JP2000308955A - ワイヤソーを用いたスライシング用スラリー - Google Patents
ワイヤソーを用いたスライシング用スラリーInfo
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤソーによるスライシング時にワイヤ溝
の奥部まで送給され、形状精度の良好なウェーハ等の切
出しに好適なスラリーを提供する。 【構成】 このスライシング用スラリーは、シリンダに
充填したスラリー試料を加圧してダイの細管を流れる流
量を測定する細管式レオメータで求められたスラリー粘
度が、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・
秒、圧力８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ・
秒を満たしている。 【効果】 スライシング中の流動状態を正確に反映した
スラリーが使用できるため、インゴット等が効率よくス
ライシングされる。
の奥部まで送給され、形状精度の良好なウェーハ等の切
出しに好適なスラリーを提供する。 【構成】 このスライシング用スラリーは、シリンダに
充填したスラリー試料を加圧してダイの細管を流れる流
量を測定する細管式レオメータで求められたスラリー粘
度が、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・
秒、圧力８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ・
秒を満たしている。 【効果】 スライシング中の流動状態を正確に反映した
スラリーが使用できるため、インゴット等が効率よくス
ライシングされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソーを用いてシ
リコンインゴット，化合物半導体，石英ブロック等をス
ライシングする際に使用するスラリーに関する。
リコンインゴット，化合物半導体，石英ブロック等をス
ライシングする際に使用するスラリーに関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したシリコンインゴッ
トは、トップ及びテールを切断分離した後、外径研削，
オリエンテーションフラット加工等の工程を経て所定厚
みのウェーハにスライスされる。スライシングには、内
周刃を備えたスライサーが知られているが、最近ではウ
ェーハの大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる
切断が採用されるようになってきた。ワイヤソー切断装
置は、一般的には図１に示すように３本のグルーブロー
ラ１〜３を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４
に連結されている。グルーブローラ１〜３に複数回周回
させることにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態
でローラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力
が付与される。
トは、トップ及びテールを切断分離した後、外径研削，
オリエンテーションフラット加工等の工程を経て所定厚
みのウェーハにスライスされる。スライシングには、内
周刃を備えたスライサーが知られているが、最近ではウ
ェーハの大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる
切断が採用されるようになってきた。ワイヤソー切断装
置は、一般的には図１に示すように３本のグルーブロー
ラ１〜３を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４
に連結されている。グルーブローラ１〜３に複数回周回
させることにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワ
イヤリール６から巻き出され、他方のワイヤリール７に
巻き取られる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態
でローラ１〜３を周回するようにテンショナー８で張力
が付与される。
【０００３】スライスされるインゴット９は、接着治具
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】使用されるスラリー１
１は、マルチワイヤ５でインゴット９から多数のウェー
ハを切り出す上で、砥粒がクーラントに分散した状態で
インゴット９の内部まで送り込まれることが要求され
る。スライシング中に切断条件が変動しないように、分
散状態が安定していることも重要である。更には、イン
