JPH11309674A - スラリ管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用済みスラリの粘度を調節することによ
り、デカンタを備えた分離回収機構の分離効率を一定に
保つことができるスラリ管理システムを提供する。 【解決手段】 調合槽５４内で砥粒および分散液を混合
してスラリを調整し、そのスラリをワイヤソー１１に供
給する。使用済みスラリをデカンタ４６，４７を有する
分離回収機構に搬送し、デカンタ４６，４７の遠心力に
より使用済みスラリから使用可能な砥粒および分散液を
分離回収して、それらを調合槽５４に戻して再使用す
る。粘度計８０により使用済みスラリの粘度を検出し、
その検出結果に基づいて、温度調節器８１により使用済
みスラリの温度を調節して粘度を調整し、分離効率がほ
ぼ一定になるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソー等に
おいて使用されるスラリを調製管理するスラリ管理シス
テムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワイヤソーにおいては、複数の
加工用ローラ間に１本のワイヤが所定ピッチで巻回され
ている。そして、このワイヤが走行されながら、ワイヤ
上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態でワイ
ヤに対しワークが押し付け接触されて、そのワークがウ
エハ状に切断加工されるようになっている。

【０００３】この種のワイヤソーには、スラリを調製管
理するためのスラリ管理システムが付設されている。そ
して、このスラリ管理システムにおいては、調合槽内で
新規な砥粒および分散液が混合されてスラリが調製さ
れ、そのスラリがワイヤソーに供給されるようになって
いる。

【０００４】また、ワイヤソーで使用されたスラリは、
スラリ管理システムの分離回収機構に移送されて、その
分離回収機構の第１分離回収段階で、使用可能な砥粒と
分散液とに分離され、固形分として砥粒が回収される。
さらに、分離された分散液は、分離回収機構の第２分離
回収段階で、細かい微粒成分の不純物と使用可能な分散
液とに分離され、その分散液が回収される。そして、回
収された砥粒と分散液とが調合槽に戻されてスラリが再
調製され、そのスラリがワイヤソーに供給されて再使用
されるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このスラリ
管理システムにおいては、例えば、ワイヤソーの加工運
転に伴い、周囲温度の変化等から使用済みのスラリの温
度が変化したり、スラリ中の切り粉の含有量が変化した
りして、スラリの粘度が変動することがある。このよう
に、使用済みのスラリの粘度が変動すると、分離回収機
構の第１分離回収段階および第２分離回収段階における
分離効率が変化して、砥粒が十分に回収できなかった
り、回収した分散液中に微粒成分の不純物が残留してい
たりするという問題があった。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、分離回収機構による分離結果から、この
分離回収機構へ供給される使用済みのスラリの粘度や供
給量を自動調節することができて、分離回収機構の分離
効率を一定に保ち、安定した分離を行うことができるス
ラリ管理システムを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するために、請求項１において、スラリ管理
システムは、使用済みスラリを分離回収機構に移送し
て、そのスラリから使用可能な砥粒、または使用可能な
砥粒および分散液を分離回収する。そして、温度調節手
段は、分離回収機構に供給される使用済みスラリの温度
を調節する。また、分離液性状検出手段が前記分離回収
機構により分離された分離液の性状を検出する。そし
て、制御手段は、分離液性状検出手段の検出結果が所定
の値になるように前記温度調節手段を制御してスラリ温
度を調整する。

【０００８】分離された分離液の性状は、分離の効率を
反映する。従って、この分離効率の結果に応じて温度調
節手段の動作を制御して、スラリの粘度を調整すること
は、高い分離効率を維持することに寄与する。

【０００９】請求項２において、スラリ管理システム
は、使用済みスラリを分離回収機構に移送して、そのス
ラリから使用可能な砥粒、または使用可能な砥粒および
分散液を分離回収する。そして、供給量調節手段は、分
離回収機構に供給される使用済みのスラリの供給量を調
節する。また、分離液性状検出手段により、前記分離回
収機構により分離された分離液の性状が検出される。そ
して、制御手段は、分離液性状検出手段の検出結果が所
定の値になるように前記供給量調節手段を制御してスラ
リ供給量を調整する。

【００１０】従って、この場合は、分離効率の検出結果
に応じて、分離回収機構に供給されるスラリの量が調節
される。このスラリの量の調節よっても高い分離効率を
維持することができる。

【００１１】請求項３においては、請求項１または２に
おいて、分離液性状検出手段は、比重および粘度のうち
少なくとも一方を検出する。分離液の性状は、砥粒の量
等に応じて比重や粘度が変動する。従って、これらを検
出することにより、分離液の性状を的確に判別できる。
よって、その検出値に従ってスラリ温度やスラリ供給量
を正確に制御できる。

【００１２】請求項４においては、請求項１ないし３の
いずれかにおいて、分離回収機構は、使用済みスラリを
遠心分離するデカンタよりなる。請求項５においては、
スラリ管理システムは、使用済みスラリを使用可能な砥
粒と濁分散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁
分散液を微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心
分離する二次デカンタとを備え、両デカンタによって使
用済みスラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回
収する。温度調節手段は、前記一次デカンタに供給され
る使用済みスラリの温度を調節する。また、分離液性状
検出手段は、前記一次デカンタによる分離後の濁分散液
の性状を検出する。そして、制御手段は、分離液性状検
出手段の検出結果が所定の値になるように前記温度調節
手段を制御する。

【００１３】濁分散液の性状は一次デカンタの分離効率
を表す。一方、スラリ温度は、一次デカンタの分離効率
を左右する。従って、濁分散液の性状を検出して、スラ
リ温度を制御すれば、一次デカンタの分離効率を向上さ
せることができる。

【００１４】請求項６において、スラリ管理システム
は、使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分散液とに遠
心分離する一次デカンタと、その濁分散液を微粒成分の
不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する二次デカン
タとを備え、両デカンタによって使用済みスラリから使
用可能な砥粒および分散液を分離回収する。温度調節手
段は、一次デカンタに供給される使用済みスラリの温度
を調節し、分離液性状検出手段は、二次デカンタによる
分離後の使用可能な分散液の性状を検出する。そして、
制御手段は、この分離液性状検出手段の検出結果が所定
の値になるように前記温度調節手段を制御する。

