DE112006001038T5

DE112006001038T5 - Prüfvorrichtung

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Publication number: DE112006001038T5
Application number: DE112006001038T
Authority: DE
Inventors: Takashi Hasegawa
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2005-04-28
Filing date: 2006-04-17
Publication date: 2008-03-20
Also published as: TWI314214B; TW200638053A; KR100922815B1; WO2006118012A1; JP2006308488A; US20080218179A1; JP4469753B2; US7834642B2; KR20070110374A

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist:
eine erste variable Verzögerungsschaltung, die ein erstes Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern eines Bezugsimpulssignals erzeugt wird;
einen ersten Taktkomparator, der ein von der geprüften Vorrichtung zu einer Zeit, die durch das erste Strobesignal bezeichnet ist, ausgegebenes Vorrichtungsausgangssignal erhält;
eine zweite variable Verzögerungsschaltung, die ein zweites Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern des ersten Strobesignals erzeugt wird;
einen zweiten Taktkomparator, der das Vorrichtungsausgangssignal zu einer Zeit, die durch das zweite Strobesignal bezeichnet ist, erhält;
eine Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung, die, wenn ein ansteigendes und ein abfallendes Signal zur selben Zeit wie das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben werden, beurteilt, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal zu einem früheren Zeitpunkt an dem ersten und dem zweiten Taktkomparator ankommt;
eine Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der erste Taktkomparator zu einer Zeit einer ansteigenden oder abfallenden Flanke das eine...

Description

PRÜFVORRICHTUNG
TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung, die eine Phasendifferenz zwischen ansteigenden und abfallenden Signalen, die von einer geprüften Vorrichtung (DUT) ausgegeben werden, einstellt, die während der Übertragung der Signale bewirkt wird, und dann die eingestellten ansteigenden und abfallenden Signale erhält. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die folgende japanische Patentanmeldung. Diese Patentanmeldung bezieht den Inhalt der folgenden japanischen Patentanmeldung ein, sofern dies anwendbar ist.
1. Japanische Patentanmeldung Nr. 2005-133250 , eingereicht am 28. April 2005.
STAND DER TECHNIK
8 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10 zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung (DUT) 400. Die Prüfvorrichtung 10 ist beispielsweise im Patentdokument 1 offenbart. Die Prüfvorrichtung 10 gibt in die DUT 400 ein Prüfsignal ein, das auf der Grundlage eines Prüfmusters zum Prüfen der DUT 400 erzeugt ist, und beurteilt, ob die DUT 400 eine Prüfung besteht oder nicht besteht, auf der Grundlage eines Ausgangssignals, das von der DUT 400 als Antwort auf das eingegebene Prüfsignal ausgegeben wird.
Die Prüfvorrichtung 10 enthält einen Periodengenerator 410, einen Mustergenerator 430, einen Taktgenerator 420, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 440, einen Treiber 450, einen Komparator 460, eine Taktvergleichsschaltung 470 und eine logische Vergleichsschaltung 480. Der Periodengenerator 410 erzeugt einen Bezugstakt, der als eine Bezugsgröße für die Operationen der Prüfvorrichtung 10 verwendet wird, auf der Grundlage von durch den Mustergenerator 430 bezeichneten Taktdaten. Der Periodengenerator 410 erzeugt auch einen periodischen Takt, der den Ausführungszyklus eines Prüfprogramms gemäß einem von dem Mustergenerator 430 ausgegebenen Befehl anzeigt, und liefert den erzeugten periodischen Takt zu dem Mustergenerator 430.
Der Mustergenerator 430 führt eine Folge eines durch einen Benutzer der Prüfvorrichtung 10 bezeichneten Prüfprogramms aus und erzeugt ein zu der DUT 400 zu lieferndes Prüfprogramm in jeder Prüfperiode, die durch den periodischen Takt bezeichnet ist. Der Mustergenerator 430 erzeugt auch einen erwarteten Wert für das Ausgangssignal, das von der DUT 400 ausgegeben wird, und liefert den erzeugten erwarteten Wert zu der logischen Vergleichsschaltung 480. Der Taktgenerator 420 erzeugt für jede Prüfperiode einen Takt des Zuführens eines gemäß einem Prüfmuster erzeugten Prüfsignals.
Die Wellenform-Formungsvorrichtung 440 ist ein Wellenformformatierer, der das Prüfmuster von dem Mustergenerator 430 empfängt, eine Wellenform formt und ein Prüfsignal auf der Grundlage des von dem Taktgenerator 420 empfangenen Takts ausgibt. Mit anderen Worten, die Wellenform-Formungsvorrichtung 440 gibt ein Signal mit einer Wellenform, die durch das Prüfmuster bezeichnet ist, beispielsweise zu der durch den Taktgenerator 420 bezeichneten Zeit zu dem Treiber 450 aus. Der Treiber 450 liefert das von der Wellenform-Formungsvorrichtung 440 empfangene Prüfsignal zu der DUT 400.
Der Komparator 460 empfängt ein von der DUT 400 ausgegebenes Vorrichtungsausgangssignal und erfasst, ob das Vorrichtungsausgangssignal dem logischen Wert H oder L entspricht, auf der Grundlage des Spannungspegels des Vorrichtungsausgangssignals. Die Taktvergleichsschaltung 470 erhält den logischen Wert des Vorrichtungsausgangssignals, der von dem Komparator 460 zu einem bezeichneten Zeitpunkt ausgegeben wird, und gibt das erhaltene Ergebnis zu der logischen Vergleichsschaltung 480 aus. Auf diese Weise gibt die Taktvergleichsschaltung 470 zu der Taktvergleichsschaltung 470 ein Taktvergleichsergebnis aus, das durch Vergleichen des variierenden Takts der Wellenform des Vorrichtungsausgangssignals mit dem bezeichneten Takt erhalten wird. Die logische Vergleichsschaltung 480 vergleicht das Ausgangssignal der Takt vergleichsschaltung 470 mit dem erwarteten Wert. Auf die vorbeschriebene Weise kann die Prüfvorrichtung 10 beurteilen, ob die DUT 400 die Prüfung besteht oder nicht besteht.

[Patentdokument 1] Veröffentlichung der ungeprüften japanischen Patentanmeldung Nr. H08-62301

OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Wenn die Prüfvorrichtung 10 beurteilt, ob die DUT 400 selbst die Prüfung besteht oder nicht besteht, muss die Taktvergleichsschaltung 470 gleichzeitig die Signale erhalten, die sämtlich zur gleichen Zeit von mehreren Ausgangsanschlüssen der DUT 400 ausgegeben werden. Obgleich die DUT 400 die Signale zur gleichen Zeit ausgibt, kommen die Signale jedoch zu unterschiedlichen Zeitpunkten an der Taktvergleichsschaltung 470 an aufgrund verschiedener Faktoren enthaltend eine Varianz zwischen den Ausgangsanschlüssen in Bezug auf die Pfadlänge von der DUT 400 zu der Taktvergleichsschaltung 470. Daher muss die Taktvergleichsschaltung 470 die Zeitvarianz absorbieren.
In gleicher Weise bewirkt die Pfadlänge zwischen der DUT 400 und der Taktvergleichsschaltung 470 oder den logischen Elementen eine Differenz zwischen einer Zeit von der Ausgabe eines ansteigenden Signals durch die DUT 400 bis zu der Ankunft des ansteigenden Signals an der Taktvergleichsschaltung 470 und einer Zeit von der Ausgabe eines abfallenden Signals durch die DUT 400 bis zu der Ankunft des abfallenden Signals an der Taktvergleichsschaltung 470. Daher muss die Taktvergleichsschaltung 470 eine Takteinstellope ration derart durchführen, dass sie in der Lage ist, gleichzeitig die ansteigenden und abfallenden Signale, die zur gleichen Zeit von der DUT 400 ausgegeben werden, zu erhalten.
