KR102448143B1 - 와이어 쏘잉 장치 - Google Patents

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Abstract

본 실시예의 와이어 쏘잉 장치는, 나란히 배치되고, 촘촘한 간격으로 와이어가 감긴 제1,2 메인 롤러; 상기 제1,2 메인 롤러 사이에 승강 가능하게 구비되고, 잉곳의 길이 방향으로 잉곳의 상단을 지지하는 잉곳 장착부; 및 상기 제1,2 메인 롤러와 잉곳 장착부 사이의 상측에 구비되고, 상기 제1,2 메인 롤러에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급부를 포함하고, 상기 슬러리 공급부는, 상기 제1,2 메인 롤러의 중간 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 미드용 파이프(mid type pipe)와, 상기 미드용 파이프와 나란히 배치되고, 상기 제1,2 메인 롤러의 양단 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 에지용 파이프(edge type pipe)를 포함한다.

Description

와이어 쏘잉 장치 {WIRE SAWING APPARATUS}
본 발명은 슬러리가 분사된 와이어에 의해 잉곳을 웨이퍼 형태로 절단하는 와이어 쏘잉 장치에 관한 것으로서, 특히 와이어에 슬러리를 균일하게 분사시킬 수 있는 와이어 쏘잉 장치에 관한 것이다.
일반적으로 실리콘 잉곳의 성장(Growth) 공정이 완료되면, 실리콘 잉곳을 웨이퍼로 제조하기 위하여 실리콘 잉곳(Ingot)을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정(Slicing process)이 진행된다.
이러한 슬라이싱 공정에는 여러 가지 방식이 있는데, 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간 당 생산 수율을 향상시킬 수 있는 와이어 쏘우 장치가 현재 널리 사용되고 있다.
이와 같은, 와이어 쏘우 장치는 고장력 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 방법이다.
한 쌍의 메인 롤러 사이에 와이어가 연쇄적으로 감겨진 상태이고, 각각의 머신부에 장착된 메인 롤러들이 회전되면, 와이어가 고속으로 왕복 또는 한쪽 방향으로 슬러리를 묻혀 이동되고, 잉곳이 메인 롤러들 사이의 와이어로 내려오면, 와이어에 의해 잉곳의 외주연부터 내측으로 절단된다.
도 1은 종래의 와이어 쏘잉 장치에 의해 절단된 웨이퍼 형상이 개략적으로 도시된 도면이다.
종래의 와이어 쏘잉 장치에 의해 슬라이싱 공정이 진행되는 동안, 열팽창 및 수축을 제어하기 위하여 와이어를 향하여 슬러리가 분사된다.
하지만, 잉곳과 와이어의 마찰열로 인하여 잉곳은 중심을 기준으로 전후 길이 방향으로 열 팽창이 일어나게 되는데, 잉곳과 와이어의 접촉 면적이 상대적으로 큰 잉곳의 절단 중반부에 잉곳의 팽창이 가장 크게 발생되는 반면, 잉곳과 와이어의 접촉 면적이 상대적으로 작은 잉곳의 절단 초반부과 후반부에서 잉곳의 수축이 발생된다.
따라서, 잉곳의 절단 초반부와 후반부에서 웨이퍼의 휨 불량이 상대적으로 크게 나타나고, 웨이퍼의 휨(warp) 관련 품질이 저하되는 문제점이 있다.
최근에 슬러리의 균일한 분사를 위하여 이중관 형태의 슬러리 분사부가 많이 적용되는데, 이중관 형태의 슬러리 분사부는 이너 파이프에서 오버 플로우되는 슬러리를 아우터 파이프를 통하여 와이어에 분사시키도록 구성된다.
