TWI418441B - Sawing mill grinding machine - Google Patents

Description

線鋸之研磨粉漿循環裝置

本發明是關於可循環使用以線鋸進行矽晶圓切削或切斷加工時所供應之研磨粉漿的線鋸之研磨粉漿循環裝置。

習知以來對矽晶圓等進行切削加工的裝置是使用線鋸。

線鋸是構成為將碳化矽(矽石)類切削材即磨粒(粒徑=18.5～21.5微米程度，比重ρ=3.2程度)和油(水溶性的油)等切削液體混合後的研磨粉漿供應在高速移動的鋼線，藉此對矽晶圓等進行切削加工。

第1圖是表示上述先前線鋸所使用的研磨粉漿供應路徑的方塊圖，圖中圖號1是利用未圖示鋼線進行矽晶圓等切削加工的線鋸，該線鋸1是從粉漿供應裝置2供應研磨粉漿3。

粉漿供應裝置2具備有粉漿供應槽4，該粉漿供應槽4，可生成有經由人工作業計量將新磨粒5和新切削液體6以所需比率供應由攪拌裝置7進行攪拌後成為均勻濃度的研磨粉漿3，該粉漿供應槽4內的研磨粉漿3是由具備供應用泵浦8的供給管9引導至上述線鋸1的上部，由具備有供應閥10的向下供給管11供應至上述線鋸1，此外，利用回送管12連接上述供給管9之供應閥10的跟前位置和上述粉漿供應槽4之間，藉此防止上述供應閥10關閉時循環研磨粉漿3所造成的磨粒5沉澱在供給管9內。

另外，供應至上述線鋸1經切削加工使用過之含有切屑的研磨粉漿3’是經由具備有排出用泵浦13的排出管14供應至廢棄物處理裝置15。廢棄物處理裝置15，導入有上述使用過的研磨粉漿3’，將該研磨粉漿3’分離成由磨粒和切屑等形成的固體廢棄物16和由切削液體形成的液體廢棄物17，分別為廢棄物處理。

如上述，先前的線鋸，因是將使用過的研磨粉漿3’丟棄不再使用，所以經常需要高價的新磨粒5和新切削液體6，因此就會有運轉成本增加的問題。

再加上，如上述，將使用過的研磨粉漿3’全部導入廢棄物處理裝置15視為廢棄物進行處理，除了需要處理費用以外還需要廢棄處理時的費用，又加上也會有環保面的問題。

另一方面，已知有從線鋸所使用過的研磨粉漿分離出回收磨粒和回收切削液體進行回收，將該回收磨粒和回收切削液體混合在新磨粒和新切削液體再度做為研磨粉漿供應至線鋸，藉此能夠大幅降低運轉成本的同時能夠大幅削減廢棄物量的線鋸之研磨粉漿循環裝置(參照專利文獻1)。

專利文獻1中，該線鋸之研磨粉漿循環裝置，具備有：可導入來自於線鋸之使用過的研磨粉漿將該使用過的研磨粉漿分離成含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體和可再使用的回收磨粒之第1分離手段；可導入有經由第1分離手段所分離的微粒混合液體將該微粒混合液體分離成回收切削液體和固體廢棄物之第2分離手段24；及可導入有經過第1分離手段分離的回收磨粒和經過第2分離手段分離的回收切削液體之同時導入新磨粒和新切削液體進行混合生成研磨粉漿的粉漿混合裝置，構成將粉漿混合裝置生成的研磨粉漿供應至粉漿供應裝置。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平11-033913號公報

但是，使用過的研磨粉漿是形成在黏性比較高的切削液體中混入有磨粒和微細的切削屑的狀態。因此，第1分離手段的回收磨粒分離，和第2分離手段的固體廢棄物分離是能夠較穩定進行，但來自於第2分離手段的回收切削液體中混入的微細切削屑等微細固體會慢慢累積導致濃度變高，因此回收切削液體就無法直接做為再利用。

因此，專利文獻1是將回收切削液體在濾器進行循環藉此分離微細固體，對微細固體濃度降低後的回收切削液體進行再利用。但是，濾器會在短期間造成堵塞因此就需要頻繁更換，該更換作業是由人工進行因此就會有作業非常繁瑣的問題。

