JP3389141B2 - スライシング用スラリーの評価方法及びスラリー - Google Patents
スライシング用スラリーの評価方法及びスラリーInfo
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- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
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- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/465—Cutting motion of tool has component in direction of moving work
- Y10T83/472—Wire tool
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソーを用いてシ
リコンインゴット，化合物半導体，石英ブロック等をス
ライシングする際に使用するスラリーの評価方法及びス
ラリーに関する。
リコンインゴット，化合物半導体，石英ブロック等をス
ライシングする際に使用するスラリーの評価方法及びス
ラリーに関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したシリコンインゴッ
トは、トップ及びテールを切断分離した後、外径研削，
オリエンテーションフラット加工等の工程を経て所定厚
みのウェーハにスライスされる。スライシングには、内
周刃を備えたスライサーが知られているが、最近ではウ
ェーハの大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる
切断が採用されるようになってきた。ワイヤソー切断装
置は、一般的には図１に示すように３本のグルーブロー
ラ１〜３を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４
に連結されている。グルーブローラ１〜３に複数回周回
させることにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態
でローラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力
が付与される。
トは、トップ及びテールを切断分離した後、外径研削，
オリエンテーションフラット加工等の工程を経て所定厚
みのウェーハにスライスされる。スライシングには、内
周刃を備えたスライサーが知られているが、最近ではウ
ェーハの大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる
切断が採用されるようになってきた。ワイヤソー切断装
置は、一般的には図１に示すように３本のグルーブロー
ラ１〜３を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４
に連結されている。グルーブローラ１〜３に複数回周回
させることにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態
でローラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力
が付与される。
【０００３】スライスされるインゴット９は、接着治具
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】使用されるスラリー１
１は、マルチワイヤ５でインゴット９から多数のウェー
ハを切り出す上で、砥粒がクーラントに分散した状態で
インゴット９の内部まで送り込まれることが要求され
る。スライシング中に切断条件が変動しないように、分
散状態が安定していることも重要である。更には、イン
ゴット９から切り出されたウェーハの表面に残留してい
るスラリー１１が容易に除去されることも、スラリー１
１に要求される特性の一つである。現状では、粘度，比
重及びｐＨによりスラリーの特性を評価しているに過ぎ
ない。粘度に関しては、一般に図４に示す回転円筒型粘
度計３０（Ｂ型粘度計）で測定している。すなわち、固
定子３４から金属線３３を介して吊下げられた内筒３１
と容器３２（外筒）を同軸に配置し、内筒３１と容器３
２の間に試料Ｓを入れ、容器３２を一定の回転速度で回
転させる。すると、試料Ｓの粘度に応じて内筒３１にも
