JPH11300115A - スラリーの分離方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置のもつ特長を活かした構成とすることに
よって、小型の装置にてスラリーを再利用可能な微粒子
フレークと液とに効果的に分離する。 【解決手段】 微粒子混合スラリーを微粒子フレークと
液とに分離するスラリーの分離方法であって、スラリー
２をセラミックフィルタ６に導いて清浄液７と濃縮スラ
リー８とに分離した後、濃縮スラリー８を遠心分離機１
２に導いて連続的に微粒子フレーク１３と分離液１４と
に分離する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェー
ハ、石英ガラス、ガリウム系ウェーハ等やマスク材等の
処理工程等広く半導体産業から発生するスラリーを、微
粒子と液とに効果的に分離できるようにしたスラリーの
分離方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体産業等においてシリコ
ンウェーハ、石英ガラス、ガリウム系ウェーハ等を切
断、切削、研磨等の処理を行う工程では、水（純水）或
いは油等の液を供給しながら上記処理を行うようにして
おり、従って前記処理工程では微粒子（及び粗粒子）と
液（水或いは油）とが混合した微粒子混合スラリーが廃
液として発生しており、このスラリーは微粒子と液とに
分離することにより、微粒子又は液、或いはその両者を
再利用することが考えられている。

【０００３】この種のスラリーを微粒子と液とに分離す
る方法としては、特開平５−２４５４７１号公報記載の
方法、及び特開平９−１６８９７１号公報記載の方法が
知られている。

【０００４】特開平５−２４５４７１号公報記載の分離
方法は、油分を含む廃水を遠心分離装置或いは浮上分離
装置により油分とエマルジョンとに分離し、油分は回収
し、エマルジョンはセラミック分離膜を備えた濾過装置
の一次側に供給し、分離膜の二次側から処理水を取出す
とともに、一次側の濃縮水が所定濃度になるまで濾過装
置の一次側に濃縮水を循環供給するようにしている。

【０００５】また、特開平９−１６８９７１号公報記載
の分離方法は、ワイヤソーより排出された廃スラリーを
デカンタに搬送して廃スラリーから砥粒を分離回収し、
その後フィルタに搬送して切り粉等を分離するようにし
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記前者であ
る特開平５−２４５４７１号公報記載の方法、及び後者
である特開平９−１６８９７１号公報記載の従来の方法
は、何れも下記に示すような問題を有していた。

【０００７】ここで、遠心分離機は、微粒子と液との比
重差が大きい、或いは微粒子の混合濃度が高い場合には
非常に効果的に且つ高能率に分離できるという利点があ
る反面、微細な微粒子は分離が困難であるという欠点を
有する。

【０００８】また、フィルタによる濾過は、微細な微粒
子も分離できるという利点がある反面、分離処理速度が
低く、そのために処理量を増大しようとすると装置が大
掛かりになってしまい、また、極端に微粒子濃度が低い
スラリー或いは極端に微粒子濃度が高いスラリーを濾過
する場合には更に処理速度が低くなって装置が更に大掛
かりになってしまうという欠点がある。

【０００９】前者では、油分を含む廃水を、遠心分離装
置或いは浮上分離装置によって油分とエマルジョンとに
分離し、このエマルジョンを、セラミック分離膜を備え
た濾過装置に導いて循環させることによって濃縮するよ
うにしているために、濃縮に時間が掛かり、所定の処理
量を得るためには濾過器を大型のものとする必要があ
る。また、エマルジョンをセラミック分離膜を用いて濃
縮する方法では、脱水率を高めてフレーク（或いはケー
ク）のような状態で取り出すことは不可能である。

【００１０】又、このように濃縮したエマルジョンをフ
レーク等にして取り出すためには、従来方法では凝集剤
などの濾過補助材をエマルジョンに添加し、凝集物をフ
ィルタにより加圧脱水することによってフレークを得る
ことが行われているが、この方法は連続した分離作業を
行うことができず、しかも濾過補助剤を含有したフレー
クは再利用できなかったり、濾過補助剤を含有した分離
液は河川等へ放流することが規制によりできない場合が
あった。

