DE10062069A1

DE10062069A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung

Info

Publication number: DE10062069A1
Application number: DE10062069A
Authority: DE
Inventors: Hazime Ishida
Original assignee: Sumitomo Special Metals Co Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1999-12-14
Filing date: 2000-12-13
Publication date: 2001-06-21
Anticipated expiration: 2020-12-14
Also published as: MY126994A; CN1157277C; DE10062069B4; CN1304821A; US6408840B2; US20010018913A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, das umfasst das Schneiden eines zu bearbeitenden Gegenstandes unter Verwendung eines Schneidedrahtes während zwischen einem Draht und dem zu bearbeitenden Gegenstand eine Aufschlämmung zugeführt wird, die darin dispergierte Schleifmittelkörner enthält. Der Draht wird von einem Antriebselement angetrieben, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des Antriebselements aus einem organischen Polymermaterial besteht. Das Schneiden wird durchgeführt, während eine Spannung in dem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N an den Draht angelegt wird.

Description

Hintergrund der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, zur Herstellung von Seltenerdmetall-Legierungs scheiben und zur Herstellung von Seltenerdmetallmagneten mit einer Drahtsä ge sowie auch auf einen Schwingspulenmotor, der den Seltenerdmetallmagne ten enthält.

Es wurde bereits ein Verfahren zum Schneiden einer Siliciumbramme mit einer Drahtsäge entwickelt, um die Bramme zu einer großen Anzahl von Wafern (Scheiben) zu zerschneiden. Dieses Verfahren ist beispielsweise in der offen gelegten japanischen Patentpublikation Nr. 6-8234 beschrieben. Bei diesem Verfahren kann eine große Anzahl von Wafern (Scheiben), die jeweils eine konstante Dicke haben, gleichzeitig von einer Bramme abgeschnitten werden durch Schneiden der Bramme mit einem laufenden Mehrfachdraht unter gleichzeitiger Zufuhr einer gewissen Menge einer Aufschlämmung, die Schleifmittelkörner enthält (Drahtsäge-Verfahren vom freien Schleifmittelkorn- TYP).

Alternativ wird nach einem bekannten Verfahren eine Bramme aus einer Sel tenerdmetall-Legierung beispielsweise unter Verwendung einer rotierenden Schneideklinge in Scheiben zerschnitten. Ein solches Verfahren, bei dem eine Schneideklinge verwendet wird, führt jedoch zu einer unerwünscht großen Schnittbreite, weil die Schneide einer Schneideklinge dicker ist als ein Draht. Wegen dieser unerwünscht großen Schnittbreite stellt ein solches Verfahren eine ineffektive Ausnutzung wertvoller Ressourcen dar.

Eine Seltenerdmetall-Legierung ist geeignet für die Verwendung als Magnet material. Ein solcher Magnet hat eine große Vielzahl von Anwendungen gefun den und wird heute in großem Umfang für verschiedene Typen von elektroni schen Geräten verwendet. Unter den heutigen Umständen ist es sehr er wünscht, die Herstellungskosten des Seltenerdmetallmagneten drastisch zu verringern. Die Kosten könnten beträchtlich vermindert werden, wenn eine große Anzahl von Wafern (Scheiben) gleichzeitig aus einer Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung so hergestellt werden könnte, dass die Schnittbreite herabgesetzt werden kann durch Verwendung einer Drahtsäge und dass jeder Wafer (jede Scheibe) eine konstante Dicke hat.

Schwingspulenmotoren, die wichtige Anwendungen von Seltenerdmetallma gneten sind, werden heute in immer geringeren Größen hergestellt. Daher muss die Dicke eines Seltenerdmetallmagneten, der für diese Anwendung ein gesetzt wird, beträchtlich verringert werden, verglichen mit denjenigen, wie sie früher erforderlich waren. Es wäre daher vorteilhaft, wenn ein für einen Schwingspulenmotor verwendeter Seltenerdmetallmagnet mit einer Drahtsäge mit einer geringen Schnittbreite hergestellt werden könnte.

Bisher hat jedoch niemand über das erfolgreiche Schneiden einer Seltenerd metall-Legierung unter Anwendung eines praktikablen Drahtsäge-Verfahrens berichtet. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben versuchsweise eine Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung mit einer Drahtsäge vom freien Schleifkorn-Typ zerschnitten. Dabei haben die Erfinder der vorliegenden Erfin dung gefunden, dass, da eine Rohrleitung mit einer darin zirkulierenden Auf schlämmung innerhalb einer sehr kurzen Zeitspanne durch feines Pulver und Schleifbruchstücke (d. h. Schleifstaub oder Schleifschlamm), die beim Sägen mit einem Draht auftreten, verstopft wird, dem Draht keine Aufschlämmung zugeführt werden konnte, was zu Folge hatte, dass der Draht gegebenenfalls zerbrach. Wenn die Aufschlämmung jeweils nach mehreren Stunden vollstän dig ersetzt wurde, um dieses Problem zu vermeiden, musste das Sägen mit dem Draht unterbrochen werden, während die Aufschlämmung ersetzt wurde. Eine solche Bearbeitung ist daher für die Massenproduktion nicht geeignet und es ist praktisch unmöglich, eine solche Bearbeitung in der Praxis durchzufüh ren.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben außerdem festgestellt, dass, da die Aufschlämmung sich in der Schnittrille leicht absetzte, der Schnittwider stand beträchtlich anstieg und als Folge davon der Draht noch mehr dazu neigte, zu zerspringen (zerbrechen). Der Schlamm kann leicht aus der Schnit trille ausgetragen werden, wenn die Viskosität der Aufschlämmung auf einen bestimmten Wert herabgesetzt wird. Nach den von den Erfindern durchgeführ ten Versuchen hatten jedoch Schleifkörner in der Aufschlämmung eine gerin gere Neigung, an dem Draht zu haften, wenn die Viskosität der Aufschläm mung geringer wurde, sodass es nicht möglich war, eine harte, schwer zu schneidende Seltenerdmetall-Legierung wirksam zu schneiden. Es wurde da her gefunden, dass die Viskosität der Aufschlämmung kontrolliert (gesteuert) werden muss.

Außerdem wurde gefunden, dass die Schnittgenauigkeit beträchtlich abnahm, weil während des Schneidevorgangs häufig verschiedene unerwünschte Be triebsfehler auftraten. So löste sich beispielsweise der Draht häufig von den Walzen (Rollen) ab, um die der Draht gewickelt war, weil der Schlamm auch dazu neigte, sich auf den Rillen der Rollen (Walzen) abzusetzen. Keines dieser Probleme wurde bisher jedoch beim Schneiden einer Silicium- oder Glas bramme unter Anwendung eines konventionellen Drahtsäge-Verfahrens beob achtet.

Im allgemeinen umfasst eine Seltenerdmetall-Legierung eine starre tetragonale Phase und eine viskose, an Seltenerdmetallen reiche Phase. Das Schneiden einer solchen Seltenerdmetall-Legierung ist schwierig, verglichen mit dem Schneiden von Silicium. Deshalb muss an den Draht eine verhältnismäßig ho he Spannung angelegt werden, wenn eine Seltenerdmetall-Legierung mit einer Drahtsäge geschnitten werden soll. Wenn die Drahtspannung zu groß gemacht wird, werden jedoch die Walzen zum Antreiben des Drahtes belastet, was zu einem Abrieb an den Walzen führt. Insbesondere kann sich der Schlamm aus einer Seltenerdmetall-Legierung, welche die Neigung hat, zu aggregieren, auf den Rillen der Walzen ablagern. Dadurch wird der Abrieb der Walzen als Folge der Drahtspannung weiter erhöht.

Wenn die Drahtspannung gering gemacht wird, wird der Abrieb der Walzen vermieden. Die Planarität (Flachheit) einer Schnittfläche eines Werkstücks nimmt dadurch jedoch ab. Dies führt zu einer Abnahme der Schnittgenauigkeit, sodass das resultierende Werkstück für die praktische Verwendung ungeeignet ist.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben die Möglichkeit der Herstellung von Walzen aus einem Metallmaterial untersucht. Sie haben jedoch gefunden, dass Metallwalzen nicht verwendbar waren, weil der Draht auf den Metallwal zen rutschte.

Zusammenfassung der Erfindung

Hauptziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung anzugeben, mit deren Hilfe der Abrieb (Verschleiß) der Walzen unterdrückt werden kann, um einen kontinuierlichen Langzeit-Betrieb zu gewährleisten und die Planarität der Schnittfläche zu verbessern.

Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetallmagneten unter Anwendung des Verfahrens zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung anzugeben.

Noch ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Schwingspulenmotor zur Verfügung zu stellen, der einen Seltenerdmetallmag neten enthält, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt worden ist.

Das erfindungsgemäße Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall- Legierung umfasst das Schneiden eines zu bearbeitenden Werkstücks (Gegenstand) unter gleichzeitiger Zuführung einer dispergierte Schleifmit telkörner (Schleifkörner) enthaltenden Aufschlämmung zwischen einem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück. Der Draht wird mit einem Antriebsele ment angetrieben, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des Antriebse lements aus einem organischen Polymermaterial besteht, das Kautschuk und ein Elastomer umfasst, und das Schneiden wird durchgeführt, während an den Draht eine Spannung in dem Bereich zwischen 14,7 und 39,2 N angelegt wird.

Alternativ umfasst das erfindungsgemäße Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung das Schneiden eines zu bearbeitenden Werk stückes (Gegenstandes) bei gleichzeitiger Zuführung einer dispergierte Schleifmittelkörner enthaltenden Aufschlämmung zwischen einem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück. Der Draht wird mit einem Antriebselement angetrieben, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des Antriebselements aus einem organischen Polymermaterial besteht und die Temperatur der Auf schlämmung so eingestellt (kontrolliert) wird, dass sie innerhalb eines vor gegebenen Bereiches liegt.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfasst das Verfahren die Stufen: Sammeln der Aufschlämmung, die den Schlamm enthält, der während des Schneidens des zu bearbeitenden Werkstückes entsteht, um den Schlamm aus der Aufschlämmung zu entfernen, und Durchführung einer Temperatur- Kontrolle bei der Aufschlämmung mit dem daraus entfernten Schlamm.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Seltenerdmetall- Legierung ein R-Fe-B-Seltenerdmetall-Sintermagnet (worin R für ein Sel tenerdmetallelement einschließlich Y steht).

Vorzugsweise liegt die Viskosität der Aufschlämmung bei 25°C in einem Be reich von 92 bis 175 mPa.s.

Vorzugsweise wird der Schlamm mit einem magnetischen Separator aus der Aufschlämmung entfernt. Der magnetische Separator erzeugt vorzugsweise ein Magnetfeld von 0,3 Tesla oder mehr in einem Bereich, in dem der Schlamm entfernt wird.

Vorzugsweise wird die Seltenerdmetall-Legierung geschnitten, während die Seltenerdmetall-Legierung in Bezug auf den Draht von oben nach unten be wegt (abgesenkt) wird.

Vorzugsweise wird die Seltenerdmetall-Legierung in eine Vielzahl von Blöcken aufgeteilt und diese werden aneinander befestigt und mindestens ein Teil der Zufuhr der Aufschlämmung erfolgt durch die Spalte (Zwischenräume) zwischen der Vielzahl von Blöcken.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist eine Einrichtung zur Zuführung der Aufschlämmung zu dem Draht in einer Position stromaufwärts in der Draht laufrichtung, bezogen auf das zu bearbeitende Werkstück, angeordnet.

Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist das Antriebselement eine Walze aus einem Urethan-Kautschuk vom Ester-Typ.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetallschei ben (-platten) umfasst die Stufen: Herstellung einer Bramme aus einer Sel tenerdmetall-Legierung und Abschneiden einer Vielzahl von Seltenerdmetall- Legierungsplatten (-scheiben) von der Bramme nach irgendeinem der vorge nannten Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetallmagne ten umfasst die Stufen: Herstellung eines Seltenerdmetallmagneten durch Pressen eines Seltenerdmetall-Legierungspulvers und Sintern eines Presslings sowie Abschneiden einer Vielzahl von Magneten von dem Seltenerdmetallma gneten nach irgendeinem der oben genannten Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung.

