JPH10306275A - スライシング用研磨液組成物 - Google Patents
スライシング用研磨液組成物Info
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- JPH10306275A JPH10306275A JP13171797A JP13171797A JPH10306275A JP H10306275 A JPH10306275 A JP H10306275A JP 13171797 A JP13171797 A JP 13171797A JP 13171797 A JP13171797 A JP 13171797A JP H10306275 A JPH10306275 A JP H10306275A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁性材料等のスライシングを簡単かつ短時間
で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができ、磁性
材料、半導体、結晶材料、硬質材料等をスライシングす
る際にブレードやワイヤーに付着させて好適に用いるこ
とができるスライシング用研磨液組成物を得る。 【解決手段】 鉱油及び／又は植物油２０〜６０重量部
を水４０〜８０重量部に界面活性剤の存在下に乳化させ
た分散媒体１００重量部に、平均粒径が１．２〜６０μ
ｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混合・分散したこと
を特徴とするスライシング用研磨液組成物。
で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができ、磁性
材料、半導体、結晶材料、硬質材料等をスライシングす
る際にブレードやワイヤーに付着させて好適に用いるこ
とができるスライシング用研磨液組成物を得る。 【解決手段】 鉱油及び／又は植物油２０〜６０重量部
を水４０〜８０重量部に界面活性剤の存在下に乳化させ
た分散媒体１００重量部に、平均粒径が１．２〜６０μ
ｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混合・分散したこと
を特徴とするスライシング用研磨液組成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性材料、半導
体、結晶材料、硬質材料等をマルチブレードソー、ワイ
ヤーソーなどでスライシングする際に用いられるスライ
シング用研磨液組成物に関する。
体、結晶材料、硬質材料等をマルチブレードソー、ワイ
ヤーソーなどでスライシングする際に用いられるスライ
シング用研磨液組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】通常、
フェライト、センダスト、サマリウムコバルト、ネオジ
ウム等の磁性材料、シリコン単結晶及び多結晶、ＧａＡ
ｓ、ＧａＰ、ＩｎＳｂ、ＬＴ、ＧＧＧ等の半導体、水
晶、結晶化ガラス、セラミックス、石英等の硬質材料を
スライシングする場合は、マルチブレードソー又はワイ
ヤーソーを用い、これらにスライシング用研磨液組成物
を付着させ、その研磨力によりスライシングする方式が
採用されている。
フェライト、センダスト、サマリウムコバルト、ネオジ
ウム等の磁性材料、シリコン単結晶及び多結晶、ＧａＡ
ｓ、ＧａＰ、ＩｎＳｂ、ＬＴ、ＧＧＧ等の半導体、水
晶、結晶化ガラス、セラミックス、石英等の硬質材料を
スライシングする場合は、マルチブレードソー又はワイ
ヤーソーを用い、これらにスライシング用研磨液組成物
を付着させ、その研磨力によりスライシングする方式が
採用されている。
【０００３】従来、このスライシング用研磨液組成物と
しては、鉱油を主体とする水不溶性の炭化水素化合物を
分散媒体（クーラント）とし、これに研磨微粉を混合・
分散させたものが広く用いられている。
しては、鉱油を主体とする水不溶性の炭化水素化合物を
分散媒体（クーラント）とし、これに研磨微粉を混合・
分散させたものが広く用いられている。
【０００４】しかし、上記スライシング用研磨液組成物
を用いて研磨を行った場合は、安定したスライシングが
得られる反面、組成物にクーラントとして含有する鉱油
が水不溶性のため、スライシング後のワーク洗浄におい
て、石油ナフサ、塩素系溶剤、ケトン等の有機溶剤を用
