CN104512118B - 液体喷出装置和抑制液体泄漏的方法 - Google Patents

液体喷出装置和抑制液体泄漏的方法 Download PDF

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Abstract

提供一种液体喷出装置和抑制液体泄漏的方法，所述液体喷出装置包括用于喷出液体的头部、液体容纳单元、液体状充填剂和压力调整单元，其中液体容纳单元包括密闭的壳体和设置在壳体中的柔性构件，壳体包括与头部连通的第一容纳空间和通过使用柔性构件与第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，第一容纳空间容纳液体，第二容纳空间填充入液体状充填剂，压力调整单元与第二容纳空间连通，并以将头部的内压维持为负压的方式调整填充入第二容纳空间的液体状充填剂的压力。

Description

液体喷出装置和抑制液体泄漏的方法
技术领域
本发明涉及包括用于喷出液体的液体喷出头的液体喷出装置和抑制液体从液体喷出头泄漏的方法。
背景技术
包括液体喷出头(以下简称为“头部”)的液体喷出装置是已知的。近年来，液体喷出装置已经用于各种领域，例如，用于喷墨记录装置。
在包括头部的液体喷出装置中，当头部中的液体的压力升高时，液体从头部的喷出口泄漏。从头部泄漏的液体可能对液体喷出装置的主体产生不利地影响。为了这个原因，要求维持头部的内压为负压。
在特开2006-192785号公报中，公开了一种包括密闭的壳体(也称为“容纳部”)和设置在壳体中的储墨器的液体喷出装置。储墨器的内部形成有用于容纳液体的第一容纳空间，并且空气被密封在形成于储墨器的外侧面和壳体的内侧面之间的第二容纳空间中。
此外，头部以将容纳在储墨器中的液体供给至头部的方式与储墨器连通。储墨器是具有柔性的袋状的容器，并且容纳袋的体积随着液体的喷出而发生改变。
另外，液体喷出装置还包括用于调整第二容纳空间中的气体的压力的调节器，当调节器调整气体的压力时，容纳在储墨器中的液体的压力也被调整。
在特开2008-105360号公报中，公开了一种包括储墨器和壳体的液体喷出装置。此外，在储墨器的外侧面和壳体的内侧面之间设置有填充了气体的浮动件(float)，并在储墨器的外侧面和壳体的内侧面之间的区域填充有用于浮动浮动件的液体状充填剂。
具体地，储墨器固定于壳体的底壁，浮动件固定于储墨器的上部。浮动件位于液体状充填剂中，并且在浮动件中产生浮力。
在该液体喷出装置中，通过浮动件中产生的浮力的作用沿扩大储墨器的容积的方向对储墨器施力。当施力作用在储墨器时，储墨器和头部各自的内压均维持为负压。
然而，特开2006-192785号公报中公开的液体喷出装置存在以下问题。
具体地，气体的体积易于随着温度或压力的改变而变化。气体密封在第二容纳空间中，因此密封在第二容纳空间中的气体的体积随着液体喷出装置的周围的温度或大气压的改变而变化。结果，可能使储墨器中的液体的压力发生变化。
此外，形成储墨器的柔性构件由不能完全地防止气体透过的材料形成。因此，密封在第二容纳空间中的气体进入储墨器，以在容纳在储墨器中的液体中产生气泡。液体中的气泡的产生使液体的压力升高。
此外，第一容纳空间填充有液体，第二容纳空间填充有气体，并且液体和气体之间的密度差相对较大。因此，当向壳体施加冲击时，储墨器相对剧烈地摇动。当储墨器摇动时，储墨器中的液体的压力发生变化。
如上所述，在该液体喷出装置中，容纳在储墨器中的液体的压力易于发生变化。因此，难以维持头部的内压为负压，存在液体可能从头部泄漏的风险。
另一方面，在特开2008-105360号公报中公开的液体喷出装置中，需要将填充有气体的浮动件沉入液体状充填剂中。气体和液体状充填剂之间的密度差相对较大，因此当向壳体施加冲击时，浮动件相对剧烈地摇动。容纳袋随着浮动件的摇动而摇动，并且容纳袋中的液体的压力也发生变化。结果，头部中的液体的压力发生变化，存在液体可能从头部泄漏的风险。
发明内容
本发明的目的在于进一步抑制液体从头部泄漏。
根据本发明的一实施方式，提供一种液体喷出装置，其包括：头部，其被构造成用于喷出液体；液体容纳单元，其包括密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过使用所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体；液体状充填剂，其被填充入所述第二容纳空间；和压力调整单元，其被构造成以将所述头部的内压维持为负压的方式调整填充入所述第二容纳空间的所述液体状充填剂的压力，所述压力调整单元与所述第二容纳空间连通。
进一步地，根据本发明的一实施方式，提供一种抑制液体泄漏的方法，其用于液体喷出装置，所述液体喷出装置包括被构造成用于喷出液体的头部、密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过使用所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述液体容纳在所述第一容纳空间中，所述抑制液体泄漏的方法包括：将液体状充填剂填充入所述第二容纳空间的填充步骤；和以将所述头部的内压维持为负压的方式调整填充入所述第二容纳空间的所述液体状充填剂的压力的压力调整步骤。
进一步地，根据本发明的一实施方式，提供一种压印装置，其包括：液体喷出装置；移动单元，其被构造成用于使所述液体喷出装置与表面涂布有从所述头部喷出的所述液体的基板相对移动；模具，其表面形成有凹凸图案；图案形成单元，其被构造成使所述模具的所述形成有所述凹凸图案的表面和所述基板的所述涂布有所述液体的表面接触，由此在所述基板的所述涂布有所述液体的表面上形成与形成在所述模具的所述表面上的所述凹凸图案对应的图案。所述液体喷出装置包括：头部，其被构造成用于喷出液体；液体容纳单元，其包括密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过使用所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体；液体状充填剂，其被填充入所述第二容纳空间；和压力调整单元，其被构造成用于以将所述头部的内压维持为负压的方式调整填充入所述第二容纳空间的所述液体状充填剂的压力，所述压力调整单元与所述第二容纳空间连通。
进一步地，根据本发明的一实施方式，提供一种通过使用上述的压印装置来制造包括基板的组件的方法，所述方法包括：在所述基板的表面上形成图案；和处理其上形成有所述图案的所述基板。
通过下面参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其它特征将变得明显。
附图说明
图1是根据本发明的第一实施方式的液体喷出装置的示意图。
图2是示出图1所示的压力调整单元的示例的图。
图3是示出柔性的容纳袋已从图2所示的状态收缩回的状态的图。
图4是示出用于控制液体状充填剂的压力的过程的流程图。
图5是设置在根据本发明的第二实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元的示意图。
图6是根据本发明的第三实施方式的液体喷出装置的示意图。
图7是根据本发明的第四实施方式的液体喷出装置的示意图。
图8是设置在根据本发明的第五实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元的示意图。
图9是设置在根据本发明的第六实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元的示意图。
图10是示出压力调整单元的示例的示意图。
图11是示出压力调整单元的另一示例的示意图。
图12是根据本发明的第八实施方式的液体喷出装置的示意图。
图13是示出图12所示的液体喷出装置的操作的流程图。
图14是根据本发明的第九实施方式的液体喷出装置的示意图。
图15A和图15B是连通单元的周围的放大图。
图16是根据本发明的第十实施方式的液体喷出装置的示意图。
图17是根据本发明的第十一实施方式的液体喷出装置的示意图。
图18是根据本发明的第十二实施方式的液体喷出装置的示意图。
图19是根据本发明的第十三实施方式的液体喷出装置的示意图。
图20是根据本发明的第十四实施方式的液体喷出装置的示意图。
图21是根据本发明的第十五实施方式的液体喷出装置的示意图。
图22是液体已在图21所示的状态被消耗的状态的示意图。
图23是根据本发明的第十六实施方式的液体喷出装置的示意图。
具体实施方式
现在，参照附图说明本发明的实施方式。
(第一实施方式)
参照图1至图4说明本发明的第一实施方式。
图1是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。图1所示的液体喷出装置是喷出墨的喷墨装置。
如图1所示，液体喷出装置1包括基板2、头部3和液体容纳单元4。输送部5安装在基板2上。待打印物6通过使用吸附单元(未示出)吸附在输送部5上。
液体容纳单元4包括密闭的壳体7和设置在壳体7中的柔性的容纳袋8。壳体7包括与头部3连通的第一容纳空间和通过使用柔性的容纳袋8而与第一容纳空间分隔开的第二容纳空间。第二容纳空间不与头部3连通。
在本实施方式中，容纳袋8的内部空间形成第一容纳空间，容纳袋8的外侧面和壳体7之间的空间形成第二容纳空间。
