sich dem Prozeß unterziehen müssen, wird zum Schritt 266 verzweigt. Wenn alle Anschlüsse als fertig be­ arbeitet beurteilt werden, wird zum Schritt 268 verzweigt.

Im Schritt 266 wird in der LSI-Testvorrichtung 50 ein Relais 54 geöffnet und ein Relais 52 geschlossen, während auf der Funktionskarte 120 ein Relais 124 geschlossen wird. Dies bildet einen Rückkopplungspfad entsprechend einem ganzzahligen Anschluß der LSI-Testvorrichtung 50.

Danach werden der Schritt 222 und die nachfolgenden Schritte auf gleiche Weise durchgeführt, als ob der Rück­ kopplungspfad für einen ungeradzahligen Anschluß gebildet wäre. Diese Schritte werden durchgeführt, um die Zustände der Zeitversatzschaltkreise 30 entsprechend den ganzzahli­ gen Anschlüssen auf die Zustände zu bringen, welche unmit­ telbar nach Abschluß der ersten oder anfänglichen Zeitver­ halten-Kalibrierung erhalten werden sollten. Somit synchro­ nisieren die Schritte 260 bis 264 bei ihrer Durchführung das Zeitverhalten oder das Taktverhalten des Ausgangssi­ gnals an allen I/O-Anschlüssen 22.

Die Schritte 262 und 230 bis 234 der zweiten Ausfüh­ rungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Mit dem oben be­ schriebenen Schema der vereinfachten Kalibrierung kann das Zeitverhalten-Kalibrieren für das Ausgangssignal in einer kurzen Zeitdauer ungeachtet der Anzahl von I/O-Anschlüssen 22 der LSI-Testvorrichtung 50 durchgeführt und abgeschlos­ sen werden.

Im Schritt 268 werden die Relais 52, 54 und 124 geöff­ net. Dies unterbricht sowohl den Rückkopplungspfad entspre­ chend irgendeinem ungeradzahligen Anschluß als auch den Rückkopplungspfad entsprechend irgendeinem geradzahligen Anschluß.

In den Schritten 238 bis 242 wird wie im Falle der er­ sten Ausführungsform der Zeitversatzschaltkreis 40 unter Verwendung des Ausgangssignals vom Anschlußstifttreiber 32 eingestellt, das heißt, unter Verwendung des Ausgangssi­ gnals, welches soeben geeignet kalibriert worden ist. Diese Schritte werden an den Schaltkreisen entsprechend allen I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt. Somit synchronisieren die obigen Schritte bei ihrer Durchführung die Bestimmungszeit­ verhalten am Eingangssignal an allen I/O-Anschlüssen 22.

Die Schritte 268 und 238 bis 242 der zweiten Ausfüh­ rungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Mit dem oben be­ schriebenen Schema der vereinfachten Kalibrierung kann das Bestimmungs-Zeitverhalten für das Eingangssignal in einer kurzen Zeitdauer ungeachtet der Anzahl von I/O-Anschlüssen 22 der LSI-Testvorrichtung 50 kalibriert werden.

Wie beschrieben, kann die LSI-Testvorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform die vereinfachte Kalibrierung durchführen, während sie mit der Funktionskarte 120 verbun­ den ist. Dies erlaubt, daß die erfindungsgemäße LSI-Test­ vorrichtung 50 eine hohe Durchsatzrate möglich macht, wenn sie bei der Herstellung von Halbleitern verwendet wird.

Die vereinfachte Kalibrierung gemäß der ersten Ausfüh­ rungsform wird von der LSI-Testvorrichtung 42 alleine durchgeführt. Dies bedeutet, daß Auswirkungen aufgrund von Alterserscheinungen in den Signalpfaden 122 auf der Funkti­ onskarte 120 durch die vereinfachte Kalibrierung im Falle der ersten Ausführungsform nicht beseitigt und aufgehoben werden können.

Das Testen eines LSI durch die LSI-Testvorrichtung 50 wird mit der LSI-Testvorrichtung 50 durchgeführt, die mit dem zu testenden LSI über Signalpfade 122 auf der Funkti­ onskarte 120 verbunden ist. Um die Genauigkeit der LSI- Testung sicherzustellen, ist es somit vorteilhaft, in der Lage zu sein, Auswirkungen von Alterserscheinungen in den Signalpfaden 122 durch eine entsprechende Kalibrierung ab­ zufangen.