いた後、アルコール類で洗浄し、更に水洗するなどの複
雑な洗浄作業を要しなければならないという欠点を有し
ていた。また、使用される鉱油は引火性が高く、消防法
による第４類第３石油類（引火点７０〜２００℃）に属
するため、スライシング用研磨液組成物は貯蔵、輸送等
で危険物の取扱いを受ける欠点をも有していた。
を用いて研磨を行った場合は、安定したスライシングが
得られる反面、組成物にクーラントとして含有する鉱油
が水不溶性のため、スライシング後のワーク洗浄におい
て、石油ナフサ、塩素系溶剤、ケトン等の有機溶剤を用
いた後、アルコール類で洗浄し、更に水洗するなどの複
雑な洗浄作業を要しなければならないという欠点を有し
ていた。また、使用される鉱油は引火性が高く、消防法
による第４類第３石油類（引火点７０〜２００℃）に属
するため、スライシング用研磨液組成物は貯蔵、輸送等
で危険物の取扱いを受ける欠点をも有していた。
【０００５】そこで、上記鉱油を主体とした研磨液組成
物の欠点を回避するため、水溶性タイプのクーラントの
開発が行われている。しかし、この水溶性タイプのクー
ラントは、水溶性の高沸点有機溶剤、例えば多価アルコ
ール類又はその誘導体を主体としたものであるが、この
有機化合物も引火点が低いため、危険物としての取扱い
範囲を逸脱できない。
物の欠点を回避するため、水溶性タイプのクーラントの
開発が行われている。しかし、この水溶性タイプのクー
ラントは、水溶性の高沸点有機溶剤、例えば多価アルコ
ール類又はその誘導体を主体としたものであるが、この
有機化合物も引火点が低いため、危険物としての取扱い
範囲を逸脱できない。
【０００６】また、危険物の適用範囲外とするため、上
記有機化合物を主体とするクーラントに水を４０％以上
混合した水溶液タイプのスライシング用研磨液組成物も
開発されている。しかし、この場合はスライシングの際
に発生する摩擦熱のために蒸気圧の低い水や有機化合物
が蒸発し、研磨液組成が変化してしまうため、スライス
したワーク物性が安定し難い上、研磨材がマシーン内部
やパイプライン等に凝固、堆積し、汚染や閉塞の原因と
なり易い。更に、使用する水溶性有機化合物が一般に高
価であり、スライシングコストを上昇させてしまうとい
う問題も有していた。
記有機化合物を主体とするクーラントに水を４０％以上
混合した水溶液タイプのスライシング用研磨液組成物も
開発されている。しかし、この場合はスライシングの際
に発生する摩擦熱のために蒸気圧の低い水や有機化合物
が蒸発し、研磨液組成が変化してしまうため、スライス
したワーク物性が安定し難い上、研磨材がマシーン内部
やパイプライン等に凝固、堆積し、汚染や閉塞の原因と
なり易い。更に、使用する水溶性有機化合物が一般に高
価であり、スライシングコストを上昇させてしまうとい
う問題も有していた。
【０００７】従って、上記研磨液組成物を用いて目的材
料をスライシングすることは、その取扱い上、作業工程
上、コスト上で大きな欠点を有するため、上記課題を克
服したより工業的に有用なスライシング用研磨液組成物
の開発が望まれていた。
料をスライシングすることは、その取扱い上、作業工程
上、コスト上で大きな欠点を有するため、上記課題を克
服したより工業的に有用なスライシング用研磨液組成物
の開発が望まれていた。
【０００８】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、磁性材料等の目的材料のスライシングを簡単かつ短
時間で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができる
スライシング用研磨液組成物を提供することを目的とす
る。
で、磁性材料等の目的材料のスライシングを簡単かつ短
時間で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができる
スライシング用研磨液組成物を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、上記目的を達成するためスライシング用研磨
液組成物につき種々の検討を重ねた結果、鉱油及び／又
は植物油に水と界面活性剤を添加混合して乳化安定化さ
せた分散媒体に平均粒径が１．２〜６０μｍの研磨微粉
の特定量を混合配合することにより、磁性材料等の目的
材料のスライシングを作業工程、作業時間及び作業コス
トを大幅に削減して円滑に行うことができると共に、消
防法による危険物の適用外としての取扱いが可能である