Der erfindungsgemäße Schwingspulenmotor enthält einen Seltenerdmetallma gneten, der nach dem vorstehend beschriebenen Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetallmagneten hergestellt worden ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform liegt die Dicke des Seltenerdmetall magneten in einem Bereich von 0,5 bis 3,0 mm.

Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall- Legierung wird ein zu bearbeitendes Werkstück geschnitten, während eine Aufschlämmung, die dispergierte Schleifkörner enthält, zwischen einem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück zugeführt wird. Die Vorrichtung umfasst: Einrichtungen zur Einführung der Aufschlämmung zwischen dem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück; ein Antriebselement zum Antreiben des Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des Antriebselements aus einem organischen Polymermaterial besteht; und Einrichtungen zum Anlegen einer Spannung in dem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N an den Draht.

Alternativ wird mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung ein zu bearbeitendes Werkstück geschnitten, während eine dispergierte Schleifkörner enthaltende Aufschlämmung zwischen einem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück zugeführt wird. Die Vorrich tung umfasst: Einrichtungen zur Einführung der Aufschlämmung zwischen dem Draht und dem zu bearbeitenden Werkstück; ein Antriebselement zum Antrei ben des Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des Antriebsele ments aus einem organischen Polymermaterial besteht; einen Temperaturde tektor zur Bestimmung der Temperatur der Aufschlämmung; und eine Kühlein richtung zum Kühlen der Aufschlämmung, um die Temperatur der Aufschläm mung so zu kontrollieren (zu steuern), dass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Vorrichtung außerdem eine Einrichtung zum Erhitzen der Aufschlämmung.

Vorzugsweise umfasst die Vorrichtung ferner einen magnetischen Separator zur Abtrennung von Schlamm aus der Seltenerdmetall-Legierung, der während des Schneidens der Seltenerdmetall-Legierung entsteht, von der Aufschläm mung durch Anwendung eines Magnetfeldes.

Der magnetische Separator erzeugt vorzugsweise ein Magnetfeld von 0,3 Tesla oder mehr in einem Bereich, in dem der Schlamm entfernt wird.

Kurze Beschreibung der verschiedenen Darstellungen der Zeichnungen

Fig. 1 stellt ein Fließdiagramm dar, welches das Verfahren zur Herstellung ei nes Nd-Fe-B-Permanentmagneten erläutert;

Fig. 2A zeigt eine Frontantsicht der Blöcke von Brammen, die an einer Ar beitsplatte befestigt sind; und

Fig. 2B stellt eine Seitenansicht derselben dar.

Fig. 3A stellt eine perspektivische Ansicht dar, die den Hauptabschnitt einer Drahtsäge-Vorrichtung erläutert, die bei einer Ausführungsform der vorliegen den Erfindung bevorzugt verwendet wird; und

Fig. 3B stellt eine Frontantsicht derselben dar.

Fig. 4A stellt eine axiale Querschnittsansicht einer Hauptwalze dar; und

Fig. 4B stellt eine axiale Querschnittsansicht dar, die in einem größeren Maß stab einen Teil einer zylindrischen Muffe (Hülse) erläutert, die auf dem äuße ren Umfang der Hauptwalze vorgesehen ist.

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung, die ein Aufschlämmungs- Zirkulationssystem der Drahtsäge-Vorrichtung erläutert.

Fig. 6 stellt eine perspektivische Ansicht dar, die einen magnetischen Separa tor erläutert, der für die Drahtsäge-Vorrichtung vorgesehen ist.

Fig. 7 zeigt ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Geschwindigkeit und der Durchbiegung eines Drahtes erläutert.

Fig. 8 zeigt ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Viskosität der Auf schlämmung und der Durchbiegung des Drahtes erläutert.

Fig. 9 zeigt ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Werkstück- Schnittgeschwindigkeit und der Planarität der Schnittfläche des Werkstücks erläutert.

Fig. 10 zeigt ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Tiefe der Rillen einer Hauptwalze und der Häufigkeit der Drahtbrüche erläutert.

Fig. 11 zeigt ein Diagramm, das die Änderung des spezifischen Gewichts der Aufschlämmung mit dem Ablauf der Zeit während des Sägens für drei Stärken des Magnetfeldes in dem magnetischen Separator erläutert.

Fig. 12 zeigt ein Diagramm, das erläutert, wie die Welligkeit (Planarität) des Werkstücks und der Walzenverschleiß von der Spannung des Drahtes abhän gen.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben gefunden, dass dann, wenn eine Seltenerdmetall-Legierung mit einer Drahtsäge geschnitten wird, der Schlamm aus der Seltenerdmetall-Legierung, der während der Bearbeitung entsteht, sich in der Aufschlämmung schnell absetzt und innerhalb einer kur zen Zeitspanne aggregiert. Auf der Basis dieses Ergebnisses haben die Erfin der der vorliegenden Erfindung dieses Phänomen als einen Hauptfaktor der Verhinderung der praktischen Anwendung des Schneidens einer Seltenerdme tall-Legierung mit einer Drahtsäge angesehen. Wenn der aggregierte Schlamm die Zirkulation der Aufschlämmung in einer Rohrleitung mit darin zirkulierender Aufschlämmung einer Drahtsäge-Vorrichtung unterbricht, wird die Rohrleitung, in der die Aufschlämmung zirkuliert, verstopft. Es ist daher unmöglich, einen kontinuierlichen Langzeit-Betrieb durchzuführen, wenn die Aufschlämmung nicht häufig ersetzt wird.

Der Schlamm fällt aus und aggregiert, wahrscheinlich weil das spezifische Gewicht eines Seltenerdmetallelements und von Eisen als Komponenten einer Seltenerdmetall-Legierung größer ist als dasjenige eines Dispergiermediums (beispielsweise eines Öls) der Aufschlämmung. Ein Dispergiermedium, das eine vergleichsweise hohe Viskosität aufweist, wird als Dispergiermedium für die Aufschlämmung ausgewählt, sodass die Schleifkörner, die ein höheres spezifisches Gewicht als das Dispergiermedium haben, in der Aufschlämmung gut dispergiert werden. Die spezifischen Gewichte von SiC, von Diamant und von Aluminiumoxid (Al₂O₃), die üblicherweise als Schleifkörner verwendet wer den, liegen in einem ungefähren Bereich von etwa 3 bis etwa 4. Das spezifi sche Gewicht des Schlammes, der gebildet wird, wenn Silicium oder Quarzglas mit einer Drahtsäge geschnitten wird, beträgt ebenfalls etwa 3 bis etwa 4. Wenn daher eine Siliciumbramme oder Quarzglasbramme unter Anwendung eines Drahtsäge-Verfahrens geschnitten wird, wenden der Schlamm ebenso wie die Schleifkörner in der Aufschlämmung gleichförmig dispergiert und er setzt sich kaum ab und aggregiert nicht. Es wurden daher keine ernsthaften Probleme wegen einer solchen Ausfällung oder Aggregation verursacht.

Das Problem der Aggregation des Schlammes könnte gelöst werden durch Erhöhung der Viskosität der Aufschlämmung, weil der Schlamm aus einer Seltenerdmetall-Legierung in diesem Falle in der Aufschlämmung einheitlicher dispergiert werden könnte. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben je doch auf der Basis von Versuchsergebnissen gefunden, dass verschiedene Probleme, wie z. B. ein Brechen des Drahtes, immer noch auftreten, selbst wenn die Viskosität der Aufschlämmung erhöht wurde. Dies ist wahrscheinlich darauf zurückzuführen, dass der Schnittwiderstand einer Seltenerdmetall- Legierung weit höher ist als beispielsweise derjenige von Silicium. Im Hinblick auf diese Tatsachen haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung die Vis kosität der Aufschlämmung absichtlich auf einen niedrigeren Wert eingestellt als üblich, um dadurch den Austragswirkungsgrad des Schlammes zu erhöhen und den Schnittwiderstand der Seltenerdmetall-Legierung zu verringern. Es wurde ferner entschieden, den Schlamm von der Aufschlämmung abzutrennen und zu entfernen durch ein Magnetfeld unter Berücksichtigung der Eigenschaf ten des Schlammes einer Seltenerdmetall-Legierung. Insbesondere ist der Schlamm zwar schwer zu dispergieren, er wird jedoch leicht von einem Magne ten angezogen. Durch Anwendung dieser Maßnahmen kann eine Verstopfung innerhalb einer Zirkulations-Rohrleitung vermieden werden, die Aufschlämmung braucht nicht mehr so häufig ersetzt zu werden und die Schneidevorrich tung kann für eine wesentlich längere Zeitspanne kontinuierlich betrieben wer den als bei dem Stand der Technik.

Es sei darauf hingewiesen, dass dann, wenn der Legierungsschlamm von dem Magnetfeld angezogen wird, der Schlamm einen starken Widerstand erfährt durch die Viskosität des Öls in der Aufschlämmung. Erfindungsgemäß ist je doch die verwendete Viskosität der Aufschlämmung verhältnismäßig niedrig und es wird ein starkes Magnetfeld angewendet, um den Schlamm anzuzie hen. Der Schlamm kann daher wirksam und auf praktikable Weise abgetrennt werden.

Außerdem wird erfindungsgemäß die an den Draht angelegte Spannung so eingestellt, dass sie innerhalb des Bereiches zwischen 14,7 und 39,2 N liegt. Durch diese Einstellung wird verhindert, dass die Walzen aufgrund der Drahtspannung abgenutzt werden, und darüber hinaus kann eine Seltenerd metall-Legierung unter Beibehaltung einer hohen Planarität der Schnittflächen in dünne Scheiben geschnitten werden.

Erfindungsgemäß wird ferner die Temperatur der Aufschlämmung so kontrol liert (eingestellt), dass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches (beispielsweise zwischen 25°C und 30°C) liegt, und zu verhindern, dass die Temperatur in Abhängigkeit von der während des Schneideverfahrens entste henden Wärme variiert. Wenn die Temperatur der Aufschlämmung beim Schneiden ansteigt, ändert sich die Viskosität der Aufschlämmung gegenüber dem Wert bei Raumtemperatur, was zu einer Verschlechterung der Disper gier/Austrags-Eigenschaften des Schlammes führt. Erfindungsgemäß wird die ses Problem gelöst durch Kontrolle (Steuerung) der Temperatur der Auf schlämmung, sodass eine hohe Bearbeitungs-Genauigkeit erzielt werden kann und über einen langen Zeitraum hinweg aufrechterhalten werden kann.

Nachstehend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.

Zuerst wird ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung von erfindungsgemä ßen Seltenerdmetall-Legierungs-Scheiben beschrieben. Bei dieser Ausfüh rungsform kann eine ternäre Seltenerdmetalllegierungs-Verbindung Nd-Fe-B, die hauptsächlich aus Neodym (Nd), Eisen (Fe) und Bor (B) besteht, verwen det werden. Alternativ kann eine Seltenerdmetalllegierungs-Verbindung ver wendet werden, in der Dy (Dysprosium) und Co (Kobalt) jeweils einen Teil von Nd und einen Teil von Fe in Nd-Fe-B ersetzen. Magnete vom Nd-Fe-B-Typ sind bekannt als sehr starke Seltenerdmetallmagnete mit einem maximalen Energie-Produkt, das 320 kJ/m³ übersteigt.

Ein Verfahren zur Herstellung einer Bramme aus Nd-Fe-B wird nachstehend unter Bezugnahme auf das Fließdiagramm der Fig. 1 kurz beschrieben. Be züglich näherer Einzelheiten über die Zusammensetzung einer Seltenerdme tall-Legierung als Magnetmaterial und eines Verfahrens zur Herstellung des selben vgl. beispielsweise die US-Patente Nr. 4 770 723 und 4 792 368.