回転方向に力が加わり、結果として金属線３３にねじり
モーメント（トルク）がかかる。ねじり量に従って金属
線３３の途中に取りつけた目盛り円盤３５が回転するの
で、この回転角を読み取れば粘度が求められる。比重に
関しては、浮きばかり式比重計で測定している。ｐＨに
関しては、電極式ｐＨ計で測定している。
１は、マルチワイヤ５でインゴット９から多数のウェー
ハを切り出す上で、砥粒がクーラントに分散した状態で
インゴット９の内部まで送り込まれることが要求され
る。スライシング中に切断条件が変動しないように、分
散状態が安定していることも重要である。更には、イン
ゴット９から切り出されたウェーハの表面に残留してい
るスラリー１１が容易に除去されることも、スラリー１
１に要求される特性の一つである。現状では、粘度，比
重及びｐＨによりスラリーの特性を評価しているに過ぎ
ない。粘度に関しては、一般に図４に示す回転円筒型粘
度計３０（Ｂ型粘度計）で測定している。すなわち、固
定子３４から金属線３３を介して吊下げられた内筒３１
と容器３２（外筒）を同軸に配置し、内筒３１と容器３
２の間に試料Ｓを入れ、容器３２を一定の回転速度で回
転させる。すると、試料Ｓの粘度に応じて内筒３１にも
回転方向に力が加わり、結果として金属線３３にねじり
モーメント（トルク）がかかる。ねじり量に従って金属
線３３の途中に取りつけた目盛り円盤３５が回転するの
で、この回転角を読み取れば粘度が求められる。比重に
関しては、浮きばかり式比重計で測定している。ｐＨに
関しては、電極式ｐＨ計で測定している。
【０００５】このようにして測定された特性値は、実際
にインゴット９をスライシングしている状態でのスラリ
ー１１の物性を正確に表わしたものとはいえず、ワイヤ
５の破断，ウェーハ破損，インゴット９から切り出され
たウェーハの相互密着，スラリー１１の装置内堆積等の
欠陥発生原因となることもあり、切断性能の予測には有
効でない。そこで、実際には、インゴット９のスライシ
ング試験からスラリー１１の適性を評価している。しか
し、インゴット９をスライシングして切断状況をテスト
するためには多大の時間と費用がかかり、スライシング
されるインゴット９が大口径化する傾向に伴って大きな
負担になっている。
にインゴット９をスライシングしている状態でのスラリ
ー１１の物性を正確に表わしたものとはいえず、ワイヤ
５の破断，ウェーハ破損，インゴット９から切り出され
たウェーハの相互密着，スラリー１１の装置内堆積等の
欠陥発生原因となることもあり、切断性能の予測には有
効でない。そこで、実際には、インゴット９のスライシ
ング試験からスラリー１１の適性を評価している。しか
し、インゴット９をスライシングして切断状況をテスト
するためには多大の時間と費用がかかり、スライシング
されるインゴット９が大口径化する傾向に伴って大きな
負担になっている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題を解消すべく案出されたものであり、スライシングに
用いるスラリーの流動特性（レオロジー）を簡便に測定
し、スライシングテストの必要なく実際のスライシング
に適したスラリーを提供することを目的とする。本発明
のスライシングスラリーの評価方法は、その目的を達成
するため、コーン・ プレート型粘度計を用い、剪断速度
が異なる条件下でスラリーの粘度を測定することを特徴
とする。すなわち、剪断速度が異なる条件下でスラリー
の粘度を測定し、粘度測定値からスラリーの流動特性
（レオロジー）を算出する。前掲の粘度計で測定したス
ラリーの粘度は、ワイヤソーを用いたインゴットのスラ
イシング中におけるスラリーの挙動を正確に予測する指
標として使用される。特に、剪断速度が２／秒のとき４
００〜７００ｍＰａ・秒、かつ剪断速度が３８０／秒の
とき５０〜３００ｍＰａ・秒であるとき、スライシング
に適したスラリーとなる。
題を解消すべく案出されたものであり、スライシングに
用いるスラリーの流動特性（レオロジー）を簡便に測定
し、スライシングテストの必要なく実際のスライシング
に適したスラリーを提供することを目的とする。本発明
のスライシングスラリーの評価方法は、その目的を達成
するため、コーン・ プレート型粘度計を用い、剪断速度
が異なる条件下でスラリーの粘度を測定することを特徴
とする。すなわち、剪断速度が異なる条件下でスラリー
の粘度を測定し、粘度測定値からスラリーの流動特性
（レオロジー）を算出する。前掲の粘度計で測定したス
ラリーの粘度は、ワイヤソーを用いたインゴットのスラ