工業的に有用なスライシング用研磨液組成物が得られる
ことを見出した。
発明者は、上記目的を達成するためスライシング用研磨
液組成物につき種々の検討を重ねた結果、鉱油及び／又
は植物油に水と界面活性剤を添加混合して乳化安定化さ
せた分散媒体に平均粒径が１．２〜６０μｍの研磨微粉
の特定量を混合配合することにより、磁性材料等の目的
材料のスライシングを作業工程、作業時間及び作業コス
トを大幅に削減して円滑に行うことができると共に、消
防法による危険物の適用外としての取扱いが可能である
工業的に有用なスライシング用研磨液組成物が得られる
ことを見出した。
【００１０】この場合、本発明の組成物は、クーラント
として使用される鉱油、植物油が安価な材料であり、室
温で液体の一般の水溶性有機化合物を主体としたクーラ
ントに比べて工業的には経費を相当に低減することが可
能であり、しかも主体となる鉱油及び植物油に水を添加
することで引火点を与えず、消防法による適用外とな
り、危険物としての取扱いが不要で極めて安全かつ管理
し易いこと、更に、スライシング時の摩擦熱により水の
蒸発は起こるものの鉱油及び植物油の蒸発はほとんどな
く、安定な組成を保持し得、かつ鉱油、植物油及び界面
活性剤が砥粒を包含するため、マシーン内部やパイプラ
インなどに凝固、堆積することなく、水の補給によって
容易に再乳化できる上、スライシング後のワーク洗浄を
水洗を主体とする簡単なものにすることができること、
よって、スライシング時に発生する摩擦熱を吸収し、か
つ潤滑性を保持すると共に、研磨材を均一にワイヤーや
ブレード表面に付着させ、安定的なスライシング作業を
行うことを可能にすることを知見し、本発明をなすに至
った。
として使用される鉱油、植物油が安価な材料であり、室
温で液体の一般の水溶性有機化合物を主体としたクーラ
ントに比べて工業的には経費を相当に低減することが可
能であり、しかも主体となる鉱油及び植物油に水を添加
することで引火点を与えず、消防法による適用外とな
り、危険物としての取扱いが不要で極めて安全かつ管理
し易いこと、更に、スライシング時の摩擦熱により水の
蒸発は起こるものの鉱油及び植物油の蒸発はほとんどな
く、安定な組成を保持し得、かつ鉱油、植物油及び界面
活性剤が砥粒を包含するため、マシーン内部やパイプラ
インなどに凝固、堆積することなく、水の補給によって
容易に再乳化できる上、スライシング後のワーク洗浄を
水洗を主体とする簡単なものにすることができること、
よって、スライシング時に発生する摩擦熱を吸収し、か
つ潤滑性を保持すると共に、研磨材を均一にワイヤーや
ブレード表面に付着させ、安定的なスライシング作業を
行うことを可能にすることを知見し、本発明をなすに至
った。
【００１１】従って、本発明は、鉱油及び／又は植物油
２０〜６０重量部を水４０〜８０重量部に界面活性剤の
存在下に乳化させた分散媒体１００重量部に、平均粒径
が１．２〜６０μｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混
合・分散したことを特徴とするスライシング用研磨液組
成物を提供する。
２０〜６０重量部を水４０〜８０重量部に界面活性剤の
存在下に乳化させた分散媒体１００重量部に、平均粒径
が１．２〜６０μｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混
合・分散したことを特徴とするスライシング用研磨液組
成物を提供する。
【００１２】以下、本発明につき更に詳述すると、本発
明のスライシング用研磨液組成物は、種々の磁性材料、
半導体、結晶材料、硬質材料等の材料をスライシングす
る際にスライシング効率を向上させる目的で用いられる
スライシング用研磨液組成物であり、鉱油及び／又は植
物油を界面活性剤を用いて水に乳化安定化した分散媒体
に研磨微粉を混合配合してなるものである。
明のスライシング用研磨液組成物は、種々の磁性材料、
半導体、結晶材料、硬質材料等の材料をスライシングす
る際にスライシング効率を向上させる目的で用いられる
スライシング用研磨液組成物であり、鉱油及び／又は植
物油を界面活性剤を用いて水に乳化安定化した分散媒体
に研磨微粉を混合配合してなるものである。
【００１３】ここで、本発明に使用される鉱油は、その
沸点が１５０〜４００℃、特に２８０〜３００℃の範囲
であることが好適である。沸点が１５０℃より低い鉱油