【００１５】請求項７において、スラリ管理システム
は、使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分散液とに遠
心分離する一次デカンタと、その濁分散液を微粒成分の
不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する二次デカン
タとを備え、両デカンタによって使用済みスラリから使
用可能な砥粒および分散液を分離回収する。そして、供
給量調節手段は、一次デカンタに供給される使用済みス
ラリの供給量を調節する。また、分離液性状検出手段
は、一次デカンタによる分離後の濁分散液の性状を検出
し、制御手段は、分離液性状検出手段の検出結果が所定
の値になるように前記供給量調節手段を制御する。

【００１６】前述のように、濁分散液の性状は一次デカ
ンタの分離効率を表す。一方、スラリの供給量は、一次
デカンタの分離効率を左右する。従って、その濁分散液
の性状に応じて、制御手段により供給量調節手段を制御
して、一次デカンタに供給されるスラリの量を調整すれ
ば、高い分離効率を得ることができる。すなわち、一次
デカンタの分離効率が低下した場合には、スラリの供給
量を少なくし、分離効率がアップした場合には、スラリ
の供給量を減らせばよい。

【００１７】請求項８において、スラリ管理システム
は、使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分散液とに遠
心分離する一次デカンタと、その濁分散液を微粒成分の
不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する二次デカン
タとを備え、両デカンタによって使用済みスラリから使
用可能な砥粒および分散液を分離回収する。供給量調節
手段は、一次デカンタに供給される使用済みスラリの供
給量を調節する。分離液性状検出手段は、二次デカンタ
による分離後の使用可能な分散液の性状を検出する。そ
して、制御手段は、分離液性状検出手段の検出結果が所
定の値になるように前記供給量調節手段を制御する。

【００１８】前述のように、二次デカンタにより分離さ
れた使用可能な分離液の性状は第１，二次デカンタ、特
に二次デカンタの分離効率を表す。一方、スラリの供給
量は、第１，第２両デカンタの分離効率を左右する。従
って、分離液の性状を検出して、スラリの供給量を制御
すれば、第１，二次デカンタの分離効率を向上させるこ
とができる。

【００１９】請求項９においては、請求項５〜８のいず
れかにおいて、前記分離液性状検出手段は、比重および
粘度のいずれか一方を検出する。分離液の性状は、砥粒
の量等に応じて比重や粘度が変動する。従って、これら
を検出することにより、分離液の性状を的確に判別でき
る。よって、その検出値に従ってスラリ供給量を正確に
制御できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下に、この発
明の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。

【００２１】図１〜図３に示すように、この第１実施形
態においては、スラリを使用する使用装置として、複数
のワイヤソー１１が装設されている。各ワイヤソー１１
にはスラリタンク１２が備え付けられ、それらの内部に
は撹拌機１３が回転可能に配設されるとともに、外側に
はレベルセンサ１４が付設されている。そして、各スラ
リタンク１２内には、例えば油性の分散液と砥粒とから
なる所定量のスラリが貯溜され、ポンプ１５により各ワ
イヤソー１１に循環供給される。

【００２２】すなわち、前記各ワイヤソー１１において
は、図示しないが、複数の加工用ローラ間に１本のワイ
ヤが所定ピッチで巻回され、そのワイヤが走行されなが
ら、ワイヤ上にスラリタンク１２からスラリが供給され
る。この状態で、ワイヤにワークが押し付け接触され
て、ワークがラッピング作用によりウェハ状に切断加工
される。また、この切断加工中には、ワイヤ上から使用
済みのスラリがスラリタンク１２内に回収されるととも
に、そのスラリが再び走行中のワイヤ上に供給されて、
スラリの繰り返し使用が図られる。

【００２３】前記ワイヤソー１１には供給用のスラリを
貯留するスラリ供給槽１６が近接配置され、その内部に
は撹拌機１７が回転可能に配設されるとともに、外側に
はレベルセンサ１８，１９が付設されている。スラリ供
給槽１６には前記スラリタンク１２にスラリを供給する
ための供給通路２０が接続され、その供給通路２０には
バルブ２１およびポンプ２２が配設されている。そし
て、スラリ供給槽１６内に貯溜された供給用のスラリ
が、供給通路２０の途中からバルブ２３を介して、各ワ
イヤソー１１のスラリタンク１２に供給される。また、
供給通路２０にはスラリ供給槽１６と供給通路２０との
間で、スラリを循環させるための循環用通路２０ａが接
続されている。

【００２４】前記ワイヤソー１１には回収槽２４が近接
配置され、その内部には撹拌機２５が回転可能に配設さ
れるとともに、外側にはレベルセンサ２６，２７が付設
されている。回収槽２４には前記スラリタンク１２から
スラリを回収するための回収通路２８、および回収した
スラリを後述する分離回収機構４０に送り出すための送
出通路２９が接続され、その送出通路２９にはバルブ３
０およびポンプ３１が配設されている。そして、各ワイ
ヤソー１１におけるスラリタンク１２内の使用済みのス
ラリの全部または一部が、回収通路２８に設けたポンプ
１５およびバルブ３２を介して、回収槽２４内へ定期的
或いは加工完了毎に排出される。

【００２５】また、このスラリタンク１２からの使用済
みスラリの排出量に応じて、前記スラリ供給槽１６から
スラリタンク１２内に、新規なスラリが補給される。こ
れにより、スラリの繰り返し使用に伴って、スラリ中に
おけるワークの切り粉の混入量が次第に増大すること
や、ラッピングで破砕される砥粒の比率が増大して、正
常な粒径の砥粒量が次第に減少することが、許容範囲内
に抑制されて、ワークの切断効率が低下するのが防止さ
れる。また、回収通路２８と送出通路２９のバルブ３５
との間には、循環用通路２８ａが接続され、バルブ３０
を介してスラリ回収槽２４と回収通路２８との間でスラ
リを循環させることができるようになっている。