Zuerst werden in der in Fig. 1 dargestellten Stufe S1 die Ausgangsmaterialien in einem vorgegebenen Verhältnis der Mol-Fraktionen genau eingestellt. Dann werden in der Stufe S2 die Ausgangsmaterialien in einem Hochfrequenz- Schmelzofen im Vakuum oder in einer Argongas-Atmosphäre geschmolzen. Die geschmolzenen Ausgangsmaterialien werden in eine wassergekühlte Form gegossen, wodurch eine Ausgangsmaterial-Legierung in dem vorgegebenen Verhältnis hergestellt wird. Danach wird in der Stufe S3 die Ausgangsmaterial- Legierung pulverisiert zur Herstellung eines feinen Pulvers mit einer mittleren Teilchengröße von etwa 3 bis etwa 4 µm. Anschließend wird in der Stufe S4 das feine Pulver in eine Matrizen (Gesenk)-Anordnung eingeführt und in einem Magnetfeld gepresst. Während dieser Pressstufe wird das Pressen durchge führt, nachdem das feine Pulver erforderlichenfalls mit einem Schmier- bzw. Gleitmittel gemischt worden ist. Dann wird in der Stufe S5 ein Pressling aus dem Legierungspulver bei etwa 1000°C bis etwa 1200°C gesintert. Danach wird in der Stufe S6 eine Alterungs-Wärmebehandlung bei etwa 600°C durch geführt, um die Koerzitivkraft des Magneten zu erhöhen. Auf diese Weise kann eine Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung hergestellt werden. Die Größe der Bramme beträgt beispielsweise 30 mm × 50 mm × 60 mm.

In der Stufe S7 wird die Bramme aus der Seltenerdmetall-Legierung zerschnit ten und bearbeitet, wodurch die Bramme zu einer Vielzahl von dünnen Schei ben zerschnitten wird (diese Scheiben werden manchmal als "Substrate" und manchmal als "Wafer" bezeichnet). Bevor die Stufen ab der Stufe S8 be schrieben werden, wird nachstehend im Detail ein Verfahren zum Schneiden der Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung nach dem erfindungsgemä ßen Drahtsäge-Verfahren näher beschrieben.

Es wird Bezug genommen auf die Fig. 2A und 2B. Zuerst wird eine Vielzahl von Brammen 20, die nach dem vorstehend beschriebenen Verfahren herge stellt worden sind, mit einem Klebstoff 22 aus beispielsweise einem Epoxyharz miteinander verbunden. Die Brammen 20 werden an einer Eisen-Arbeitsplatte 26 befestigt, nachdem diese Brammen aufeinandergestapelt worden sind, un ter Bildung einer Vielzahl von Blöcken 24a bis 24c. Die Arbeitsplatte 26 und die Blöcke 24a bis 24c werden ebenfalls mit dem Klebstoff 22 miteinander verbun den. Insbesondere werden Trägerplatten 28 aus Kohlenstoff als Dummy zwi schen die Arbeitsplatte 26 und jeden der Blöcke 24a bis 24c gelegt. Die Koh lenstoff-Trägerplatten 28 werden auch mit der Arbeitsplatte 26 und den Blöc ken 24a bis 24c mit dem Klebstoff 22 verbunden. Die Kohlenstoff-Trägerplat ten 28 werden mit einer Drahtsäge zerschnitten, nachdem die Blöcke 24a bis 24c zerschnitten worden sind und bis die Arbeitsplatte 26 das Absenken stoppt. Das heißt, die Trägerplatten 28 fungieren als Dummy zum Schützen der Arbeitsplatte 26.

Bei dieser Ausführungsform ist die Größe jedes der Blöcke 24a bis 24c so ge staltet, dass sie etwa 100 mm beträgt, gemessen in der durch den Pfeil A in Fig. 2A angegebenen Richtung (nachstehend wird diese Richtung als "Drahtlaufrichtung" bezeichnet). Da die Größe jeder Bramme 20, gemessen in der Drahtlaufrichtung, bei dieser Ausführungsform etwa 50 mm beträgt, wird jeder der Blöcke 24a bis 24c hergestellt durch Aufeinanderstapeln eines Paa res von Brammen 20, die in der Drahtlaufrichtung seitlich nebeneinander lie gend angeordnet sind.

In der vorstehenden Beschreibung werden die Brammen 20, die an der Ar beitsplatte 26 befestigt sind, kollektiv als "Werkstück" bezeichnet. Durch Auftei len dieses Werkstückes in eine Vielzahl von Blöcken können die folgenden Effekte erzielt werden.

Wenn die Größe der Masse des Werkstücks in der Drahtlaufrichtung so groß ist, dass sie den maximalen Abstand übersteigt, den die Aufschlämmung errei chen kann, dann kann die Aufschlämmung nicht in ausreichendem Maße eini gen der Regionen des zu schneidenden Werkstücks zugeführt werden. Als Folge davon tritt möglicherweise ein Brechen des Drahtes auf. Da jedoch das Werkstück bei dieser Ausführungsform in Blöcke 24a bis 24c einer geeigneten Größe unterteilt ist, kann die Aufschlämmung in die Zwischenräume zwischen den Blöcken 24a bis 24c eingeführt werden und deshalb kann das Problem einer unzureichenden Zuführung der Aufschlämmung gelöst werden. Dies er laubt auch den Austrag des Schlammes, wenn der Draht die Zwischenräume zwischen den Blöcken passiert. Die Schnittausbeute ist daher verbessert.

Bei dieser Ausführungsform sind zwei Aufschlämmungs-Zuführungs-Rohrlei tungen 29 auf der Oberseite der Arbeitsplatte 26 angeordnet zur Einführung der Aufschlämmung in die Zwischenräume zwischen den Blöcken 24a bis 24c. Frische Aufschlämmung wird aus den schlitzförmigen Düsen 29a (allgemein auch als Öffnungen bezeichnet) der Aufschlämmungs-Zuführungs- Rohrleitungen 29 nach unten gesprüht. Der auf dem Draht abgelagerte Schlamm kann durch die Aufschlämmung abgewaschen werden, die aus den schlitzförmigen Düsen 29a zwischen den Blöcken zugeführt wird. Die Aufschlämmungs-Zuführungs-Rohrleitungen 29 erhalten aus einem Aufschläm mungs-Vorratstank (nachstehend beschrieben) frische Aufschlämmung, die keinen Schlamm enthält, oder Aufschlämmung, aus welcher der Schlamm entfernt worden ist. Die Aufschlämmungs-Zuführungs-Rohrleitungen 29 weisen beispielsweise eine Doppelrohr-Struktur auf. Die Breite jedes der Schlitze 29a ist so gestaltet, dass sie sich in Längsrichtung ändert, um die Aufschlämmung gleichförmig zuzuführen. Der Aufbau einer Aufschlämmungs-Zuführungs- Vorrichtung, die als Aufschlämmungs-Zuführungs-Rohrleitungen 29 verwend bar ist, ist beispielsweise in der offengelegten japanischen Patentpublikation Nr. 7-195358 beschrieben.

Bei dieser Ausführungsform ist das Werkstück auf die vorstehend beschriebe ne Weise in eine Vielzahl von Blöcken unterteilt. Die Größe jedes der Blöcke 24a bis 24c, gemessen in der Draht-Laufrichtung, ist jedoch variabel mit der Viskosität der Aufschlämmung und der Draht-Laufgeschwindigkeit. Die Anzahl und Anordnung der Brammen 20, die einen Block aufbauen, sind ebenfalls variabel mit der Größe jeder Bramme 20. Das Werkstück sollte daher in geeig neter Weise in Blöcke mit einer unter Berücksichtigung dieser Faktoren optima len Größe unterteilt sein. Bei dieser Ausführungsform sind die Aufschläm mungs-Zuführungs-Rohrleitungen 29 auf der Oberseite der Arbeitsplatte 26 angeordnet. Alternativ können sie auf der Unterseite der Arbeitsplatte 26 an geordnet sein, um die Aufschlämmung den Zwischenräumen zwischen den Blöcken 24a bis 24c zuzuführen.

Nachstehend wird der Hauptabschnitt 30 der Drahtsäge-Vorrichtung, die bei dieser Ausführungsform vorzugsweise verwendet wird, unter Bezugnahme auf die Fig. 3A und 3B beschrieben. Diese Drahtsäge-Vorrichtung umfasst drei Hauptwalzen 34a bis 34c, um die ein einzelner Draht 32 in zahlreichen Win dungen herumgewickelt ist. Unter diesen Walzen sind die beiden Hauptwalzen 34a und 34b in der Drahtsäge-Vorrichtung drehbar gelagert, sie sind jedoch nicht direkt mit irgendeiner Antriebseinrichtung, beispielsweise einem Motor, verbunden. Diese Walzen fungieren somit als gekoppelte Antriebswalzen. Dagegen steht die andere Hauptwalze 34c mit einer Antriebseinrichtung, bei spielsweise einem Motor (nicht dargestellt) in Verbindung, empfängt die ge wünschte Rotationskraft von der Antriebseinrichtung und kann mit einer festge legten Geschwindigkeit rotieren. Die Hauptwalze 34c überträgt die Rotations kraft auf die beiden anderen Hauptwalzen 34a und 34b mittels des Drahtes 32 und fungiert daher als Antriebswalze.

Der Draht 32 wird entsprechend der Rotation der Hauptwalzen 34a bis 34c geführt und er tritt aus einer Spule (nicht dargestellt) aus und wird auf eine an dere Spule (ebenfalls nicht dargestellt) aufgewickelt, während er sich entweder hin- und hergehend oder in einer Richtung mit einer vorgegebenen Geschwin digkeit (beispielsweise 600 bis 1000 m/min) bewegt.

Nachstehend wird die Konfiguration der Hauptwalzen 34a bis 34c unter Be zugnahme auf die Fig. 4A und 4B beschrieben. Auf der Oberfläche jeder der Hauptwalzen 34a bis 34c ist eine Muffe (Hülse) 62 vorgesehen. Eine Vielzahl von V-förmigen Rillen 64 ist in einem vorgegebenen Abstand auf dem äußeren Umfang der Muffe 62 (auf dem äußeren Umfang jeder der Hauptwalzen 34a bis 34c) angeordnet. Der Draht 32 wird so um die Hauptwalzen 34a bis 34c herumgewickelt, dass er in den Rillen 64 liegt. Der Umwicklungsabstand des Drahtes 32 wird definiert durch den Abstand der Rillen. Bei dieser Ausfüh rungsform wird der Abstand auf etwa 2,0 mm eingestellt. Der Abstand wird bestimmt in Abhängigkeit von der Dicke der dünnen Scheiben (Platten) die durch Schneiden der Brammen erhalten werden sollen. Deshalb werden Wal zen 34a bis 34c mit mehreren Rillen, die einen geeigneten Abstand (Ganghöhe) aufweisen, ausgewählt und zweckmäßig verwendet. Die Muffe 62 haftet an dem äußeren Umfang eines zylindrischen Halters 60 und kann zu sammen mit dem Halter 60 rotieren. Die Fig. 3A und 3B zeigen einen Zustand, in dem ein einzelner Draht 32 entlang einer großen Anzahl von Rillen 64 der Hauptwalzen 34a bis 34c aufgewickelt ist.