を用いると、スライシング作業中に発生する摩擦熱によ
り水と共に鉱油が一部蒸発し、研磨液濃度が変化した
り、臭気が発散して作業環境を悪化させる場合があり、
沸点が４００℃以上の鉱油を用いると、鉱油の粘度が高
く潤滑性を損なうため、不適当になる場合がある。
沸点が１５０〜４００℃、特に２８０〜３００℃の範囲
であることが好適である。沸点が１５０℃より低い鉱油
を用いると、スライシング作業中に発生する摩擦熱によ
り水と共に鉱油が一部蒸発し、研磨液濃度が変化した
り、臭気が発散して作業環境を悪化させる場合があり、
沸点が４００℃以上の鉱油を用いると、鉱油の粘度が高
く潤滑性を損なうため、不適当になる場合がある。
【００１４】また、植物油としては、常温で液体の植物
油が好適であり、例えば大豆油、ナタネ油、ヤシ油など
が挙げられ、特に安価で臭気の少ないものが好適であ
る。
油が好適であり、例えば大豆油、ナタネ油、ヤシ油など
が挙げられ、特に安価で臭気の少ないものが好適であ
る。
【００１５】更に、界面活性剤としては、上記鉱油、植
物油を安定に乳化し得るものであればよく、例えば陽イ
オン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、非イオン性
界面活性剤等が使用でき、具体的にはラウリル硫酸ナト
リウム、ポリオキシエチンノニルフェニルエーテル等が
例示される。
物油を安定に乳化し得るものであればよく、例えば陽イ
オン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、非イオン性
界面活性剤等が使用でき、具体的にはラウリル硫酸ナト
リウム、ポリオキシエチンノニルフェニルエーテル等が
例示される。
【００１６】本発明では、上記した鉱油及び植物油から
選ばれる１種又は２種以上に水と界面活性剤を添加して
乳化させ、乳化液を得るものである。この場合、水の添
加量は、クーラントが消防法の危険物の取扱い範囲外と
なり得る最低量でよく、鉱油及び植物油から選ばれる１
種又は２種以上と水との使用割合は、鉱油及び／又は植
物油２０〜６０部（重量部、以下同様）、好ましくは４
０〜５５部に対して、水を４０〜８０部、特に４５〜６
０部とすることが好ましい。水の添加量が４０部に満た
ないと引火点が危険物の適用範囲内となり、消防法によ
る危険物としての取扱いが必要になる場合があり、８０
部を超えると潤滑性が損なわれるという欠点がでてく
る。
選ばれる１種又は２種以上に水と界面活性剤を添加して
乳化させ、乳化液を得るものである。この場合、水の添
加量は、クーラントが消防法の危険物の取扱い範囲外と
なり得る最低量でよく、鉱油及び植物油から選ばれる１
種又は２種以上と水との使用割合は、鉱油及び／又は植
物油２０〜６０部（重量部、以下同様）、好ましくは４
０〜５５部に対して、水を４０〜８０部、特に４５〜６
０部とすることが好ましい。水の添加量が４０部に満た
ないと引火点が危険物の適用範囲内となり、消防法によ
る危険物としての取扱いが必要になる場合があり、８０
部を超えると潤滑性が損なわれるという欠点がでてく
る。
【００１７】なお、本発明のクーラントは、危険物第４
類第３又は第４石油類の鉱油をベースとし得るものであ
るが、上記のように水を４０部以上混合して乳化するこ
とによって引火点を保持せず、危険物の適用範囲外とな
り、取扱い及び輸送、貯蔵上に何らの制限を受けないと
いうメリットを有する。
類第３又は第４石油類の鉱油をベースとし得るものであ
るが、上記のように水を４０部以上混合して乳化するこ
とによって引火点を保持せず、危険物の適用範囲外とな
り、取扱い及び輸送、貯蔵上に何らの制限を受けないと
いうメリットを有する。
【００１８】更に、界面活性剤の添加量は、鉱油、植物
油に対して２〜１５部、特に４〜１０部の範囲が好まし
く、２部に満たないと満足に乳化できない場合があり、
１５部を超えてもそれ以上の添加効果は得られない場合
がある。
油に対して２〜１５部、特に４〜１０部の範囲が好まし
く、２部に満たないと満足に乳化できない場合があり、
１５部を超えてもそれ以上の添加効果は得られない場合
がある。
【００１９】なお、本発明において鉱油及び植物油の乳
化方法に特に制限はなく、水及び界面活性剤を添加して
通常の方法で行うことができる。
化方法に特に制限はなく、水及び界面活性剤を添加して
通常の方法で行うことができる。
【００２０】本発明に使用される研磨微粉としては、例
