JPH1133913A - ワイヤソーの砥粒循環装置 - Google Patents

ワイヤソーの砥粒循環装置

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JPH1133913A
JPH1133913A JP9198800A JP19880097A JPH1133913A JP H1133913 A JPH1133913 A JP H1133913A JP 9198800 A JP9198800 A JP 9198800A JP 19880097 A JP19880097 A JP 19880097A JP H1133913 A JPH1133913 A JP H1133913A
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太郎 伏信
Keizo Funaki
敬蔵 船木
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  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 人手作業を無くして砥粒を循環使用できるよ
うにし、新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を極力少
なくすると共に、廃棄物の発生量を著しく減少させる。 【解決手段】 ワイヤソー１からの使用済の砥粒スラリ
ー３’を導入して回収砥粒５’と切屑及び破砕砥粒を含
有する微粒混合液体２３とに分離する第１の分離手段２
０と、第１の分離手段２０にて分離した微粒混合液体２
３を導入して固体廃棄物２５と回収切削液体６’とに分
離する第２の分離手段２４と、第１の分離手段２０で分
離された回収砥粒５’と第２の分離手段２４で分離され
た回収切削液体６’とを導入し、且つ新規な砥粒５を供
給する砥粒供給装置３９と新規な切削液体６を供給する
切削液体供給装置４２を備えて砥粒スラリー３をスラリ
ー供給装置２に供給するスラリー混合装置３５とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハー
等の切削或いは切断加工を行うワイヤソーの砥粒を循環
使用できるようにしたワイヤソーの砥粒循環装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりシリコンウェハー等を切削加工
するための装置として、ワイヤソーが用いられている。
【０００３】ワイヤソーは、高速で移動するワイヤに、
炭化ケイ素（シリカ）系の切削材としての砥粒（粒径＝
１８．５〜２１．５ミクロン程度、比重ρ＝３．２程
度）と、油（水溶性の油）等の切削液体とを混合した砥
粒スラリーを供給することにより、シリコンウェハー等
を切削加工するようにしている。
【０００４】図２は上記従来のワイヤソーに用いられる
砥粒スラリーの供給経路を示したブロック図であり、図
中１は図示しないワイヤを備えてシリコンウェハー等の
切削加工を行うワイヤソーであり、該ワイヤソー１に
は、スラリー供給装置２からの砥粒スラリー３が供給さ
れるようになっている。
【０００５】スラリー供給装置２は、スラリー供給槽４
を備えており、該スラリー供給槽４に、新規な砥粒５と
新規な切削液体６を所要の割合になるように人手作業で
計量して供給して、撹拌装置７にて攪拌することにより
均一濃度の砥粒スラリー３を生成させるようにしてお
り、該スラリー供給槽４内の砥粒スラリー３を、供給ポ
ンプ８を備えた供給管９により前記ワイヤソー１の上部
まで供給して、供給弁１０を備えた下向供給管１１によ
り前記ワイヤソー１に供給し、又前記供給管９における
供給弁１０の手前位置と前記スラリー供給槽４との間を
戻り管１２にて接続することにより、前記供給弁１０が
閉止の時に砥粒スラリー３を循環させて供給管９内に砥
粒５が沈殿するのを防止している。
【０００６】また、前記ワイヤソー１に供給されて切削
加工に使用された切屑を含有する砥粒スラリー３’は、
排出ポンプ１３を備えた排出管１４を介して廃棄物処理
装置１５に供給するようにしている。
【０００７】廃棄物処理装置１５は、前記使用済の砥粒
スラリー３’を導入して、砥粒と切屑等からなる固形廃
棄物１６と、切削液体からなる液体廃棄物１７とに分離
するようにしており、上記固形廃棄物１６と液体廃棄物
１７は、夫々廃棄物として処理するようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置においては、スラリー供給槽４に、新規な砥粒５と新