【００１１】また、後者では、ワイヤソーから排出され
た廃スラリーをデカンタに搬送して廃スラリーから砥粒
を分離回収し、その後フィルタに搬送して切り粉等を分
離するようにしており、従って前記デカンタに供給する
廃スラリー中の微粒子の濃度が低い場合には、所定の処
理量を得るためにデカンタを大型化したり或いは回転数
を増大する必要があるという問題がある。

【００１２】また、砥粒を回収したスラリーをフィルタ
に搬送して切り粉等を分離するようにしているために、
通常のフィルタでは加圧に制限が有るために濃縮に時間
が掛かり、所定の処理量を得るためには濾過器を大型の
ものとする必要がある。

【００１３】このように、従来の方法は、何れも効果的
な分離が行える構成とはなっておらず処理速度が低く、
よって所定の処理量を得るためには装置を大型化する必
要があるといった問題を有していた。

【００１４】本発明は、かかる従来装置のもつ問題点を
解決すべくなしたもので、装置のもつ特長を活かした構
成とすることによって、小型の装置にてスラリーを再利
用可能な微粒子と液とに効果的に分離することができる
ようにしたスラリーの分離方法及び装置を提供すること
を目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
微粒子混合スラリーを微粒子と液とに分離するスラリー
の分離方法であって、スラリーをセラミックフィルタに
導いて清浄液と濃縮スラリーとに分離した後、濃縮スラ
リーを遠心分離機に導いて連続的に微粒子フレークと分
離液とに分離することを特徴とするスラリーの分離方
法、に係るものである。

【００１６】請求項２記載の発明は、スラリー中の微粒
子濃度が低濃度の場合において請求項１記載のスラリー
の分離方法を実施する際、スラリーをセラミックフィル
タに供給する前に、沈降槽により微粒子濃度を増加させ
たスラリーと上澄液とに分離し、微粒子濃度を増加させ
たスラリーをセラミックフィルタに供給することを特徴
とするスラリーの分離方法、に係るものである。

【００１７】請求項３記載の発明は、スラリー中の微粒
子濃度が高濃度の場合において請求項１記載のスラリー
の分離方法を実施する際、スラリーをセラミックフィル
タに供給する前に、粗取り装置により高濃度スラリーと
中濃度スラリーとに分離し、高濃度スラリーを遠心分離
機に供給すると共に中濃度スラリーをセラミックフィル
タに供給し、セラミックフィルタで分離した濃縮スラリ
ーを前記遠心分離機に供給することを特徴とするスラリ
ーの分離方法、に係るものである。

【００１８】請求項４記載の発明は、スラリーがセラミ
ックフィルタのスラリー導入口の口径と同等以上の粗粒
子を含む場合において請求項１記載のスラリーの分離方
法を実施する際、スラリーをセラミックフィルタに供給
する前に、粗粒分離器によりスラリー中の前記粗粒子を
分離し、粗粒子を含まないスラリーをセラミックフィル
タに供給することを特徴とするスラリーの分離方法、に
係るものである。

【００１９】請求項５記載の発明は、微粒子混合スラリ
ーを微粒子と液とに分離するスラリーの分離装置であっ
て、スラリーを一時貯留するスラリー貯留タンクと、該
スラリー貯留タンクのスラリーを導入して清浄液と濃縮
スラリーとに分離するセラミックフィルタと、該セラミ
ックフィルタにて分離した濃縮スラリーを導入して微粒
子フレークと分離液とに連続的に分離する遠心分離機と
を備えたことを特徴とするスラリーの分離装置、に係る
ものである。