注意的是，本发明不限于通过使用容纳袋8将第一容纳空间和第二容纳空间彼此分隔开的构造，只有通过使用柔性构件将第一容纳空间和第二容纳空间彼此分隔开才是必须的。
诸如墨等的液体9容纳在第一容纳空间(即，容纳袋8)中。将容纳在容纳袋8中的液体9供给至头部3，并从头部3的喷出口10向下喷出。还可以使用诸如导电性液体或UV硬化性液体等液体作为液体9，并且期望的是，对液体9进行脱气处理(deaeration)。
容纳袋8不使用管或阀而与头部3直接地连接。容纳袋8和头部3之间不使用诸如阀等滑动构件，因此抑制了微细的灰尘与液体9的混合。
液体喷出装置1还包括待填充入第二容纳空间的液体状充填剂11和用于调整填充入第二容纳空间的液体状充填剂11的压力的压力调整单元12。液体状充填剂11是不可压缩的物质，例如可以将诸如水等液体或凝胶状物质用作液体状充填剂11。
第二容纳空间，即，填充有液体状充填剂11的空间，通过诸如管等连通单元13与压力调整单元12连接。连通单元13设置有阀14、阀15及布置在阀14和阀15之间的接合件16。
在本实施方式中，液体状充填剂11填充入第二容纳空间。与气体的体积相比，液体或凝胶的体积几乎不受温度和压力的改变的影响。因此，即使当液体喷出装置1的周围的温度和大气压改变时，液体状充填剂11的体积也几乎不变，并且可以抑制第一容纳空间中的液体9的压力的变化。
壳体7的一部分可以形成为缓冲器17。具体地，缓冲器17通过壳体7的壁的一部分形成为柔性膜而形成。缓冲器17在液体喷出装置1停止操作的情况下，或在液体喷出装置1的操作过程中电源中断的情况下起作用。
例如，液体状充填剂11和液体9的体积随着大气压和温度的改变而稍微地改变。缓冲器17吸收由于液体状充填剂11和液体9的体积的改变而发生的压力的变化，因此将第一容纳空间中的液体9的压力的变化抑制到较小。
相比于气体的体积，液体状充填剂11的体积几乎不受温度或大气压的改变的影响。因此，相比于将气体填充入第二容纳空间的情况，本发明具有可以进一步使缓冲器17小型化的优点。注意的是，本发明不限于将缓冲器17设置于壳体7的构造，缓冲器17可以设置于连通单元13。
进一步地，在本实施方式中，液体9容纳在容纳袋8中，液体状充填剂11填充入容纳袋8的外侧面和壳体7之间的空间，因此容纳袋8几乎不暴露于气体。因而，气体几乎不能进入容纳袋8，因而抑制了容纳在容纳袋8中的液体9的压力的升高。
例如，可以使用具有小透气性的、诸如多层铝膜(aluminum multi-layeredfilm)等材料作为形成容纳袋8的柔性构件。当使用具有小透气性的材料时，即使在液体状充填剂11中产生气泡的情况下，仍能够抑制气泡透过而进入容纳袋8，因而能够抑制容纳袋8中的液体9的压力的升高。
进一步地，液体9容纳在第一容纳空间中，液体状充填剂11填充入第二容纳空间，并且液体9和液体状充填剂11之间的密度差比液体9和气体之间的密度差小。当向壳体7施加冲击时，可以通过减小待容纳在第一容纳空间中的物质和待填充入第二容纳空间中的物质之间的密度差来进一步抑制容纳袋8的摇动。
例如，在将气体填充入第二容纳空间的情况下，气体的密度相对于液体9的密度是极小的。在该情况下，气体根据容纳液体9的容纳袋8的移动而在壳体7中移动。因而，当向壳体7施加冲击时，气体几乎不抑制容纳袋8的移动，所以容纳袋8相对剧烈地摇动。
在本实施方式中，将相对于容纳在第一容纳空间中的液体9具有相对小的密度差的液体状充填剂11填充入第二容纳空间。因而，液体状充填剂11相对于容纳液体9的容纳袋8的移动独立地在壳体7中移动。即，当向壳体7施加冲击时，液体状充填剂11和容纳液体9的容纳袋8抑制了相对于彼此的移动，其结果是抑制了容纳袋8的摇动。
优选地，液体状充填剂11具有在液体9的密度的80％以上至120％以下的范围内的密度。通过使用具有在该范围内的密度的液体状充填剂11更有效地抑制了容纳袋8的摇动。
在将气体填充入第二容纳空间的情况下，包含在第一容纳空间的液体9和填充入第二容纳空间的气体之间的密度差被视为是100％。相比之下，通过使用具有在液体9的密度的80％以上至120％以下的范围内的密度的液体状充填剂11使密度差在20％以内。结果，相比于将气体填充入第二容纳空间的情况，容纳袋8的摇动被抑制到五分之一或更小。由于液体状充填剂11和液体9之间的密度差变得较小，所以容纳袋8变得不大可能摇动。
另外，在本实施方式中，压力调整单元12调整填充入第二容纳空间的液体状充填剂11的压力，因此不必在容纳袋8中设置在液体状充填剂11中受浮力作用的浮动件。因而，可以减小壳体7中的密度分布的变化，当向壳体7施加冲击时，可以抑制容纳袋8的摇动。
当抑制了容纳袋8的摇动时，也抑制了容纳在容纳袋8中的液体9的压力的变化。
如上所述，在本实施方式中，抑制了容纳在第一容纳空间(即，容纳袋8)中的液体9的压力的变化。因而，抑制了头部3中的液体9的压力的变化，并维持头部3的内压为负压。结果，抑制了液体9从头部3泄漏(液体泄漏)。
作为本实施方式的示例，壳体7的容量、液体9的初始量和液体状充填剂11的初始量可以分别设置为400mL、约300mL和约100mL。无需赘述，本发明不限于此，壳体7的容量、液体9的初始量和液体状充填剂11的初始量均可以适当地确定。例如，壳体7的容量和液体9的初始量可以分别设置为400mL和约400mL，并且在初始状态下，可以不将液体状充填剂11填充入第二容纳空间。
形成容纳袋8的柔性构件是具有约10μm至约200μm的厚度的构件，假设以体积计算最多为约5mL至约6mL。因而，形成容纳袋8的柔性构件的体积约为液体状充填剂11和液体9的总量的1％，这是相当小的。因此，形成容纳袋8的柔性构件和液体状充填剂11之间的密度差及形成容纳袋8的柔性构件和液体9之间的密度差可忽略不计。
例如，具有相对高的气密性的铝层叠膜可以作为用于容纳袋8的构件。该层叠膜的膜厚度一般为约10μm。铝的密度为2.7g/cm3，这远大于液体状充填剂11和液体9的密度。然而，容纳袋8与液体状充填剂11和液体9的总量的体积比小于1％，因此容纳袋8的密度可忽略不计。
壳体7填充有液体9和液体状充填剂11，因此可以抑制容纳袋8的摇动。结果，抑制了液体9从喷出口10泄漏。
在液体容纳单元4安装于液体喷出装置1的状态下，当在某些情况下向连通单元13施加外力时，壳体7相对剧烈地摇动。此外，在某些情况下液体容纳单元4在液体喷出装置1中移动。即使在这些情况下，仍抑制了容纳袋8的摇动，因此抑制了液体9从头部3泄漏。
图2是示出压力调整单元12的示例的图。如图2所示，压力调整单元12可以包括压力传感器18、泵19、阀20、储存器21和控制单元22。
压力传感器18充当测量连通单元13中的液体状充填剂11的压力的压力测量单元。待用压力传感器18测量的压力与液体状充填剂11相对于液体喷出装置1中的大气压的相对压力对应。期望的是，将压力传感器18布置在更靠近阀15的位置，以便不容易受外部干扰的影响。
储存器21储存液体状充填剂11。泵19在储存器21和壳体7之间移动液体状充填剂11。泵19的示例包括管泵、膜片泵和齿轮泵。阀20布置在泵19和储存器21之间且通常是关闭的。
压力传感器18测量液体状充填剂11的压力并传送与压力对应的信号至控制单元22。控制单元22基于连通单元13中的液体状充填剂11的压力来控制阀20和泵19的操作。当在阀20打开的状态下驱动泵19时，液体状充填剂11在储存器21和壳体7之间移动，并将壳体7的压力调整至预定值。
接着，参照图2至图4说明液体喷出装置1的操作。图3是示出随着液体9的消耗容纳袋8已从图2所示的状态收缩回的状态的图。图4是示出通过使用压力传感器18和控制单元22进行液体状充填剂11的压力控制的流程图。
当启动液体喷出装置1时，控制单元22开始控制壳体7中的压力。
当从头部3的喷出口10中喷出液体9时，容纳在容纳袋8中的液体9的量减少，容纳袋8的容积也减小。在阀20关闭的状态下，壳体7和连通单元13是密闭的，因此壳体7和连通单元13中的液体状充填剂11的压力降低。
控制单元22控制压力传感器18来测量连通单元13中的液体状充填剂11的压力(步骤S1)。压力传感器18传送与液体状充填剂11的测量压力对应的信号至控制单元22。然后，控制单元22基于从压力传感器18传送来的信号控制泵19和阀20的操作。
具体地，控制单元22确定连通单元13中的液体状充填剂11的压力值是否在预定范围内(步骤S2)。在控制单元确定连通单元13中的液体状充填剂11的压力值比预定范围低的情况下，控制单元22打开阀20并驱动泵19(步骤S3)。当泵19将液体状充填剂11从储存器21供应至壳体7时，壳体7中的压力升高(填充步骤)。
此后，压力传感器18再次测量连通单元13中的液体状充填剂11的压力(步骤S1)，控制单元22确定连通单元13中的液体状充填剂11的压力值是否在预定范围内(步骤S2)。在控制单元22确定连通单元13中的液体状充填剂11的压力值回到预定范围的情况下，控制单元22关闭阀20并停止泵19。结果，不将液体状充填剂11从储存器21供应至壳体7，壳体7中的压力的升高停止。
以这样的方式，当控制单元22基于压力传感器18的测量结果来控制阀20和泵19的操作时，在预定范围内调整壳体7中的压力(压力调整步骤)。
注意的是，在壳体7中的压力过度地升高的情况下，通过使用泵19将液体状充填剂11从壳体7输送至储存器21。因而，降低了壳体7中的压力。
