JP2006130455A - 液体供給装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液体の含有空気量を低く抑えるとともに、液体への圧力の正確な付加を可能にすることで、液体塗布部での安定した液体の塗布を可能にする液体供給装置を提供する。
【解決手段】 液体供給装置10は、柔軟性を有する袋部材1、剛性が高い液体貯蔵タンク2、液体排出口3、圧力供給口5及び圧力付加装置7等を備えている。圧力供給口5は液体貯蔵タンク2の上面に設けられ、液体排出口3は液体貯蔵タンク2の底面に設けられている。袋部材1は、液体貯蔵タンク2の内部に配置され、圧力供給口5に接続されている。圧力負荷装置7は、圧力供給口5から袋部材1の内部に圧力を付加する。液体8は、液体貯蔵タンク2の内壁面と袋部材1の外表面との間に充填され、袋部材1内の気圧を変化させることで液体排出口3を介して図示しないスピンコートへ供給される。
【選択図】 図1
【解決手段】 液体供給装置10は、柔軟性を有する袋部材1、剛性が高い液体貯蔵タンク2、液体排出口3、圧力供給口5及び圧力付加装置7等を備えている。圧力供給口5は液体貯蔵タンク2の上面に設けられ、液体排出口3は液体貯蔵タンク2の底面に設けられている。袋部材1は、液体貯蔵タンク2の内部に配置され、圧力供給口5に接続されている。圧力負荷装置7は、圧力供給口5から袋部材1の内部に圧力を付加する。液体8は、液体貯蔵タンク2の内壁面と袋部材1の外表面との間に充填され、袋部材1内の気圧を変化させることで液体排出口3を介して図示しないスピンコートへ供給される。
【選択図】 図1
Description
この発明は、液体を塗布する液体塗布部に液体を供給する液体供給装置に関する。
従来から、液体塗布装置の液体収納容器に収納された液体を液体塗布部に供給するため、および、液体塗布部から液体を安定して塗布するために、液体収納容器内の液体に圧力を付加する必要がある。図3は、従来の液体供給装置の一例を示す構成図である。例えば、従来の液体供給装置100は、剛性が高い液体収納容器102と、液体収納容器102の底面に設けられた液体排出口103と、液体排出口103から図示しない液体塗布部へ液体108を供給する液体供給管104と、液体収納容器102の上面に設けられた圧力供給口105と、液体収納容器102内へ付加する圧力を発生する圧力発生装置107と、圧力発生装置107で発生された圧力を圧力供給口105から液体収納容器102内へ供給する圧力供給管106と、を備えている。液体108は、液体収納容器102内に空気123とともに収納されている。
液体供給装置100において液体塗布部へ液体108を供給する場合、圧力発生装置107から圧力供給管106を介して液体収納容器102内へ圧力を付加し、液体収納容器102内の空気123の気圧を変化させることで、液体供給管104を介して液体塗布部へ液体108を供給する。
ところで、上述のような液体供給装置100では、液体収納容器102内に必ず空気123を必要とする。液体収納容器102内で液体108は空気123と接するので、液体108の揮発性が高い場合又は液体108の腐食性が強い場合、液体供給口103及び液体供給管104のように液体108が直接接する部分のみならず圧力供給口105及び圧力発生装置107のように液体108が直接接しない部分にも、結露防止手段又は耐腐食防止手段を設ける必要が生じ、液体供給装置100が大型化している。
特に、液体収納容器102に負圧を付加する場合、圧力供給口105及び圧力発生装置107などの空気123を吸引する部分にコンパレータ又はミストトラップを設ける必要があり、液体供給装置100の大型化及び製造コストの高騰を招いている。また、液体108の種類によっては、液体108が空気123と直接接することによる液体108の化学的な性質変化、及び、液体108内の含有空気量の増加が発生し、液体塗布装置の性能の低下を招いている。例えば、インクジェット方式の液体塗布装置では、液体収納容器102内に負圧が付加されるので、コンパレータ又はミストトラップを設ける必要が生じ、さらに、液体108内の含有空気量が増加した場合、液体108を吐出する圧力室内で空気が発生し、液体の吐出の安定性が損なわれる。したがって、インクジェット方式の液体塗布装置では、使用できる液体の種類が少数に限定されている。
