JP7292950B2 - 吐出材吐出装置および吐出材吐出装置の制御方法 - Google Patents

Description

本開示は、吐出材吐出装置および吐出材吐出装置の制御方法に関するものである。

インプリント装置では、レジストなどの吐出材を吐出ヘッドによって基板上に吐出する吐出装置が用いられている。特許文献１には、このようなインプリント装置に用いられる吐出装置が開示されている。特許文献１の吐出装置は、収容容器に収容された液体または液状の吐出材を吐出ヘッドから吐出する吐出装置であり、可撓性部材によって２つの収容部に分けられた収容容器を用いるものである。収容容器における一方の収容部には吐出材が収容され、他方の収容部には液体が収容され、他方の収容部の内圧を制御することによって、間接的に一方の収容部の内圧が調整される。

特許文献２には、印刷装置の初期インク量と消費量とを記憶装置に書き込むことでインクの消費量を管理する方法が開示されている。

特開２０１５－０９２５４９号公報 特開２０１７－１２１８０１号公報

特許文献１に記載されているようなインプリント装置では、レジストなどの吐出材が吐出装置から吐出される。レジストの主成分は、分子量が小さい有機物であるので樹脂部品が膨潤しやすい。このため、Ｏリングなどの樹脂部品またはゴム部品などの有寿命部品が劣化しやすい。このようなインプリント装置では、特許文献２の印刷装置と異なり、インクの消費量を管理するだけでは、装置を適切に管理して制御することができない。

本開示は、インプリント装置に用いられる吐出装置において、消耗品の状態を管理して適切に処理制御を行うことを目的とする。

本開示の一態様に係る吐出材吐出装置は、基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置であって、吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、を有する筐体ユニットと、前記吐出材吐出装置の処理を、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に応じて切り替える制御をする制御手段と、を有し、前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、前記消耗品は、前記可撓性部材をシールしているＯリングであり、前記制御手段は、前記Ｏリングの使用期限までの期間が所定の期間を超えていない場合、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を第１の圧力で行い、前記Ｏリングの使用期間が所定の期間を超えた場合、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力で前記クリーニングする処理を行うことを特徴とする。

本開示によれば、インプリント装置に用いられる吐出装置において、消耗品の状態を管理して適切に処理制御を行うことができる。

インプリント装置の構成図。 吐出装置の構成図。 インプリント装置のブロック図。 フローチャートを示す図。 フローチャートを示す図。 フローチャートを示す図。 インプリント装置を含むシステムの図。 インプリント装置を含むシステムの図。 フローチャートを示す図。 インプリント装置を含むシステムの図。

以下、図面を参照して実施形態を説明する。尚、同一の構成については、同じ符号を付して説明する。また、実施形態に記載されている構成要素の相対配置、形状などは、あくまで例示である。

＜＜実施形態１＞＞
実施形態１では、インプリント装置に適用される吐出材を吐出する吐出材吐出装置（以下、単に「吐出装置」ともいう）を説明する。また、吐出装置が吐出材を収容する筐体ユニットを備える構成を説明する。筐体ユニット内には、消耗品が含まれており、消耗品の使用状況に関する情報に基づいて処理制御が行われる。以下では、まずインプリント装置の全体構成を説明し、その後に吐出装置の全体構成を説明する。

＜インプリント装置＞
図１は、本実施形態に適用可能なインプリント装置１０１の構成を示す概略図である。インプリント装置１０１は、半導体デバイスなどの各種のデバイスの製造に使用される。インプリント装置１０１は、吐出装置１０を備える。吐出装置１０は、吐出材１１４（レジスト）を基板１１１上に吐出する。吐出材１１４は、紫外線１０８を受光することにより硬化する性質を有する光硬化性の樹脂である。吐出材１１４は、半導体デバイス製造工程などの各種条件により適宜選択される。光硬化性の他にも例えば、熱硬化性のレジストである吐出材を用いてもよく、インプリント装置は、熱でレジストを硬化させてインプリント処理を行う装置でもよい。吐出材１１４のことをインプリント材と呼んでもよい。