【００２０】遠心分離機は、デカンタ型遠心分離機とし
ても良く、遠心分離機で分離した分離液はスラリー貯留
タンクに戻すようにしても良い。

【００２１】請求項８記載の発明は、低濃度微粒子のス
ラリーを処理する請求項５記載のスラリーの分離装置で
あって、セラミックフィルタの前段に、微粒子濃度を増
加させたスラリーと上澄液とに分離し、分離した微粒子
濃度を増加させたスラリーをセラミックフィルタに供給
する沈降槽を備えたことを特徴とするスラリーの分離装
置、に係るものである。

【００２２】請求項９記載の発明は、高濃度微粒子のス
ラリーを処理する請求項５記載のスラリーの分離装置で
あって、セラミックフィルタの前段に、スラリーを高濃
度スラリーと中濃度スラリーとに分離し、分離した高濃
度スラリーを遠心分離機に供給すると共に中濃度スラリ
ーをセラミックフィルタに供給するようにした粗取り装
置を備えたことを特徴とするスラリーの分離装置、に係
るものである。

【００２３】粗取り装置は、遠心分離機としたり、サイ
クロンとしたり、沈降槽としたり、濾過器としても良
い。

【００２４】請求項１４記載の発明は、セラミックフィ
ルタのスラリー導入口の口径と同等以上の粗粒子を含む
スラリーを処理する請求項５記載のスラリーの分離装置
であって、セラミックフィルタの前段に、前記粗粒子を
分離する粗粒分離器を備えたことを特徴とするスラリー
の分離装置、に係るものである。

【００２５】粗粒分離器は、遠心分離機としたり、サイ
クロンとしたり、沈降槽としたり、濾過器としても良
い。

【００２６】請求項１及び５記載の発明では、セラミッ
クフィルタは、スラリーから清浄液を分離して濃縮スラ
リーにするという得意な作業を行い、且つ遠心分離機は
濃縮スラリーを微粒子フレークと分離液とに分離すると
いう得意な作業を行うようにしているので、小型の装置
によってスラリーの分離を連続して効果的に行える。分
離した清浄液及び微粒子フレークは、再利用することが
できる。

【００２７】また、遠心分離機で分離した分離液をスラ
リー貯留タンクに戻すようにすると、廃液の発生を防止
できる。

【００２８】請求項２及び８記載の発明では、低濃度微
粒子のスラリーを処理する場合に、沈降槽により微粒子
濃度を増加させたスラリーと上澄液とに分離し、微粒子
濃度を増加させたスラリーをセラミックフィルタに供給
するようにしているので、セラミックフィルタによる分
離を効果的に行わせてセラミックフィルタを小型なもの
とすることができる。

【００２９】請求項３及び９記載の発明では、高濃度微
粒子のスラリーを処理する場合に、粗取り装置によりス
ラリーを高濃度スラリーと中濃度スラリーとに分離し、
分離した高濃度スラリーを遠心分離機に供給し、中濃度
スラリーをセラミックフィルタに供給するようにしてい
るので、遠心分離機及びセラミックフィルタによる分離
を夫々効果的に行わせて遠心分離機とセラミックフィル
タを小型なものとすることができる。

【００３０】請求項４及び１４記載の発明では、スラリ
ーに粗粒子が含有されている場合に、粗粒分離器にて粗
粒子を分離してからセラミックフィルタにスラリーを供
給するようにしているので、セラミックフィルタのスラ
リー導入口が目詰まりする問題を防止できる。本発明で
セラミックフィルタを用いる理由は、耐摩耗性に優れ、
薬品などに対しても安定しており、熱に対しても優れて
おり、さらに均一に細孔径を制御したものが得られるか
らである。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。

【００３２】図１は本発明を実施する形態の一例を示す
系統ブロック図であり、図中１は、シリコンウェーハ、
石英ガラス、ガリウム系ウェーハ等を切断、切削、研磨
等の処理を行う処理装置であり、該処理装置１の各工程
において使用されて微粒子が混合された使用済みのスラ
リー２は、スラリー貯留タンク３に一時貯留するように
している。４はスラリー貯留タンク３内に微粒子が沈殿
されないように撹拌するための撹拌羽根である。