当调整壳体7中的压力时，控制单元22确定是否结束压力控制(步骤S4)。在控制单元22确定不结束压力控制的情况下，控制单元22控制压力传感器18来测量连通单元13中的液体状充填剂11的压力(步骤S1)。
在本实施方式中，调整头部3中的液体9的压力，因此喷出口10处的液体9的弯月面(meniscus)保持在令人满意的状态。因而，加强了头部3的喷出稳定性。
特别是，随着液体9的消耗将液体状充填剂11填充入第二容纳空间，因此维持了头部3中的液体9的压力而不用考虑液体9的消耗量。这样对具有较大容积的壳体7的液体喷出装置1有利。可以通过增大壳体7的容积来降低液体容纳单元4的更换频率。
在特开2006-192785号公报中公开的液体喷出装置中，基于储墨器的变形量来推测储墨器的体积和液体的消耗量，进而获得储墨器中的液体的压力。储墨器的变形是不均匀的，因此基于储墨器的变形量难以精确地推测储墨器的体积。如果不能精确地获得储墨器的体积，储墨器中的液体的压力也就不能维持在预定值，就会使喷出口10处的液体9的弯月面劣化。结果，使头部3的喷出稳定性低下。
在本实施方式中，壳体7填充有液体9和液体状充填剂11，因此液体9的压力值仅通过测量液体状充填剂11的压力值而获得。液体状充填剂11的压力的改变几乎不受容纳袋8的变形形式影响。因而，液体9的更精确的压力值通过测量液体状充填剂11的压力值而获得。
当获得液体9的更精确的压力值时，头部3中的液体9的压力被保持为期望的负压，喷出口10处的液体9的弯月面保持在令人满意的状态。结果，加强了头部3的喷出稳定性。
在本实施方式中，液体状充填剂11和液体9处于液态，因此其体积变化比气体的体积变化小，并且其压力不会骤然改变。
当容纳袋8如图3所示已经随着液体9的消耗而收缩回时，将液体状充填剂11再填充入壳体7。液体状充填剂11和液体9之间的密度差相对较小。因此，即使当壳体7中的液体状充填剂11和液体9之间的体积比改变时，涉及液体9的消耗的壳体7中的密度的改变也相对较小。不必校正涉及体积比的改变的压力变化，其结果是可以使液体喷出装置1简化。
(第二实施方式)
参照图5说明本发明的第二实施方式。图5是设置在根据本实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式中的元件相同的元件并省略其说明。
如图5所示，在本实施方式中，液体状充填剂11填充入柔性的容纳袋8的内部空间，液体9填充入容纳袋8的外侧面和壳体7之间的空间。即，柔性的容纳袋8的内部空间形成待填充液体状充填剂11的第二容纳空间，容纳袋8的外侧面和壳体7之间的空间形成容纳液体9的第一容纳空间。容纳袋8经由连通单元13(见图1)与压力调整单元12连通。
当从喷出口10喷出液体9时，壳体7和连通单元13中的压力降低。当压力超出预定范围时，将液体状充填剂11引入容纳袋8。结果，壳体7和连通单元13中的压力维持在预定范围内。
其余的构造与第一实施方式的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1还呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第三实施方式)
参照图6说明本发明的第三实施方式。图6是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
液体容纳单元4相对于液体喷出装置1的主体可拆卸地形成。因而，在液体容纳单元4损坏或包含在容纳袋8中的液体9被完全地消耗的情况下，液体喷出装置1可以仅通过更换液体容纳单元4而准备再次使用。
将接合件16以能够分离成两个接合部16a和16b的方式形成。通过在连通单元13处设置接合件16，连通单元13可以在压力调整单元12和阀14之间与压力调整单元12分离。结果，液体容纳单元4能够可拆卸地安装于液体喷出装置1的主体。
当液体容纳单元4从液体喷出装置1的主体移除时，阀14和阀15是关闭的。当阀14关闭时，壳体7的内压维持为负压，防止液体9从喷出口10泄漏。当阀15关闭时，不再从压力调整单元12供应液体状充填剂11，防止液体状充填剂11的泄漏。
其余的构造与第一实施方式的构造相同，因此省略其说明。
在液体容纳单元4从液体喷出装置1移除的情况下，输送液体容纳单元4，向液体容纳单元4施加振动。抑制了容纳袋8的摇动，因此抑制了头部3中的液体9的压力的变化。因而，即使当仅输送液体容纳单元4时，仍抑制了液体9从头部3泄漏。
根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第四实施方式)
参照图7说明本发明的第四实施方式。图7是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
在本实施方式中，头部3不固定于液体容纳单元4，并且头部3和液体容纳单元4可以单独地安装于液体喷出装置1的主体。
如图7所示，液体喷出装置1包括头部安装部23，头部3安装于头部安装部23。头部3包括设置在与喷出口10连通的流道中的头部过滤器24和布置在流道的开口边缘处的O型环25。
液体容纳单元4包括容器过滤器26和O型环抵接部27，容器过滤器26设置在与容纳液体9的第一容纳空间连通的流道中，O型环25与O型环抵接部27抵接。当将液体容纳单元4与头部3抵接，使得O型环25和O型环抵接部27彼此靠近并接触时，头部3的喷出口10和液体容纳单元4的第一容纳空间经由头部过滤器24和容器过滤器26彼此连通。
当O型环25和O型环抵接部27彼此靠近并接触时，封闭了头部3和液体容纳单元4之间的间隙。结果，抑制了空气流入头部3和液体容纳单元4。
容器过滤器26是具有微细的孔的构件，并且容器过滤器26的孔中的液体9的弯月面和壳体7中的压力处于平衡。因而，即使当液体容纳单元4不保持在抵接头部3的状态时，液体9也不从容器过滤器26泄漏。
通过使用抽吸单元(未示出)从头部3的喷出口10吸出液体9而将液体容纳单元4中的液体9经由容器过滤器26和头部过滤器24填充入头部3。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第五实施方式)
参照图8说明本发明的第五实施方式。图8是设置在根据本实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元4的示意图。注意的是，通过相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图8所示，容纳袋8包括波纹管部(bellows portion)28和用于封闭波纹管部28的一个开口的盖部29。波纹管部28的另一个开口被头部3封闭，头部3的喷出口10与波纹管部28的内部空间彼此连通。
相比于波纹管部28，盖部29是不大可能变形的构件。可以将相对厚的板状或片状的弹性构件用作盖部29。期望的是，盖部29的密度几乎与液体状充填剂11和液体9的密度相同。例如，更期望的是，将由密度为0.9g/cm3至0.92g/cm3的聚丙烯形成的板构件用作盖部29。
当从喷出口10喷出液体9时，容纳在容纳袋8中的液体9的量减小，并且容纳袋8的容积也减小。同时，波纹管部28收缩。相比于波纹管部28，盖部29不大可能变形，因此可以保护柔性的容纳袋8不受到不期望的变形。当柔性的容纳袋8如期望的那样收缩时，可以有效地消耗液体9。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第六实施方式)
参照图9说明本发明的第六实施方式。图9是设置在根据本实施方式的液体喷出装置1中的液体容纳单元4的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图9所示，在本实施方式中，压力传感器18布置于壳体7的内侧面。因而，可以更精确地测量壳体7中的液体状充填剂11的压力。
优选地，将不大可能由于壳体7中的压力的变化和外力的影响而变形的传感器用作压力传感器18。当使用这样的传感器时，布置于壳体7的内侧面的压力传感器18能够被视为壳体7的壁。因而，即使在压力传感器18布置于壳体7的内侧面的情况下，仍可以稳定地控制壳体7中的压力。
不限于将压力传感器18视为壳体7的壁，不会因为壳体7中的压力的变化和外力的影响而变形的任何构件均可以被视为布置于壳体7的内侧面的壳体7的壁。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第七实施方式)
参照图10说明本发明的第七实施方式。图10是设置在根据本实施方式的液体喷出装置中的液体容纳单元4和压力调整单元12的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图10所示，压力调整单元12包括储存器21，储存器21中形成有空气连通孔30。储存器21沿上下方向布置在头部3的喷出口表面的下方。因而，负压作用在头部3的喷出口10处的液体9上。基于从头部3的喷出口表面至储存在储存器21中的液体状充填剂11的液面的上下方向上的距离来决定作用在喷出口10处的液体9上的压力值。
在本实施方式中，不使用图2中所示的压力传感器18、泵19、阀20和控制单元22，喷出口10处的液体9的压力也可以维持为负压。
在本实施方式中，当喷出液体9时，容纳袋8的体积减小，壳体7中的压力也降低。结果，液体状充填剂11从储存器21移动至壳体7。当液体状充填剂11流入壳体7时，壳体7的内压维持为预定的负压。