そこで、液体と空気とを直接接触させない状態で液体収納容器内に液体を収納する構成が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。図4に示すように、他の従来の液体供給装置200は、剛性が高い液体収納容器202と、液体収納容器202内に配置された袋部材201と、液体収納容器202の側面に設けられた液体排出口203と、液体排出口203から図示しない液体塗布部へ液体208を供給する液体供給管204と、液体収納容器202の上面に設けられた圧力供給口205と、液体収納容器202内へ付加する圧力を発生する圧力発生装置207と、圧力発生装置207で発生された圧力を圧力供給口205から液体収納容器202内へ供給する圧力供給管206と、を備えている。袋部材201の開口部は、液体排出口203に接続されている。液体208は、袋部材201内に充満された状態で収納され、袋部材201の外表面と液体収納容器202の内壁面との間にある空気223と、袋部材201によって隔離されている。
液体供給装置200において液体208を液体塗布部へ供給する場合、圧力発生装置207から圧力供給管206を介して、袋部材201の外表面と液体収納容器202の内壁面との間にある空気223に圧力を付加し、空気223の気圧を変化させることで、液体供給口203及び液体供給管204を介して液体塗布部へ、袋部材201内の液体208を供給する。
液体供給装置200では、液体208と空気223とを袋部材201で隔離することで、液体供給装置100の場合のように圧力供給口205及び圧力発生装置207に結露防止手段又は耐腐食防止手段を設けずに、圧力供給口205及び圧力発生装置207の構成を簡略化しようとしている。また、液体208と空気223との接触による液体208の特性変化、及び、液体208の含有空気量の増加を防止して、液体吐出部から安定して液体を吐出しようとしている。
特開昭59−48162号公報
ところで、近年では、液体塗布装置で液体を塗布する対象物である基板が大型化されているとともに、インクジェット方式の液体塗布装置が液晶パネル及びPDP(プラズマ・ディスプレイ・パネル)製造装置に用いられることが多い。このため、液体塗布装置で塗布する液体の使用量が増加するとともに、使用する液体の種類も多様化している。
しかし、上述のような液体供給装置200を液晶パネル等の製造装置に用いた場合、次のような3つの問題が生じる。
第1に、袋部材201内に多量の液体208を収納する場合、袋部材201の外側から付加する圧力が袋部材201の内部の液体208に伝達されにくくなるとともに、液体208に特異的な圧力が発生する場合がある。
袋部材201内に多量の液体208を収納した場合、袋部材201内の液体208の重量が増加するので、液体208の自重による圧力に耐え得る高い剛性を有する袋部材201が必要となる。しかし、袋部材201の剛性が高い場合、袋部材201の外側から付加する圧力が袋部材201の内部の液体208に伝達されにくくなる。また、袋部材201として剛性が高いものを用いた場合、液体を消費することで袋部材201内部の液体208の量が減った際に、それに追従して袋部材201が円滑に変形しにくく、袋部材201の変形の仕方によっては特異的な圧力が発生することがある。特異的な圧力が液体208を加圧するように発生した場合、液体塗布部での液体の漏れ及び液体塗布部の誤動作が発生する。また、特異的な圧力が液体208に負圧を付加するように発生した場合、液体塗布部での液体の塗布の安定性を低下させる。
特に、液体208の収納量が10リットルを超える場合、液体208の自重によって袋部材201の底部が大きく変形し、液体208に付加される圧力が安定しない。また、袋部材201の最も表面積が大きい面を底部にした図4に示すような置き方以外の置き方をした場合は、いっそう底部が大きく変形し、圧力が液体208にほとんど伝達されなくなる。
第2に、腐食性の高い液体を用いた場合、袋部材201の材料の選択が非常に困難になる。したがって、腐食性の高い液体を用いることが困難である。