本發明是為了解決上述先前裝置所具備之問題所研創的發明，目的是提供一種無需人工作業就能夠使研磨粉粒和切削液體穩定循環使用的線鋸之研磨粉漿循環裝置。

本發明相關的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其特徵為，具備有：可使從粉漿供應裝置供應至線鋸且使用過的研磨粉漿導入分離成回收磨粒和含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體之第1分離手段；可使經由該第1分離手段所分離的含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體導入分離成固體廢棄物和預備切削液體之第2分離手段；可承接經由該第2分離手段分離後儲存在預備切削液體儲存槽的預備切削液體將該預備切削液體所含有的微細固體分離後獲得回收切削液體的振動過濾機；及可導入上述第1分離手段所回收的回收磨粒和上述振動過濾機所回收的回收切削液體之同時，導入新磨粒和新切削液體製造出研磨砂漿供應至上述粉漿供應裝置的粉漿混合裝置。

上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，是以具備有：可對粉漿混合裝置的研磨粉漿濃度進行檢測的粉漿濃度檢測器；及根據該粉漿濃度檢測器的濃度檢測值控制新磨粒供應及新切削液體供應的控制器為佳。

此外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，以具備有可導入第1分離手段所分離之回收磨粒和振動過濾機所分離的回收切削液體對粗粒進行去除的粗粒去除裝置為佳。

另外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，上述振動過濾機，具有：以使得從預備切削液體儲存槽經由供應用泵浦供應的預備切削液體振動的濾器承接使形成在濾器上的浮游粒子層分離成可通過該浮游粒子層的回收切削液體和微細粒子已濃縮的溢流液之振動過濾機；配備在上述溢流液之流出流路的轉換閥；透過調整閥連接於該轉換閥藉此連通至上述預備切削液體儲存槽的調整流路；連接於上述轉換閥藉此連通至上述預備切削液體儲存槽的開放流路；可對濾器的過濾性能進行檢測的過濾性能檢測手段；及當該過濾性能檢測手段所檢測出的過濾性能降低成設定值以下時，就對轉換閥進行轉換使上述溢流液開放至開放流路的轉換控制器。

此外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，以具有可在溢流液開放至開放流路時阻斷回收切削液體從振動過濾機流出的阻斷閥為佳。

另外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，以過濾性能檢測手段為可檢測出回收切削液體流出流量的流量計為佳。

此外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置中，以過濾性能檢測手段為可在被過濾液由定量泵浦供應至濾器時對被過濾液的供應壓力進行檢測的壓力計為佳。

另外，上述線鋸之研磨粉漿循環裝置申請專利範圍第8項記載的發明，以在預備切削液體儲存槽具有預備切削液體加熱用的加熱器為佳。

根據本發明的線鋸之研磨粉漿循環裝置，將該第2分離手段去除固體廢棄物後儲存在預備切削液體儲存槽的預備切削液體經過振動過濾機分離預備切削液體所含的微細固體，因此有不需人工能夠穩定獲得不含微細固體之回收切削液體的效果。即，振動過濾機是以調整溢流液的流出對作用在濾器的壓力進行調節藉此使浮游粒子層形成在濾器上執行穩定的過濾，當濾器上的浮游粒子層的層厚變厚造成過濾性能降低時，就開放溢流液的流出沖洗浮游粒子層，藉此自動恢復過濾性能，因此就有長期間不需人工能夠執行穩定過濾的效果。

[發明之最佳實施形態]

以下，與圖示例同時說明本發明的實施形態。

第2圖為表示本發明線鋸之研磨粉漿循環裝置的一實施例方塊圖，使用在與第1圖相同的線鋸1之使用過的研磨粉漿3’是經由具備有排出用泵浦13的排出管14供應至使用過之粉漿的儲存槽18。該使用過之粉漿的儲存槽18具備有攪拌裝置19藉此防止使用過的研磨粉漿3’的磨粒沉澱。

第2圖中20為第1分離手段，該第1分離手段20，透過具備有泵浦21的導入管22導入上述使用過之粉漿的儲存槽18內的使用過的研磨粉漿3’，於此將上述使用過的研磨粉漿3’分離成回收磨粒5a和含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體23。

上述使用過的研磨粉漿3’，其狀態是形成為切削液體中混合有：比重ρ為3.2程度並且具有與新磨粒5大致同等之18.5～21.5微米程度大粒徑的回收磨粒5a；數微米程度大的切屑；及破碎成數微米程度大的破碎磨粒。