更优选地，储存器21在水平方向上具有足够的尺寸。当储存器21在水平方向上的尺寸进一步增大时，储存器21中的液体状充填剂11的液面会较小地下降，从而可以抑制由液面下降产生的压力改变。
图11是示出压力调整单元12的另一示例的示意图。
如图11所示，压力调整单元12可以包括用于升降储存器21的升降单元31。当储存器21升起或下降时，储存在储存器21中的液体状充填剂11的液面相对于头部3的喷出口表面在上下方向上移位，并且作用在喷出口10处的液体9的压力的大小也改变。
例如，可以将用于支撑储存器21的弹性构件用作升降单元31。当液体状充填剂11从储存器21移至壳体7时，储存器21中的液体状充填剂11的液面相对于储存器21下降，并且储存器21中的液体状充填剂11的重量减小。
当储存器21中的液体状充填剂11的重量减小时，充当升降单元31的弹性构件上的负载减小，并且储存器21通过弹性构件的弹力作用上升。以如下方式设计弹性构件的弹性常数：随着液体状充填剂11的移动，液面的下降量和储存器21的上升量彼此相等，而储存器21中的液面相对于头部3可以一直为常数。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第八实施方式)
参照图12和图13说明本发明的第八实施方式。图12是根据本实施方式的液体喷出装置1的示意图。图13是示出根据本实施方式的液体喷出装置1的操作的流程图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图12所示，液体喷出装置1包括充当加压单元的活塞泵32。活塞泵32与驱动机构连接，并响应驱动机构的操作将液体状充填剂11注入壳体7，以给壳体7的内部加压。除了活塞泵32之外，其它元件均与根据第一实施方式的液体喷出装置1的元件相同，并且根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相同的效果。
在将墨用作液体9的情况下，喷出口10处的墨的粘度增大，从而在某些情况下使墨从喷出口10喷出受阻。这在液体喷出装置1长时间暂停的情况下特别容易发生。
此外，气泡在喷出口10附近累积，在某些情况下使液体9从喷出口10喷出受阻。这在液体喷出装置1连续地运行的情况下特别容易发生。
当活塞泵32将液体状充填剂11注入壳体7时，粘度增大的液体9和在喷出口10附近的气泡被强制地从喷出口10排出。结果，使增稠的液体9和气泡从喷出口10移除，其结果是可以令人满意地从喷出口10喷出液体9。
在本实施方式中，液体喷出装置1包括充当加压单元的活塞泵32，因此液体喷出装置1可以呈现与第一实施方式的效果相同的效果，而且还可以解决由于增稠的液体9和气泡产生的无法喷出的问题。
参照图12和图13说明排出增稠的液体9和气泡时液体喷出装置1的操作。
首先，关闭阀14和阀15中的至少一个阀，并通过使用活塞泵32将液体状充填剂11注入壳体7。壳体7填充有不可压缩的液体9和液体状充填剂11，因此从头部3的喷出口10推出的液体9的体积与通过使用活塞泵32注入壳体7的液体状充填剂11的体积大致相等。
推出液体9的压力由活塞泵32的尺寸和与活塞泵32连接的驱动机构产生的力决定。通过使用活塞泵32和被构造成产生较大的力的驱动机构，向液体9施加更高的压力，并且具有相对高的粘度的液体9可以更容易地从喷出口10推出。
通过在壳体7处设置缓冲器17，相对高的压力不大可能瞬间地施加于壳体7中的液体状充填剂11，其结果是可以抑制大量的液体9从喷出口10流出。此外，相对高的压力不大可能瞬间地施加于壳体7中的液体状充填剂11的构造的结果是可以防止低强度的部件损坏。
在缓冲器17的可动体积比待通过使用活塞泵32推出的液体状充填剂11的量小的情况下，将至少仅为差量的液体9从喷出口10推出。
在设置缓冲器17的可动体积比待通过使用活塞泵32推出的液体状充填剂11的量大的情况下，适当地设计缓冲器17扩张时获得的压力。根据该设计，在缓冲器17扩张的同时壳体7中的压力升高，并且从喷出口10推出液体9。
在任意情况下，增稠的液体9和气泡从喷出口10的排出均能使液体9容易地通过喷出口10。结果，液体9以与通过使用活塞泵32注入壳体7的液体状充填剂11的量大致相同的量从喷出口10流出。
当通过使用活塞泵32将液体状充填剂11注入了壳体7时，打开阀14和阀15，并将活塞泵32缓慢地移回原始位置。当阀14和阀15打开时，压力调整单元12调整壳体7中的液体状充填剂11的压力。因而，活塞泵32以壳体7的内压可以保持为预定的负压的方式相对缓慢地移回原始位置，因此头部3可以开始喷出。
当喷出口10附近的增稠的液体9和气泡排出时，在某些情况下液滴粘附于喷出口表面。通过涉及用刮板等擦拭喷出口表面的已知的方法来移除粘附于喷出口表面的液滴。可以在通过打开阀14和阀15将活塞泵32移回原始位置之前或之后来将喷出口表面的液滴移除。
存在的问题在于，随着诸如泵等可动机构的操作，诸如泵等可动机构通常会产生颗粒。在本实施方式中，活塞泵32以不与液体9接触的方式保持，因此由活塞泵32的操作产生的颗粒仅与液体状充填剂11混合，而不与液体9混合。因而，存在的优点在于可以抑制液体9的污染。
将根据流道的压力损耗而发生流量变化的诸如涡轮泵的泵和用于根据驱动量以大致恒定的流量输送液体的所谓的容积泵用作给流体加压的单元均是已知的。容积泵的示例包括活塞泵、齿轮泵、管泵和膜片泵。
本发明不限于将活塞泵32用作加压单元的构造。优选地，也可以将容积泵用作加压单元。容积泵的使用具有如下优点：在对液体状充填剂11施加更高的压力的同时，可以抑制超过必要的量的液体9排出。
特开2008-105360号公报中公开了一种涉及通过向浮动件中供给空气来排出喷嘴中的增稠的液体的维修方法。更具体地，当向浮动件中供给空气时，浮动件中的气体的压力升高并且浮动件扩张。结果，增稠的墨从喷嘴排出。
然而，根据特开2008-105360号公报中公开的维修方法，即使当停止向浮动件中供给空气时，墨从喷嘴的排出也不能瞬间停止。这是因为浮动件中的气体的压力已经升高。因而，存在可能排出比期望的量大的墨量的风险。
在根据本实施方式的液体喷出装置1中，可以根据加压单元的加压压力来排出喷出口10处的增稠的液体9和气泡。在这种情况下，待排出的液体9的量与通过加压单元待供给的液体状充填剂11的量大致相等。因而，可以更精确地调整待排出的液体9的量。
(第九实施方式)
参照图14、图15A和图15B说明本发明的第九实施方式。图14是根据本实施方式的液体喷出装置1的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式至第八实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图14所示，液体喷出装置1包括充当加压单元的按压机构(pressingmechanism)33。按压机构33按压缓冲器17的柔性膜。本实施方式在其它方面与第八实施方式相同，根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相同的效果。
在按压机构33按压缓冲器17的柔性膜的状态下，缓冲器17几乎不起作用。因此，可以仅通过将液体状充填剂11供应至壳体7来升高壳体7中的液体状充填剂11的压力，并能够强制地推出喷出口10处的气泡和增稠的墨。
图15A是压力调整单元12和连通单元13的放大图。如图15A所示，孔34可以设置于将壳体7连接至压力调整单元12的连通单元13。
当孔34设置于连通单元13时，即使不关闭阀14和阀15，壳体7中的液体状充填剂11也不能容易地朝向压力调整单元12流动。因而，通过用按压机构33突然地压缓冲器17的柔性膜使壳体7中的压力升高，其结果是将气泡和增稠的墨从喷出口10推出。
注意的是，孔34阻碍液体状充填剂11从压力调整单元12容易地流动至壳体7。然而，当驱动头部3以喷出液体9时的液体状充填剂11的单位时间的流量远小于在突然地移动按压机构33的情况下的液体状充填剂11的单位时间的流量。因此，孔34的关于液体状充填剂11从压力调整单元12流动至壳体7的流阻可忽略不计。
更优选地，孔34的尺寸被优化成不允许孔34的流阻具有不利的影响。
图15B是示出压力调整单元12和连通单元13的另一示例的放大图。具有孔35的阀可以代替阀15(见图15A)设置于连通单元13。具有孔35的阀关闭时起到阀的作用并且打开时起到孔的作用。
(第十实施方式)
参照图16说明本发明的第十实施方式。图16是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图16所示，液体喷出装置1包括用于移除容纳在液体状充填剂11中的气体的除气装置36、泵37和温度控制装置38。液体状充填剂11通过壳体7、除气装置36和温度控制装置38循环。使温度控制装置38和液体容纳单元4彼此连通的连通单元设置有阀39、阀40和接合件41。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
在本实施方式中，将已经除气并且温度被控制的液体状充填剂11供给至壳体7，因此柔性的容纳袋8中的液体9的温度保持恒定，并且壳体7中不大可能产生气泡。因而，形成容纳袋8的柔性构件不需具有阻气性(gas barrierproperty)。
