JP3194860B2 - スラリー粘度調整装置 - Google Patents
スラリー粘度調整装置Info
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水溶性スラリーを循環
させ、その途中でワイヤソーに対して当該水溶性スラリ
ーを供給するスラリー循環装置に付設されるスラリー粘
度調整装置に関するものである。
させ、その途中でワイヤソーに対して当該水溶性スラリ
ーを供給するスラリー循環装置に付設されるスラリー粘
度調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＳｉやＧａＡｓ等の硬脆材料の
インゴットの切断には、近年、ワイヤソーが頻繁に用い
られている。ワイヤソーにおけるワイヤの線径は８イン
チ以上のインゴットの切断の場合でも０．１８ｍｍφ程
度で済むので、内周刃による切断に比べて、収率が極め
て良いからである。
インゴットの切断には、近年、ワイヤソーが頻繁に用い
られている。ワイヤソーにおけるワイヤの線径は８イン
チ以上のインゴットの切断の場合でも０．１８ｍｍφ程
度で済むので、内周刃による切断に比べて、収率が極め
て良いからである。
【０００３】ところで、このワイヤソーによる切断で
は、研削液に研磨砥粒を混合したスラリーの供給が不可
欠であり、従来、このスラリーとして鉱物油をベースと
する研削液中に研磨砥粒を混合した油性スラリーが用い
られてきた。しかし、この油性スラリーを用いる場合に
は、被切断物にオイル（鉱物油）成分が付着するので、
切断後に当該オイル成分を除去することが必要となる。
そのために、従来、有機溶剤を用いて、被切断物に付着
しているオイル成分を除去していたが、有機溶剤の使用
は地球環境保全の立場からは好ましいものではなかっ
た。
は、研削液に研磨砥粒を混合したスラリーの供給が不可
欠であり、従来、このスラリーとして鉱物油をベースと
する研削液中に研磨砥粒を混合した油性スラリーが用い
られてきた。しかし、この油性スラリーを用いる場合に
は、被切断物にオイル（鉱物油）成分が付着するので、
切断後に当該オイル成分を除去することが必要となる。
そのために、従来、有機溶剤を用いて、被切断物に付着
しているオイル成分を除去していたが、有機溶剤の使用
は地球環境保全の立場からは好ましいものではなかっ
た。
【０００４】そこで、最近のワイヤソーによる切断で
は、油性スラリーに代わって、水溶性研削液中に研磨砥
粒を混合した水溶性スラリーを用いることが行われてい
る。この水溶性スラリーの一例について説明すれば、こ
の水溶性スラリーは、グリコール類、水溶性増粘剤およ
び水等で構成されている。
は、油性スラリーに代わって、水溶性研削液中に研磨砥
粒を混合した水溶性スラリーを用いることが行われてい
る。この水溶性スラリーの一例について説明すれば、こ
の水溶性スラリーは、グリコール類、水溶性増粘剤およ
び水等で構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな水溶性スラリーをワイヤソーによる切断に用いる場
合、ワイヤソーによるワークの切断の際に生じる熱によ
って、水溶性スラリー中の水が蒸発し、その水の蒸発に
よって水溶性スラリーの粘度が上昇して、経時的にワー
クの切断が円滑に行われなくなるとともに、水溶性スラ
リーの寿命が短くなってしまうという問題を生じた。
うな水溶性スラリーをワイヤソーによる切断に用いる場
合、ワイヤソーによるワークの切断の際に生じる熱によ
って、水溶性スラリー中の水が蒸発し、その水の蒸発に
よって水溶性スラリーの粘度が上昇して、経時的にワー
クの切断が円滑に行われなくなるとともに、水溶性スラ
リーの寿命が短くなってしまうという問題を生じた。
【０００６】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、水溶性スラリーの粘度を一定に保つスラ
リー粘度調節装置を提供することを目的としている。
されたもので、水溶性スラリーの粘度を一定に保つスラ
リー粘度調節装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
水溶性スラリーを循環させ、その途中でワイヤソーに対
して当該水溶性スラリーを供給するスラリー循環装置に
付設されるスラリー粘度調整装置であって、前記ワイヤ
ソーに供給される前記水溶性スラリーの粘度に応じて、
当該水溶性スラリーに適量の水を補給して当該水溶性ス
ラリーの粘度を所定値に保つように構成されていること
を特徴とする。
水溶性スラリーを循環させ、その途中でワイヤソーに対
して当該水溶性スラリーを供給するスラリー循環装置に
付設されるスラリー粘度調整装置であって、前記ワイヤ
ソーに供給される前記水溶性スラリーの粘度に応じて、
当該水溶性スラリーに適量の水を補給して当該水溶性ス
ラリーの粘度を所定値に保つように構成されていること
を特徴とする。
【０００８】請求項２記載の発明は、水溶性スラリーを
循環させ、その途中でワイヤソーに対して当該水溶性ス
ラリーを供給するスラリー循環装置に付設されるスラリ
ー粘度調整装置であって、前記ワイヤソーに供給される
前記水溶性スラリーの粘度を監視するスラリー粘度監視
装置と、前記スラリーの粘度に応じて当該水溶性スラリ
ーに適量の水を補給して当該水溶性スラリーの粘度を所
定値に保つ水補給装置とを備えたことを特徴とする。
循環させ、その途中でワイヤソーに対して当該水溶性ス
ラリーを供給するスラリー循環装置に付設されるスラリ
ー粘度調整装置であって、前記ワイヤソーに供給される