上述第1分離手段20，例如可使用傾析器型離心分離機，利用離心效果賦予上述研磨粉漿3’300～1000G(通常為400～500G)，藉此就能夠有效分離成上述回收磨粒5a和其他含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體23。此外，上述第1分離手段20，除了可使用上述傾析器型離心分離機以外，也可使用旋液分離器等。

第2圖中24為第2分離手段，該第2分離手段24，導入有經由上述第1分離手段20所分離的含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體23，於此分離成固體廢棄物25和預備切削液體6’。

上述的研磨粉漿3及使用過的研磨粉漿3’，一般具有100～170厘泊所謂比較高的黏度，因此從如此黏度高的微粒混合液體23分離出數微米的切屑及破碎磨粒並不容易，但若使用賦予離心力就能夠對上述微粒混合液體23施加3000G程度的傾析器型離心分離機即第2分離手段24進行分離，能夠有效分離出由切屑和破碎磨粒形成的固定廢棄物25，和預備切削液體6’。此外，上述第2分離手段24，除了可使用上述傾析器型離心分離機以外，也可使用分離板型離心分離機等。

再加上，第2圖中，又具備有可對來自於上述第2分離手段24的預備切削液體6’進行引導的預備切削液體儲存槽26。使用上述第2分離手段24是難以完全分離成微細固體，因此，將上述預備切削液體儲存槽26的預備切削液體6’從底部取由供應用泵浦27供應至振動過濾機28，經由振動過濾機28分離成微細固體己去除的回收切削液體6a和微細固體濃度提高的溢流液29，並使溢流液29返回至上述預備切削液體儲存槽26。此外，因預備切削液體儲存槽26的預備切削液體6’其微細固體濃度會慢慢變高，所以取出該預備切削液體6’的一部份，經由蒸餾分離裝置30分離成微細固體和切削液體。如此一來，就能夠回收使用過的研磨粉漿3’所含有之切削液體的大致全量加以再利用，要廢棄的只有微少量的微細固體。

第2圖中31為粗粒去除裝置，該粗粒去除裝置31，導入有上述第1分離手段20所分離的回收磨粒5a的另一方面，由流出流路32導入上述振動過濾機28所分離的回收切削液體6a，將微粒聚集成長後形成比回收磨粒5a還大粒徑之含有粗粒的回收磨粒5a由乾淨的回收切削液體6a洗淨，藉此分離粗粒33，取出由回收磨粒5a和回收切削液體6a形成的混合粉漿34。上述粗粒去除裝置31，使用濕式篩分裝置(振動篩裝置)，藉此就能夠有效分離回收磨粒5a所含有的粗粒33。

第2圖中35為可導入有來自上述粗粒去除裝置31之混合粉漿34的粉漿混合裝置，該粉漿混合裝置35，具備有：可將供應於磨粒儲存槽36的新磨粒5透過馬達37所驅動的螺旋加料器等供應機38進行供應的磨粒供應裝置39；及透過具備有供應閥40的供給管41進行新切削液體6供應的切削液體供應裝置42，構成為導入上述混合粉漿34和新磨粒5和新切削液體6，利用攪拌裝置43進行攪拌製造出指定濃度的研磨粉漿3。

上述粉漿混合裝置35所製造的研磨粉漿3是透過具備有泵浦44的供給管45供應至粉漿供應裝置2的粉漿供應槽4。

上述供給管45的出口具備有閥46，並且在上述供給管45的泵浦44和閥46之間連接具備閥47之回送管48的一端，該回送管48的另一端是連接在上述粉漿混合裝置35，利用上述供給管45使供應至上述粉漿供應裝置2的研磨粉漿3的一部份返回上述粉漿混合裝置35。

上述回送管48，設有可對上述研磨粉漿3的磨粒濃度進行檢測的粉漿濃度檢測器49，具備有根據該粉漿濃度檢測器49的濃度檢測值50對上述磨粒供應裝置39的馬達37或切削液體供應裝置42的供應閥40進行控制的控制器51。

第3圖是表示第2圖所具備之振動過濾機28的概略流程圖，振動過濾機28是在筒狀的容器52內收容有複數的圓板狀濾器53，上述容器52是由驅動馬達54驅動成往復旋轉使上述濾器53振動。濾器53的直徑方向中心，形成有濾液流出流路55的另一方面，在濾液流出流路55通過的直徑方向一側設有由供應用泵浦27使預備切削液體儲存槽26的預備切削液體6’透過供應流路56導入的被過濾導入流路57，此外，在濾液流出流路55通過的直徑方向另一側設有溢流液流路58。

