DE10142119A1 - Elektronisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil (21) mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein (1) und einem zweiten Halbleiterchipbaustein (2) sowie einem Substrat (15) zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine. Dabei weisen aktive Chipoberflächen der beiden Halbleiterchipbausteine jeweils eine Zentralkontaktfläche (4; 9) auf, die einander zugekehrt angeordnet sind. Die Einzelnen auf den Zentralkontaktflächen ausgebildete, miteinander korrespondierende Lötkontaktflächen (5 bzw. 10) liegen einander fluchtend gegenüber und sind elektrisch leitend verbunden.
Description
- Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil und ein Verfahren zu seiner Herstellung gemäß der den unabhängigen Ansprüchen.
- Bei vielen elektronischen Bauteilen werden ein erster Halbleiterchipbaustein, beispielsweise ein Logikbaustein, und ein zweiter Halbleiterbaustein, beispielsweise ein Speicherbaustein benötigt. Um auf einer Leiterplatte Platz zu sparen, ist es sinnvoll, beide Halbleiterchipbausteine in einem gemeinsamen Gehäuse mit möglichst geringem Raumbedarf unterzubringen. Nun hat typischerweise ein Logikbaustein eine quadratische Grundfläche und ein Speicherbaustein eine rechteckige Grundfläche, so dass bei übereinander angeordneten Halbleiterchipbausteinen, wie bei einem bekannten Chip-on-Chip Aufbau, sich die Bondkontaktflächen teilweise überdecken. Bisher wurde dieses Problem derart gelöst, dass die beiden Halbleiterchipbausteine in einem gemeinsamen Gehäuse nebeneinander angeordnet wurden, was einen erheblichen Platzbedarf verursachte. Bei einer alternativen Lösung wurden die beiden Halbleiterchipbausteine in ein Leadframe-Gehäuse montiert, was eine umständliche und schwierige Montage nach sich zieht, weil die Bauteile mehrfach gewendet werden müssen und die Bonddrähte dabei teilweise offen liegen. Es wird auch noch ein weiteres Prinzip angewendet, bei dem die Halbleiterchipbausteine in verschiedene Gehäuse montiert werden, die dann übereinander angeordnet werden. Dies ist jedoch auch ein aufwendiges und kostenintensives Verfahren, was außerdem zu großer und hoher Einbauhöhe des derartigen elektronischen Bauteils führt.
- Aus der japanischen Offenlegungsschrift JP 08250651-A ist eine Halbleiteranordnung bekannt, bei der in durch eine Zwischenwand getrennten Räumen zwei Halbleiterchipbausteine übereinander angeordnet sind. Beide Halbleiterchipbausteine sind mittels Bonddrähte über Leiterbahnen mit Außenkontakten verbunden. Diese bekannte Halbleiteranordnung beansprucht einen großen Raumbedarf und ist umständlich und aufwendig in der Herstellung.
- Aufgabe der Erfindung ist es, ein elektronisches Bauteil zu schaffen, das einfach aufgebaut und wirtschaftlich herstellbar ist und das einen geringen Raumbedarf beansprucht, um die Nachteile des Standes der Technik zu überwinden.
- Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
- Erfindungsgemäß weist das elektronische Bauteil mindestens einen ersten Halbleiterchipbaustein und einen zweiten Halbleiterchipbaustein sowie ein Substrat zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine auf.
- Es sind Bonddrähte vorgesehen, die mit den Kontaktflächen der aktiven Chipoberflächen jedes Halbleiterchipbausteins und den Kontaktanschlussflächen des Substrats verbunden sind. Dabei weisen die aktiven Chipoberflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins jeweils eine Zentralkontaktfläche auf. Diese Zentralkontaktflächen sind einander zugekehrt angeordnet und einzelne auf den Zentralkontaktflächen der beiden Halbleiterchipbausteine ausgebildete, miteinander korrespondierende Lötkontaktflächen liegen einander fluchtend gegenüber und sind elektrisch leitend verbunden.
