JP3672147B2 - ワイヤソーを用いたインゴット切断方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はワイヤソーを用いたインゴット切断方法、詳しくは切断直後のインゴット（ウェーハ）に付着している砥粒量が少なくて、後工程におけるウェーハ洗浄が容易であり、しかも切断直後の洗浄工程の低コスト化が図れるワイヤソーを用いたインゴット切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤソーは、ラッピングオイルに遊離砥粒を混入したスラリー状の砥液を、単結晶シリコン製などのインゴットにかけながら、例えば走行するワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用により多数枚のウェーハに切断する装置である。そして、この切断直後のウェーハ間には、切り粉を含む砥粒が多量に付着しており、洗浄負荷が高い。また、ある種のワイヤソーでは、後工程のウェーハ洗浄が簡単になるように、切断直後、切断溝に残った切り粉を含む砥粒を洗い流している。
従来、この切断直後の洗浄に使用される洗い油としては、砥粒を含まない低粘度の油、例えば灯油が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、洗浄専用の低粘度の灯油類を利用した場合には、砥液として再利用することができない洗い油を多量に使用することから、コスト高になるという問題点があった。
そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、比較的低粘度の砥液用油を洗浄油に利用し、インゴット洗浄時には、この低粘度油を例えば圧縮空気の圧力により切断直後の切断溝へ例えば霧状に噴出すれば、高い洗浄効果が安価に得られることを突き止め、この発明を完成させた。
【０００４】
【発明の目的】
この発明は、切断直後のインゴットに付着する砥粒量が少なく、後工程でのウェーハ洗浄が容易で、かつ比較的洗浄コストが安価なワイヤソーを用いたインゴット切断方法を提供することを、その目的としている。また、この発明は、インゴット洗浄時におけるウェーハの損傷を防止できるワイヤソーを用いたインゴット切断方法を提供することも、その目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、砥液を供給しながらワイヤソーのワイヤ列をインゴットに相対的に押し付けてこのインゴットを多数枚のウェーハに切断するワイヤソーを用いたインゴット 切断方法において、上記ワイヤ列によりインゴットを切断した直後、そのインゴットの切断溝の下端部にワイヤ列を残して各ウェーハ間に上記ワイヤ列をスペーサとして配置した状態で、圧縮空気とともに、上記インゴットの切断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して上記インゴットを洗浄するワイヤソーを用いたインゴット切断方法である。
この方法に使用するワイヤソーとしては、走行するワイヤ列によりインゴットを切断する切断手段と、砥液を貯留する砥液タンクと、この貯留された砥液をワイヤ列またはインゴット付近に供給する砥液供給手段とを備えたワイヤソーであって、上記砥液用の低粘度油を貯留する低粘度油タンクと、この貯留された低粘度油を、切断直後の上記インゴットの切断溝へ向かって所定速度で噴出する噴出手段と、上記砥液タンクに接続され、使用後の砥液および低粘度油を回収する回収手段とを有するワイヤソーがある。
【０００６】
なお、この発明が適用されるワイヤソーには品種の限定がなく、例えばインゴットをワイヤ列に押接して切断するものでも、反対にワイヤ列をインゴットに押接して切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴットが当接するものでも、ワイヤ列の下部に押し当てられるものでもよい。さらに、ワイヤ列および／またはインゴットを相対的に揺動させる機能を有するものでもよい。
また、ここでいう切断手段は、ワイヤ列を一方向へ走行させるだけでなく、ワイヤの長さ方向へ往復動させるものをも含む。
【０００７】
そして、砥液供給装置は、切断進行状態に合わせて、自動的に砥液供給量を調整するものでも、手動で砥液供給量を調整するものでもよい。
この低粘度油の運動粘性係数は、通常の砥液用の油より小さければよいが、１〜１００ｍＰａ・ｓ、特に１０ｍＰａ・ｓが好ましい。１ｍＰａ・ｓ未満では、その組成変動によりスラリーの粘度が低下し、切断不良の原因となる。また、１００ｍＰａ・ｓを超えると、脱砥粒効果が小さくなる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、上記洗浄後、この低粘度油を回収し、この回収した低粘度油を上記砥液用の油として再利用する請求項１に記載のワイヤソーを用いたインゴット切断方法である。
【０００９】
【作用】