通常、耐腐食性が高い材料として、テフロン(登録商標)等のフッ素樹脂や、ポリエチレン等の樹脂材料にアルミニウム等の金属材料の薄膜を形成したものが考えられる。しかし、フッ素樹脂は剛性が高く、第1の問題として記載した上述のような問題があるとともに、袋部材201の開口部と液体排出口203とを接続する際に熱溶着による溶着力が弱く、溶着部から液漏れが発生する等の問題がある。また、液体208と接触する袋部材201の内表面に金属材料の薄膜を形成することは構造上困難である。さらに、金属材料の薄膜を形成したシートから袋部材201を形成する場合は、袋状に密閉するために溶着用の樹脂材料を使用する必要があり、結局は溶着用の樹脂材料を使用した部分から腐食するという問題がある。したがって、腐食性の高い液体を用いることが困難である。
第3に、袋部材201の内部に空気を混入せずに液体208を充填した場合、袋部材201の内部の液体208の空状態の検出が困難である。
図3に示す液体供給装置100では、液体108と空気123との境界面(以下、液面という。)が存在するため、液体排出口103と液体塗布部との間の液体供給管104の途中に、光学式又は超音波式の液面センサを設け、液面センサで液面を検出することによって、液体108の空状態を検出することが可能である。しかし、図4に示す液体供給装置200では、液体208と空気223とが隔離され液面が存在しないので、液面センサで液体208の空状態を検出することはできない。また、袋部材201の変形量を検出する方法では、常に一定した変形をしないので安定した検出を行えず、液体208を含む袋部材201の重量を測定する方法では、袋部材201の一部が液体排出口203に接続されているので、正確に袋部材201の重量を測定することができない。また、変形量を検出する方法及び重量を測定する方法ともに、液体収納容器202内にセンサを設ける必要があるとともに、液体収納容器202を密閉する必要があるので、液体供給装置200の構造が非常に複雑化する。
この発明の目的は、液体の含有空気量を低く抑えるとともに、液体への圧力の正確な付加を可能にすることで、液体塗布部での安定した液体の塗布を可能にする液体供給装置を提供することにある。
また、この発明の他の目的は、結露防止手段又は耐腐食防止手段を設けることなく簡易な構造で、揮発性及び腐食性の高い液体を使用することができる液体供給装置を提供することにある。
この発明の液体供給装置は、上述の課題を解決するために以下のように構成される。
(1)液体を塗布する液体塗布部に前記液体を供給する液体供給装置において、圧力の供給を受け入れる圧力供給口を有する液体収納容器と、前記液体収納容器の内部に配置され、前記圧力供給口に接続された柔軟性を有する袋部材と、前記圧力供給口を介して前記袋部材の内部に圧力を付加する圧力付加手段と、を備え、前記液体収納容器の内壁面と前記袋部材の外表面との間に前記液体が充填されることを特徴とする。
この構成においては、液体収納容器の内壁面と袋部材の外表面との間に液体が充填され、袋部材の内部の気圧を変化させることで液体に圧力が付加され、液体が液体塗布部に供給され液体塗布部から塗布される。袋部材の材料は、液体の量にかかわらず袋部材に付加すると想定される最高の圧力に耐え得るだけの剛性を有するものであればよく、袋部材として柔軟性を有するものが用いられる。また、液体の揮発性が高く又は腐食性が強い場合でも、圧力供給口に袋部材が接続され圧力供給口が液体から隔離されているので、圧力供給口に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がない。
(2)前記袋部材は、外表面に金属の薄膜を備えることを特徴とする。
この構成においては、袋部材は袋部材の外表面に金属の薄膜が形成される。袋部材が柔軟性を有するように樹脂で形成された場合でも、液体と接触する外表面に金属の薄膜が形成されるので、袋部材の耐腐食性が向上する。また、金属の薄膜が形成される場所は袋部材の外表面であるので、容易に金属の薄膜が形成される。
(3)前記圧力付加手段は、前記袋部材の内部に付加する加圧力を発生する加圧力発生手段と、前記袋部材の内部に付加する負圧力を発生する負圧力発生手段と、前記袋部材に対する前記加圧力発生手段と前記負圧力発生手段との接続状態を切り換える切換手段と、を含むことを特徴とする。