그런데, 설정 유량 이하의 슬러리가 이중관 형태의 슬러리 분사부에 공급될 경우, 상대적으로 유로 손실이 크게 발생하여 슬러리가 불균일하게 분사되고, 이로 인하여 잉곳의 시드부와 테일부에서 웨이퍼의 휨(warp) 관련 품질 차이가 더욱 크게 나타나는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 잉곳의 부위별로 슬러리를 균일하게 분사시킬 수 있는 와이어 쏘잉 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 잉곳의 부위별로 슬러리의 유량을 제어할 수 있는 와이어 쏘잉 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 실시예의 와이어 쏘잉 장치는, 나란히 배치되고, 촘촘한 간격으로 와이어가 감긴 제1,2 메인 롤러; 상기 제1,2 메인 롤러 사이에 승강 가능하게 구비되고, 잉곳의 길이 방향으로 잉곳의 상단을 지지하는 잉곳 장착부; 및 상기 제1,2 메인 롤러와 잉곳 장착부 사이의 상측에 구비되고, 상기 제1,2 메인 롤러에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급부를 포함하고, 상기 슬러리 공급부는, 상기 제1,2 메인 롤러의 중간 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 미드용 파이프(mid type pipe)와, 상기 미드용 파이프와 나란히 배치되고, 상기 제1,2 메인 롤러의 양단 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 에지용 파이프(edge type pipe)를 포함한다.
상기 미드용 파이프와 에지용 파이프는, 슬러리가 오버 플로우되는 복수개의 노즐이 상측에 구비된 이너 파이프(inner pipe)와, 상기 이너 파이프를 감싸고, 상기 이너 파이프에서 오버 플로우된 슬러리를 상기 와이어로 공급하는 공급홀이 하측에 길이 방향으로 길게 구비된 아우터 파이프(outer pipe)로 구성될 수 있다.
상기 에지용 파이프의 내경은, 상기 미드용 파이프의 내경 보다 작게 형성될 수 있다.
상기 에지용 파이프의 내경은, 상기 미드용 파이프의 내경에 비해 절반 이하로 형성될 수 있다.
상기 미드용 파이프는, 길이 방향으로 중간 구간에만 소정 간격을 두고 복수개의 미드 노즐이 구비될 수 있다.
상기 미드용 파이프는, 길이 방향으로 양단 구간 보다 중간 구간에 상대적으로 직경이 크거나, 좁은 간격을 두고 복수개의 미드 노즐이 구비될 수 있다.
상기 에지용 파이프는, 길이 방향으로 에지 구간에만 소정 간격을 두고 복수개의 에지 노즐이 구비될 수 있다.
상기 에지용 파이프는, 길이 방향으로 중간 구간 보다 양단 구간에 상대적으로 직경이 크거나, 좁은 간격을 두고 복수개의 에지 노즐이 구비될 수 있다.
상기 슬러리 공급부는, 상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 분지되는 공급 유로와, 상기 공급 유로에 슬러리를 공급하는 펌프와, 상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 공급되는 슬러리의 공급량을 제어하는 유량 제어 수단을 포함할 수 있다.
상기 유량 제어 수단은, 상기 미드용 파이프와 에지용 파이프 내부에 각각 설치된 복수개의 유량계와, 상기 공급 유로의 분지 부분에 설치되고, 상기 유량계들의 측정값에 따라 상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 공급되는 유량을 조절하는 유량 조절 밸브를 포함할 수 있다.
본 실시예의 와이어 쏘잉 장치는 미드용 파이프와 에지용 파이프를 별도로 구성하여 슬러리를 이원화할 수 있고, 미드용 파이프와 에지용 파이프로 각각 공급되는 유량을 유량계 및 유량 제어 밸브를 통하여 피드백 제어하여 잉곳의 부위별 슬러리의 유량을 피드백 제어할 수 있다.
따라서, 와이어 쏘잉 공정 중 잉곳을 절단하는 와이어 전체에 걸쳐 슬러리를 균일하게 분사시킬 수 있으므로, 잉곳 내에서 절단면 형상의 산포를 제어할 수 있고, 나아가 웨이퍼의 휨 불량을 개선시키는 동시에 웨이퍼의 휨 관련 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래의 와이어 쏘잉 장치에 의해 절단된 웨이퍼 형상이 개략적으로 도시된 도면.