えば炭化ケイ素、アルミナ、炭化ホウ素等が好適に使用
される。
えば炭化ケイ素、アルミナ、炭化ホウ素等が好適に使用
される。
【００２１】これら研磨微粉の平均粒径は、ワークの目
的に応じて調整することができるが、電気抵抗法ＪＩＳ
６００１に準じて測定した平均粒径が１．２〜６０μ
ｍ、特に６〜３０μｍの範囲であることが好適である。
的に応じて調整することができるが、電気抵抗法ＪＩＳ
６００１に準じて測定した平均粒径が１．２〜６０μ
ｍ、特に６〜３０μｍの範囲であることが好適である。
【００２２】上記研磨微粉の添加量は、クーラントとし
ての上記乳化液１００部に対して３０〜１５０部、特に
４０〜１３０部の範囲が好適であるが、スライシングの
手段により好適な処方を任意に選択することが可能であ
る。
ての上記乳化液１００部に対して３０〜１５０部、特に
４０〜１３０部の範囲が好適であるが、スライシングの
手段により好適な処方を任意に選択することが可能であ
る。
【００２３】このようにして得られる本発明のスライシ
ング用研磨液組成物の粘度は、２５℃で５０〜１０００
ｃｐｓ（Ｂ型粘度計での測定値）、特に７０〜５００ｃ
ｐｓが好適であり、この範囲でスライシングの手段、マ
ルチブレードソー及びワイヤーソーの構造的特性により
選択することができる。粘度が５０ｃｐｓ未満の低粘度
液組成では、砥粒の沈降が防げず、作業中に分離して液
組成が安定しなかったり、貯蔵槽又はパイプラインを閉
塞させたり、ワイヤーへの付着が不十分となり、スライ
シングに支障を及ぼす場合がある。また、１０００ｃｐ
ｓを超えると、研磨液がスライシングスペースに浸透し
難く、均一なスライシングが困難であるほか、ワープ
（うねり）が大きく極めて不利となったり、スライシン
グ後のワーク洗浄がし難く、スラッジの洗浄に極めて多
大な時間を要する場合がある。
ング用研磨液組成物の粘度は、２５℃で５０〜１０００
ｃｐｓ（Ｂ型粘度計での測定値）、特に７０〜５００ｃ
ｐｓが好適であり、この範囲でスライシングの手段、マ
ルチブレードソー及びワイヤーソーの構造的特性により
選択することができる。粘度が５０ｃｐｓ未満の低粘度
液組成では、砥粒の沈降が防げず、作業中に分離して液
組成が安定しなかったり、貯蔵槽又はパイプラインを閉
塞させたり、ワイヤーへの付着が不十分となり、スライ
シングに支障を及ぼす場合がある。また、１０００ｃｐ
ｓを超えると、研磨液がスライシングスペースに浸透し
難く、均一なスライシングが困難であるほか、ワープ
（うねり）が大きく極めて不利となったり、スライシン
グ後のワーク洗浄がし難く、スラッジの洗浄に極めて多
大な時間を要する場合がある。
【００２４】本発明の研磨液組成物には、必要によりケ
イ酸アルミニウム等の増粘剤や防黴剤、防腐剤、消泡
剤、分散剤、不凍剤等を添加することができる。
イ酸アルミニウム等の増粘剤や防黴剤、防腐剤、消泡
剤、分散剤、不凍剤等を添加することができる。
【００２５】本発明のスライシング用研磨液組成物は、
マルチブレードソー、ワイヤーソー等を用いて常法に従
った使用法でスライシングを行うことができるが、スラ
イシング後は水洗により容易にワークの洗浄を行うこと
ができるものである。
マルチブレードソー、ワイヤーソー等を用いて常法に従
った使用法でスライシングを行うことができるが、スラ
イシング後は水洗により容易にワークの洗浄を行うこと
ができるものである。
【００２６】
【発明の効果】本発明のスライシング用研磨液組成物
は、磁性材料等のスライシングを簡単かつ短時間で円滑
に、しかも安全かつ安価に行うことができる。
は、磁性材料等のスライシングを簡単かつ短時間で円滑
に、しかも安全かつ安価に行うことができる。
【００２７】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示して本発明を具
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。なお、各例中の部はいずれも重量部であ
る。
体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるも
のではない。なお、各例中の部はいずれも重量部であ
る。
【００２８】〔実施例、比較例〕表１に示すように主成
分、界面活性剤、水を混合して常法により乳化して調製
したクーラントＮｏ．１〜６の各々１００部に平均粒径
が１８μｍの緑色炭化ケイ素研磨微粉（信濃電気製錬
（株）製 ＧＰ−６００）１１０部を均一に混合・分散