- Das erfindungsgemäße elektronische Bauteil hat den Vorteil, dass infolge der einander zugekehrten Zentralkontaktflächen zweier Halbleiterchipbausteine mit ihrem korrespondierend zueinander angeordneten Lötkontaktflächen Halbleiterchipbaustein mit unterschiedlichen äußeren Abmessungen in äußerst raumsparender Weise in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht werden können. Somit ist es möglich einen rechteckigen Halbleiterchip mit einem quadratischen Halbleiterchip zu stapeln und umgekehrt, wobei sich die Halbleiterchips nur teilweise überlappen und beide Halbleiterchips jeweils Bereiche aufweisen, die über die Überlappung hinaus ragen. Für derart unterschiedliche äußere Abmessungen liefert der Stand der Technik keine brauchbare Lösung. Außerdem sind in einer Ausführungsform der Erfindung die Außenkontaktflächen der beiden Halbleiterchipbausteine mittels Leiterbahnen mit den korrespondierenden Lötkontaktflächen elastisch leitend verbunden, womit thermische Spannungen bei der Montage des erfindungsgemäßen elektronisches Bauteils auf einer Leiterplatte oder auf einem gemeinsamen Substrat vermindert werden.
- In einer Ausführungsform der Erfindung sind die auf den Zentralkontaktflächen des ersten und des zweiten Halbleiterchipbausteins ausgebildeten, miteinander korrespondierenden Lötkontaktflächen spiegelbildlich zueinander angeordnet.
- Diese Ausführungsform hat den Vorteil, dass durch den einfachen Vorgang des Aufeinanderlegens des einen Halbleiterchipbausteins auf den anderen eine schnelle und zuverlässige Kontaktierung zwischen dem ersten und zweiten Halbleiterbaustein erreichbar ist.
- Eine weitere Ausführungsform sieht vor, dass zwischen den sich gegenüberliegenden Lötkontaktflächen der einander zugekehrt angeordneten Zentralkontaktflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins Kontakthöcker vorgesehen sind. In dieser Ausführungsform ist von Vorteil, dass die Kontaktierung des einen Halbleiterchipbausteins mit dem anderen Halbleiterchipbaustein durch einen einzigen Erwärmungsvorgang effektiv und wirtschaftlich durchführbar ist. Dabei können die Kontakthöcker beispielsweise mittels eutektischer Lötung mit den Lötkontaktflächen des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins elektrisch verbunden werden.
- Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass ein Kontakthöcker als Säulenhöcker ausgebildet und seine Höhe größer als der Radius seiner Grundfläche ist. Aufgrund dieser Ausbildung der Kontakthöcker ist eine genaue und effiziente Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein möglich, wobei die elektrische Verbindung der beiden Halbleiterchipbausteine mittels der Flip- Chip-Technik erfolgt.
- Der Vorteil eines gemäß der Erfindung aufgebauten und hergestellten elektronischen Bausteins besteht darin, dass ein eine rechteckige Form aufweisender Logikbaustein und ein eine quadratische Form aufweisender Speicherbaustein auf kleinem Raum miteinander zuverlässig elektrisch miteinander verbunden werden können. Ein wesentlicher Vorteil ergibt sich dadurch, dass nur zwischen dem zweiten Halbleiterchipbaustein und dem Substrat Bonddrähte zur elektrischen Verbindung vorgesehen sind.
- Ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils hat mindestens folgende Verfahrensschritte:
- - Bereitstellen eines ersten Halbleiterchipbausteins mit einer Zentralkontaktfläche,
- - Bereitstellen eines zweiten Halbleiterchipbausteins mit einer Zentralkontaktfläche,
- - Bereitstellen eines Substrats mit einer Chipinsel und Außenkontaktflächen,
- - Befestigen des zweiten Halbleiterchipbausteins auf der Chipinsel des Substrats mittels einer Leitklebeschicht oder Lötschicht,
- - Bonden der Bonddrähte zwischen den Kontaktflächen des zweiten Halbleiterchipbausteins und den Außenkontaktflächen des Substrats,
- - Vorbereiten des ersten Halbleiterchipbausteins und bestücken derselben mit Kontakthöcker,
- - Aufbringen des ersten Halbleiterchipbausteins auf den auf dem Substrat sitzenden zweiten Halbleiterchipbaustein mittels Flip-Chip-Technik und
- - Vergießen des elektronischen Bauteils in einem Gehäuse.
- Dieses Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils hat den Vorteil, dass es sehr kurze Herstellungszeiten aufweist, weil durch die Anwendung der Flip-Chip-Technik die elektrische Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein mittels der spiegelbildlich auf den jeweiligen Zentralkontaktflächen der beiden sich gegenüberliegenden Halbleiterchipbausteine zweitsparend durchführbar ist.
- Außerdem ist das Verfahrensprodukt, das elektronische Bauteil, von sehr kompakter Bauweise.
- Bei einem Durchführungsbeispiel des Verfahrens kann ein erster Halbleiterchipbaustein und ein zweiter Halbleiterchipbaustein sowohl auf der Chipinsel der Oberseite des Substrats als auch auf der gegenüberliegenden Chipinsel der Unterseite des Substrats angeordnet werden.
- Der Vorteil dieses Durchführungsbeispiels ist eine weitere Steigerung der Leistungsfähigkeit derartiger elektronischer Bauteile bei einem erheblich verringerten Raumbedarf.
- Die Erfindung ermöglicht die Realisierung sehr kompakter elektronischer Bauteile, indem sämtliche elektrischen Anschlüsse der beiden Halbleiterchipbausteine jeweils als Lötkontaktstellen in einer Zentralkontaktfläche derart angeordnet sind, dass sie zunächst spiegelbildlich zueinander liegen und wenn der erste Halbleiterchipbaustein auf den zweiten Halbleiterchipbaustein mittels Flip-Chip-Technik umgekehrt aufgesetzt wird, die einander zugeordneten Kontaktstellen sich fluchtend gegenüberliegen. Die elektrische Kontaktierung erfolgt mittels Kontakthöcker, die als Säulenhöcker ausgebildet sind und als hochschmelzende Lötverbindungen die Kontaktflächen der übereinanderliegenden Halbleiterchipbausteine elektrisch miteinander verbinden. Außerdem ist sichergestellt, dass die zwischen dem Substrat und dem damit verbundenen Halbleiterchipbaustein verlaufenden Bonddrähte vom darüber liegenden Halbleiterchipbaustein nicht berührt werden.
- Die Vorteile der Erfindung liegen darin, dass keine Umverdrahtung auf dem Substrat erforderlich ist und dass eine optimale Leistung zwischen dem ersten und zweiten Halbleiterchipbaustein infolge der kurzen Signalwege erzielt wird. Trotz der ungünstigen geometrischen Abmessungen der beiden Halbleiterchipbausteine wird durch die Kombination der Wirebond-Technik mit der Flip-Chip-Technik unter Einsatz von Säulenhöcker als Abstandshalter ein im Aufbau kleines und wirtschaftlich herstellbares elektronisches Bauteil geschaffen.
- Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die beiliegenden Figuren näher erläutert.
- Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines ersten Halbleiterchipbausteins in einer Draufsicht,
- Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung eines zweiten Halbleiterchipbausteins in einer Draufsicht,
- Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung zweier übereinander angeordneter Halbleiterchipbausteine mit unterschiedlichen geometrischen Abmessungen in einer Draufsicht,
- Fig. 4 zeigt eine schematische Querschnittsansicht eines elektronischen Bausteins und
- Fig. 5 zeigt eine schematische Querschnittsansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels eines elektronischen Bauteils.