Angesichts des Vorstehenden besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die die vorgenannten Probleme lösen kann. Diese Aufgabe wird gelöst durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen angegebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält eine erste variable Verzögerungsschaltung, die ein erstes Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern eines Bezugsimpulssignals erzeugt ist, einen ersten Taktkomparator, der ein von der geprüften Vorrichtung zu einer durch das erste Strobesignal bezeichneten Zeit ausgegebenes Vorrichtungsausgangssignal empfängt, eine zweite variable Verzögerungsschaltung, die ein zweites Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern des ersten Strobesignals erzeugt wird, einen zweiten Taktkomparator, der das Vorrichtungsausgangssignal zu einer durch das zweite Strobesignal bezeichneten Zeit erhält, eine Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung, die, wenn ein ansteigendes Signal und ein abfallendes Signal zur gleichen Zeit wie das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben werden, beurteilt, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal zu einem früheren Zeitpunkt an dem ersten und dem zweiten Taktkomparator ankommt, eine Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der erste Taktkomparator zu einer Zeit einer ansteigenden oder abfallenden Flanke entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, erhält, eine Folgeflanken-Erfassungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der zweite Taktkomparator zu einer Zeit einer ansteigenden oder abfallenden Flanke entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als später ankommend beurteilt wird, erhält, ein UND-Glied, das eine logische UND-Verknüpfung zwischen einem Ausgangssignal des ersten Taktkomparators und einem Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators ausgibt, ein ODER-Glied, das eine logische ODER-Verknüpfung zwischen dem Ausgangssignal des ersten Taktkomparators und dem Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators ausgibt, und eine Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung, die als ein Taktvergleichsergebnis, das auf der Grundlage des Vorrichtungsausgangssignals während der Prüfung erhalten wird, (i) das Ausgangssignal des UND-Glieds auswählt, wenn beurteilt wird, dass das ansteigende Signal früher als das abfallende Signal ankommt, und (ii) das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, wenn beurteilt wird, dass das abfallende Signal früher als das ansteigende Signal ankommt.
Die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung kann bewirken, dass entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, für eine Einstellverwendung als das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben wird, und den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung so einstellen, dass der erste Taktkomparator das Vorrich tungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu der Zeit der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Die Folgeflanken-Erfassungsschaltung kann bewirken, dass entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung so einstellen, dass der zweite Taktkomparator das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu der Zeit der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine erste Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem ersten Taktkomparator und den UND- und ODER-Gliedern angeordnet ist, wobei die erste Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zur (i) Eingabe des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators in die UND- und ODER-Glieder oder (ii) Maskierung des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators und Eingabe eines Signals, das einen logischen Wert L anzeigt, in die UND- und ODER-Glieder, und eine zweite Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem zweiten Taktkomparator und den UND- und ODER-Gliedern angeordnet ist, wobei die zweite Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zur (I) Eingabe des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators in die UND- und ODER-Glieder oder (II) Maskierung des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators und Eingabe eines Signals, das einen logischen Wert L anzeigt, in das UND- und ODER-Glied.
In einem derartigen Zustand, in welchem die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die zweite Auswahlvorrichtung das Signal, das den logischen Wert L anzeigt, auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, kann die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung einstellen, während entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und in einem derartigen Zustand, in welchem die Folgeflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die erste Auswahlvorrichtung das Signal, das den logischen Wert L anzeigt, auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, kann die Folgeflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung einstellen, während entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird.
Die Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung kann enthalten: eine Eingabesteuerschaltung, die bewirkt, dass das Vorrichtungsausgangssignal wiederholt eingegeben wird, während bewirkt wird, dass die zweite Auswahlvorrichtung das Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators maskiert und das den logischen Wert L anzeigende Signal ausgegeben wird, und bewirkt wird, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, eine erste Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung, die, indem bewirkt wird, dass der erste Taktkomparator aufeinanderfolgend das ansteigende Signal, das wiederholt eingege ben wird, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung verändert wird, erhält, einen ersten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung erfasst, wodurch ermöglicht wird, dass der erste Taktkomparator das ansteigende Signal zu der Zeit der ansteigenden Flanke erhält, eine zweite Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung, die, indem bewirkt wird, dass der erste Taktkomparator aufeinanderfolgend das abfallende Signal, das wiederholt eingegeben wird, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung verändert wird, erhält, einen zweiten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung erfasst, wodurch dem ersten Taktkomparator ermöglicht wird, das abfallende Signal zu der Zeit der abfallenden Flanke zu erhalten, und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, dass das ansteigende Signal früher als das abfallende Signal ankommt, wenn der erste Verzögerungsbetrag kleiner als der zweite Verzögerungsbetrag ist, und beurteilt, dass das ansteigende Signal später als das abfallende Signal ankommt, wenn der erste Verzögerungsbetrag größer als der zweite Verzögerungsbetrag ist.
Der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung kann durch die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung so eingestellt werden, dass er gleich dem kleineren von dem ersten und dem zweiten Verzögerungsbetrag ist.
Die Verdrahtung von dem ersten und dem zweiten Taktkomparator zu der ersten und der zweiten Auswahlvorrichtung kann länger sein als die Verdrahtung von der ersten und der zweiten Auswahlvorrichtung zu dem UND- und dem ODER-Glied.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine erste Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem ersten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, wobei die erste Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zur (i) Eingabe des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (ii) Maskierung des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators und Eingabe eines Signals, das einen logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied, und eine zweite Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem zweiten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, wobei die zweite Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zur (I) Eingabe des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (II) Maskierung des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators und Eingabe eines Signals, das einen logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied.
In einem derartigen Zustand, in welchem die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die zweite Auswahlvorrichtung das Signal auswählt, das den logischen Wert H anzeigt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des UND-Glieds auswählt, kann die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung einstellen, während entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und in einem derartigen Zustand, in welchem die Folgeflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die erste Auswahlvorrichtung das den logischen Wert H anzeigende Signal auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangs signal des UND-Glieds auswählt, kann die Folgeflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung einstellen, während entweder das ansteigende oder das abfallende Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird.
Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
WIRKUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung kann eine Prüfvorrichtung vorsehen, die wirksam eine Phasendifferenz zwischen einem ansteigenden Signal und einem abfallenden Signal, die von einer DUT ausgegeben werden, welche während der Übertragung der Signale bewirkt werden kann, einstellen und das eingestellte ansteigende und abfallende Signal erhalten kann.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer Taktvergleichsschaltung 470.
2A und 2B illustrieren ein Verzögerungsbetrag-Einstellverfahren, das von der Taktvergleichsschaltung 470 angewendet wird.
3A bis 3D sind erste Diagramme, die ein von der Taktvergleichsschaltung 470 angewen detes Taktvergleichsverfahren illustrieren.
4A bis 4D sind zweite Diagramme, die ein von der Taktvergleichsschaltung 470 angewendetes Taktvergleichsverfahren illustrieren.
5 illustriert die Konfiguration einer Taktvergleichsschaltung 470, die auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezogen ist.
6 illustriert die Konfiguration einer Taktvergleichs-Steuerschaltung 190, die auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezogen ist.
7 ist ein Flussdiagramm, das die von einer Prüfvorrichtung 10, die auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezogen ist, durchgeführte Operation illustriert.