この構成においては、液体に対して加圧力及び負圧力が選択的に付加される。
(4)前記圧力付加手段によって前記袋部材の内部に付加される圧力を測定し、測定結果に基づいて前記液体収納容器内の液体の空状態を検出する圧力センサをさらに備えることを特徴とする。
この構成においては、圧力付加手段によって袋部材の内部に付加される圧力が圧力センサによって測定される。液体収納容器内に多量の液体があり袋部材の容積が小さい場合より、液体収納容器内の液体が空状態になり袋部材の容積が最大限まで大きくなった場合の方が、圧力センサによる検出結果の絶対値が大きくなる。したがって、圧力センサに所定の閾値を設定しておくことで、液体収納容器内の液体の空状態が検出される。
この発明によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)液体収納容器内で液体を空気と隔離して収納することで、液体の含有空気量を低く抑えることができる。また、袋部材として柔軟性を有するものを用いることができるので、液体に圧力を正確に付加することができる。したがって、液体塗布部での安定した液体の塗布が可能となる。さらに、圧力供給口に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がないので、液体供給装置を小型化することができる。
(2)袋部材の耐腐食性を向上させ、圧力供給口を液体と隔離したことで、腐食性が高い液体を使用することができる。
(3)液体に対して加圧力及び負圧力を選択的に付加することができるので、液体塗布部がインクジェット方式である場合にも、液体塗布部での安定した液体の塗布が可能となる。
(4)液体が空気と隔離して収納され液体と空気との境界面(液面)が存在しない場合でも、液体収納容器内の液体の空状態を容易に検出することができる。
また、液体の空状態を検出するセンサを、密閉する必要がある液体収納容器内に設ける必要がないので、簡易な構成で液体の空状態を検出できる。したがって、液体の空状態を検出するセンサを設けた場合でも液体供給装置を小型化することができる。
以下に、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図1は、この発明の実施形態に係る液体供給装置の構成を示し、図1(a)は液体貯蔵タンクに液体が多量に充填されている状態の構成図であり、図1(b)は液体貯蔵タンク内の液体が所定量使用された状態の構成図である。
この実施形態に係る液体供給装置10は、剛性が高い液体貯蔵タンク2と、液体貯蔵タンク2内に配置された柔軟性を有する袋部材1と、液体貯蔵タンク2の底面に設けられた液体排出口3と、一端が液体排出口3に接続され他端が図示しないスピンコートに接続されて液体排出口3からスピンコートへ液体8を供給する液体供給管4と、液体貯蔵タンク2の上面に設けられた圧力供給口5と、袋部材1内へ付加する任意の圧力を発生する圧力発生装置7と、一端が圧力発生装置7に接続され他端が圧力供給口5に接続されて圧力発生装置7で発生された圧力を圧力供給口5から袋部材1の内部へ供給する圧力供給管6と、を備えている。液体貯蔵タンク2はこの発明の液体収納容器に相当し、スピンコートは液体塗布部に相当する。
この実施形態では、液体8として、硬化型樹脂組成物と、溶剤としてのカルビトールアセテート、メタノール、アセトン、トルエン、または、N−メチル−2−ピロリドンと、からなるものが用いられている。液体貯蔵タンク2は、液体8に付加された圧力によって変形しない剛性を有している。袋部材1は、ポリエチレン製の袋の外表面にアルミニウムの薄膜を蒸着することで形成されている。
袋部材1は圧力供給口5に接続され、圧力発生装置7から圧力供給管6及び圧力供給口5を介して袋部材1の内部に圧力が付加される。液体8は、液体貯蔵タンク2の内壁面と袋部材1の外表面との間に、空気が入らないように充填されている。袋部材1が圧力供給口5に接続されていることで、圧力供給口5は液体8と隔離されている。