第4圖為表示上述振動過濾機28的濾器53的過濾構造，隔著間隔53a的2片濾器53形成為1個單元59，該單元59隔著所需的間隔60具有複數層疊的構成。接著，從上述被過濾液導入流路57導入的預備切削液體6’是通過間隔60導向單元59的上下外側面，利用交叉流動使回收切削液體6a如虛線所示通過各濾器53受到過濾，接著回收切削液體6a是從間隔53a流出至濾液流出流路55。此時，因濾器53是振動著，所以在濾器53的外面，如第5圖所示就會形成有與濾器53外面隔著間隔浮遊的浮游粒子層61，因此，上述預備切削液體6’是利用浮游粒子層61形成為過濾。回收切削液體6a經分離後的液體是成為粒子已濃縮的溢流液29從第3圖的流出流路62流出。

於上述振動過濾機28持續進行過濾時，浮游的浮游粒子層61的層厚會慢慢變厚，因此就會有過濾性能降低的問題。再加上，在振動過濾機28的運轉停止時上述浮游粒子層61會緊貼在濾器53上，導致運轉再度開始時會有無法獲得良好過濾的問題。

因此，如第3圖所示，在流出有上述溢流液29的流出流路62設置轉換閥63(三向轉換閥)，再加上，該轉換閥63，連接有：透過調整閥64使上述溢流液29返回至預備切削液體儲存槽26的調整流路65；及可使溢流液29直接開放至上述預備切削液體儲存槽26的開放流路66。

又加上，為了檢測出振動過濾機28的濾器53的過濾性能，在回收切削液體6a的流出流路32設有流量計67構成的過濾性能檢測手段68。過濾性能檢測手段68，在上述供應用泵浦27為定量泵浦時，也可構成為在供應流路56設置壓力計69對供應至濾器53的預備切削液體6’的供應壓力進行檢測。

接著，設有轉換控制器70，當上述過濾性能檢測手段68所檢測出的過濾性能降低成設定值以下時，該轉換控制器70就對轉換閥63的轉換進行控制使上述溢流液29經由開放流路66開放至預備切削液體儲存槽26。

再加上，第3圖中，在回收切削液體6a的流出流路32，設有阻斷閥71，構成為在上述將溢流液29經由開放流路66開放至預備切削液體儲存槽26時，阻斷回收切削液體6a的流出。

此外，預備切削液體儲存槽26設有預備切削液體6’加熱用的加熱器72。加熱器72是根據設置在預備切削液體儲存槽26對預備切削液體6’溫度進行檢測之溫度計73的檢測溫度，由控制器74控制加熱。如第6圖、第7圖中不同種類預備切削液體6’之溫度和黏度的關係所示，預備切削液體6’是根據種類具有黏度從高黏度變化成低黏度不同的反彎點X，因此要根據預備切削液體6’的種類利用上述加熱器72進行預備切削液體6’的加熱使預備切削液體6’的溫度維持在反彎點X以上的溫度。預備切削液體6’加熱用的加熱器72可採用電熱器、溫水等各種方式，預備切削液體6’的加熱位置也可任意選定。

另外，上述轉換控制器70，又構成為也會在振動過濾機28的過濾停止前轉換上述轉換閥63使溢流液29開放至開放流路66。即，當停止指令75輸入至轉換控制器70時，轉換控制器70會在執行轉換閥63的轉換使溢流液29開放至開放流路66之後，就發出振動過濾機28運轉停止的指令。

其次，對上述實施例的動作進行說明。

如第2圖所示，粉漿供應裝置2的粉漿供應槽4內的研磨粉漿3是利用供應用泵浦8經由供給管9及向下供給管11供應至線鋸1，與未圖示的鋼線一起進行矽晶圓等的切削加工。

使用在線鋸1之使用過的研磨粉漿3’是利用排出用泵浦13經由排出管14供應至使用過之粉漿的儲存槽18，該使用過之粉漿的儲存槽18內的使用過的研磨粉漿3’，利用泵浦21經由導入管22導入至第1分離手段20。

導入於第1分離手段20之使用過的研磨粉漿3’是由傾析器型離心分離機等產生的離心效果施加300～1000G進行分離，藉此有效分離成回收磨粒5a和含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體23。