8 illustriert die Konfiguration der Prüfvorrichtung 10.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. Das Ausführungsbeispiel begrenzt die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in dem Ausführungsbeispiel beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
1 illustriert die Konfiguration der Taktvergleichsschaltung 470, die zur Absorption einer Zeitdifferenz zwischen einem ansteigenden Signal und ei nem abfallenden Signal ausgebildet ist. Die Taktvergleichsschaltung 470 enthält eine gemeinsame variable Verzögerungsschaltung 500, eine abfallseitige variable Verzögerungsschaltung 505, einen abfallseitigen Taktkomparator 510, eine anstiegsseitige variable Verzögerungsschaltung 520, einen anstiegsseitigen Taktkomparator 530, ein UND-Glied 560, ein ODER-Glied 570 und eine Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580. Die gemeinsame variable Verzögerungsschaltung 500 gibt ein gemeinsames Strobesignal STRB aus, das erhalten wird durch Verzögern des Impulssignals, das von dem Taktgenerator 420 eingegeben und als eine Bezugsgröße für den Taktvergleich verwendet wird, um eine vorbestimmte Zeit.
Die abfallseitige variable Verzögerungsschaltung 505 gibt ein abfallseitiges Strobesignal STRB_HL aus, das durch Verzögern des gemeinsamen Strobesignals STRB um eine vorbestimmte Zeit erhalten wird. Das abfallseitige Strobesignal STRB_HL wird zur Erfassung der abfallenden Flanke des Vorrichtungsausgangssignals verwendet. Der abfallseitige Taktkomparator 510 empfängt über den Komparator 460 den logischen Wert HSENSE des von der DUT 400 ausgegebenen Vorrichtungsausgangssignals und erhält den logischen Wert HSENSE zu einer durch das abfallseitige Strobesignal STRB_HL bezeichneten Zeit.
Die anstiegsseitige variable Verzögerungsschaltung 520 gibt ein anstiegsseitiges Strobesignal STRB_LH aus, das durch Verzögern des gemeinsamen Strobesignals STRB um eine vorbestimmte Zeit erhalten wird. Das anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH wird zur Erfassung der ansteigenden Flanke des Vorrichtungsausgangssignals verwendet. Der anstiegsseitige Taktkomparator 530 empfängt über den Komparator 460 den lo gischen Wert HSENSE des von der DUT 400 ausgegebenen Vorrichtungsausgangssignals und erhält den logischen Wert HSENSE zu einer durch das anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH bezeichneten Zeit. Das UND-Glied 560 gibt eine logische UND-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des abfallseitigen Taktkomparators 510 und des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 aus. Das ODER-Glied 570 gibt eine logische ODER-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des abfallseitigen Taktkomparators 510 und des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 aus. Die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 gibt das Ausgangssignal entweder des UND-Glieds 560 oder des ODER-Glieds 570 gemäß dem eingegebenen Vergleichsergebnis-Auswahlsignal als ein Taktvergleichsergebnis FH für das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE aus.
Hier wird das von der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500 empfangene Bezugsimpulssignal mit dem Bezugstakt für die Prüfvorrichtung 10 synchronisiert. Daher können der abfallseitige Taktkomparator 510 und der anstiegsseitige Taktkomparator 530 Vorrichtungsausgangssignale erhalten, die von der DUT 400 zur gleichen Zeit mit Bezug auf den Bezugstakt ausgegeben werden, nach dem Verstreichen einer festen Verzögerungszeit, die durch die gemeinsame variable Verzögerungsschaltung 500, die abfallseitige variable Verzögerungsschaltung 505 und die anstiegsseitige variable Verzögerungsschaltung 520 bestimmt ist, wenn nicht die Verzögerungsbeträge der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500, der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 und der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 geändert werden.
Die 2A und 2B illustrieren ein Verzögerungsbetrags-Einstellverfahren, das von der Taktvergleichsschaltung 470 angewendet wird.
Vor einer Prüfung der DUT 400 stellt die Prüfvorrichtung 10 vorher die Zeitpunkte ein, zu denen die Taktvergleichsschaltung 470 die ansteigenden und abfallenden Signale erhält. Diese Einstellung wird beispielsweise wie folgt durchgeführt.
Am Anfang wird die Prüfvorrichtung 10 in einer solchen Weise ausgebildet, dass sie in der Lage ist, die ansteigenden und abfallenden Signale zur selben Zeit von Kontaktpunkten zwischen der Prüfvorrichtung 10 und den Ausgangsanschlüssen der DUT 400 auszugeben. Beispielsweise hat die Prüfvorrichtung 10 eine Funktionsplatte für eine Einstellverwendung anstelle einer Funktionsplatte, auf der die DUT 400 vorgesehen ist. Die Funktionsplatte für eine Einstellverwendung ist so ausgebildet, dass ein von einem beliebigen Treiber 450 ausgegebenes Signal direkt in den Komparator 460 eingegeben wird. Hier bestimmt die Prüfvorrichtung 10 die Anstiegs- und Abfallseiten der von dem Treiber 450 ausgegebenen Signale derart, dass die Zeiten, die durch die ansteigenden und abfallenden Signale angezeigt werden, als dieselben an den Kontaktpunkten zwischen der Prüfvorrichtung 10 und den Ausgangsanschlüssen der DUT 400 beobachtet werden. Alternativ kann die Prüfvorrichtung 10 eine DUT 400 für eine Einstellverwendung enthalten. Die DUT 400 für eine Einstellverwendung kann die ansteigenden und abfallenden Signale zur selben Zeit ausgeben.
Nachfolgend stellt die Prüfvorrichtung 10 die Verzögerungsbeträge der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 und der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 so ein, dass sie in der Lage ist, die ansteigenden und abfallenden Signale, die zur selben Zeit über ihre Kontaktpunkte mit den Ausgangsanschlüssen der DUT 400 in diese eingegeben werden, zur selben Zeit zu erhalten. Das heißt, während ein Bezugsanstiegssignal für eine Einstellverwendung empfangen wird, wobei der Verzögerungsbetrag der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500 festgelegt ist, stellt die Prüfvorrichtung 10 den Verzögerungsbetrag der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 so ein, dass der anstiegsseitige Taktkomparator 530 das ansteigende Signal zu seinem variierenden Zeitpunkt erhält. Genauer gesagt, die Prüfvorrichtung 10 setzt einen Rücksetzeingang (nicht gezeigt) des abfallseitigen Taktkomparators 510 auf den logischen Wert H, um den Ausgang QHL des abfallseitigen Taktkomparators 510 auf dem logischen Wert L zu halten. Auch wird in der Prüfvorrichtung 10 der Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals auf null gesetzt, so dass das Ausgangssignal des ODER-Glieds 570 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgegeben wird. Bei diesen Einstellungen wird das ansteigende Signal für eine Einstellverwendung wiederholt eingegeben, während der Verzögerungsbetrag der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 aufeinanderfolgend um einen vorbestimmten Betrag erhöht wird, wie in 2A illustriert ist. Somit variiert das Ausgangssignal der Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 von dem logischen Wert L zu dem logischen Wert H an dem Veränderungspunkt des ansteigenden Signals. Auf der Grundlage hiervon bestimmt die Prüfvorrichtung 10 den Verzögerungsbetrag der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 derart, dass der anstiegsseitige Taktkomparators 530 das Vorrichtungsausgangssignal zu einem Zeitpunkt un mittelbar vor oder nach dem Veränderungspunkt des ansteigenden Signals erhalten kann.