【００３３】スラリー貯留タンク３のスラリー２は、ポ
ンプ５を介してセラミックフィルタ６に供給することに
より、清浄液７と濃縮スラリー８とに分離するようにし
ている。図中９は前記セラミックフィルタ６に間欠的に
圧縮空気を送って前記セラミックフィルタ６のセラミッ
ク膜を逆洗し、同時に濃縮スラリー８を排出するように
なっている逆洗装置である。

【００３４】図２は、該セラミックフィルタ６を構成す
るセラミック膜１０の形状例を示したものである。セラ
ミック膜１０は、六角柱形状を有している支持体に形成
された約４〜６ｍｍ前後の多数のスラリー導入口１１を
内表面に備えており該スラリー導入口１１に供給された
スラリー２は、液のみがセラミック膜１０の細孔（気径
約０．０１〜１μｍ前後）を通って清浄液７となって滲
み出すようになっている。セラミック膜１０の細孔を通
過できない微粒子は、前記した逆洗によって濃縮スラリ
ー８となって排出されるクロスフロー濾過やセミデッド
エンド濾過（半全量濾過）等の濾過を行うようになって
いる（半全量濾過については必要であれば特許第２６８
９０６５号参照）。

【００３５】前記セラミックフィルタ６で分離された濃
縮スラリー８は、例えばデカンタ型のような遠心分離機
１２によって、微粒子フレーク１３と分離液１４とに連
続的に分離するようにしている。

【００３６】また、遠心分離機１２で分離された分離液
１４は、ポンプ１５により前記スラリー貯留タンク３に
戻されるようになっている。但し、スキミング形遠心分
離等の強制排出可能な分離器では、ポンプ１５を使用せ
ずに、分離液１４をタンク３に戻すようにしている。

【００３７】図１に示した形態例によれば、セラミック
フィルタ６は、スラリー２から清浄液７を分離して濃縮
スラリー８にするという得意な作業を行い、且つ遠心分
離機１２はセラミックフィルタ６によって微粒子濃度が
高められた濃縮スラリー８を微粒子フレーク１３と分離
液１４とに分離するという得意な作業を行うようにして
いるので、小型の装置によってスラリー２の分離を連続
して効果的に行うことができる。

【００３８】前記セラミックフィルタ６で分離された清
浄液７は、微粒子を殆ど含んでいないので、前記処理装
置１に供給して処理工程で再利用することができ、また
遠心分離機１２で分離される微粒子フレーク１３は、例
えば、含水率４０％以下にまで低下させることができ、
よって前記微粒子に不純物等が含有されていない場合に
は、前記微粒子フレーク１３を有効に再利用することが
できる。

【００３９】また、前記したように、遠心分離機１２で
分離した分離液１４をスラリー貯留タンク３に戻すよう
にすると、図１の構成から出てくるものは清浄液７と微
粒子フレーク１３のみとなり、廃液等の発生を防止でき
るので廃液の処理等を全く無くすことができる。

【００４０】図３は本発明の別の形態例を示したもの
で、スラリー中の微粒子濃度が低濃度の場合のスラリー
２ａの分離を行う場合を示している。

【００４１】図３に示すように、セラミックフィルタ６
の前段に、スラリー貯留タンク３からの低濃度のスラリ
ー２ａを受けて微粒子濃度を増加させたスラリー２’
（スラリー２）と上澄液７’（清浄液７）とに分離する
ようにした沈降槽１６を設け、該沈降槽１６で分離され
て微粒子濃度が増加されたスラリー２’を、ポンプ１７
により前記セラミックフィルタ６に供給するようにして
いる。図中１８は分離堰である。