Wie erwähnt, macht die vereinfachte Kalibrierung der zweiten Ausführungsform Verwendung von Rückkopplungspfaden, von denen jeder einen Signalpfad 122 aufweist. Die Durch­ führung der vereinfachten Kalibrierung erlaubt somit, daß die Verzögerungszeiten Dup und Ddown des Zeitversatzschalt­ kreises 30 so eingestellt werden können, daß charakteristi­ sche Änderungen bzw. Auswirkungen hiervon in dem Signalpfad 122 aufgefangen oder absorbiert werden können. Da die ver­ einfachte Kalibrierung, die durch die zweite Ausführungs­ form durchgeführt wird, Effekte beispielsweise aufgrund von Alterserscheinungen an der Funktionskarte 120 absorbieren oder beseitigen kann, schafft die zweite Ausführungsform eine Zeitverhalten-Kalibrierung mit einem merklich höheren Präzisionsgrad als die erste Ausführungsform.

Obgleich die zweite Ausführungsform unter Verwendung des Rückkopplungspfades dargestellt wurde, der mit jedem der I/O-Anschlüsse 22 unter Verwendung des Signalpfades 122 entsprechend des benachbarten I/O-Anschlusses 22 zugeordnet war, ist die vorliegende Erfindung nicht hierauf be­ schränkt. Andere Ausgestaltungsformen können genauso gut gewählt werden, wenn jeder I/O-Anschluß 22 nur die nachfol­ genden zwei Bedingungen erfüllt: Die erste Bedingung ist, daß ein Rückkopplungspfad geschaffen werden muß, um das Ausgangssignal S1 des Anschlußstifttreibers 32 auf den Schleifensteuerschaltkreis 46 zurückzuführen; die zweite Bedingung ist, daß ein Rückkopplungspfad unter Verwendung sowohl des Signalpfades 122 für den momentanen I/O-Anschluß 22 und des Signalpfades 122 entsprechend einem anderen I/O-Anschluß 22 ausgebildet wird.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 9 bis 11 wird nachfol­ gend eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Fig. 9 ist ein Blockdiagramm, welches den Auf­ bau einer LSI-Testvorrichtung 50 gemäß der dritten Ausfüh­ rungsform, sowie den Aufbau einer Funktionskarte 130 zeigt, die als Zusatz zu der LSI-Testvorrichtung 50 verwendet wird. Die LSI-Testvorrichtung 50 gemäß der dritten Ausfüh­ rungsform hat im wesentlichen den gleichen Aufbau wie die zweite Ausführungsform.

Die Funktionskarte 130 weist Signalpfade 132 entspre­ chend den einzelnen I/O-Anschlüssen 22 an der LSI-Testvor­ richtung 50 auf. Die Signalpfade 132 sind mit den Anschluß­ stiften eines LSI verbunden, der auf der Funktionskarte 130 anordenbar ist. In Fig. 9 trägt die Funktionskarte 130 ei­ nen Dummy-LSI 134, der eine weitere Anbringung oder Hinzu­ fügung zu der LSI-Testvorrichtung 50 ist. Innerhalb des Dummy-LSI 134 befindet sich eine Verdrahtung, um einen Si­ gnalpfad 132 entsprechend einem geradzahligen Anschluß der LSI-Testvorrichtung 50 mit einem Signalpfad 132 entspre­ chend einem ungeradzahligen Anschluß benachbart dem in Frage stehenden geradzahligen Anschluß kurzzuschließen oder zu verbinden.

Fig. 10 ist ein Flußdiagramm, in welchem die Schritte dargestellt sind, welche die anfängliche oder erste Zeit­ verhalten-Kalibrierung der LSI-Testvorrichtung 50 bilden. Diese anfängliche oder erste Zeitverhalten-Kalibrierung der Vorrichtung wird beispielsweise zum Zeitpunkt des Versandes vom Hersteller durchgeführt. In Fig. 10 haben Schritte, welche funktionell identisch zu entsprechenden Schritten in Fig. 7 sind, gleiche Bezugszeichen und eine nochmalige de­ taillierte Beschreibung erfolgt nicht oder wird abgekürzt.

Im Schritt 200 wird die anfängliche oder erste Zeitver­ halten-Kalibrierung unter Verwendung der Zeitversatzkarte 100 wie im Falle der zweiten Ausführungsform durchgeführt. Unmittelbar nachdem diese Zeitverhalten-Kalibrierung been­ det ist, wird Schritt 270 erreicht.

Im Schritt 270 wird die Funktionskarte 130 mit der LSI- Testvorrichtung 50 als deren Zusatz verbunden, wobei wei­ terhin der Dummy-LSI 134, das heißt, eine weitere Anbrin­ gung oder ein weiterer Zusatz zur LSI-Testvorrichtung 50 an der Funktionskarte 130 angeordnet wird.

Im Schritt 272 wird ein Relais 54 der LSI-Testvorrich­ tung 50 geschlossen. In der dritten Ausführungsform schlie­ ßen die Funktionskarte 130 und der Dummy-LSI 134 die gerad­ zahligen und ungeradzahligen Anschlüsse auf der LSI-Test­ vorrichtung 50 kurz. Schließen eines Relais 54 bildet somit einen Rückkopplungspfad, der den entsprechenden ungeradzah­ ligen Anschluß aufweist.