- In der Fig. 1 ist von einem elektronischen Bauteil 21 ein erster Halbleiterchipbaustein 1, beispielsweise ein Logikbaustein, mit einer rechteckigen geometrischen Form dargestellt. An seinen beiden Längsseiten ist der Halbleiterchipbaustein 1 mit einer Anzahl ersten Außenkontaktflächen 3 versehen. Ferner weist der Halbleiterchipbaustein 1 eine erste Zentralkontaktfläche 4 auf, auf der eine der Anzahl der ersten Außenkontaktflächen 3 entsprechende Anzahl von ersten Lötkontaktflächen 5 ausgebildet sind. Die ersten Lötkontaktflächen 5 werden durch eine erste Lötstopschicht 6 begrenzt. Jeder Außenkontaktfläche 3 ist eine in der ersten Zentralkontaktfläche 4 vorgesehene erste Lötkontaktfläche 5 zugeordnet, und die korrespondierenden ersten Außenkontaktflächen 3 und ersten Lötkontaktflächen 5 sind mittels ersten Leiterbahnen 7 elektrisch miteinander verbunden.
- In der Fig. 2 ist von einem elektronischen Bauteil 21 ein zweiter Halbleiterchipbaustein 2, beispielsweise ein Speicherbaustein, mit einer quadratischen geometrischen Form dargestellt. An seinen vier Seitenrändern ist der zweite Halbleiterchipbaustein 2 mit einer Anzahl zweiter Außenkontaktflächen 8 versehen. Ferner weist der zweite Halbleiterchipbaustein 2 eine zweite Zentralkontaktfläche 9 auf, auf der eine der Anzahl der zweiten Außenkontaktflächen 8 entsprechende Anzahl von zweiten Lötkontaktflächen 10 ausgebildet sind.
- Die zweiten Lötkontaktflächen 10 werden durch eine Lötstopschicht 11 begrenzt. Jeder Außenkontaktfläche 8 ist eine in der Zentralkontaktfläche 9 vorgesehene zweite Lötkontaktfläche 10 zugeordnet, und die korrespondierenden zweiten Außenkontaktflächen 8 und zweiten Lötkontaktflächen 10 sind mittels zweiten Leiterbahnen 12 elektrisch miteinander verbunden.
- Die Anzahl der ersten Lötkontaktflächen 5 des ersten Halbleiterchipbausteins 1 und die Anzahl der zweiten Lötkontaktflächen 10 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 sind gleich. Ihre geometrische Anordnung ist so getroffen, dass sie im nicht zusammengebauten Zustand der beiden Halbleiterchipbausteine 1 und 2 spiegelbildlich zueinander liegen.
- In der Fig. 3 ist eine zusammengebaute Anordnung des ersten Halbleiterchipbausteins 1 und des zweiten Halbleiterbausteins 2 eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils 21 dargestellt. Dabei wird der erste Halbleiterchipbaustein 1 mittels der Flip-Chip-Technik um 180 Winkelgrade umgeordnet auf den zweiten Halbleiterchipbaustein 2 aufgesetzt, derart, dass die funktionell korrespondierenden ersten Lötkontaktflächen 5 der ersten Halbleiterchipbausteins 1 und die zweiten Lötkontaktflächen 10 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 sich genau fluchtend gegenüberliegen und sich exakte elektrische Kontaktverbindungen ergeben.
- Zur elektrischen Kontaktierung zwischen den ersten Lötkontaktflächen 5 und den zweiten Lötkontaktflächen 10 sind, wie weiter unten beschrieben, Kontakthöcker 13 in Form von Säulenhöckern vorgesehen.
- In der Fig. 4 ist ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils 21 in einer schematischen Schnittdarstellung veranschaulicht.