經由上述第1分離手段20分離之含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體23，被導入在能夠利用傾析器型離心分離機等的離心力施加3000G程度的第2分離手段24，然後分離成脫水後的固體廢棄物25和預備切削液體6’。經由上述第2分離手段24形成脫水後的固體廢棄物25是研磨粉漿3中全固體量的2～3%程度，因此在上述第1分離手段20分離成可再利用的回收磨粒5a的再生率就可達到97～98%。

在第2分離手段24去除固體廢棄物25後儲存在預備切削液體儲存槽26的預備切削液體6’是被導入至振動過濾機去除微細固體後取出回收切削液體6a。

即，於第3圖所示利用驅動馬達54使振動過濾機28的濾器53往復旋轉振動的狀態下，利用供應用泵浦27將預備切削液體儲存槽26的預備切削液體6’導入被過濾液導入流路57，此時，對轉換閥63進行轉換並且將調整閥64調整成指定開度的狀態使溢流液29的流出流路62和調整流路65連通。如此一來，就會讓預備切削液體6’在所需壓力下導向單元59的上下濾器53的外面，成為濾器53上形成有浮游粒子層61的狀態，預備切削液體6’的回收切削液體6a是通過浮游粒子層61及濾器53受到過濾然後從濾液流出流路55流出。交叉流動在濾器53外面的液體是成為粒子已濃縮的溢流液29從溢流液流路58流出至流出流路62。

此時，為了過濾雜質濃度大的預備切削液體6’，明確的作法是由驅動馬達54驅動濾器53使濾器53以40～70Hz前後的振動數並且以1/2英吋～1英吋(約13～25mm)前後的振幅振動，如此一來就能夠執行良好的過濾。在由上述振動過濾機28過濾混有10%重量前後之雜質(微細固體)的預備切削液體6’時，若是以50 Hz的振動數並且以3/4英吋(約19mm)的振幅使濾器53振動時，就能夠在濾器53外面形成有良好的浮游粒子層61，能夠執行良好的過濾。

但是，即使是在上述良好的狀態下進行過濾，但持續進行過濾時，浮游的浮游粒子層61的層厚會慢慢變厚接近濾器53，導致濾器53的過濾性能降低。

若濾器53的過濾性能降低，則從流出流路32流出的回收切削液體6a的流量會慢慢減少，但因為回收切削液體6a的流量是由流量計67構成的過濾性能檢測手段68檢測，其檢測值會輸入至轉換控制器70，所以當過濾性能檢測手段68的過濾性能檢測值降低成設定值以下時，轉換控制器70就會對轉換閥63執行轉換使上述溢流液29經由開放流路66開放至預備切削液體儲存槽26。

如此一來，厚厚成長在濾器53上的浮游粒子層61就會受到瞬間沖洗。此時，藉由關閉設置在回收切削液體6a之流出流路32的阻斷閥71，就能夠使預備切削液體6’全部成為溢流液29，因此能夠提高沖洗浮游粒子層61的作用。

由於浮游粒子層61沖洗後的濾器53的面是恢復成乾淨的狀態，因此轉換控制器70就會再度對轉換閥63執行轉換使上述溢流液29流至具備有調整閥64的調整流路65。藉此使濾器53上形成有良好狀態的浮游粒子層61能夠執行良好的過濾。

上述中，利用設置在預備切削液體儲存槽26的加熱器72，使預備切削液體6’的黏度加熱成第6圖、第7圖所示從高黏度變化成低黏度之反彎點X以上的溫度。如此一來，能夠降低預備切削液體6’的黏度提高過濾效率的同時，穩定的黏度能夠使浮游粒子層61的形成穩定。

此外，對轉換控制器70輸入停止指令75時，轉換控制器70會在執行轉換閥63的轉換使溢流液29開放至開放流路66之後，就發出振動過濾機28運轉停止的指令，所以當振動過濾機28運轉停止時濾器53上的浮游粒子層61會受到沖洗，因此就能夠解決停止時浮游粒子層61緊貼在濾器53造成運轉再度開始時無法獲得良好過濾的問題。

如以上所述，對溢流液29的流出進行調整藉此調節作用在濾器53的壓力使濾器53上形成有穩定的浮游粒子層61而能夠執行穩定的過濾，當濾器53上的浮游粒子層61的層厚變厚過濾性能降低時，開放溢流液29的流出藉此沖洗浮游粒子層61，所以能夠在過濾性能降低時自動恢復濾器53的過濾性能，如此一來能夠使長期間的過濾穩定。

