JP7358206B2 - 吐出装置、吐出装置の制御方法、およびインプリント装置 - Google Patents
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Description
第1実施形態では、インプリント装置に適用される吐出材を吐出する吐出材吐出装置(以下、単に「吐出装置」ともいう)を説明する。そして、吐出装置において加圧クリーニング処理を行う構成を説明する。以下では、まずインプリント装置の全体構成を説明し、その後に吐出装置の全体構成を説明する。
図1は、本実施形態に適用可能なインプリント装置101の構成を示す概略図である。インプリント装置101は、半導体デバイスなどの各種のデバイスの製造に使用される。インプリント装置101は、吐出装置10を備える。吐出装置10は、吐出材114(レジスト)を基板111上に吐出する。吐出材114は、紫外線108を受光することにより硬化する性質を有する光硬化性の樹脂である。吐出材114は、半導体デバイス製造工程などの各種条件により適宜選択される。光硬化性の他にも例えば、熱硬化性のレジストである吐出材を用いてもよく、インプリント装置は、熱でレジストを硬化させてインプリント処理を行う装置でもよい。吐出材114のことをインプリント材と呼んでもよい。
図2は、吐出装置10の概要を示す図である。吐出装置10は、筐体ユニット74と圧力制御部306とを有する。圧力制御部306は、サブタンク12と、メインタンク19とを有する。筐体ユニット74は、着脱可能であり、筐体ユニット74内の吐出材114が消費された場合、継手71で取り外して、吐出材114が充填された筐体ユニット74が、新たに吐出装置10に取り付けられて設置される。取り外しされた筐体ユニット74には、吐出材114を再充填することが可能であり、吐出材114を再充填することで繰り返し使用することが可能である。
図3は、インプリント装置101の制御系に関するブロックを示す図である。図3では、本実施形態で説明する加圧クリーニングに関連するブロックの例を示している。インプリント装置101は、筐体ユニット74と制御部106とを有する。筐体ユニット74は、制御基板75を有する。制御基板75は、記憶部77を有する。記憶部77には、筐体ユニット74における吐出に関連する情報が記憶されている。図3に示す記憶部77は、吐出が適切に行われなかった数(以下、不吐数という)、吐出材残液量、可撓性膜にかかる圧力(以下、可撓性膜圧力という)、および筐体ユニットへの再充填回数が記憶されている。
次に、加圧クリーニングの概要を説明する。その後に、制御基板75内の記憶部77および制御部106内の記憶部78に記憶される情報の取得例を説明し、これらの情報に基づいて加圧クリーニングを制御する例を説明する。まず、図2を用いて加圧クリーニングの概要を説明する。
第1実施形態では、不吐数が増加した場合、即ち、実際に不吐が生じた場合に加圧クリーニングを行う例を説明した。本実施形態では、ノズルの詰まりを予め抑制するために、周期的に加圧クリーニングを実施する例を説明する。周期的とは、固定期間および可変期間の両方を含むものとする。尚、インプリント装置101の構成は、第1実施形態と同様とすることができる。あるいは、可撓性膜8を用いずにヘッド内の圧力を制御する吐出装置10を用いることもできる。可撓性膜8を用いない構成としては、例えば吐出材が充填された収容袋が、作動液で充填された収容容器に配され、密閉された収容容器の外部の圧力制御部によって収容容器内の圧力が制御される吐出装置であってもよい。
10 吐出装置
106 制御部
114 吐出材
306 圧力制御部
Claims (19)
- 液状の吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
可撓性膜によって吐出材を収容する第1収容空間と作動液を収容する第2収容空間とに分離された収容容器と、
前記第2収容空間と連通し、前記第2収容空間の圧力を制御する圧力制御部と、を備え、
前記圧力制御部で前記第2収容空間を加圧して前記吐出ヘッドの加圧クリーニングをする吐出装置であって、
前記加圧クリーニングの強度を、複数の設定の中から切り替えて設定する設定手段を有し、
前記設定手段は、前記可撓性膜にかかっている圧力に応じて、前記加圧クリーニングの強度を切り替えることを特徴とする吐出装置。 - 前記圧力制御部は、前記第2収容空間の圧力を調整することで前記第1収容空間の圧力を制御することを特徴とする請求項1に記載の吐出装置。
- 前記圧力制御部は、
液面が前記吐出ヘッドより低くなるように作動液を収容するタンクと、
前記タンクと前記収容容器とを接続する流路と、