ゴット９から切り出されたウェーハの表面に残留してい
るスラリー１１が容易に除去されることも、スラリー１
１に要求される特性の一つである。現状では、粘度，比
重及びｐＨによりスラリーの特性を評価しているに過ぎ
ない。粘度に関しては、回転円筒式粘度計で測定してい
る。比重に関しては浮きばかり式比重計、ｐＨに関して
は電極式ｐＨ計で測定している。このようにして測定さ
れた特性値は、実際にインゴット９をスライシングして
いる状態でのスラリー１１の物性を正確に表わしたもの
とはいえず、ワイヤ５の破断，ウェーハ破損，インゴッ
ト９から切り出されたウェーハの相互密着，スラリー１
１の装置内堆積等の欠陥発生原因となることもあり、切
断性能の予測には有効でない。そこで、実際には、イン
ゴット９のスライシング試験からスラリー１１の適性を
評価している。しかし、インゴット９をスライシングし
て切断状況をテストするためには多大の時間と費用がか
かり、スライシングされるインゴット９が大口径化する
傾向に伴って大きな負担になっている。
１は、マルチワイヤ５でインゴット９から多数のウェー
ハを切り出す上で、砥粒がクーラントに分散した状態で
インゴット９の内部まで送り込まれることが要求され
る。スライシング中に切断条件が変動しないように、分
散状態が安定していることも重要である。更には、イン
ゴット９から切り出されたウェーハの表面に残留してい
るスラリー１１が容易に除去されることも、スラリー１
１に要求される特性の一つである。現状では、粘度，比
重及びｐＨによりスラリーの特性を評価しているに過ぎ
ない。粘度に関しては、回転円筒式粘度計で測定してい
る。比重に関しては浮きばかり式比重計、ｐＨに関して
は電極式ｐＨ計で測定している。このようにして測定さ
れた特性値は、実際にインゴット９をスライシングして
いる状態でのスラリー１１の物性を正確に表わしたもの
とはいえず、ワイヤ５の破断，ウェーハ破損，インゴッ
ト９から切り出されたウェーハの相互密着，スラリー１
１の装置内堆積等の欠陥発生原因となることもあり、切
断性能の予測には有効でない。そこで、実際には、イン
ゴット９のスライシング試験からスラリー１１の適性を
評価している。しかし、インゴット９をスライシングし
て切断状況をテストするためには多大の時間と費用がか
かり、スライシングされるインゴット９が大口径化する
傾向に伴って大きな負担になっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題を解消すべく案出されたものであり、スライシング中
のワイヤ溝におけるスラリーの挙動が定量的に把握でき
る細管式レオメータを用いた粘度測定試験を採用するこ
とにより、スライシングテストの必要なく実際のスライ
シングに適したスラリーを提供することを目的とする。
本発明のスライシング用スラリーは、その目的を達成す
るため、シリンダに充填したスラリー試料を加圧してダ
イの細管を流れる流量を測定する細管式レオメータで求
められたスラリー粘度と流量測定時の圧力との間に圧力
の増加に従って粘度が増加する関係があり、特に圧力５
ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・秒、圧力８０ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ・秒であることを
特徴とする。より好ましくは、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2 で
２０〜６０ｍＰａ・秒、圧力８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で３０
０〜７００ｍＰａ・秒に調製される。
題を解消すべく案出されたものであり、スライシング中
のワイヤ溝におけるスラリーの挙動が定量的に把握でき
る細管式レオメータを用いた粘度測定試験を採用するこ
とにより、スライシングテストの必要なく実際のスライ
シングに適したスラリーを提供することを目的とする。
本発明のスライシング用スラリーは、その目的を達成す
るため、シリンダに充填したスラリー試料を加圧してダ
イの細管を流れる流量を測定する細管式レオメータで求
められたスラリー粘度と流量測定時の圧力との間に圧力
の増加に従って粘度が増加する関係があり、特に圧力５
ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・秒、圧力８０ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ・秒であることを
特徴とする。より好ましくは、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2 で