図1(a)に示すように、液体貯蔵タンク2内に最大量の液体8を収納する場合、袋部材1内に若干の空気を入れた状態で液体8を充填する。これによって、袋部材1の一部同士が貼り付いて剥がれないという問題を防いでいる。
液体貯蔵タンク2からスピンコートへ液体8を供給する場合、圧力発生手段7によって所定の圧力を発生し、圧力供給管6及び圧力供給口5を介して袋部材1内に所定の圧力を付加する。袋部材1内に所定の圧力を付加すると、袋部材1内の気圧が変化し、液体8に所定の圧力が付加される。これによって、液体8が液体貯蔵タンク2からスピンコートへ供給される。
図1(b)に示すように、液体8が消費されて、液体貯蔵タンク2内の液体8の量が減少し、袋部材1内の容積が大きくなった場合でも、液体8の量にかかわらず袋部材1の内部に正確に圧力が付加され、液体8に正確に圧力が伝達される。
液体供給装置10によれば、液体貯蔵タンク2内で液体8を空気と隔離して収納することで、液体8の含有空気量を低く抑えることができる。また、液体8を袋部材1の内部ではなく外部に収納するので、袋部材1として大きな負荷に耐え得る剛性を有するものを用いる必要がなく、袋部材1として柔軟性を有するものを用いることができ、液体8に圧力を正確に付加することができる。したがって、スピンコート(液体塗布部)での安定した液体8の塗布が可能となる。さらに、液体8の揮発性及び腐食性が高い場合でも圧力供給口5に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がないので、液体供給装置10を小型化することができる。
また、袋部材1の外表面に金属の薄膜を形成することで袋部材1の耐腐食性を向上させ、圧力供給口5を液体8と隔離したことで、腐食性が高い液体を使用することができる。さらに、液体8が袋部材1と接触するのは袋部材1の外表面であり、金属の薄膜は袋部材1の外表面に形成すればよいので、金属の薄膜を容易に形成することができる。
なお、袋部材1をポリエチレン以外の樹脂で形成することもできる。また、袋部材1の外表面に形成する金属の薄膜は、アルミニウムに限定されず、金の薄膜であってもよい。袋部材1の外表面を金の薄膜で覆うことによって、袋部材1の耐腐食性が向上し、いっそう強い腐食性を有する液体を使用することができるようになる。さらに、袋部材1の内部の気圧変化を正確に液体8に伝達できる程度に袋部材1が柔軟性を有する限りにおいて、及び、袋部材1と圧力供給口5との溶着部が所定の強度を有する限りにおいて、袋部材1の材料として、PTFE及びPFA等のフッ素樹脂を用いてもよい。
図2は、他の実施形態に係る液体供給装置を示す構成図である。なお、説明の便宜上、上述の実施形態に係る液体供給装置10と同様に構成されている部分については同じ符号を使用し、詳しい説明を省略する。
この実施形態に係る液体供給装置10aは、剛性が高い液体貯蔵タンク2と、液体貯蔵タンク2内に配置された柔軟性を有する袋部材1と、液体貯蔵タンク2の底面に設けられた液体排出口3と、液体排出口3から図示しないインクジェットヘッドへ液体8を供給する液体供給管4と、液体貯蔵タンク2の上面に設けられた圧力供給口5と、袋部材1内へ付加する任意の大きさの加圧力を発生する加圧力発生装置11と、袋部材1内へ付加する任意の大きさの負圧力を発生する負圧力発生装置12と、加圧力発生装置11又は負圧力発生装置12で発生された圧力を圧力供給口5から袋部材1の内部へ供給する圧力供給管6と、袋部材1に対する加圧力発生装置11と負圧力発生装置12との接続状態を切り換える切換弁13と、袋部材1内に付加される圧力を検出する圧力センサ9と、を備えている。
加圧力発生装置11はこの発明の加圧力発生手段に相当し、負圧力発生装置12はこの発明の負圧力発生手段に相当し、切換弁13はこの発明の切換手段に相当し、インクジェットヘッドは液体塗布部に相当する。
袋部材1は圧力供給口5に接続され、圧力供給口5は液体8と隔離されている。液体8は、液体貯蔵タンク2の内壁面と袋部材1の外表面との間に、空気が入らないように充填されている。
加圧力発生装置11及び負圧力発生装置12はそれぞれ、圧力供給管6を介して切換弁13に接続され、切換弁13と圧力供給口5との間に配設された圧力供給管6の中間に圧力センサ9が配置されている。