【００２６】前記回収槽２４からの送出通路２９は計量
タンク３４に接続され、回収槽２４内の使用済みのスラ
リが、送出通路２９に設けたバルブ３０およびポンプ３
１、さらに送出通路２９の途中に設けたバルブ３５を介
して、この計量タンク３４内に供給される。計量タンク
３４の外側にはレベルセンサ３６，３７が付設され、こ
のレベルセンサ３６，３７により１回分の分離処理に供
する使用済みスラリが計量される。

【００２７】前記計量タンク３４の下流側には移送通路
３９を介して図３に示す分離回収機構４０が接続され、
その移送通路３９内にはバルブ４１，４２，４３，４４
およびポンプ４５が配設されている。この分離回収機構
４０には、後述する一次デカンタ４６と、二次デカンタ
４７とが装備されている。そして、計量タンク３４内の
使用済みスラリが移送通路３９を介して分離回収機構４
０に移送されるとき、その使用済みスラリ中から不要な
成分が両デカンタ４６，４７により除去されて、再使用
可能な砥粒および分散液が分離回収される。

【００２８】すなわち、前記一次デカンタ４６および二
次デカンタ４７としては、例えばスクリューコンベア型
の遠心分離機が使用され、二次デカンタ４７の回転速度
が一次デカンタ４６の回転速度よりも大きくなるように
設定されている。そして、一次デカンタ４６により、使
用済みのスラリが、例えば粒径５μｍ以上の使用可能な
砥粒と、その砥粒よりも細かい微粒成分を不純物として
含む濁分散液（一次分離液）とに遠心分離され、固形分
として砥粒が回収される。また、一次デカンタ４６によ
り分離された濁分散液は、二次デカンタ４７により、使
用可能な砥粒よりも細かい微粒成分の不純物と、使用可
能な分散液（二次分離液）とに遠心分離されて、分散液
が回収される。

【００２９】さらに、前記二次デカンタ４７によって回
収された使用可能な分散液は、バルブ４８，７０を介し
て、一次デカンタ４６によって回収された使用可能な砥
粒と混合しながら下流側に流出され、以降の配管等への
砥粒の流れを促進させる作用をなす。一方、二次デカン
タ４７によって分離された微粒成分の不純物は、収容タ
ンク４９内に排出して貯溜される。また、一次デカンタ
４６により分離された分離液としての濁分散液の通路途
中には、第１の分離液性状検出手段９２が接続されてい
る。さらに、二次デカンタ４７により分離された使用可
能な分散液の通路途中には、第２の分離液性状検出手段
９３が接続されている。この第１および第２の分離液性
状検出手段９２、９３はそれぞれ後述するスラリ性状検
出手段を構成する比重計７８、流量計７９および粘度計
８０と同じもので構成されている。

【００３０】前記一次デカンタ４６の下流側には第１切
換バルブ５０および第２切換バルブ５１が配設されてい
る。そして、前記一次デカンタ４６から回収される使用
可能な砥粒および二次デカンタ４７から回収される使用
可能な分散液は、合流された状態で第１切換バルブ５０
の切換えにより、第２切換バルブ５１上または計量タン
ク３４内のいずれか一方に導かれる。また、第２切換バ
ルブ５１上に導かれた使用可能な砥粒および分散液は、
第２切換バルブ５１の切換えにより、一対の調合槽５４
のいずれか一方に導入される。

【００３１】前記各調合槽５４の内部には撹拌機５５が
回転可能に配設されるとともに、外側には重量センサ５
６が付設され、この重量センサ５６により調合槽５４内
のスラリの重量が検出される。

【００３２】前記各調合槽５４の上部にはホッパ５８が
配設され、ホッパ５８内に収容された新規な砥粒が振動
フィーダ５９を介して各調合槽５４内に供給される。各
ホッパ５８にはエア供給路６０を介してエアコンプレッ
サ６１が接続され、調合槽５４内への砥粒の供給時に、
エアコンプレッサ６１からホッパ５８内に圧縮エアが供
給されて、砥粒の供給が促進される。各ホッパ５８およ
び各調合槽５４には吸引路６２を介して集塵器６３が接
続され、ホッパ５８および調合槽５４内で浮遊している
砥粒の微粒成分が、この集塵器６３によって吸引除去さ
れる。

【００３３】前記調合槽５４の側部には図３に示す複数
の分散液槽６４が配設され、これらの分散液槽６４内に
貯溜された分散液が、バルブ６５、ポンプ６６およびバ
ルブ６７を介して各調合槽５４内に供給される。そし
て、各調合槽５４内に供給された新規の砥粒および分散
液と、分離回収機構４０から戻された砥粒および分散液
とが撹拌混合されて、所定調合比率のスラリが調製され
る。なお、このスラリの調製動作は、一対の調合槽５４
において交互に実行される。

【００３４】この場合、砥粒と分散液との調合比率は、
重量比で１対０．７０〜１対０．９８程度である。ま
た、砥粒としては、窒化珪素，炭化珪素等の６００番，
８００番または１０００番が使用され、分散液として
は、シリコンオイル（例えば、パレス化学株式会社製：
製品番号ＰＳ‐ＬＷ‐１）等が使用される。

【００３５】前記分散液槽６４から前記分離回収機構４
０への分散液の供給路にはバルブ６９を介して分岐供給
路６８が接続され、その分岐供給路６８はバルブ７０を
介して二次デカンタ４７からの分散液通路に接続されて
いる。そして、二次デカンタ４７にて分離回収された分
散液は、定期的にバルブ４８から収容タンク４９へ排出
される。この排出の間は、分散液槽６４内の分散液が分
岐供給路６８からバルブ７０を介して一次デカンタ４６
への分散液通路に供給されて、その一次デカンタ４６に
て分離された砥粒の流れを促進させる作用をなすととも
に、調合槽５４へ新しい分散液を供給する。

【００３６】前記各調合槽５４とスラリ供給槽１６との
間には供給通路７１が接続され、その供給通路７１には
バルブ７２，７３，７４およびポンプ７５が配設されて
いる。そして、調合槽５４内で調製されたスラリが、こ
の供給通路７１を介してスラリ供給槽１６内に供給貯溜
された後、各ワイヤソー１１のスラリタンク１２に供給
される。