Bei dieser Ausführungsform besteht der Oberflächenabschnitt jeder Walze (die Muffe 62) aus einem Urethan-Kautschuk vom Ester-Typ (einem harten Ela stomer), einem organischen Polymermaterial. Bei einer konventionellen Vor richtung zum Schneiden einer Siliciumbramme mit einer Drahtsäge besteht die Muffe aus einem Urethan-Kautschuk vom Ether-Typ, sodass die Rillen mit ho her Präzision hergestellt werden können. Die Erfinder der vorliegenden Erfin dung haben jedoch aufgrund von Versuchs-Ergebnissen gefunden, dass eine Muffe aus einem Urethan-Kautschuk vom Ether-Typ sehr leicht dazu neigt, im Hinblick auf die bei dieser Ausführungsform verwendete Aufschlämmung auf zuquellen und die Abriebsbeständigkeit der Walzen in nachteiliger Weise zu verringern. Daher ist eine solche Muffe nur bei einem etwa 10-stündigen konti nuierlichen Betrieb verwendbar und daher weit davon entfernt, praktisch ein setzbar zu sein. Die bei dieser Ausführungsform verwendete Aufschlämmung enthält vorzugsweise ein Tensid oder ein Dispergiermittel in einer verhältnis mäßig niedrigen Konzentration. Daher scheint der Kautschuk mit einer solchen Aufschlämmung leichter aufzuquellen, obgleich der Urethan-Kautschuk vom Ether-Typ mit der zum Schneiden einer Siliciumbramme mit einer Drahtsäge verwendeten Aufschlämmung nicht aufquillt. Ein Urethan-Kautschuk vom Ester-Typ mit einer hohen Härte ist verhältnismäßig teuer. Dieser Kautschuk sollte jedoch verwendet werden, um bei Verwendung der Aufschlämmung die ser Ausführungsform einen kontinuierlichen Langzeitbetrieb zu ermöglichen. Wenn die Hauptwalzen unter Verwendung des Urethan-Kautschuks vom Ester-Typ hergestellt werden, kann die Vorrichtung für einen langen Zeitraum kontinuierlich betrieben werden, ohne dass im wesentlichen ein Problem in Bezug auf die Quellung auftritt. Durch die Verwendung dieses Materials wird auch eine Störung in Bezug auf das Herausspringen des Drahtes aus den Ril len vermieden, die bei Metallwalzen häufig auftritt.

Die auf den Hauptwalzen 34a bis 34c dieser Ausführungsform gebildeten V- förmigen Rillen 64 haben eine Tiefe von 0,3 mm oder mehr. Beim Schneiden einer Siliciumbramme mit einer konventionellen Vorrichtung wird die Tiefe der Rillen höchstens auf etwa 0,2 mm eingestellt. Wenn jedoch eine eine viskose Phase enthaltende Bramme, beispielsweise eine Bramme aus einer Sel tenerdmetall-Legierung, mit Hauptwalzen, die diese flachen Rillen aufweisen, bearbeitet wird, biegt sich der Draht in einem großen Umfang durch und er springt häufig aus den Rillen. Als Folge davon bricht der Draht, weil benachbar te Teile des Drahtes miteinander in Kontakt kommen. Wenn dagegen die Tiefe der Rillen auf 0,3 mm oder mehr festgelegt wird, kann dieses Problem elimi niert werden.

Wenn die Oberflächen der Walzen zu hart sind, besteht die Neigung, dass der Draht auf den Oberflächen der Walzen leicht rutscht. Dieses Rutschen kann manchmal den Grad des Abriebs der Walzen erhöhen. Durch Verwendung eines Urethan-Kautschuks vom Ester-Typ, der eine mittlere Härte hat, kann diese Störung des Abriebs der Walzen wirksam unterdrückt werden.

Der Draht wird aus einem harten gezogenen Stahldraht (beispielsweise Kla vierdraht) hergestellt und seine Dicke wird so festgelegt, dass sie in dem Be reich von etwa 0,06 bis etwa 0,25 mm liegt. Der Draht kann aus einer Legie rung, beispielsweise Ni-Cr und Fe-Ni, einem Metall mit einem hohen Schmelz punkt wie W und Mo oder einem Bündel von Nylon-Fasern bestehen. Die Schleifkörner können aus einem nicht-magnetischen Material wie SiC, Dia mant, Aluminiumoxid (Al₂O₃), B, C, CBN (kubischem Bornitrid) oder dgl. her gestellt sein.

Unter erneuter Bezugnahme auf die Fig. 3A und 313 wird während des Schnei deverfahrens das Werkstück gegen einen Abschnitt des laufenden Drahtes 32 gepresst, der zwischen den Hauptwalzen 34a und 34b gespannt ist. Bei dieser Ausführungsform kann die Aufschlämmung an mindestens drei Punkten dem Draht 32 zugeführt werden, von denen zwei den schlitzförmigen Düsen 29a der Aufschlämmungs-Zuführungs-Rohrleitungen 29 entsprechen, die innerhalb und oberhalb der Arbeitsplatte 26 angeordnet sind, um die Aufschlämmung durch die Zwischenräume zwischen den Blöcken zuzuführen. Der andere Auf schlämmungs-Zuführungspunkt ist eine Düse 36a (allgemein auch als Öffnung bezeichnet), die auf der linken Seite des Werkstückes in der Fig. 3B angeord net ist (stromaufwärts in der Draht-Laufrichtung A). Gegebenenfalls kann die Aufschlämmung nicht nur aus diesen Düsen 29a und 36a, sondern auch aus einer Düse 36b (ebenfalls allgemein als Öffnung bezeichnet) zugeführt wer den, die stromabwärts in der Drahtlaufrichtung A angeordnet ist.

Bei dieser Ausführungsform sind Einrichtungen zur Zuführung der Aufschläm mung zu einem Draht (in dem erläuterten Beispiel die Düsen 29a, 36a und 36b) in Positionen stromaufwärts und stromabwärts in der Drahtlaufrichtung, bezogen auf die Blöcke 24a bis 24c, angeordnet. Daher werden die Walzen mit einem Teil der aus den Düsen aufgesprühten Aufschlämmung gewaschen und auch der an der Oberfläche des Drahtes haftende Schlamm kann mit der Aufschlämmung weggewaschen werden, bevor der Schlamm die Walzen er reicht. Auf diese Weise wird ein Abrieb der Walzen vermieden.

Bei dieser Ausführungsform wird die Zusammensetzung der Aufschlämmung so eingestellt, dass die Viskosität der Aufschlämmung bei 25°C in dem Bereich von 92 bis 175 mPa.s liegt. Ein für die Aufschlämmung verwendetes Disper giermedium kann gereinigtes Mineralöl als eine Hauptkomponente, einen Ester (25 bis 35%), ein Antikorrosions-Additiv (1% oder weniger) und ein Extrem druck-Additiv (1% oder weniger) enthalten. Als Dispergiermedium für die Auf schlämmung kann auch ein anderes Material als ein Öl, z. B. eine wasserlösli che Glycol-Lösung, verwendet werden.

Da bei dieser vorstehend beschriebenen Ausführungsform eine Aufschläm mung mit einer niedrigen Viskosität verwendet wird, kann der in einer in die Seltenerdmetall-Legierung eingeschnittenen Rille gebildete Schlamm schnell aus der eingeschnittenen Rille herausfließen (d. h. der Austrags-Wirkungsgrad ist hoch) und er kann aus dem Bereich, der geschnitten wird, ausgestoßen werden. Das heißt mit anderen Worten, sie weist ein gutes Reinigungsvermö gen auf. Daher wird der Lauf des Drahtes durch den Schlamm in der einge schnittenen Rille nicht sehr beeinträchtigt und die Probleme, die im Zusammenhang mit einem Drahtbruch auftreten als Folge der Erhöhung des Schneidwiderstandes, können gelöst werden. Außerdem kann durch Verwen dung einer Aufschlämmung mit einer niedrigen Viskosität die durch den lau fenden Draht zu den Hauptwalzen transportierte Schlammmenge herabgesetzt werden. Als Folge davon kann auch die Ablagerung des Schlammes in den Rillen der Hauptwalzen unterdrückt werden. Infolgedessen kann ein Brechen des Drahtes verhindert werden und der Draht kann nach Beendigung aus dem Werkstück leicht gelöst werden, nachdem das Schneiden beendet worden ist. Außerdem wird durch eine solche Aufschlämmung der Schneideabschnitt wirk sam gekühlt und dadurch wird die Schleifwirkung der Schleifkörner an dem Werkstück weiter verbessert.

Nachstehend wird die Fig. 3B erläutert. Während des Werkstück-Schneidens wird die Arbeitsplatte 26 entlang des Pfeils D mittels einer Antriebseinrichtung (nicht dargestellt) mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit (beispielsweise 0,3 bis 1,0 mm/min) nach unten bewegt (abgesenkt), sodass das an der Arbeits platte 26 befestigte Werkstück gegen den in horizontaler Richtung (entlang des Pfeils A) laufenden Draht 32 gepresst wird. Durch Zuführung einer ausreichen den Menge Aufschlämmung zwischen dem Werkstück und dem Draht 32 wird der Schlamm zwischen dem Werkstück und dem Draht 32 ausgetragen, so dass das Werkstück kontinuierlich geschnitten werden kann. Wenn die Ar beitsplatte 26 mit einer höheren Geschwindigkeit gesenkt wird, kann die Schnittgeschwindigkeit verbessert werden. Da jedoch der Schneidewiderstand in einem solchen Fall zunimmt, besteht die Gefahr, dass der Draht 32 Wellen bildet und dass die Planarität der Schnittfläche des Werkstücks möglicherwei se abnimmt. Wenn die Planarität der Schnittfläche des Werkstücks abnimmt, nimmt die zur Durchführung des Schleifens während einer nachfolgenden Verfahrensstufe erforderliche Zeit zu oder es werden mangelhafte Produkte in höherem Prozentsatz gebildet. Es ist daher erforderlich, die Absenkgeschwin digkeit oder die Schnittgeschwindigkeit des Werkstückes auf einen geeigneten Bereich einzustellen.

Wenn das Werkstück nach unten bewegt wird, durchschneidet der Draht 32, der in einem vorgegebenen Abstand (Ganghöhe) aufgewickelt ist, das Werk stück in Form einer Mehrfachdraht-Säge, wodurch gleichzeitig eine große An zahl von eingeschnittenen Rillen in dem Werkstück gebildet wird, und die Tiefe der Rillen mit fortschreitender Bearbeitung zunimmt. Wenn die eingeschnitte nen Rillen jede Bramme vollständig durchquert haben, ist der Schneidevor gang bei der Bramme beendet. Als Folge davon wird eine große Anzahl von Wafern (Scheiben), die jeweils eine durch die Ganghöhe der Drahtlinien und die Dicke des Drahtes bestimmte Dicke haben, gleichzeitig von der Bramme abgeschnitten. Nachdem alle Brammen 20 zerschnitten worden sind, wird die Arbeitsplatte 26 durch die Antriebseinrichtung entlang des Pfeils D angehoben. Danach werden die jeweiligen Blöcke von der Arbeitsplatte 26 entfernt und dann werden die abgeschnittenen Wafer (Scheiben) aus jedem Block ent nommen.

Bei dieser Ausführungsform wird die Spannung des Drahtes während des Schneidevoranges so eingestellt, dass sie innerhalb des Bereiches zwi schen 14,7 und 39,2 N liegt. Wenn die Drahtspannung die Obergrenze dieses Bereiches übersteigt, verbessert sich die Planarität der Schnittfläche des Werkstückes, der Verschleiß der Walzen nimmt jedoch weiter zu. Wenn die Drahtspannung weniger als 14,7 N beträgt, nimmt die Planarität der Schnittflä che des Werkstückes ab. Der Grund dafür, warum die Drahtspannung vor zugsweise auf einen Wert innerhalb des oben angegebenen Bereiches einge stellt werden sollte, wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 12 im Detail beschrieben.

Bei dieser Ausführungsform wird das Schneiden durchgeführt, während das Werkstück von einer Position oberhalb des Drahtes 32 abgesenkt wird. Daher sind die Brammen 20, die bereits zerschnitten worden sind, noch mit dem Klebstoff 22 mit der Arbeitsplatte 26 verbunden und sie werden zusammen mit der Arbeitsplatte 26 abgesenkt. Das heißt mit anderen Worten, die Brammen 20, die bereits zerschnitten worden sind, sind unterhalb des Drahtes 32 angeordnet. Dementsprechend werden selbst dann, wenn die abgeschnittenen Teile des Werkstückes sich ablösen oder von dem Werkstück abfallen, diese Teile von einer Sammelgrube 37 aufgenommen (vgl. Fig. 5) und sie kommen niemals wieder mit dem Draht 32 in Kontakt. Auf diese Weise werden die be reits abgeschnittenen Legierungsscheiben in die nächste Verfahrensstufe überführt unter Aufrechterhaltung einer hohen Qualität.