イシング中におけるスラリーの挙動を正確に予測する指
標として使用される。特に、剪断速度が２／秒のとき４
００〜７００ｍＰａ・秒、かつ剪断速度が３８０／秒の
とき５０〜３００ｍＰａ・秒であるとき、スライシング
に適したスラリーとなる。
【０００７】
【実施の形態】ワイヤソー・スライスに使用されるスラ
リーは、油性スラリーと水性スラリーに大別される。油
性スラリーは、粒径約２０μｍの炭化ケイ素等の砥粒を
鉱油を主成分とする分散媒、いわゆる油性クーラントに
懸濁したものであり、広く使用されている。油性スラリ
ーは、砥粒を安定して分散・保持でき、コストが比較的
低いという長所があるが、引火性があるため長時間の無
人運転には不向きで、切り出されたウェーハの洗浄や装
置の清掃が容易でなく、使用後のスラリーを最終的に焼
却するため環境への影響も懸念される。他方、水性クー
ラントに砥粒を懸濁させた水性スラリーは、引火性がな
く、切り出されたウェーハや装置を水だけで容易に洗浄
でき、使用後のスラリーを生分解できるが、砥粒の分散
状態が不安定である。
リーは、油性スラリーと水性スラリーに大別される。油
性スラリーは、粒径約２０μｍの炭化ケイ素等の砥粒を
鉱油を主成分とする分散媒、いわゆる油性クーラントに
懸濁したものであり、広く使用されている。油性スラリ
ーは、砥粒を安定して分散・保持でき、コストが比較的
低いという長所があるが、引火性があるため長時間の無
人運転には不向きで、切り出されたウェーハの洗浄や装
置の清掃が容易でなく、使用後のスラリーを最終的に焼
却するため環境への影響も懸念される。他方、水性クー
ラントに砥粒を懸濁させた水性スラリーは、引火性がな
く、切り出されたウェーハや装置を水だけで容易に洗浄
でき、使用後のスラリーを生分解できるが、砥粒の分散
状態が不安定である。
【０００８】何れのスラリーにおいても、ワイヤ破断や
ウエーハ破損がなくインゴットをスライシングできるこ
と、スライシング後にワイヤ抜きが可能なこと、スライ
シングされたウェーハが容易に剥離されること、装置内
部に砥粒が堆積しないこと、中心厚，ＴＴＶ等のウェー
ハ精度が良好であること、スライシング中にスラリーの
粘度変化が小さいこと等が要求される。スライシング実
施の上で重要なスラリーの物性値としては、粘度，比重
及びｐＨがある。特に粘度はワイヤとインゴットの接触
点へのスラリーの供給や除去に大きく影響するため重要
な物性値である。
ウエーハ破損がなくインゴットをスライシングできるこ
と、スライシング後にワイヤ抜きが可能なこと、スライ
シングされたウェーハが容易に剥離されること、装置内
部に砥粒が堆積しないこと、中心厚，ＴＴＶ等のウェー
ハ精度が良好であること、スライシング中にスラリーの
粘度変化が小さいこと等が要求される。スライシング実
施の上で重要なスラリーの物性値としては、粘度，比重
及びｐＨがある。特に粘度はワイヤとインゴットの接触
点へのスラリーの供給や除去に大きく影響するため重要
な物性値である。
【０００９】ところが、従来のスラリー特性評価試験で
は、スライシング中の動的な条件下におけるスラリーの
挙動を的確に把握しておらず、予め求めた粘度，比重等
の物性値から予測されるスラリーの挙動が実際の役に立
たない。たとえば、図１に示すようにインゴット９を線
径０．１８ｍｍのワイヤ５でスライシングするとき、溝
幅０．２４ｍｍ程度のワイヤ溝がインゴット９に形成さ
れる。ワイヤ５がワイヤ溝の中を平均速度５００ｍ／分
で走行する際、ワイヤ５にスラリー１１が供給され、ワ
イヤに随伴してワイヤ溝の奥までスラリー１１が侵入す
る。このとき、スラリー１１が高速走行するワイヤに充
分に付着し、すぐに流れ落ちてしまわないために、スラ
リー粘度はある程度高く維持する必要がある。逆に、狭
いワイヤ溝の中へスラリーを充分に供給・流入させるた
めにはスラリー粘度は高すぎても支障がある。また、す
でに切断された部分からスラリーがスムーズに排出され
るためには粘度は低い方が良いが、粘度が低いとスラリ
ーから砥粒が分離しやすくなり、分離した砥粒はインゴ
ットから切り出されたウェーハの相互密着やスラリー供
給配管等の詰まりの原因となる。
は、スライシング中の動的な条件下におけるスラリーの
挙動を的確に把握しておらず、予め求めた粘度，比重等
の物性値から予測されるスラリーの挙動が実際の役に立
たない。たとえば、図１に示すようにインゴット９を線
径０．１８ｍｍのワイヤ５でスライシングするとき、溝
幅０．２４ｍｍ程度のワイヤ溝がインゴット９に形成さ