インプリント装置１０１は、次の一連の処理を含むインプリント処理を行う。即ち、インプリント装置１０１は、吐出装置１０に吐出材１１４を基板１１１上に吐出させる。そして、基板１１１上に吐出された吐出材１１４に、成型用のパターンを有するモールド１０７を押し付け、その状態において、光（紫外線）の照射によって吐出材１１４を硬化させる。その後、硬化後の吐出材１１４からモールド１０７を引き離すことによって、モールド１０７のパターンを基板１１１上に転写する。

インプリント装置１０１は、光照射部１０２と、モールド保持機構１０３と、基板ステージ１０４と、吐出装置１０と、制御部１０６と、計測部１２２と、筺体１２３と、を有する。

光照射部１０２は、光源１０９と、光源１０９から照射された紫外線１０８を補正するための光学素子１１０とを有する。光源１０９は、例えばｉ線またはｇ線を発生するハロゲンランプである。紫外線１０８は、モールド（型）１０７を介して吐出材１１４に照射される。紫外線１０８の波長は、硬化させる吐出材１１４に応じた波長である。尚、レジストとして熱硬化性レジストを用いるインプリント装置の場合は、光照射部１０２に代えて、熱硬化性レジストを硬化させるための熱源部が設置される。

モールド保持機構１０３は、モールドチャック１１５と、モールド駆動機構１１６とを有する。モールド保持機構１０３によって保持されるモールド１０７は、外周形状が矩形であり、基板１１１に対向する面には転写すべき回路パターンなどの凹凸パターンが３次元で形成されたパターン部１０７ａを有する。本実施形態におけるモールド１０７の材質は、紫外線１０８が透過することができる材質であり、例えば石英が用いられる。

モールドチャック１１５は、真空吸着または静電力によりモールド１０７を保持する。モールド駆動機構１１６は、モールドチャック１１５を保持して移動することによりモールド１０７を移動させる。モールド駆動機構１１６は、モールド１０７を－Ｚ方向に移動させてモールド１０７を吐出材１１４に押し付けることができる。また、モールド駆動機構１１６は、モールド１０７をＺ方向に移動させてモールド１０７を吐出材１１４から引き離すことができる。尚、モールド１０７を吐出材１１４に押し付ける動作、または吐出材１１４からモールド１０７を引き離す動作は、基板ステージ１０４がＺ方向に移動することで実現してもよい。または、モールド１０７および基板ステージ１０４の双方が相対的に移動することで実現してもよい。

基板ステージ１０４は、基板チャック１１９と、基板ステージ筐体１２０と、ステージ基準マーク１２１とを有する。基板ステージに保持される基板１１１は、単結晶シリコン基板またはＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板であり、基板１１１の被処理面には、吐出材１１４が吐出されパターンが成形される。

基板チャック１１９は、基板１１１を真空吸着により保持する。基板ステージ筐体１２０は、基板チャック１１９を機械的手段により保持しながらＸ方向およびＹ方向に移動することで基板１１１を移動させる。ステージ基準マーク１２１は、基板１１１とモールド１０７とのアライメントにおいて、基板１１１の基準位置を設定するために使用される。

基板ステージ筐体１２０のアクチュエータには、例えばリニアモータが用いられる。他にも、基板ステージ筐体１２０のアクチュエータは、粗動駆動系または微動駆動系などの複数の駆動系を含む構成でもよい。

吐出装置１０は、筐体ユニット１００と、筐体ユニット１００の筐体内の圧力を制御する圧力制御部１５０とを有する。筐体ユニット１００は、吐出材を収容する筐体７（図２参照）と、収容容器に装着される吐出ヘッド３（図２参照）と、を備える。吐出装置１０の構成の詳細については後述する。

計測部１２２は、アライメント計測器１２７と、観察用計測器１２８と、を有する。アライメント計測器１２７は、基板１１１上に形成されたアライメントマークと、モールド１０７に形成されたアライメントマークとのＸ方向およびＹ方向の位置ずれを計測する。観察用計測器１２８は、例えばＣＣＤカメラなどの撮像装置であり、基板１１１に吐出された吐出材１１４のパターンを撮像して、画像情報として制御部１０６に出力する。

