DE102007002707A1 - System-in Package-Modul - Google Patents

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Yong Bum Suwon Lee
Nam Gyun Suwon Yim
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Samsung Electro Mechanics Co Ltd
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Samsung Electro Mechanics Co Ltd
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

Es wird ein System-in-Package- (SiP-) Modul beschrieben. Das Modul weist eine Platine mit gedruckter Schaltung mit wenigstens einem darin gebildeten Hohlraum auf. Das Modul weist weiter wenigstens ein in dem Hohlraum angebrachtes erstes Bauelement und eine auf der Unterseite des Hohlraums gebildete und elektrisch mit dem ersten Bauelement verbundene Leiterbahnschaltung auf. Das Modul weist weiter wenigstens ein auf der Oberfläche der Platine mit gedruckter Schaltung, die der Unterseite des Hohlraums entspricht, angebrachtes zweites Bauelement auf.

Description

  • PRIORITÄTSANSPRUCH
  • Für diese Anmeldung wird die Priorität der koreanischen Patentanmeldung Nr. 2006-47035, angemeldet am 25. Mai 2006 beim Koreanischen Patentamt, beansprucht, deren Offenbarung hier durch Bezugnahme eingeschlossen ist.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein System-in-Package-(SiP-)Modul, und insbesondere ein SiP-Modul, in dem ein Bauelement in einem Hohlraum angebracht ist, der in einer Platine mit gedruckter Schaltung gebildet ist, um ein Produkt zu miniaturisieren.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Aufgrund der schnellen Entwicklung im Bereich der elektronischen Industrie in letzter Zeit ist es erforderlich, dass elektronische Produkte weiter miniaturisiert werden, weniger wiegen und entsprechend den Bedürfnissen des Benutzers multifunktional sind. Eine Montagetechnik, mit welcher diese Bedürfnisse erfüllt werden können, ist die Integration eines homogenen oder heterogenen IC-(Integrated Circuit; Integrierte Schaltung) Chips als Einzeleinheit-Modul. Eine diesem Trend entsprechende Packaging-Technik ist System-in-Package (SiP).
  • Ein SiP-Modul betrifft eine Technologie, bei welcher unterschiedliche Arten von Halbleiter-Chips in einem Package angeordnet oder gestapelt werden, welches als vollständiges Einzelsystem arbeitet. Bei dem SiP-Modul sind einzelne Bauelemente mit unterschiedlichen Funktionen in einem Einzel-Package angeordnet, um einen gegebenen Raum zu nutzen, wodurch eine Miniaturisierung ermöglicht wird. Jedoch ist in letzter Zeit aufgrund der Nachfrage nach elektronischen Produkten, wie beispielsweise tragbaren und schlankeren mobilen Geräten, die Fläche und die Höhe des Moduls unvermeidlicherweise begrenzt. Um ein SiP-Modul geringer Größe herzustellen, müssen die darin angeordneten Bauelemente kleiner sein, wodurch jedoch die Herstellungskosten der Bauelemente und des Moduls beachtlich erhöht werden. Außerdem können, um die gewünschten Funktionen umzusetzen, einige Bauelemente nicht kleiner als mit einer bestimmten Größe hergestellt werden.
  • 1 und 2 sind Querschnittansichten, welche SiP-Module gemäß dem Stand der Technik darstellen.
  • Unter Bezugnahme auf 1 weist das SiP-Modul 10 oberflächenmontierbare Bauteile (SMD-Bauteile; SMD = surface mounted device) 15 oder Bauelemente auf, die auf einem Träger 11 angebracht sind, sowie ein Einkapselungsmittel aus Harz 18 zum Einkapseln der oberen Fläche des Trägers 11 und der SMD-Bauteile 15. Von den SMD-Bauteilen 15 ist ein Nackt-Chip 16 mit der Leiterbahnschaltung des Trägers durch Drähte verbunden, wobei ein Chip-Bond-Pad 19 mit einer Leiterbahnschaltung 21, die auf dem Träger 11 gebildet ist, drahtgebondet ist. Das SiP-Modul kann auf einer bestimmten Platine mittels eines LGA-(Land Grid Array)Verfahrens angebracht werden, wobei ein Pad (eine Kontaktfläche) 19 auf einer Bodenfläche des Trägers 11 gebildet ist, oder mittels eines BGA-(Ball Grid Array)Verfahrens, wobei auf dem Pad 19 Lötperlen vorgesehen sind.