In den Schritten 204 bis 208 und 254, 212 und 214 wird der Zählwert entsprechend dem Status des Zeitversatzschalt­ kreises 30 entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 (hier: ungeradzahliger Anschluß) in der Steuerung 24 als Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung auf gleiche Weise wie in der zweiten Ausführungsform gespeichert.

Im Schritt 256 wird eine Überprüfung dahingehend ge­ macht, ob der obige Ablauf für alle ungeradzahligen und ge­ radzahligen Anschlüsse abgeschlossen ist. Wenn noch ein ge­ radzahliger Anschluß sich dem Prozeß unterziehen muß, wird zu Schritt 274 verzweigt und wenn beurteilt wird, daß alle Anschlüsse sich dem Prozeß unterzogen haben, wird der mo­ mentane Ablauf beendet.

Im Schritt 274 wird das Relais 54 geöffnet und ein Re­ lais 52 geschlossen. Da der Dummy-LSI 134 die ungeradzahli­ gen und geradzahligen Anschlüsse kurzgeschlossen oder mit­ einander verbunden hält, bildet die Durchführung des Schrittes 274 einen Rückkopplungspfad entsprechend einem geradzahligen Anschluß.

Danach werden der Schritt 204 und die nachfolgenden Schritte auf gleiche Weise durchgeführt, als ob der Rück­ kopplungspfad für einen ungeradzahligen Anschluß ausgebil­ det wäre. Die Schritte speichern bei ihrer Durchführung in der Steuerung 24 die Referenzdaten für vereinfachte Bear­ beitung entsprechend dem in Frage stehenden geradzahligen Anschluß. Der obige Prozeßablauf macht es möglich, die Re­ ferenzdaten für vereinfachte Bearbeitung an allen I/O-Anschlüssen 22 zu speichern, das heißt, die Zählwerte, welche die Verzögerungszeiten Dup und Ddown wiedergeben, welche von dem Zeitversatzschaltkreis 30 derart erzeugt werden, daß die steigenden und fallenden Flanken des Aus­ gangssignals übereinstimmend mit dem Standardzeitverhalten oder Standardtaktverhalten (Normverhalten) an allen I/O-Anschlüssen 22 werden.

Bei der Herstellung von Halbleitern wird die LSI-Test­ vorrichtung 50 gemäß der dritten Ausführungsform für ge­ wöhnlich mit der hieran angeschlossenen Funktionskarte 130 verwendet. Die LSI-Testvorrichtung 50 ist in der Lage, die vereinfachte Kalibrierung durchzuführen, während sie mit der Funktionskarte 130 verbunden ist, indem die oben be­ schriebenen Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung ohne Rückgriff auf eine Zeitversatzkarte 100 verwendet werden.

Fig. 11 ist ein Flußdiagramm, in welchem die Schritte dargestellt sind, die zur Durchführung der vereinfachten Kalibrierung ablaufen. In Fig. 11 haben Schritte mit funk­ tionell gleichen Inhalten wie diejenigen in Fig. 8 gleiche Bezugszeichen und eine detaillierte Beschreibung wird nach­ folgend abgekürzt oder weggelassen.

Für die vereinfachte Kalibrierung wird gemäß Schritt 280 zunächst die Funktionskarte 130 an der LSI-Testvorrich­ tung 50 angebracht. Sodann wird der Dummy-LSI 134 an der Funktionskarte 130 angebracht oder mit dieser verbunden.

Im Schritt 282 wird ein Relais 54 der LSI-Testvorrich­ tung 50 geschlossen. Da der Dummy-LSI 134 die ungeradzahli­ gen und geradzahligen Anschlüsse kurzgeschlossen oder mit­ einander in Verbindung hält, bildet die Durchführung des Schrittes 272 einen Rückkopplungspfad entsprechend einem ungeradzahligen Anschluß.

In den Schritten 222 bis 226, 262 und 230 bis 234 wird der Zeitversatzschaltkreis 30 entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß 22 (in diesem Falle des ungeradzah­ ligen Anschlusses) in seinem Status geeignet eingestellt, wie in der zweiten Ausführungsform.

Im Schritt 264 wird überprüft, ob die Einstellung des Zeitversatzschaltkreises 30 für alle ungeradzahligen und geradzahligen Anschlüsse abgeschlossen ist. Wenn noch ein geradzahliger Anschluß sich der Einstellung unterziehen muß, wird zu Schritt 284 verzweigt; wenn beurteilt wird, daß alle Anschlüsse sich der Einstellung unterzogen haben, wird zu Schritt 286 verzweigt.