Nachfolgend stellt die Prüfvorrichtung 10, während sie ein Bezugsabfallssignal für eine Einstellverwendung mit dem auf den vorgenannten Wert festgelegten Verzögerungsbetrag der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500 empfängt, den Verzögerungsbetrag der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 so ein, dass der abfallseitige Taktkomparator 510 das abfallende Signal zu der Zeit seines Veränderungspunkts erhalten kann. Genauer gesagt, die Prüfvorrichtung 10 setzt einen Rücksetzeingang (nicht gezeigt) des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 auf den logischen Wert H, um den Ausgang des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 auf dem logischen Wert L zu halten. Auch wird in der Prüfvorrichtung 10 der Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals auf null gesetzt, so dass das Ausgangssignal des ODER-Glieds 570 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgegeben wird. Bei diesen Einstellungen wird das abfallende Signal für eine Einstellverwendung wiederholt eingegeben, während der Verzögerungsbetrag der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 aufeinanderfolgend um einen vorbestimmten Betrag erhöht wird, wie in 2B illustriert ist. Somit variiert das Ausgangssignal der Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 von dem logischen Wert H zu dem logischen Wert L an dem Veränderungspunkt des abfallenden Signals. Auf der Grundlage hiervon bestimmt die Prüfvorrichtung 10 den Verzögerungsbetrag der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 derart, dass der abfallseitige Taktkomparator 510 das Vorrichtungsausgangssignal zu einem Zeitpunkt unmittelbar vor oder nach dem Veränderungspunkt des abfallenden Signals erhalten kann.
Diesem folgend beurteilt die Prüfvorrichtung 10, welcher von dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 und dem abfallseitigen Taktkomparator 510 die Vorrichtungsausgangssignale zu einem früheren Zeitpunkt erhält. Mit anderen Worten, die Prüfvorrichtung 10 beurteilt, welcher von dem Verzögerungsbetrag TpLH der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 und dem Verzögerungsbetrag TpHL der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 kleiner ist. Auf der Grundlage dieser Beurteilung bestimmt die Prüfvorrichtung 10 den Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals, der während einer Prüfung zu verwenden ist. Genauer gesagt, die Prüfvorrichtung 10 empfängt ein Vorrichtungsausgangssignal mit derselben Wellenform, das heißt, ein ansteigendes Signal, während die Verzögerungsbeträge der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 und der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 festgelegt sind und der Verzögerungsbetrag der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500 variiert wird. Auf diese Weise erhält die Prüfvorrichtung 10 einen Verzögerungsbetrag Ta der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500, der dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 ermöglicht, ein ansteigendes Signal zu der Zeit entsprechend dem Veränderungspunkt zu erhalten, und einen Verzögerungsbetrag Tb der gemeinsamen variablen Verzögerungsschaltung 500, der dem abfallseitigen Taktkomparator 510 ermöglicht, das ansteigende Signal zu einer Zeit entsprechend dem Veränderungspunkt zu erhalten. Hier wird der Ausgang von einem von den anstiegsseitigen Taktkomparator 530 und dem abfallseitigen Taktkomparator 510, der nicht gemessen wird, durch den Rücksetzeingang auf null festgelegt. Hier zeigt ein Ergebnis Ta > Tb an, dass TpLH < TpHL. Dies bedeutet, dass, wenn ansteigende und abfallende Sig nale zur selben Zeit ausgegeben werden, das ansteigende Signal an dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 und dem abfallseitigen Taktkomparator 510 ankommt, bevor das abfallende Signal dies tut. Andererseits zeigt ein Ergebnis Ta < Tb an, dass TpLH > TpHL. Dies bedeutet, dass, wenn ansteigende und abfallende Signale zur selben Zeit ausgegeben werden, das ansteigende Signal bei dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 und dem abfallseitigen Taktkomparator 510 ankommt, nachdem das abfallende Signal dies tut.
Die 3A bis 3D sind erste Diagramme, die das von der Taktvergleichsschaltung 470 verwendete Taktvergleichsverfahren illustrieren.
In dem Fall von TpLH < TpHL steigt das von der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 ausgegebene anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH an, bevor das von der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 ausgegebene abfallseitige Strobesignal STRB_HL dies tut. In diesem Fall kann, um zu ermöglichen, dass die ansteigende Flanke des Vorrichtungsausgangssignals HSENSE mittels des anstiegsseitigen Strobesignals STRB_LH erfasst wird, und zu ermöglichen, dass die abfallende Flanke mittels des abfallseitigen Strobesignals STRB_ML erfasst wird, die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Ausgangssignal des UND-Glieds 560 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 mit dem Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals, der auf eins gesetzt ist, ausgeben, wie im Folgenden diskutiert wird.
Wenn das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE ansteigt, muss die Taktvergleichsschaltung 470 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ein Ergebnis ausgeben, das in einer solchen Weise erhalten wurde, dass der anstiegsseitige Taktkomparator 530 das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE erhält. Hier zeigt, wenn das Ausgangssignal QLH des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 den logischen Wert L anzeigt, das Ausgangssignal QHL des abfallseitigen Taktkomparators 510 den logischen Wert L oder H an in Abhängigkeit von der relativen Beziehung entlang der Zeitachse zwischen dem Vorrichtungsausgangssignal HSENSE und dem abfallseitigen Strobesignal STRB_HL (3A). Andererseits zeigt, wenn das Ausgangssignal QLH von dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 den logischen Wert H anzeigt, das Ausgangssignal QHL des abfallseitigen Taktkomparators 510 den logischen Wert H an, da das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE durch das abfallseitige Strobesignal STRB_HL, das dem anstiegsseitigen Strobesignal STRB_LH folgt, erhalten wird (3B). Als eine Folge kann die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Vergleichsergebnissignal FH, das gemäß dem Ausgangssignal des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 bestimmt ist, zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben, indem das UND-Glied 560 ausgewählt wird, das die logische UND-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 ausgibt.
Wenn das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE fällt, muss die Taktvergleichsschaltung 470 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ein Ergebnis ausgeben, das in einer solchen Weise erhalten wurde, dass der abfallseitige Taktkomparator 510 das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE erhält. Hier zeigt, wenn das Ausgangssignal QHL von dem abfallseitigen Taktkomparator 510 den logischen Wert L anzeigt, das Ausgangssignal QLH des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 den logi schen Wert L oder H in Abhängigkeit von der relativen Beziehung entlang der Zeitachse zwischen dem Vorrichtungsausgangssignal HSENSE und dem anstiegsseitigen Strobesignal STRB_LH an (3C). Andererseits zeigt, wenn das Ausgangssignal QHL von dem abfallseitigen Taktkomparator 510 den logischen Wert H anzeigt, das Ausgangssignal QLH des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 den logischen Wert H an, da das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE durch das anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH, das dem abfallseitigen Strobesignal STRB_HL vorhergeht, erhalten wird (3D). Als eine Folge kann die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Vergleichsergebnissignal FH, das gemäß dem Ausgangssignal des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 bestimmt wurde, zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben, indem das UND-Glied 560 ausgewählt wird, das die logische UND-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 ausgibt.
Wie vorstehend diskutiert wird, wählt in dem Fall von TpLH < TpHL die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Ausgangssignal des UND-Glieds 560 aus. Auf diese Weise kann die Taktvergleichsschaltung 470 die ansteigende bzw. abfallende Flanke des Vorrichtungsausgangssignals HSENSE durch Verwendung des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 angemessen erhalten.
Die 4A bis 4D sind zweite Diagramme, die das von der Taktvergleichsschaltung 470 verwendete Taktvergleichsverfahren illustrieren.
In dem Fall von TpLH > TpHL steigt das von der anstiegsseitigen variablen Verzögerungsschaltung 520 ausgegebene anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH an, nachdem das von der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 ausgegebene abfallseitige Strobesignal STRB_HL dies tut. In diesem Fall kann, um zu ermöglichen, dass die ansteigende Flanke des Vorrichtungsausgangssignals HSENSE mittels des anstiegsseitigen Strobesignals STRB_HL erfasst wird, und zu ermöglichen, dass die abfallende Flanke mittels des abfallseitigen Strobesignals STRB_HL erfasst wird, die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 570 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 mit dem auf null gesetzten Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals ausgeben, wie nachfolgend diskutiert wird.