- In der Fig. 4 bezeichnet die Bezugsziffer 1 einen ersten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Logikbaustein, die Bezugsziffer 2 einen zweiten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Speicherbaustein, die Bezugsziffer 3 erste Außenkontaktflächen auf der aktiven Oberfläche des ersten Halbleiterchipbausteins 1, die Bezugsziffer 4 eine erste Zentralkontaktfläche auf dem ersten Halbleiterchipbaustein 1 mit ersten Lötkontaktflächen 5, die Bezugsziffer 7 erste Leiterbahnen, die die ersten Außenkontaktflächen 3 mit den ersten Lötkontaktflächen 5 elektrisch verbindet. Die Bezugsziffer 2 bezeichnet einen zweiten Halbleiterchipbaustein, z. B. einen Speicherbaustein, der mittels einer Leitklebeschicht 14 auf der ersten Chipinsel 19 eines mit der Bezugsziffer 15 bezeichneten Substrats elektrisch leitend aufgebracht ist. Der zweite Halbleiterchipbaustein 2 weist eine zweite Zentralkontaktfläche 9 auf, auf der mit der Bezugsziffer 10 bezeichnete zweite Lötkontaktflächen vorgesehen sind. Die auf der aktiven Oberfläche des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 vorgesehenen zweiten Außenkontaktflächen 8 sind mittels zweiter Leiterbahnen 12 mit den korrespondierenden zweiten Lötkontaktflächen 10 elektrisch verbunden. Zugleich führen mit der Bezugsziffer 16 bezeichnete Bonddrähte von den zweiten Außenkontaktflächen 8 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 zu mit der Bezugsziffer 17 bezeichneten Kontaktanschlussflächen auf dem Substrat 15.
- Die elektrische Kontaktierung zwischen den ersten Lötkontaktflächen 5 des ersten Halbleiterchipbausteins 1 und den zweiten Lötkontaktflächen 10 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 erfolgt mittels Kontakthöcker 13, die im Ausführungsbeispiel als Säulenhöcker ausgebildet sind. Die säulenförmig gestalteten Kontakthöcker 13 sind durch eine Lötschicht 18 sowohl mit den ersten Lötkontaktflächen 5 des ersten Halbleiterchipbausteins 1 als auch mit den zweiten Lötkontaktflächen 10 des zweiten Halbleiterchipbausteins verbunden. Die Höhe der Kontakthöcker 13 ist dabei so bemessen, dass die mit den Außenkontaktflächen 8 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 und den Kontaktanschlussflächen 17 des Substrats 15 verbundenen Bonddrähten 16 den ersten Halbleiterchipbaustein 1 nicht berühren.
- Durch die erfindungsgemäße Anordnung und Ausbildung der Halbleiterchipbausteine wird ein elektronisches Bauteil außerordentlich kleiner Bauweise geschaffen, das infolge der Kontaktierung zwischen dem ersten und dem zweiten Halbleiterchipbaustein mittels in Zentralkontaktflächen angeordneten und durch Kontakthöcker elektrisch verbundenen Lötkontaktflächen kurze Signalwege aufweist, die eine optimale Schalt- und Steuerleistung des elektronischen Bauteils gewährleisten.
- Die Fig. 5 zeigt eine weitere mögliche Optimierung des erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils, bei dem auf sich gegenüberliegenden Seiten des Substrats 15 jeweils ein aus einem ersten und zweiten Halbleiterchipbaustein gebildetes elektronisches Bauteil identischer Ausbildung auf der ersten Chipinsel 19 bzw. auf der zweiten Chipinsel 20 des Substrats 15 angeordnet ist.