規な切削液体６とを夫々作業員が計量して供給すること
により砥粒スラリー３を製造するようにしているため
に、人手作業が必要で作業コストが増加するという問題
を有すると共に、人手作業のために投入量の計量誤差や
投入忘れといった問題が生じ易く、そのために切削加工
の品質が不安定になる場合があるという問題を有してい
た。
【０００９】また、前記したように砥粒スラリー３は使
い捨てとしているために、常に高価な新規の砥粒５と新
規の切削液体６とを供給する必要があり、運転コストが
増加するという問題を有していた。
【００１０】更に、前記したように使用済の砥粒スラリ
ー３’の総てを廃棄物処理装置１５に導いて廃棄物処理
するようにしているために、処理量が多量となって多大
の処理費用を要すると共に、大量の固形廃棄物１６、液
体廃棄物１７からなる廃棄物が生じ、環境保全の面から
もまた廃棄処理費用の面からも問題を有していた。
【００１１】本発明は、かかる従来装置のもつ問題点を
解決すべくなしたもので、人手作業を無くして砥粒を循
環使用できるようにし、新規の砥粒と新規の切削液体の
使用量を極力少なくすると共に、廃棄物の発生量を著し
く減少させることができるようにしたワイヤソーの砥粒
循装置を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ワイヤソーからの使用済の砥粒スラリーを導入して
回収砥粒と切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体と
に分離する第１の分離手段と、該第１の分離手段にて分
離した切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体を導入
して固体廃棄物と回収切削液体とに分離する第２の分離
手段と、前記第１の分離手段で分離された回収砥粒と前
記第２の分離手段で分離された回収切削液体とを導入
し、且つ新規な砥粒を供給する砥粒供給装置と新規な切
削液体を供給する切削液体供給装置を備えて砥粒スラリ
ーをスラリー供給装置に供給するスラリー混合装置とを
備えたことを特徴とするワイヤソーの砥粒循環装置、に
係るものである。
【００１３】請求項２に記載の発明は、スラリー混合装
置における砥粒スラリーの濃度を検出するスラリー濃度
検出器と、該スラリー濃度検出器による濃度検出値に基
づいて砥粒供給装置による新規な砥粒の供給及び切削液
体供給装置による新規な切削液体の供給を制御する制御
器を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソ
ーの砥粒循環装置、に係るものである。
【００１４】請求項３に記載の発明は、第２の分離手段
で分離された回収切削液体を導入して微粒を除去する回
収切削液体清浄化装置を有する切削液体貯溜槽を備えた
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のワイヤソーの
砥粒循環装置、に係るものである。
【００１５】請求項４に記載の発明は、第１の分離手段
で分離された回収砥粒と第２の分離手段で分離された回
収切削液体とを導入して粗粒を除去する粗粒除去装置を
備えたことを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の
ワイヤソーの砥粒循環装置、に係るものである。
【００１６】請求項１に記載の発明では、第１の分離手
段によって使用済の砥粒スラリーを回収砥粒と微粒混合
液体とに分離し、また、第１の分離手段によって分離さ
れた微粒混合液体を第２の分離手段によって固体廃棄物
と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と回収切削液
体とをスラリー混合装置に導いて再び砥粒スラリーとし
て利用するようにしているので、高価な新規の砥粒と新
規の切削液体の使用量を削減して、運転コストを大幅に
低減することができる。
【００１７】更に、第２の分離手段にて分離される固体
廃棄物の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量が減
少することにより環境保全の点で有利になると共に、廃
棄処理費用も低減できる。
【００１８】請求項２に記載の発明では、スラリー混合
装置における砥粒スラリーの濃度を、スラリー濃度検出
器によって検出し、該スラリー濃度検出器で検出された
濃度検出値に基づいて、制御器により砥粒供給装置によ
る新規な砥粒の供給量、或いは切削液体供給装置による