Wenn das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE ansteigt, muss die Taktvergleichsschaltung 470 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ein in einer solchen Weise erhaltenes Ergebnis, dass der anstiegsseitige Taktkomparator 530 das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE erhält, ausgeben. Hier zeigt, wenn das Ausgangssignal QLH von dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 den logischen Wert L anzeigt, das Ausgangssignal QHL von dem abfallseitigen Taktkomparator 510 den logischen Wert L an, da das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE durch das abfallseitige Strobesignal STRB_HL erhalten wird, das dem anstiegsseitigen Strobesignal STRB_LH vorhergeht (4A). Andererseits zeigt, wenn das Ausgangssignal QLH von dem anstiegsseitigen Taktkomparator 530 den logischen Wert H anzeigt, das Ausgangssignal QHL des abfallseitigen Taktkomparators 510 den logischen Wert L oder H an in Abhängigkeit von der relativen Beziehung entlang der Zeitachse zwischen dem Vorrichtungsausgangssignal HSENSE und dem abfallseitigen Strobesignal STRB_HL (4B). Als eine Folge kann die Vergleichsergebnis-Auswahl schaltung 580 das Vergleichsergebnissignal FH, das gemäß dem Ausgangssignal des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 bestimmt ist, zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben, indem das ODER-Glied 570 ausgewählt ist, das die logische ODER-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 ausgibt.
Wenn das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE fällt, muss die Taktvergleichsschaltung 470 ein in einer solchen Weise erhaltenes Ergebnis, dass der abfallseitigen Taktkomparator 510 das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE erhält, zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben. Hier zeigt, wenn das Ausgangssignal QHL des abfallseitigen Taktkomparators 510 den logischen Wert H anzeigt, das Ausgangssignal QHL des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 den logischen Wert L oder H in Abhängigkeit von der relativen Beziehung entlang der Zeitachse zwischen dem Vorrichtungsausgangssignal HSENSE und dem anstiegsseitigen Strobesignal STRB_LH an (4C). Andererseits zeigt, wenn das Ausgangssignal QHL von dem abfallseitigen Taktkomparator 510 den logischen Wert L anzeigt, das Ausgangssignal QLH des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 den logischen Wert H an, da das Vorrichtungsausgangssignal HSENSE durch das anstiegsseitige Strobesignal STRB_LH erhalten wird, das dem abfallseitigen Strobesignal STRB_HL folgt (4D). Als eine Folge kann die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Vergleichsergebnissignal FH, das gemäß dem Ausgangssignal des abfallseitigen Taktkomparators 510 bestimmt ist, zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben, indem das UND-Glied 560 ausgewählt wird, das die ODER-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des anstiegsseitigen Takt komparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 ausgibt.
Wie vorstehend diskutiert ist, wählt in dem Fall von TpLH > TpHL die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 580 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 570 aus. Auf diese Weise kann die Taktvergleichsschaltung 470 angemessen die ansteigende bzw. abfallende Flanke des Vorrichtungsausgangssignals HSENSE durch Verwendung des anstiegsseitigen Taktkomparators 530 und des abfallseitigen Taktkomparators 510 erhalten.
5 illustriert die Konfiguration der Taktvergleichsschaltung 470 in der Prüfvorrichtung 10, die auf das vorliegende Ausführungsbeispiel bezogen ist. Die auf das vorliegende Ausführungsbeispiel bezogene Taktvergleichsschaltung 470 wird erhalten durch Weglassen der abfallseitigen variablen Verzögerungsschaltung 505 in der in 1 gezeigten Taktvergleichsschaltung 470, und sie hat somit einen geringeren Schaltungsumfang als die in die 1 gezeigte Taktvergleichsschaltung 470. Jedoch erhält die Taktvergleichsschaltung 470 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ebenfalls angemessen die ansteigende und abfallende Flanke des Vorrichtungsausgangssignals. Die Taktvergleichsschaltung 470 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält eine erste variable Verzögerungsschaltung 100, einen ersten Taktkomparator 110, eine zweite variable Verzögerungsschaltung 120, einen zweiten Taktkomparator 130, eine erste Auswahlvorrichtung 140, eine zweite Auswahlvorrichtung 150, ein UND-Glied 160, ein ODER-Glied 170, eine Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 und eine Taktvergleichs-Steuerschaltung 190.
Die erste variable Verzögerungsschaltung 100 gibt ein erstes Strobesignal STRB1 aus, das durch Verzögern eines Impulssignals, das von dem Taktgenerator 420 eingegeben und als eine Bezugsgröße für einen Taktvergleich verwendet wird, um eine vorbestimmte Zeit erzeugt wird. Der erste Taktkomparator 110 erhält das Vorrichtungsausgangssignal zu einer durch das von der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 ausgegebene erste Strobesignal bezeichneten Zeit. Die zweite variable Verzögerungsschaltung 120 gibt ein zweites Strobesignal STRB2 aus, das durch Verzögern des ersten Strobesignals um eine vorbestimmte Zeit erzeugt wird. Der zweite Taktkomparator 130 erhält das Vorrichtungsausgangssignal zu einer durch einer durch das zweite Strobesignal bezeichneten Zeit.
Die erste Auswahlvorrichtung 140 ist so verbunden, dass sie zwischen dem ersten Taktkomparator 110 und dem UND- und ODER-Glied 160 und 170 angeordnet ist. Die erste Auswahlvorrichtung 140 führt gemäß einem Auswahlsignal von der Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 eine Auswahl durch, um das Ausgangssignal des ersten Taktkomparators 110 in das UND- und ODER-Glied 160 und 170 einzugeben, das Ausgangssignal des ersten Taktkomparators 110 zu maskieren und ein Signal, das den logischen Wert L anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied 160 und 170 einzugeben, oder das Ausgangssignal des ersten Taktkomparators 110 zu maskieren und ein Signal, das den logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied 160 und 170 einzugeben.
Die zweite Auswahlvorrichtung 150 ist so verbunden, dass sie zwischen dem zweiten Taktkomparator 130 und dem UND- und dem ODER-Glied 160 und 170 angeordnet ist. Die zweite Auswahlvorrichtung 150 führt eine Auswahl durch, um das Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators 130 in das UND- und das ODER-Glied 160 und 170 einzugeben, das Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators 130 zu maskieren und ein Signal, das den logischen Wert L anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied 160 und 170 einzugeben, oder das Ausgangssignal von dem zweiten Taktkomparator 130 zu maskieren und ein Signal, das den logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied 160 und 170 einzugeben. Hier kann die Verdrahtung von dem ersten Taktkomparator 110 und dem zweiten Taktkomparator 130 zu der ersten Auswahlvorrichtung 140 und der zweiten Auswahlvorrichtung 150 länger sein als die Verdrahtung von der zweiten Auswahlvorrichtung 150 zu dem UND- und dem ODER-Glied 160 und 170. Auf diese Weise kann eine Änderung der elektrischen Eigenschaften der Taktvergleichsschaltung 470, die durch Fixieren des Ausgangssignals der ersten Auswahlvorrichtung 140 oder der zweiten Auswahlvorrichtung 150, um den logischen Wert L oder H anzuzeigen, bewirkt wird, verringert werden im Vergleich mit dem Fall, in welchem die erste und die zweite Auswahlvorrichtung 140 und 150 in der Nähe des ersten und des zweiten Taktkomparators 110 und 130 vorgesehen sind.
Das UND-Glied 160 gibt eine logische UND-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des ersten Taktkomparators 110 und des zweiten Taktkomparators 130 aus. Das ODER-Glied 170 gibt eine logische ODER-Verknüpfung zwischen den Ausgangssignalen des ersten Taktkomparators 110 und des zweiten Taktkomparators 130 aus. Die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 wählt das Ausgangssignal entweder des UND-Glieds 160 oder des ODER-Glieds 170 aus gemäß dem von der Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 empfangenen Vergleichsergebnis-Auswahlsignal und gibt das ausgewählte Signal zu der logischen Vergleichsschaltung 480 aus.