請求項１〜請求項２に記載のワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、切断手段により走行するワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用によって、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。
インゴット切断直後、比較的低粘度の砥液用油を、例えば圧縮空気の圧力により霧状にしてインゴットの切断溝へ噴出すると、スラリー状の砥液を接着剤としてウェーハ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が溝外へ吹き出される。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴット洗浄により、切断直後のインゴットに付着する砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ洗浄が容易になる。
また、洗浄後の油は、濾過せずにそのまま砥液用の油として再利用できるので、このように洗浄力の大きな洗浄が、比較的低コストで実用化できる。
【００１１】
特に、切断直後のインゴットの切断溝の下端部にワイヤ列を置いたままインゴットを洗浄するので、ウェーハ間に残された１本１本のワイヤが、両側にあるウェーハのスペーサとなって各ウェーハを支持し、インゴット洗浄時に高圧で低粘度油を噴出しても、この圧力により各ウェーハはバタつき難く、これによりバタつきを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の参考例に係るワイヤソーを示す模式図、図２は同インゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
図１において、１０はワイヤソーであり、このワイヤソー１０は、多数本のワイヤからなるワイヤ列１１と、砥液ａをワイヤ列１１へ供給する砥液供給装置１２と、ワイヤ列１１を往復走行させてインゴット１６を切断する切断手段１３と、これら砥液供給装置１２、切断手段１３の動作を制御する制御部１４とを備えている。
【００１３】
図１および図２に示すように、砥液供給装置１２は、砥液ａを貯留する砥液タンク１５と、この貯留された砥液ａを、インゴット１６付近に供給する砥液供給手段１７と、砥液ａ用の低粘度油ｂを貯留する低粘度油タンク１８と、この貯留された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気ｃとともに、切断直後のインゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する噴出手段２０と、砥液タンク１５に連結されて、供給された砥液ａおよび低粘度油ｂを回収する回収手段の一例である回収槽２１と、砥液タンク１５の下流に設けられた砥液供給ポンプ２３とを有している。２２は回収槽２１に設けられた網であり、この網２２で砥液ａに含まれるインゴット１６の切り粉などを除去する。
【００１４】
砥液供給手段１７は、砥液供給ポンプ２３により、砥液タンク１５の砥液ａを、一対の砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１１上に乗せるように供給する。
噴出手段２０は、低粘度油タンク１８下流に配置された低粘度油ポンプ２６により、低粘度油タンク１８内の低粘度油ｂを、一対の低粘度油ノズル２７へ供給し、この供給された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気により、インゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。なお、各低粘度油ノズル２７は、インゴット１６の軸線に沿って延びる筒体であり、このインゴット１６側の周面に、同じく軸線方向へ延びるスリット状の噴出口２７ａが形成されている。
切断手段１３は、逆三角形状に配置された３個の溝ローラ２８と、いずれかの溝ローラ２８の回転軸に連結された図外の往復動モータとを有している。これらの溝ローラ２８には、一括してワイヤ列１１が架けわたされている。
【００１５】
制御部１４は、主に、圧縮空気供給手段１９を用いた圧縮空気ｃの供給制御と、砥液供給ポンプ２３を用いたワイヤ列１１上に乗せられる砥液ａの供給制御と、低粘度油ポンプ２６を用いた低粘度油ｂの供給制御とを行う。なお、制御部１４は、例えばコンピュータで構成されることができる。
なお、図１、図２において、２９はインゴット１６のカーボンベッドである。
【００１６】
次に、この発明の参考例に係るワイヤソー１０の動作を説明する。
図１に示すように、砥液タンク１５内の砥液ａを、砥液供給ポンプ２３および各砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１１上に乗せる。この作業を連続的に行いながら、切断手段１３によりワイヤ列１１を往復動させ、この往復動中にインゴット１６をワイヤ列１１に押し付けることにより、多数枚のウェーハ１６Ａをインゴット１６から切断する。