Durch das Durchführen des Schneidens, während das Werkstück von einer Position oberhalb des Drahtes 32 wie vorstehend beschrieben abgesenkt wird, wird ein weiterer Vorteil erzielt. Das heißt, der beim Schneiden des Werkstücks gebildete Schlamm, der ein höheres spezifisches Gewicht hat als Silicium, kann aus den Schnittrillen durch die Schwerkraft leicht ausgetragen werden. Dadurch wird die Belastung vermindert, die auf den Draht einwirkt, wenn das Werkstück von dem Draht entfernt wird und dies trägt zu einer Unterdrückung des Verschleißes der Walzen bei.

Da das Werkstück von oben gegen den Draht 32 gepresst wird, wird der Draht 32 in eine Richtung verformt, die zu einer Verlängerung des Abschnitts des Drahtes 32 führt, der mit den Walzen 34a, 34b in Kontakt steht, um die der Draht 32 herumgewickelt ist. Da die Kontaktfläche zwischen den Walzen 34a, 34b und dem Draht 32 zunimmt, ist das Auftreten eines Rutschens des Drahtes 32 weniger wahrscheinlich und die Anpresskraft pro Einheitskontakt fläche des Drahtes 32 gegen die Walzen 34a, 34b nimmt ab. Die Abnahme der Anpresskraft des Drahtes 32 trägt dazu bei, dass ein Verschleiß (Abrieb) der Walzen verhindert wird.

Nachstehend wird die schematische Anordnung des Aufschlämmungs-Zirku lations-Systems der Drahtsäge-Vorrichtung 40 unter Bezugnahme auf die Fig. 5 beschrieben. Wie in der Fig. 5 schematisch dargestellt, umfasst die Drahtsä ge-Vorrichtung 40 ein Aufschlämmungs-Zirkulations-System zur Einführung der Aufschlämmung in den Hauptabschnitt 30 der Vorrichtung 40 und zum Sammeln der gebrauchten Aufschlämmung, die den durch die Bearbeitung gebildeten Schlamm enthält.

In dieser Vorrichtung 40 wird die Aufschlämmung aus einem Aufschläm mungsvorratstank 42 durch eine erste Zirkulations-Rohrleitung 44 in die Auf schlämmung-Zuführungs-Rohrleitungen 29 oberhalb der Arbeitsplatte 26 und der Düsen 36a und 36b, die in den Fig. 3A und 3B dargestellt sind, während des Schneidens des Werkstückes zugeführt. Für diese Zuführung wird eine Pumpe P1 verwendet. Die Aufschlämmung, die zum Schneiden verwendet worden ist, tropft von dem bearbeiteten Teil und den ihn umgebenden Berei chen herunter und wird aufgenommen von einer Sammelgrube 37, die unter halb der Arbeitsplatte 26 angeordnet ist. Dann wird die Aufschlämmung aus der Sammelgrube 37 durch eine zweite Zirkulations-Rohrleitung 46 in ein Ab trennungs-Reservoir transportiert, in dem die Aufschlämmung einer Schlammabtrennung unter Verwendung eines magnetischen Separators 50 unterworfen wird, wie weiter unten beschrieben. Dann wird die Aufschlämmung in einem Rückgewinnungstank 48 aufbewahrt. Die Aufschlämmung, die ihren Anfangszustand vor dem Schneiden durch das Schlammabtrennungs-Verfah ren im wesentlichen wieder zurückgewonnen hat, wird durch eine dritte Zirku lations-Rohrleitung 49 in den Schlamm-Zuführungstank 42 transportiert. Für diesen Transport wird eine Relaispumpe P2 verwendet. Ein Filter F wird in die Mitte der dritten Zirkulations-Rohrleitung 49 eingesetzt zur Entfernung des Schlammes, der bei der Entfernung mit dem magnetischen Separator 50 noch verblieben ist. Als Filter F wird vorzugsweise ein Sack-Filter verwendet.

Der feine Schlamm, der den Filter F passiert hat, setzt sich in dem Auf schlämmungs-Zuführungstank 42 ab. Der feine Schlamm hat die Neigung zu aggregieren, da er durch den magnetischen Separator 50 magnetisiert worden ist, und setzt sich somit leicht ab. Deshalb kann die Schlammmenge, die in der dem Hauptabschnitt 30 durch die erste Zirkulations-Rohrleitung 44 zugeführten Aufschlämmung verbleibt, weiter herabgesetzt werden.

Bei dieser Ausführungsform werden die Abtrennung und Entfernung des Schlammes auf diese Weise wirksam durchgeführt, während die Abtrennung und Rückgewinnung der Aufschlämmung cyclisch durchgeführt werden. Daher ist ein Ersatz der Aufschlämmung für eine sehr lange Zeit nicht erforderlich und das Schneideverfahren kann somit für einen sehr langen Zeitraum kontinuier lich durchgeführt werden. In dem Aufschlämmungs-Zirkulations-System kön nen etwa 100 bis 300 I Aufschlämmung im Kreislauf geführt werden. Um die Viskosität der Aufschlämmung innerhalb eines gewünschten Bereiches zu halten, wird vorzugsweise in geeigneten Zeitintervallen neue Aufschlämmung zugegeben. Zu diesem Zweck kann die Viskosität der Aufschlämmung in re gelmäßigen Abständen gemessen werden und wenn die Viskosität der Auf schlämmung außerhalb des definierten Bereiches liegt, kann neue Auf schlämmung der Vorrichtung (beispielsweise dem Aufschlämmungs-Zufüh rungstank 42) in dem erforderlich Umfang zugeführt werden. Diese partielle Zufuhr von Aufschlämmungen ist vollständig verschieden von dem konventio nellen Gesamtaustausch der Aufschlämmung insofern, als diese Zuführung ohne Unterbrechung des Schneideverfahrens durchgeführt werden kann.

Außerdem ist, wie in der Fig. 5 dargestellt, der Aufschlämmungs-Zuführungs tank 42 bei dieser Ausführungsform mit einem Tennperatursensor 47a und ei ner Kühleinrichtung 47b ausgestattet. Wenn die von dem Temperatursensor 47a gemessene Temperatur der Aufschlämmung einen vorgegebenen Wert (z. B. 30°C) übersteigt, wird die Kühleinrichtung 47b aktiviert, um die Auf schlämmung in dem Aufschlämmungs-Zuführungstank 42 zu kühlen. Die Tem peratur der Aufschlämmung wird vorzugsweise in einer Position näher bei dem Schneideabschnitt (oder dem Aufschlämmungs-Zuführungsabschnitt), bei spielsweise in einer Position zwischen den Düsen 36a und 36b, gemessen und der magnetische Separator 50 wird bezüglich der Temperatur der Aufschläm mung in dem Schneideabschnitt so eingestellt, dass sie innerhalb eines geeig neten Bereiches liegt.

Alternativ kann ein zusätzlicher Sensor vorgesehen sein zur Messung der Temperatur der Aufschlämmung, die gerade aus dem Schneideabschnitt aus getragen worden ist. In diesem Fall wird das Kühlen der Aufschlämmung kon trolliert auf der Basis der beiden Aufschlämmungs-Temperaturwerte, die in zwei Positionen gemessen worden sind. Durch diese Messung kann die Tem peratur der gesamten Aufschlämmung während der Zirkulation genauer be stimmt werden und dadurch werden Probleme, wie z. B. eine übermäßige Ab kühlung der Aufschlämmung durch die Kühleinrichtung 47b, verhindert. Da durch ist es möglich, die Aufschlämmung, deren Temperatur so eingestellt worden ist, dass sie innerhalb eines geeigneten Temperaturbereiches liegt, dem Schneideabschnitt auf eine stabilere Weise zuzuführen.

Das Output des Temperatursensors 47a wird auf eine Kontrolleinrichtung (nicht dargestellt) aufgegeben, in der der gemessene Temperaturwert mit ei nem vorher eingegebenen Temperaturwert verglichen wird. Auf der Basis der Vergleichsergebnisse regelt die Kontrolleinrichtung den Betreib der Kühlein richtung 47b.

Die Kühleinrichtung 47b kann außerhalb des Aufschlämmungstanks 42 ange ordnet sein, wie in Fig. 5 dargestellt, um es der Aulfschlämmung in dem Auf schlämmungstank 42 zu ermöglichen, zwischen dem Aufschlämmungstank 42 und der Kühleinrichtung (beispielsweise einem Wärmeaustauscher) 47b durch eine Umgehungs-Rohrleitung zu zirkulieren. Diese Zirkulationskühlung verhin dert, dass die Temperatur-kontrollierte Aufschlämmung direkt in den Hauptab schnitt der Drahtsäge-Vorrichtung eingeführt wird. Statt dessen wird die Durch schnitts-Temperatur der Aufschlämmung in dem Aufschlämmungstank 42 langsam herabgesetzt. Als Folge davon tritt keine abrupte Änderung der Tem peratur der Aufschlämmung auf, die dem Hauptabschnitt der Drahtsäge-Vor richtung zugeführt wird, und auf diese Weise kann die Aufschlämmung bei ei ner stabilen Temperatur zugeführt werden. Dies verhindert, dass sich die Vis kosität der dem Schneideabschnitt des Werkstückes zugeführten Aufschlämmung abrupt ändert und auf diese Weise wird ein stabiles Schneiden gewähr leistet.

Es können verschiedene Konstruktionen der Kühleinrichtung 47b angewendet werden. Beispielsweise kann Kühlwasser als Wärmeaustauschmedium entlang des äußeren Umfangs einer Rohrleitung strömen, durch die die Aufschläm mung fließt. Die die Rohrleitung durchströmende Aufschlämmung kann mit dem Kühlwasser gekühlt werden, wodurch die Temperatur herabgesetzt wird. In diesem Fall kann die Temperatur der Aufschlämmung durch Kontrolle des Stromes und/oder der Temperatur des Kühlwassers reguliert werden.

Bei dieser Ausführungsform wird die Temperatur-Kontrolle bei der Aufschläm mung durchgeführt, die dem weiter unten beschriebenen Schlamm-Entfer nungsprozess unterworfen worden ist. Dadurch wird das Auftreten eines Absit zens des Schlammes in der Kühleinrichtung (dem Wärmeaustauscher) in vor teilhafter Weise verhindert und dadurch ist es möglich, die Aufschlämmung wirksam und zuverlässig zu kühlen.

Im allgemeinen wird die Aufschlämmung mit der während Schneidens entste henden Wärme, mit der Wärme einer Pumpe und dgl. erhitzt. Die Temperatur der Aufschlämmung kann über Raumtemperatur hinaus ansteigen bis bei spielsweise auf etwa 60°C. Bei dieser Ausführungsform, die mit der Kombina tion aus dem Temperatursensor 47a und der Kühleinrichtung 47b ausgestattet ist, kann die Aufschlämmungs-Temperatur beispielsweise bei etwa 30°C gehal ten werden und somit wird eine Schwankung der Aufschlämmungs-Temperatur unterdrückt. Dementsprechend kann die gewünschte Viskosität der Auf schlämmung für einen langen Zeitraum aufrechterhalten werden. Bei dieser Ausführungsform wird das Werkstück zerschnitten, indem man das Werkstück von oben her gegen den Draht presst, wie weiter oben beschrieben. Während dieses Schneidens haftet die Aufschlämmung an dem Draht und wird in die Schnittrillen (das heißt in die Schneideabschnitte) eingeführt, während der Draht in das Werkstück hinein vordringt. Durch Regulierung der Temperatur der Aufschlämmung und somit durch Kontrolle der Viskosität der Aufschläm mung, sodass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt, wird daher gewährleistet, dass eine ausreichende Menge Aufschlämmung den einge schnittenen Rillen zugeführt wird zusammen mit dem Draht, an dem die Auf schlämmung haftet.

