JP3323621B2 - ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル - Google Patents
ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズルInfo
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- JP3323621B2 JP3323621B2 JP35346493A JP35346493A JP3323621B2 JP 3323621 B2 JP3323621 B2 JP 3323621B2 JP 35346493 A JP35346493 A JP 35346493A JP 35346493 A JP35346493 A JP 35346493A JP 3323621 B2 JP3323621 B2 JP 3323621B2
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
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- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
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- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソーにおいて、
インゴットの切断位置にスラリを供給する手段すなわち
スラリ供給方法およびスラリ供給ノズルに関する。
インゴットの切断位置にスラリを供給する手段すなわち
スラリ供給方法およびスラリ供給ノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、水平に配置したインゴッ
トの外周面にスラリを供給しつつ走行状態のワイヤ列に
インゴットを押し付けて多数の薄板に切断する。このワ
イヤソーにおいて、従来のスラリ供給手段では、インゴ
ットの外周面に、インゴットの長手方向全長にわたって
開口する供給ノズルを対向させ、供給ノズルからスラリ
をインゴットの外周面に供給することにより、インゴッ
トの外周面に沿ってスラリを自然流下させ、ワイヤの当
たる切断位置に供給していた。
トの外周面にスラリを供給しつつ走行状態のワイヤ列に
インゴットを押し付けて多数の薄板に切断する。このワ
イヤソーにおいて、従来のスラリ供給手段では、インゴ
ットの外周面に、インゴットの長手方向全長にわたって
開口する供給ノズルを対向させ、供給ノズルからスラリ
をインゴットの外周面に供給することにより、インゴッ
トの外周面に沿ってスラリを自然流下させ、ワイヤの当
たる切断位置に供給していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のスラリ
供給手段では、インゴットの外周面における撥水作用、
スラリの粘性、表面張力、自然流下速度の増大により、
インゴットの外周面でスラリの流下域が下方に行くにし
たがって狭くなる。このため、インゴットの端部で、か
つ下側の切断位置にスラリを供給することが不可能であ
った。この結果、インゴットに切断不良が発生し、加工
精度が低下するという問題があった。
供給手段では、インゴットの外周面における撥水作用、
スラリの粘性、表面張力、自然流下速度の増大により、
インゴットの外周面でスラリの流下域が下方に行くにし
たがって狭くなる。このため、インゴットの端部で、か
つ下側の切断位置にスラリを供給することが不可能であ
った。この結果、インゴットに切断不良が発生し、加工
精度が低下するという問題があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、インゴットの切断不良
をなくし、加工精度を向上させることのできるスラリ供
給手段を提供することにある。
をなくし、加工精度を向上させることのできるスラリ供
給手段を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るワイヤソー
のスラリ供給手段は、ワイヤソーにおいて、インゴット
の両端部にほぼ同じ断面形状のスラリ案内体を取り付
け、インゴットおよびスラリ案内体の表面にインゴット
の長手方向全長にわたって開口する供給ノズルを対向さ
せ、供給ノズルからスラリをインゴットおよびスラリ案
内体の表面に供給することにより、インゴットおよびス
ラリ案内体の表面に沿ってスラリを自然流下させ、スラ
リの流下域をインゴットの端部からスラリ案内体の表面
まで拡大したものである。
のスラリ供給手段は、ワイヤソーにおいて、インゴット
の両端部にほぼ同じ断面形状のスラリ案内体を取り付