Die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 steuert die Bestandteile der Taktvergleichsschaltung 470 derart, dass die Phasen der ansteigenden und der abfallenden Flanke des Vorrichtungsausgangssignals eingestellt werden. Die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 bestimmt den Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals, das während der Prüfung der DUT 400 in die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 einzugeben ist, gemäß den für die Übertragung des ansteigenden und des abfallenden Signals erforderlichen Zeiten.
6 illustriert die Konfiguration der Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 enthält eine Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung 200, eine Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 und eine Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260.
Die Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung 200 beurteilt, wenn ein ansteigendes und ein abfallendes Signal zur selben Zeit wie das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben werden, ob das ansteigende oder das abfallende Signal zu einem früheren Zeitpunkt an dem ersten und dem zweiten Taktkomparator 110 und 130 ankommt. Hier enthält die Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung 200 eine Eingabesteuerschaltung 210, eine erste Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung 220, eine zweite Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung 230 und eine Beurteilungsschaltung 240.
Die Eingabesteuerschaltung 210 bestimmt die Einstellungen der ersten Auswahlvorrichtung 140, der zweiten Auswahlvorrichtung 150 und der Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 für die vorgenannte Beurteilung.
Hiernach weist die Eingabesteuerschaltung 210 den Mustergenerator 430 an, das Vorrichtungsausgabesignal wiederholt in die Taktvergleichsschaltung 470 über den Kontaktpunkt zwischen der Taktvergleichsschaltung 470 und der DUT 400 einzugeben. Die erste Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung 220 erfasst einen derartigen Verzögerungsbetrag/derartige Verzögerungsbeträge der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 und/oder der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120, dass entweder der erste oder der zweite Taktkomparator 110 und 130 das ansteigende Signal erhält, das wiederholt zu der Zeit der ansteigenden Flanke als das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben wird. Die zweite Verzögerungsbetrags-Erfassungsschaltung 230 erfasst einen derartigen Verzögerungsbetrag/derartige Verzögerungsbeträge der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 und/oder der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120, dass derselbe von dem ersten und dem zweiten Taktkomparator 110 und 130 das abfallende Signal erhält, das wiederholt als das Vorrichtungsausgangssignal zu der Zeit der abfallenden Flanke eingegeben wird. Die Beurteilungsschaltung 240 berechnet die relative Beziehung entlang der Zeitachse zwischen den Ankunftszeiten des ansteigenden und des abfallenden Signals auf der Grundlage der Verzögerungsbeträge, die dem vorgenannten einen von dem ersten und dem zweiten Taktkomparator 110 und 130 ermöglichen, das Vorrichtungsausgangssignal zu den Zeiten der ansteigenden und der abfallenden Flanke zu erhalten.
Die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 stellt den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 so ein, dass der erste Taktkomparator 110 dasjenige von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal zu der Zeit der ansteigenden oder abfal lenden Flanke erhält, das von der Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung 200 als das früher ankommende beurteilt wird. Die Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260 stellt den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120 so ein, dass der zweite Taktkomparator 130 dasjenige von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal zu der Zeit der ansteigenden oder der abfallenden Flanke erhält, das von der Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung 200 als später ankommend beurteilt wird.
Bei der vorstehend mit Bezug auf die 5 und 6 beschriebenen Taktvergleichsschaltung 470 erhält der erste Taktkomparator 110 dasjenige von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das eine kürzere Übertragungszeit hat, und der zweite Taktkomparator 130 erhält dasjenige von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das eine längere Übertragungszeit hat. Auf diese Weise geht das Strobesignal STRB1 für den ersten Taktkomparator 110 immer dem Strobesignal STRB2 für den zweiten Taktkomparator 130 voraus. Als eine Folge kann die Taktvergleichsschaltung 470 das ansteigende und das abfallende Signal zu angemessenen Zeitpunkten erhalten, die gemäß der relativen Beziehung zwischen den Übertragungszeiten bestimmt sind, und die erhaltenen Ergebnisse zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgeben, ohne dass eine Verzögerungsschaltung zwischen der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 und dem ersten Taktkomparator 110 vorgesehen sein muss.
7 ist ein Flussdiagramm, das die von der Prüfvorrichtung 10 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel durchgeführten Operationen illustriert.
Am Anfang führt die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 die Operationen in den Schritten S300 bis S330 durch, um zu beurteilen, wenn die ansteigende und die abfallende Flanke zur selben Zeit ausgegeben werden, welche von der ansteigenden und der abfallenden Flanke früher bei dem ersten Taktkomparator 110 und dem zweiten Taktkomparator 130 eintrifft. Genauer gesagt, die Eingabesteuerschaltung 210 der Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 gibt ein Auswahlsignal „2" zu der zweiten Auswahlvorrichtung 150 aus, um zu bewirken, dass die zweite Auswahlvorrichtung 150 das Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators 130 maskiert und das den logischen Wert L anzeigende Signal ausgibt. Auch gibt die Eingabesteuerschaltung 210 ein Auswahlsignal „0" zu der ersten Auswahlvorrichtung 140 aus, um zu bewirken, dass die erste Auswahlvorrichtung 140 das Ausgangssignal des ersten Taktkomparators 110 auswählt und das ausgewählte Ausgangssignal zu dem UND-Glied 160 und dem ODER-Glied 170 ausgibt. Weiterhin gibt die Eingabesteuerschaltung 210 ein Vergleichsergebnis-Auswahlsignal „0" zu der Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 aus, um zu bewirken, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 auswählt. Auf diese Weise wird das Ausgangssignal des ersten Taktkomparators 110 über das ODER-Glied 170 und die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 zu der logischen Vergleichsschaltung 480 ausgegeben. Während die vorgenannten Einstellungen gehalten werden, weist die Eingabesteuerschaltung 210 den Mustergenerator 430 an, das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu liefern. Als eine Folge gibt der Mustergenerator 430 wiederholt das ansteigende Signal als das Vorrichtungsausgangssignal in die Taktvergleichsschaltung 470 ein (Schritt S300).
Nachfolgend bewirkt bewirkt die erste Verzögerungsbetrags-Erfassungsschaltung 220, dass der erste Taktkomparator 110 aufeinanderfolgend das ansteigende Signal, das wiederholt eingegeben wird, erhält, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 variiert wird. Die erste Verzögerungsbetrags-Erfassungsschaltung 220 empfängt durch die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ergebnis des Erhaltens des ansteigenden Signals, das von dem ersten Taktkomparator 110 ausgegeben wird, und erfasst einen ersten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100, wodurch ermöglicht wird, dass der erste Taktkomparator 110 das ansteigende Signal zu der Zeit der ansteigenden Flanke erhält, in einer ähnlichen Weise wie bei dem mit Bezug auf die 2A und 2B beschriebenen Verfahren (S310).
Danach bewirkt die zweite Verzögerungsbetrags-Erfassungsschaltung 230, dass der erste Taktkomparator 110 aufeinanderfolgend das abfallende Signal, das wiederholt eingegeben wird, erhält, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 variiert wird. Die erste Verzögerungsbetrags-Erfassungsschaltung 220 empfängt durch die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ergebnis des Erhaltens des abfallenden Signals, das von dem ersten Taktkomparator 110 ausgegeben wird, und erfasst einen zweiten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100, wodurch dem ersten Taktkomparator 110 ermöglicht wird, das abfallende Signal zu der Zeit der abfallenden Flanke zu erhalten, in einer ähnlichen Weise wie bei dem mit Bezug auf die 2A und 2B beschriebenen Verfahren (Schritt S320).