切断に使用された後の砥液ａは、３本の溝ローラ２８により、逆三角形を維持して回転するワイヤ列１１の下部から回収槽２１へ落下する。この際、砥液ａは網２２によって切り粉などが除去される。その後、砥液ａは砥液タンク１５に戻され、さらに、循環使用される。
【００１７】
インゴット１６の切断が終了すると、インゴット１６はワイヤ列１１の上方へ引き上げられる。その直後、制御部１４からの指令により、砥液ａの供給側のポンプ２３が停止する一方、圧縮空気供給手段１９および低粘度油ポンプ２６が作動して、低粘度油タンク１８から各低粘度油ノズル２７まで供給された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気の圧力でもって霧状にして、インゴット１６の各切断溝１６ａに噴出する。なお、必ずしも霧状で噴出する必要はない。
これにより、スラリー状で高粘度の砥液ａが接着剤の役目を果すことにより、ウェーハ１６Ａ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が、切断溝１６ａの外へ吹き飛ばされる。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴット洗浄により、切断後のインゴット１６に付着する砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ１６Ａの洗浄が容易になる。
また、洗浄後の低粘度油ｂは、網２２により濾過されて砥液タンク１５へ送られ、その後、砥液ａとして再利用される。これにより、洗浄力の大きなインゴット１６の洗浄が、比較的低コスト化できる。
【００１８】
次に、図３に基づいて、この発明の一実施例に係るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法を説明する。
図３は、この発明の一実施例に係るワイヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図である。
図３において、３０は一実施例に係るワイヤソーであり、このワイヤソー３０は、切断直後のインゴット１６の切断溝１６ａよりワイヤ列１１を抜き取らずに、各ウェーハ１６Ａ間にワイヤ列１１を残したままインゴット１６を洗浄するものである。この場合、各ワイヤ１１ａは図３に示すようにウェーハ１６Ａの下端部間に位置している。よって、このとき、各切断溝１６ａは、最大の幅（間隔）を形成している。
【００１９】
ウェーハ１６Ａ間に残された１本１本のワイヤ１１ａが、両側にあるウェーハ１６Ａ間のスペーサとなって各ウェーハ１６Ａを支持する。このため、洗浄時に高圧で低粘度油ｂを噴出しても、各ウェーハ１６Ａはバタつきが起き難くなる。これにより、このバタつきを原因としたウェーハ１６Ａの損傷を防止できる。また、各切断溝１６ａに低粘度油ｂがスムースに供給され、各切断溝１６ａから砥粒、切り粉等が効率よく排除される。
なお、その他の構成および作用は参考例と同様であるので、説明を省略する。
この発明はこの実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲での設計変更などがあっても、これらはこの発明に含まれる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明してきたように、この発明に係るワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、インゴット切断直後、砥液用の低粘度油を圧縮空気により切断溝へ噴出するようにしたので、切断溝内に残った砥粒やインゴットの切り粉を強制的に溝外へ吹き飛ばす。これにより、切断直後のインゴットに付着する砥粒量を減少でき、後工程のウェーハ洗浄が容易になる。
また、洗浄後の低粘度油は、砥液用の油として再利用できるので、低コスト化も図れる。
【００２１】
特に、このワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、切断直後の切断溝の下端部に、各ウェーハ間にワイヤ列を残したままインゴットを洗浄するようにしたので、ウェーハ間に残った各ワイヤが、ウェーハのスペーサの役目を果たし、その後、高圧で低粘度油を噴出したときに、各ウェーハのバタつきが抑えられ、このバタつきを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の参考例に係るワイヤソーを示す模式図である。
【図２】 この発明の参考例に係るワイヤソーでのインゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
【図３】 この発明の一実施例に係るワイヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
１０、３０ ワイヤソー、
１１ ワイヤ列、
１２ 砥液供給装置、
１３ 切断手段、
１５ 砥液タンク、
１６ インゴット、
１７ 砥液供給手段、
１８ 低粘度油タンク、
１９ 圧縮空気供給手段、
２０ 噴出手段、
２１ 回収手段、
ａ 砥液、
ｂ 低粘度油、
ｃ 圧縮空気。
【発明の属する技術分野】