れる。ワイヤ５がワイヤ溝の中を平均速度５００ｍ／分
で走行する際、ワイヤ５にスラリー１１が供給され、ワ
イヤに随伴してワイヤ溝の奥までスラリー１１が侵入す
る。このとき、スラリー１１が高速走行するワイヤに充
分に付着し、すぐに流れ落ちてしまわないために、スラ
リー粘度はある程度高く維持する必要がある。逆に、狭
いワイヤ溝の中へスラリーを充分に供給・流入させるた
めにはスラリー粘度は高すぎても支障がある。また、す
でに切断された部分からスラリーがスムーズに排出され
るためには粘度は低い方が良いが、粘度が低いとスラリ
ーから砥粒が分離しやすくなり、分離した砥粒はインゴ
ットから切り出されたウェーハの相互密着やスラリー供
給配管等の詰まりの原因となる。
【００１０】すなわち、ワイヤソーを用いたスライシン
グではスラリーに要求される粘度はスラリーに与えられ
る剪断速度条件を考慮する必要がある。ワイヤの走行速
度を考えるとワイヤ５とインゴット９が接する個所でス
ラリーに与えられる剪断速度は非常に高い。反対に、重
力のみのかかる状態、すなわち自然流では剪断速度は非
常に低い。一方、実際のスラリーでは、剪断速度によっ
て粘度が変化する、いわゆる非ニュートン性を有するス
ラリーが多い。しかし、粘度は、前掲のように回転円筒
型粘度計（Ｂ型粘度計）で測定しているのが現状であ
る。回転円筒型粘度計で測定できる粘度はその構造から
一定の剪断速度での粘度に過ぎない。非ニュートン性を
もつスラリーは回転円筒型粘度計では評価できない。
グではスラリーに要求される粘度はスラリーに与えられ
る剪断速度条件を考慮する必要がある。ワイヤの走行速
度を考えるとワイヤ５とインゴット９が接する個所でス
ラリーに与えられる剪断速度は非常に高い。反対に、重
力のみのかかる状態、すなわち自然流では剪断速度は非
常に低い。一方、実際のスラリーでは、剪断速度によっ
て粘度が変化する、いわゆる非ニュートン性を有するス
ラリーが多い。しかし、粘度は、前掲のように回転円筒
型粘度計（Ｂ型粘度計）で測定しているのが現状であ
る。回転円筒型粘度計で測定できる粘度はその構造から
一定の剪断速度での粘度に過ぎない。非ニュートン性を
もつスラリーは回転円筒型粘度計では評価できない。
【００１１】そこで、本発明者等は、コーン・プレート
型粘度計（Ｅ型粘度計）を用い、異なるロータの速度で
の粘度を測定し、スラリーのスライシング特性を検討し
た。コーン・プレート型粘度計は、図２に示す構造をも
ち、原理的には先に説明した円筒型回転粘度計３０の内
筒３１をコーン２１に置き換え、容器３２（外筒）を円
盤２２に置き換えたものである。コーン２１は下側がコ
ーン角度φの角度がついた円錐形状をしており、通常φ
は２０秒〜３度程度の小さい角度に設定される。コーン
２１は回転軸２３によりω方向に回転可能になってい
る。コーン２１の突端に接触して円盤２２（プレート）
が同軸で配置される。コーン２１が円錐形状になってい
るのでコーン２１と円盤２２との間にわずかな隙間がで
きる。粘度が測定される試料Ｓはコーン２１と円盤２２
との間に充填される。試料Ｓの量は少量で充分である。
型粘度計（Ｅ型粘度計）を用い、異なるロータの速度で
の粘度を測定し、スラリーのスライシング特性を検討し
た。コーン・プレート型粘度計は、図２に示す構造をも
ち、原理的には先に説明した円筒型回転粘度計３０の内
筒３１をコーン２１に置き換え、容器３２（外筒）を円
盤２２に置き換えたものである。コーン２１は下側がコ
ーン角度φの角度がついた円錐形状をしており、通常φ
は２０秒〜３度程度の小さい角度に設定される。コーン
２１は回転軸２３によりω方向に回転可能になってい
る。コーン２１の突端に接触して円盤２２（プレート）
が同軸で配置される。コーン２１が円錐形状になってい
るのでコーン２１と円盤２２との間にわずかな隙間がで
きる。粘度が測定される試料Ｓはコーン２１と円盤２２
との間に充填される。試料Ｓの量は少量で充分である。
【００１２】コーン２１を回転させると、試料Ｓの粘度
に応じて円盤２２に回転力Ｔ（トルク）がかかる。回転
力Ｔは粘度に比例するので、回転力Ｔを測定することで
粘度が算出できる。コーン・ プレート型粘度計の場合、
回転軸２３により駆動されるコーン２１の回転速度Ｎに
応じて試料Ｓにかかる剪断速度Ｄを変えられる。例えば
実験に使ったコーン・ プレート型粘度計は、コーン２１
の径を１０ｍｍ、コーン角度φを１度４３分に設定して
おり、コーン２１に与えられる回転速度Ｎｒｐｍと剪断
速度Ｄ／秒との間には、Ｄ＝３．８×Ｎの関係がある。