Nachfolgend vergleicht die Beurteilungsschaltung 240 den ersten und den zweiten Verzögerungsbetrag miteinander, um zu beurteilen, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal früher eintrifft, wenn das ansteigende und das abfallende Signal zur selben Zeit eingegeben werden (Schritt S330). Wenn der erste Verzögerungsbetrag kleiner als der zweite Verzögerungsbetrag ist, beurteilt die Beurteilungsschaltung 240, dass das ansteigende Signal zu einem früheren Zeitpunkt als das abfallende Signal eintrifft. Wenn der erste Verzögerungsbetrag größer als der zweite Verzögerungsbetrag ist, beurteilt die Beurteilungsschaltung 240, dass das ansteigende Signal zu einem späteren Zeitpunkt als das abfallende Signal eintrifft.
Hiernach stellt die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 so ein, dass der erste Taktkomparator 110 eines von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal erhält, das als früher zu dem Zeitpunkt der ansteigenden oder abfallenden Flanke eintreffend beurteilt wird (Schritt S340). Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erfassen die in den Schritten S310 bis S330 durchgeführten Operationen bereits die Verzögerungsbeträge der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100, die mit den Zeiten der Signale assoziiert sind, die früher und später eintreffen. Daher kann die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 durch Auswahl des kleineren von dem ersten und dem zweiten Verzögerungsbetrag, die jeweils in den Schritten S310 und S320 erfasst werden, als den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 einstellen, der mit dem Zeitpunkt des Signals, das früher eintrifft, assoziiert ist.
Alternativ kann die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 die folgende Einstelloperation durchführen. Am Anfang weist die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 die Eingabesteuerschaltung 210 an, zu bewirken, dass das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher eintreffend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird. Als Antwort auf diese Anweisung bewirkt die Eingabesteuerschaltung 210, dass die zweite Auswahlvorrichtung 150 das den logischen Wert L anzeigende Signal auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 auswählt. Nachfolgend weist die Eingabesteuerschaltung 210 den Mustergenerator 430 an, das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher eintreffend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung einzugeben. Die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung 250 stellt den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 so ein, dass der erste Taktkomparator 110 das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu dem Zeitpunkt der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Danach stellt die Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260 den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120 so ein, dass der zweite Taktkomparator 130 das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später eintreffend beurteilt wird, zu dem Zeitpunkt der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält (Schritt S350). Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beurteilen die in den Schritten S310 bis S330 durchgeführten Operationen, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal früher eintrifft, durch Verändern des Verzögerungsbetrags der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100. Die Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel stellt den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 130 gemäß der folgenden Einstelloperation ein.
Die Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260 weist die Eingabesteuerschaltung 210 an, zu bewirken, dass das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später eintreffend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird. Als Antwort auf diese Anweisung bewirkt die Eingabesteuerschaltung 210, dass die erste Auswahlvorrichtung 140 das den logischen Wert L anzeigende Signal auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 auswählt. Nachfolgend weist die Eingabesteuerschaltung 210 den Mustergenerator 430 an, das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später eintreffend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung einzugeben. Die Folgeflanken-Erfassungsschaltung 260 stellt den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120 so ein, dass der zweite Taktkomparator 130 das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu dem Zeitpunkt der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Hiernach bestimmt vor der Prüfung der DUT 400 die Eingabesteuerschaltung 200 den Wert des Vergleichsergebnis-Auswahlsignals, das zu der Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 zu liefern ist, in Abhängigkeit davon, welches von dem ansteigenden und abfallenden Signal für eine Einstellverwendung früher an dem ersten und dem zweiten Taktkomparator 110 und 130 eintrifft (Schritt S360). Wenn beurteilt wird, dass das ansteigende Signal früher als das abfallende Signal eintrifft, wählt die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des UND-Glieds 160 als das Taktvergleichsergebnis FH aus, das auf der Grundlage des Vorrichtungsausgangssignals während der Prüfung erhalten wird. Wenn andererseits beurteilt wird, dass das abfallende Signal früher als das ansteigende Signal eintrifft, wählt die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 als das Taktvergleichsergebnis FH aus, das auf der Grundlage des Vorrichtungsausgangssignals während der Prüfung erhalten wird. Nach der Durchführung der Phaseneinstellung in der vorbeschriebenen Weise prüft die Prüfvorrichtung 10 die DUT 400 (Schritt S370).
Indem die vorbeschriebenen Operationen durchgeführt werden, kann die Taktvergleichsschaltung 470 an dem ersten Taktkomparator 110 das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal erhalten, das eine kürzere Übertragungszeit hat, und bei dem zweiten Taktkomparator 130 das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal erhalten, das eine längere Übertragungszeit hat. Wenn der erste Taktkomparator 110 das ansteigende Signal erhält und der zweite Taktkomparator 130 das abfallende Signal erhält, geht das erste Strobesignal STRB1 für das ansteigende Signal dem zweiten Strobesignal STRB2 für das abfallende Signal voran. Daher kann die Taktvergleichsschaltung 470 das Ausgangssignal des UND-Glieds 160 als das Taktvergleichsergebnis FH ausgeben, wie mit Bezug auf die 3A bis 3D beschrieben ist. Wenn andererseits der erste Taktkomparator 110 das abfallende Signal erhält und der zweite Taktkomparator 130 das anstei gende Signal erhält, folgt das erste Strobesignal STRB1 für das ansteigende Signal dem zweiten Strobesignal STRB2 für das abfallende Signal. Daher kann die Taktvergleichsschaltung 470 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 als das Taktvergleichsergebnis FH ausgeben, wie mit Bezug auf die 4A bis 4D beschrieben ist.
Während das Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Abwandlungen und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel hinzugefügt werden können. Es ist ebenfalls für den Bereich der Ansprüche ersichtlich, dass das Ausführungsbeispiel, dem derartige Abwandlungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in den technischen Bereich der Erfindung einbezogen werden kann.
Beispielsweise beurteilt die Taktvergleichsschaltung 470, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal früher eintrifft, auf der Grundlage der Verzögerungsbeträge der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100, welche dem ersten Taktkomparator 110 ermöglichen, das ansteigende und das abfallende Signal zu den Zeitpunkten ihrer Veränderungspunkte in den in 7 gezeigten Schritten S300 bis S330 zu erhalten. Alternativ kann die Taktvergleichsschaltung 470 beurteilen, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal früher eintrifft, auf der Grundlage der Verzögerungsbeträge der ersten variablen Verzögerungsschaltung 100 und/oder der zweiten variablen Verzögerungsschaltung 120, welche dem zweiten Taktkomparator 130 ermöglichen, das ansteigende und das abfallende Signal zu den Zeitpunkten ihrer Veränderungspunkte zu erhalten.
Um zu bewirken, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal von dem einen von dem ersten Taktkomparator 110 und dem zweiten Taktkomparator 130 ausgibt, bewirkt die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190, dass die eine von der zweiten Auswahlvorrichtung 150 und der ersten Auswahlvorrichtung 140, die mit dem anderen von dem ersten Taktkomparator 110 und dem zweiten Taktkomparator 130 verbunden ist, den logischen Wert L auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des ODER-Glieds 170 auswählt. Alternativ kann die Taktvergleichs-Steuerschaltung 190 bewirken, dass die eine von der zweiten Auswahlvorrichtung 150 und der ersten Auswahlvorrichtung 140, die mit dem anderen von dem ersten Taktkomparator 110 und dem zweiten Taktkomparator 130 verbunden ist, den logischen Wert H auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung 180 das Ausgangssignal des UND-Glieds 160 auswählt.