この発明はワイヤソーを用いたインゴット切断方法、詳しくは切断直後のインゴット（ウェーハ）に付着している砥粒量が少なくて、後工程におけるウェーハ洗浄が容易であり、しかも切断直後の洗浄工程の低コスト化が図れるワイヤソーを用いたインゴット切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤソーは、ラッピングオイルに遊離砥粒を混入したスラリー状の砥液を、単結晶シリコン製などのインゴットにかけながら、例えば走行するワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用により多数枚のウェーハに切断する装置である。そして、この切断直後のウェーハ間には、切り粉を含む砥粒が多量に付着しており、洗浄負荷が高い。また、ある種のワイヤソーでは、後工程のウェーハ洗浄が簡単になるように、切断直後、切断溝に残った切り粉を含む砥粒を洗い流している。
従来、この切断直後の洗浄に使用される洗い油としては、砥粒を含まない低粘度の油、例えば灯油が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、洗浄専用の低粘度の灯油類を利用した場合には、砥液として再利用することができない洗い油を多量に使用することから、コスト高になるという問題点があった。
そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、比較的低粘度の砥液用油を洗浄油に利用し、インゴット洗浄時には、この低粘度油を例えば圧縮空気の圧力により切断直後の切断溝へ例えば霧状に噴出すれば、高い洗浄効果が安価に得られることを突き止め、この発明を完成させた。
【０００４】
【発明の目的】
この発明は、切断直後のインゴットに付着する砥粒量が少なく、後工程でのウェーハ洗浄が容易で、かつ比較的洗浄コストが安価なワイヤソーを用いたインゴット切断方法を提供することを、その目的としている。また、この発明は、インゴット洗浄時におけるウェーハの損傷を防止できるワイヤソーを用いたインゴット切断方法を提供することも、その目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、砥液を供給しながらワイヤソーのワイヤ列をインゴットに相対的に押し付けてこのインゴットを多数枚のウェーハに切断するワイヤソーを用いたインゴット 切断方法において、上記ワイヤ列によりインゴットを切断した直後、そのインゴットの切断溝の下端部にワイヤ列を残して各ウェーハ間に上記ワイヤ列をスペーサとして配置した状態で、圧縮空気とともに、上記インゴットの切断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して上記インゴットを洗浄するワイヤソーを用いたインゴット切断方法である。
この方法に使用するワイヤソーとしては、走行するワイヤ列によりインゴットを切断する切断手段と、砥液を貯留する砥液タンクと、この貯留された砥液をワイヤ列またはインゴット付近に供給する砥液供給手段とを備えたワイヤソーであって、上記砥液用の低粘度油を貯留する低粘度油タンクと、この貯留された低粘度油を、切断直後の上記インゴットの切断溝へ向かって所定速度で噴出する噴出手段と、上記砥液タンクに接続され、使用後の砥液および低粘度油を回収する回収手段とを有するワイヤソーがある。
【０００６】
なお、この発明が適用されるワイヤソーには品種の限定がなく、例えばインゴットをワイヤ列に押接して切断するものでも、反対にワイヤ列をインゴットに押接して切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴットが当接するものでも、ワイヤ列の下部に押し当てられるものでもよい。さらに、ワイヤ列および／またはインゴットを相対的に揺動させる機能を有するものでもよい。
また、ここでいう切断手段は、ワイヤ列を一方向へ走行させるだけでなく、ワイヤの長さ方向へ往復動させるものをも含む。
【０００７】
そして、砥液供給装置は、切断進行状態に合わせて、自動的に砥液供給量を調整するものでも、手動で砥液供給量を調整するものでもよい。
この低粘度油の運動粘性係数は、通常の砥液用の油より小さければよいが、１〜１００ｍＰａ・ｓ、特に１０ｍＰａ・ｓが好ましい。１ｍＰａ・ｓ未満では、その組成変動によりスラリーの粘度が低下し、切断不良の原因となる。また、１００ｍＰａ・ｓを超えると、脱砥粒効果が小さくなる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、上記洗浄後、この低粘度油を回収し、この回収した低粘度油を上記砥液用の油として再利用する請求項１に記載のワイヤソーを用いたインゴット切断方法である。
【０００９】
【作用】
請求項１〜請求項２に記載のワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、切断手段により走行するワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、研削作用によって、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。