Im Schritt 284 wird das Relais 54 geöffnet und ein Re­ lais 52 geschlossen. Da der Dummy-LSI 134 die ungeradzahli­ gen und geradzahligen Anschlüsse nach wie vor in Verbindung hält, bildet die Durchführung von Schritt 284 einen Rück­ kopplungspfad entsprechend einem geradzahligen Anschluß.

Danach werden der Schritt 222 und die darauffolgenden Schritte auf gleiche Weise durchgeführt, als ob der Rück­ kopplungspfad für einen ungeradzahligen Anschluß ausgebil­ det wäre. Die obigen Schritte stellen bei ihrer Durchfüh­ rung den Status des Zeitversatzschaltkreises 30 entspre­ chend dem geradzahligen Anschluß korrekt ein. Dies synchro­ nisiert die Zeitverhalten oder das Taktverhalten des Aus­ gangssignals an allen I/O-Anschlüssen 22.

Die Schritte 262 und 230 bis 234 der dritten Ausfüh­ rungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Mit dem oben be­ schriebenen Schema der vereinfachten Kalibrierung kann die Zeitverhalten-Kalibrierung für das Ausgangssignal in einer kurzen Zeitdauer ungeachtet der Anzahl von I/O-Anschlüssen 22 an der LSI-Testvorrichtung 50 abgeschlossen werden.

In den Schritten 286 und 238 bis 242 wird wie im Falle der ersten oder zweiten Ausführungsform der Zeitversatz­ schaltkreis 40 unter Verwendung des Ausgangssignals einge­ stellt, welches gerade eben korrekt kalibriert worden ist. Diese Schritte werden an den Schaltkreisen entsprechend al­ len I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt. Somit synchronisieren die obigen Schritte bei ihrer Durchführung die Bestimmungs­ zeitpunkte am Eingangssignal für alle I/O-Anschlüsse 22. Die Schritte 286 und 238 bis 242 der dritten Ausfüh­ rungsform können gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden. Mit dem obigen Schema der vereinfachten Kalibrierung kann der Bestimmungs­ zeitpunkt oder das Bestimmungszeitverhalten für das Ein­ gangssignal in einer kurzen Zeitdauer ungeachtet der Anzahl von I/O-Anschlüssen 22 durchgeführt werden, mit welchen die LSI-Testvorrichtung 50 ausgestattet ist.

Wie beschrieben kann die LSI-Testvorrichtung 50 gemäß der dritten Ausführungsform die vereinfachte Kalibrierung durchführen, während sie mit der Funktionskarte 130 verbun­ den ist. Dies erlaubt, daß die erfindungsgemäße LSI-Test­ vorrichtung 50 beim Einsatz in der Halbleiterherstellung eine hohe Durchsatzrate erzielen kann.

Die vereinfachte Kalbrierung der LSI-Testvorrichtung wird unter Verwendung von Rückkopplungs- oder Rückführungs­ pfaden durchgeführt, welche die Signalpfade 132 auf der Funktionskarte 130 aufweisen. Genauer gesagt, die verein­ fachte Kalibrierung verwendet Rückkopplungspfade mit den gesamten Bereichen der Signalpfade 132 zwischen den I/O-Anschlüssen 22 einerseits und dem zu testenden LSI an­ dererseits. Dies bedeutet, daß die vereinfachte Kalibrie­ rung der dritten Ausführungsform Auswirkungen oder Effekte aufgrund von Charakteristikänderungen in oder an den Si­ gnalpfaden 132 mit einem merklich höheren Genauigkeitsgrad absorbieren oder beseitigen kann, wie im Falle der zweiten Ausführungsform. Bei der Durchführung der vereinfachten Ka­ librierung schafft die dritte Ausführungsform somit eine noch genauere Zeitverhalten- oder Takteinstellung als die zweite Ausführungsform.

Obgleich die dritte Ausführungsform so gezeigt und be­ schrieben wurde, daß ein Rückkopplungspfad für jeden I/O-Anschluß 22 unter Verwendung des Signalpfades 132 ent­ sprechend dem benachbarten I/O-Anschluß 22 gebildet wird, ist die vorliegende Erfindung nicht hierauf beschränkt. Ab­ wandlungen können gemacht werden, wenn jeder I/O-Anschluß 22 die nachfolgenden drei Bedingungen erfüllt: Die erste Bedingung ist, daß ein Rückkopplungspfad geschaffen werden muß, um das Ausgangssignal S1 des Anschlußstifttreibers 32 auf den Schleifensteuerschaltkreis 46 zurückzuführen; die zweite Bedingung ist, daß der Rückkopplungspfad unter Ver­ wendung sowohl des Signalpfades 132 für den momentanen I/O-Anschluß 22 und des Signalpfades 132 entsprechend einem anderen I/O-Anschluß 22 ausgebildet wird; und die dritte Bedingung ist, daß der Signalpfad 132 in dem Rückkopplungs­ pfad für den momentanen I/O-Anschluß 22 und der Signalpfad 132 entsprechend dem anderen I/O-Anschluß 22 durch einen Dummy-IC oder dergleichen kurzgeschlossen oder verbunden sein müssen.