【００３７】前記スラリの供給通路７１の途中には、調
合槽５４と供給通路７１を通ってスラリを循環させるた
めの循環用通路７６が接続され、その循環用通路７６内
にはバルブ７７が配設されている。また、このスラリの
循環用通路７６と分離回収機構４０への使用済みスラリ
の移送通路３９とは、バルブ４３，４４間において部分
的に共用されている。そして、調合槽５４内のスラリ
は、調合槽５４内でのスラリの調製中および調製後に、
ポンプ７５の回転に伴って、循環用通路７６を介して循
環される。

【００３８】前記循環用通路７６の共用部分３９（７
６）には、スラリ性状検出手段を構成する比重計７８、
流量計７９および粘度計８０が接続されている。そし
て、バルブ４３および移送通路３９を介して分離回収機
構４０に使用済みのスラリが移送されるとき、および供
給通路７１の一部、循環用通路７６を介して調合槽５４
内のスラリが循環されるとき、それらのスラリの比重、
流量および粘度が比重計７８、流量計７９および粘度計
８０によって検出される。比重計７８と流量計７９は例
えば両方一体となった例えば比重と流量を同時に検出で
きるマイクロモーション流量計（株式会社オーバル製）
が使用される。粘度計８０は例えば圧力・差圧伝送器３
０５１Ｃ（フィッシャー・ローズマウント・ジャパン株
式会社製）が使用される。

【００３９】前記比重計７８、流量計７９および粘度計
８０の上流側において、循環用通路７６の共用部分３９
（７６）には温度調節手段としての温度調節器８１が接
続されている。例えば、熱支持層によるインライン方式
で、熱媒の温度や流量を変更することにより加温冷却の
コントロールを行っている。そして、移送通路３９を介
して分離回収機構４０に使用済みのスラリが移送される
とき、この温度調節器８１によりスラリ温度が加減調整
され、これによりスラリの粘度が調整される。

【００４０】次に、前記のように構成されたスラリ管理
システムの電気的回路構成について説明する。図４に示
すように、中央処理装置（ＣＰＵ）８４は、スラリ管理
システムの各部の動作を制御する。リードオンリメモリ
（ＲＯＭ）８５は、スラリ管理システムの動作に必要な
各種の制御プログラムを記憶している。ランダムアクセ
スメモリ（ＲＡＭ）８６は、制御プログラムの実行に伴
って得られたデータ等を一時的に記憶する。そして、こ
のＣＰＵ８４、ＲＯＭ８５およびＲＡＭ８６により、制
御手段が構成されている。

【００４１】前記ＣＰＵ８４には、スラリ性状検出手段
としての比重計７８、流量計７９および粘度計８０から
の検出信号、第１の分離液性状検出手段９２、第２の分
離液性状検出手段９３、および操作パネル８７からの操
作信号が入力される。また、ＣＰＵ８４からは、駆動回
路８８，８９，９０，９１を介して、温度調節器８１、
バルブ４１〜４４，７２〜７４を含む各種バルブ、ポン
プ４５，７５を含む各種ポンプ、および各デカンタ４
６，４７に作動信号が出力される。

【００４２】そして、前記ＣＰＵ８４は、使用済みスラ
リの分離処理に際して、バルブ４１〜４４の切換えによ
り移送通路３９を形成した状態で、ポンプ４５の作動に
より、計量タンク３４から分離回収機構４０に使用済み
のスラリを移送させる。このとき、ＣＰＵ８４は、図５
のフローチャートに従い第１の分離液性状検出手段９２
により、一次デカンタ４６にて遠心分離された濁分散液
の比重または粘度を検出させ、その検出結果が所定値
（所定範囲）になるように、温度調節器８１を制御して
使用済みスラリの温度を調節する。すなわち、粘度検出
の場合、スラリ粘度の検出結果が所定値より大きいとき
スラリの温度を上げてスラリ粘度を下げ、小さいときス
ラリの温度を下げてスラリ粘度を上げる制御がなされ
る。ここで、所定値とは、使用するスラリの種類やデカ
ンタの設定条件等に応じた最適分離状態を表す予め設定
した値である。

【００４３】また、ＣＰＵ８４は、前記使用済みスラリ
の分離処理に際して、比重計７８、流量計７９および粘
度計８０による使用済みスラリの比重、流量および粘度
の検出結果、および第１の分離液性状検出手段９２と第
２の分離液性状検出手段９３とによる各分離液の比重、
流量および粘度の検出結果を、それぞれ操作パネル８７
に表示させる。

【００４４】また、ＣＰＵ８４は、調合槽５４でのスラ
リの調製中また調製後に、バルブ４３，４４，７２〜７
４の切換えにより循環用通路７６を開放した状態で、ポ
ンプ７５の作動により、供給通路７１の一部、移送通路
３９（７６）および循環用通路７６を介して調合槽５４
内のスラリを循環させる。

【００４５】ＣＰＵ８４は、前記スラリの循環中におい
て、比重計７８、流量計７９および粘度計８０により、
スラリの比重、流量および粘度を検出させて、その検出
信号に応じて、調合槽５４に対するホッパ５８からの砥
粒の供給量および分散液槽６４からの分散液の供給量を
調整する。これにより、調製スラリにおける砥粒と分散
液との調合比率を前述した所定値となるように調整制御
する。

【００４６】次に、この実施形態のスラリ管理システム
について動作を説明する。さて、各ワイヤソー１１にお
いて、ワークの切断加工が開始されると、スラリタンク
１２内のスラリがワイヤソー１１との間で循環されて、
ワイヤソー１１のワイヤ上に供給される。そして、各ワ
イヤソー１１で使用されたスラリは、スラリタンク１２
から回収槽２４内へ定期的或いは加工完了毎に回収さ
れ、その回収量に応じて、スラリ供給槽１６からスラリ
タンク１２内に供給用のスラリが補給される。

【００４７】また、回収槽２４内に排出された使用済み
のスラリは、送出通路２９から計量タンク３４へ送出さ
せて、この計量タンク３４から移送通路３９を介して分
離回収機構４０に移送され、一次デカンタ４６および二
次デカンタ４７により、そのスラリ中から使用可能な砥
粒および分散液が分離回収される。そして、回収された
砥粒と分散液は混合されて調合槽５４内に戻され、ホッ
パ５８から供給される砥粒および分散液槽６４から供給
される分散液と混合して、所定調合比率のスラリが調製
される。

