DE10142119B4 - Elektronisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
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Abstract
Elektronisches
Bauteil mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein (1) und
einem zweiten Halbleiterchipbaustein (2) sowie einem Substrat (15)
zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine (1, 2), wobei der erste
Halbleiterchipbaustein (1) im Bereich seiner Seitenkanten erste
Außenkontaktflächen (3)
und der zweite Halbleiterchipbaustein (2) im Bereich seiner Seitenkanten
zweite Außenkontaktflächen (8)
aufweist, und wobei Bonddrähte
(16) mit Außenkontaktflächen eines
Halbleiterchipbausteins (1, 2) und Kontaktanschlussflächen (17)
des Substrats (15) verbunden sind, wobei die aktiven Chipoberflächen des
ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins (1, 2) jeweils eine Zentralkontaktfläche (4,
9) aufweisen, wobei eine erste Zentralkontaktfläche (4) des ersten Halbleiterchipbausteins
(1) eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen (3)
entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen (5) und eine zweite Zentralkontaktfläche (9)
des zweiten Halbleiterchipbausteins (2) eine der Anzahl der zweiten
Außenkontaktflächen (8)
entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen (10) aufweist, wobei die Zentralkontaktflächen (4,
9) einander zugekehrt angeordnet sind, wobei die auf den Zentralkontaktflächen (4,
9) ausgebildeten, funktionell korrespondierenden ersten und zweiten...
Description
- Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
- Bei vielen elektronischen Bauteilen werden ein erster Halbleiterchipbaustein, beispielsweise ein Logikbaustein, und ein zweiter Halbleiterbaustein, beispielsweise ein Speicherbaustein benötigt. Um auf einer Leiterplatte Platz zu sparen, ist es sinnvoll, beide Halbleiterchipbausteine in einem gemeinsamen Gehäuse mit möglichst geringem Raumbedarf unterzubringen. Nun hat typischerweise ein Logikbaustein eine quadratische Grundfläche und ein Speicherbaustein eine rechtekkige Grundfläche, so dass bei übereinander angeordneten Halbleiterchipbausteinen, wie bei einem bekannten Chip-on-Chip Aufbau, sich die Bondkontaktflächen teilweise überdecken. Bisher wurde dieses Problem derart gelöst, dass die beiden Halbleiterchipbausteine in einem gemeinsamen Gehäuse nebeneinander angeordnet wurden, was einen erheblichen Platzbedarf verursachte. Bei einer alternativen Lösung wurden die beiden Halbleiterchipbausteine in ein Leadframe-Gehäuse montiert, was eine umständliche und schwierige Montage nach sich zieht, weil die Bauteile mehrfach gewendet werden müssen und die Bonddrähte dabei teilweise offen liegen. Es wird auch noch ein weiteres Prinzip angewendet, bei dem die Halbleiterchipbausteine in verschiedene Gehäuse montiert werden, die dann übereinander angeordnet werden. Dies ist jedoch auch ein aufwendiges und kostenintensives Verfahren, was außerdem zu großer und hoher Einbauhöhe des derartigen elektronischen Bauteils führt.
- Aus der japanischen Offenlegungsschrift JP 08250651-A ist eine Halbleiteranordnung bekannt, bei der in durch eine Zwischenwand getrennten Räumen zwei Halbleiterchipbausteine übereinander angeordnet sind. Beide Halbleiterchipbausteine sind mittels Bonddrähte über Leiterbahnen mit Außenkontakten verbunden. Diese bekannte Halbleiteranordnung beansprucht einen großen Raumbedarf und ist umständlich und aufwendig in der Herstellung.
- Aus der
US 5 923 090 A ist ein elektronisches Bauteil bekannt, bei dem ein Halbleiterchip mittels Flip-Chip-Kontakten auf einem anderen Halbleiterchip gestapelt ist. Bei diesem Bauteil müssen insbesondere die Außenkontakte des Flip-Chips derart angeordnet sein, dass eine Verbindung mit Kontaktflächen des unteren Halbleiterchips über Flip-Chip-Kontakte möglich ist. Es besteht somit die Notwendigkeit, die Grundflächen beider Halbleiterchips aneinander anzupassen. - Aufgabe der Erfindung ist es, ein elektronisches Bauteil zu schaffen, das einfach aufgebaut und wirtschaftlich herstellbar ist und das einen geringen Raumbedarf beansprucht, um die Nachteile des Standes der Technik zu überwinden.
- Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
- Erfindungsgemäß weist das elektronische Bauteil mindestens einen ersten Halbleiterchipbaustein und einen zweiten Halbleiterchipbaustein sowie ein Substrat zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine auf.
- Der erste Halbleiterchipbaustein weist im Bereich seiner Seitenkanten erste Außenkontaktflächen und der zweite Halbleiterchipbaustein weist im Bereich seiner Seitenkanten zweite Außenkontaktflächen auf, wobei Bonddrähte mit Außenkontaktflächen eines Halbleiterchipbausteins und Kontaktanschlussflächen des Substrats verbunden sind. Die aktiven Chipoberflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins weisen jeweils eine Zentralkontaktfläche auf, wobei eine erste Zent ralkontaktfläche des ersten Halbleiterchipbausteins eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen und eine zweite Zentralkontaktfläche des zweiten Halbleiterchipbausteins eine der Anzahl der zweiten Außenkontaktflächen entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen aufweist. Die Zentralkontaktflächen sind einander zugekehrt angeordnet, wobei die auf den Zentralkontaktflächen ausgebildeten, funktionell korrespondierenden ersten und zweiten Lötkontaktflächen einander fluchtend gegenüberliegen und miteinander elektrisch leitend verbunden sind. Die Halbleiterchipbausteine überlappen einander nur teilweise und beide Halbleiterchipbausteine weisen jeweils Bereiche auf, die über die Überlappung hinaus ragen.
- Das erfindungsgemäße elektronische Bauteil hat den Vorteil, dass infolge der einander zugekehrten Zentralkontaktflächen zweier Halbleiterchipbausteine mit ihrem korrespondierend zueinander angeordneten Lötkontaktflächen Halbleiterchipbaustein mit unterschiedlichen äußeren Abmessungen in äußerst raumsparender Weise in einem gemeinsamen Gehäuse unterge bracht werden können. Somit ist es möglich einen rechteckigen Halbleiterchip mit einem quadratischen Halbleiterchip zu stapeln und umgekehrt, wobei sich die Halbleiterchips nur teilweise überlappen und beide Halbleiterchips jeweils Bereiche aufweisen, die über die Überlappung hinaus ragen. Für derart unterschiedliche äußere Abmessungen liefert der Stand der Technik keine brauchbare Lösung. Außerdem sind in einer Ausführungsform der Erfindung die Außenkontaktflächen der beiden Halbleiterchipbausteine mittels Leiterbahnen mit den korrespondierenden Lötkontaktflächen elastisch leitend verbunden, womit thermische Spannungen bei der Montage des erfindungsgemäßen elektronisches Bauteils auf einer Leiterplatte oder auf einem gemeinsamen Substrat vermindert werden.
- In einer Ausführungsform der Erfindung sind die auf den Zentralkontaktflächen des ersten und des zweiten Halbleiterchipbausteins ausgebildeten, miteinander korrespondierenden Lötkontaktflächen spiegelbildlich zueinander angeordnet.
- Diese Ausführungsform hat den Vorteil, dass durch den einfachen Vorgang des Aufeinanderlegens des einen Halbleiterchipbausteins auf den anderen eine schnelle und zuverlässige Kontaktierung zwischen dem ersten und zweiten Halbleiterbaustein erreichbar ist.
- Eine weitere Ausführungsform sieht vor, dass zwischen den sich gegenüberliegenden Lötkontaktflächen der einander zugekehrt angeordneten Zentralkontaktflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins Kontakthöcker vorgesehen sind.
- In dieser Ausführungsform ist von Vorteil, dass die Kontaktierung des einen Halbleiterchipbausteins mit dem anderen Halbleiterchipbaustein durch einen einzigen Erwärmungsvorgang effektiv und wirtschaftlich durchführbar ist. Dabei können die Kontakthöcker beispielsweise mittels eutektischer Lötung mit den Lötkontaktflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins elektrisch verbunden werden.
- Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass ein Kontakthöcker als Säulenhöcker ausgebildet und seine Höhe größer als der Radius seiner Grundfläche ist. Aufgrund dieser Ausbildung der Kontakthöcker ist eine genaue und effiziente Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein möglich, wobei die elektrische Verbindung der beiden Halbleiterchipbausteine mittels der Flip-Chip-Technik erfolgt.