２０〜６０ｍＰａ・秒、圧力８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で３０
０〜７００ｍＰａ・秒に調製される。
【０００６】
【実施の形態】ワイヤソー・スライスに使用されるスラ
リーは、油性スラリーと水性スラリーに大別される。油
性スラリーは、粒径約２０μｍの炭化ケイ素等の砥粒を
鉱油を主成分とする分散媒、いわゆる油性クーラントに
懸濁したものであり、広く使用されている。油性スラリ
ーは、砥粒を安定して分散・保持でき、コストが比較的
低い長所があるが、引火性があるため長時間の無人運転
には不向きで、切り出されたウェーハの洗浄や装置の清
掃が容易でなく、使用後のスラリーを最終的に焼却する
ため環境への影響も懸念される。他方、水性クーラント
に砥粒を懸濁させた水性スラリーは、引火性がなく、切
り出されたウェーハや装置を水だけで容易に洗浄でき、
使用後のスラリーを生分解できるが、砥粒の分散状態が
不安定である。何れのスラリーにおいても、ワイヤ破断
やウエーハ破損がなくインゴットをスライシングできる
こと、スライシング後にワイヤ抜きが可能なこと、スラ
イシングされたウェーハが容易に剥離されること、装置
内部に砥粒が堆積しないこと、中心厚，ＴＴＶ等のウェ
ーハ精度が良好であること、スライシング中にスラリー
の粘度変化が小さいこと等が要求される。
リーは、油性スラリーと水性スラリーに大別される。油
性スラリーは、粒径約２０μｍの炭化ケイ素等の砥粒を
鉱油を主成分とする分散媒、いわゆる油性クーラントに
懸濁したものであり、広く使用されている。油性スラリ
ーは、砥粒を安定して分散・保持でき、コストが比較的
低い長所があるが、引火性があるため長時間の無人運転
には不向きで、切り出されたウェーハの洗浄や装置の清
掃が容易でなく、使用後のスラリーを最終的に焼却する
ため環境への影響も懸念される。他方、水性クーラント
に砥粒を懸濁させた水性スラリーは、引火性がなく、切
り出されたウェーハや装置を水だけで容易に洗浄でき、
使用後のスラリーを生分解できるが、砥粒の分散状態が
不安定である。何れのスラリーにおいても、ワイヤ破断
やウエーハ破損がなくインゴットをスライシングできる
こと、スライシング後にワイヤ抜きが可能なこと、スラ
イシングされたウェーハが容易に剥離されること、装置
内部に砥粒が堆積しないこと、中心厚，ＴＴＶ等のウェ
ーハ精度が良好であること、スライシング中にスラリー
の粘度変化が小さいこと等が要求される。
【０００７】ところが、従来のスラリー特性評価試験で
は、スライシング中におけるスラリーの挙動を的確に把
握しておらず、予め求めた粘度，比重等の物性値から予
測されるスラリーの挙動が実際の役に立たない。たとえ
ば、図１に示すようにインゴット９を線径０．１８ｍｍ
のワイヤ５でスライシングするとき、溝幅０．２４ｍｍ
程度のワイヤ溝がインゴット９に形成される。ワイヤ５
に随伴してワイヤ溝にスラリー１１が供給されるが、ス
ラリー１１の違いに応じ実際のスライシング性能（たと
えば、スライシング能率，ウェーハの反り，ウネリ，表
面粗さ等）に大きな差が生じる。スライシング性能の差
は、ワイヤ溝の奥部まで送り込まれる量的割合がスラリ
ー１１の種類に応じて異なることが一つの原因である。
効率の良いスライシングには、ワイヤ溝の奥部まで十分
な量のスラリーを供給できることが必要とされる。そこ
で、本発明においては、スラリーの供給能力を表わす指
標として細管式レオメータで測定した粘度を採用した。
細管式レオメータでは、図２に示すようにスラリー試料
Ｓをシリンダ２１内に充填し、上部からピストン２２で
一定圧力を加える。加圧されたスラリー試料Ｓは、シリ
ンダ２１の下部に設けられているダイ２３の細管を経て
押し出される。
は、スライシング中におけるスラリーの挙動を的確に把
握しておらず、予め求めた粘度，比重等の物性値から予
測されるスラリーの挙動が実際の役に立たない。たとえ
ば、図１に示すようにインゴット９を線径０．１８ｍｍ
のワイヤ５でスライシングするとき、溝幅０．２４ｍｍ
程度のワイヤ溝がインゴット９に形成される。ワイヤ５
に随伴してワイヤ溝にスラリー１１が供給されるが、ス
ラリー１１の違いに応じ実際のスライシング性能（たと
えば、スライシング能率，ウェーハの反り，ウネリ，表
面粗さ等）に大きな差が生じる。スライシング性能の差
は、ワイヤ溝の奥部まで送り込まれる量的割合がスラリ
ー１１の種類に応じて異なることが一つの原因である。
効率の良いスライシングには、ワイヤ溝の奥部まで十分
な量のスラリーを供給できることが必要とされる。そこ
で、本発明においては、スラリーの供給能力を表わす指
標として細管式レオメータで測定した粘度を採用した。
細管式レオメータでは、図２に示すようにスラリー試料
Ｓをシリンダ２１内に充填し、上部からピストン２２で
一定圧力を加える。加圧されたスラリー試料Ｓは、シリ