スラリーは滴下装置１４からワイヤ５に供給される。こ
のとき、スラリーは重力による自然流となるため、スラ
リーに与えられる剪断速度は非常に低い。よってコーン
プレート型粘度計の測定条件の下限である、２／秒程度
の低い剪断速度での粘度を測定する。
に応じて円盤２２に回転力Ｔ（トルク）がかかる。回転
力Ｔは粘度に比例するので、回転力Ｔを測定することで
粘度が算出できる。コーン・ プレート型粘度計の場合、
回転軸２３により駆動されるコーン２１の回転速度Ｎに
応じて試料Ｓにかかる剪断速度Ｄを変えられる。例えば
実験に使ったコーン・ プレート型粘度計は、コーン２１
の径を１０ｍｍ、コーン角度φを１度４３分に設定して
おり、コーン２１に与えられる回転速度Ｎｒｐｍと剪断
速度Ｄ／秒との間には、Ｄ＝３．８×Ｎの関係がある。
スラリーは滴下装置１４からワイヤ５に供給される。こ
のとき、スラリーは重力による自然流となるため、スラ
リーに与えられる剪断速度は非常に低い。よってコーン
プレート型粘度計の測定条件の下限である、２／秒程度
の低い剪断速度での粘度を測定する。
【００１３】一方、高速で走行するワイヤ５とインゴッ
ト９の間に入り込もうとするスラリーには高い剪断速度
が与えられている。よってコーンプレート型粘度計の測
定条件の上限である、３８０／秒程度の高い剪断速度条
件を採用した。スラリーは一般的に静止状態で粘度が高
く、流動状態で粘度が低くなる非ニュートン性を有す
る。この静止状態〜流動状態で粘度が変わるスラリーに
ついて、剪断速度と粘度との関係を調査した多数の実験
結果から、剪断速度が２／秒のとき４００〜７００ｍＰ
ａ・秒、かつ剪断速度が３８０／秒のとき５０〜３００
ｍＰａ・秒となるようにスラリーを調製するとき、スラ
イシングに好適なスラリーが得られることが判った。本
発明のスラリー評価方法は、この２条件に限るものでな
く複数の異なる条件で測定することで、より精度の高い
評価ができる。
ト９の間に入り込もうとするスラリーには高い剪断速度
が与えられている。よってコーンプレート型粘度計の測
定条件の上限である、３８０／秒程度の高い剪断速度条
件を採用した。スラリーは一般的に静止状態で粘度が高
く、流動状態で粘度が低くなる非ニュートン性を有す
る。この静止状態〜流動状態で粘度が変わるスラリーに
ついて、剪断速度と粘度との関係を調査した多数の実験
結果から、剪断速度が２／秒のとき４００〜７００ｍＰ
ａ・秒、かつ剪断速度が３８０／秒のとき５０〜３００
ｍＰａ・秒となるようにスラリーを調製するとき、スラ
イシングに好適なスラリーが得られることが判った。本
発明のスラリー評価方法は、この２条件に限るものでな
く複数の異なる条件で測定することで、より精度の高い
評価ができる。
【００１４】
【実施例】表１に示す成分のスラリーＡ，Ｂ，Ｘ，Ｙを
調製し、本発明の方法で評価した。各スラリーＡ，Ｂ，
Ｘ，ＹをＥ型粘度計の円盤２２上に適量乗せ、それぞれ
２／秒，４／秒，１０／秒，２０／秒，４０／秒，８０
／秒，２００／秒，３８０／秒の剪断速度における粘度
を測定した結果を図３のグラフに示す。スラリーＡ，Ｂ
では粘度が剪断速度２／秒で４００〜７００ｍＰａ・
秒、かつ剪断速度３８０／秒で５０〜３００ｍＰａ・秒
の範囲に入っている。一方、スラリーＸ，Ｙではこの条
件を満たしていなかった。次いで、各スラリーＡ，Ｂ，
Ｘ，Ｙを供給しながら直径４００ｍｍのシリコンインゴ
ット９をワイヤソーにより平均厚み１．０ｍｍのウェー
ハにスライシングした。ワイヤ５として直径０．１８ｍ
ｍの鋼線を用い、最大速度７５０ｍ／分で一方向に１８
秒間走行させた後、逆方向に１２秒間走行させる双方向
切断条件を採用した。
調製し、本発明の方法で評価した。各スラリーＡ，Ｂ，
Ｘ，ＹをＥ型粘度計の円盤２２上に適量乗せ、それぞれ
２／秒，４／秒，１０／秒，２０／秒，４０／秒，８０
／秒，２００／秒，３８０／秒の剪断速度における粘度
を測定した結果を図３のグラフに示す。スラリーＡ，Ｂ
では粘度が剪断速度２／秒で４００〜７００ｍＰａ・
秒、かつ剪断速度３８０／秒で５０〜３００ｍＰａ・秒
の範囲に入っている。一方、スラリーＸ，Ｙではこの条
件を満たしていなかった。次いで、各スラリーＡ，Ｂ，
Ｘ，Ｙを供給しながら直径４００ｍｍのシリコンインゴ
ット９をワイヤソーにより平均厚み１．０ｍｍのウェー
ハにスライシングした。ワイヤ５として直径０．１８ｍ
ｍの鋼線を用い、最大速度７５０ｍ／分で一方向に１８
秒間走行させた後、逆方向に１２秒間走行させる双方向
切断条件を採用した。