この実施形態では、液体8aとして、カラーフィルタの着色剤と、溶剤と、からなるものが用いられている。溶剤としては、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートを主成分とした溶液、又は、ブチルカルビトールアセテートを主成分とした溶液が用いられている。
上述のようにこの実施形態では液体塗布部としてインクジェットヘッドが液体供給管4に接続されているので、インクジェットヘッドからの液体8aの漏れを防止し、及び、塗布時のサテライトを低減するために、液体8aの塗布時に、インクジェットヘッド内の液体8aに負圧が付加される。具体的には例えば、液体8aの塗布時に、負圧力発生装置12と液体供給口5とを接続するように切換弁13を切り換え、負圧力発生装置12によって−4kPaの負圧を発生することで、インクジェットヘッド内の液体8aの圧力を−2kPaにしている。そして、インクジェットヘッドは、複数のインク室を備え、各インク室内の液体8aを加圧することで、液体8aを塗布する。
インクジェットヘッドが目詰まり等によって液体8aを塗布できない場合、メンテナンスとして、インクジェットヘッド内の液体8aに加圧力を付加する。具体的には例えば、加圧力発生装置11と圧力供給口5とを接続するように切換弁13を切り換え、加圧力発生装置11によって40kPaの加圧力を発生することで、液体貯蔵タンク2内の液体8aを加圧し、インクジェットヘッド内の液体8aの圧力を45kPaにしている。これによって、インクジェットヘッドから液体8aを勢いよく排出して、インクジェットヘッド内の気泡及びゴミを除去する。
液体供給装置10aでは、次のようにして液体貯蔵タンク2内の液体8aの空状態を検出する。上述のように、液体8aの塗布時に、袋部材1内に所定の負圧力が付加される。また、インクジェットヘッドから液体8aを塗布して液体貯蔵タンク2内の液体8aを消費した場合、袋部材1内の容積は増加する。液体貯蔵タンク2内に液体8aがある場合、圧力センサ9は一定の負圧値を示す。しかし、液体貯蔵タンク2内の液体8aが空状態となり袋部材1が最大限まで膨らんだ場合、袋部材1内の負圧力の絶対値は増加し、圧力センサ9が示す負圧値の絶対値が増加する。そこで、圧力センサ9にスレッシュレベル(閾値)を設定しておき、圧力センサ9が示す値が所定の負圧値より低くなった場合に、例えば警報ランプを点灯するように構成することで、液体貯蔵タンク2内の液体8aが空状態になったことを容易に検出できる。
液体貯蔵タンク2内の液体8aが空状態になったことを検出することによって、インクジェットヘッド内に液体8aが供給されず、インクジェットヘッドの吐出部から気泡が入り込み、液体8aを補給しても吐出できなくなること、および、インクジェットヘッドが損傷されることが、防止される。
液体供給装置10aによればさらに、液体8aの含有空気量を低く抑えることができるとともに、液体8aに対して加圧力及び負圧力を選択的に付加することができるので、液体塗布部がインクジェット方式である場合にも、液体塗布部での安定した液体8aの塗布が可能となる。
また、液体8aが空気と隔離して収納され液体8aと空気との境界面(液面)が存在しない場合でも、液体貯蔵タンク2内の液体8aの空状態を容易に検出することができる。
さらに、液体8aの空状態を検出するセンサを、密閉する必要がある液体貯蔵タンク2内に設ける必要がないので、簡易な構成で液体8aの空状態を検出することができる。したがって、液体8aの空状態を検出するセンサを設けた場合でも液体供給装置10aを小型化することができる。
なお、液体供給装置10,10aにおいて、液体塗布部としてスピンコート及びインクジェットヘッドを用いたが、これらに限定されず、ディスペンサ及びその他のコータ等を用いた場合にも、液体供給装置10,10aは、液体8,8aの含有空気量を低く抑えるとともに、液体8,8aへの圧力の正確な付加を可能にすることで液体塗布部での安定した液体8,8aの塗布を可能にする、という上述のような効果を奏することができる。