  • Unter Bezugnahme auf 2 weist ein SiP-Modul 20 SMD-Bauteile 15 auf, die auf einem Träger 11 angebracht sind, sowie einen IC-Chip 16, der mittels Flip-Chip-Bonding angebracht ist. Das heißt, dass der IC-Chip 16 mit einer Leiterbahnschaltung (nicht dargestellt), die auf dem Träger 11 durch Bumps 26 gebildet ist, elektrisch verbunden ist. Um die auf dem Träger 19 angebrachten Bauteile 15 zu schützen, ist eine Schirmabdeckung 27 über der Oberseite des Trägers 11 angeordnet.
  • Jedoch sind bei den oben beschriebenen SiP-Modulen 10 und 20 die Bauteile nur auf einer Seite des Trägers angeordnet, wodurch Miniaturisierung und Verschlan kung der Module eingeschränkt wird. Im Gegensatz dazu können die Module miniaturisiert werden, indem die Größe der SMD-Bauteile 15 reduziert wird, aber dadurch steigen wie oben beschrieben die Herstellungskosten, und bei einigen Bauelementen muss die Größe erhalten bleiben, um die gewünschten Funktionen zu bewahren.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die vorgenannten Probleme im Stand der Technik zu lösen, und es ist somit ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein System-in-Package-Modul vorzusehen, wobei die Bauelemente in einem Hohlraum angeordnet sind, der an einer Seite einer Platine mit gedruckter Schaltung gebildet ist, und andere Bauelemente auf der Seite gegenüber dem Hohlraum angebracht sind, um ein miniaturisiertes und schlankes Produkt zu erhalten.
  • Gemäß einem Gegenstand der Erfindung sieht diese ein System-in-Package-Modul vor. Das Modul weist auf: eine Platine mit gedruckter Schaltung mit wenigstens einem darin gebildeten Hohlraum; wenigstens ein erstes Bauelement, das in dem Hohlraum angebracht ist; eine Leiterbahnschaltung, die auf der Unterseite des Hohlraums gebildet ist und elektrisch mit dem ersten Bauelement verbunden ist; und wenigstens ein zweites Bauelement, das auf der Oberfläche der Platine mit gedruckter Schaltung entsprechend der Unterseite des Hohlraums angebracht ist. Das SiP-Modul kann elektrisch mittels Drahtbonden oder Flip-Chip-Bonding mit der Leiterbahnschaltung verbunden werden. Das SiP-Modul kann weiter ein Harz-Einkapselungsmittel zum Einkapseln des ersten Bauelements aufweisen.
  • Vorzugsweise kann eine Mehrzahl erster Bauelemente in einem Hohlraum angebracht sein.
  • Die Mehrzahl erster Bauelemente kann auf der Unterseite des Hohlraums in gestapelter Struktur angebracht sein.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das SiP-Modul weiter ein Harz-Einkapselungsmittel zum Einkapseln des zweiten Bauelements aufweisen.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann das SiP-Modul weiter eine Abschirmabdeckung zum Abdecken des zweiten Bauelements aufweisen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden besser verständlich anhand der folgenden genauen Beschreibung zusammen mit den beigefügten Zeichnungen, in denen:
  • 1 und 2 Querschnittansichten sind, in welchen herkömmliche SiP-Module dargestellt sind;
  • 3 eine Querschnittansicht ist, in welcher ein SiP-Modul gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt ist; und
  • 4 bis 6 Querschnittansichten sind, in welchen SiP-Module entsprechend weiteren Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dargestellt sind.