因此，將上述第1分離手段20分離的回收磨粒5a導入至濕式篩分裝置等構成的粗粒去除裝置31的同時，由上述振動過濾機28使從預備切削液體6’分離的回收切削液體6a導入至上述粗粒去除裝置31，以回收切削液體6a對上述回收磨粒5a進行洗淨的同時分離去除微粒聚集後成長的粗粒33，將回收磨粒5a和回收切削液體6a形成的混合粉漿34供應至粉漿混合裝置35。

粉漿混合裝置35，供應有來自於上述粗粒去除裝置31的混合粉漿34之同時，由磨粒供應裝置39的供應機38供應新磨粒5，此外由切削液體供應裝置42的供應閥40供應新切削液體6，藉此就能夠製造指定濃度的研磨粉漿3。

在上述粉漿混合裝置35製造的研磨粉漿3是由配備在泵浦44所進行循環之回送管48的粉漿濃度檢測器49檢測磨粒的濃度，根據該粉漿濃度檢測器49所檢測出的濃度檢測值50，利用控制器51執行磨粒供應裝置39之供應機38的馬達37的驅動，或者是執行切削液體供應裝置42之供應閥40的調整，藉此執行新磨粒5或新切削液體6的供應，自動調整研磨粉漿3成指定濃度。

在上述粉漿混合裝置35調整成指定濃度的調整研磨粉漿3是由具備有泵浦44的供給管45供應至粉漿供應裝置2的粉漿供應槽4，與上述相同地供應至線鋸1。

如以上所述，在第1分離手段20是將使用過的研磨粉漿3’分離成回收磨粒5a和微粒混合液體23，此外，經由第1分離手段20分離的微粒混合液體23是由第2分離手段24分離成固體廢棄物25和預備切削液體6’，再加上，預備切削液體6’是被導入至振動過濾機28將回收切削液體6a回收，上述回收磨粒5a和回收切削液體6a是被導入至粉漿混合裝置35再度被利用為研磨粉漿3，因此就能夠削減高價之新磨粒5和新切削液6的使用量，能夠大幅降低運轉成本。再加上，經由第2分離手段24分離的固體廢棄物25及在粗粒去除裝置31分離的粗粒33的量是非常少量，因此減少廢棄物的量除了有利於環保之外，還能夠降低廢棄物的處理費用。

另外，本發明的線鋸之研磨粉漿循環裝置，並不限於上述的實施例，在不脫離本發明主旨範圍內理所當然是可加以各種變更。

[產業上之可利用性]

從線鋸使用過的研磨粉漿回收磨粒能夠再利用的同時，不需人工作業就能夠穩定去除混入在該使用過之研磨粉漿中的微細固體藉此使切削液體能夠做為再利用，能夠實現運轉成本的低廉化和廢棄物的減量化。

1．．．線鋸

2．．．粉漿供應裝置

3．．．研磨粉漿

3’．．．使用過的研磨粉漿

5．．．磨粒

5a．．．回收磨粒

6．．．切削液體

6’．．．預備切削液體

6a．．．回收切削液體

20．．．第1分離手段

23．．．微粒混合液體

24．．．第2分離手段

25．．．固體廢棄物

26．．．預備切削液體儲存槽

27．．．供應用泵浦

28．．．振動過濾機

29．．．溢流液

31．．．粗粒去除裝置

32．．．流出流路

33．．．粗粒

35．．．粉漿混合裝置

49．．．粉漿濃度檢測器

50．．．濃度檢測值

51．．．控制器

53．．．濾器

61．．．浮游粒子層

62．．．流出流路

63．．．轉換閥

64．．．調整閥

65．．．調整流路

66．．．開放流路

67．．．流量計(過濾性能檢測手段)

68．．．過濾性能檢測手段

69．．．壓力計(過濾性能檢測手段)