新規な切削液体の供給量を調整して、砥粒スラリーの濃
度が所定の濃度になるように自動的に調整するようにし
ているので、人手作業をなくして作業コストを低減する
ことができると共に、人手作業による投入量の計量誤差
や投入忘れといった問題をなくして、ワイヤソーによる
安定した切削加工の品質を提供することができる。
【００１９】請求項３に記載の発明では、回収切削液体
貯溜槽に備えた回収切削液体清浄化装置にて微粒を分離
除去するようにしているので、系内に微粒が蓄積する問
題を防止できる。
【００２０】請求項４に記載の発明では、回収砥粒と回
収切削液体とを導入する粗粒除去装置によって微粒が凝
集した粗粒を分離除去するようにしているので、均質で
良好な砥粒スラリーを得ることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。
【００２２】図１は本発明を実施する形態の一例を示す
ブロック図であり、図２と同様のワイヤソー１にて使用
された使用済の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３を
備えた排出管１４を介して使用済スラリー貯留槽１８に
供給されるようになっている。該使用済スラリー貯留槽
１８は撹拌装置１９を備えて使用済の砥粒スラリー３’
の砥粒が沈殿するのを防止するようにしている。
【００２３】図１中２０は第１の分離手段であり、該第
１の分離手段２０は、前記使用済スラリー貯留槽１８内
の使用済の砥粒スラリー３’を、ポンプ２１を備えた導
入管２２を介して導入するようにしており、前記使用済
の砥粒スラリー３’を回収砥粒５’と切屑及び破砕砥粒
を含有する微粒混合液体２３とに分離するようにしてい
る。
【００２４】前記使用済の砥粒スラリー３’は、比重ρ
が３．２程度でしかも新規な砥粒５と略同等の１８．５
〜２１．５ミクロン程度の大きな粒径を有した回収砥粒
５’と、数ミクロン程度の大きさとなっている切屑と、
数ミクロン程度の大きさに破砕された破砕砥粒とが混合
された状態となっている。
【００２５】前記第１の分離手段２０としては、例えば
デカンタ型遠心分離機を用いて、遠心効果により前記砥
粒スラリー３’に３００〜１０００Ｇ（通常では４００
〜５００Ｇ）を与えることにより、前記回収砥粒５’
と、他の切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体２３
とに効果的に分離することができる。
【００２６】また、前記第１の分離手段２０には、前記
デカンタ型遠心分離機の他に、液体サイクロン等も用い
ることができる。
【００２７】図１中２４は第２の分離手段であり、該第
２の分離手段２４は、前記第１の分離手段２０によって
分離された切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体２
３を導入して、固体廃棄物２５と回収切削液体６’とに
分離するようにしている。
【００２８】前記した砥粒スラリー３及び使用済の砥粒
スラリー３’は、一般に１００〜１７０センチポアズと
いう比較的高い粘度を有しており、従ってこのように粘
度が高い前記微粒混合液体２３から、数ミクロンの切屑
及び破砕砥粒を分離することは容易ではないが、遠心効
果によって前記微粒混合液体２３に３０００Ｇ程度を与
えることができるデカンタ型遠心分離機を用いて分離を
行うと、切屑と破砕砥粒からなる固体廃棄物２５と、回
収切削液体６’とに効果的に分離することができる。
【００２９】また、前記第２の分離手段２４には、前記
デカンタ型遠心分離機の他に、分離板型遠心分離機等も
用いることができる。
【００３０】更に図１では、前記第２の分離手段２４か
らの回収切削液体６’を受ける回収切削液体貯溜槽２６
を備えている。前記第２の分離手段においても微粒まで
完全に分離することは困難であり、このために、前記回
収切削液体貯溜槽２６には、底部の回収切削液体６’を
循環ポンプ２７によりフィルター２８に供給して回収切
削液体６’中の微粒２９を分離し、微粒２９が分離され
た回収切削液体６’を再び前記回収切削液体貯溜槽２６
に戻すようにした回収切削液体清浄化装置３０を備えて
いる。
【００３１】図１中３１は粗粒除去装置であり、該粗粒
除去装置３１は、前記第１の分離手段２０で分離した回
収砥粒５’を導入する一方、前記第２の分離手段２４で
分離されて回収切削液体貯溜槽２６に貯留された回収切
削液体６’を、ポンプ３２を備えた回収液体供給管３３
により導入しており、前記回収切削液体６’中の微粒が
凝集して成長した粗粒２６’を分離し、回収砥粒５’と