Jede der ersten bis dritten obigen Ausführungsformen wurde so beschrieben, daß der Status des Zeitversatzschalt­ kreises 30 unmittelbar nachdem Kalibrieren des Zeitverhal­ tens oder Taktverhaltens auf der Grundlage der Anzahl von Impulsen erkannt wird, welche von dem Universalzähler 48 über eine bestimmte Zeitdauer hinweg gezählt werden. Die Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Beispiels­ weise kann der Status des Zeitversatzschaltkreises 30 auf­ grund der Zeit erkannt werden, die notwendig ist, bis die Anzahl von von dem Universalzähler 48 gezählten Impulsen einen bestimmten Zählwert erreichen.

Die wesentlichen Vorteile der vorliegenden Erfindung gemäß obiger Beschreibung lassen sich wie folgt nochmals zusammenfassen:

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Ausgangssignal von jedem I/O-Anschluß über einen Rückkopplungspfad zurückgeführt. Da das Ausgangssignal, welches über den Rückkopplungspfad zurückgeschickt wird, von dem Zeitversatzschaltkreis erzeugte Verzögerungen wie­ dergibt, ist der Zustand oder Status des Zeitversatzschalt­ kreises, der unmittelbar nach der Schaltkreiseinstellung gespeichert wird, mit Sicherheit der richtige Status des Zeitversatzschaltkreises. Wenn die einzelnen Steuerschalt­ kreise den geeigneten oder richtigen Status der jeweiligen Zeitversatzschaltkreise aufrecht erhalten, kann der Ablauf des Versetzens eines jeden Zeitversatzschaltkreises in sei­ nen korrekten Zustand, das heißt, die Zeitverhalten-Kali­ brierung gleichzeitig an einer Mehrzahl von Steuerschalt­ kreisen durchgeführt werden. Die vorliegende Erfindung er­ möglicht somit eine Zeitverhalten-Kalibrierung innerhalb einer verkürzten Zeitdauer ohne Zugriff auf eine Zeitver­ satzkarte.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden nach der Erzeugung von Oszillationen in den Lei­ tungspfaden inklusive der Zeitversatzschaltkreise die An­ zahl von Impulsen, welche während der Oszillationen in den Rückkopplungspfaden erzeugt werden, gezählt und als Basis zum Erhalt der Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung aufgenommen. Wenn Oszillationen in einem Pfad inklusive ei­ nes Zeitversatzschaltkreises erzeugt werden, werden Impulse in Intervallen oder Abständen erzeugt, welche die Verzöge­ rungszeiten wiedergeben, die von dem Zeitversatzschaltkreis erzeugt werden. Somit schafft die vorliegende Erfindung bzw. das zugehörige Verfahren problemlos die Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung, welche den Status der Zeit­ versatzschaltkreise genau wiedergeben.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung können die Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung ver­ wendet werden, um die Zeitversatzschaltkreise einfach in ihre entsprechenden korrekten Zustände zu versetzen oder einzustellen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das zu­ gehörige Verfahren ist somit in der Lage, eine Zeitverhal­ ten-Kalibrierung an einer Mehrzahl von Steuerschaltkreisen problemlos und genau in kurzer Zeitdauer durchzuführen.

Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung werden jeder I/O-Anschluß und ein anderer I/O-Anschluß, der diesem in Frage stehenden Anschluß speziell zugeordnet ist, kurzgeschlossen, um einen Rückkopplungspfad zu bilden. Dies ermöglicht eine LSI-Testvorrichtung, welche in der Lage ist, Rückkopplungspfade leicht auszubilden.

Gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die LSI-Testvorrichtung in der Lage, Rückkopplungspfade für alle I/O-Anschlüsse auszubilden, während eine Funkti­ onskarte mit der Vorrichtung verbunden ist. Diese Anordnung stellt eine hochgenaue LSI-Testung sicher, da aufgrund von Alterungen erzeugte Änderungen an den Signalpfaden der Funktionskarte durch die Zeitverhalten-Kalibrierung besei­ tigt werden.

Gemäß einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die LSI-Testvorrichtung in der Lage, Rückkopplungspfade für alle I/O-Anschlüsse durch einfache Anordnung eines Dummy-ICs an einer angeschlossenen Funktionskarte ohne ir­ gendwelche Verdrahtungen auszubilden. Dieser Aufbau stellt auch eine hochgenaue LSI-Testung sicher, da altersbedingte Änderungen an den gesamten Abschnitten der Signalpfade der Funktionskarte durch die Zeitverhalten-Kalibrierung besei­ tigt werden.