  • GENAUE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun genauer unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Die Erfindung kann jedoch in verschiedenen Variaten vorliegen und sollte nicht als auf die hier beschriebenen Ausführungsformen begrenzt angesehen werden. Die Ausführungsformen sind eher dazu vorgesehen, die Beschreibung gründlich und vollständig zu machen, und teilen dem Fachmann den Schutzbereich der Erfindung mit. In den Zeichnungen können Gestaltungen und Abmessungen zum Zweck der Klarheit übertrieben dargestellt sein, und gleiche Bezugsziffern werden durchgehend verwendet, um gleiche oder ähnliche Bestandteile zu kennzeichnen.
  • In 3 sind Querschnittansichten dargestellt, welche SiP-Module gemäß unterschiedlichen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung darstellen. Unter Bezugnahme auf 3(a) weist das SiP-Modul 100 eine Platine mit gedruckter Schaltung 101 mit einem in deren Bodenfläche gebildeten Hohlraum 102, ein in dem Hohlraum 102 angebrachtes erstes Bauelement 103 (elektronisches Bauteil), eine auf der unteren Fläche 103a des Hohlraums gebildete Leiterbahnschaltung 104, die mit dem ersten Bauelement 103 elektrisch verbunden ist, auf einer Fläche der Platine mit gedruckter Schaltung 103b, die der unteren Fläche 103a des Hohlraums entspricht, angebrachte zweite Bauelemente 111 und ein Harz-Einkapselungsmittel 112 zum Abdecken der zweiten Bauelemente 111 auf.
  • Zunächst wird die Platine mit gedruckter Schaltung 101 betrachtet. Die Platine mit gedruckter Schaltung 101 ist eine Mehr-Ebenen-Struktur mit einem dünnen Trägerkörper aus Glas-Epoxidharz, das Glasfaser enthält, oder aus BT-Harz und Leiterbahnschaltungen, die auf der oberen und der unteren Fläche des Trägerkörpers gebildet sind. Wie in 3(a) dargestellt, ist in der Platine mit gedruckter Schaltung 101 ein Hohlraum gebildet. In 3(a) weist die Ausführungsform beispielhaft nur einen Hohlraum 102 auf, jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf begrenzt, und es kann eine Mehrzahl von Hohlräumen in der Platine mit gedruckter Schaltung 101 gebildet sein. In diesem Fall kann die Mehrzahl an Hohlräumen 102 so gestaltet sein, dass die Hohlräume abhängig von den darin angebrachten Bauelementen unterschiedliche Tiefen aufweisen. Es wird bevorzugt, dass der Hohlraum mit einer solchen Tiefe gebildet wird, dass das Bauelement vollständig in dem Hohlraum enthalten ist.
  • Es können bekannte Bearbeitungstechniken, wie beispielsweise Bearbeitung durch Fräsen, verwendet werden, um den Hohlraum 102 in der Platine mit gedruckter Schaltung 101 zu bilden. Das Anbringen des Bauelements in dem Hohlraum 102 ermöglicht Miniaturisierung und Verschlankung des SiP-Moduls.
  • Die Leiterbahnschaltung 104 ist auf der Unterseite 103a des Hohlraums aus einem leitenden Metall gebildet. Die Leiterbahnschaltung 104 ist elektrisch mit dem Bauelement verbunden, wodurch ein Übertragungsweg für ein elektrisches Signal gebildet wird. Die Leiterbahnschaltung 104 kann üblicherweise mit einem leitenden Material wie beispielsweise Au oder Ni überzogen sein, um Oxidation zu vermeiden.
  • Wie in 3(a) dargestellt, kann das erste Bauelement 103 ein Nackt-Chip sein. Ein Nackt-Chip wird aus einem Wafer geschnitten und begünstigt eine Reduzierung der Kosten, wenn er als erstes Bauelement 103 verwendet wird. Der Nackt-Chip ist durch Drähte elektrisch mit der Leiterbahnschaltung der Platine mit gedruckter Schaltung 101 verbunden. Das heißt, ein Chip-Pad (nicht dargestellt), das auf dem Nackt-Chip gebildet ist, wird mit der Leiterbahnschaltung 104, die auf der Unterseite 103a des Hohlraums gebildet ist, drahtgebondet.