【００４８】さらに、このスラリの調製中および調製後
には、調合槽５４内のスラリが循環用通路７６を介して
循環される。そして、スラリ供給槽１６内のスラリが所
定レベル以下になったとき、調合槽５４内の調製後のス
ラリが供給通路７１を介してスラリ供給槽１６に供給さ
れる。

【００４９】次に、前記使用済みのスラリの温度調節動
作を、図５のフローチャートに基づいてさらに詳細に説
明する。なお、このフローチャートは、ＲＯＭ８５に記
憶されている制御プログラムに基づいて、ＣＰＵ８４の
制御のもとで進行する。

【００５０】さて、使用済みスラリの分離が開始される
と（Ｓ１）、一次デカンタ４６によって分離された濁分
離液の比重または粘度が第１の分離液性状検出手段９２
により検出されて、その検出信号がＣＰＵ８４に出力さ
れる（Ｓ２）。すると、その検出値が、ＲＡＭ８６に予
め記憶された所定の範囲内（例えば比重の場合、１．０
０〜１．０５、粘度の場合、５０ｃｐ〜１２０ｃｐ）に
含まれているか否かが判別される（Ｓ３）。この判別に
おいて、検出値が所定の範囲内にない場合には、温度調
節器８１が制御されて、使用済みスラリの温度が加減さ
れる（Ｓ４）。その後、前記Ｓ２に戻って、Ｓ２〜Ｓ４
の動作が繰り返し実行される。

【００５１】一方、Ｓ３の判別において、検出値が所定
の範囲内にある場合には、使用済みスラリの分離が終了
したか否かが判別される（Ｓ５）。そして、使用済みス
ラリの分離が終了するまでは、前記Ｓ２に戻って、Ｓ２
〜Ｓ５の動作が繰り返し実行される。

【００５２】第１実施形態によって期待できる代表的な
効果について、以下に記載する。 ・ この実施形態においては、第１の分離液性状検出手
段９２により、一次分離後の濁分散液の比重または粘度
を検出する。そして、その検出結果に基づいてこの検出
結果を一定にするように、使用済みスラリの温度調節に
より、使用済みのスラリの粘度を調節するようになって
いる。このため、使用済みのスラリの粘度を所定範囲内
に保持することができ、分離回収機構４０における一次
デカンタ４６および二次デカンタ４７の分離効率を一定
に保つことができる。よって、使用済みのスラリから使
用可能な砥粒および分散液を効率よく回収することがで
きる。

【００５３】・ この実施形態においては、特に粘度を
検出した場合には、直接粘度の検出値によって制御でき
るので、極めて顕著な効果が表れる。 ・ この実施形態においては、分離回収機構４０に供給
される使用済みのスラリの温度を調節する温度調節器８
１と、この温度調節器８１を制御するＣＰＵ８４によっ
て、分離回収機構４０に移送される使用済みスラリの温
度を調節するという簡単な構成でもって、分離回収機構
４０の分離効率をよりいっそう一定に保つことができ
る。

【００５４】また、図５のフローチャートに基づく制御
方法の他、図６のフローチャートのＳ２’に示すよう
に、第２の分離液性状検出手段９３の検出結果から、二
次分離後に回収される分離液の性状を検出することによ
り、この検出結果に基づいたスラリ温度調整を行うこと
もできる。この場合、検出値の適正範囲としては、例え
ば比重の場合、０．９２〜０．９９、粘度の場合３０ｃ
ｐ〜７０ｃｐというように設定する。従って、性状検出
が最終分離液であるため、より高精度なスラリ温度調整
を行うことができ、従ってより高精度な粘度調整を行う
ことができ、分離効率の調整をいっそう適確に行うこと
ができる。

【００５５】・ 砥粒の回収と、分散液の回収とが別々
のデカンタ４６，４６により行われるため、砥粒および
分散液に適合したデカンタの回転速度を得ることができ
る。このため、砥粒および分散液の回収を最適な態様で
行うことができる。 （第２実施形態）次に、この発明の第２実施形態を、図
２〜図４および図７に基づき、前記第１実施形態と異な
る部分を中心に説明する。

【００５６】この実施形態では、前記温度調節器８１に
よる粘度調節に代えて、スラリ供給量を調節することに
より、分離回収機構４０の分離効率の調整を行うもので
ある。後記する図７のフローチャートに従い、ＣＰＵ８
４は、第１の分離液性状検出手段９２により、一次分離
後の濁分散液の比重または粘度に基づいて、供給量調節
手段としてのポンプ４５（インバータ制御によるモーノ
・ポンプにより流量をコントロールする）により使用済
みスラリの吐出量、すなわち一次デカンタ４６へのスラ
リの供給量を加減制御して、分離回収機構４０の分離効
率の変動を調節する。

【００５７】また、ＣＰＵ８４は、第１の分離液性状検
出手段９２により、一次デカンタ４６にて遠心分離され
た濁分散液の比重または粘度を検出させ、それらの検出
結果に基づいて、この検出値が所定値（所定範囲）とな
るように、ポンプ４５を制御することにより、使用済み
スラリの吐出量を補正調節する。

【００５８】次に、前記使用済みのスラリの吐出量調節
動作を、図７のフローチャートに基づいて詳細に説明す
る。なお、前記第１実施形態において図５で説明した動
作と同一なる動作についてはその説明を省略する。

【００５９】図７に示すように、スラリの比重または粘
度検出値が、ＲＡＭ８６に予め記憶された所定の範囲内
（例えば比重の場合、１．００〜１．０５、粘度の場
合、５０ｃｐ〜１２０ｃｐ）に含まれているか否かが判
別されると（Ｓ３）、この判別において、検出値が所定
の範囲内にない場合には、ポンプ４５が制御されて使用
済みスラリの吐出量が加減される（Ｓ４）。その後、前
記Ｓ２に戻って、Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４の動作が繰り返し実
行される。