此外，通过具有低阻气性的柔性构件形成容纳袋8，液体9中产生的气泡通过容纳袋8移动至液体状充填剂11。即使当使用未除气的液体9时，气泡也不保持在液体9中，因此可以加强头部3的喷出性能的稳定性。结果，液体喷出装置1可以长时间的连续地运行。这适于要求具有特别高的可靠性的工业用喷墨装置。
注意的是，液体9中产生的并移动至液体状充填剂11的气泡通过使用除气装置36从液体状充填剂11中移除。
形成容纳袋8的柔性构件可以是具有相对低的阻气性的构件。此外，液体状充填剂11抑制了容纳袋8的摇动，因此可以由薄且软的材料形成容纳袋8。作为示例，也可以使用厚度为约5μm的聚乙烯膜等。
存在的风险在于，诸如液体状充填剂11和液体9等组分的分子及气体分子可能微量地透过具有低阻气性的薄膜。关于液体组分的透过，可以将与液体9或液体9的主要组分相同的液体用作液体状充填剂11的主要组分。虽然液体9的组分的组分比由于分子的彼此渗透而发生改变，但是透过膜的分子的量较小，因此液体9的组分比的改变非常小且可忽略不计。
注意的是，虽然在所示示例中几乎整个柔性的容纳袋8均由膜形成，但是容纳袋8的一部分可以由诸如不锈钢板等具有高硬度的材料形成。通过使用不锈钢板等，可以使柔性的容纳袋8的形状稳固，并使壳体7小型化。此外，即使在柔性膜不具有足够的强度的情况下，仍可以在液体9的填充过程中抑制容纳袋8的破损。
虽然不锈钢板的密度比液体9的密度大，但是如果将不锈钢板不可动地固定于非柔性的壳体7，就可以抑制由不锈钢板的密度与液体9的密度的差产生的影响。
当排出增稠的液体9等时，只需关闭阀14或阀15并操作泵37即可。泵37充当用于升高壳体7中的压力并使增稠的液体9从头部3排出的加压单元。在泵37操作预定量之后，再次打开阀14或阀15。
可以将管泵、齿轮泵等用作泵37。这些泵具有的优点在于，它们可以以相对简单的构造根据转角以大致恒定的量输送液体。在使用这些泵的情况下，随着泵的操作产生了颗粒。然而，在本实施方式中，产生的颗粒仅与液体状充填剂11混合，而不与液体9混合。因而，液体9没有被污染。
作为另一示例，以下也是可应用的。
当通过给液体状充填剂11加压而将增稠的液体9等推出时，必须限制压力调整单元12和液体容纳单元4之间的液体状充填剂11的流动。还可以将处于停止状态的压力调整单元12用作流动限制单元。
在使用根据第一实施方式的液体喷出装置1中的压力调整单元12(见图2)作为示例的情况下，可以通过停止泵19的操作来限制液体状充填剂11的流动。此外，通过使用控制单元22停止负压控制和通过驱动泵19均可以加压壳体7中的液体状充填剂11。
(第十一实施方式)
参照图17说明本发明的第十一实施方式。图17是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图17所示，壳体7包括主体部7a和中空的突出部7b，主体部7a包括第一容纳空间和第二容纳空间，中空的突出部7b沿与头部3的液体喷出方向(向下方向)相反的方向从主体部7a突出。突出部7b与第二容纳空间连通并容纳液体状充填剂11和气体。压力调整单元12包括液面位置控制机构42和气体压力控制机构43。
液面位置控制机构42包括储存器44、液体供应单元45和液面位置传感器46。储存器44储存液体状充填剂11。液体供应单元45在壳体7和储存器44之间输送液体状充填剂11。液面位置传感器46检测突出部7b中的液体状充填剂11的液面的位置。液体供应单元45基于液面位置传感器46测量的突出部7b中的液体状充填剂11的液面的位置来操作。
用于使液体供应单元45和壳体7彼此连接的充填剂连通单元47设置有阀48、阀49和接合件50。充填剂连通单元47可以在阀48和阀49关闭的状态下在接合件50处分离。储存器44设置有大气连通孔51。
气体压力控制机构43包括调节器52、泵53和压力传感器54。压力传感器54设置在用于使调节器52和突出部7b彼此连接的气体连通单元55中，并测量相对于液体喷出装置1中的大气压的气体连通单元55中的相对压力。期望的是，将压力传感器54布置在更靠近阀57的位置，以便不容易受外部干扰的影响。
控制单元(未示出)驱动调节器52和泵53。调节器52和泵53基于与压力传感器54测量的压力对应的电信号来操作。以这种方式，控制了气体连通单元55和突出部7b中的气体的压力。
气体连通单元55设置有阀56、阀57和接合件58，并且气体连通单元55可以在阀56和阀57关闭的状态下在接合件58处分离。只需将气体连通单元55构造成其中能够通过气体，并且气体连通单元55的内径可以比充填剂连通单元47的内径小。
通过在接合件50处分离充填剂连通单元47和在接合件58处分离气体连通单元55，则液体容纳单元4准备从液体喷出装置1的主体移除。
当液体喷出装置1启动时，气体压力控制机构43开始压力控制。气体连通单元55与突出部7b连通，当控制气体连通单元55中的气体的压力时，控制了突出部7b中的气体的压力。
当控制突出部7b中的气体的压力时，控制了壳体7中的液体状充填剂11的压力和容纳袋8中的液体9的压力。结果，使头部3中的内压控制在预定范围内。
当液体9从头部3的喷出口10喷出时，消耗了柔性的容纳袋8中的液体9，进而柔性的容纳袋8的容积缩小。然后，突出部7b的液面位置下降。
当液面位置传感器46检测到突出部7b的液面位置已经降至预定位置以下时，控制单元(未示出)打开阀48和阀49并驱动液体供应单元45。结果，使液体状充填剂11从储存器44经由充填剂连通单元47供应至壳体7。
当液体状充填剂11供给至壳体7时，突出部7b的液面位置升高。当液面位置传感器46检测到液面位置已经落入预定范围时，控制单元(未示出)停止液体供应单元45。
因而，液面位置控制机构42的操作使突出部7b的液面位置控制在预定范围内。
气液分离膜59形成于突出部7b和气体连通单元55之间。气液分离膜59允许气体穿过，但不允许液体穿过。
在液面位置控制机构42故障的情况下，在某些情况下，液体状充填剂11可能从储存器44经由充填剂连通单元47过多地供应至壳体7。在这种情况下，突出部7b中的液体状充填剂11与气液分离膜59接触。气液分离膜59不允许液体穿过，因此抑制了至气体连通单元55的液体状充填剂11的流动。
关于与突出部7b的突出方向交叉(例如，垂直)的截面(以下简称“截面”)，突出部7b的内部的截面面积比主体部7a的内部的截面面积的最大值小。只需将突出部7b的内部空间的尺寸设置成可以控制气体的压力的尺寸。无需赘述，在图17中，可以减小突出部7b在纸面深度方向上(in a drawing depthdirection)的尺寸。
假设如下情况：将液体容纳单元4从液体喷出单元1的主体移除并输送。
在这种情况下，突出部7b的截面面积比主体部7a的截面面积的最大值小，因此突出部7b中产生的液体状充填剂11的波动可以相对小。因而，抑制了容纳袋8的振动，并抑制了向头部3施加的负压的变化。结果，更加抑制了液体9从头部3的喷出口10流出。
此外，假设如下状态：液体容纳单元4安装于液体喷出装置1的主体上。在这种状态下，向气体连通单元55和充填剂连通单元47施加外力，并且液体容纳单元4在某些情况下振动。
此外，突出部7b的截面面积比主体部7a的截面面积的最大值小，因此突出部7b中产生的液体状充填剂11的波动可以相对小。因而，抑制了容纳袋8的振动，并抑制了向头部3施加的负压的变化。结果，能够确保当液体9从喷出口10喷出时的喷出稳定性。
此外，虽然气体存在于与壳体7连接的气体连通单元55中，但是气体的密度比液体的密度小。气体的密度相当小，因此气体连通单元55中的气体相当轻。因而，即使当由于气体连通单元55的振动而使气体连通单元55中的气体加速时，向突出部7b的液体状充填剂11施加的来自气体的力是小的。因此，液体状充填剂11几乎不振动，从而抑制了负压的变化。
另外，气体具有压缩性。突出部7b和气体连通单元55中的气体通过收缩或扩张充当缓冲物，以抑制液体状充填剂11的振动。结果，抑制了容纳袋8的振动，从而确保了当液体9从喷出口10喷出时的喷出稳定性。
液体容纳单元4安装于液体喷出装置1的主体并在某些情况下在液体喷出装置1中移动。即使在这种情况下，突出部7b中的液体状充填剂11产生的波动相对小，因此，抑制了容纳袋8的振动。因而，抑制了向头部3施加的负压的变化，从而可以抑制液体9从头部3的喷出口10流出。
现在，考虑在液体容纳单元4的输送过程中液体状充填剂11相对于液体容纳单元4的振动不共振的条件。
在截面中的突出部7b的内部的最大尺寸定义为L，在液体容纳单元4的输送过程中向液体容纳单元4施加的振动频率定义为f，重力加速度定义为g，圆周率定义为π。在这种情况下，基于重力波方程，当满足以下表达式时，液体状充填剂11不共振：
L<g/(2πf2)。
可以通过以满足上述表达式的方式设置相对于频率f的最大尺寸L来进一步抑制突出部7b中的液体状充填剂11的波动。例如，当在液体容纳单元4的输送过程中向液体容纳单元4施加的振动频率设置为5Hz时，最大尺寸L为62mm或更小。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第十二实施方式)