前記水溶性スラリーの粘度を監視するスラリー粘度監視
装置と、前記スラリーの粘度に応じて当該水溶性スラリ
ーに適量の水を補給して当該水溶性スラリーの粘度を所
定値に保つ水補給装置とを備えたことを特徴とする。
【０００９】また、前記スラリー粘度監視装置は、前記
水溶性スラリーの質量流量、スラリー密度およびスラリ
ー温度に基づいてその時点での粘度を算出するように構
成されているものである。
水溶性スラリーの質量流量、スラリー密度およびスラリ
ー温度に基づいてその時点での粘度を算出するように構
成されているものである。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、水溶性スラリーの粘度
が常時監視され、その粘度が所定値よりも大きくなった
場合に、当該水溶性スラリーに適量の水が補給されて、
当該水溶性スラリーの粘度が適正な値に調整される。し
たがって、被切断物の切断面には、常に、粘度が適正に
保たれた水溶性スラリーが供給されるので、ワークの切
断面の品質を常に一定に保つことが可能になるととも
に、水溶性スラリーの寿命も延びることになる。
が常時監視され、その粘度が所定値よりも大きくなった
場合に、当該水溶性スラリーに適量の水が補給されて、
当該水溶性スラリーの粘度が適正な値に調整される。し
たがって、被切断物の切断面には、常に、粘度が適正に
保たれた水溶性スラリーが供給されるので、ワークの切
断面の品質を常に一定に保つことが可能になるととも
に、水溶性スラリーの寿命も延びることになる。
【００１１】
【実施の形態例】以下、図面に基いて実施形態のスラリ
ー粘度調整装置について説明する。
ー粘度調整装置について説明する。
【００１２】図１には、実施形態のスラリー粘度調整装
置が示されている。このスラリー粘度調整装置１はスラ
リー循環装置２に付設されている。
置が示されている。このスラリー粘度調整装置１はスラ
リー循環装置２に付設されている。
【００１３】まず、スラリー循環装置２について説明す
れば、スラリー循環装置２は、３基のローリング装置３
０を有するワイヤソー３におけるワイヤ３１と、ワーク
支持装置３２に取り付けられたワーク３３との接触部分
（以下「切断部」と言う）に対して水溶性スラリーを供
給するためのもので、水溶性スラリーを貯留するスラリ
ータンク２０と、このスラリータンク２０内の水溶性ス
ラリーを汲み上げて切断部へ供給するためのポンプ２１
とを含んで構成されている。そして、このスラリー循環
装置２では、ワイヤソー３に供給された水溶性スラリー
が回収され、必要に応じて、不図示の適当な処理（例え
ば上昇したスラリーの温度を下げるための冷却処理）が
施された後に、再びスラリータンク２０に戻されるよう
になっている。
れば、スラリー循環装置２は、３基のローリング装置３
０を有するワイヤソー３におけるワイヤ３１と、ワーク
支持装置３２に取り付けられたワーク３３との接触部分
（以下「切断部」と言う）に対して水溶性スラリーを供
給するためのもので、水溶性スラリーを貯留するスラリ
ータンク２０と、このスラリータンク２０内の水溶性ス
ラリーを汲み上げて切断部へ供給するためのポンプ２１
とを含んで構成されている。そして、このスラリー循環
装置２では、ワイヤソー３に供給された水溶性スラリー
が回収され、必要に応じて、不図示の適当な処理（例え
ば上昇したスラリーの温度を下げるための冷却処理）が
施された後に、再びスラリータンク２０に戻されるよう
になっている。
【００１４】次に、スラリー粘度調整装置１について説
明する。このスラリー粘度調整装置１は、大別すると、
粘度監視装置１０と、水補給装置１１とから構成されて
いる。このうち粘度監視装置１０は、ワイヤソー３に供
給される水溶性スラリーの質量流量およびスラリー密度
を測定する流量計１２と、流量計１２の入口と出口の差
圧を測定する差圧計１６と、前記スラリータンク２０内
の水溶性スラリーの温度を測定する測温手段１３と、水
溶性スラリーの質量流量、スラリー密度および温度から
その時点での粘度を算出する粘度解析装置１４とによっ
て構成されている。一方、水補給装置１１はソレノイド
バルブ１５を備えており、このソレノイドバルブ１５は
前記粘度解析装置１４からの信号によって開閉制御され
るようになっている。なお、粘度監視装置１０は、水溶
性スラリーの粘度を電気伝導度の測定を通じて監視する
ようになっていても良い。電気伝導度（／ｍＳ）とスラ
リー粘度（ ／ｄＰaＳ）との関係は図２で示すように平
行な関係にあるから、スラリー粘度の調整が容易であ
る。
明する。このスラリー粘度調整装置１は、大別すると、
粘度監視装置１０と、水補給装置１１とから構成されて
いる。このうち粘度監視装置１０は、ワイヤソー３に供
給される水溶性スラリーの質量流量およびスラリー密度
を測定する流量計１２と、流量計１２の入口と出口の差
圧を測定する差圧計１６と、前記スラリータンク２０内
の水溶性スラリーの温度を測定する測温手段１３と、水
溶性スラリーの質量流量、スラリー密度および温度から
その時点での粘度を算出する粘度解析装置１４とによっ
て構成されている。一方、水補給装置１１はソレノイド
バルブ１５を備えており、このソレノイドバルブ１５は
前記粘度解析装置１４からの信号によって開閉制御され
るようになっている。なお、粘度監視装置１０は、水溶
性スラリーの粘度を電気伝導度の測定を通じて監視する
ようになっていても良い。電気伝導度（／ｍＳ）とスラ
リー粘度（ ／ｄＰaＳ）との関係は図２で示すように平
行な関係にあるから、スラリー粘度の調整が容易であ
る。