ンダ２１の下部に設けられているダイ２３の細管を経て
押し出される。
【０００８】ピストン２２で加える圧力を変えながら、
ダイ２３の細管を流れるスラリー試料Ｓの流量を測定す
る。圧力と流量との関係を調査することにより、実際の
スライシング時における流動状態を的確に表わす物性値
が得られる。また、必要に応じてシリンダ２１の周囲に
配置したヒータ２４によりスラリー試料Ｓを加温しなが
ら流量測定するとき、実際のスライシング中における昇
温も考慮に入れた測定結果が得られる。細管式レオメー
タで得られた測定値は、実際のスライシング中にかなり
の高圧力が発生している狭いワイヤ溝の奥部まで供給さ
れるスラリーの流動状態を表わす有効な指標となる。な
お、粘度は、次式（１）から算出される。 η＝τ／γ＝πＤ4 Ｐ／１２８ＬＱ（ｍＰａ・秒）・・・・（１） ただし、 η：見かけの粘度 Ｄ：ダイ孔直径（ｍｍ） τ：見かけの剪断力 Ｐ：試験圧力（Ｐａ） γ：剪断速度 Ｌ：ダイ長さ（ｍｍ） Ｑ：流量（フローレート）（ｃｍ3 ／秒）
ダイ２３の細管を流れるスラリー試料Ｓの流量を測定す
る。圧力と流量との関係を調査することにより、実際の
スライシング時における流動状態を的確に表わす物性値
が得られる。また、必要に応じてシリンダ２１の周囲に
配置したヒータ２４によりスラリー試料Ｓを加温しなが
ら流量測定するとき、実際のスライシング中における昇
温も考慮に入れた測定結果が得られる。細管式レオメー
タで得られた測定値は、実際のスライシング中にかなり
の高圧力が発生している狭いワイヤ溝の奥部まで供給さ
れるスラリーの流動状態を表わす有効な指標となる。な
お、粘度は、次式（１）から算出される。 η＝τ／γ＝πＤ4 Ｐ／１２８ＬＱ（ｍＰａ・秒）・・・・（１） ただし、 η：見かけの粘度 Ｄ：ダイ孔直径（ｍｍ） τ：見かけの剪断力 Ｐ：試験圧力（Ｐａ） γ：剪断速度 Ｌ：ダイ長さ（ｍｍ） Ｑ：流量（フローレート）（ｃｍ3 ／秒）
【０００９】スラリーは滴下装置１４（図１）からワイ
ヤ５に供給される。スラリーに圧力のかからない供給・
排出のとき、粘度は比較的低くて良い。一方、ワイヤ溝
内で高速走行するワイヤ５とインゴット９の間に入り込
もうとするスラリーには高い圧力が与えられる。高い圧
力が与えられたときに粘度が高くなるスラリーである
と、スラリーはワイヤ溝内でワイヤによって圧力がかけ
られたとき滞留しやすくなる。スラリーが滞留している
部分をワイヤが通過するため、スラリーはワイヤに付随
してワイヤ溝の奥まで到達しやすくなる。一般の液体は
圧力により粘度は一定であるが、スラリーは使用するク
ーラントによって粘度は一般に圧力に依存する。細管式
レオメータのピストン２２で圧力を増加していくと、一
般の液体では粘度は一定なので圧力に比例してダイ２３
を通過する流速は増加するが、本発明のスラリーは圧力
増加に応じて粘度が上がるため、ダイ２３を通過する流
速の増加は比較的少なくなる。
ヤ５に供給される。スラリーに圧力のかからない供給・
排出のとき、粘度は比較的低くて良い。一方、ワイヤ溝
内で高速走行するワイヤ５とインゴット９の間に入り込
もうとするスラリーには高い圧力が与えられる。高い圧
力が与えられたときに粘度が高くなるスラリーである
と、スラリーはワイヤ溝内でワイヤによって圧力がかけ
られたとき滞留しやすくなる。スラリーが滞留している
部分をワイヤが通過するため、スラリーはワイヤに付随
してワイヤ溝の奥まで到達しやすくなる。一般の液体は
圧力により粘度は一定であるが、スラリーは使用するク
ーラントによって粘度は一般に圧力に依存する。細管式
レオメータのピストン２２で圧力を増加していくと、一
般の液体では粘度は一定なので圧力に比例してダイ２３
を通過する流速は増加するが、本発明のスラリーは圧力
増加に応じて粘度が上がるため、ダイ２３を通過する流
速の増加は比較的少なくなる。
【００１０】本発明のスラリーは、レオメータを用いて
低圧状態と高圧状態で粘度を規定しているため、ワイヤ
ソーを用いたスライシングに適したものとなる。この圧
力状態で粘度が変わるスラリーについて、圧力と粘度と
の関係を調査した多数の実験結果から、図３に示すよう
に、圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・
秒、圧力が８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ
・秒となるように、より好ましくは圧力が５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 で２０〜６０ｍＰａ・秒、圧力が８０ｋｇｆ／ｃｍ
2 で３００〜７００ｍＰａ・秒となるようにスラリーを
調製するとき、スライシングに好適なスラリーが得られ
ることが判った。粘度の測定値がこの範囲にあるスラリ
ーを用いてスライシングしたとき、スラリーがワイヤ溝