- Der Vorteil eines gemäß der Erfindung aufgebauten und hergestellten elektronischen Bausteins besteht darin, dass ein eine rechteckige Form aufweisender Logikbaustein und ein eine quadratische Form aufweisender Speicherbaustein auf kleinem Raum miteinander zuverlässig elektrisch miteinander verbunden werden können. Ein wesentlicher Vorteil ergibt sich dadurch, dass nur zwischen dem zweiten Halbleiterchipbaustein und dem Substrat Bonddrähte zur elektrischen Verbindung vorgesehen sind.
- Ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils hat mindestens folgende Verfahrensschritte:
- – Bereitstellen eines ersten Halbleiterchipbausteins mit einer Zentralkontaktfläche,
- – Bereitstellen eines zweiten Halbleiterchipbausteins mit einer Zentralkontaktfläche,
- – Bereitstellen eines Substrats mit einer Chipinsel und Außenkontaktflächen,
- – Befestigen des zweiten Halbleiterchipbausteins auf der Chipinsel des Substrats mittels einer Leitklebeschicht oder Lötschicht,
- – Bonden der Bonddrähte zwischen den Kontaktflächen des zweiten Halbleiterchipbausteins und den Außenkontaktflächen des Substrats,
- – Vorbereiten des ersten Halbleiterchipbausteins und bestücken derselben mit Kontakthöcker,
- – Aufbringen des ersten Halbleiterchipbausteins auf den auf dem Substrat sitzenden zweiten Halbleiterchipbaustein mittels Flip-Chip-Technik und
- – Vergießen des elektronischen Bauteils in einem Gehäuse.
- Dieses Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils hat den Vorteil, dass es sehr kurze Herstellungszeiten aufweist, weil durch die Anwendung der Flip-Chip-Technik die elektrische Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein mittels der spiegelbildlich auf den jeweiligen Zentralkontaktflächen der beiden sich gegenüberliegenden Halbleiterchipbausteine zweitsparend durchführbar ist.
- Außerdem ist das Verfahrensprodukt, das elektronische Bauteil, von sehr kompakter Bauweise.
- Bei einem Durchführungsbeispiel des Verfahrens kann ein erster Halbleiterchipbaustein und ein zweiter Halbleiterchipbaustein sowohl auf der Chipinsel der Oberseite des Substrats als auch auf der gegenüberliegenden Chipinsel der Unterseite des Substrats angeordnet werden.
- Der Vorteil dieses Durchführungsbeispiels ist eine weitere Steigerung der Leistungsfähigkeit derartiger elektronischer Bauteile bei einem erheblich verringerten Raumbedarf.
- Die Erfindung ermöglicht die Realisierung sehr kompakter elektronischer Bauteile, indem sämtliche elektrischen Anschlüsse der beiden Halbleiterchipbausteine jeweils als Lötkontaktstellen in einer Zentralkontaktfläche derart angeordnet sind, dass sie zunächst spiegelbildlich zueinander liegen und wenn der erste Halbleiterchipbaustein auf den zweiten Halbleiterchipbaustein mittels Flip-Chip-Technik umgekehrt aufgesetzt wird, die einander zugeordneten Kontaktstellen sich fluchtend gegenüberliegen. Die elektrische Kontaktierung erfolgt mittels Kontakthöcker, die als Säulenhöcker ausgebildet sind und als hochschmelzende Lötverbindungen die Kontaktflächen der übereinanderliegenden Halbleiterchipbausteine elektrisch miteinander verbinden. Außerdem ist sichergestellt, dass die zwischen dem Substrat und dem damit verbundenen Halbleiterchipbaustein verlaufenden Bonddrähte vom darüber liegenden Halbleiterchipbaustein nicht berührt werden.
- Die Vorteile der Erfindung liegen darin, dass keine Umverdrahtung auf dem Substrat erforderlich ist und dass eine optimale Leistung zwischen dem ersten und zweiten Halbleiterchipbaustein infolge der kurzen Signalwege erzielt wird. Trotz der ungünstigen geometrischen Abmessungen der beiden Halbleiterchipbausteine wird durch die Kombination der Wirebond-Technik mit der Flip-Chip-Technik unter Einsatz von Säulenhöcker als Abstandshalter ein im Aufbau kleines und wirtschaftlich herstellbares elektronisches Bauteil geschaffen.
- Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die beiliegenden Figuren näher erläutert.
-
1 zeigt eine schematische Darstellung eines ersten Halbleiterchipbausteins in einer Draufsicht, -
2 zeigt eine schematische Darstellung eines zweiten Halbleiterchipbausteins in einer Draufsicht, -
3 zeigt eine schematische Darstellung zweier übereinander angeordneter Halbleiterchipbausteine mit unterschiedlichen geometrischen Abmessungen in einer Draufsicht, -
4 zeigt eine schematische Querschnittsansicht eines elektronischen Bausteins und -
5 zeigt eine schematische Querschnittsansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels eines elektronischen Bauteils. - In der
1 ist von einem elektronischen Bauteil21 ein erster Halbleiterchipbaustein1 , beispielsweise ein Logikbau stein, mit einer rechteckigen geometrischen Form dargestellt. An seinen beiden Längsseiten ist der Halbleiterchipbaustein1 mit einer Anzahl ersten Außenkontaktflächen3 versehen. Ferner weist der Halbleiterchipbaustein1 eine erste Zentralkontaktfläche4 auf, auf der eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen3 entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen5 ausgebildet sind. Die ersten Lötkontaktflächen5 werden durch eine erste Lötstopschicht6 begrenzt. Jeder Außenkontaktfläche3 ist eine in der ersten Zentralkontaktfläche4 vorgesehene erste Lötkontaktfläche5 zugeordnet, und die korrespondierenden ersten Außenkontaktflächen3 und ersten Lötkontaktflächen5 sind mittels ersten Leiterbahnen7 elektrisch miteinander verbunden. - In der
2 ist von einem elektronischen Bauteil21 ein zweiter Halbleiterchipbaustein2 , beispielsweise ein Speicherbaustein, mit einer quadratischen geometrischen Form dargestellt. An seinen vier Seitenrändern ist der zweite Halbleiterchipbaustein2 mit einer Anzahl zweiter Außenkontaktflächen8 versehen. Ferner weist der zweite Halbleiterchipbaustein2 eine zweite Zentralkontaktfläche9 auf, auf der eine der Anzahl der zweiten Außenkontaktflächen8 entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen10 ausgebildet sind. - Die zweiten Lötkontaktflächen
10 werden durch eine Lötstopschicht11 begrenzt. Jeder Außenkontaktfläche8 ist eine in der Zentralkontaktfläche9 vorgesehene zweite Lötkontaktfläche10 zugeordnet, und die korrespondierenden zweiten Außenkontaktflächen8 und zweiten Lötkontaktflächen10 sind mittels zweiten Leiterbahnen12 elektrisch miteinander verbunden. - Die Anzahl der ersten Lötkontaktflächen
5 des ersten Halbleiterchipbausteins1 und die Anzahl der zweiten Lötkontaktflächen10 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 sind gleich. Ihre geometrische Anordnung ist so getroffen, dass sie im nicht zusammengebauten Zustand der beiden Halbleiterchipbausteine1 und2 spiegelbildlich zueinander liegen. - In der
3 ist eine zusammengebaute Anordnung des ersten Halbleiterchipbausteins1 und des zweiten Halbleiterbausteins2 eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils21 dargestellt. Dabei wird der erste Halbleiterchipbaustein1 mittels der Flip-Chip-Technik um 180 Winkelgrade umgeordnet auf den zweiten Halbleiterchipbaustein2 aufgesetzt, derart, dass die funktionell korrespondierenden ersten Lötkontaktflächen5 der ersten Halbleiterchipbausteins1 und die zweiten Lötkontaktflächen10 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 sich genau fluchtend gegenüberliegen und sich exakte elektrische Kontaktverbindungen ergeben. - Zur elektrischen Kontaktierung zwischen den ersten Lötkontaktflächen
5 und den zweiten Lötkontaktflächen10 sind, wie weiter unten beschrieben, Kontakthöcker13 in Form von Säulenhöckern vorgesehen. - In der
4 ist ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils21 in einer schematischen Schnittdarstellung veranschaulicht. - In der