制御部１０６は、インプリント装置１０１の各構成要素の動作などを制御する。制御部１０６は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、およびＲＡＭを有するコンピュータで構成される。制御部１０６は、インプリント装置１０１の各構成要素に回線を介して接続され、ＣＰＵは、ＲＯＭに記憶された制御プログラムに従って各構成要素の制御をする。

制御部１０６は、計測部１２２の計測情報を基に、モールド保持機構１０３、基板ステージ１０４、および吐出装置１０の動作を制御する。尚、制御部１０６は、インプリント装置１０１の他の部分と一体で構成してもよいし、インプリント装置とは別の他の装置として実現されてもよい。また、制御部１０６は、１台のコンピュータではなく複数台のコンピュータで構成されていてもよい。

筺体１２３は、基板ステージ１０４を載置するベース定盤１２４と、モールド保持機構１０３を固定するブリッジ定盤１２５と、ベース定盤１２４から延設されブリッジ定盤１２５を支持する支柱１２６と、を備える。

インプリント装置１０１は、モールド１０７を装置外部からモールド保持機構１０３へ搬送するモールド搬送機構（不図示）と、基板１１１を装置外部から基板ステージ１０４へ搬送する基板搬送機構（不図示）と、を備える。

＜吐出装置＞
図２は、本実施形態の吐出装置１０の例を示す図である。吐出装置１０は、筐体ユニット１００と、圧力制御部１５０とを有する。筐体ユニット１００は、密閉された筐体７と、筐体７の内部に設けられた可撓性部材８と、吐出材１１４を吐出する吐出ヘッド３と、吐出ヘッド３を制御する制御基板７５とを含む。制御基板７５は、第１記憶部７７を有する。制御基板７５は、インプリント装置１０１の制御部１０６により制御される。

筐体７の内部には、吐出材１１４が充填されている。筐体ユニット１００は、着脱可能であり、筐体ユニット１００内の吐出材１１４がなくなった場合、継手部７１で取り外して、吐出材１１４が充填された筐体ユニット１００を新たに装着する。圧力制御部１５０は、サブタンク１５と、メインタンク１９と、第１供給流路１３と、第２供給流路１７と、を有する。

吐出ヘッド３においては、吐出孔１２および吐出機構が、１インチ当たり５００から１０００個の密度で配置されている。吐出機構は、例えばピエゾ素子により構成され、吐出材１１４に圧力または振動などのエネルギを加えることで、吐出ヘッド３に設けられた吐出孔１２から吐出材１１４が吐出される。吐出機構は、吐出材を微細液滴、例えば１ｐＬなどの液滴として吐出可能なエネルギを発生することができるものであればよい。吐出ヘッド３は、筐体７との間に制御弁を持たない。そのため、筐体７の内圧は、吐出ヘッド３の吐出孔１２の外部の大気圧（外気圧）よりも若干負圧であるように制御される。この負圧制御により、吐出孔１２内の吐出材は、外気との界面でメニスカスを形成し、意図しないタイミングでの吐出孔からの吐出材の漏出（滴下）が防止される。本例では、筐体７の内圧は、外気圧よりも０．４０±０．０４ｋＰａだけ負圧になるように制御される。筐体７内の圧力を、大気圧に対して負圧に設定することで、メニスカスの凹形状の度合いを深くして、メニスカスの状態が崩れにくくしている。

筐体７の内部は、可撓性部材８によって分離された密閉空間となっており、吐出材１１４と作動液１１とが、分離された２つの液室にそれぞれ充填されている。筐体７は可撓性部材８により第１収容空間２１側と第２収容空間２２側とに分かれている。吐出材１１４が充填されている第１収容空間２１は、吐出ヘッド３と連通している。作動液１１が充填されている第２収容空間２２は、吐出ヘッド３と連通していない。可撓性部材８は、筐体７の第１収容空間２１側部材と第２収容空間２２側部材とで挟み込むように締結されており、内部の液体が漏れないようにＯリング９でシールされている。