し、研磨液組成物を調製した。
分、界面活性剤、水を混合して常法により乳化して調製
したクーラントＮｏ．１〜６の各々１００部に平均粒径
が１８μｍの緑色炭化ケイ素研磨微粉（信濃電気製錬
（株）製 ＧＰ−６００）１１０部を均一に混合・分散
し、研磨液組成物を調製した。
【００２９】
【表１】
【００３０】これらの研磨液組成物を用いて、シリコン
半導体単結晶（２００ｍｍ直径×１５０ｍｍ長さ）及び
ガラス（２００ｍｍ直径×２００ｍｍ長さ）のスライシ
ングを表２に示す条件で実施した。シリコン半導体単結
晶の切断結果を表３に、ガラスの切断結果を表４に示
す。なお、ワイヤーソーとしては、表２に示す仕様のワ
イヤーソー（株）日平トヤマ製のＭＷＭ−３４３型を使
用し、ワイヤー径０．１８ｍｍ、ワイヤーピッチ１１０
０μｍ、目標ウエハー厚８９５μｍ、切断速度０．１４
ｍｍ／ｍｉｎ、研磨液量６０ｋｇ／ｍｉｎで行った。
半導体単結晶（２００ｍｍ直径×１５０ｍｍ長さ）及び
ガラス（２００ｍｍ直径×２００ｍｍ長さ）のスライシ
ングを表２に示す条件で実施した。シリコン半導体単結
晶の切断結果を表３に、ガラスの切断結果を表４に示
す。なお、ワイヤーソーとしては、表２に示す仕様のワ
イヤーソー（株）日平トヤマ製のＭＷＭ−３４３型を使
用し、ワイヤー径０．１８ｍｍ、ワイヤーピッチ１１０
０μｍ、目標ウエハー厚８９５μｍ、切断速度０．１４
ｍｍ／ｍｉｎ、研磨液量６０ｋｇ／ｍｉｎで行った。
【００３１】
【表２】
【００３２】
【表３】 ＊ワーク厚：マイクロメーターを用い、ウエハーの５点
を測定し、平均値とバラツキを求めた。 ＊ＴＴＶ（Ｔｏｔａｌ Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｖａｒｉ
ａｔｉｏｎ）：ＡＤＥ社製のウルトラゲージを使用して
測定した。 ＊そり：東京精密社製の接触式を使用してそりを測定し
た。
を測定し、平均値とバラツキを求めた。 ＊ＴＴＶ（Ｔｏｔａｌ Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ Ｖａｒｉ
ａｔｉｏｎ）：ＡＤＥ社製のウルトラゲージを使用して
測定した。 ＊そり：東京精密社製の接触式を使用してそりを測定し
た。
【００３３】
【表４】
【００３４】表３，４の結果より、本発明の研磨液組成
物（実施例）は、従来の鉱油を主体としたクーラントを
用いた研磨液組成物（比較例１）と同等のスライシング
性を有することが確認された。
物（実施例）は、従来の鉱油を主体としたクーラントを
用いた研磨液組成物（比較例１）と同等のスライシング
性を有することが確認された。
【００３５】次に、スライシングしたガラス（実施例
１、比較例２，３）の各１枚を５リットルのビーカーに
入れ、超音波洗浄機を用いて２０ｋＨｚで３５℃の洗浄
液（１％ラウリル硫酸ナトリウム）３リットルに浸漬し
て２分間洗浄し、研磨粒子が確認できなくなるまで繰り
返した。その回数により水洗浄の難易度を判定した。結
果を表５に示す。
１、比較例２，３）の各１枚を５リットルのビーカーに
入れ、超音波洗浄機を用いて２０ｋＨｚで３５℃の洗浄
液（１％ラウリル硫酸ナトリウム）３リットルに浸漬し
て２分間洗浄し、研磨粒子が確認できなくなるまで繰り
返した。その回数により水洗浄の難易度を判定した。結
果を表５に示す。
【００３６】
【表５】
【００３７】表５の結果より、水溶性有機化合物を主体
としたクーラント（比較例２，３）では、スライシング
後の水洗浄に長時間を要し、実用的でないのに対して、
本発明のスイラシング用研磨液組成物（実施例１）は、
スライシング後の洗浄が簡単であることが確認された。
としたクーラント（比較例２，３）では、スライシング
後の水洗浄に長時間を要し、実用的でないのに対して、
本発明のスイラシング用研磨液組成物（実施例１）は、
スライシング後の洗浄が簡単であることが確認された。
Claims (4)
- 【請求項１】 鉱油及び／又は植物油２０〜６０重量部
を水４０〜８０重量部に界面活性剤の存在下に乳化させ
た分散媒体１００重量部に、平均粒径が１．２〜６０μ
ｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混合・分散したこと
を特徴とするスライシング用研磨液組成物。 - 【請求項２】 沸点１５０〜４００℃の範囲の鉱油及び
／又は常温で液体の植物油を用いる請求項１記載のスラ