【００１５】
【００１６】以上の実施例では、シリコンインゴットの
スライシングに使用されるスラリーを説明した。しか
し、本発明はこれに拘束されるものではなく、同様にワ
イヤソーで化合物半導体ブロック，石英ブロック等をス
ライシングするときに使用されるスラリーに対しても同
様に適用できる。
スライシングに使用されるスラリーを説明した。しか
し、本発明はこれに拘束されるものではなく、同様にワ
イヤソーで化合物半導体ブロック，石英ブロック等をス
ライシングするときに使用されるスラリーに対しても同
様に適用できる。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のスラリ
ーは、剪断速度と粘度との関係が特定されたスラリーに
調整されている。このスラリーは、ワイヤソーを用いて
インゴット等をスライシングする際のワイヤ溝内におけ
るスラリーの粘度に要求される特性が満足され、スライ
シング時にワイヤ溝の奥部まで効率よく送給され、ワイ
ヤによるインゴット等の切断に使用される。そのため、
インゴット等から切り出されたウェーハ，ディスク等の
形状精度が向上し、切断効率も高くなる。しかも、前も
ってスライシングテストでインゴット等を切断する必要
がないため、新規スラリーの開発にかかる費用及び時間
が大幅に軽減される。
ーは、剪断速度と粘度との関係が特定されたスラリーに
調整されている。このスラリーは、ワイヤソーを用いて
インゴット等をスライシングする際のワイヤ溝内におけ
るスラリーの粘度に要求される特性が満足され、スライ
シング時にワイヤ溝の奥部まで効率よく送給され、ワイ
ヤによるインゴット等の切断に使用される。そのため、
インゴット等から切り出されたウェーハ，ディスク等の
形状精度が向上し、切断効率も高くなる。しかも、前も
ってスライシングテストでインゴット等を切断する必要
がないため、新規スラリーの開発にかかる費用及び時間
が大幅に軽減される。
【図１】 インゴットをスライシングするワイヤソーの
概略図
概略図
【図２】 コーン・プレート型粘度計の説明図
【図３】 スライシング用スラリーの粘度と剪断速度と
の関係を示すグラフ
の関係を示すグラフ
【図４】 回転円筒式粘度計の説明図
５：ワイヤ ９：インゴット １１：スラリー
１４：供給ノズル ２０：コーン・プレート型粘度計 ２２：円盤 ２
３：回転軸 ３０：回転円筒式粘度計 ３１：内筒 ３２：容器 Ｓ：試料スラリー φ：コーン角度 ω：回転方向
１４：供給ノズル ２０：コーン・プレート型粘度計 ２２：円盤 ２
３：回転軸 ３０：回転円筒式粘度計 ３１：内筒 ３２：容器 Ｓ：試料スラリー φ：コーン角度 ω：回転方向
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 松崎 順一
群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式
会社スーパーシリコン研究所内
(72)発明者 芦田 昭雄
東京都墨田区八広二丁目17番10号 大智
化学産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平３−44535（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−11075（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−58864（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−153938（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 11/14
B24B 27/06
B24B 57/02
B28D 5/04
C10M 173/00
C09K 3/14
C10M 169/04
Claims (2)
- 【請求項１】 コーン・ プレート型粘度計を用い、剪断
速度が異なる条件下でスラリーの粘度を測定することを
特徴とするスライシング用スラリーの評価方法。 - 【請求項２】 コーン・ プレート型粘度計を用いて測定
したスラリーの粘度が、剪断速度が２／秒のとき４００
〜７００ｍＰａ・秒、かつ剪断速度が３８０／秒のとき
５０〜３００ｍＰａ・秒であるスライシング用スラリ
ー。
