JP5429727B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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Description
この発明によると、基準信号入力端から入力される基準信号を用いて調整用コンパレータのタイミング調整が行われ、このタイミング調整が行われた調整用コンパレータを用いて複数のドライバのタイミング調整が行われる。
また、本発明の半導体試験装置は、前記制御部が、前記調整用コンパレータのタイミング調整を行う場合には、前記第2スイッチを制御して前記基準信号入力端と前記調整用コンパレータとの間を接続し、前記ドライバの調整を行う場合には、前記第2スイッチを制御して前記基準信号入力端と前記調整用コンパレータとの間を遮断するとともに、前記第1スイッチを制御して前記複数のドライバのうちの何れか1つと前記調整用コンパレータとの間を接続することを特徴としている。
図1は、本発明の第1実施形態による半導体試験装置の要部構成を示すブロック図である。図1に示す通り、本実施形態の半導体試験装置1は、パターン発生部11、フォーマッタ12、タイミング発生部13、ドライバピンブロック14a〜14k、判定部15、基準信号発生部16(基準信号生成部)、スイッチ部17,18、及び制御部19を備えており、被試験対象としての半導体デバイス40に対して試験信号S1〜Sn等を印加して得られる信号に基づいて半導体デバイス40の試験を行う。尚、ドライバピンブロック14aから出力される試験信号S1〜Snは、例えば半導体デバイス40のアドレスピンに印加され、これにより半導体デバイス40からデータが読み出された場合には、そのデータは不図示のIOピンで受信されてパス/フェイスが判定される。
次に、本発明の第2実施形態による半導体試験装置について説明する。本実施形態の半導体試験装置の全体構成は、図1に示した第1実施形態による半導体試験装置と同様の構成であるが、ドライバピンブロック14a〜14kに代えて図3に示すドライバピンブロック30を備える点が相違する。図3は、本発明の第2実施形態による半導体試験装置が備えるドライバピンブロックの構成を示す図である。
14a〜14k ドライバピンブロック
16 基準信号発生部
19 制御部
21a〜21n ドライバ
22 調整用コンパレータ
23 切替部
24 基準信号入力端
30 ドライバピンブロック
31a〜31n 調整用コンパレータ
32 調整用コンパレータ
33 セレクタ
34 基準信号入力端
40 半導体デバイス
S1〜Sn 試験信号
SS 基準信号
Claims (2)
- 半導体デバイスに試験信号を印加して得られる信号に基づいて前記半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
前記試験信号を生成する複数のドライバと、
前記ドライバの出力端に接続可能に設けられた前記ドライバのタイミング調整用の1つの調整用コンパレータと、
前記調整用コンパレータのタイミング調整のための基準信号が入力される基準信号入力端と、
前記複数のドライバと前記調整用コンパレータとの間を接続又は遮断する複数の第1スイッチと、前記基準信号入力端と前記調整用コンパレータとの間を接続又は遮断する第2スイッチとを有する切替部と
を含むドライバピンブロックと、
前記基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記ドライバの出力端を開放した状態で、前記基準信号生成部を制御して前記基準信号入力端から前記ドライバピンブロックに対して前記基準信号を入力させて前記調整用コンパレータのタイミング調整を行うとともに、前記複数のドライバのうちの何れか1つのドライバから出力されて前記調整用コンパレータを介した信号に応じて当該ドライバの調整を行う制御部と
を備えることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記制御部は、前記調整用コンパレータのタイミング調整を行う場合には、前記第2スイッチを制御して前記基準信号入力端と前記調整用コンパレータとの間を接続し、前記ドライバの調整を行う場合には、前記第2スイッチを制御して前記基準信号入力端と前記調整用コンパレータとの間を遮断するとともに、前記第1スイッチを制御して前記複数のドライバのうちの何れか1つと前記調整用コンパレータとの間を接続することを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。
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