作動液は、気体に比べて、外的な温度および圧力による密度（体積）の変化が無視できるほど小さい、非圧縮性を有する物質である。そのため、吐出装置１０の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液１１の体積はほとんど変化しない。作動液１１として、例えば、水のような液体またはゲル状物質から選択される物質を用いることができる。

筐体ユニット１００は、循環ポンプ３１と循環フィルタ３２とを備えている。循環ポンプ３１と循環フィルタ３２とは、第１収容空間２１と連通している。循環ポンプ３１は。第１収容空間２１内に収容されている吐出材１１４を流動させる。循環フィルタ３２は、流動された吐出材１１４に含まれるパーティクル（ゴミ）を濾すために設置されている。

第２収容空間２２は、チューブなどで構成される第１供給流路１３を介してサブタンク１５と接続されている。第１供給流路１３およびサブタンク１５にも作動液１１が充填されている。ここで第１供給流路１３に配置されているポンプ７２は、通常はオープンになっており、サブタンク１５と第２収容空間２２との間で圧力が伝達するように構成されている。ポンプ７２は、後述する加圧クリーニング動作の際に駆動される。

サブタンク１５には、サブタンク大気連通孔１６が設けられて大気解放されており、サブタンク１５内の作動液１１の液面は、大気圧となる。そのため、鉛直方向におけるサブタンク１５内の作動液１１の液面と吐出ヘッド３との高さの差による圧力が吐出ヘッド３にかかる。例えば、サブタンク１５内の作動液１１の液面を吐出ヘッド３に対して４ｃｍ低くすると、吐出ヘッドには－０．４ＫＰａの圧力がかかる。このように、サブタンク１５内の作動液１１の液面の位置を制御することで筐体ユニット１００内の吐出ヘッド３にかかる圧力を制御することができる。

前述したように、第１収容空間２１と第２収容空間２２とは、可撓性部材８によって分離されている。ここで、第１収容空間２１と第２収容空間２２との間において内圧の差が生じると、可撓性部材８は、内圧の低い側へと移動し、内圧差が無くなった時点で移動を停止する動きを繰り返す。そのため、第１収容空間２１および第２収容空間２２の内圧を相互に等しい状態に保つことができる。作動液１１が収容された空間は、サブタンク１５内と導通状態にあり、サブタンク１５内の液面は、吐出ヘッド３の吐出面よりも低い位置に設定されている。そのため、吐出材１１４は吐出ヘッド３から漏れ出すことはない。

吐出ヘッド３から吐出材１１４が吐出されると、その吐出された吐出材の分だけ、第１収容空間２１内の吐出材１１４の容積が減って、第１収容空間２１の内圧が下がる。このとき、第２収容空間２２の内圧は、相対的に、第１収容空間２１の内圧よりも高くなる。すると、可撓性部材８は、吐出材１１４が充填されている第１収容空間２１側へ移動する。それと同時に、サブタンク１５から、第１供給流路１３を介して作動液１１が第２収容空間２２内に吸い上げられる。これにより、筐体７の第１収容空間２１および第２収容空間２２の内圧は、再び等しくなって平衡状態となる。

尚、吐出装置１０が吐出動作を行うと、当然のことながら吐出材を消費する。筐体ユニット１００内の吐出材１１４が消費されると、消費された体積分だけ、サブタンク１５から作動液１１が汲み上げられて、サブタンク１５内の液面が下降する。サブタンク１５の液面が下降すると、サブタンク１５の液面と吐出ヘッド３との水頭差が大きくなって、筐体７の内圧が負圧になりすぎて、吐出孔１２から外気を吸引することになる。このような事態を防止するため、サブタンク１５内の液面を、サブタンク液面位置検知センサ１４で検知する。そして、液面が目標値よりも低いことが検知されると、送液ポンプ１８によってメインタンク１９から第２供給流路１７を介してサブタンク１５に作動液１１を送液する制御が行われる。このような制御により、サブタンク１５の液面位置の制御が行われる。