け、インゴットおよびスラリ案内体の表面にインゴット
の長手方向全長にわたって開口する供給ノズルを対向さ
せ、供給ノズルからスラリをインゴットおよびスラリ案
内体の表面に供給することにより、インゴットおよびス
ラリ案内体の表面に沿ってスラリを自然流下させ、スラ
リの流下域をインゴットの端部からスラリ案内体の表面
まで拡大したものである。
【０００６】このスラリの供給手段によると、インゴッ
トの端部で、かつ下側の切断位置にスラリを容易に供給
できるので、インゴットの切断不良をなくし、加工精度
を向上させることができる。
トの端部で、かつ下側の切断位置にスラリを容易に供給
できるので、インゴットの切断不良をなくし、加工精度
を向上させることができる。
【０００７】
【実施例】図１および図２は、本発明の方法にもとづく
ワイヤソーのスラリ供給装置１を示す。スラリ供給装置
１は、ワイヤソー２において、スラリ案内体３と、供給
ノズル４とを備えている。前記ワイヤソー２は、３本の
メインローラ５の間にワイヤ６を平行に多数回巻き掛け
てなるワイヤ列１５に、切断対象のインゴット７を押し
付けて多数の薄板に切断する。インゴット７は、例えば
断面円形の形状を有し、加工テーブル８にホルダ９を介
して垂下状態で取り付けられている。
ワイヤソーのスラリ供給装置１を示す。スラリ供給装置
１は、ワイヤソー２において、スラリ案内体３と、供給
ノズル４とを備えている。前記ワイヤソー２は、３本の
メインローラ５の間にワイヤ６を平行に多数回巻き掛け
てなるワイヤ列１５に、切断対象のインゴット７を押し
付けて多数の薄板に切断する。インゴット７は、例えば
断面円形の形状を有し、加工テーブル８にホルダ９を介
して垂下状態で取り付けられている。
【０００８】前記メインローラ５は、溝付のものであ
り、三角形の頂点位置で回転自在に支持されている。２
つのメインローラ５の間にワイヤ６が環状の溝列を介し
て薄板の切断厚さで幅方向（軸線方向）と直角の方向に
巻き掛けられ、ワイヤ列１５が形成されている。上側の
２つのメインローラ５の上方には、例えば２つの供給ノ
ズル１４が設けられ、これらの供給ノズル１４は、メイ
ンローラ５の長手方向全長以上に渡って開口し、メイン
ローラ５の外周面の真上にスラリ１０を供給し、含有冷
却油により、メインローラ５を冷却すると同時に切断位
置で減摩作用を営む。
り、三角形の頂点位置で回転自在に支持されている。２
つのメインローラ５の間にワイヤ６が環状の溝列を介し
て薄板の切断厚さで幅方向（軸線方向）と直角の方向に
巻き掛けられ、ワイヤ列１５が形成されている。上側の
２つのメインローラ５の上方には、例えば２つの供給ノ
ズル１４が設けられ、これらの供給ノズル１４は、メイ
ンローラ５の長手方向全長以上に渡って開口し、メイン
ローラ５の外周面の真上にスラリ１０を供給し、含有冷
却油により、メインローラ５を冷却すると同時に切断位
置で減摩作用を営む。
【０００９】前記インゴット７の両端部１２には、これ
とほぼ同一の断面形状を有するスラリ案内体３が例えば
接着により取り付けられている。スラリ案内体３は、図
２においてハッチングで示すように、インゴット７の端
部１２よりも側方においてスラリ１０の流下を案内し、
流下域１１を拡大させる機能を有する。
とほぼ同一の断面形状を有するスラリ案内体３が例えば
接着により取り付けられている。スラリ案内体３は、図
２においてハッチングで示すように、インゴット７の端
部１２よりも側方においてスラリ１０の流下を案内し、
流下域１１を拡大させる機能を有する。
【００１０】前記ホルダ９の近くに、例えば２つの供給
ノズル４が水平に設けられる。これらの供給ノズル４
は、一方のスラリ案内体３の端部１６から他方のスラリ
案内体３の端部１６にわたって開口し、インゴット７の
外周面の上側部分に斜め下向きにスラリ１０を供給し、
含有冷却油によりインゴット７を冷却するとともに、含
有切削微粉末によりワイヤ６とともにインゴット７を切
断する。なお、下方の駆動側のメインローラ５の下方に
図示省略のドレン皿が設けられ、ドレン皿は、インゴッ
ト７やメインローラ５から滴下する供給済みのスラリ１
０を回収し、貯留槽に戻す機能を有する。
ノズル４が水平に設けられる。これらの供給ノズル４
は、一方のスラリ案内体３の端部１６から他方のスラリ
案内体３の端部１６にわたって開口し、インゴット７の
外周面の上側部分に斜め下向きにスラリ１０を供給し、
含有冷却油によりインゴット７を冷却するとともに、含
有切削微粉末によりワイヤ６とともにインゴット７を切
断する。なお、下方の駆動側のメインローラ５の下方に
図示省略のドレン皿が設けられ、ドレン皿は、インゴッ
ト７やメインローラ５から滴下する供給済みのスラリ１
０を回収し、貯留槽に戻す機能を有する。
【００１１】供給ノズル４および供給ノズル１４は、単