도 2는 본 실시예의 와이어 쏘잉 장치가 개략적으로 도시된 정면도.
도 3은 본 실시에에 적용된 슬러리 파이프가 도시된 정단면도.
도 4는 본 실시예에 적용된 슬러리 공급부가 개략적으로 도시된 사시도.
도 5 내지 도 7은 도 4에 적용 가능한 슬러리 파이프의 다양한 실시예가 도시된 사시도.
도 8 내지 도 9는 본 실시예에 적용된 미드용 파이프와 에지용 파이프에서 각각 슬러리 분사 형태가 도시된 도면.
도 10은 본 실시예의 와이어 쏘잉 장치에 의해 절단된 웨이퍼 형상이 개략적으로 도시된 도면.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다.
도 2는 본 실시예의 와이어 쏘잉 장치가 개략적으로 도시된 정면도이고, 도 3은 본 실시에에 적용된 슬러리 파이프가 도시된 정단면도이며, 도 4는 본 실시예에 적용된 슬러리 공급부가 개략적으로 도시된 사시도이다.
본 실시예의 와이어 쏘잉 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 와이어(W)와, 제1,2 메인 롤러(110,120)과, 잉곳 장착부(130)와, 정온 배쓰(140)와, 슬러리 공급부를 포함한다.
와이어(W)는 단결정 잉곳을 절단할 수 있는 피아노 와이어 또는 고장력 와이어가 사용되는데, 높은 장력과 높은 강도를 견딜 수 있는 재질로 구성될 수 있다.
와이어(W)는 별도의 공급 롤러(미도시)와 회수 롤러(미도시)에 의해 공급 및 회수되고, 제1,2 메인 롤러(110,120) 사이에 일정 간격을 두고 연쇄적으로 감기도록 설치될 수 있다.
제1,2 메인 롤러(110,120)는 수평 방향으로 소정 간격을 두고 설치되고, 각각 회전 가능하게 설치된다. 제1,2 메인 롤러(110,120)의 축방향 일단이 머신부(미도시)에 장착되고, 머신부(미도시)에 내장된 구동 모터(미도시)에 의해 제1,2 메인 롤러(110,120)가 회전될 수 있다.
제1,2 메인 롤러(110,120)의 외주면에는 와이어(W)가 감길 수 있는 홈이 구비될 수 있으며, 와이어(W)가 제1,2 메인 롤러(110,120)에 감긴 간격에 따라 슬라이싱되는 웨이퍼의 개수 및 두께가 설정될 수 있다.
잉곳 장착부(130)는 일종의 빔 형태로서, 잉곳(IG)의 축방향으로 잉곳(IG)의 상단을 지지하도록 구성되고, 잉곳(IG)을 상하 방향으로 승강시킬 수 있도록 구성된다.
잉곳 장착부(130)는 잉곳(IG)의 상단이 접착되는 워크 플레이트와, 워크 플레이트의 상면을 고정시키는 클램프를 포함할 수 있으며, 워크 플레이트 및 클램프는 잉곳(IG)과 마찬가지로 길이 방향으로 길게 형성될 수 있다.
정온 배쓰(140)는 제1,2 메인 롤러(110,120) 사이에 구비되는데, 잉곳 장착부(130)가 승강됨에 따라 잉곳 장착부(130)에 장착된 잉곳이 와이어(W)에 의해 절단된 직후에 바로 정온 배쓰(140)에 수용될 수 있다.
즉, 정온 배쓰(140)는 제1,2 메인 롤러(110,120)의 상단에 지지된 와이어들(W)과 제1,2 메인 롤러(110,120)의 하단에 지지된 와이어들(W) 사이에 위치될 수있다.