Wenn die Raumtemperatur niedrig ist, kann die Temperatur der Aufschläm mung bei Beginn der Operation zu niedrig sein, verglichen mit der Gleichge wichts-Temperatur (beispielsweise 30°C) während der Bearbeitung. In einem solchen Fall kann die Aufschlämmung vor Beginn des tatsächlichen Schneide- Verfahrens im Kreislauf geführt werden. Die Aufschlämmung wird dann mit der von einer Pumpe gebildeten Wärme erhitzt, die eingeschaltet wird, um die Auf schlämmung und dgl. im Kreislauf zu führen, sodass die Temperatur der Auf schlämmung auf einen Wert nahe der Gleichgewichts-Betriebstemperatur an steigt. Das tatsächliche Schneide-Verfahren kann erst begonnen werden, nachdem der oben genannte Temperatursensor bestätigt hat, dass die Tempe ratur der Aufschlämmung den gewünschten Temperaturbereich erreicht hat.

Nachstehend wird der magnetische Separator 50 unter Bezugnahme auf die Fig. 6 beschrieben. Der magnetische Separator 50 erzeugt ein Magnetfeld zur Abtrennung des Schlammes von der gebrauchten Aufschlämmung (schmut zigen Flüssigkeit) 52, die den Schlamm enthält und in dem Abtrennungsreser voir 54 aufbewahrt wird. Das Abtrennungsreservoir 54 ist mit einer Trennwand (Zwischenwand) 54a ausgestattet, die bewirkt, dass sich ein großer Teil des Schlammes in dem Abtrennungsreservoir 54 absetzt. Ein kleiner Teil des Schlammes, der in der schmutzigen Flüssigkeit 52 schwimmt, hat zusammen mit der schmutzigen Flüssigkeit 52 die Trennwand 54a erfolgreich überwunden und dieser wird auf die nachstehend im Detail beschriebene Weise von der schmutzigen Flüssigkeit 52 magnetisch abgetrennt.

Der magnetische Separator 50 umfasst eine Trommel 56, in der ein starker Magnet (ein Permanentmagnet oder ein Elektromagnet) angeordnet ist, und eine Abquetschwalze 57, die sich dreht, während sie in engem Kontakt mit ei nem Teil des äußeren Umfangs der Trommel 56 erhalten wird. Die Trommel 56 ist um eine feste Achse drehbar gelagert und steht in partiellem Kontakt mit der Aufschlämmung 52 in dem Abtrennungsreservoir 54. Die Abquetschwalze 57 besteht aus einem öldichten Kautschuk oder dgl. und wird gegen den äußeren Umfang der Trommel 56 gepresst als Folge der Andrückkraft einer Feder. Wenn die Trommel 56 durch einen Motor (nicht dargestellt) in der durch den Pfeil angezeigten Richtung gedreht wird, übt die Drehung eine Reibungskraft auf die Ausquetschwalze 57 aus und dadurch wird die Ausquetschwalze 57 in Rotation versetzt.

Der in der Aufschlämmung 52 schwimmende Schlamm wird von dem Magne ten in der Trommel 56 angezogen und haftet an dem äußeren Umfang der ro tierenden Trommel 56. Der Schlamm, der an dem äußeren Umfang der Trom mel 56 haftet, wird durch die Rotation der Trommel 56 aus der Aufschlämmung 52 entfernt und läuft ab zwischen der Trommel 56 und der Ausquetschwalze 57. Dann wird der Schlamm von der Oberfläche der Trommel 56 mittels eines Kratzers 58 abgekratzt und dann in einer Schlammbox 59 gesammelt. Die re sultierende Aufschlämmung, die nach der Entfernung des Schlammes zurück bleibt, wird durch eine Rohrleitung 60, die an einem Ende der Länge der Trommel 56 angeordnet ist, in den Rückgewinnungstank 48 transportiert. Ein beispielhafter Aufbau der Einrichtung zur Entfernung von Schlamm, die als magnetischer Separator 50 verwendbar ist, ist beispielsweise in der geprüften japanischen Gebrauchsmuster-Publikation Nr. 63-23962 beschrieben. Als Er gebnis der Versuche, die von den Erfindern der vorliegenden Erfindung (wie weiter unten beschrieben) durchgeführt wurden, wird das Magnetfeld an dem äußeren Umfang (an der Schlammsammelfläche) der Trommel 56 in der Auf schlämmung 52 vorzugsweise auf 0,27 Tesla oder mehr, besonders bevorzugt auf 0,3 Tesla oder mehr, eingestellt, um den Schlamm aus der Seltenerdme tall-Legierung in der Aufschlämmung an die Oberfläche der Trommel 56 anzu ziehen. Da die Viskosität der Aufschlämmung bei dieser Ausführungsform ver gleichsweise niedrig ist, kann der magnetische Separator 50 in vorteilhafter Weise den Schlamm aus der Seltenerdmetall-Legierung leicht sammeln. Dies ist deshalb so, weil eine Menge des Schlammes wirksamer gesammelt werden kann wegen der Abnahme des Viskositätswiderstandes, der auf den Schlamm einwirkt, der sich in einem Magnetfeld bewegt, das in der Aufschlämmung 52 erzeugt worden ist.

Wenn der Schlamm durch Verwendung eines solchen Separators wirksam entfernt wird, kann die Viskosität der Aufschlämmung niedrig gehalten werden. Deshalb kann die Schnittbelastung, die auf den Draht an der Schnittfläche des Werkstückes einwirkt, für einen langen Zeitraum bei einem ausreichend niedri gen Wert gehalten werden.

Nachstehend werden einzelne Parameter, beispielsweise die Geschwindigkeit des Drahtes, die Viskosität der Aufschlämmung und die Werkstück-Schnittge schwindigkeit unter Bezugnahme auf die Fig. 7 bis 12 beschrieben.

Die Fig. 7 erläutert die Beziehung zwischen der Geschwindigkeit des Drahtes (d. h. der Geschwindigkeit, mit der der Draht aufgewickelt wird oder läuft) und der Durchbiegung des Drahtes (Durchmesser 0,18 mm ∅). Der Versuch wurde durchgeführt, während die Geschwindigkeit, mit der das Werkstück abgesenkt wurde, auf einen im wesentlichen konstanten Wert, in dem Bereich von 15 bis 25 mm/h eingestellt wurde. Die Viskosität der in diesem Versuch verwendeten Aufschlämmung betrug 110 mPa.s bei 25°C. Es sei darauf hingewiesen, dass ähnliche Ergebnisse wie die in Fig. 7 dargestellten erhalten wurden, wenn die Werkstück-Absenkgeschwindigkeit in dem Bereich von 15 bis 30 mm/h lag.

Wenn das Schneiden des Werkstücks mit einem Draht nicht ausreichend glatt abläuft, nimmt die Durchbiegung des Drahtes zu. Dies bedeutet, dass der Schneidewiderstand des Werkstücks goß ist und das Werkstück nicht mit ei nem zufriedenstellenden Wirkungsgrad geschnitten werden kann. Das bedeu tet anders ausgedrückt, dass dann, wenn die Durchbiegung des Drahtes ge ring ist, das Werkstück mit einem guten Wirkungsgrad geschnitten werden kann. Wie in Fig. 7 dargestellt, kann die Durchbiegung auf 8 mm oder weniger unterdrückt werden, während die Drahtgeschwindigkeit innerhalb des Berei ches von 420 bis 760 m/min liegt. Andererseits steigt die Durchbiegung schnell an, wenn die Drahtgeschwindigkeit außerhalb des Bereiches von 420 bis 760 m/min liegt. Wenn die Drahtgeschwindigkeit ansteigt, nimmt die Tiefe des Ein schnitts (d. h. die Tiefe eines Teils aus der Seltenerdmetall-Legierung, die ge schnitten wird und durch die Schleifkörner auf dem Draht geschliffen wird) bis zu einem gewissen Grade zu. Wenn jedoch die Schnittgeschwindigkeit zu stark erhöht wird, kann keine ausreichende Menge Aufschlämmung auf dem Draht verbleiben und die Tiefe des Einschnitts nimmt im wesentlichen ab. Wenn die Drahtgeschwindigkeit in dem Bereich von 500 bis 670 m/min liegt, stellt sich die Durchbiegung auf einen Minimalwert ein. Daher wird die Drahtgeschwin digkeit vorzugsweise auf einen Wert innerhalb des Bereiches von 420 bis 760 m/min. besonders bevorzugt innerhalb des Bereiches von 500 bis 670 m/min. eingestellt.

Die Fig. 8 erläutert die Beziehung zwischen der Viskosität der Aufschlämmung und der Durchbiegung des Drahtes. Wie in Fig. 8 dargestellt, beträgt die Durchbiegung 14 mm oder weniger und die Schnittausbeute ist zufriedenstel lend, wenn die Viskosität der Aufschlämmung bei 25°C in dem Bereich von 92 bis 175 mPa.s liegt. Insbesondere dann, wenn die Viskosität der Aufschläm mung bei 25°C in dem Bereich von 110 bis 150 mPa.s liegt, beträgt die Durchbiegung 8 mm oder weniger und die Schnittausbeute erreicht einen noch vorteilhafteren Wert. Wenn die Viskosität der Aufschlämmung hoch ist, neigt der Schlamm aus der Seltenerdmetall-Legierung dazu, sich innerhalb der Schnittrillen des Werkstückes abzulagern. Dementsprechend steigt der Schnittwiderstand, während die Schnittausbeute abnimmt. Als Folge davon nimmt die Durchbiegung des Drahtes in nachteiliger Weise zu. Im Hinblick auf diese Faktoren wird die Viskosität der Aufschlämmung bei 25°C auf einen Wert innerhalb des Bereiches von 92 bis 175 mPa.s, besonders bevorzugt innerhalb des Bereiches von 110 bis 150 mPa.s, eingestellt.

Die Fig. 9 erläutert die Beziehung zwischen der Werkstück-Schneidege schwindigkeit und der Planarität der Schnittfläche des Werkstücks. Die Schneidegeschwindigkeit entspricht der Absenkgeschwindigkeit des Werk stücks oder der Arbeitsplatte. Wie in Fig. 9 dargestellt, wird die Planarität der Schnittfläche des Werkstücks schlechter, wenn die Werkstück-Schneidege schwindigkeit zunimmt. Wenn die Planarität 0,030 mm übersteigt, nimmt der Bearbeitungs-Wirkungsgrad insgesamt ab im Hinblick auf die für eine nachfol gende Polierstufe erforderliche Zeit. Daher beträgt die Planarität vorzugsweise 0,030 mm oder weniger und die Werkstück-Schneidegeschwindigkeit wird vor zugsweise so eingestellt, dass die Planarität der bearbeiteten Fläche 0,030 mm oder weniger beträgt. Daher wird bei dieser Ausführungsform die Werk stück-Schneidegeschwindigkeit vorzugsweise auf 29 mm/h oder weniger ein gestellt.

Die Fig. 10 erläutert die Beziehung zwischen der Tiefe der Rillen einer Haupt walze und der Häufigkeit der Drahtbrüche, bestimmt als Häufigkeit pro Monat (T/M). Wie in der Fig. 10 dargestellt, nimmt die Häufigkeit der Drahtbrüche ab, wenn die Tiefe der Rillen 0,3 mm oder mehr beträgt. Wenn die Tiefe der Rillen einer Hauptwalze 0,5 mm oder mehr beträgt, ist die Möglichkeit eines Draht bruches beträchtlich niedriger. Wenn die Tiefe der Rillen 0,6 mm oder mehr beträgt, tritt kaum noch ein Drahtbruch auf. Daher muss die Tiefe der Rillen in der Praxis 0,3 mm oder mehr betragen und vorzugsweise beträgt sie 0,5 mm oder mehr, besonders bevorzugt 0,6 mm oder mehr. Obgleich in der Fig. 10 nicht dargestellt, treten pro Monat 15 Drahtbrüche oder mehr auf, wenn die Tiefe der Rillen weniger als 0,3 mm beträgt.