【００１５】このように構成されたスラリー粘度調整装
置１によれば、水溶性スラリーの粘度が粘度監視装置１
０によって監視され、その粘度が所定値よりも大きくな
った場合に、ソレノイドバルブ１５が開かれて水が補給
され、当該水溶性スラリーの粘度が適正な値に調整され
る。
置１によれば、水溶性スラリーの粘度が粘度監視装置１
０によって監視され、その粘度が所定値よりも大きくな
った場合に、ソレノイドバルブ１５が開かれて水が補給
され、当該水溶性スラリーの粘度が適正な値に調整され
る。
【００１６】その結果、被切断物の切断面には、常に、
粘度が適正に保たれた水溶性スラリーが供給されるの
で、ワークの切断面の品質を常に一定に保つことが可能
になるとともに、水溶性スラリーの寿命も延びることに
なる。
粘度が適正に保たれた水溶性スラリーが供給されるの
で、ワークの切断面の品質を常に一定に保つことが可能
になるとともに、水溶性スラリーの寿命も延びることに
なる。
【００１７】以上、本発明者がなした実施形態について
説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定されず、
その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能である
ことはいうまでもない。
説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定されず、
その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能である
ことはいうまでもない。
【００１８】例えば、前記実施形態では、流量計１２で
水溶性スラリーの流量を測定し、この流量から粘度を算
出するようにしたが、毛管粘度計、落球粘度計、回転粘
度計その他の粘度計を使って、直接、粘度を求めるよう
にしても良い。
水溶性スラリーの流量を測定し、この流量から粘度を算
出するようにしたが、毛管粘度計、落球粘度計、回転粘
度計その他の粘度計を使って、直接、粘度を求めるよう
にしても良い。
【００１９】さらに、水溶性スラリーの水分率を、水分
計等で直接測定し、予め測定しておいた水溶性スラリー
の水分率と粘度の相関性より、粘度を求めるようにして
も良い。
計等で直接測定し、予め測定しておいた水溶性スラリー
の水分率と粘度の相関性より、粘度を求めるようにして
も良い。
【００２０】
【発明の効果】本発明の代表的な効果を述べれば、水溶
性スラリーを循環させ、その途中でワイヤソーに対して
当該水溶性スラリーを供給するスラリー循環装置に付設
されるスラリー粘度調整装置であって、前記ワイヤソー
に供給される前記水溶性スラリーの粘度に応じて、当該
水溶性スラリーに適量の水を補給して当該水溶性スラリ
ーの粘度を所定値に保つように構成されているので、ワ
ークの切断面の品質を常に一定に保つことが可能になる
とともに、水溶性スラリーの寿命も延びることになる。
性スラリーを循環させ、その途中でワイヤソーに対して
当該水溶性スラリーを供給するスラリー循環装置に付設
されるスラリー粘度調整装置であって、前記ワイヤソー
に供給される前記水溶性スラリーの粘度に応じて、当該
水溶性スラリーに適量の水を補給して当該水溶性スラリ
ーの粘度を所定値に保つように構成されているので、ワ
ークの切断面の品質を常に一定に保つことが可能になる
とともに、水溶性スラリーの寿命も延びることになる。
【図１】実施形態のスラリー粘度調整装置の概略構成図
である。
である。
【図２】電気伝導度とスラリー粘度との関係を示す図表
である。
である。
１ スラリー粘度調整装置 ２ スラリー循環装置 ３ スラリー濃度監視装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 和男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益 半導体工業株式会社内 (72)発明者 久保田 憲章 長野県更埴市大字屋代1393番地 長野電 子工業株式会社内 (72)発明者 小山 光文 長野県更埴市大字屋代1393番地 長野電 子工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−47649（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−2093（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−204749（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 57/02
Claims (3)
- 【請求項１】 水溶性スラリーを循環させ、その途中で
ワイヤソーに対して当該スラリーを供給するスラリー循
環装置に付設されるスラリー粘度調整装置であって、前
記スラリー循環装置における前記水溶性スラリーの粘度
を監視し、前記水溶性スラリーの粘度に応じて前記水溶
性スラリーに適量の水を補給し、前記ワイヤソーに供給
される前記水溶性スラリーの粘度を所定値に保つように
構成されていることを特徴とするスラリー粘度調整装
置。 - 【請求項２】 水溶性スラリーを循環させ、その途中で
ワイヤソーに対して当該スラリーを供給するスラリー循
環装置に付設されるスラリー粘度調整装置であって、前
記スラリー循環装置における前記水溶性スラリーの粘度
を監視するスラリー粘度監視装置と、前記スラリー粘度
監視装置によって監視された前記水溶性スラリーの粘度