前記流路に設けられたポンプと、を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の吐出装置。 - 前記設定手段は、前記可撓性膜にかかっている圧力が第一値より大きい場合、前記可撓性膜にかかっている圧力が前記第一値より小さい場合に比べて前記加圧クリーニングの強度を弱めることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記吐出ヘッドの各ノズルの不吐数に応じて、前記加圧クリーニングの強度を切り替えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記不吐数が所定値より多い場合、前記不吐数が前記所定値より少ない場合に比べて前記加圧クリーニングの強度を強めることを特徴とする請求項5に記載の吐出装置。
- 液状の吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
可撓性膜によって吐出材を収容する第1収容空間と作動液を収容する第2収容空間とに分離された収容容器と、
前記第2収容空間と連通し、前記第2収容空間の圧力を制御する圧力制御部と、を備え、
前記圧力制御部で前記第2収容空間を加圧して前記吐出ヘッドの加圧クリーニングをする吐出装置であって、
前記加圧クリーニングの強度を、複数の設定の中から切り替えて設定する設定手段を有し、
前記設定手段は、前記収容容器内の吐出材の残液量に応じて、前記加圧クリーニングの強度を切り替えることを特徴とする吐出装置。 - 前記設定手段は、前記残液量が第二値より少ない場合、前記残液量が前記第二値より多い場合に比べて前記加圧クリーニングの強度を弱めることを特徴とする請求項7に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記収容容器内の吐出材の再充填の回数に応じて、前記加圧クリーニングの強度を切り替えることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記再充填の回数が第三値よりも多い場合、前記再充填の回数が前記第三値よりも少ない場合に比べて前記加圧クリーニングの強度を弱めることを特徴とする請求項9に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記加圧クリーニングの強度を弱める場合、圧力値を下げること、加圧の速度を遅くすること、加圧する時間を短くすることの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記可撓性膜にかかっている圧力、収容容器内の吐出材の残液量、および前記収容容器内の吐出材の再充填の回数のうちの少なくとも1つに基づいて、警告を出力する出力手段をさらに有することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記出力手段は、前記可撓性膜にかかっている圧力が第一値より大きいこと、前記残液量が第二値よりも少ないこと、および前記再充填の回数が第三値よりも多いこと、のうちの少なくとも1つを満たす場合、前記警告を出力することを特徴とする請求項12に記載の吐出装置。
- 前記出力手段は、前記可撓性膜が破損することを示す警告を表示部に出力することを特徴とする請求項12または13に記載の吐出装置。
- 前記加圧クリーニングは、前記吐出ヘッドの各ノズルの不吐数が所定の閾値を超えている場合に行われることを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記吐出ヘッドの使用状態に応じて、前記加圧クリーニングの強度を段階的に強めることを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の吐出装置。
- 前記設定手段は、前記加圧クリーニングの強度を段階的に強めることに応じて、加圧する時間を段階的に短くすることを特徴とする請求項16に記載の吐出装置。
- 請求項1から17のいずれか一項に記載の吐出装置を備え、
前記吐出装置によって基板に吐出材を吐出することを特徴とするインプリント装置。 - 液状の吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
可撓性膜によって吐出材を収容する第1収容空間と作動液を収容する第2収容空間とに分離された収容容器と、前記第2収容空間と連通し、前記第2収容空間の圧力を制御する圧力制御部と、を備え、前記圧力制御部で前記第2収容空間を加圧して前記吐出ヘッドの加圧クリーニングをする吐出装置の制御方法であって、
前記加圧クリーニングの強度を、複数の設定の中から切り替えて設定する工程と、
前記設定に従って前記加圧クリーニングを実施する工程と、
を有し、
前記設定する工程は、前記可撓性膜にかかっている圧力に応じて、前記加圧クリーニングの強度を切り替えることを特徴とする吐出装置の制御方法。
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