参照图18说明本发明的第十二实施方式。图18是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式至第十一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图18所示，压力调整单元12包括：用于容纳液体状充填剂11和气体的辅助容器60；用于控制辅助容器60中的液面的位置的液面位置控制机构42；和用于控制辅助容器60中的气体的压力的气体压力控制机构43。壳体7和辅助容器60通过第二充填剂连通单元61彼此连接，并且液体状充填剂11可以在壳体7和辅助容器60之间移动。
第二充填剂连通单元61设置有阀62、阀63和接合件64，并且第二充填剂连通单元61可以在阀62和阀63关闭的状态下在接合件64处分离。当第二充填剂连通单元61在接合件64处分离时，液体容纳单元4可以准备从液体喷出装置1的主体移除。当安装有液体容纳单元4的液体喷出装置1移动时，可以关闭阀62。
关于与头部3的液体喷出方向交叉(例如，垂直)的截面，辅助容器60的截面面积比壳体7的截面面积的最大值小。只需使辅助容器60具有能够控制气体的压力的尺寸。无需赘述，在图18中，可以减小辅助容器60在纸面深度方向上的尺寸。
只需将气体连通单元55构造成能够通过气体。气体连通单元55的内径可以比第一充填剂连通单元47和第二充填剂连通单元61的内径小。
液面位置控制机构42包括储存器44、液体供应单元45和液面位置传感器46。液面位置传感器46检测辅助容器60中的液体状充填剂11的液面的位置。液体供应单元45基于液面位置传感器46测量的辅助容器60中的液体状充填剂11的液面的位置操作。
当操作液体供应单元45时，液体状充填剂11从储存器44供应至辅助容器60，辅助容器60中的液体状充填剂11的液面位置升高。结果，辅助容器60中的液体状充填剂11的液面保持在预定位置。
气体压力控制机构43包括调节器52、泵53和压力传感器54。压力传感器54设置在气体连通单元55中。压力传感器54测量相对于液体喷出装置1中的大气压的气体连通单元55中的相对压力。
当液体喷出装置1启动时，气体压力控制机构43开始压力控制。控制单元(未示出)控制调节器52和泵53，以基于与压力传感器54测量的压力对应的电信号来控制气体连通单元55中的气体的压力。
气体连通单元55与辅助容器60连通，通过控制气体连通单元55中的气体压力来控制辅助容器60中的气体的压力。然后，通过控制辅助容器60中的气体的压力来控制辅助单元60和壳体7中的液体状充填剂11的压力。当控制液体状充填剂11的压力时，控制了容纳袋8中的压力，从而使头部3中的压力控制在预定范围内。
期望的是，将压力传感器54布置在更靠近气液分离膜59的位置，以便不容易受外部干扰的影响。
当液体9从头部3的喷出口10喷出时，消耗了柔性的容纳袋8中的液体9，进而柔性的容纳袋8的容积缩小。结果，液体状充填剂11从辅助容器60流入壳体7，进而辅助容器60的液面位置下降。
当液面位置传感器46检测到辅助容器60的液面位置已经降至预定位置以下时，控制单元(未示出)驱动液体供应单元45。结果，使液体状充填剂11从储存器44经由第一充填剂连通单元47供应至辅助容器60。
第一充填剂连通单元47可以设置有阀，在该情况下，控制单元(未示出)在打开阀之后驱动液体供应单元45。
当将液体状充填剂11从储存器44供应至辅助容器60时，辅助容器60的液面位置升高。当液面位置传感器46检测到液面位置已经落入预定的范围时，控制单元(未示出)停止液体供应单元45。
因而，液面位置控制机构42的操作将辅助容器60的液面位置控制在预定范围内。
气液分离膜59形成于辅助容器60和气体连通单元55之间。气液分离膜59允许气体通过，但不允许液体通过。
在液面位置控制机构42故障的情况下，在某些情况下，液体状充填剂11可能从储存器44经由充填剂连通单元47过多地供应至辅助容器60。在这种情况下，辅助容器60中的液体状充填剂11与气液分离膜59接触。气液分离膜59不允许液体通过，因此抑制了液体状充填剂11至气体连通单元55的流动。
假设如下情况：将液体容纳单元4从液体喷出装置1的主体移除并输送。
在这种情况下，壳体7中的密度基本上是均匀的，因此抑制了柔性的容纳袋8的振动。因而，能够抑制向头部3施加的负压的变化，从而能够抑制液体9从头部3的喷出口10流出。
此外，假设如下状态：液体容纳单元4安装于液体喷出装置1的主体。在这种状态下，向气体连通单元55和充填剂连通单元47施加外力，并且在某些情况下，液体容纳单元4振动。
即使当向气体连通单元55或充填剂连通单元47施加外力以在液体容纳单元4中产生振动时，因为壳体7中的密度基本上是均匀的，所以抑制了柔性的容纳袋8的振动。因而，抑制了向头部3施加的负压的变化。
此外，虽然气体存在于气体连通单元55和辅助容器60中，但是气体的密度比液体的密度小。气体的密度相当小，因此气体连通单元55中的气体相当轻。因而，即使当由于气体连通单元55的振动而使气体连通单元55中的气体加速时，向辅助容器60的液体状充填剂11施加的来自气体的力是小的。因此，液体状充填剂11几乎不振动，从而抑制了负压的变化。
另外，气体具有压缩性。辅助容器60和气体连通单元55中的气体通过收缩或扩张充当缓冲物，以抑制液体状充填剂11的振动。结果，抑制了容纳袋8的振动，从而能够确保当液体9从喷出口10喷出时的喷出稳定性。
即使当液体容纳单元4在液体容纳单元4安装于液体喷出装置1的主体的情况下在液体喷出装置1中移动时，因为壳体7中的密度基本上是均匀的，所以可以抑制柔性的容纳袋8的振动。因而，可以抑制向头部3施加的负压的变化，进而抑制了液体9从头部3的喷出口10流出。
其余的构造与第一实施方式中的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第十三实施方式)
参照图19说明本发明的第十三实施方式。图19是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式至第十一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图19所示，压力调整单元12包括气体压力控制机构43。相比于根据第十一实施方式的气体压力控制机构43(见图17)，根据本实施方式的气体压力控制机构43更靠近液体容纳单元4布置。
此外，压力调整单元12包括通过第二气体连通单元65与突出部7b连接的气体缓冲部66。
第二气体连通单元65设置有阀67、阀68和接合件69，并且第二气体连通单元65可以在阀67和阀68关闭的状态下在接合件69处分离。当第二气体连通单元65在接合件69处分离时，液体容纳单元4能够准备从液体喷出装置1的主体移除。
其余构成元件与第十一实施方式的构成元件(见图17)相同，因此这里省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1还呈现与第一实施方式和第十一实施方式的效果相同的效果。
气体缓冲部66中的气体充当缓冲物。因此，即使当向第一气体连通单元55(见图17等)和充填剂连通单元47施加外力以在液体容纳单元4中产生振动时，仍抑制了液体状充填剂11的振动。结果，可以抑制向头部3的喷出口10施加的负压的变化，从而能够确保当液体9从喷出口10喷出时的喷出稳定性。
即使当液体容纳单元4在液体喷出装置1的主体中移动时，气体缓冲部66中的气体充当缓冲物，因此抑制了液体状充填剂11的振动。因而，抑制了柔性的容纳袋8的振动，并能够抑制向头部3施加的负压的振动，其结果是可以抑制液体9从头部3的喷出口10流出。
(第十四实施方式)
参照图20说明本发明的第十四实施方式。图20是根据本实施方式的液体喷出装置的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式至第十二实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
在本实施方式中，将水性墨用作液体状充填剂11。
如图20所示，泵53经由第一气体连通单元55与辅助容器60连通。第二气体连通单元65能够使气体供给部(未示出)和辅助容器60连通，并沿着第二气体连通单元65的路径设置调节器52。
将不含氧气的气体、例如氮气供给第二气体连通单元65。将经由第二气体连通单元65向辅助容器60供给的气体经由第一气体连通单元55供应至泵53并从泵53排出。
已知的是，相比于除了氧气之外的气体，氧气易于溶解在水中。因此，当水性墨暴露于辅助容器60中的包含相对大量的氧气的气体时，氧气溶解在水性墨中，进而可能在壳体7中产生气泡。
在本实施方式中，将不含氧气的气体、例如氮气供给辅助容器60，使得辅助容器60中的氧气浓度降低。结果，辅助容器60中的气体几乎不溶解在液体状充填剂11中，从而减小了溶解在液体状充填剂11中的气体的量。
当溶解在液体状充填剂11中的气体的量减小时，辅助容器60和壳体7中几乎不产生气泡，从而维持了壳体7填充有液体状充填剂11的状态。因而，可以维持壳体7中的密度基本均匀，并且可以抑制容纳袋8的振动，还可以抑制头部3中的负压的变化。结果，抑制了液体9从喷出口10泄漏。
其余的构造与第十二实施方式的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1还呈现与第十二实施方式的效果相似的效果。
(第十五实施方式)
参照图21和图22说明本发明的第十五实施方式。图21是根据本实施方式的液体喷出装置1的示意图，图22是图21所示的状态的液体9已被消耗的状态的示意图。注意的是，使用相同的附图标记标注与第一实施方式的元件相同的元件并省略其说明。