【００４２】図３の形態例によれば、スラリー中の微粒
子濃度が低い場合に、そのスラリー２ａを沈降槽１６に
導いて微粒子濃度を増加させたスラリー２’（スラリー
２）と上澄液７’（清浄液７）とに分離するようにして
いるので、簡単な設備で微粒子濃度を高めることができ
る。また、このようにして微粒子濃度を高めたスラリー
２’は、セラミックフィルタ６によって効果的に分離さ
れることになるのでセラミックフィルタ６を小型のもの
とすることができる。更にその他については図１の場合
と同様に作用することができる。

【００４３】図４は、本発明の更に別の形態例を示した
もので、スラリー中の微粒子濃度が高濃度の場合のスラ
リー２ｂの分離を行う場合を示している。

【００４４】図４に示すように、セラミックフィルタ６
の前段に、スラリー貯留タンク３からの高濃度のスラリ
ー２ｂを受けて高濃度スラリー２ｂ’と中濃度スラリー
２ｂ”（スラリー２）とに分離するようにした粗取り装
置１９を設けている。

【００４５】粗取り装置１９で分離した高濃度スラリー
２ｂ’は、遠心分離機１２に供給してそのまま遠心分離
するようにし、また中濃度スラリー２ｂ”（スラリー
２）はセラミックフィルタ６に供給して清浄液７と濃縮
スラリー８とに分離し、セラミックフィルタ６で分離し
た濃縮スラリー８は前記高濃度スラリー２ｂ’と共に遠
心分離機１２に供給するようにしている。

【００４６】前記粗取り装置１９としては、遠心分離
機、或いはサイクロン、或いは沈降槽、或いは濾過器等
を用いることができる。

【００４７】図４の形態例によれば、スラリー中の微粒
子濃度が高い場合に、そのスラリー２ｂを粗取り装置１
９に導いて高濃度スラリー２ｂ’と中濃度スラリー２
ｂ”（スラリー２）とに分離し、分離した高濃度スラリ
ー２ｂ’を遠心分離機１２に供給し、中濃度スラリー２
ｂ”をセラミックフィルタ６に供給するようにしている
ので、遠心分離機１２及びセラミックフィルタ６による
分離を夫々効果的に行わせて遠心分離機１２とセラミッ
クフィルタ６を小型なものとすることができる。また、
その他については図１の場合と同様に作用することがで
きる。

【００４８】図５は、本発明の更に別の形態例を示した
もので、スラリーがセラミックフィルタ６の図２のセラ
ミック膜１０へのスラリー導入口１１の口径と同等以上
の粗粒子を含んでいる場合のスラリー２ｃの分離を行う
場合を示している。

【００４９】図５に示すように、セラミックフィルタ６
の前段に、スラリー貯留タンク３からの粗粒子を含むス
ラリー２ｃを受けて粗粒子２０を分離するようにした粗
粒分離器２１を設けるようにしている。

【００５０】粗粒分離器２１としては、遠心分離機、或
いはサイクロン、或いは沈降槽、或いは濾過器等を用い
ることができる。

【００５１】図５の形態例によれば、スラリー中にセラ
ミックフィルタ６のスラリー導入口１１の口径と同等以
上の粗粒子を含んでいる場合に、そのスラリー２ｃを粗
粒分離器２１に導いて粗粒子２０を分離する。粗粒子２
０が分離されたスラリー２は、セラミックフィルタ６に
よって効果的に分離されることになり、セラミックフィ
ルタ６のスラリー導入口１１が目詰まりする問題を防止
できる。その他については図１の場合と同様に作用する
ことができる。