- Das Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils 21 mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein 1 und einem zweiten Halbleiterchipbaustein 2 sowie einem Substrat 15 zur Aufnahme der Halbleiterchipbausteine 1 und 2 und Bonddrähte 16, die mit den Kontaktflächen 3, 8 der aktiven Chipoberfläche eines Halbleiterchipbausteins und den Kontaktflächen 17 des Substrats 15 verbunden sind, erfolgt durch die nachstehend beschriebenen Verfahrensschritte
- - Bereitstellen eines ersten Halbleiterchipbausteins 1 mit einer ersten Zentralkontaktfläche 4,
- - Bereitstellen eines zweiten Halbleiterchipbausteins 2 mit einer zweiten Zentralkontaktfläche 9,
- - Bereitstellen eines Substrats 15 mit einer zweiten Chipinsel 20 und Kontaktanschlussflächen 17,
- - Befestigen des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 auf einer ersten Chipinsel 19 des Substrats 15 mittels einer Leitklebeschicht 14 oder Lötschicht,
- - Bonden der Bonddrähte 16 zwischen den zweiten Außenkontaktflächen 8 des zweiten Halbleiterchipbausteins 2 und den Kontaktanschlussflächen 17 des Substrats 15,
- - Vorbereiten des ersten Halbleiterchipbausteins 1 und bestücken derselben mit Kontakthöcker 13,
- - Aufbringen des ersten Halbleiterchipbausteins 1 auf den auf dem Substrat 15 sitzenden zweiten Halbleiterchipbaustein 2 mittels Flip-Chip-Technik und
- - Vergießen des elektronischen Bauteils in einem Gehäuse.
2 zweiter Halbleiterchipbaustein
3 erste Außenkontaktfläche (erster Halbleiterchipbaustein)
4 erste Zentralkontaktfläche (erster Halbleiterchipbaustein)
5 erste Lötkontaktfläche
6 erste Lötstopschicht
7 erste Leiterbahnen
8 zweite Außenkontaktfläche (zweiter Halbleiterchipbaustein
9 zweite Zentralkontaktfläche (zweiter Halbleiterchipbaustein)
10 zweite Lötkontaktfläche
11 zweite Lötstopschicht
12 zweite Leiterbahnen
13 Kontakthöcker
14 Leitklebeschicht
15 Substrat
16 Bonddrähte
17 Kontaktanschlussflächen
18 Lötschicht
19 zweite Chipinsel
20 erste Chipinsel
21 Elektronisches Bauteil
Claims (15)
1. Elektronisches Bauteil mit mindestens einem ersten
Halbleiterchipbaustein und einem zweiten
Halbleiterchipbaustein sowie einem Substrat zur Aufnahme der
Halbleiterchipbausteine und Bonddrähte, die mit den Kontaktflächen
der aktiven Chipoberfläche jedes Halbleiterchipbausteins
und den Kontaktflächen der aktiven Chipoberfläche jedes
Halbleiterchipbausteins und den Kontaktflächen des
Substrats verbunden sind, wobei die aktiven Chipoberflächen
des ersten und zweiten Halbleiterchipbausteins (1 bzw.
2) jeweils eine Zentralkontaktfläche (4; 9) aufweisen,
die einander zugekehrt angeordnet sind und wobei die die
einzelnen auf den Zentralkontaktflächen (4; 9) der beiden
Halbleiterchipbausteine (1; 2) ausgebildeten, miteinander
korrespondierenden Lötkontaktflächen (5 bzw. 10)
einander fluchtend gegenüberliegen und elektrisch leitend
verbunden sind.
2. Elektronisches Bauteil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die auf den Zentralkontaktflächen (4; 9) des ersten und
des zweiten Halbleiterchipbausteins (1; 2) ausgebildeten,
miteinander korrespondierenden Lötkontaktflächen (5; 10)
spiegelbildlich zueinander angeordnet sind.
3. Elektronisches Bauteil nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
zwischen den sich gegenüberliegenden Lötkontaktflächen
(5; 10) der einander zugekehrt angeordneten
Zentralkontaktflächen (4; 9) des ersten und zweiten
Halbleiterchipbausteins (1; 2) Kontakthöcker (13) vorgesehen sind.
4. Elektronisches Bauteil nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Kontakthöcker (13) mittels eutektischer Lötung mit
den Lötkontaktflächen (5; 10)des ersten und zweiten
Halbleiterchipbausteins (1; 2) elektrisch verbunden sind.