如图21所示，根据本实施方式的液体喷出装置1包括代替柔性的容纳袋8(见图1等)的柔性膜70。柔性膜70不具有波纹管部。
柔性膜70将壳体7的内部空间分成与头部3的喷出口10连通的第一容纳空间和不与头部3的喷出口10连通的第二容纳空间。液体9容纳在第一容纳空间中，并从喷出口10喷出。第二容纳空间与压力调整单元12连通，并将液体状充填剂11填充入第二容纳空间。
如图22所示，柔性膜70随着液体9的消耗而变形，第二容纳空间随着第一容纳空间的收缩而扩张。壳体7中的压力通过使用压力调整单元12调整第二容纳空间中的液体状充填剂11的压力而保持在预定值。结果，维持了向头部3施加的压力，从而抑制了液体9从喷出口10泄漏。
通过使用不具有波纹管部的柔性膜70，可以使液体容纳单元4的结构简化，从而可以降低液体容纳单元4的制造成本。
其余的构造与第一实施方式的构造相同，因此省略其说明。根据本实施方式的液体喷出装置1也呈现与第一实施方式的效果相似的效果。
(第十六实施方式)
参照图23说明本发明的第十六实施方式。注意的是，本实施方式具有与第十五实施方式的构造共通的构造，部分地省略对共通部分的说明。以下对区别点进行详细说明。
如图23所示，本发明的压印装置75主要包括液体喷出装置1。另外，液体喷出装置1主要包括头部3、抗蚀剂容纳单元(resist containing unit)84和压力调整单元12。
抗蚀剂容纳单元84的第一容纳空间容纳有可光固化的抗蚀剂(light-curable resist)76。与第一容纳空间连通的头部3将抗蚀剂76喷出至稍后描述的晶圆77(基板)的表面。
注意的是，在本实施方式中，可光固化的抗蚀剂76由可光固化的树脂形成。然而，可光固化的抗蚀剂76可以由其它可光固化的物质(流体)形成。
此外，本实施方式的压印装置75包括：模具78，模具78的一个面上形成有槽形微细图案(凹凸图案)；模具移动部80，其用于移动模具78；和模具支撑部81，其用于通过模具移动部80的介入(intermediation)来支撑模具78。模具78由具有光透过性的石英材料形成并被构造成通过模具移动部80沿上下方向移动。注意的是，模具移动部80和模具支撑部81充当本发明的图案形成单元。
在根据本实施方式的压印装置75中，用于利用紫外光照射喷出至晶圆77(基板)的抗蚀剂76(图案)的曝光单元79(光照射单元)通过模具78的介入来设置。曝光单元79通过曝光单元支撑部82支撑在模具78的上方。
以下说明通过使用根据本实施方式的压印装置75在晶圆77的表面上形成图案的步骤。
首先，将从头部3喷出至晶圆77的抗蚀剂76涂布在晶圆77上，以形成预定的图案。
通过晶圆输送部83(移动单元)将晶圆77移动至模具78下方的区域，晶圆77具有涂布至晶圆77(形成于晶圆上)的抗蚀剂76(图案)。
然后，通过模具移动部80使模具78下降，使模具78压形成在晶圆77的上表面上的抗蚀剂76(图案)。由于该按压操作，抗蚀剂76填充入模具78的微细图案(槽)中。
在抗蚀剂76填充入微细图案之后，曝光单元79的紫外光通过模具78照射抗蚀剂76。以这种方式，形成由抗蚀剂76形成的图案。
在图案形成之后，通过模具移动部80将模具78升起，并将模具78从形成的图案移除。因此，通过压印装置75在晶圆基板上形成图案的步骤结束了。
通过第一容纳空间中的抗蚀剂76和第二容纳空间中的液体状充填剂11由压力调整单元12控制压印装置75的头部3中的负压。这可以抑制大容积的抗蚀剂容纳单元84中的压力的变化。结果，可以在压印装置75中抑制抗蚀剂76从头部3的喷出口10流出。
注意的是，根据上述各实施方式的液体喷出装置的构造均适用于根据本实施方式的压印装置75。
此外，可以将本发明的压印装置75应用于例如用于制造诸如半导体集成电路元件或液晶显示元件等装置的半导体制造装置。
通过使用本发明的压印装置75制造组件的方法可以包括如下步骤：通过使用压印装置75在基板(晶圆、玻璃板、膜状基板)上形成图案的图案形成步骤，以及处理其上形成有图案的基板的处理步骤。
此外，给出蚀刻基板的蚀刻处理作为处理基板的处理步骤。
注意的是，在制造诸如图案介质(patterned medium)(记录介质)或光学元件等装置(组件)的情况下，优选除了蚀刻处理之外的工艺处理。
相比于现有技术的组件制造方法，根据本发明的制造组件的方法，增强了组件的性能、质量和生产率，并可以降低生产成本。
如从上述各实施例中所理解的，在本发明中，第二容纳空间填充有液体状充填剂。相比于气体的体积，液体状充填剂的体积几乎不受温度和压力的改变的影响。因此，即使当液体喷出装置的周围的温度或大气压改变时，液体状充填剂的体积也不大可能变化，从而抑制了容纳在第一容纳空间中的液体的压力的变化。
此外，将液体状充填剂填充入第二容纳空间，因此柔性构件几乎不暴露于气体。因此，气体几乎不进入第一容纳空间，从而抑制了容纳在第一容纳空间中的液体的压力的升高。
此外，第一容纳空间填充有液体，第二容纳空间填充有液体状充填剂，并且液体和液体状充填剂之间的密度差相对小。因此，即使当向壳体施加冲击时，柔性构件几乎不摇动，容纳在第一容纳空间中的液体的压力也几乎不变化。
此外，通过调整填充入第二容纳空间的液体状充填剂的压力来调整容纳在第一容纳空间中的液体的压力，因此，无需在液体状充填剂中沉入浮动件。因此，相比于在壳体中设置浮动件的情况，在本发明中，抑制了当向容纳部施加冲击时柔性构件的摇动，并且容纳在第一容纳空间中的液体的压力不大可能变化。
如上所述，容纳在第一容纳空间中的液体的压力不大可能变化，因此头部的内压被维持为负压，从而抑制了液体从头部泄漏。
虽然已经参照示例性实施方式说明了本发明，但是应当理解，本发明不限于所公开的示例性实施方式。权利要求书的范围应符合最宽泛的解释，以包含所有这些变型、等同结构和功能。

Claims (37)

1.一种液体喷出装置，其包括：
头部，其被构造成用于喷出液体；
液体容纳单元，其具有密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体，所述第一容纳空间的容积随着所述液体从所述头部喷出而减小，所述第二容纳空间容纳液体状充填剂；
压力调整单元，其被构造成与所述第二容纳空间连通并且以将所述头部的内压维持为负压的方式调整所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
连通单元，其被构造成用于使所述第二容纳空间和所述压力调整单元彼此连通；和
阀，其设置于所述连通单元，
其中，所述液体容纳单元在所述压力调整单元和所述阀之间能够与所述压力调整单元分离。
2.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括：
储存器，其被构造成用于储存所述液体状充填剂，所述储存器与所述第二容纳空间连通；
压力测量单元，其被构造成用于测量所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
液体供应单元，其被构造成用于在所述第二容纳空间和所述储存器之间输送所述液体状充填剂；和
控制单元，其被构造成基于所述压力测量单元测量的压力来控制所述液体供应单元的操作。
3.根据权利要求1所述的液体喷出装置，
其中，所述密闭的壳体包括：主体部，其包括所述第一容纳空间和所述第二容纳空间；和中空的突出部，其与所述第二容纳空间连通并容纳所述液体状充填剂和气体，
所述中空的突出部沿与所述头部的液体喷出方向相反的方向从所述主体部突出，
所述压力调整单元包括：液面位置控制机构，其被构造成用于控制所述中空的突出部中的所述液体状充填剂的液面的位置；和气体压力控制机构，其被构造成用于控制所述中空的突出部中的所述气体的压力，并且
关于与所述中空的突出部的突出方向交叉的截面，所述中空的突出部的内部的截面面积比所述主体部的内部的截面面积的最大值小。
4.根据权利要求3所述的液体喷出装置，其中，满足以下表达式：
L<g/(2πf2)
L代表所述中空的突出部的内部在与所述突出方向交叉的所述截面中的最大尺寸，f代表当输送所述液体容纳单元时向所述液体容纳单元施加的振动的频率，g代表重力加速度，π代表圆周率。
5.根据权利要求3所述的液体喷出装置，其中，所述液面位置控制机构以能够与所述密闭的壳体分离的方式与所述密闭的壳体连通，所述气体压力控制机构以能够与所述中空的突出部分离的方式与所述中空的突出部连通。
6.根据权利要求3所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括与所述中空的突出部连通的气体缓冲部。
7.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其中，所述气体缓冲部能够与所述中空的突出部分离。
8.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括：
辅助容器，其被构造成用于容纳所述液体状充填剂和气体，所述辅助容器与所述第二容纳空间连通；
液面位置控制机构，其被构造成用于控制所述辅助容器中的所述液体状充填剂的液面位置；和
气体压力控制机构，其被构造成用于控制所述辅助容器中的所述气体的压力。
9.根据权利要求8所述的液体喷出装置，其中，所述辅助容器能够与所述密闭的壳体分离。
10.根据权利要求8所述的液体喷出装置，其中，所述气体不含氧气。