回収切削液体６’とからなる混合スラリー３４を取り出
せるようにしている。
【００３２】前記粗粒除去装置３１としては、湿式篩分
装置（振動篩装置）を用いることにより、前記第１の分
離手段２０で分離した回収砥粒５’を、第２の分離手段
２４で分離され且つ回収切削液体清浄化装置３０で微粒
２９が分離された回収切削液体６’によって洗浄しなが
ら、粗粒２６’を効果的に分離することができる。
【００３３】図１中３５は前記粗粒除去装置３１からの
混合スラリー３４を導入するようにしているスラリー混
合装置であり、該スラリー混合装置３５には、砥粒タン
ク３６に供給された新規の砥粒５を、モータ３７にて駆
動されるスクリューフィーダ等の供給機３８により供給
するようにした砥粒供給装置３９と、供給弁４０を備え
た供給管４１により新規な切削液体６を供給するように
した切削液体供給装置４２とを備えており、前記混合ス
ラリー３４と、新規の砥粒５と、新規の切削液体６とを
導入して撹拌装置４３により攪拌することにより所定濃
度の砥粒スラリー３を製造できるようになっている。
【００３４】前記スラリー混合装置３５で製造された砥
粒スラリー３は、ポンプ４４を備えた供給管４５により
スラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給されるよ
うになっている。
【００３５】前記供給管４５の出口には弁４６が備えら
れており、且つ前記供給管４５におけるポンプ４４と弁
４６との間には弁４７を備えた戻し管４８の一端が接続
されていて、該戻し管４８の他端は前記スラリー混合装
置３５に接続されており、前記供給管４５によって前記
スラリー供給装置２に供給される砥粒スラリー３の一部
が前記スラリー混合装置３５に戻されるようになってい
る。
【００３６】前記戻し管４８には、前記砥粒スラリー３
の砥粒の濃度を検出するようにしたスラリー濃度検出器
４９が設けてあり、該スラリー濃度検出器４９による濃
度検出値５０に基づいて、前記砥粒供給装置３９のモー
タ３７、或いは切削液体供給装置４２の供給弁４０を制
御するようにした制御器５１を備えている。
【００３７】以下、上記図１に示した実施の形態例の作
用を説明する。
【００３８】図１に示すように、スラリー供給装置２の
スラリー供給槽４内の砥粒スラリー３は、供給ポンプ８
より供給管９及び下向供給管１１を介してワイヤソー１
に供給され、図示しないワイヤと共にシリコンウェハー
等の切削加工を行う。
【００３９】ワイヤソー１にて使用された使用済の砥粒
スラリー３’は、排出ポンプ１３により排出管１４を介
して使用済スラリー貯留槽１８に供給され、該使用済ス
ラリー貯留槽１８内の使用済の砥粒スラリー３’は、ポ
ンプ２１により導入管２２を介して第１の分離手段２０
に導入される。
【００４０】第１の分離手段２０に導入された使用済の
砥粒スラリー３’は、デカンタ型遠心分離機等による遠
心効果によって３００〜１０００Ｇを与えて分離を行う
ことにより、回収砥粒５’と切屑及び破砕砥粒を含有す
る微粒混合液体２３とに効果的に分離される。
【００４１】前記第１の分離手段２０にて分離された切
屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体２３は、デカン
タ型遠心分離機等によって遠心効果により３０００Ｇ程
度を与えることができる第２の分離手段２４に導入され
て、脱液された固体廃棄物２５と回収切削液体６’とに
分離される。
【００４２】前記第２の分離手段２４にて脱液除去され
る固体廃棄物２５は、砥粒スラリー３中の全固体分の２
〜３％程度であり、従って前記第１の分離手段２０で分
離されて再利用される回収砥粒５’の再生率は、９７〜
９８％に達することになる。
【００４３】第２の分離手段２４で固体廃棄物２５が除
去された回収切削液体６’は、再利用のために清澄性が
要求されるが、砥粒スラリー３に数ミクロン程度の微粒
が存在していてもワイヤソー１の切削性能に有害でない
ことが実験により証明された。
【００４４】しかし、図１の装置を長期間運転すると系
内に微粒が蓄積することになるので、前記第２の分離手
段２４からの回収切削液体６’を、回収切削液体貯溜槽
２６に供給し、回収切削液体清浄化装置３０のフィルタ
ー２８によって微粒２９を分離除去する。これにより、
微粒を殆ど含まない回収切削液体６’を得ることができ
る。
【００４５】前記第１の分離手段２０で分離した回収砥
粒５’を湿式篩分装置等からなる粗粒除去装置３１に導
くと共に、前記第２の分離手段２４で分離されて回収切