Gemäß einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird unmittelbar nach Einstellung eines Zeitversatzschalt­ kreises der korrekte Status oder Zustand des Zeitversatz­ schaltkreises auf der Grundlage eines Ausgangssignals fest­ gestellt, das über den entsprechenden Rückkopplungspfad ge­ schickt wird. Wird der korrekte Zustand der Zeitversatz­ schaltkreise entsprechend den einzelnen I/O-Anschlüssen ge­ speichert, kann die Zeitverhalten-Kalibrierung gleichzeitig an einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen durchgeführt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt somit eine Zeitver­ halten-Kalibrierung in einer kurzen Zeitdauer ohne Rück­ griff auf eine Zeitversatzkarte.

Gemäß einem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung lassen sich die Rückkopplungspfade aller I/O-Anschlüsse leicht ausbilden, während eine Funktionskarte an der LSI- Testvorrichtung angebracht ist. Diese Vorgehensweise stellt eine hochgenaue LSI-Testung sicher, da Charakteristikände­ rungen aufgrund von Alterungen an den Signalpfaden der Funktionskarte durch die Zeitverhalten-Kalibrierung besei­ tigt werden.

Gemäß einem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung lassen sich die Rückkopplungspfade aller I/O-Anschlüsse problemlos durch einfaches Anordnen eines Dummy-ICs an der angeschlossenen Funktionskarte ohne Verdrahtungen oder der­ gleichen ausbilden. Dies stellt ebenfalls eine hochgenaue LSI-Testung sicher, da Charakteristikänderungen aufgrund von Alterungen an den gesamten Bereichen der Signalpfade der Funktionskarte durch die Zeitverhalten-Kalibrierung be­ seitigt werden.

Die vorliegende Erfindung beschreibt somit insoweit zu­ sammenfassend eine LSI-Testvorrichtung, sowie ein Zeitver­ halten-Kalibrierverfahren zur Verwendung hiermit. Ein Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis, ein Zeitver­ satzschaltkreis und ein Anschlußstifttreiber sind für jeden aus einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen vorgesehen, welche jeweils einer Mehrzahl von Anschlußstiften entsprechen, welche an einem LSI (Large Scale Integrated Circuit) vor­ handen sind. Ein Relais und ein Schleifensteuerschaltkreis sind dafür vorgesehen, ein Ausgangssignal von dem Anschluß­ stifttreiber zurück zur Eingangsseite des Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises zu liefern. Eine Zeitver­ satzkarte wird verwendet, den Zeitversatzschaltkreis einzu­ stellen, wodurch eine anfängliche Zeitverhalten-Kalibrie­ rung durchgeführt wird. Mit dem so eingestellten Zeitver­ satzschaltkreis werden über den Rückkopplungspfad hinweg Oszillationen oder Schwingungen erzeugt und die Anzahl von sich ergebenden Impulsen wird gezählt (um Impulszyklen zu erhalten). Wenn der Zeitversatzschaltkreis so eingestellt wird, daß die Anzahl der gezählten Pulse mit der Anzahl von Pulsen übereinstimmt, welche während der Schwingungen er­ zeugt wurden, wird eine vereinfachte Form von Zeitverhal­ ten-Kalibrierung möglich gemacht.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die dargestell­ ten und beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, sondern eine Vielzahl von Modifikationen und Abwandlungen kann ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen gemacht werden, wie er in den nachfolgenden Ansprüchen und deren Äquivalenten definiert ist.

Auf den gesamten Offenbarungsgehalt der Japanischen Pa­ tentanmeldung Nr. Hei 11-193481, angemeldet am 7. Juli 1999, wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung vollinhaltlich Bezug genommen.

Claims (13)

1. Eine LSI-Testvorrichtung zur Durchführung von Funkti­ onstests an einem LSI mit einer Mehrzahl von Anschluß­ stiften, wobei die LSI-Testvorrichtung dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß sie aufweist:
eine Mehrzahl von I/O-Anschlüssen (22), jeweils ent­ sprechend der Mehrzahl von Anschlußstiften an dem LSI; und
eine Mehrzahl von Steuerschaltkreisen entsprechend je­ weils der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen, wobei jeder aus der Mehrzahl von Steuerschaltkreisen beinhaltet:
einen Wellenform- und Zeitsignalerzeugungschaltkreis (28) zur Erzeugung eines Ausgangssignals bei Empfang eines Referenzsignals;
einen Zeitversatzschaltkreis (30) zur Einstellung des Zeitverhaltens des Ausgangssignals;
einen Rückkopplungspfad (44), um es zu ermöglichen, daß das Ausgangssignal, welches den Zeitversatzschaltkreis durchlaufen hat, zu einer Eingangsseite des Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises zurückgeführt wird; und
eine Zustandserkennungseinheit (48) zur Erkennung eines Zustands des Zeitversatzschaltkreises auf der Grundlage des über den Rückkopplungspfad geschickten Signals.