に応じて当該水溶性スラリーに適量の水を補給して当該
水溶性スラリーの粘度を所定値に保つ水補給装置とを備
え、前記ワイヤソーに供給される前記水溶性スラリーの
粘度を所定値に保つように構成されていることを特徴と
するスラリー粘度調整装置。 - 【請求項３】 前記スラリー粘度監視装置は、前記水溶
性スラリーの質量流量、スラリー密度およびスラリー温
度に基づいてその時点での粘度を算出するように構成さ
れていることを特徴とする請求項２記載のスラリー粘度
調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32645795A JP3194860B2 (ja) | 1994-11-21 | 1995-11-21 | スラリー粘度調整装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-311155 | 1994-11-21 | ||
| JP31115594 | 1994-11-21 | ||
| JP32645795A JP3194860B2 (ja) | 1994-11-21 | 1995-11-21 | スラリー粘度調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08243920A JPH08243920A (ja) | 1996-09-24 |
| JP3194860B2 true JP3194860B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=26566605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32645795A Expired - Lifetime JP3194860B2 (ja) | 1994-11-21 | 1995-11-21 | スラリー粘度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3194860B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1287958A1 (en) * | 1996-03-26 | 2003-03-05 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd | Wire saw and method of slicing a cylindrical workpiece |
| TW383249B (en) | 1998-09-01 | 2000-03-01 | Sumitomo Spec Metals | Cutting method for rare earth alloy by annular saw and manufacturing for rare earth alloy board |
| CN1175961C (zh) | 1999-09-17 | 2004-11-17 | 株式会社新王磁材 | 稀土合金的切割方法和切割装置 |
| MY126994A (en) | 1999-12-14 | 2006-11-30 | Hitachi Metals Ltd | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
| US8960177B2 (en) * | 2008-12-20 | 2015-02-24 | Cabot Microelectronics Corporation | Wiresaw cutting method |
| WO2011095664A1 (es) * | 2010-02-03 | 2011-08-11 | Luis Castro Gomez | Aserrado de granito, demostracion y mejoras |
| KR101689753B1 (ko) * | 2013-10-30 | 2016-12-26 | 주식회사 엘지화학 | 활물질 슬러리의 점도 조절이 가능한 활물질 슬러리 믹싱 시스템 및 이를 이용한 활물질 슬러리의 점도 조절 방법 |
| KR101985801B1 (ko) * | 2015-07-02 | 2019-06-04 | 주식회사 엘지화학 | 전극 활물질 슬러리 점도 제어 방법 및 전극 활물질 슬러리 제조장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835833B2 (ja) * | 1974-06-24 | 1983-08-05 | 富士写真フイルム株式会社 | ケンマエキノ チヨウセイホウホウ |
| JPH07121496B2 (ja) * | 1992-01-06 | 1995-12-25 | ナーク株式会社 | 加工油の自動調合装置 |
| JP3010110B2 (ja) * | 1993-11-04 | 2000-02-14 | 日東電工株式会社 | 半導体装置 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP32645795A patent/JP3194860B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08243920A (ja) | 1996-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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