の奥まで供給され、インゴットから切り出されたウェー
ハ表面の粗さが増加したり、ワイヤ溝への砥粒の堆積に
よる切断後のウェーハの相互密着が起きることが殆どな
くなった。
低圧状態と高圧状態で粘度を規定しているため、ワイヤ
ソーを用いたスライシングに適したものとなる。この圧
力状態で粘度が変わるスラリーについて、圧力と粘度と
の関係を調査した多数の実験結果から、図３に示すよう
に、圧力が５ｋｇｆ／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・
秒、圧力が８０ｋｇｆ／ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ
・秒となるように、より好ましくは圧力が５ｋｇｆ／ｃ
ｍ2 で２０〜６０ｍＰａ・秒、圧力が８０ｋｇｆ／ｃｍ
2 で３００〜７００ｍＰａ・秒となるようにスラリーを
調製するとき、スライシングに好適なスラリーが得られ
ることが判った。粘度の測定値がこの範囲にあるスラリ
ーを用いてスライシングしたとき、スラリーがワイヤ溝
の奥まで供給され、インゴットから切り出されたウェー
ハ表面の粗さが増加したり、ワイヤ溝への砥粒の堆積に
よる切断後のウェーハの相互密着が起きることが殆どな
くなった。
【００１１】
【実施例】表１に示す成分のスラリーＡ，Ｂを調製し
た。各スラリーＡ，Ｂを内径１１ｍｍのシリンダ２１に
充填し、ピストン２２で加える圧力を５〜８０ｋｇｆの
範囲で変化させ、ダイ２３の細管（長さ１ｍｍ，内径１
ｍｍ）を流れるスラリー流量を測定した。測定結果から
各スラリーＡ，Ｂの粘度を算出したところ、図３に示す
ように、スラリーＡの粘度は圧力に応じて変化してい
た。一方、スラリーＢでは圧力に対して粘度変化は比較
的少なかった。次いで、各スラリーＡ，Ｂを供給しなが
ら直径４００ｍｍのシリコンインゴット９をワイヤソー
により平均厚み１．０ｍｍのウェーハにスライシングし
た。ワイヤ５として直径０．１８ｍｍの鋼線を用い、一
方向に最大速度７５０ｍ／分で１８秒間走行させた後、
逆方向に最大速度７５０ｍ／分で１２秒間走行させる双
方向切断条件を採用した。
た。各スラリーＡ，Ｂを内径１１ｍｍのシリンダ２１に
充填し、ピストン２２で加える圧力を５〜８０ｋｇｆの
範囲で変化させ、ダイ２３の細管（長さ１ｍｍ，内径１
ｍｍ）を流れるスラリー流量を測定した。測定結果から
各スラリーＡ，Ｂの粘度を算出したところ、図３に示す
ように、スラリーＡの粘度は圧力に応じて変化してい
た。一方、スラリーＢでは圧力に対して粘度変化は比較
的少なかった。次いで、各スラリーＡ，Ｂを供給しなが
ら直径４００ｍｍのシリコンインゴット９をワイヤソー
により平均厚み１．０ｍｍのウェーハにスライシングし
た。ワイヤ５として直径０．１８ｍｍの鋼線を用い、一
方向に最大速度７５０ｍ／分で１８秒間走行させた後、
逆方向に最大速度７５０ｍ／分で１２秒間走行させる双
方向切断条件を採用した。
【００１２】
【００１３】表１に結果を示すように本発明例のスラリ
ーでは、スライシング結果も良好であった。一方、比較
例においては操業に異常を来し、ウェーハの寸法精度，
表面粗さ共に劣っていた。以上の実施例では、シリコン
インゴットのスライシングに使用されるスラリーを説明
した。しかし、本発明はこれに拘束されるものではな
く、同様にワイヤソーで化合物半導体ブロック，石英ブ
ロック等をスライシングするときに使用されるスラリー
に対しても同様に適用できる。
ーでは、スライシング結果も良好であった。一方、比較
例においては操業に異常を来し、ウェーハの寸法精度，
表面粗さ共に劣っていた。以上の実施例では、シリコン
インゴットのスライシングに使用されるスラリーを説明
した。しかし、本発明はこれに拘束されるものではな
く、同様にワイヤソーで化合物半導体ブロック，石英ブ
ロック等をスライシングするときに使用されるスラリー
に対しても同様に適用できる。
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のスライ
シング用スラリーは、ワイヤソーを用いてインゴット等
をスライシングする際のワイヤ溝内におけるスラリーの
挙動を正確に反映した細管式レオメータで求められたス
ラリー粘度を圧力との関係で規制している。そのため、
このスラリーは、スライシング時にワイヤ溝の奥部まで
効率よく送給され、ワイヤによるインゴット等の切断に
使用される。そのため、インゴット等から切り出された
ウェーハ，ディスク等の形状精度が向上する。しかも、
前もってスライシングテストでインゴット等を切断する
必要がないため、新規スラリーの開発にかかる費用及び
時間が大幅に軽減される。
シング用スラリーは、ワイヤソーを用いてインゴット等
をスライシングする際のワイヤ溝内におけるスラリーの
挙動を正確に反映した細管式レオメータで求められたス