2. LSI-Testvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin gekenn­ zeichnet durch:
eine Oszillationseinheit (26, 210) zur Erzeugung von Oszillationen entlang eines Pfades, der den Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis, den Zeitversatz­ schaltkreis und den Rückkopplungspfad beinhaltet; und
ein Speichermedium (24) zum Speichern von Ergebnissen der Erkennung durch die Zustandserkennungseinheit (48); wobei
die Zustandserkennungseinheit einen Universalzähler (48) zum Zählen der Anzahl von Impulsen aufweist, wel­ che als Ergebnis der Oszillationen auf dem Rückkopp­ lungspfad auftreten; und wobei
das Speichermedium Referenzdaten für eine vereinfachte Bearbeitung auf der Grundlage von Zählwerten speichert, die von dem Universalzähler erhalten werden.

3. LSI-Testvorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin gekenn­ zeichnet durch eine Einstelleinheit (230, 232, 234) zum Einstellen des Zustandes des Zeitversatzschaltkreises derart, daß die von dem Universalzähler während der Os­ zillation erhaltenen Zählwerte den Referenzdaten für vereinfachte Verarbeitung entsprechen, die in dem Spei­ chermedium gespeichert sind.

4. Eine LSI-Testvorrichtung zur Durchführung von Funkti­ onstests an einem LSI mit einer Mehrzahl von Anschluß­ stiften, wobei die LSI-Testvorrichtung dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß sie aufweist:
eine Mehrzahl von I/O-Anschlüssen (22), jeweils ent­ sprechend der Mehrzahl von Anschlußstiften an dem LSI; und
eine Mehrzahl von Steuerschaltkreisen (28, 30, 32, 46, 48) entsprechend jeweils der Mehrzahl von I/O-Anschlüssen, wobei jeder aus der Mehrzahl von Steu­ erschaltkreisen beinhaltet:
einen Wellenform- und Zeitsignalerzeugungschaltkreis (28) zur Erzeugung eines Ausgangssignals bei Empfang eines Referenzsignals;
einen Zeitversatzschaltkreis (30) zur Einstellung des Zeitverhaltens des Ausgangssignals;
einen ersten Signal-Rückkopplungspfad (52, 54) zur Ver­ bindung eines speziellen I/O-Anschlusses unterschied­ lich zu dem I/O-Anschluß, der von dem Ausgangssignal, das den Zeitversatzschaltkreis durchlaufen hat, er­ reicht wird, mit einer Eingangsseite des Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreises; und
eine Zustandserkennungseinheit (48) zur Erkennung eines Zustands des Zeitversatzschaltkreises auf der Grundlage des über den ersten Signal-Rückkopplungspfad geschick­ ten Signals.

5. LSI-Testvorrichtung nach Anspruch 4, weiterhin gekenn­ zeichnet durch: eine Funktionskarte (120; 130) mit ei­ ner Mehrzahl von Signalpfaden (122; 132) zur Verbindung der Anschlußstifte des zu testenden LSI mit der Mehr­ zahl von I/O-Anschlüssen; wobei die Funktionskarte den Signalpfad eines jeden der I/O-Anschlüsse mit dem Signalpfad des speziellen I/O-Anschlusses entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß verbindet, um einen zweiten Signal-Rück­ kopplungspfad (122, 124; 132, 134) zu bilden.

6. LSI-Testvorrichtung nach Anspruch 5, weiterhin gekenn­ zeichnet durch ein Dummy-IC (134), welches an der Funk­ tionskarte anzuordnen ist; wobei der Signalpfad eines jeden I/O-Anschlusses mit dem Si­ gnalpfad des speziellen I/O-Anschlusses entsprechend dem in Frage stehenden I/O-Anschluß über eine interne Verdrahtung in dem Dummy-IC verbunden ist.

7. LSI-Testvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, weiterhin gekennzeichnet durch:
eine Oszillationseinheit (26, 254) zur Erzeugung von Oszillationen entlang eines Pfades, der den Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis, den Zeitversatz­ schaltkreis und den ersten Signal-Rückkopplungspfad be­ inhaltet; und
ein Speichermedium (24) zum Speichern von Ergebnissen der Erkennung durch die Zustandserkennungseinheit (48); wobei
die Zustandserkennungseinheit einen Universalzähler (48) zum Zählen der Anzahl von Impulsen aufweist, wel­ che als Ergebnis der Oszillationen auf dem ersten Si­ gnal-Rückkopplungspfad auftreten; und wobei
das Speichermedium Referenzdaten für eine vereinfachte Bearbeitung auf der Grundlage von Zählwerten speichert, die von dem Universalzähler erhalten werden.