  • 3(b) und 3(c) sind Querschnittansichten, in welchen SiP-Module 100' und 100'' gemäß weiteren Ausführungsformen dargestellt sind, bei welchen wenigstens zwei Bauelemente in dem Hohlraum angebracht sind. Unter Bezugnahme auf 3(b) sind wenigstens zwei erste Bauelemente 113 und 114 in dem Hohlraum 102 gestapelt und angebracht. In diesem Fall kann, um elektromagnetische Wellen abzuschirmen, eine Abschirmschicht (nicht dargestellt) für elektromagnetische Wellen zwischen den Bauelementen 113 und 114 gebildet sein. Jedoch wird bevorzugt, dass die Höhe der gestapelten Bauelemente nicht die Tiefe des Hohlraums übersteigt.
  • Wie in 3(c) dargestellt ist, können wenigstens zwei Bauelemente 123, 124 und 125 auf lediglich einer Unterseite 103a eines Hohlraums 102 in einem Array angebracht sein. Somit kann eine Mehrzahl von Bauelementen auf der Unterseite eines Hohlraums in einem Array oder in gestapelter Struktur angebracht sein, wodurch die Größe des SiP-Moduls miniaturisiert wird, während das SiP-Modul mehr Funktionen umfasst.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Hohlraum 102 in der Platine mit gedruckter Schaltung 101 gebildet und die ersten Bauelemente 103; 113 und 114; 123, 124 und 125 sind in dem Hohlraum 102 angebracht, wodurch vorteilhafterweise die Höhe des Moduls verringert wird. Das heißt, dass wenn die ersten Bauelemente 103; 113 und 114; 123, 124 und 125 in dem Hohlraum 102 vollständig enthalten sind, die Höhe des gesamten Moduls um die Dicke der ersten Bauelemente 103; 113 und 114; 123, 124 und 125 verringert ist, wodurch auf einfache Weise ein schlankes und miniaturisiertes SiP-Modul erhalten wird.
  • Um den elektrischen Betrieb der ersten Bauelemente zu schützen, ist in dem Hohlraum 102, in dem die ersten Bauelemente 103; 113 und 114; 123, 124 und 125 angebracht sind, ein Harz-Einkapselungsmittel 106 eingebracht. Das Harz-Einkapselungsmittel 106 kann in dem Raum eingebracht sein, der sich von der Unterseite 103a des Hohlraums zu der unteren Fläche C der Platine mit gedruckter Schaltung 101 erstreckt, wodurch das erste Bauelement 103 und die Leiterbahnschaltung 104, die mit dem ersten Bauelement verbunden ist, bedeckt wird. Das Harz-Einkapselungsmittel 106 kann durch Spritzpressen unter Verwendung von Epoxid-Formmasse (EMC, Epoxy Molding Compound) gebildet sein. Des Weiteren kann das Harz-Einkapselungsmittel 106 ebenfalls durch ein Beschichtungsverfahren gebildet sein, bei welchem flüssiges Harz auf das Bauelement und deren Umgebung aufgebracht und ausgehärtet wird.
  • Das Modul kann weiter wenigstens ein zweites Bauelement 111 umfassen, das auf einer Fläche 103b, die der Unterseite des Hohlraums entspricht, der Platine mit gedruckter Schaltung angebracht ist. Die zweiten Bauelemente 111 können unterschiedliche Arten von Bauelementen, wie beispielsweise aktive und passive Bauteile, umfassen. Eine Leiterbahnschaltung 104b ist auf der Oberfläche 103b der Platine mit gedruckter Schaltung gebildet und elektrisch mit den zweiten Bauelementen 111 verbunden, analog zu der Unterseite 103a des Hohlraums. In dem Fall, dass die zweiten Bauelemente Nackt-Chips sind, werden die zweiten Bauelemente mittels Drähten 105 mit der gedruckten Schaltung der Platine mit gedruckter Schaltung 101 verbunden. Das heißt, das Chip-Pad (nicht dargestellt), das auf den Nackt-Chips 111 gebildet ist, wird mit der gedruckten Schaltung 104b, die auf der Oberfläche 103b der Platine mit gedruckter Schaltung gebildet ist, drahtgebondet. Somit können die Bauelemente auf beiden Seiten der Platine mit gedruckter Schaltung 101 angebracht werden, um so die elektromagnetischen Wellen zwischen den Bauelementen abzuschirmen.