管または二重管式とてし組み立てられる。単管式の供給
ノズル４、１４は、図３に示すように、単一の角形の管
４１の内部に一端からスラリ１０を取り入れ、スラリ１
０を下方のスリット４４からインゴット７や、スラリ案
内体３の表面に供給する。ここのスリット４４は、スラ
リ１０の取り入れ側端部で小さい開口し、下流側で大き
く開口していて、各部でスラリ１０を均一に供給できる
ようになっている。
管または二重管式とてし組み立てられる。単管式の供給
ノズル４、１４は、図３に示すように、単一の角形の管
４１の内部に一端からスラリ１０を取り入れ、スラリ１
０を下方のスリット４４からインゴット７や、スラリ案
内体３の表面に供給する。ここのスリット４４は、スラ
リ１０の取り入れ側端部で小さい開口し、下流側で大き
く開口していて、各部でスラリ１０を均一に供給できる
ようになっている。
【００１２】また、二重管式の供給ノズル４、１４は、
図４に示すように、スラリ１０を内側の管４１の一端か
らスラリ１０を取り入れ、上方の多数の孔４２から外管
４３の内部に送り込み、外管４３内部のスラリ２０を外
管４３の下方のスリット４４からインゴット７およびス
ラリ案内体３の表面に供給する。ここのスリット４４
は、スラリ１０の取り入れ側端部、つまり上流側から下
流側まで同じ開口でも、二重管の整流作用により、各部
でスラリ１０を均一に供給できるようになっている。
図４に示すように、スラリ１０を内側の管４１の一端か
らスラリ１０を取り入れ、上方の多数の孔４２から外管
４３の内部に送り込み、外管４３内部のスラリ２０を外
管４３の下方のスリット４４からインゴット７およびス
ラリ案内体３の表面に供給する。ここのスリット４４
は、スラリ１０の取り入れ側端部、つまり上流側から下
流側まで同じ開口でも、二重管の整流作用により、各部
でスラリ１０を均一に供給できるようになっている。
【００１３】次に、前記ワイヤソーのスラリ供給装置１
を用いて本実施例に係るワイヤソーのスラリ供給方法を
説明する。供給ノズル４によりスラリ１０を一端のスラ
リ案内体３の端部１６から他端のスラリ案内体３の端部
１６にわたって、インゴット７およびスラリ案内体３の
外周面の上側部分に下向きに供給すると、スラリ１０
は、インゴット７の切断位置で、インゴット７およびス
ラリ案内体３の外周面に沿って自然流下する。
を用いて本実施例に係るワイヤソーのスラリ供給方法を
説明する。供給ノズル４によりスラリ１０を一端のスラ
リ案内体３の端部１６から他端のスラリ案内体３の端部
１６にわたって、インゴット７およびスラリ案内体３の
外周面の上側部分に下向きに供給すると、スラリ１０
は、インゴット７の切断位置で、インゴット７およびス
ラリ案内体３の外周面に沿って自然流下する。
【００１４】この自然流下の際、インゴット７およびス
ラリ案内体３の外周面における撥水作用、スラリ１０の
粘性、表面張力、自然流下速度の増大により、スラリ１
０の流下域１１が下方に行くにしたがって狭くなろうと
する。しかし、スラリ１０の流下域１１をインゴット７
の端部１２からスラリ案内体３の外周面まで拡大させた
ので、従来、スラリ７の供給が不可能であったインゴッ
ト７の端部１２で、かつ下側の切断位置１３にもスラリ
１０を容易に供給することができる。したがって、イン
ゴット７の切断不良をなくし、加工精度を向上させるこ
とができる。
ラリ案内体３の外周面における撥水作用、スラリ１０の
粘性、表面張力、自然流下速度の増大により、スラリ１
０の流下域１１が下方に行くにしたがって狭くなろうと
する。しかし、スラリ１０の流下域１１をインゴット７
の端部１２からスラリ案内体３の外周面まで拡大させた
ので、従来、スラリ７の供給が不可能であったインゴッ
ト７の端部１２で、かつ下側の切断位置１３にもスラリ
１０を容易に供給することができる。したがって、イン
ゴット７の切断不良をなくし、加工精度を向上させるこ
とができる。
【００１５】また、供給ノズル１４からメインローラ５
の外周面にスラリ１０を供給すると含有冷却油によりメ
インローラ５は冷却され、冷却温度で熱的平衡が得ら
れ、メインローラ５の軸方向に熱膨張による伸びが生じ
ない。したがって、メインローラ５は熱的に安定であ
り、インゴット７の切断位置１３に熱膨張によるずれが
発生せず、加工精度が向上する。なお、本発明は、断面
矩形状その他の形状のインゴット７の切断に適用するこ
ともできる。
の外周面にスラリ１０を供給すると含有冷却油によりメ
インローラ５は冷却され、冷却温度で熱的平衡が得ら
れ、メインローラ５の軸方向に熱膨張による伸びが生じ
ない。したがって、メインローラ５は熱的に安定であ
り、インゴット７の切断位置１３に熱膨張によるずれが
発生せず、加工精度が向上する。なお、本発明は、断面
矩形状その他の形状のインゴット７の切断に適用するこ