5. Elektronisches Bauteil nach den Ansprüchen 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Außenkontaktflächen (3; 8) der beiden
Halbleiterchipbausteine (1; 2) mittels Leiterbahnen (7; 12) mit den
korrespondierenden Lötkontaktflächen (5; 10) elektrisch
leitend verbunden sind.
6. Elektronisches Bauteil nach den Ansprüchen 3 und 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
ein Kontakthöcker (13) als Säulenhöcker ausgebildet ist
und seine Höhe größer ist als der Radius seiner
Grundfläche.
7. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste Halbleiterchipbaustein (1) und der zweite
Halbleiterchipbaustein (2) mittels der Flip-Chip-Technik
miteinander elektrisch verbindbar sind.
8. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste Halbleiterchipbaustein (1) eine rechteckige
Form aufweist und ein Logikbaustein ist.
9. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, dass
der zweite Halbleiterchipbaustein (2) eine quadratische
Form aufweist und ein Speicherbaustein ist.
10. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste und der zweite Halbleiterchipbaustein (1; 2)
gemeinsam in einem Gehäuse untergebracht sind.
11. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis
10,
dadurch gekennzeichnet, dass
zur elektrischen Verbindung des zweiten
Halbleiterchipbausteins (2) zum Substrat (15) Bonddrähte (16)
vorgesehen sind.
12. Elektronisches Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis
11,
dadurch gekennzeichnet, dass
ein erster und zweiter Halbleiterchipbaustein (1; 2)
sowohl auf einer ersten Chipinsel (19) auf der Oberseite
des Substrats (15) als auch auf einer zweiten Chipinsel
(20) auf der gegenüberliegenden Unterseite des Substrats
(15) angeordnet sind.
13. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
(21) mit mindestens einem ersten Halbleiterchipbaustein
(1) und einem zweiten Halbleiterchipbaustein (2) sowie
einem Substrat (15) zur Aufnahme der
Halbleiterchipbausteine und Bonddrähte (16), die mit den Kontaktflächen
der aktiven Chipoberfläche eines Halbleiterchipbausteins
und den Kontaktanschlussflächen des Substrats verbunden
sind, wobei das Verfahren folgende Verfahrensschritte
aufweist:
- Bereitstellen eines ersten Halbleiterchipbausteins
(1) mit einer ersten Zentralkontaktfläche (4),
- Bereitstellen eines zweiten Halbleiterchipbausteins
(2) mit einer zweiten Zentralkontaktfläche (9),
- Bereitstellen eines Substrats (15) mit einer
zweiten Chipinsel (20) und Kontaktanschlussflächen
(17),
- Befestigen des zweiten Halbleiterchipbausteins (2)
auf einer ersten Chipinsel (19) des Substrats (15)
mittels einer Leitklebeschicht (14) oder
Lötschicht,
- Bonden der Bonddrähte (16) zwischen den
Kontaktflächen (3; 8) des zweiten Halbleiterchipbausteins (2)
und den Kontaktanschlussflächen des Substrats (15),
- Vorbereiten des ersten Halbleiterchipbausteins (1)
und Bestücken derselben mit Kontakthöckern (13),
- Aufbringen des ersten Halbleiterchipbausteins (1)
auf den auf dem Substrat (15) sitzenden zweiten
Halbleiterchipbaustein (2) mittels Flip-Chip-
Technik und
- Vergießen des elektronischen Bauteils (21) in einem
Gehäuse.
14. Verfahren nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, dass
ein erster Halbleiterchipbaustein (1) und ein zweiter
Halbleiterchipbaustein (2) auf der Chipinsel (19) oder
der Oberseite des Substrats (15) und auf der
gegenüberliegenden Chipinsel (20) der Unterseite des Substrats
(15) angeordnet werden.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14 zur Herstellung eines
elektronischen Bauteils gemäß einem der Ansprüche 1 bis
12.
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