【００５２】以下に本発明の実施例を示す。本発明がこ
の実施例に限定されるものでないことは勿論である。

【００５３】実施例１ スラリー濃度２００ｐｐｍ、スラリー粒度分布０．０９
μｍ〜７μｍ、スラリー平均粒度２．２０μｍ、粒子の
比重２．３、スラリー粘性１ｃｐのシリコンウェーハの
研磨廃液（水スラリー）を、細孔径０．１μｍ、膜面積
７．６ｍ²のセラミック膜に４０００ｌ／ｈの割合で供
給し、セミデッドエンド濾過を行い、４０００ｐｐｍ近
くまで濃縮した。その濃縮スラリー全てを、デカンタ型
遠心分離機にて２０００Ｇの加速度をかけながら２００
ｌ／ｈの割合で連続供給した。その結果フレーク（ケー
ク）が約１９５０ｃｃ／ｈの割合で連続的に得られ、そ
の含水率は約６０％であった。セラミックフィルタによ
るセミデッドエンド濾過で生じる清浄水は、スラリー濃
度２ｐｐｍ以下となり、従来難しかった廃水中の含有物
の大幅低下が可能になった。尚、デカンタ型遠心分離機
からの分離液はスラリー貯留タンクへ戻した。又、前述
の通り最終的には、フレークの含水率を４０％以下とす
ることは可能であるが、フレークを排水する処理が容易
となるように本実施例では６０％にとどめた。これは実
施例２においても同様である。

【００５４】実施例２ スラリー濃度１０００ｐｐｍ、スラリー粒度分布０．０
２μｍ〜５μｍ、スラリー平均粒度０．７μｍ、粒子の
比重２．０、スラリー粘性１ｃｐのシリカ粒子を含むケ
ミカルメカニカルポリッシュ（ＣＭＰ）廃液（水スラリ
ー）を、細孔径０．０２μｍ、膜面積７．６ｍ²のセラ
ミック膜に１５００ｌ／ｈの割合で供給し、クロスフロ
ー濾過を行い、１００００ｐｐｍ近くまで濃縮した。そ
の濃縮スラリー全てを、デカンタ型遠心分離機にて３０
００Ｇの加速度をかけながら１５０ｌ／ｈの割合で連続
供給した。その結果フレーク（ケーク）が約３３００ｃ
ｃ／ｈの割合で連続的に得られ、その含水率は約５５％
であった。セラミックフィルタによるクロスフロー濾過
で生じる清浄水は、スラリー濃度２ｐｐｍ以下となり、
著しい効果があった。

【００５５】比較例１（凝集剤） 上記実施例１のシリコンウェーハの研磨廃液に凝集剤
（パック）を０．１〜０．５％の割合で添加し、凝集粒
子の沈殿後、凝集部分をフィルタプレスにてフレーク化
を行い、残されたスラリー濃度を確認した。このスラリ
ー濃度は、２０〜７０ｐｐｍである上に、凝集剤が含ま
れており、河川への放流が規制によりできない場合があ
った。

【００５６】比較例２（セラミックフィルタ→フィルタ
プレス） 上記実施例１のシリコンウェーハの研磨廃液を実施例１
と同様にセラミックフィルタで濃縮し、その後、濃縮液
をフイルタプレスで脱水濃縮を試みたが、濾布に目詰ま
りが発生し、連続的な運転ができなかった。

【００５７】比較例３（サイクロン→セラミックフィル
タ） 上記実施例１のシリコンウェーハの研磨廃液をサイクロ
ンにかけた後、実施例１と同様にセラミックフィルタで
濃縮した。その濃縮液は２００００ｐｐｍで、フレーク
として回収することはできなかった。

【００５８】尚、本発明は上記形態例にのみ限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内におい
て種々変更を加え得ることは勿論である。

【００５９】

【発明の効果】請求項１及び５記載の発明では、セラミ
ックフィルタは、スラリーから清浄液を分離して濃縮ス
ラリーにするという得意な作業を行い、且つ遠心分離機
は濃縮スラリーを微粒子フレークと分離液とに分離する
という得意な作業を行うようにしているので、小型の装
置によってスラリーの分離を連続して効果的に行える。
分離した清浄液及び微粒子フレークは、再利用すること
ができる。