In der Fig. 11 wird anhand eines Diagramms die Änderung des spezifischen Gewichts der Aufschlämmung mit dem Ablauf der Zeit während des Sägens bei drei Magnetfeldstärken in dem magnetischen Separator erläutert. Es ist bekannt, dass das spezifische Gewicht der Aufschlämmung um so größer ist, je höher die Konzentration an Seltenerdmetall-Legierungsschlamm in der Auf schlämmung ist. Im Hinblick auf dieses Phänomen haben die Erfinder der vorliegenden Erfindung analysiert, wie die Konzentration des Schlammes mit der Betriebsdauer der Vorrichtung zunimmt. In der Fig. 11 sind die Daten in Bezug auf die folgenden drei Fälle dargestellt. Nämlich der Fall, bei dem der magneti sche Separator nicht verwendet wird, mit ∎ dargestellt; der Fall, bei dem ein magnetischer Separator mit einem an die Oberfläche der Trommel angelegten Magnetfeld von 0,1 Tesla verwendet wird, dargestellt durch ⬩; und der Fall, bei dem ein magnetischer Separator, bei dem ein Magnetfeld von 0,3 Tesla an die Oberfläche der Trommel angelegt wird, verwendet wird, dargestellt durch ▲. Die Viskosität der in diesem Versuch verwendeten Aufschlämmung be trägt 110 mPa.s bei 25°C. Wie aus der Fig. 11 ersichtlich, wird das spezifische Gewicht der Aufschlämmung bei einem im wesentlichen konstanten Wert von etwa 1,5 gehalten, wenn das an die Oberfläche der Trommel angelegte Ma gnetfeld 0,3 Tesla beträgt. Dies bedeutet, dass der Schlamm in ausreichen dem Maße abgetrennt und gesammelt worden ist und deshalb ein kontinuierli cher Langzeit-Betrieb durchgeführt werden kann, ohne dass die Aufschläm mung vollständig ersetzt wird. Es sei darauf hingewiesen, dass dann, wenn das Magnetfeld weniger als 0,1 Tesla beträgt, der Draht bricht, nachdem die Bearbeitung 4 h lang durchgeführt worden ist, was dem Effekt entspricht, der erhalten wird, wenn kein magnetischer Separator verwendet wird.

Die Fig. 12 erläutert in Form eines Diagramms, wie die Welligkeit (Planarität) einer Werkstück-Schnittfläche und der Walzen-Abrieb von der Drahtspannung abhängen. In der Fig. 12 repräsentiert die durchgezogene Linie, welche die Markierungen "∎" verbindet, die Planarität einer Werkstück-Schnittfläche in Abhängigkeit von der Drahtspannung und die gestrichelte Linie, welche die Markierungen "⬩" verbindet, repräsentiert den Wallzenabrieb in Abhängigkeit von der Drahtspannung. Die linke y-Achse repräsentiert die Planarität einer Werkstück-Schnittfläche, während die rechte y-Achse den Walzenabrieb dar stellt. Je kleiner der Wert für die "Planarität" ist, um so geringer ist der Grad der Wellenbildung der Schnittfläche. Unter dem hier verwendeten Ausdruck "Wal zenabrieb" ist der Abrieb (Verschleiß) des äußeren Umfangs der Walze (der Fläche der Walze, die mit dem Draht in Kontakt kommt) zu verstehen, der auftritt, wenn der Draht den Boden der V-förmigen Rille der Walze abreibt, was zur Bildung einer Y-förmigen tiefen Rille im Querschnitt führt. In diesem Dia gramm ist der Grad des Walzenabriebs dargestellt durch die Tiefe einer neu gebildeten Rille ab dem Boden der V-förmigen Rille nach unten während einer vorher festgelegten Zeitspanne. Die Einzelheiten der in der Fig. 12 dargestell ten Daten sind in der Tabelle 1 angegeben.

Tabelle 1

Bei dem Versuch wurde eine Aufschlämmung mit einer Viskosität bei 25°C von etwa 100 mPa.s dem in einer Richtung mit einer Geschwindigkeit von 640 m/min laufenden Draht zugeführt. Der Kerndurchmesser des Drahtes betrug 0,18 mm ∅. Die verwendeten Walzen hatten einen Durchmesser von 170 mm und der Oberflächenabschnitt (die Draht-Kontaktfläche) derselben war aus ei nem Urethan-Kautschuk vom Ester-Typ hergestellt. Die V-förmigen Rillen, die sich auf dem Walzen-Oberflächenabschnitt jeder Walze bildeten, wiesen eine Tiefe von 0,3 mm und eine Breite von 0,2 mm auf. Das Werkstück wurde mit einer konstanten Druck-Belastung zum Schneiden gegen den Draht gepresst. Die in der Aufschlämmung dispergierten Schleifkörner bestanden aus SiC mit einer mittleren Korngröße von 20 bis 28 µm. Das Gewichtsverhältnis von Öl (d. h. Dispergiermedium) zu Schleifkörnern in der Aufschlämmung betrug 1 : 1,1 (Öl: Schleifkörner).

Bei dem Versuch wurde eine Drahtsäge-Vorrichtung (MWM-444) der Firma NIPPEI TOYAMA Co., Ltd. verwendet. Dem Draht wurde durch ein permanen tes Gewicht eine festgelegte Spannung verliehen und er war um die Walzen gewickelt. Die Spannung des Drahtes wurde mit einer Belastungszelle gemes sen, die an einer Welle einer Führungsrolle angeordnet war, die den Draht zwi schen der Hauptwalze 34c und einem Drahthalteabschnitt führte.

Wie aus der Fig. 12 ersichtlich, wird die Planarität der Werkstück-Schnittfläche besser, wenn die Drahtspannung zunimmt, während der Walzenabrieb steigt. Wenn der Walzenabrieb steigt, wirkt ein stärkerer Widerstand auf den Draht ein als Folge einer auf der Oberfläche der Walze gebildeten tiefen Y-förmigen Rille und als Folge davon neigt der Draht stärker zum Brechen. Ein Walzenab rieb tritt zuerst auf, wenn der Draht gegenüber der Walze rutscht, und nimmt dann zu. Bei dem Versuch wurde ein kontinuierlicher Schneidevorgang zu nehmend schwieriger, wenn der Walzenabrieb 4 µm überstieg. Im Hinblick darauf wird die Drahtspannung vorzugsweise auf 39,2 N oder weniger einge stellt.

Wenn die Drahtspannung übermäßig klein gemacht wird, übersteigt die Planarität der Werkstück-Schnittfläche 20 µm. Bei diesem Wert für die Planari tät ist es schwierig, den resultierenden Magneten für einen Schwingspulenmo tor und dgl. zu verwenden. Im Hinblick darauf wird die Drahtspannung vor zugsweise auf 14,7 N oder mehr eingestellt.

Aufgrund der oben genannten Versuchsergebnisse wurde gefunden, dass beim Schneiden einer starren, etwas viskosen Seltenerdmetall-Legierung, bei spielsweise eines Sintermagneten vom R-T-(M)-B-Typ (worin R für ein Sel tenerdmetallelement einschließlich Y, T für Fe oder ein Gemisch von Fe und Co, M für ein zusätzliches Element und B für Bor stehen) die Drahtspannung vorzugsweise auf einen Wert eingestellt wird, der in dem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N liegt. Wenn es erwünscht ist, die Planarität der Werkstück- Schnittfläche weiter zu verbessern und den Walzenabrieb weiter zu unterdrüc ken, liegt die Drahtspannung besonders bevorzugt in dem Bereich zwischen 19,6 N und 34,3 N.

Die Genauigkeit des Schneidens wurde bewertet für die Fälle, in denen die Aufschlämmung einer Temperatur-Kontrolle unterworfen wurde bzw. nicht un terworfen wurde. Wenn keine Temperatur-Kontrolle durchgeführt wurde, stieg die Temperatur der Aufschlämmung beim kontinuierlichen Betrieb an und er reichte schließlich 60°C. Durch den Temperaturanstieg erreichte die Viskosität der Aufschlämmung einen Wert außerhalb des bevorzugten Bereiches. Da durch wurde das Schleifvermögen der Schleifkörner gegenüber dem zu bear beitenden Gegenstand verringert und außerdem wurde der Austrags-Wir kungsgrad des Schlammes herabgesetzt. Darüber hinaus wurde dadurch die Haftung der Schleifkörner an dem Draht vermindert, d. h. die Menge an Schleif körnern, die auf dem Draht vorhanden waren, nahm ab. Aus diesen Gründen stieg die Durchbiegung des Drahtes auf bis zu etwa 15 mm. Die Planarität der Werkstück-Schnittfläche und damit der Parallelismus der von dem Werkstück abgeschnittenen Stücke nahm ab. Wenn die Temperatur der Aufschlämmung weiter ansteigt, nimmt die Durchbiegung des Drahtes noch mehr zu, was ver mutlich dazu führt, dass die Schnittgenauigkeit deutlich abnimmt.

Wenn dagegen die Temperatur der Aufschlämmung unter Verwendung des Temperatursensors und der vorstehend beschriebenen Kühlvorrichtung auf etwa 30°C eingestellt (kontrolliert) wurde, stieg die Durchbiegung des Drahtes nicht stark an, sondern variierte nur innerhalb eines kleinen Bereiches von 5 bis 10 mm. Als Folge davon war die Planarität der Werkstück-Schnittfläche zufriedenstellend und eine hohe Schnittgenauigkeit wurde für eine lange Zeit spanne aufrechterhalten.

Die obige Bewertung der Schnittgenauigkeit die abhängig davon ist, ob eine Temperatur-Kontrolle durchgeführt wurde oder nicht, wurde unter im wesentli chen den gleichen Bedingungen durchgeführt wie oben in Bezug auf den Versuch beschrieben, wobei das in Fig. 12 dargestellte Diagramm erhalten wurde. In dem Versuch zur Bewertung der Schnittgenauigkeit betrug die Drahtspan nung 24,5 N und die Werkstück-Absenk-Geschwindigkeit betrug 0,3 mm/min. In diesem Versuch wurde die Temperatur der Aufschlämmung irgendwo in der zweiten Zirkulations-Rohrleitung 46 bestimmt, wie aus der Fig. 5 ersichtlich. Aufgrund der vorstehend beschriebenen Versuchsergebnisse wurde gefunden, dass die Schnittgenauigkeit während des kontinuierlichen Betriebs abnehmen kann, wenn die Aufschlämmung keiner Temperatur-Kontrolle unterworfen wird, selbst wenn die Viskosität der Aufschlämmung bei Raumtemperatur innerhalb eines geeigneten Viskositäts-Bereiches liegt und der Schlamm aus der Sel tenerdmetall-Legierung mit dem magnetischen Separator aus der Aufschläm mung gut entfernt wird.

Wie in der Fig. 1 dargestellt, werden die durch Schneiden auf die vorstehend beschriebene Weise hergestellten Seltenerdmetall-Legierungs-Scheiben durch Schleifen fertig bearbeitet zur Einstellung der Größe und Gestalt. Danach wer den in der Stufe 58 die Seltenerdmetall-Legierungs-Scheiben einer Oberflä chen-Behandlung unterzogen zur Verbesserung der Langzeit-Zuverlässigkeit. In der Stufe 59 wird eine Magnetisierung durchgeführt. Nach dem Durchlaufen eines Test-Verfahrens ist dann ein Neodym-Permanentmagnet fertig.