70．．．轉換控制器

71．．．阻斷閥

72．．．加熱器

第1圖為表示先前線鋸所使用的研磨粉漿供應路徑的方塊圖。

第2圖為表示本發明線鋸之研磨粉漿循環裝置的一實施例方塊圖。

第3圖為表示第2圖裝置所具備的振動過濾機概略的流程圖。

第4圖為表示振動過濾機的濾器過濾構造的剖面圖。

第5圖為表示浮游粒子層形成在濾器上的狀態說明圖。

第6圖為表示被過濾液的溫度和黏度之關係與反彎點的線圖。

第7圖為表示與第6圖不同之被過濾液的溫度和黏度之關係與反彎點的線圖。

1．．．線鋸

2．．．粉漿供應裝置

3．．．研磨粉漿

3’．．．使用過的研磨粉漿

4．．．粉漿供應槽

5．．．磨粒

5a．．．回收磨粒

6．．．切削液體

6’．．．預備切削液體

6a．．．回收切削液體

7．．．攪拌裝置

8．．．供應用泵浦

9．．．供給管

10．．．供給閥

11．．．向下供給管

12．．．回送管

13．．．排出用泵浦

14．．．排出管

18．．．使用過之粉漿的儲存槽

19．．．攪拌裝置

20．．．第1分離手段

21．．．泵浦

22．．．導入管

23．．．微粒混合液體

24．．．第2分離手段

25．．．固體廢棄物

26．．．預備切削液體儲存槽

27．．．供應用泵浦

28．．．振動過濾機

29．．．溢流液

30．．．蒸餾分離裝置

31．．．粗粒去除裝置

32．．．流出流路

33．．．粗粒

34．．．混合粉漿

35．．．粉漿混合裝置

36．．．磨粒儲存槽

37．．．馬達

38．．．供應機

39．．．磨粒供應裝置

40．．．供應閥

41．．．供給管

42．．．切削液體供應裝置

43．．．攪拌裝置

44．．．泵浦

45．．．供給管

46．．．閥

47．．．閥

48．．．回送管

49．．．粉漿濃度檢測器

50．．．濃度檢測值

51．．．控制器

Claims (7)

1. 一種線鋸之研磨粉漿循環裝置，其特徵為，具備有：使從粉漿供應裝置供應至線鋸並將使用過的研磨粉漿導入分離成回收磨粒和含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體之第1分離手段；使經由該第1分離手段所分離的含有切屑及破碎磨粒的微粒混合液體導入分離成固體廢棄物和預備切削液體之第2分離手段；承接經由該第2分離手段分離後儲存在預備切削液體儲存槽的預備切削液體，將該預備切削液體所含有的微細固體分離後獲得回收切削液體的振動過濾機；及導入上述第1分離手段所回收的回收磨粒和上述振動過濾機所回收的回收切削液體之同時，導入新磨粒和新切削液體製造出研磨砂漿供應至上述粉漿供應裝置的粉漿混合裝置；上述振動過濾機，具有：以使得從預備切削液體儲存槽經由供應用泵浦供應的預備切削液體振動的濾器承接，藉由形成在濾器上的浮游粒子層，分離成通過該浮游粒子層的回收切削液體和微細粒子已濃縮的溢流液之振動過濾機；配備在上述溢流液之流出流路的轉換閥；透過調整閥連接於該轉換閥藉此連通至上述預備切削液體儲存槽的調整流路；連接於上述轉換閥藉此連通至上述預備切削液體儲存槽的開放流路；對濾器的過濾性能進行檢測的過濾性能檢測手段；及 當該過濾性能檢測手段所檢測出的過濾性能降低成設定值以下時，就對轉換閥進行轉換使上述溢流液開放至開放流路的轉換控制器。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，具備有：對粉漿混裝置的研磨粉漿濃度進行檢測的粉漿濃度檢測器；及根據該粉漿濃度檢測器的濃度檢測值控制新磨粒供應及新切削液體供應的控制器。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，具備有導入第1分離手段所分離之回收磨粒和振動過濾機所分離的回收切削液體進行去除粗粒的粗粒去除裝置。
4. 如申請專利範圍第1項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，具有在溢流液開放至開放流路時阻斷回收切削液體從振動過濾機流出的阻斷閥。
5. 如申請專利範圍第1項或第4項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，過濾性能檢測手段是檢測出回收切削液體流出流量的流量計。
6. 如申請專利範圍第1項或第4項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，過濾性能檢測手段是在被過濾液由定量泵浦供應至濾器時對被過濾液的供應壓力進行檢測的壓力計。
7. 如申請專利範圍第1項或第4項所記載的線鋸之研磨粉漿循環裝置，其中，在預備切削液體儲存槽具有預備切削液體加熱用的加熱器。