  • Die zweiten Bauelemente 111 können durch ein Harz-Einkapselungsmittel 112 eingekapselt werden. Das heißt, dass das Harz-Einkapselungsmittel 112 gebildet ist, um das wenigstens eine zweite Bauelement 111, das auf der Oberfläche 103b der Platine mit gedruckter Schaltung angebracht ist, vor der Umgebung zu schützen. Das Harz-Einkapselungsmittel 112 ist gebildet, um die Oberfläche 103b der Platine mit gedruckter Schaltung zu bedecken, wo die zweiten Bauelemente 111 angebracht sind. Das Harz-Einkapselungsmittel 112 kann durch Spritzpressen unter Verwendung von Epoxid-Formmasse (EMC, Epoxy Molding Compound) gebildet sein. Ein derartiges Formverfahren ist für Massenproduktion geeignet, wodurch die Produktivität verbessert wird.
  • 4 ist eine Querschnittansicht, in welcher ein SiP-Modul gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.
  • Unter Bezugnahme auf 4 ist das SiP-Modul 200 zu dem in 3 dargestellten darin gleich, dass es eine Platine mit gedruckter Schaltung 201 mit einem darin gebildeten Hohlraum 202, der an deren Unterseite gebildet ist, ein erstes Bauelement 203, das in dem Hohlraum 202 angebracht ist, eine Leiterbahnschaltung 104b, die auf der Unterseite 203a des Hohlraums gebildet ist und elektrisch mit dem Bauelement verbunden ist, zweite Bauelemente 111, die auf der Oberfläche 203b der Platine mit gedruckter Schaltung entsprechend der Unterseite 203a des Hohlraums angebracht sind, sowie ein Harz-Einkapselungsmittel zum Abdecken der zweiten Bauelemente 111 aufweist. Der Unterschied liegt jedoch darin, dass bei dieser Ausführungsform das erste Bauelement 203 in dem Hohlraum 202 durch Flip-Chip-Bonding angebracht ist. Das heißt, dass das Chip-Pad (nicht dargestellt) des ersten Bauelements 203 mit einer Leiterbahnschaltung (nicht dargestellt), die auf der Unterseite 203 des Hohlraums durch elektrische Verbindungsmittel, wie zum Beispiel Bumps 204, elektrisch verbunden ist. Die Bumps 204 sind aus Gold oder Lötperlen auf dem Chip-Pad (nicht dargestellt) des ersten Bauelements 203 vor dem Flip-Chip-Bonding des Bauelements 203 gebildet. Flip-Chip-Bonding kann durchgeführt werden, indem, während die Bumps 204 in Kontakt mit der Leiterbahnschaltung der Unterseite 203a des Hohlraums gehalten werden, eine vorbestimmte Wärmemenge aufgebracht wird und diese zusammengedrückt werden.
  • Im Fall von Flip-Chip-Bonding wird das erste Bauelement 203 mit der Platine mit gedruckter Schaltung 201 durch Verwendung von Bumps 204 elektrisch verbunden, und somit werden Induktivität und Widerstand im Vergleich zu Drahtbonden wesentlich gesenkt. Hinsichtlich der Struktur wird Strom direkt von der Platine mit gedruckter Schaltung 201 geliefert, was zu einer geringeren Spannungsänderung im Vergleich zur vorigen Ausführungsform führt, bei der die Nackt-Chips mittels Drähten verbunden werden.
  • Obwohl nicht in den Zeichnungen dargestellt, kann das erste Bauelement 203 ein IC-Chip der Art CSP (Chip Scale Package) sein. Der IC-Chip der Art CSP kann ebenfalls ohne Drahtbonden auf der Unterseite 203a des Hohlraums angebracht sein.
  • 5 ist eine Querschnittansicht, in welcher ein SiP-Modul gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.