Wie vorstehend beschrieben, wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung die Planarität einer Schnittfläche verbessert und der Walzenabrieb wird unterdrückt auch in den Fällen, in denen das Werkstück aus einer Seltenerdmetall-Legierung, das geschnitten werden soll, einen großen Schneidewiderstand ausübt und sich der gebildete Schlamm aus der Seltenerdmetall-Legierung leicht aggregiert. Infolgedessen ist ein kon tinuierlicher Betrieb der Drahtsäge möglich, wobei eine hohe Produktions- Ausbeute erzielt wird.

Bei der oben genannten Ausführungsform wurde ein Nd-Fe-B-Seltenerdmetall- Legierungs-Magnetmaterial als zu bearbeitender Gegenstand verwendet. Der Grund dafür ist folgender: ein Sintermagnet vom R-T-(M)-B-Typ (worin R für ein Seltenerdmetallelement einschließlich Y, T für Fe oder ein Gemisch von Fe und Co, M für ein zusätzliches Element und B für Bor stehen), beispielsweise ein Nd-Fe-B-Sintermagnet, umfasst eine starre tetragonale R₂T₁₄B-Verbindung und eine viskose, an Seltenerdmetall reiche Phase. Das Schneiden dieses Materials ist besonders schwierig. Es war daher zu erwarten, dass dieses Ma terial die günstigen Effekte der vorliegenden Erfindung am signifikantesten aufweisen würde. Andere Seltenerdmetall-Legierungen weisen ebenfalls die vorstehend angegebenen Eigenschaften auf, wonach der Schneidewiderstand groß ist und der Schlamm aus dieser Legierung sich leicht aggregiert. Es ist daher klar, dass praktisch die gleichen Effekte wie bei der vorstehend be schriebenen Ausführungsform angegeben auch dann erhalten werden, wenn irgendwelche anderen Seltenerdmetall-Legierungen als zu bearbeitender Ge genstand verwendet werden.

Wenn die Seltenerdmetallmagnete nach dem vorstehend beschriebenen Ver fahren hergestellt werden, ist die Schnittbreite geringer, verglichen mit dem Schneiden einer Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung unter Verwen dung einer Schneideklinge. Daher ist das erfindungsgemäße Verfahren geeig net zur Herstellung von dünneren Magneten (mit einer Dicke von beispielswei se 0,5 bis 3,0 mm). Neuerdings wird die Dicke eines für einen Schwingspulen motor verwendeten Seltenerdmetallmagneten zunehmend geringer. Wenn ein solcher dünner Seltenerdmetallmagnet, hergestellt nach dem erfindungsge mäßen Verfahren, an einem Schwingspulenmotor befestigt wird, kann ein Hochleistungs-Schwingspulenmotor mit einer geringeren Größe hergestellt werden.

Erfindungsgemäß wird beim Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung mit einer Drahtsäge das Brechen des Drahtes verhindert, Störungen durch den Walzenabrieb werden beseitigt und außerdem kann die Vorrichtung für einen viel längeren Zeitraum kontinuierlich betrieben werden.

Die Erfindung wurde zwar vorstehend anhand einer bevorzugten Ausführungs form beschrieben, es ist jedoch für den Fachmann auf diesem Gebiet klar, daß die beschriebene Erfindung in vielerlei Weise modifiziert werden kann und dass auch viele andere Ausführungsformen als die vorstehend angegebenen und beschriebenen vorliegen können. Die nachfolgenden Patentansprüche umfassen daher alle Modifikationen der Erfindung, die innerhalb des Geistes und des Rahmens der Erfindung liegen.

Claims

1. Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, das die Stufen umfasst:
Schneiden eines zu bearbeitenden Gegenstandes unter Verwendung eines Schneidedrahtes, während zwischen dem genannten Schneidedraht und dem genannten Gegenstand eine dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthaltende Aufschlämmung zugeführt wird,
wobei der genannte Draht mit einer Antriebseinrichtung angetrieben wird, wo bei mindestens eine Drahtkontaktfläche der genannten Antriebseinrichtung aus einem organische Polymermaterial besteht, und
das Schneiden durchgeführt wird, während eine Spannung in dem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N an den genannten Draht angelegt wird.

2. Verfahren zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, das die Stufen umfasst:
Schneiden eines zu bearbeitenden Gegenstandes unter Verwendung eines Schneidedrahtes, während zwischen dem genannten Schneidedraht und dem genannten Gegenstand eine dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthaltende Aufschlämmung zugeführt wird,
wobei der genannte Draht mit einem Antriebselement angetrieben wird, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des genannten Antriebselements aus ei nem organische Polymermaterial besteht, und
die Temperatur der genannten Aufschlämmung so kontrolliert wird, dass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, das außerdem die Stufen umfasst:
Sammeln der genannten Aufschlämmung, die den während des Schneidens des Gegenstands gebildeten Schlamm enthält, zur Entfernung des Schlammes aus der genannten Aufschlämmung und
Durchführung einer Temperatur-Kontrolle bei der genannten Aufschlämmung, aus der der genannte Schlamm entfernt worden ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin der genannte Gegenstand ein R-Fe-B-Seltenerdmetall-Sintermagnet ist, worin R für ein Seltenerdmetallele ment einschließlich Y steht.

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin die Viskosität der genannten Aufschlämmung bei 25°C in einem Bereich von 92 bis 175 mPa.s liegt.

6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin der Schlamm mit einem ma gnetischen Separator aus der genannten Aufschlämmung gesammelt (entfernt) wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, worin der genannte magnetische Separator ein Magnetfeld von 0,3 Tesla oder mehr in einem Bereich erzeugt, in dem der Schlamm gesammelt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin die genannte Seltenerdmetall- Legierung geschnitten wird, während sie von einer Position oberhalb des ge nannten Drahtes zu einer Position unterhalb des genannten Drahtes abge senkt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin die genannte Seltenerdmetall- Legierung in eine Vielzahl von Blöcken aufgeteilt wird, die aneinander befestigt sind, und mindestens ein Teil der genannten Aufschlämmung durch die Zwi schenräume zwischen den genannten Blöcke zugeführt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin die Einrichtung zur Zuführung der genannten Aufschlämmung zu dem genannten Draht in einer Position stromaufwärts der Drahtlaufrichtung, bezogen auf den zu bearbeitenden Ge genstand, angeordnet ist.

11. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin eine Aufschlämmungs- Zuführungsöffnung dafür geeignet ist, die Aufschlämmung dem genannten Draht in einer Position stromaufwärts in der Drahtlaufrichtung, bezogen auf den zu bearbeitenden Gegenstand, zuzuführen.

12. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, worin das genannte Antriebselement eine Walze aus einem Urethan-Kautschuk vom Ester-Typ ist.

13. Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetall-Legierungs-Scheiben, das die Stufen umfasst:
Herstellung einer Bramme aus einer Seltenerdmetall-Legierung und
Abtrennen einer Vielzahl von Seltenerdmetall-Legierungsscheiben von der Bramme unter Anwendung des Verfahrens zum Schneiden einer Seltenerdme tall-Legierung nach Anspruch 1 oder 2.

14. Verfahren zur Herstellung von Seltenerdmetallmagneten, das die Stufen umfasst:
Herstellung eines Seltenerdmetallmagneten durch Pressen und Sintern eines Seltenerdmetall-Legierungspulvers und
Abtrennen einer Vielzahl von Magneten von dem genannten Seltenerdmetall magneten durch Anwendung des Verfahrens zum Schneiden einer Seltenerd metall-Legierung nach Anspruch 1 oder 2.

15. Schwingspulenmotor, der einen Seltenerdmetallmagneten umfasst, der nach dem Verfahren nach Anspruch 14 hergestellt worden ist.

16. Schwingspulenmotor nach Anspruch 15, worin die Dicke des Sel tenerdmetallmagneten in dem Bereich von 0,5 bis 3,0 mm liegt.

17. Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, in der der zu bearbeitende Gegenstand mit einem Schneidedraht geschnitten wird, wäh rend zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand eine Aufschlämmung zugeführt wird, die darin dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthält, wobei die Vorrichtung umfasst:
eine Einrichtung zur Einführung der genannten Aufschlämmung zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand;
ein Antriebselement zum Antreiben des genannten Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche der genannten Antriebseinrichtung aus einem organi schen Polymermaterial besteht, und
eine Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an den genannten Draht in dem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N.

18. Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, in der ein zu bearbeitender Gegenstand mit einem Schneidedraht geschnitten wird, wäh rend zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand eine Aufschlämmung zugeführt wird, die darin dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthält, wobei die Vorrichtung umfasst:
eine Einrichtung zum Zuführen der genannten Aufschlämmung zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand;
ein Antriebselement zum Antreiben des genannten Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des genannten Antriebselements aus einem organi schen Polymermaterial besteht,
einen Temperaturdetektor zur Bestimmung der Temperatur der genannten Aufschlämmung und
eine Kühleinrichtung zum Kühlen der genannten Aufschlämmung, um die Temperatur der genannten Aufschlämmung so zu kontrollieren (zu steuern), dass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, die außerdem eine Einrichtung zum Er hitzen der genannten Aufschlämmung umfasst.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, die außerdem einen magnetischen Separator zur Abtrennung von Schlamm aus der Seltenerdme tall-Legierung, der während des Schneidens der genannten Seltenerdmetall- Legierung gebildet wird, von der genannten Aufschlämmung unter Anwendung eines Magnetfeldes umfasst.

21. Verfahren nach Anspruch 20, worin der genannte magnetische Separa tor ein Magnetfeld von 0,3 Tesla oder mehr in einem Bereich erzeugt, in dem der Schlamm gesammelt wird.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, worin die Viskosität der genannten Aufschlämmung bei 25°C in einem Bereich von 92 bis 175 mPas liegt.

23. Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdmetall-Legierung, in der ein zu bearbeitender Gegenstand mit einem Schneidedraht geschnitten wird, wäh rend zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand eine Aufschlämmung zugeführt wird, die darin dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthält, wobei die Vorrichtung umfasst:
mindestens eine Aufschlämmungs-Zuführungsöffnung zur Einführung der ge nannten Aufschlämmung zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand,
ein Antriebselement zum Antreiben des genannten Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des genannten Antriebselements aus einem organi schen Polymermaterial besteht, und
eine Drahtspann-Einrichtung, zum Anlegen einer Spannung an den Draht in einem Bereich zwischen 14,7 N und 39,2 N.

24. Vorrichtung zum Schneiden einer Seltenerdrnetall-Legierung, in der ein zu bearbeitender Gegenstand mit einem Schneidedraht geschnitten wird, wäh rend zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegenstand eine Aufschlämmung zugeführt wird, die darin dispergierte Schleifmittelkörner (Schleifkörner) enthält, wobei die Vorrichtung umfasst:
mindestens eine Aufschlämmungs-Zuführungsöffnung zum Einführen einer Aufschlämmung zwischen dem genannten Draht und dem genannten Gegen stand,
ein Antriebselement zum Antreiben des genannten Drahtes, wobei mindestens eine Drahtkontaktfläche des genannten Antriebselements aus einem organi schen Polymermaterial besteht,
einen Temperaturdetektor zur Bestimmung der Temperatur der genannten Aufschlämmung und
eine Kühleinrichtung zum Kühlen der genannten Aufschlämmung zur Kontrolle der Temperatur der genannten Aufschlämmung, sodass sie innerhalb eines vorgegebenen Bereiches liegt.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, die außerdem eine Aufschlämmungs- Erhitzungseinrichtung umfasst.

26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 25, die außerdem einen magnetischen Separator zur Abtrennung des Schlammes aus der Seltenerd metall-Legierung, der während des Schneidens der Seltenerdmetall-Legierung entsteht, von der genannten Aufschlämmung unter Anwendung eines Magnet feldes umfasst.

27. Vorrichtung nach Anspruch 26, worin der genannte magnetische Sepa rator ein Magnetfeld von 0,3 Tesla oder mehr in einem Bereich erzeugt, in dem der Schlamm gesammelt wird.

28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 23 bis 25, worin die Viskosität der genannten Aufschlämmung bei 25°C in dem Bereich von 92 bis 175 mPa.s liegt.