【００６０】また、遠心分離機で分離した分離液をスラ
リー貯留タンクに戻すようにすると、廃液の発生を防止
できる。

【００６１】請求項２及び８記載の発明では、低濃度微
粒子のスラリーを処理する場合に、沈降槽により微粒子
濃度を増加させたスラリーと上澄液とに分離し、微粒子
濃度を増加させたスラリーをセラミックフィルタに供給
するようにしているので、セラミックフィルタによる分
離を効果的に行わせてセラミックフィルタを小型なもの
とすることができる。

【００６２】請求項３及び９記載の発明では、高濃度微
粒子のスラリーを処理する場合に、粗取り装置によりス
ラリーを高濃度スラリーと中濃度スラリーとに分離し、
分離した高濃度スラリーを遠心分離機に供給し、中濃度
スラリーをセラミックフィルタに供給するようにしてい
るので、遠心分離機及びセラミックフィルタによる分離
を夫々効果的に行わせて遠心分離機とセラミックフィル
タを小型なものとすることができる。

【００６３】請求項４及び１４記載の発明では、スラリ
ーに粗粒子が含有されている場合に、粗粒分離器にて粗
粒子を分離してからセラミックフィルタにスラリーを供
給するようにしているので、セラミックフィルタのスラ
リー導入口が目詰まりする問題を防止できる。

【００６４】上述したように、本発明では、セラミック
フィルタの細孔径、膜面積、デカンタ型遠心分離機の能
力等を適宜設定することにより、半導体産業等のように
比較的粒度、混合物種、粘性等が一定した多様なスラリ
ーの微粒子分離を大容量で連続的に行うことができ、こ
れまで困難であった廃水の略完全な処理を行うことがで
きる効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施する形態の一例を示す系統ブロッ
ク図である。