4 bezeichnet die Bezugsziffer1 einen ersten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Logikbaustein, die Bezugsziffer2 einen zweiten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Speicherbaustein, die Bezugsziffer3 erste Außenkontaktflächen auf der aktiven Oberfläche des ersten Halbleiterchipbausteins1 , die Bezugsziffer4 eine erste Zentralkontaktfläche auf dem ersten Halbleiterchipbaustein1 mit ersten Lötkontaktflächen5 , die Bezugsziffer7 erste Leiterbahnen, die die ersten Außenkontaktflächen3 mit den ersten Lötkontaktflächen5 elektrisch verbindet. Die Bezugsziffer2 bezeichnet einen zweiten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Speicherbaustein, der mittels einer Leitklebeschicht14 auf der ersten Chipinsel19 eines mit der Bezugsziffer15 bezeichneten Substrats elektrisch leitend aufgebracht ist. Der zweite Halbleiterchipbaustein2 weist eine zweite Zentralkontaktfläche9 auf, auf der mit der Bezugsziffer10 bezeichnete zweite Lötkontaktflächen vorgesehen sind. Die auf der aktiven Oberfläche des zweiten Halbleiterchipbausteins2 vorgesehenen zweiten Außenkontaktflächen8 sind mittels zweiter Leiterbahnen12 mit den korrespondierenden zweiten Lötkontaktflächen10 elektrisch verbunden. Zugleich führen mit der Bezugsziffer16 bezeichnete Bonddrähte von den zweiten Außenkontaktflächen8 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 zu mit der Bezugsziffer17 bezeichneten Kontaktanschlussflächen auf dem Substrat15 . - Die elektrische Kontaktierung zwischen den ersten Lötkontaktflächen
5 des ersten Halbleiterchipbausteins1 und den zweiten Lötkontaktflächen10 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 erfolgt mittels Kontakthöcker13 , die im Ausführungsbeispiel als Säulenhöcker ausgebildet sind. Die säulenförmig gestalteten Kontakthöcker13 sind durch eine Lötschicht18 sowohl mit den ersten Lötkontaktflächen5 des ersten Halbleiterchipbausteins1 als auch mit den zweiten Lötkontaktflächen10 des zweiten Halbleiterchipbausteins verbunden. Die Höhe der Kontakthöcker13 ist dabei so bemessen, dass die mit den Außenkontaktflächen8 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 und den Kontaktanschlussflächen17 des Substrats15 verbundenen Bonddrähten16 den ersten Halbleiterchipbaustein1 nicht berühren. - Durch die erfindungsgemäße Anordnung und Ausbildung der Halbleiterchipbausteine wird ein elektronisches Bauteil außerordentlich kleiner Bauweise geschaffen, das infolge der Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein mittels in Zentralkontaktflächen angeordneten und durch Kontakthöcker elektrisch verbundenen Lötkontaktflächen kurze Signalwege aufweist, die eine optimale Schalt- und Steuerleistung des elektronischen Bauteils gewährleisten.
- Die
5 zeigt eine weitere mögliche Optimierung des erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils, bei dem auf sich gegenüberliegenden Seiten des Substrats15 jeweils ein aus einem ersten und zweiten Halbleiterchipbaustein gebildetes elektronisches Bauteil identischer Ausbildung auf der ersten Chipinsel19 bzw. auf der zweiten Chipinsel20 des Substrats15 angeordnet ist. - Das Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils
21 mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein1 und einem zweiten Halbleiterchipbaustein2 sowie einem Substrat15 zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine1 und2 und Bonddrähte16 , die mit den Kontaktflächen3 ,8 der aktiven Chipoberfläche eines Halbleiterchipbausteins und den Kontaktflächen17 des Substrats15 verbunden sind, erfolgt durch die nachstehend beschriebenen Verfahrensschritte - – Bereitstellen
eines ersten Halbleiterchipbausteins
1 mit einer ersten Zentralkontaktfläche4 , - – Bereitstellen
eines zweiten Halbleiterchipbausteins
2 mit einer zweiten Zentralkontaktfläche9 , - – Bereitstellen
eines Substrats
15 mit einer zweiten Chipinsel20 und Kontaktanschlussflächen17 , - – Befestigen
des zweiten Halbleiterchipbausteins
2 auf einer ersten Chipinsel19 des Substrats15 mittels einer Leitklebeschicht14 oder Lötschicht, - – Bonden
der Bonddrähte
16 zwischen den zweiten Außenkontaktflächen8 des zweiten Halbleiterchipbausteins2 und den Kontaktanschlussflächen17 des Substrats15 , - – Vorbereiten
des ersten Halbleiterchipbausteins
1 und bestücken derselben mit Kontakthöcker13 , - – Aufbringen
des ersten Halbleiterchipbausteins
1 auf den auf dem Substrat15 sitzenden zweiten Halbleiterchipbaustein2 mittels Flip-Chip-Technik und - – Vergießen des elektronischen Bauteils in einem Gehäuse.