ZUSAMMENFASSUNG
Eine Prüfvorrichtung enthält einen ersten Taktkomparator (110), der ein Ausgangssignal von einer geprüften Vorrichtung (DUT) gemäß einem ersten Strobesignal erhält, einen zweiten Taktkomparator (130), der das Ausgangssignal der DUT gemäß einem zweiten Strobesignal, das durch Verzögerung des ersten Strobesignals erzeugt wurde, erhält, eine Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung, die beurteilt, welches von einem ansteigenden und einem abfallenden Signal früher an den Taktkomparatoren ankommt, eine Flankenerfassungsschaltung, die die Verzögerungsbeträge so einstellt, dass der erste und der zweite Taktkomparator jeweils die Signale erhalten, die früher und später ankommen, ein UND- (160) und ein ODER-Glied (170), die die Ausgangssignale des ersten und des zweiten Taktkomparators empfangen, und eine Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung (180), die eines der Ausgangssignale des UND- und des ODER-Glieds auswählt in Abhängigkeit davon, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal früher ankommt.

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine erste variable Verzögerungsschaltung, die ein erstes Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern eines Bezugsimpulssignals erzeugt wird; einen ersten Taktkomparator, der ein von der geprüften Vorrichtung zu einer Zeit, die durch das erste Strobesignal bezeichnet ist, ausgegebenes Vorrichtungsausgangssignal erhält; eine zweite variable Verzögerungsschaltung, die ein zweites Strobesignal ausgibt, das durch Verzögern des ersten Strobesignals erzeugt wird; einen zweiten Taktkomparator, der das Vorrichtungsausgangssignal zu einer Zeit, die durch das zweite Strobesignal bezeichnet ist, erhält; eine Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung, die, wenn ein ansteigendes und ein abfallendes Signal zur selben Zeit wie das Vorrichtungsausgangssignal eingegeben werden, beurteilt, welches von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal zu einem früheren Zeitpunkt an dem ersten und dem zweiten Taktkomparator ankommt; eine Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der erste Taktkomparator zu einer Zeit einer ansteigenden oder abfallenden Flanke das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, erhält; eine Folgeflanken-Erfassungsschaltung, die einen Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der zweite Taktkomparator zu einer Zeit einer ansteigenden oder abfallenden Flanke das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später ankommend beurteilt wird, erhält; ein UND-Glied, das eine logische UND-Verknüpfung zwischen einem Ausgangssignal des ersten Taktkomparators und einem Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators ausgibt; ein ODER-Glied, das eine logische ODER-Verknüpfung zwischen dem Ausgangssignal des ersten Taktkomparators und dem Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators ausgibt; und eine Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung, die als ein Taktvergleichsergebnis, das auf der Grundlage des Vorrichtungsausgangssignals während der Prüfung erhalten wird, (i) das Ausgangssignal des UND-Glieds auswählt, wenn das ansteigende Signal als früher als das abfallende Signal ankommend beurteilt wird, und (ii) das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, wenn das abfallende Signal als früher als das ansteigende Signal ankommend beurteilt wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der erste Taktkomparator das Vorrichtungsausgangs signal für eine Einstellverwendung zu der Zeit der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Folgeflanken-Erfassungschaltung bewirkt, dass das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung so einstellt, dass der zweite Taktkomparator das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung zu der Zeit der ansteigenden oder abfallenden Flanke erhält.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend: eine erste Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem ersten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, welche erste Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zum (i) Eingeben des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (ii) Maskieren des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators und Eingeben eines Signals, das einen logischen Wert L anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied; und eine zweite Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem zweiten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, welche zweite Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zum (I) Eingeben des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (II) Maskieren des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators und Eingeben eines Signals, das einen logischen Wert L anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, bei der in einem solchen Zustand, in welchem die Vorlaufflanken-Erfassungschaltung bewirkt, dass die zweite Auswahlvorrichtung das Signal auswählt, das den logischen Wert L anzeigt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung einstellt, während das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und in einem solchen Zustand, in welchem die Folgeflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die erste Auswahlvorrichtung das Signal auswählt, das den logischen Wert L anzeigt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt, die Folgeflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung einstellt, während das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Vorlaufflanken-Beurteilungsschaltung enthält: eine Eingabesteuerschaltung, die bewirkt, dass das Vorrichtungsausgangssignal wiederholt eingegeben wird, während bewirkt wird, dass die zweite Auswahlvorrichtung das Ausgangssignal des zweiten Taktkomparators maskiert und das den lo gischen Wert L anzeigende Ausgangssignal ausgegeben wird, und bewirkt wird, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des ODER-Glieds auswählt; eine erste Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung, die, indem bewirkt wird, dass der erste Taktkomparator aufeinanderfolgend das ansteigende Signal, das wiederholt eingegeben wird, erhält, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung verändert wird, einen ersten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung erfasst, wodurch dem ersten Taktkomparator ermöglicht wird, das ansteigende Signal zu der Zeit der ansteigenden Flanke zu erhalten; eine zweite Verzögerungsbetrag-Erfassungsschaltung, die, indem bewirkt wird, dass der erste Taktkomparator aufeinanderfolgend das abfallende Signal, das wiederholt eingegeben wird, während der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung verändert wird, erhält, einen zweiten Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung erfasst, wodurch dem ersten Taktkomparator ermöglicht wird, das abfallende Signal zu der Zeit der abfallenden Flanke zu erhalten; und eine Beurteilungsschaltung, die beurteilt, dass das ansteigende Signal früher als das abfallende Signal ankommt, wenn der erste Verzögerungsbetrag kleiner als der zweite Verzögerungsbetrag ist, und beurteilt, dass das ansteigende Signal später als das abfallende Signal ankommt, wenn der erste Verzögerungsbetrag größer als der Verzögerungsbetrag ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, bei der der Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung durch die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung so eingestellt wird, dass er gleich dem kleineren von dem ersten und dem zweiten Verzögerungsbetrag ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Verdrahtung von dem ersten und dem Taktkomparator zu der ersten und der zweiten Auswahlvorrichtung länger als die Verdrahtung von der ersten und der zweiten Auswahlvorrichtung zu dem UND- und dem ODER-Glied ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend: eine erste Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem ersten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, welche erste Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zum (i) Eingeben des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (ii) Maskieren des Ausgangssignals des ersten Taktkomparators und Eingeben eines Signals, das einen logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied; und eine zweite Auswahlvorrichtung, die so verbunden ist, dass sie zwischen dem zweiten Taktkomparator und dem UND- und dem ODER-Glied angeordnet ist, welche zweite Auswahlvorrichtung eine Auswahl durchführt zum (I) Eingeben des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators in das UND- und das ODER-Glied oder (II) Maskieren des Ausgangssignals des zweiten Taktkomparators und Eingeben eines Signals, das einen logischen Wert H anzeigt, in das UND- und das ODER-Glied.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der in einem solchen Zustand, in welchem die Vorlaufflanken-Erfassungschaltung bewirkt, dass die zweite Auswahlvorrichtung das den logischen Wert H anzeigende Signal auswählt und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des UND-Glieds auswählt, die Vorlaufflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der ersten variablen Verzögerungsschaltung einstellt, während das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als früher ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird, und in einem solchen Zustand, in welchem die Folgeflanken-Erfassungsschaltung bewirkt, dass die erste Auswahlvorrichtung das den logischen Wert H anzeigende Signal auswählt, und bewirkt, dass die Vergleichsergebnis-Auswahlschaltung das Ausgangssignal des UND-Glieds auswählt, die Folgeflanken-Erfassungsschaltung den Verzögerungsbetrag der zweiten variablen Verzögerungsschaltung einstellt, während das eine von dem ansteigenden und dem abfallenden Signal, das als später ankommend beurteilt wird, als das Vorrichtungsausgangssignal für eine Einstellverwendung eingegeben wird.