インゴット切断直後、比較的低粘度の砥液用油を、例えば圧縮空気の圧力により霧状にしてインゴットの切断溝へ噴出すると、スラリー状の砥液を接着剤としてウェーハ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が溝外へ吹き出される。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴット洗浄により、切断直後のインゴットに付着する砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ洗浄が容易になる。
また、洗浄後の油は、濾過せずにそのまま砥液用の油として再利用できるので、このように洗浄力の大きな洗浄が、比較的低コストで実用化できる。
【００１１】
特に、切断直後のインゴットの切断溝の下端部にワイヤ列を置いたままインゴットを洗浄するので、ウェーハ間に残された１本１本のワイヤが、両側にあるウェーハのスペーサとなって各ウェーハを支持し、インゴット洗浄時に高圧で低粘度油を噴出しても、この圧力により各ウェーハはバタつき難く、これによりバタつきを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の参考例に係るワイヤソーを示す模式図、図２は同インゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
図１において、１０はワイヤソーであり、このワイヤソー１０は、多数本のワイヤからなるワイヤ列１１と、砥液ａをワイヤ列１１へ供給する砥液供給装置１２と、ワイヤ列１１を往復走行させてインゴット１６を切断する切断手段１３と、これら砥液供給装置１２、切断手段１３の動作を制御する制御部１４とを備えている。
【００１３】
図１および図２に示すように、砥液供給装置１２は、砥液ａを貯留する砥液タンク１５と、この貯留された砥液ａを、インゴット１６付近に供給する砥液供給手段１７と、砥液ａ用の低粘度油ｂを貯留する低粘度油タンク１８と、この貯留された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気ｃとともに、切断直後のインゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する噴出手段２０と、砥液タンク１５に連結されて、供給された砥液ａおよび低粘度油ｂを回収する回収手段の一例である回収槽２１と、砥液タンク１５の下流に設けられた砥液供給ポンプ２３とを有している。２２は回収槽２１に設けられた網であり、この網２２で砥液ａに含まれるインゴット１６の切り粉などを除去する。
【００１４】
砥液供給手段１７は、砥液供給ポンプ２３により、砥液タンク１５の砥液ａを、一対の砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１１上に乗せるように供給する。
噴出手段２０は、低粘度油タンク１８下流に配置された低粘度油ポンプ２６により、低粘度油タンク１８内の低粘度油ｂを、一対の低粘度油ノズル２７へ供給し、この供給された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気により、インゴット１６の切断溝１６ａへ噴出する。なお、各低粘度油ノズル２７は、インゴット１６の軸線に沿って延びる筒体であり、このインゴット１６側の周面に、同じく軸線方向へ延びるスリット状の噴出口２７ａが形成されている。
切断手段１３は、逆三角形状に配置された３個の溝ローラ２８と、いずれかの溝ローラ２８の回転軸に連結された図外の往復動モータとを有している。これらの溝ローラ２８には、一括してワイヤ列１１が架けわたされている。
【００１５】
制御部１４は、主に、圧縮空気供給手段１９を用いた圧縮空気ｃの供給制御と、砥液供給ポンプ２３を用いたワイヤ列１１上に乗せられる砥液ａの供給制御と、低粘度油ポンプ２６を用いた低粘度油ｂの供給制御とを行う。なお、制御部１４は、例えばコンピュータで構成されることができる。
なお、図１、図２において、２９はインゴット１６のカーボンベッドである。
【００１６】
次に、この発明の参考例に係るワイヤソー１０の動作を説明する。
図１に示すように、砥液タンク１５内の砥液ａを、砥液供給ポンプ２３および各砥液供給ノズル２５を介して、インゴット１６の両側のワイヤ列１１上に乗せる。この作業を連続的に行いながら、切断手段１３によりワイヤ列１１を往復動させ、この往復動中にインゴット１６をワイヤ列１１に押し付けることにより、多数枚のウェーハ１６Ａをインゴット１６から切断する。
切断に使用された後の砥液ａは、３本の溝ローラ２８により、逆三角形を維持して回転するワイヤ列１１の下部から回収槽２１へ落下する。この際、砥液ａは網２２によって切り粉などが除去される。その後、砥液ａは砥液タンク１５に戻され、さらに、循環使用される。
【００１７】