イシング用研磨液組成物。 - 【請求項３】 研磨微粉が炭化ケイ素、アルミナ及び炭
化ホウ素から選ばれるものである請求項１又は２記載の
スライシング用研磨液組成物。 - 【請求項４】 ２５℃におけるＢ型粘度計による粘度が
５０〜１０００センチポイズの範囲である請求項１、２
又は３記載のスライシング用研磨液組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171797A JPH10306275A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | スライシング用研磨液組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171797A JPH10306275A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | スライシング用研磨液組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10306275A true JPH10306275A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=15064562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13171797A Pending JPH10306275A (ja) | 1997-05-06 | 1997-05-06 | スライシング用研磨液組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10306275A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0983831A2 (en) * | 1998-09-01 | 2000-03-08 | Sumitomo Special Metals Company Limited | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6408840B2 (en) | 1999-12-14 | 2002-06-25 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
-
1997
- 1997-05-06 JP JP13171797A patent/JPH10306275A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0983831A2 (en) * | 1998-09-01 | 2000-03-08 | Sumitomo Special Metals Company Limited | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6381830B1 (en) | 1998-09-01 | 2002-05-07 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| EP0983831A3 (en) * | 1998-09-01 | 2002-09-04 | Sumitomo Special Metals Company Limited | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6505394B2 (en) | 1998-09-01 | 2003-01-14 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method for cutting rare earth alloy, method for manufacturing rare earth alloy plates and method for manufacturing rare earth alloy magnets using wire saw, and voice coil motor |
| US6408840B2 (en) | 1999-12-14 | 2002-06-25 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
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