削液体貯溜槽２６に貯留され且つ回収切削液体清浄化装
置３０によって清浄化された回収切削液体６’を前記粗
粒除去装置３１に導き、微粒が凝集して成長した粗粒２
６’を分離除去して、回収砥粒５’と回収切削液体６’
とからなる混合スラリー３４をスラリー混合装置３５に
供給する。
【００４６】前記粗粒除去装置３１としては、湿式篩分
装置を用いることにより、前記第１の分離手段２０で分
離した回収砥粒５’を、第２の分離手段２４で分離され
且つ回収切削液体清浄化装置３０で微粒２９が分離され
た回収切削液体６’によって洗浄しながら、粗粒２６’
を効果的に分離することができる。
【００４７】スラリー混合装置３５には、前記粗粒除去
装置３１からの混合スラリー３４が供給されると共に、
砥粒供給装置３９の供給機３８によって新規な砥粒５が
供給され、また切削液体供給装置４２の供給弁４０によ
って新規な切削液体６が供給され、これによって所定濃
度の砥粒スラリー３を製造することができる。
【００４８】前記スラリー混合装置３５で製造される砥
粒スラリー３は、ポンプ４４によって循環する戻り管４
８に備えたスラリー濃度検出器４９によって砥粒の濃度
が検出されており、該スラリー濃度検出器４９で検出さ
れた濃度検出値５０に基づいて、制御器５１により砥粒
供給装置３９の供給機３８のモータ３７の駆動、或いは
切削液体供給装置４２の供給弁４０の調整を行うことに
より、新規な砥粒５或いは新規な切削液体６の供給が行
われて、砥粒スラリー３が所定の濃度になるように自動
的に調整される。
【００４９】前記スラリー混合装置３５で所定濃度に調
整された砥粒スラリー３は、ポンプ４４を備えた供給管
４５によりスラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供
給され、前記と同様にしてワイヤソー１に供給される。
【００５０】上記したように、本発明の形態例によれ
ば、第１の分離手段２０にて使用済の砥粒スラリー３’
が回収砥粒５’と微粒混合液体２３とに分離され、ま
た、第１の分離手段２０によって分離された微粒混合液
体２３が第２の分離手段２４にて固体廃棄物２５と回収
切削液体６’とに分離され、前記回収砥粒５’と回収切
削液体６’とがスラリー混合装置３５に導かれて再び砥
粒スラリー３として利用されるようになっているので、
高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６の使用量を削減
して、運転コストを大幅に低減することができる。
【００５１】更に、第２の分離手段２４にて分離される
固体廃棄物２５の量は非常に少量であり、よって廃棄物
の量が減少することにより環境保全の点で有利になると
共に、廃棄処理費用も低減することができる。
【００５２】また、スラリー混合装置３５における砥粒
スラリー３の濃度を、スラリー濃度検出器４９によって
検出し、該スラリー濃度検出器４９で検出された濃度検
出値５０に基づいて、制御器５１により砥粒供給装置３
９による新規な砥粒５の供給量、或いは切削液体供給装
置４２による新規な切削液体６の供給量を調整して、砥
粒スラリー３の濃度が所定の濃度になるように自動調整
するようにしているので、人手作業をなくして作業コス
トを低減することができると共に、人手作業による投入
量の計量誤差や投入忘れといった問題をなくして、ワイ
ヤソー１による安定した切削加工の品質を提供すること
ができる。
【００５３】また、回収切削液体貯溜槽２６に備えた回
収切削液体清浄化装置３０にて微粒２９を分離除去する
ようにしているので、系内に微粒が蓄積する問題を防止
することができる。
【００５４】更に、前記回収砥粒５’と回収切削液体
６’とを導入する粗粒除去装置３１によって微粒が凝集
した粗粒２６’を分離除去するようにしているので、均
質で良好な砥粒スラリー３を得ることができる。
【００５５】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、第１の
分離手段によって使用済の砥粒スラリーを回収砥粒と微
粒混合液体とに分離し、また、第１の分離手段によって
分離された微粒混合液体を第２の分離手段によって固体
廃棄物と回収切削液体とに分離し、前記回収砥粒と回収
切削液体とをスラリー混合装置に導いて再び砥粒スラリ
ーとして利用するようにしているので、高価な新規の砥
粒と新規の切削液体の使用量を削減して、運転コストを
大幅に低減することができる効果がある。
【００５６】更に、第２の分離手段にて分離される固体
廃棄物の量は非常に少量であり、よって廃棄物の量が減