슬러리 공급부는 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 잉곳(IG)과 교차하게 배치되는 와이어(W)에 슬러리를 균일하게 공급하도록 구성되는데, 미드용 파이프(150)와, 에지용 파이프(160)와, 공급 유로(171)와, 펌프(172)와, 유량 조절 밸브(173) 및 유량계들(174a,174b)를 포함할 수 있다.
미드용 파이프(150)는 제1,2 메인 롤러(110,120)의 중간 부분에 감긴 와이어(W)에 슬러리를 공급하도록 구비되는데, 잉곳 장착부(130)의 양측에 한 쌍이 나란히 구비될 수 있다.
에지용 파이프(160)는 제1,2 메인 롤러(110,120)의 양단 부분에 감긴 와이어(W)에 슬러리를 공급하도록 구비되는데, 제1,2 메인 롤러(110,120)의 내측에 한 쌍이 나란히 구비될 수 있다.
잉곳 장착부(130)를 기준으로 양측에 한 쌍의 미드용 파이프(150)가 구비되고, 미드용 파이프들(150) 양측에 한 쌍의 에지용 파이프(160)가 구비될 수 있으며, 한정되지 아니한다.
미드용 파이프(150)와 에지용 파이프(160)는 각각 이중관 형태로 구성될 수 있는데, 이너 파이프(inner pipe : 151,161) 외측에 아우터 파이프(outer pipe : 152,162)가 감싸도록 구성되는데, 이너 파이프(151,161) 상측에 복수개의 노즐(151h,161h)이 구비되고, 아우터 파이프(152,162) 하측에 길이 방향으로 긴 공급홀(152h,162h)이 구비될 수 있다.
따라서, 이너 파이프(151,161)로 공급된 슬러리는 복수개의 노즐(151h,161h)을 통하여 오버 플로우(over-flow)되고, 이너 파이프(151,161)와 아우터 파이프(152,162) 사이의 공간을 따라 흘러내린 다음, 공급홀(152h,162h)을 통하여 와이어(W)로 공급될 수 있다.
미드용 파이프(150)의 노즐들(151h) 배치와 에지용 파이프(160)의 노즐들(161h) 배치는 다양하게 구성될 수 있으며, 하기에서 자세히 설명하기로 한다.
한편, 미드용 파이프(150)에 비해 에지용 파이프(160)에서 슬러리를 더욱 균일하게 분사시키기 위하여, 미드용 파이프(150) 내에서 슬러리의 유속에 비해 에지용 파이프(160) 내에서 슬러리의 유속이 더 높게 형성시킬 수 있다.
이를 위하여, 미드용 파이프(150)의 내경에 비해 에지용 파이프(160)의 내경을 작게 구성할 수 있는데, 상세하게는 미드용 파이프(150) 측 이너 파이프(151 : 이하, 미드용 이너 파이프)의 내경(D)에 비해 에지용 파이프(160) 측 이너 파이프(161 : 이하, 에지용 이너 파이프)의 내경(d)을 작게 구성할 수 있으며, 에지용 이너 파이프(161)의 내경(d)이 미드용 이너 파이프(151)의 내경(D)에 절반 이하의 크기로 구성되는 것이 바람직하다.
공급 유로(171)는 슬러리를 동시에 공급하기 위하여 미드용 파이프(150)와 에지용 파이프(160)에 연결될 수 있다. 미드용 파이프(150)와 에지용 파이프(160)의 개수만큼 공급 유로(171)의 분지 유로가 형성될 수 있고, 공급 유로(171)의 분지 유로에 각각 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)가 나란히 연결될 수 있으며, 공급 유로(171)를 통하여 각각 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)에 동시에 슬러리를 공급할 수 있다.
펌프(172)는 공급 유로(171)에 슬러리를 공급하도록 연결될 수 있다. 펌프(172)가 작동됨에 따라 설정 유량의 슬러리가 공급 유로(171)를 통하여 각각의 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)로 나뉘어져 공급될 수 있다.