  • Unter Bezugnahme auf 5 liegt der Unterschied des SiP-Moduls 300, welches eine Variante der in 3 dargestellten Ausführungsform ist, nicht nur darin, dass das erste Bauelement 303 in dem Hohlraum durch Flip-Chip-Bonding angebracht ist, sondern auch ein zweites Bauelement 310 ist auf der Oberfläche 303b der Platine mit gedruckter Schaltung entsprechend der Unterseite 303a des Hohlraums durch Flip-Chip-Bonding angebracht. Weiterhin sind bei der in 3 dargestellten Ausführungsform die zweiten Bauelemente 111 von einem Harz-Einkapselungsmittel bedeckt, wohingegen bei der in 5 dargestellten Ausführungsform eine Abschirmabdeckung 305 verwendet wird, um die zweiten Bauelemente 311 abzudecken. Die Abschirmabdeckung 305 kann eine Metallplatte, wie beispielsweise eine BeCu-Platte, eine Nickel-Silber-Platte oder eine Zinnplatte sein. Die Funktion der Abschirmabdeckung 305 ist, elektromagnetische Wellen abzuschirmen und die auf der Platine mit gedruckter Schaltung 301 angebrachten zweiten Bauelemente 311 vor der Umgebung zu schützen.
  • 6 ist eine Querschnittansicht, in welcher ein SiP-Modul gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.
  • Unter Bezugnahme auf 6 liegt bei dem SiP-Modul 400, welches eine Variante der in 3 dargestellten Ausführungsform ist, der Unterschied darin, dass das auf der Unterseite 403a des Hohlraums angebrachte erste Bauelement 403 elektrisch mit der Leiterbahnschaltung 404 mittels Drähten verbunden ist, wohingegen die zweiten Bauelemente 310 auf der Oberfläche 403b der Platine mit gedruckter Schaltung, die der Unterseite 403a des Hohlraums entspricht, durch Flip-Chip-Bonding angebracht sind. Weiterhin sind bei der in 3 dargestellten Ausführungsform die zweiten Bauelemente 111 von einem Harz-Einkapselungsmittel bedeckt, bei der in 6 dargestellten Ausführungsform wird jedoch eine Schirmabdeckung 305 verwendet, um die zweiten Bauelemente 311 abzudecken.
  • Bei der oben beschriebenen vorliegenden Erfindung ist ein Hohlraum in einer Platine mit gedruckter Schaltung gebildet, um ein Bauelement in dem Hohlraum anzubringen, wodurch ein Produkt miniaturisiert und verschlankt wird. Weiterhin ist das Bauelement auf der Oberfläche der Platine mit gedruckter Schaltung, die der Unterseite des Hohlraums entspricht, angebracht, um eine weitere Miniaturisierung und Verschlankung zu erzielen, während elektromagnetische Wellen abgeschirmt werden.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsformen dargestellt und beschrieben wurde, wird dem Fachmann offensichtlich sein, dass Modifikationen und Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzbereich der Erfindung wie durch die beigefügten Ansprüche definiert abzuweichen.

Claims (8)

  1. System-in-Package-Modul, welches aufweist: eine Platine mit gedruckter Schaltung mit wenigstens einem darin gebildeten Hohlraum; wenigstens ein erstes Bauelement, das in dem Hohlraum angebracht ist; eine Leiterbahnschaltung, die auf der Unterseite des Hohlraums gebildet ist und elektrisch mit dem ersten Bauelement verbunden ist; und wenigstens ein zweites Bauelement, das auf der Oberfläche der Platine mit gedruckter Schaltung, die der Unterseite des Hohlraums entspricht, angebracht ist.
  2. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl erster Bauelemente in dem Hohlraum angebracht ist.
  3. SiP-Modul gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mehrzahl erster Bauelemente auf der Unterseite des Hohlraums in gestapelter Struktur angebracht ist.
  4. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es weiter ein Harz-Einkapselungsmittel zum Abdichten des ersten Bauelements aufweist.
  5. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es weiter ein Harz-Einkapselungsmittel zum Einkapseln des zweiten Bauelements aufweist.
  6. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es weiter eine Abschirmabdeckung zum Abdecken des zweiten Bauelements aufweist.
  7. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Bauelement mit der Leiterbahnschaltung durch Drahtbonden elektrisch verbunden ist.
  8. SiP-Modul gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Bauelement mit der Leiterbahnschaltung durch Flip-Chip-Bonding elektrisch verbunden ist.
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