少することにより環境保全の点で有利になると共に、廃
棄処理費用も低減できる効果がある。
【００５７】請求項２に記載の発明によれば、スラリー
混合装置における砥粒スラリーの濃度を、スラリー濃度
検出器によって検出し、該スラリー濃度検出器で検出さ
れた濃度検出値に基づいて、制御器により砥粒供給装置
による新規な砥粒の供給量、或いは切削液体供給装置に
よる新規な切削液体の供給量を調整して、砥粒スラリー
の濃度が所定の濃度になるように自動的に調整するよう
にしているので、人手作業をなくして作業コストを低減
することができると共に、人手作業による投入量の計量
誤差や投入忘れといった問題をなくして、ワイヤソーに
よる安定した切削加工の品質を提供することができる効
果がある。
【００５８】請求項３に記載の発明によれば、回収切削
液体貯溜槽に備えた回収切削液体清浄化装置にて微粒を
分離除去するようにしているので、系内に微粒が蓄積す
る問題を防止できる効果がある。
【００５９】請求項４に記載の発明によれば、回収砥粒
と回収切削液体とを導入する粗粒除去装置によって微粒
が凝集した粗粒を分離除去するようにしているので、均
質で良好な砥粒スラリーを得ることができる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施する形態の一例を示す系統ブロッ
ク図である。
【図２】従来のワイヤソーにおける砥粒スラリーの供給
経路を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ ワイヤソー ２ スラリー供給装置 ３ 砥粒スラリー ３’ 使用済の砥粒スラリー ５ 新規な砥粒 ５’ 回収砥粒 ６ 新規な切削液体 ６’ 回収切削液体 ２０ 第１の分離手段 ２３ 微粒混合液体 ２４ 第２の分離手段 ２５ 固体廃棄物 ２６ 回収切削液体貯溜槽 ２６’ 粗粒 ３０ 回収切削液体清浄化装置 ３１ 粗粒除去装置 ３５ スラリー混合装置 ３９ 砥粒供給装置 ４２ 切削液体供給装置 ４９ スラリー濃度検出器 ５０ 濃度検出値 ５１ 制御器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 輝男 東京都江東区豊洲三丁目２番16号 石川島 播磨重工業株式会社豊洲総合事務所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤソーからの使用済の砥粒スラリー
    を導入して回収砥粒と切屑及び破砕砥粒を含有する微粒
    混合液体とに分離する第１の分離手段と、該第１の分離
    手段にて分離した切屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合
    液体を導入して固体廃棄物と回収切削液体とに分離する
    第２の分離手段と、前記第１の分離手段で分離された回
    収砥粒と前記第２の分離手段で分離された回収切削液体
    とを導入し、且つ新規な砥粒を供給する砥粒供給装置と
    新規な切削液体を供給する切削液体供給装置を備えて砥
    粒スラリーをスラリー供給装置に供給するスラリー混合
    装置とを備えたことを特徴とするワイヤソーの砥粒循環
    装置。
  2. 【請求項２】 スラリー混合装置における砥粒スラリー
    の濃度を検出するスラリー濃度検出器と、該スラリー濃
    度検出器による濃度検出値に基づいて砥粒供給装置によ
    る新規な砥粒の供給及び切削液体供給装置による新規な
    切削液体の供給を制御する制御器を備えたことを特徴と
    する請求項１に記載のワイヤソーの砥粒循環装置。
  3. 【請求項３】 第２の分離手段で分離された回収切削液
    体を導入して微粒を除去する回収切削液体清浄化装置を
    有する切削液体貯溜槽を備えたことを特徴とする請求項
    １又は２に記載のワイヤソーの砥粒循環装置。
  4. 【請求項４】 第１の分離手段で分離された回収砥粒と
    第２の分離手段で分離された回収切削液体とを導入して
    粗粒を除去する粗粒除去装置を備えたことを特徴とする
    請求項１又は２又は３に記載のワイヤソーの砥粒循環装
    置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1138439A2 (en) * 2000-03-31 2001-10-04 E & E Co., Ltd. Method and apparatus for recycling abrasive grain slurry