【図２】セラミックフィルタの一例を示す斜視図であ
る。

【図３】本発明を実施する別の形態を示す系統ブロック
図である。

【図４】本発明を実施する更に別の形態を示す系統ブロ
ック図である。

【図５】本発明を実施する更に別の形態を示す系統ブロ
ック図である。

【符号の説明】

２ スラリー（微粒子混合スラリー） ２’ スラリー ２ａ 微粒子濃度が低いスラリー ２ｂ 微粒子濃度が高いスラリー ２ｂ’ 高濃度スラリー ２ｂ” 中濃度スラリー ２ｃ 粗粒子を含むスラリー ３ スラリー貯留タンク ６ セラミックフィルタ ７ 清浄液 ７’ 上澄液（清浄液） ８ 濃縮スラリー １１ スラリー導入口 １２ 遠心分離機 １３ 微粒子フレーク １４ 分離液 １６ 沈降槽 １９ 粗取り装置 ２０ 粗粒子 ２１ 粗粒分離器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 絋 東京都千代田区丸の内一丁目６番２号 石 川島播磨重工業株式会社本社別館内 (72)発明者 木村 幸茂 東京都江東区豊洲三丁目２番16号 石川島 播磨重工業株式会社豊洲総合事務所内 (72)発明者 加藤 能久 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 小川 孝 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 長尾 幸彦 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 大嶋 一之 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微粒子混合スラリーを微粒子と液とに分
   離するスラリーの分離方法であって、スラリーをセラミ
   ックフィルタに導いて清浄液と濃縮スラリーとに分離し
   た後、濃縮スラリーを遠心分離機に導いて連続的に微粒
   子フレークと分離液とに分離することを特徴とするスラ
   リーの分離方法。
2. 【請求項２】 スラリー中の微粒子濃度が低濃度の場合
   において請求項１記載のスラリーの分離方法を実施する
   際、スラリーをセラミックフィルタに供給する前に、沈
   降槽により微粒子濃度を増加させたスラリーと上澄液と
   に分離し、微粒子濃度を増加させたスラリーをセラミッ
   クフィルタに供給することを特徴とするスラリーの分離
   方法。
3. 【請求項３】 スラリー中の微粒子濃度が高濃度の場合
   において請求項１記載のスラリーの分離方法を実施する
   際、スラリーをセラミックフィルタに供給する前に、粗
   取り装置により高濃度スラリーと中濃度スラリーとに分
   離し、高濃度スラリーを遠心分離機に供給すると共に中
   濃度スラリーをセラミックフィルタに供給し、セラミッ
   クフィルタで分離した濃縮スラリーを前記遠心分離機に
   供給することを特徴とするスラリーの分離方法。
4. 【請求項４】 スラリーがセラミックフィルタのスラリ
   ー導入口の口径と同等以上の粗粒子を含む場合において
   請求項１記載のスラリーの分離方法を実施する際、スラ
   リーをセラミックフィルタに供給する前に、粗粒分離器
   によりスラリー中の前記粗粒子を分離し、粗粒子を含ま
   ないスラリーをセラミックフィルタに供給することを特
   徴とするスラリーの分離方法。
5. 【請求項５】 微粒子混合スラリーを微粒子と液とに分
   離するスラリーの分離装置であって、スラリーを一時貯
   留するスラリー貯留タンクと、該スラリー貯留タンクの
   スラリーを導入して清浄液と濃縮スラリーとに分離する
   セラミックフィルタと、該セラミックフィルタにて分離
   した濃縮スラリーを導入して微粒子フレークと分離液と
   に連続的に分離する遠心分離機とを備えたことを特徴と
   するスラリーの分離装置。
6. 【請求項６】 遠心分離機がデカンタ型遠心分離機であ
   る請求項５記載のスラリーの分離装置。
7. 【請求項７】 遠心分離機で分離した分離液をスラリー
   貯留タンクに戻すようにしたことを特徴とする請求項５
   記載のスラリーの分離装置。
8. 【請求項８】 低濃度微粒子のスラリーを処理する請求
   項５記載のスラリーの分離装置であって、セラミックフ
   ィルタの前段に、微粒子濃度を増加させたスラリーと上
   澄液とに分離し、分離した微粒子濃度を増加させたスラ
   リーをセラミックフィルタに供給する沈降槽を備えたこ
   とを特徴とするスラリーの分離装置。
9. 【請求項９】 高濃度微粒子のスラリーを処理する請求
   項５記載のスラリーの分離装置であって、セラミックフ
   ィルタの前段に、スラリーを高濃度スラリーと中濃度ス
   ラリーとに分離し、分離した高濃度スラリーを遠心分離
   機に供給すると共に中濃度スラリーをセラミックフィル
   タに供給するようにした粗取り装置を備えたことを特徴
   とするスラリーの分離装置。
10. 【請求項１０】 粗取り装置が遠心分離機であることを
    特徴とする請求項９記載のスラリーの分離装置。
11. 【請求項１１】 粗取り装置がサイクロンであることを
    特徴とする請求項９記載のスラリーの分離装置。
12. 【請求項１２】 粗取り装置が沈降槽であることを特徴
    とする請求項９記載のスラリーの分離装置。
13. 【請求項１３】 粗取り装置が濾過器であることを特徴
    とする請求項９記載のスラリーの分離装置。
14. 【請求項１４】 セラミックフィルタのスラリー導入口
    の口径と同等以上の粗粒子を含むスラリーを処理する請
    求項５記載のスラリーの分離装置であって、セラミック
    フィルタの前段に、前記粗粒子を分離する粗粒分離器を
    備えたことを特徴とするスラリーの分離装置。
15. 【請求項１５】 粗粒分離器が遠心分離機であることを
    特徴とする請求項１４記載のスラリーの分離装置。
16. 【請求項１６】 粗粒分離器がサイクロンであることを
    特徴とする請求項１４記載のスラリーの分離装置。
17. 【請求項１７】 粗粒分離器が沈降槽であることを特徴
    とする請求項１４記載のスラリーの分離装置。
18. 【請求項１８】 粗粒分離器が濾過器であることを特徴
    とする請求項１４記載のスラリーの分離装置。