【００６０】一方、Ｓ３の判別において、検出値が所定
の範囲内にある場合には、使用済みスラリの分離が終了
したか否かが判別される（Ｓ５）。そして、使用済みス
ラリの分離が終了するまでは、前記Ｓ２に戻って、Ｓ２
〜Ｓ５の動作が繰り返し実行される。

【００６１】従って、この第２実施形態においては、分
離回収機構４０に供給される使用済みのスラリの供給量
を調節するポンプ４５と、このポンプ４５を制御するＣ
ＰＵ８４とによって、分離回収機構４０に移送される使
用済みスラリの供給量を調節するという簡単な構成でも
って、分離回収機構４０の分離効率をよりいっそう一定
に保つことができる。特に、粘度の検出結果による場合
に、極めて顕著な効果が表れる。すなわち、スラリの粘
度変化は、それに含有される砥粒の量の多少をあらわ
す。このため、スラリ粘度にあわせてスラリ供給量を調
整することは、結果としてスラリ中の砥粒の量をほぼ一
定にすることを可能にする。従って、デカンタ４６，４
７に対する負荷がほぼ一定になり、デカンタ４６，４７
の効率的な分離動作を確保できる。また、図７のフロー
チャートに基づく制御方法の他、図６の場合と同様に、
図８のフローチャートのＳ２’に示すように、第２の分
離液性状検出手段９３の検出結果から、二次分離後に回
収される分離液の性状を検出することにより、この検出
結果に基づいたスラリ温度調整を行うこともできる。こ
の場合も、検出値の適正範囲としては、例えば比重の場
合、０．９２〜０．９９、粘度の場合３０ｃｐ〜７０ｃ
ｐというように設定する。従って、性状検出が最終分離
液であるため、より高精度なスラリ温度調整を行うこと
ができ、従ってより高精度な粘度調整を行うことがで
き、分離効率の調整をいっそう適確に行うことができ
る。

【００６２】（第３実施形態）次に、この発明の第３実
施形態を、図９に基づいて前記第１実施形態と異なる部
分を中心に説明する。なお、図９は第１実施形態に示す
スラリ管理システムの一部を簡略化して示すものであ
る。

【００６３】図９に示すように、循環通路７６ａ上にお
ける比重計７８、流量計７９および粘度計８０の上流側
には第１バルブ１０１が配設され、下流側には第２バル
ブ１０２が配設されている。この第２バルブ１０２には
前記第１実施形態に示す循環用通路７６が接続されてい
る。分離回収機構４０の一次デカンタ４６における濁分
散液の出口側には第３バルブ１０３が配設され、二次デ
カンタ４７における使用可能な分散液の出口側には第４
バルブ１０４が配設されている。

【００６４】前記第１バルブ１０１、比重計７８、流量
計７９、粘度計８０および第２バルブ１０２をバイパス
するように、温度調節器８１の上流側と分離回収機構４
０との間にはバイパス流路１０５が接続されている。そ
して、このバイパス流路１０５中には第５バルブ１０６
が配設されている。

【００６５】前記一次デカンタ４６における濁分散液の
出口側と比重計７８、流量計７９および粘度計８０の上
流側との間には第１導入流路１０７が接続され、この第
１導入流路１０７中には第６バルブ１０８が配設されて
いる。比重計７８および粘度計８０の下流側と二次デカ
ンタ４７における濁分散液の入口側との間には第１導出
流路１０９が接続され、この第１導出流路１０９中には
第７バルブ１１０が配設されている。

【００６６】前記二次デカンタ４７における使用可能な
分散液の出口側と比重計７８、流量計７９および粘度計
８０の上流側との間には第２導入流路１１１が接続さ
れ、この第２導入流路１１１中には第８バルブ１１２が
配設されている。比重計７８、流量計７９および粘度計
８０の下流側と二次デカンタ４７における使用可能な分
散液の戻し通路との間には第２導出流路１１３が接続さ
れ、この第２導出流路１１３中には第９バルブ１１４が
配設されている。

【００６７】そして、前記第１〜第９のバルブ１０１〜
１０４，１０６，１０８，１１０，１１２，１１４が選
択的に開閉されて、比重計７８、流量計７９および粘度
計８０に対する使用済みのスラリ等の流路が切り換えら
れる。この流路の切り換え状態で、比重計７８、流量計
７９および粘度計８０により、使用済みのスラリと、一
次デカンタ４６にて遠心分離された濁分散液と、二次デ
カンタ４７にて遠心分離された使用可能な分散液とにつ
いて、比重、流量および粘度が順に検出される。すなわ
ち、比重計７８、流量計７９、粘度計８０は第１の分離
液性状検出手段および第２の分離液性状検出手段を兼用
するようになっている。

【００６８】次に、前記のように構成されたスラリ管理
システムの電気的回路構成について説明する。図１０に
示すように、ＣＰＵ８４には、比重計７８、流量計７９
および粘度計８０からの検出信号、並びに操作パネル４
８からの操作信号が入力される。また、ＣＰＵ８４から
は、駆動回路４９，５０を介して、一次デカンタ用モー
タ５１および二次デカンタ用モータ５２に作動信号が出
力されるとともに、駆動回路１１５を介して、第１〜第
９のバルブ１０１〜１０４，１０６，１０８，１１０，
１１２，１１４を切り換えるための複数の電磁石１１６
に作動信号が出力される。

【００６９】そして、分離回収機構４０に使用済みのス
ラリが移送されるとき、および調合槽５４内のスラリが
循環されるとき、ＣＰＵ８４は、比重計７８、流量計７
９、粘度計８０により分離前スラリの比重、流量および
粘度を検出させ、その結果を記憶する。

【００７０】また、ＣＰＵ８４は、比重計７８、流量計
７９および粘度計８０に対する流路切り換えにより、一
次デカンタ４６にて遠心分離された濁分散液の比重、流
量および粘度を検出させ、その検出結果を記憶する。次
に、ＣＰＵ８４は、比重計７８および粘度計８０に対す
る流路切り換えにより、二次デカンタ４７にて遠心分離
された使用可能な分散液の比重、流量および粘度を検出
させ、その検出結果を記憶する、そして、それらの検出
結果は操作パネル８７に表示されるとともに、一次デカ
ンタ４６による一次分離液の検出結果または二次デカン
タによる二次４７分離液の検出結果に基づいて、図５，
６，７，８のフローチャートのいずれかの方法で使用済
みスラリの温度調整または供給量調整が行われる。