JP2006212756A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Yasunaga Wire Saw Systems Co Ltd スラリー使用型加工装置における廃スラリーの再生処理方法及びこれに使用する再生処理装置並びに回収タンク
JP2011502054A (ja) * 2007-10-30 2011-01-20 ポール・コーポレーション 使用済み研磨スラリーを処理するための方法
JP2011173227A (ja) * 2010-02-26 2011-09-08 Niigata Uoshinton Kk 環境対応型の固液分離システム
JP2012512758A (ja) * 2008-12-20 2012-06-07 キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション ワイヤーソー切断法
TWI406737B (zh) * 2009-04-27 2013-09-01 Ihi Compressor And Machinery Co Ltd Method and device for managing coolant of wire saw
TWI418441B (zh) * 2010-02-12 2013-12-11 Ihi Compressor And Machinery Co Ltd Sawing mill grinding machine
CN110193233A (zh) * 2018-02-27 2019-09-03 秦文隆 智能无人化磨铣工艺自动除屑方法及防沉淀收集输送装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1138439A2 (en) * 2000-03-31 2001-10-04 E & E Co., Ltd. Method and apparatus for recycling abrasive grain slurry
EP1138439A3 (en) * 2000-03-31 2002-01-23 E & E Co., Ltd. Method and apparatus for recycling abrasive grain slurry
US6615817B2 (en) 2000-03-31 2003-09-09 Motoichi Horio Recycling system of wire saw abrasive grain slurry and centrifugal separators therefor
JP2006212756A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Yasunaga Wire Saw Systems Co Ltd スラリー使用型加工装置における廃スラリーの再生処理方法及びこれに使用する再生処理装置並びに回収タンク
JP2011502054A (ja) * 2007-10-30 2011-01-20 ポール・コーポレーション 使用済み研磨スラリーを処理するための方法
US8940174B2 (en) 2007-10-30 2015-01-27 Pall Corporation Method for treating spent abrasive slurry
JP2012512758A (ja) * 2008-12-20 2012-06-07 キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション ワイヤーソー切断法
TWI406737B (zh) * 2009-04-27 2013-09-01 Ihi Compressor And Machinery Co Ltd Method and device for managing coolant of wire saw
TWI418441B (zh) * 2010-02-12 2013-12-11 Ihi Compressor And Machinery Co Ltd Sawing mill grinding machine
JP2011173227A (ja) * 2010-02-26 2011-09-08 Niigata Uoshinton Kk 環境対応型の固液分離システム
CN110193233A (zh) * 2018-02-27 2019-09-03 秦文隆 智能无人化磨铣工艺自动除屑方法及防沉淀收集输送装置

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