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| JP11870099A JP3389141B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | スライシング用スラリーの評価方法及びスラリー |
| US09/637,752 US6422067B1 (en) | 1999-04-26 | 2000-08-11 | Slurry useful for wire-saw slicing and evaluation of slurry |
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|---|---|---|---|
| JP11870099A JP3389141B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | スライシング用スラリーの評価方法及びスラリー |
| US09/637,752 US6422067B1 (en) | 1999-04-26 | 2000-08-11 | Slurry useful for wire-saw slicing and evaluation of slurry |
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Family Applications (1)
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| JP11870099A Expired - Fee Related JP3389141B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | スライシング用スラリーの評価方法及びスラリー |
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| DE102014208187B4 (de) * | 2014-04-30 | 2023-07-06 | Siltronic Ag | Verfahren zum gleichzeitigen Trennen einer Vielzahl von Scheiben mit besonders gleichmäßiger Dicke von einem Werkstück |
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| MY120514A (en) * | 1996-03-26 | 2005-11-30 | Shinetsu Handotai Kk | Wire saw and method of slicing a cylindrical workpiece |
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| US6161533A (en) * | 1996-10-01 | 2000-12-19 | Nippei Toyoma Corp. | Slurry managing system and slurry managing method |
| JP3810170B2 (ja) * | 1997-01-29 | 2006-08-16 | 信越半導体株式会社 | ワイヤーソーによるワークの切断方法およびワイヤーソー |
| US6113473A (en) * | 1997-04-25 | 2000-09-05 | G.T. Equipment Technologies Inc. | Method and apparatus for improved wire saw slurry |
| JP3296781B2 (ja) * | 1998-04-21 | 2002-07-02 | 信越半導体株式会社 | 水性切削液、その製造方法、ならびにこの水性切削液を用いた切削方法 |
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1999
- 1999-04-26 JP JP11870099A patent/JP3389141B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-11 US US09/637,752 patent/US6422067B1/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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