ラリー粘度を圧力との関係で規制している。そのため、
このスラリーは、スライシング時にワイヤ溝の奥部まで
効率よく送給され、ワイヤによるインゴット等の切断に
使用される。そのため、インゴット等から切り出された
ウェーハ，ディスク等の形状精度が向上する。しかも、
前もってスライシングテストでインゴット等を切断する
必要がないため、新規スラリーの開発にかかる費用及び
時間が大幅に軽減される。
【図１】 インゴットをスライシングするワイヤソーの
概略図
概略図
【図２】 細管式レオメータの説明図
【図３】 スライシング用スラリーの粘度と圧力との関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
２１：シリンダ ２２：ピストン ２３：ダイ
２４：ヒータ
２４：ヒータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅川 慶一郎 群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会 社スーパーシリコン研究所内 (72)発明者 松崎 順一 群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会 社スーパーシリコン研究所内 (72)発明者 芦田 昭雄 東京都墨田区八広二丁目17番10号 大智化 学産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C047 FF06 FF09 FF11 GG07 GG15 GG20 3C058 AA05 AA07 BA09 CA01 CA05 CB10 DA02 DA03 3C069 AA01 BA06 BB03 BB04 CA04 DA06 EA01 EA02
Claims (1)
- 【請求項１】 シリンダに充填したスラリー試料を加圧
してダイの細管を流れる流量を測定する細管式レオメー
タで求められたスラリー粘度の測定値が、圧力５ｋｇｆ
／ｃｍ2 で１０〜１００ｍＰａ・秒、圧力８０ｋｇｆ／
ｃｍ2 で２００〜８００ｍＰａ・秒の範囲にあることを
特徴とするワイヤソーを用いたスライシング用スラリ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11869899A JP2000308955A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | ワイヤソーを用いたスライシング用スラリー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11869899A JP2000308955A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | ワイヤソーを用いたスライシング用スラリー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000308955A true JP2000308955A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14742947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11869899A Withdrawn JP2000308955A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | ワイヤソーを用いたスライシング用スラリー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000308955A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107813434A (zh) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 友达晶材股份有限公司 | 超音波辅助线切割的切割方法及其装置，及芯片的制作方法 |
-
1999
- 1999-04-26 JP JP11869899A patent/JP2000308955A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107813434A (zh) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 友达晶材股份有限公司 | 超音波辅助线切割的切割方法及其装置，及芯片的制作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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