【００７１】次に、この実施形態のスラリ管理システム
について動作を説明する。各ワイヤソー１１で使用され
たスラリは、図９に実線の矢印で示すように、回収槽２
４から比重計７８、流量計７９および粘度計８０を通過
する流路、またはバイパス流路１０５を介して分離回収
機構４０に導かれる。そして、一次デカンタ４６および
二次デカンタ４７により、その使用済みのスラリ中から
使用可能な砥粒および分散液が分離回収される。

【００７２】このスラリの調製処理中には、ＣＰＵ８４
の制御により、第１〜第９のバルブ１０１〜１０４，１
０６，１０８，１１０，１１２，１１４が所定時間おき
に切り換えられて、使用済みのスラリと濁分散液と使用
可能な分散液とについて、比重および粘度が順に検出さ
れる。

【００７３】すなわち、使用済みスラリの性状検出時に
は、第１〜第４のバルブ１０１〜１０４のみが開放さ
れ、他のバルブ１０６，１０８，１１０，１１２，１１
４が閉止される。これにより、使用済みのスラリは、図
９に破線の矢印で示すように、比重計７８、流量計７９
および粘度計８０、分離回収機構４０の一次デカンタ４
６および二次デカンタ４７を通過して移送される。そし
て、使用済みスラリの比重、流量および粘度の検出信号
が、比重計７８、流量計７９および粘度計８０からＣＰ
Ｕ８４に出力される。

【００７４】また、濁分散液の性状検出時には、第４〜
第７のバルブ１０４，１０６，１０８，１１０のみが開
放され、他のバルブ１０１〜１０３，１１２，１１４が
閉止される。これにより、使用済みのスラリは、図９に
一点鎖線の矢印で示すように、バイパス流路１０５、分
離回収機構４０の一次デカンタ４６、第１導入流路１０
７、比重計７８、流量計７９と粘度計８０、第１導出流
路１０９および二次デカンタ４７を通過して移送され
る。そして、一次デカンタ４６で分離された濁分散液の
比重、流量および粘度の検出信号が、比重計７８、流量
計７９および粘度計８０からＣＰＵ８４に出力される。

【００７５】さらに、使用可能な分散液の性状検出時に
は、第３、第５、第８、第９のバルブ１０３，１０６，
１１２，１１４のみが開放され、他のバルブ１０１，１
０２，１０４，１０８，１１０が閉止される。これによ
り、使用済みのスラリは、図９に二点鎖線の矢印で示す
ように、バイパス流路１０５、分離回収機構４０の一次
デカンタ４６、二次デカンタ４７、第２導入流路１１
１、比重計７８、流量計７９と粘度計８０との検出部お
よび第２導出流路１１３を通過して移送される。そし
て、二次デカンタ４７で分離された使用可能な分散液の
比重、流量および粘度の検出信号が、比重計７８および
粘度計８０からＣＰＵ８４に出力される。

【００７６】従って、この第３実施形態においては、ス
ラリ性状検出手段としての比重計７８、流量計７９およ
び粘度計８０に対し、使用済みのスラリと、一次デカン
タ４６にて遠心分離された濁分散液と、二次デカンタ４
７にて遠心分離された使用可能な分散液とを通過させる
複数の流路１０５，１０７，１０９，１１１，１１３が
接続されている。そして、これらの流路中には、切り換
え用のバルブ１０１〜１０４，１０６，１０８，１１
０，１１２，１１４が設けられている。このため、バル
ブ１０１〜１０４，１０６，１０８，１１０，１１２，
１１４にて流路を切り換えることにより、前記第１実施
形態に示す第１比重又は粘度の分離液性状検出手段９２
と、第２の分離液性状検出手段９３とを、使用済みスラ
リの性状検出手段を構成する比重計７８、流量計７９お
よび粘度計８０と兼用することができる。従って、各性
状検出手段を個別に設ける必要がなく共用することがで
きて、スラリ管理システムの構成を簡略化することがで
きる。

【００７７】なお、各実施形態は、次のように変更して
具体化することも可能である。 ・ ２つの調合槽５４を配設することなく、１つの調合
槽５４のみにより、スラリを調製するように構成するこ
と。

【００７８】このように構成した場合には、スラリ管理
システムを簡素化することができて、ワイヤソー１１が
多数並設されていない場合におけるスラリの管理に有効
である。

【００７９】・ １つの調合槽５４を備えたスラリ管理
システムにおいて、スラリ供給槽１６を省略して、調合
槽５４で調製されたスラリを、ワイヤソー１１のスラリ
タンク１２に直接供給するように構成すること。

【００８０】このように構成した場合には、スラリ管理
システムを一層簡素化することができる。 ・ １つの調合槽５４を備えたスラリ管理システムにお
いて、回収槽２４を省略して、使用済みのスラリをワイ
ヤソー１１のスラリタンク１２から計量タンク３４内に
直接抜き取るように構成すること。

【００８１】このように構成した場合には、スラリ管理
システムをいっそう簡素化することができる。 ・ 水性のスラリを使用すること。この場合、比重、粘
度の適正範囲の設定を水性スラリに合わせた値に設定す
る。

【００８２】このように構成した場合でも、前記実施形
態とほぼ同様に効果を発揮させることができる。 ・ 比重、粘度が適正範囲外の時にスラリの温度や供給
量を加減する制御方法ではなく、比重、粘度について適
正値を定め、この値に一定になるように、スラリの温度
や供給量を調整制御する方法を採ること。

【００８３】・ 第２の分離液性状検出手段９３を省略
し、第１の分離液性状検出手段９２のみ設けること。 ・ 第１の分離液性状検出手段９２を省略し、第２の分
離液性状検出手段９３のみ設けること。

【００８４】・ 第１および第２の分離液性状検出手段
９２、９３から比重計、流量計を省略すること。 ・ 第１および第２の分離液性状検出手段９２，９３か
ら流量計、粘度計を省略すること。