ともできる。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、インゴットおよびスラリ案内体の表面に沿っ
てスラリを自然流下させるとき、スラリの流下域をイン
ゴットの端部からスラリ案内体の表面まで拡大させるこ
とができる。したがって、従来スラリの供給が不可能で
あったインゴットの端部で、かつ下側の切断位置にスラ
リを容易に供給できるので、インゴットの切断不良をな
くし、加工精度を向上させることができる。
によれば、インゴットおよびスラリ案内体の表面に沿っ
てスラリを自然流下させるとき、スラリの流下域をイン
ゴットの端部からスラリ案内体の表面まで拡大させるこ
とができる。したがって、従来スラリの供給が不可能で
あったインゴットの端部で、かつ下側の切断位置にスラ
リを容易に供給できるので、インゴットの切断不良をな
くし、加工精度を向上させることができる。
【００１７】また、本発明によれば、供給ノズルからメ
インローラの外周面にスラリが供給されているので、含
有冷却油によりメインローラが冷却され、冷却温度で熱
的平衡が得られ、メインローラの軸方向に熱膨張による
伸びが生じない。したがってメインローラは熱的に安定
であり、インゴットの切断位置にずれが発生せず、加工
精度が向上する。
インローラの外周面にスラリが供給されているので、含
有冷却油によりメインローラが冷却され、冷却温度で熱
的平衡が得られ、メインローラの軸方向に熱膨張による
伸びが生じない。したがってメインローラは熱的に安定
であり、インゴットの切断位置にずれが発生せず、加工
精度が向上する。
【００１８】また供給ノズルが二重管式のものであれ
ば、スラリの供給が均一となり、切断や冷却動作が安定
となる。
ば、スラリの供給が均一となり、切断や冷却動作が安定
となる。
【図１】ワイヤソーのスラリ供給方法の装置を示す正面
図である。
図である。
【図２】スラリ供給状況の拡大側面図である。
【図３】単管式の供給ノズルの拡大水平断面図である。
【図４】二重管式の供給ノズルの拡大垂直断面図であ
る。
る。
１ ワイヤソーのスラリ供給装置 ２ ワイヤソー ３ スラリ案内体 ４ 供給ノズル ５ メインローラ ６ ワイヤ ７ インゴット ８ 加工テーブル ９ ホルダ １０ スラリ １１ スラリの流下域 １２ インゴットの端部 １３ インゴットの切断位置 １４ 供給ノズル １５ ワイヤ列 １６ スラリ案内体の端部 ４１ 内管 ４２ 孔 ４３ 外管 ４４ スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 5/04 B24B 27/06 B28D 7/02 H01L 21/304
Claims (4)
- 【請求項１】 水平に配置したインゴット（７）の表面
にスラリ（１０）を供給しつつ、走行状態のワイヤ列
（１５）にインゴット（７）を押し付けて、インゴット
（７）を多数の薄板に切断するワイヤソー（２）におい
て、 インゴット（７）の端部（１２）にほぼ同じ断面形状の
スラリ案内体（３）を取り付け、インゴット（７）およ
びスラリ案内体（３）の上方に、インゴット（７）の長
手方向全長にわたって開口する供給ノズル（４）を配置
し、この供給ノズル（４）からスラリ（１０）をインゴ
ット（７）およびスラリ案内体（３）の表面に供給する
ことにより、インゴット（７）およびスラリ案内体
（３）の表面に沿ってスラリ（１０）を自然流下させ、
スラリ（１０）の流下域（１１）をインゴット（７）の
端部（１２）からスラリ案内体（３）の表面まで拡大す
ることを特徴とするワイヤソーのスラリ供給方法。 - 【請求項２】 水平に配置したインゴット（７）の表面
および複数のメインローラ（５）にスラリ（１０）を供
給しつつ、メインローラ（５）に多重に巻き掛けられた
ワイヤ列（１５）を走行させ、このワイヤ列（１５）に
インゴット（７）を押し付けて、インゴット（７）を多
数の薄板に切断するワイヤソー（２）において、 インゴット（７）の端部（１２）にほぼ同じ断面形状の
スラリ案内体（３）を取り付け、メインローラ（５）の
上方、インゴット（７）およびスラリ案内体（３）の上
方に、インゴット（７）の長手方向全長にわたって開口
する供給ノズル（４、１４）を配置し、この供給ノズル
（４、１４）からスラリ（１０）をメインローラ
（５）、インゴット（７）およびスラリ案内体（３）の
表面に供給することにより、メインローラ（５）、イン
ゴット（７）およびスラリ案内体（３）の表面に沿って
スラリ（１０）を自然流下させ、インゴット（７）の切
断位置でスラリ（１０）の流下域（１１）をインゴット
（７）の端部（１２）からスラリ案内体（３）の表面ま
で拡大することを特徴とするワイヤソーのスラリ供給方
法。 - 【請求項３】 水平に配置したインゴット（７）の表面
および複数のメインローラ（５）にスラリ（１０）を供