유량 조절 밸브(173)는 공급 유로(171)의 분지 유로에 설치되는데, 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)로 공급되는 슬러리의 유량을 조절할 수 있다. 전체 공급되는 슬러리의 유량을 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)로 나누어줄 수 있다.
실시예에 따르면, 유량 조절 밸브(173)는 공급 유로(171)의 분지 유로 상에 각도 조절 가능하게 설치된 일종의 레버 밸브로 구성될 수 있으며, 레버 밸브의 각도를 조절하여 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)로 각각 공급되는 유량을 제어할 수 있다.
다른 실시예에 따르면, 유량 조절 밸브(173)는 공급 유로(171)의 분지 유로 상에 개도량 조절 가능하게 설치된 솔레노이드 밸브로 구성될 수 있으며, 솔레노이드 밸브의 개도량을 조절하여 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)로 각각 공급되는 유량을 제어할 수 있다.
유량계들(174a,174b)은 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161) 내부에 각각 설치되고, 미드용 이너 파이프(151)의 유량과 에지용 이너 파이프(161)의 유량을 각각 측정할 수 있다. 유량계들(174a,174b)의 측정값에 따라 유량 조절 밸브(173)의 작동을 피드백(feed-back) 제어함으로서, 잉곳의 부위별로 슬러리의 유량을 제어할 수 있다.
예를 들면, 미드용 이너 파이프(151)는 상대적으로 내경이 크게 구성됨에 따라 미드용 이너 파이프(151)의 유량이 과도하게 저하될 수 있고, 이로 인하여 슬러리가 불균일하게 분사되는 상태에서 잉곳이 절단될 수 있으므로, 잉곳의 부위별 웨이퍼의 휨 품질을 저하시킬 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 유량 조절 밸브(173)와 유량계들(174a,174b)은 미드용 이너 파이프(151)의 유량을 최소값 이상으로 유지될 수 있도록 피드백 제어할 수 있다.
실시예에 따르면, 공급 유로(171)의 슬러리 유량이 50 ~ 100L/min 인 경우, 공급 유로(171)의 슬러리 유량이 한 쌍의 미드용 이너 파이프(151)와 한 쌍의 에지용 이너 파이프(161)로 나뉘어지게 되는데, 미드용 이너 파이프(151)의 슬러리 유량이 적어도 12.5L/min 이상을 유지하도록 피드백 제어할 수 있으나, 한정되지 아니한다.
도 5 내지 도 7은 도 4에 적용 가능한 슬러리 파이프의 다양한 실시예가 도시된 사시도이고, 도 8 내지 도 9는 본 실시예에 적용된 미드용 파이프와 에지용 파이프에서 각각 슬러리 분사 형태가 도시된 도면이다.
제1실시예에 따르면, 도 5에 도시된 바와 같이 미드용 이너 파이프(151)는 길이 방향으로 중간 구간(a)에만 소정 간격을 두고 복수개의 미드 노즐(151h)이 구비될 수 있고, 에지용 이너 파이프(161)는 길이 방향으로 양단 구간(b,c)에만 소정 간격을 두고 복수개의 에지 노즐(161h)이 구비될 수 있다.
에지용 이너 파이프(161)는 미드용 이너 파이프(151) 보다 내경이 더 작게 구성되지만, 미드용 이너 파이프(151)와 에지용 이너 파이프(161)는 동일한 길이로 구성될 수 있다.
미드용 이너 파이프(151)에서 미드 노즐들(151h)이 형성된 중간 구간(a)과 에지용 이너 파이프(161)에서 에지 노즐들(161h)이 형성된 양단 구간(b,c)은 서로 겹치지 않게 구성되는 것이 바람직하며, 미드 노즐들(151h)과 에지 노즐들(161h)은 동일한 크기로 동일한 간격을 두고 형성될 수 있다.