【００８５】・ 分離回収機構１０の二次デカンタ４７
を省略し、砥粒のみを回収するシステムに変更するこ
と。この場合は一次デカンタ４６による分離液の性状検
出から温度調整あるいは供給量調整を行う。

【００８６】このように構成すれば、より構成および制
御を簡単にすることができる。 ・ 所定時間おきに各検出手段を作動させ、スラリの調
整を行うようにすること。

【００８７】このようにすれば検出頻度があがり、分離
効率を常に一定に保持することができる。次に、前記実
施形態から把握できる請求項以外の技術的思想につい
て、それらの効果とともに記載する。

【００８８】（１）前記制御手段は、分離液の性状検出
値が所定の範囲内にない場合に、スラリ温度を調節する
請求項１に記載のスラリ管理システム。この構成によれ
ば、使用可能な砥粒および分散液をよりいっそう効率よ
く回収できる。

【００８９】（２）前記制御手段は、分離液の性状検出
値が所定の範囲内にない場合に、スラリの供給量を調節
する請求項２に記載のスラリ管理システム。この構成に
よれば、使用可能な砥粒および分散液をよりいっそう効
率よく回収できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態のスラリ管理システムを部分的
に示す配管図。

【図２】 同じくスラリ管理システムの他の部分を示す
配管図。

【図３】 スラリ管理システムのその他の部分を示す配
管図。

【図４】 スラリ管理システムの電気的回路構成を示す
ブロック図。

【図５】 スラリの温度調節動作を示すフローチャー
ト。

【図６】 図６の実施形態の変形例を示すフローチャー
ト。

【図７】 第２実施形態のスラリの供給量調節動作を示
すフローチャート。

【図８】 図７の実施形態の変形例を示すフローチャー
ト。

【図９】 第３実施形態におけるスラリ管理システムの
一部分を示す配管図。

【図１０】 同じく電気的回路構成を示すブロック図。

【符号の説明】

１１…ワイヤソー（スラリ使用装置）、３８…温度セン
サ（温度検出手段）、４０…分離回収機構、４５…ポン
プ（供給量調節手段）、４６…一次デカンタ、４７…二
次デカンタ、比重計７８（スラリ性状検出手段）、７９
…流量計（スラリ性状検出手段）、８０…粘度計（スラ
リ性状検出手段）、８１…温度調節器（温度調節手
段）、８４…ＣＰＵ（制御手段）、９２…第１の分離液
性状検出手段、９３…第２の分離液性状検出手段。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 使用済みスラリを分離回収機構に移送し
   て、そのスラリから使用可能な砥粒、または使用可能な
   砥粒および分散液を分離回収するようにしたスラリ管理
   システムにおいて、 分離回収機構に供給される使用済みスラリの温度を調節
   する温度調節手段と、 前記分離回収機構により分離された分離液の性状を検出
   する分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記温度調節手段を制御してスラリ温度を調整する
   制御手段とを備えたスラリ管理システム。
2. 【請求項２】 使用済みスラリを分離回収機構に移送し
   て、そのスラリから使用可能な砥粒、または使用可能な
   砥粒および分散液を分離回収するようにしたスラリ管理
   システムにおいて、 分離回収機構に供給される使用済みのスラリの供給量を
   調節する供給量調節手段と、 前記分離回収機構により分離された分離液の性状を検出
   する分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記供給量調節手段を制御してスラリ供給量を調整
   する制御手段とを備えたスラリ管理システム。
3. 【請求項３】 分離液性状検出手段は、比重および粘度
   のうち少なくとも一方を検出する請求項１または２に記
   載のスラリ管理システム。
4. 【請求項４】 分離回収機構は、使用済みスラリを遠心
   分離するデカンタよりなる請求項１ないし３のいずれか
   に記載のスラリ管理システム。
5. 【請求項５】 使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分
   散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁分散液を
   微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する
   二次デカンタとを備え、両デカンタによって使用済みス
   ラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回収するよ
   うにしたスラリ管理システムにおいて、 一次デカンタに供給される使用済みスラリの温度を調節
   する温度調節手段と、 一次デカンタによる分離後の濁分散液の性状を検出する
   分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記温度調節手段を制御しスラリ温度を調整する制
   御手段とを備えたスラリ管理システム。
6. 【請求項６】 使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分
   散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁分散液を
   微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する
   二次デカンタとを備え、両デカンタによって使用済みス
   ラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回収するよ
   うにしたスラリ管理システムにおいて、 一次デカンタに供給される使用済みスラリの温度を調節
   する温度調節手段と、 二次デカンタによる分離後の使用可能な分散液の性状を
   検出する分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記温度調節手段を制御しスラリ温度を調整する制
   御手段とを備えたスラリ管理システム。
7. 【請求項７】 使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分
   散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁分散液を
   微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する
   二次デカンタとを備え、両デカンタによって使用済みス
   ラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回収するよ
   うにしたスラリ管理システムにおいて、 一次デカンタに供給される使用済みスラリの供給量を調
   節する供給量調節手段と、 一次デカンタによる分離後の濁分散液の性状を検出する
   分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記供給量調節手段を制御しスラリ供給量を調整す
   る制御手段とを備えたスラリ管理システム。
8. 【請求項８】 使用済みスラリを使用可能な砥粒と濁分
   散液とに遠心分離する一次デカンタと、その濁分散液を
   微粒成分の不純物と使用可能な分散液とに遠心分離する
   二次デカンタとを備え、両デカンタによって使用済みス
   ラリから使用可能な砥粒および分散液を分離回収するよ
   うにしたスラリ管理システムにおいて、 一次デカンタに供給される使用済みスラリの供給量を調
   節する供給量調節手段と、 二次デカンタによる分離後の使用可能な分散液の性状を
   検出する分離液性状検出手段と、 この分離液性状検出手段の検出結果が所定の値になるよ
   うに前記供給量調節手段を制御しスラリ供給量を調整す
   る制御手段とを備えたスラリ管理システム。
9. 【請求項９】 前記分離液性状検出手段は、比重および
   粘度のいずれか一方を検出する請求項５〜８のいずれか
   に記載のスラリ管理システム。