給しつつ、メインローラ（５）に多重に巻き掛けられた
ワイヤ列（１５）を走行させ、このワイヤ列（１５）に
インゴット（７）を押し付けて、インゴット（７）を多
数の薄板に切断するワイヤソー（２）において、 インゴット（７）の端部（１２）にほぼ同じ断面形状の
スラリ案内体（３）を取り付け、メインローラ（５）の
上方、インゴット（７）およびスラリ案内体（３）の上
方に、インゴット（７）の長手方向全長にわたって水平
な二重管式の供給ノズル（４、１４）を配置し、この供
給ノズル（４、１４）の内管（４１）の内部にスラリ
（１０）を供給して、スラリ（１０）を内管（４１）の
上方の孔（４２）から外管（４３）の内部に送り込み、
外管（４３）内部のスラリ（１０）を外管（４３）の下
方のスリット（４４）からメインローラ（５）、インゴ
ット（７）およびスラリ案内体（３）の表面に供給する
ことにより、メインローラ（５）、インゴット（７）お
よびスラリ案内体（３）の表面に沿ってスラリ（１０）
を自然流下させ、インゴット（７）の切断位置でスラリ
（１０）の流下域（１１）をインゴット（７）の端部
（１２）からスラリ案内体（３）の表面まで拡大するこ
とを特徴とするワイヤソーのスラリ供給方法。 - 【請求項４】 走行状態のワイヤ列（１５）にインゴッ
ト（７）を押し付けて、インゴット（７）を多数の薄板
に切断するワイヤソー（２）において、 切断部位または／およびメインローラ（５）にスラリ
（１０）を供給するスラリ供給ノズル（４、１４）を内
管（４１）の内部にスラリ（１０）を供給して、スラリ
（１０）を内管（４１）の上方の孔（４２）から外管
（４３）の内部に送り込み、外管（４３）の内部のスラ
リ（１０）を外管（４３）の下方のスリット（４４）か
ら供給したことを特徴とするスラリ供給ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35346493A JP3323621B2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35346493A JP3323621B2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195358A JPH07195358A (ja) | 1995-08-01 |
| JP3323621B2 true JP3323621B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=18431030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35346493A Expired - Lifetime JP3323621B2 (ja) | 1993-12-29 | 1993-12-29 | ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3323621B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220025507A (ko) * | 2020-08-24 | 2022-03-03 | 에스케이실트론 주식회사 | 와이어 쏘잉 장치 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW383249B (en) | 1998-09-01 | 2000-03-01 | Sumitomo Spec Metals | Cutting method for rare earth alloy by annular saw and manufacturing for rare earth alloy board |
| MY126994A (en) | 1999-12-14 | 2006-11-30 | Hitachi Metals Ltd | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
| DE60033574T2 (de) * | 2000-05-31 | 2007-11-15 | Memc Electronic Materials S.P.A. | Drahtsäge und verfahren zum gleichzeitigen schneiden von halbleiterbarren |
| JP4387361B2 (ja) * | 2003-10-27 | 2009-12-16 | 三菱電機株式会社 | マルチワイヤソー |
| JP4839137B2 (ja) * | 2006-06-05 | 2011-12-21 | トーヨーエイテック株式会社 | ワイヤソー |
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