미드용 이너 파이프(151)의 중간 구간(a)과 에지용 이너 파이프(161)의 양단 구간(b,c)은 그 길이가 같게 구성될 수 있는데, 미드용 이너 파이프(151)의 중간 구간(a)에 미드 노즐들(151h)이 26개 형성되고, 에지용 이너 파이프(161)의 양단 구간(b,c)에 에지 노즐들(161h)이 양측으로 각각 13개씩 형성될 수 있으나, 한정되지 아니한다.
제1실시예에 따르면, 미드용 이너 파이프(151)의 중간 구간(a)에서만 슬러리가 오버 플로우되고, 에지용 이너 파이프(161)의 양단 구간(b,c)에서만 슬러리가 오버 플로우될 수 있다.
제2실시예에 따르면, 도 6에 도시된 바와 같이 미드용 이너 파이프(251)는 길이 방향으로 양단 구간(b,c) 보다 중간 구간(a)에 상대적으로 직경이 큰 복수개의 미드 노즐(251h)이 구비될 수 있고, 에지용 이너 파이프(261)는 길이 방향으로 중간 구간(a) 보다 양단 구간(b,c)에 상대적으로 직경이 큰 복수개의 에지 노즐(261h)이 구비될 수 있다.
제3실시예에 따르면, 도 7에 도시된 바와 같이 미드용 이너 파이프(351)는 길이 방향으로 양단 구간(b,c) 보다 중간 구간(a)에 상대적으로 좁은 간격을 두고 복수개의 미드 노즐(351h)이 구비될 수 있고, 에지용 이너 파이프(361)는 길이 방향으로 중간 구간(a) 보다 양단 구간(b,c)에 상대적으로 좁은 간격을 두고 복수개의 에지 노즐(361h)이 구비될 수 있다.
제2,3실시예에 따르면, 미드용 이너 파이프(251,351)의 중간 구간(a)에서 상대적으로 많은 량의 슬러리가 오버 플로우되고, 에지용 이너 파이프(261,361)의 양단 구간(b,c)에서 상대적으로 많은 량의 슬러리가 오버 플로우될 수 있다.
상기와 같이 구성된 미드용 파이프(150)와 에지용 파이프(160)의 작동을 도 8 내지 도 9를 참조하여 살펴보면, 다음과 같다.
슬러리(S)가 미드용 이너 파이프(151)로 공급되면, 도 8에 도시된 바와 같이 미드용 이너 파이프(151)의 중간 구간에서 오버 플로우되고, 미드용 이너 파이프(151)와 미드용 아우터 파이프(152) 사이를 통과한 다음, 길이 방향으로 길게 형성된 공급홀(152h)의 중간 구간을 통해 분사될 수 있다.
슬러리(S)가 에지용 이너 파이프(161)로 공급되면, 도 9에 도시된 바와 같이 에지용 이너 파이프(161)의 양단 구간에서 오버 플로우되고, 에지용 이너 파이프(161)와 에지용 아우터 파이프(162) 사이를 통과한 다음, 길이 방향으로 길게 형성된 공급홀(162h)의 양단 구간을 통해 분사될 수 있다.
미드용 파이프(150)의 슬러리 분사 구간과 에지용 파이프(160)의 슬러리 분사 구간은 길이 방향으로 서로 겹치지 않을 수 있으며, 길이 방향으로 서로 겹치더라도 전체 미드용 파이프(150)와 에지용 파이프(160)에서 분사되는 슬러리가 잉곳의 길이 방향에 걸쳐 균일하게 분사될 수 있다.
도 10은 본 실시예의 와이어 쏘잉 장치에 의해 절단된 웨이퍼 형상이 개략적으로 도시된 도면이다.
본 실시예의 와이어 쏘잉 장치에 의하면, 와이어 쏘잉 공정 중 미드용 파이프와 에지용 파이프에 의해 슬러리를 잉곳의 길이 방향으로 와이어 전체에 균일하게 분사시키거나, 슬러리를 잉곳의 길이 방향으로 중간 구간과 양단 구간에 다른 유량으로 공급할 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이 잉곳의 부위별 웨이퍼의 휨 불량이 개선될 뿐 아니라 웨이퍼의 휨 관련 품질이 향상된 것을 확인할 수 있다.