8. LSI-Testvorrichtung nach Anspruch 7, weiterhin gekenn­ zeichnet durch eine Einstelleinheit (230, 232, 234) zum Einstellen des Zustandes des Zeitversatzschaltkreises derart, daß die von dem Universalzähler während der Os­ zillation erhaltenen Zählwerte den Referenzdaten für vereinfachte Verarbeitung entsprechen, die in dem Spei­ chermedium gespeichert sind.

9. Ein Zeitverhalten-Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Testvorrichtung, insbesondere einer LSI-Test­ vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur Durch­ führung von Funktionstests an einem LSI mit einer Mehr­ zahl von Anschlußstiften, wobei das Zeitverhalten-Kali­ brierverfahren gekennzeichnet ist durch die folgenden Schritte:
Einstellen eines Zeitversatzschaltkreises (30), der entsprechend einem jeden aus einer Mehrzahl von I/O-Anschlüssen (22) an der LSI-Testvorrichtung (40; 50) zugeordnet ist, derart, daß Ausgangssignale von den I/O-Anschlüssen in ihrem Zeitverhalten synchronisiert sind (200);
Ausbilden eines Rückkopplungspfades zum Führen des Aus­ gangssignals von jedem der I/O-Anschlüsse nach der Ein­ stellung des Zeitversatzschaltkreises zu einer Ein­ gangsseite eines Wellenform- und Zeitsignalerzeugungs­ schaltkreises (28), der das in Frage stehende Ausgangs­ signal erzeugt hat (202; 246, 250, 258; 270, 272, 274); und
Erkennen des Zustandes des Zeitversatzschaltkreises auf der Grundlage des über den Rückkopplungspfad geschick­ ten Signals (204 bis 214).

10. Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Test­ vorrichtung, nach Anspruch 9, weiterhin gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
Erzeugen von Oszillationen in einem Pfad mit dem Wel­ lenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis, dem Zeit­ versatzschaltkreis und dem Rückkopplungspfad (210; 254);
Zählen der Anzahl von Impulsen, die in dem Rückkopp­ lungspfad als Ergebnis der Oszillationen auftreten (212); und
Speichern von Referenzdaten für vereinfachte Bearbei­ tung auf der Grundlage von Impulszählwerten, die in dem Zählschritt erhalten werden (214).

11. Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Test­ vorrichtung, nach Anspruch 10, weiterhin gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
Erneutes Ausbilden des Rückkopplungspfades, wenn die Referenzdaten für vereinfachte Bearbeitung bereits ge­ speichert sind (220; 260, 266; 280, 282, 284);
erneutes Erzeugen von Oszillationen in dem Pfad mit dem Wellenform- und Zeitsignalerzeugungsschaltkreis, dem Zeitversatzschaltkreis und dem Rückkopplungspfad, nach­ dem der Rückkopplungspfad erneut ausgebildet wurde (228; 262); und
erneutes Einstellen des Zustandes des Zeitversatz­ schaltkreises derart, daß die Anzahl von Impulsen, wel­ che während der Oszillationen gezählt wurden, den Refe­ renzdaten für vereinfachte Bearbeitung entsprechen (230 bis 234).

12. Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Test­ vorrichtung, nach einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei der Schritt des Ausbildens des Rückkopplungspfades die folgenden Schritte aufweist:
Verbinden einer Eingangsseite des Wellenform- und Zeit­ signalerzeugungsschaltkreises, der einem beliebigen der I/O-Anschlüsse zugeordnet ist, mit einem speziellen I/O-Anschluß, der sich von diesem einen I/O-Anschluß unterscheidet (260, 266; 280, 282, 284); und
Verbinden des einen beliebigen I/O-Anschlusses mit dem speziellen I/O-Anschluß auf Seiten einer Funktionskarte (260; 280).

13. Kalibrierverfahren zur Verwendung mit einer LSI-Test­ vorrichtung, nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schritt des Ausbildens des Rückkopplungspfades den Schritt des Anordnens eines Dummy-IC (134) auf der Funktionskarte (280) beinhaltet; und
daß der Dummy-IC eine interne Verdrahtung zum Kurz­ schließen eines Signalpfades auf der Funktionskarte und in Verbindung mit irgendeinem I/O-Anschluß mit einem Signalpfad aufweist, der auf der Funktionskarte vorhan­ den ist und mit dem speziellen I/O-Anschluß in Verbin­ dung ist.