11.根据权利要求3所述的液体喷出装置，其中，所述气体压力控制机构经由气液分离膜与所述中空的突出部的容纳所述气体的部分连通。
12.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其还包括：
加压单元，其被构造成用于向所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂施加压力；和
流动限制单元，其被构造成用于限制所述液体状充填剂在所述压力调整单元和所述第二容纳空间之间的流动。
13.根据权利要求12所述的液体喷出装置，其中，所述加压单元包括容积泵。
14.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其中，所述头部固定于所述液体容纳单元。
15.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其中，所述液体状充填剂具有在所述液体的密度的80％以上至120％以下的范围内的密度。
16.一种抑制液体泄漏的方法，其用于液体喷出装置，所述液体喷出装置包括被构造成用于喷出液体的头部、密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述液体容纳在所述第一容纳空间中，
所述抑制液体泄漏的方法包括：
将液体状充填剂填充入所述第二容纳空间的填充步骤；和
以将所述头部的内压维持为负压的方式调整所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力的压力调整步骤，
其中，所述压力调整步骤包括通过与所述第二容纳空间连通的压力调整单元来调整所述液体状充填剂的压力，并且
所述抑制液体泄漏的方法还包括在限制所述液体状充填剂在所述压力调整单元和所述第二容纳空间之间的流动时，加压所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的加压步骤。
17.根据权利要求16所述的抑制液体泄漏的方法，其中，所述加压步骤包括通过容积泵加压所述液体状充填剂。
18.一种压印装置，其包括：
液体喷出装置，其包括：
头部，其被构造成用于喷出液体；
液体容纳单元，其具有密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体，所述第一容纳空间的容积随着所述液体从所述头部喷出而减小，所述第二容纳空间容纳液体状充填剂；
压力调整单元，其被构造成与所述第二容纳空间连通并且以将所述头部的内压维持为负压的方式调整所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
连通单元，其被构造成使得所述压力调整单元与所述第二容纳空间连通；和
阀，其设置于所述连通单元，其中所述液体容纳单元在所述压力调整单元和所述阀之间能够与所述压力调整单元分离；
移动单元，其被构造成用于使所述液体喷出装置与表面涂布有从所述头部喷出的所述液体的基板相对移动；
模具，其表面形成有凹凸图案；和
图案形成单元，其被构造成使所述模具的所述形成有所述凹凸图案的表面和所述基板的所述涂布有所述液体的表面接触，由此在所述基板的所述涂布有所述液体的表面上形成与形成在所述模具的所述表面上的所述凹凸图案对应的图案。
19.根据权利要求18所述的压印装置，
其中，所述液体是可光固化的液体，并且
所述图案形成单元包括光照射单元，所述光照射单元被构造成利用光照射形成在所述基板上的所述图案，以使该图案固化。
20.一种通过根据权利要求18所述的压印装置来制造包括基板的组件的方法，所述方法包括：
在所述基板的表面上形成图案；和
处理其上形成有所述图案的所述基板。
21.一种液体喷出装置，其包括：
头部，其被构造成用于喷出液体；
液体容纳单元，其具有密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体，所述第一容纳空间的容积随着所述液体从所述头部喷出而减小，所述第二容纳空间容纳液体状充填剂；
压力调整单元，其被构造成与所述第二容纳空间连通并且以将所述头部的内压维持为负压的方式调整所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
其中，所述液体状充填剂具有在所述液体的密度的80％以上至120％以下的范围内的密度。
22.根据权利要求21所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括：
储存器，其被构造成用于储存所述液体状充填剂，所述储存器与所述第二容纳空间连通；
压力测量单元，其被构造成用于测量所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
液体供应单元，其被构造成用于在所述第二容纳空间和所述储存器之间输送所述液体状充填剂；和
控制单元，其被构造成基于所述压力测量单元测量的压力来控制所述液体供应单元的操作。
23.根据权利要求21所述的液体喷出装置，
其中，所述密闭的壳体包括：主体部，其包括所述第一容纳空间和所述第二容纳空间；和中空的突出部，其与所述第二容纳空间连通并容纳所述液体状充填剂和气体，
所述中空的突出部沿与所述头部的液体喷出方向相反的方向从所述主体部突出，
所述压力调整单元包括：液面位置控制机构，其被构造成用于控制所述中空的突出部中的所述液体状充填剂的液面的位置；和气体压力控制机构，其被构造成用于控制所述中空的突出部中的所述气体的压力，并且
关于与所述中空的突出部的突出方向交叉的截面，所述中空的突出部的内部的截面面积比所述主体部的内部的截面面积的最大值小。
24.根据权利要求23所述的液体喷出装置，其中，满足以下表达式：
L<g/(2πf2)
L代表所述中空的突出部的内部在与所述突出方向交叉的所述截面中的最大尺寸，f代表当输送所述液体容纳单元时向所述液体容纳单元施加的振动的频率，g代表重力加速度，π代表圆周率。
25.根据权利要求23所述的液体喷出装置，其中，所述液面位置控制机构以能够与所述密闭的壳体分离的方式与所述密闭的壳体连通，所述气体压力控制机构以能够与所述中空的突出部分离的方式与所述中空的突出部连通。
26.根据权利要求23所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括与所述中空的突出部连通的气体缓冲部。
27.根据权利要求26所述的液体喷出装置，其中，所述气体缓冲部能够与所述中空的突出部分离。
28.根据权利要求21所述的液体喷出装置，其中，所述压力调整单元包括：
辅助容器，其被构造成用于容纳所述液体状充填剂和气体，所述辅助容器与所述第二容纳空间连通；
液面位置控制机构，其被构造成用于控制所述辅助容器中的所述液体状充填剂的液面位置；和
气体压力控制机构，其被构造成用于控制所述辅助容器中的所述气体的压力。
29.根据权利要求28所述的液体喷出装置，其中，所述辅助容器能够与所述密闭的壳体分离。
30.根据权利要求28所述的液体喷出装置，其中，所述气体不含氧气。
31.根据权利要求23所述的液体喷出装置，其中，所述气体压力控制机构经由气液分离膜与所述中空的突出部的容纳所述气体的部分连通。
32.根据权利要求21所述的液体喷出装置，其还包括：
加压单元，其被构造成用于向所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂施加压力；和
流动限制单元，其被构造成用于限制所述液体状充填剂在所述压力调整单元和所述第二容纳空间之间的流动。
33.根据权利要求32所述的液体喷出装置，其中，所述加压单元包括容积泵。
34.根据权利要求21所述的液体喷出装置，其中，所述头部固定于所述液体容纳单元。
35.一种压印装置，其包括：
液体喷出装置，其包括：
头部，其被构造成用于喷出液体；
液体容纳单元，其具有密闭的壳体和设置在所述密闭的壳体中的柔性构件，所述密闭的壳体包括与所述头部连通的第一容纳空间和通过所述柔性构件与所述第一容纳空间分隔开的第二容纳空间，所述第一容纳空间容纳所述液体，所述第一容纳空间的容积随着所述液体从所述头部喷出而减小，所述第二容纳空间容纳液体状充填剂，其中，所述液体状充填剂具有在所述液体的密度的80％以上至120％以下的范围内的密度；
压力调整单元，其被构造成与所述第二容纳空间连通并且以将所述头部的内压维持为负压的方式调整所述第二容纳空间中的所述液体状充填剂的压力；
移动单元，其被构造成用于使所述液体喷出装置与表面涂布有从所述头部喷出的所述液体的基板相对移动；
模具，其表面形成有凹凸图案；和
图案形成单元，其被构造成使所述模具的所述形成有所述凹凸图案的表面和所述基板的所述涂布有所述液体的表面接触，由此在所述基板的所述涂布有所述液体的表面上形成与形成在所述模具的所述表面上的所述凹凸图案对应的图案。
36.根据权利要求35所述的压印装置，
其中，所述液体是可光固化的液体，并且
所述图案形成单元包括光照射单元，所述光照射单元被构造成利用光照射形成在所述基板上的所述图案，以使该图案固化。
37.一种通过根据权利要求35所述的压印装置来制造包括基板的组件的方法，所述方法包括：
在所述基板的表面上形成图案；和
处理其上形成有所述图案的所述基板。
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