상세하게, 잉곳의 절단 초반부와 후반부에서 잉곳 내에서 절단면 형상의 산포가 개선되고, 잉곳의 테일과 근접한 위치에서 절단면 형상에 대한 산포가 뚜렷하게 개선된 것을 확인할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110 : 제1 메인 롤러 120 : 제2 메인 롤러
130 : 잉곳 장착부 140 : 정온 베쓰
150 : 미드용 파이프 160 : 에지용 파이프
171 : 공급 유로 172 : 펌프
173 : 유량 조절 밸브 174a,174b : 유량계

Claims (10)

  1. 나란히 배치되고, 촘촘한 간격으로 와이어가 감긴 제1,2 메인 롤러;
    상기 제1,2 메인 롤러 사이에 승강 가능하게 구비되고, 잉곳의 길이 방향으로 잉곳의 상단을 지지하는 잉곳 장착부; 및
    상기 제1,2 메인 롤러와 잉곳 장착부 사이의 상측에 구비되고, 상기 제1,2 메인 롤러에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급부를 포함하고,
    상기 슬러리 공급부는,
    상기 제1,2 메인 롤러의 중간 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 미드용 파이프(mid type pipe)와,
    상기 미드용 파이프와 나란히 배치되고, 상기 제1,2 메인 롤러의 양단 부분에 감긴 와이어에 슬러리를 공급하는 에지용 파이프(edge type pipe)와,
    상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 공급되는 슬러리의 공급량을 제어하는 유량 제어 수단을 포함하고,
    상기 에지용 파이프의 내경은,
    상기 미드용 파이프의 내경 보다 작게 형성되며,
    상기 유량 제어 수단은,
    상기 미드용 파이프 내에서 슬러리의 유속에 비해 상기 에지용 파이프 내에서 슬러리의 유속을 더 높게 제어하는 와이어 쏘잉 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미드용 파이프와 에지용 파이프는,
    슬러리가 오버 플로우되는 복수개의 노즐이 상측에 구비된 이너 파이프(inner pipe)와,
    상기 이너 파이프를 감싸고, 상기 이너 파이프에서 오버 플로우된 슬러리를 상기 와이어로 공급하는 공급홀이 하측에 길이 방향으로 길게 구비된 아우터 파이프(outer pipe)로 구성되는 와이어 쏘잉 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에지용 파이프의 내경은,
    상기 미드용 파이프의 내경에 비해 절반 이하로 형성되는 와이어 쏘잉 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 미드용 파이프는,
    길이 방향으로 중간 구간에만 소정 간격을 두고 복수개의 미드 노즐이 구비되는 와이어 쏘잉 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 미드용 파이프는,
    길이 방향으로 양단 구간 보다 중간 구간에 상대적으로 직경이 크거나, 좁은 간격을 두고 복수개의 미드 노즐이 구비되는 와이어 쏘잉 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 에지용 파이프는,
    길이 방향으로 에지 구간에만 소정 간격을 두고 복수개의 에지 노즐이 구비되는 와이어 쏘잉 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 에지용 파이프는,
    길이 방향으로 중간 구간 보다 양단 구간에 상대적으로 직경이 크거나, 좁은 간격을 두고 복수개의 에지 노즐이 구비되는 와이어 쏘잉 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 슬러리 공급부는,
    상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 분지되는 공급 유로와,
    상기 공급 유로에 슬러리를 공급하는 펌프를 포함하는 와이어 쏘잉 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 유량 제어 수단은,
    상기 미드용 파이프와 에지용 파이프 내부에 각각 설치된 복수개의 유량계와,
    상기 공급 유로의 분지 부분에 설치되고, 상기 유량계들의 측정값에 따라 상기 미드용 파이프와 에지용 파이프로 공급되는 유량을 조절하는 유량 조절 밸브를 포함하는 와이어 쏘잉 장치.
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