-
- 1
- erster Halbleiterchipbaustein
- 2
- zweiter Halbleiterchipbaustein
- 3
- erste Außenkontaktfläche (erster Halbleiterchipbaustein)
- 4
- erste Zentralkontaktfläche (erster Halbleiterchipbaustein)
- 5
- erste Lötkontaktfläche
- 6
- erste Lötstopschicht
- 7
- erste Leiterbahnen
- 8
- zweite Außenkontaktfläche (zweiter Halbleiterchipbaustein
- 9
- zweite Zentralkontaktfläche (zweiter Halbleiterchipbaustein)
- 10
- zweite Lötkontaktfläche
- 11
- zweite Lötstopschicht
- 12
- zweite Leiterbahnen
- 13
- Kontakthöcker
- 14
- Leitklebeschicht
- 15
- Substrat
- 16
- Bonddrähte
- 17
- Kontaktanschlussflächen
- 18
- Lötschicht
- 19
- zweite Chipinsel
- 20
- erste Chipinsel
- 21
- Elektronisches Bauteil
Claims (15)
- Elektronisches Bauteil mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein (
1 ) und einem zweiten Halbleiterchipbaustein (2 ) sowie einem Substrat (15 ) zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ), wobei der erste Halbleiterchipbaustein (1 ) im Bereich seiner Seitenkanten erste Außenkontaktflächen (3 ) und der zweite Halbleiterchipbaustein (2 ) im Bereich seiner Seitenkanten zweite Außenkontaktflächen (8 ) aufweist, und wobei Bonddrähte (16 ) mit Außenkontaktflächen eines Halbleiterchipbausteins (1 ,2 ) und Kontaktanschlussflächen (17 ) des Substrats (15 ) verbunden sind, wobei die aktiven Chipoberflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins (1 ,2 ) jeweils eine Zentralkontaktfläche (4 ,9 ) aufweisen, wobei eine erste Zentralkontaktfläche (4 ) des ersten Halbleiterchipbausteins (1 ) eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen (3 ) entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen (5 ) und eine zweite Zentralkontaktfläche (9 ) des zweiten Halbleiterchipbausteins (2 ) eine der Anzahl der zweiten Außenkontaktflächen (8 ) entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen (10 ) aufweist, wobei die Zentralkontaktflächen (4 ,9 ) einander zugekehrt angeordnet sind, wobei die auf den Zentralkontaktflächen (4 ,9 ) ausgebildeten, funktionell korrespondierenden ersten und zweiten Lötkontaktflächen (5 ,10 ) einander fluchtend gegenüberliegen und miteinander elektrisch leitend verbunden sind und wobei die Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ) einander nur teilweise überlappen und beide Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ) jeweils Bereiche aufweisen, die über die Überlappung hinaus ragen. - Elektronisches Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die auf den Zentralkontaktflächen (
4 ;9 ) des ersten und des zweiten Halbleiterchipbausteins (1 ;2 ) ausgebildeten, miteinander korrespondierenden Lötkontaktflächen (5 ;10 ) spiegelbildlich zueinander angeordnet sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den sich gegenüberliegenden Lötkontaktflächen (
5 ;10 ) der einander zugekehrt angeordneten Zentralkontaktflächen (4 ;9 ) des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins (1 ;2 ) Kontakthöcker (13 ) vorgesehen sind. - Elektronisches Bauteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontakthöcker (
13 ) mittels eutektischer Lötung mit den Lötkontaktflächen (5 ;10 ) des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins (1 ;2 ) elektrisch verbunden sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenkontaktflächen (
3 ;8 ) der beiden Halbleiterchipbausteine (1 ;2 ) mittels Leiterbahnen (7 ;12 ) mit den korrespondierenden Lötkontaktflächen (5 ;10 ) elektrisch leitend verbunden sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kontakthöcker (
13 ) als Säulenhöcker ausgebildet ist und seine Höhe größer ist als der Radius seiner Grundfläche. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Halbleiterchipbaustein (
1 ) und der zweite Halbleiterchipbaustein (2 ) mittels der Flip-Chip-Technik miteinander elektrisch verbindbar sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Halbleiterchipbaustein (