また、上述の実施形態では、袋部材1内に空気を入れないようにしたが、液体供給管4の中間にエアートラップ機構等を設け、袋部材1内に空気を入れる構成にしてもよい。この場合でも、袋部材1として柔軟性を有するものを用いることができ、液体8aに圧力を正確に付加することができるので、インクジェットヘッドでの安定した液体8aの塗布が可能となる等の効果を奏することができる。したがって、液体供給管4の中間にエアートラップ機構等を設けた場合、上述のような一定の効果を有しながら、液体貯蔵タンク2内の液体8aの空状態を検出するために液面センサを用いることができ、液体8aの空状態を検出する検出手段の選択肢を広げることができる。
1 袋部材
2 液体貯蔵タンク(液体収納容器)
5 圧力供給口
6 圧力供給管
7 圧力発生装置(圧力発生手段)
8,8a 液体
9 圧力センサ
10,10a 液体供給装置
11 加圧力発生装置(加圧力発生手段)
12 負圧力発生装置(負圧力発生手段)
13 切換弁
2 液体貯蔵タンク(液体収納容器)
5 圧力供給口
6 圧力供給管
7 圧力発生装置(圧力発生手段)
8,8a 液体
9 圧力センサ
10,10a 液体供給装置
11 加圧力発生装置(加圧力発生手段)
12 負圧力発生装置(負圧力発生手段)
13 切換弁
Claims (4)
- 液体を塗布する液体塗布部に前記液体を供給する液体供給装置において、
圧力の供給を受け入れる圧力供給口を有する液体収納容器と、
前記液体収納容器の内部に配置され、前記圧力供給口に接続された柔軟性を有する袋部材と、
前記圧力供給口を介して前記袋部材の内部に圧力を付加する圧力付加手段と、を備え、
前記液体収納容器の内壁面と前記袋部材の外表面との間に前記液体が充填されることを特徴とする液体供給装置。 - 前記袋部材は、外表面に金属の薄膜を備えることを特徴とする請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記圧力付加手段は、前記袋部材の内部に付加する加圧力を発生する加圧力発生手段と、前記袋部材の内部に付加する負圧力を発生する負圧力発生手段と、前記袋部材に対する前記加圧力発生手段と前記負圧力発生手段との接続状態を切り換える切換手段と、を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の液体供給装置。
- 前記圧力付加手段によって前記袋部材の内部に付加される圧力を測定し、測定結果に基づいて前記液体収納容器内の液体の空状態を検出する圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の液体供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007152300A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Trinity Ind Corp | 塗装システム |
CN104117470A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-10-29 | 浏阳市颐和隆烟花集团有限公司 | 一种用于模压烟花点胶的柔性加压胶水供应装置 |
CN104148239A (zh) * | 2014-08-06 | 2014-11-19 | 浏阳市颐和隆烟花集团有限公司 | 一种用于模压烟花点胶的点胶阀 |
JP2015092549A (ja) * | 2013-10-04 | 2015-05-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液漏れ抑制方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
CN114853351A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-05 | 临沂大学 | 一种平板玻璃隔热涂膜的加工方法 |
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2004
- 2004-11-08 JP JP2004324345A patent/JP2006130455A/ja active Pending
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