インゴット１６の切断が終了すると、インゴット１６はワイヤ列１１の上方へ引き上げられる。その直後、制御部１４からの指令により、砥液ａの供給側のポンプ２３が停止する一方、圧縮空気供給手段１９および低粘度油ポンプ２６が作動して、低粘度油タンク１８から各低粘度油ノズル２７まで供給された低粘度油ｂを、圧縮空気供給手段１９からの圧縮空気の圧力でもって霧状にして、インゴット１６の各切断溝１６ａに噴出する。なお、必ずしも霧状で噴出する必要はない。
これにより、スラリー状で高粘度の砥液ａが接着剤の役目を果すことにより、ウェーハ１６Ａ間に付着した砥粒やインゴットの切り粉が、切断溝１６ａの外へ吹き飛ばされる。この圧縮空気と低粘度油を併用した強力なインゴット洗浄により、切断後のインゴット１６に付着する砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ１６Ａの洗浄が容易になる。
また、洗浄後の低粘度油ｂは、網２２により濾過されて砥液タンク１５へ送られ、その後、砥液ａとして再利用される。これにより、洗浄力の大きなインゴット１６の洗浄が、比較的低コスト化できる。
【００１８】
次に、図３に基づいて、この発明の一実施例に係るワイヤソーおよびそのインゴット切断方法を説明する。
図３は、この発明の一実施例に係るワイヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図である。
図３において、３０は一実施例に係るワイヤソーであり、このワイヤソー３０は、切断直後のインゴット１６の切断溝１６ａよりワイヤ列１１を抜き取らずに、各ウェーハ１６Ａ間にワイヤ列１１を残したままインゴット１６を洗浄するものである。この場合、各ワイヤ１１ａは図３に示すようにウェーハ１６Ａの下端部間に位置している。よって、このとき、各切断溝１６ａは、最大の幅（間隔）を形成している。
【００１９】
ウェーハ１６Ａ間に残された１本１本のワイヤ１１ａが、両側にあるウェーハ１６Ａ間のスペーサとなって各ウェーハ１６Ａを支持する。このため、洗浄時に高圧で低粘度油ｂを噴出しても、各ウェーハ１６Ａはバタつきが起き難くなる。これにより、このバタつきを原因としたウェーハ１６Ａの損傷を防止できる。また、各切断溝１６ａに低粘度油ｂがスムースに供給され、各切断溝１６ａから砥粒、切り粉等が効率よく排除される。
なお、その他の構成および作用は参考例と同様であるので、説明を省略する。
この発明はこの実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲での設計変更などがあっても、これらはこの発明に含まれる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明してきたように、この発明に係るワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、インゴット切断直後、砥液用の低粘度油を圧縮空気により切断溝へ噴出するようにしたので、切断溝内に残った砥粒やインゴットの切り粉を強制的に溝外へ吹き飛ばす。これにより、切断直後のインゴットに付着する砥粒量を減少でき、後工程のウェーハ洗浄が容易になる。
また、洗浄後の低粘度油は、砥液用の油として再利用できるので、低コスト化も図れる。
【００２１】
特に、このワイヤソーを用いたインゴット切断方法では、切断直後の切断溝の下端部に、各ウェーハ間にワイヤ列を残したままインゴットを洗浄するようにしたので、ウェーハ間に残った各ワイヤが、ウェーハのスペーサの役目を果たし、その後、高圧で低粘度油を噴出したときに、各ウェーハのバタつきが抑えられ、このバタつきを原因としたウェーハの損傷を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の参考例に係るワイヤソーを示す模式図である。
【図２】 この発明の参考例に係るワイヤソーでのインゴット洗浄作業状態を示す要部拡大斜視図である。
【図３】 この発明の一実施例に係るワイヤソーによりインゴット洗浄する直前の状態を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
１０、３０ ワイヤソー、
１１ ワイヤ列、
１２ 砥液供給装置、
１３ 切断手段、
１５ 砥液タンク、
１６ インゴット、
１７ 砥液供給手段、
１８ 低粘度油タンク、
１９ 圧縮空気供給手段、
２０ 噴出手段、
２１ 回収手段、
ａ 砥液、
ｂ 低粘度油、
ｃ 圧縮空気。
Claims (2)
- 砥液を供給しながらワイヤソーのワイヤ列をインゴットに相対的に押し付けてこのインゴットを多数枚のウェーハに切断するワイヤソーを用いたインゴット切断方法において、
上記ワイヤ列によりインゴットを切断した直後、そのインゴットの切断溝の下端部にワイヤ列を残して各ウェーハ間に上記ワイヤ列をスペーサとして配置した状態で、圧縮空気とともに、上記インゴットの切断溝へ向かって砥液用の低粘度油を噴出して上記インゴットを洗浄するワイヤソーを用いたインゴット切断方法。 - 上記洗浄後、この低粘度油を回収し、この回収した低粘度油を上記砥液用の油として再利用する請求項１に記載のワイヤソーを用いたインゴット切断方法。
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