1 ) eine rechteckige Form aufweist und ein Logikbaustein ist. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Halbleiterchipbaustein (
2 ) eine quadratische Form aufweist und ein Speicherbaustein ist. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Halbleiterchipbaustein (
1 ;2 ) gemeinsam in einem Gehäuse untergebracht sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zur elektrischen Verbindung des zweiten Halbleiterchipbausteins (
2 ) zum Substrat (15 ) Bonddrähte (16 ) vorgesehen sind. - Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster und zweiter Halbleiterchipbaustein (
1 ;2 ) sowohl auf einer ersten Chipinsel (19 ) auf der Oberseite des Substrats (15 ) als auch auf einer zweiten Chipinsel (20 ) auf der gegenüberliegenden Unterseite des Substrats (15 ) angeordnet sind. - Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils (
21 ) mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein (1 ) und mit einem zweiten Halbleiterchipbaustein (2 ) sowie einem Substrat (15 ) zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ), wobei der erste Halbleiterchipbaustein (1 ) im Bereich seiner Seitenkanten erste Außenkontaktflächen (3 ) und der zweite Halbleiterchipbaustein (2 ) im (Bereich seiner Seitenkanten zweite Außenkontaktflächen (8 ) aufweist, und wobei Bonddrähte (16 ) mit Außenkontaktflächen eines Halbleiterchipbausteins (1 ,2 ) und Kontaktanschlussflächen (17 ) des Substrats (15 ) verbunden sind, wobei das Verfahren folgende Verfahrensschritte aufweist: – Bereitstellen eines ersten Halbleiterchipbausteins (1 ) mit einer ersten Zentralkontaktfläche (4 ), wobei auf der ersten Zentralkontaktfläche (4 ) eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen (3 ) entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen (5 ) angeordnet ist; – Bereitstellen eines zweiten Halbleiterchipbausteins (2 ) mit einer zweiten Zentralkontaktfläche (9 ), wobei auf der zweiten Zentralkontaktfläche (9 ) eine der Anzahl der zweiten Außenkontaktflächen (8 ) entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen (10 ) angeordnet ist; – Bereitstellen eines Substrats (15 ) mit einer Chipinsel (19 ) und Kontaktanschlussflächen (17 ), – Befestigen des zweiten Halbleiterchipbausteins (2 ) auf der Chipinsel (19 ) mittels einer Leitklebeschicht (14 ) oder Lötschicht, – Bonden der Bonddrähte (16 ) zwischen den Außenkontaktflächen (3 ,8 ) des zweiten Halbleiterchipbausteins (2 ) und den Kontaktanschlussflächen (17 ) des Substrats (15 ), – Vorbereiten des ersten Halbleiterchipbausteins (1 ) und Bestücken desselben mit Kontakthöckern (13 ), – Aufbringen des ersten Halbleiterchipbausteins (1 ) auf den auf dem Substrat (15 ) sitzenden zweiten Halbleiterchipbaustein (2 ) mittels Flip-Chip-Technik derart, dass die beiden Zentralkontaktflächen (4 ,9 ) einander zugekehrt angeordnet sind und die auf den beiden Zentralkontaktflächen (4 ,9 ) ausgebildeten, funktionell korrespondierenden ersten und zweiten Lötkontaktflächen (5 ,10 ) einander fluchtend gegenüberliegen und miteinander elektrisch leitend verbunden sind, wobei die Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ) einander nur teilweise überlappen und beide Halbleiterchipbausteine (1 ,2 ) jeweils Bereiche aufweisen, die über die Überlappung hinaus ragen, und – Vergießen des elektronischen Bauteils (21 ) in einem Gehäuse. - Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Halbleiterchipbaustein (
1 ) und ein zweiter Halbleiterchipbaustein (2 ) auf der Chipinsel (19 ) oder der Oberseite des Substrats (15 ) und auf der gegenüberliegenden Chipinsel (20 ) der Unterseite des Substrats (15 ) angeordnet werden. - Verfahren nach Anspruch 13 oder 14 zur Herstellung eines elektronischen Bauteils gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12.
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