メインタンク１９には、メインタンク液面検知センサ７６が設けられている。メインタンク液面検知センサ７６により、メインタンク１９の作動液１１の液面の位置が検知される。

尚、第１収容空間と第２収容空間とが別個の可撓性部材によって分離されてもよく、第１収容空間と第２収容空間との間に隙間が設けられていてもよい。この場合、隙間に不図示の負圧を生じさせたり、隙間を連結させたりするなどして、それぞれの可撓性部材が一体となって前述したような移動を行ってもよい。

＜ブロック図＞
図３は、本実施形態のインプリント装置１０１のブロック図である。尚、吐出装置１０に関連するブロックを中心に抜粋して記載した図となっている。インプリント装置１０１は、筐体ユニット１００と、制御部１０６と、を有する。筐体ユニット１００は、制御基板７５を有する。制御基板７５は、第１記憶部７７を有する。第１記憶部７７には、消耗品の使用状況に応じた情報が記憶され得る。制御基板７５は、吐出ヘッド３を制御し、吐出材１１４の吐出を制御する。制御基板７５は、循環ポンプ３１の駆動を制御してもよい。

制御部１０６は、処理部１０６１と第２記憶部１０６２とを有する。処理部１０６１は、不図示のＣＰＵおよびＲＯＭなどを有しており、ＲＯＭなどに記憶されている各種のプログラムに従って各種の制御処理を行う。第２記憶部１０６２には、消耗品の使用状況に応じた各種の情報などが記憶され得る。処理部１０６１は、第２記憶部１０６２に記憶されている情報に基づいて処理を行う。また、制御部１０６は、表示装置３５０に各種の情報を表示することが可能である。

第１記憶部７７または第２記憶部１０６２には、消耗品の使用状況に応じた情報が記憶される。例えば、筐体ユニット１００を構成する部品で交換が必要な消耗品に分類されるは、吐出材１１４、Ｏリング９、吐出ヘッド３、可撓性部材８、循環ポンプ３１、および循環フィルタ３２である。以下、図２および図３を参照しながら説明する。

本実施形態では、消耗品として有寿命部品であるＯリング９に関連する情報を用いる形態を説明する。図２で説明したように、可撓性部材８は、第１収容空間２１側部材と第２収容空間２２側部材とで挟み込むように締結されており、内部の液体が漏れないようにＯリング９でシールされている。

Ｏリング９は、第１収容空間２１の吐出材１１４と長時間接しているため、時間の経過に応じて劣化していく。このため、使用する吐出材１１４の種類に応じてＯリングに寿命が設定されている。本実施形態では、制御基板７５の第１記憶部７７に、Ｏリングの使用期限の時期を示すＯリング使用期限情報が記憶されている。例えば、筐体ユニット１００の出荷時に、Ｏリングの使用期限情報が第１記憶部７７に記憶された状態で筐体ユニット１００が出荷される。

Ｏリングの寿命を超えて使用し続けると、シール性能が落ちている可能性が高まり、吐出材１１４がリークするリスクが高くなる。特に、加圧によって吐出ヘッド３のクリーニング（加圧クリーニングともいう）をする場合に、吐出材１１４のリークのリスクが高くなる。加圧クリーニングを説明する。加圧クリーニングでは、まずポンプ７２が作動液１１を第２収容空間２２側に送り込み、第２収容空間２２を加圧状態にする。このとき、筐体７内は、可撓性部材８によって第１収容空間２１側も加圧状態になり、その結果、吐出ヘッド３内が加圧される。加圧された吐出ヘッド３内の吐出材１１４は、吐出ヘッド３の吐出孔１２から排出されて、吐出ヘッド３の流路内がクリーニングされる。本実施形態では、Ｏリング９の使用期限情報に基づいて、制御部１０６は、加圧クリーニングの動作制御を切り替える。

尚、Ｏリング９の使用期限の時期そのものが第１記憶部７７に記憶されていなくてもよく、筐体ユニット１００に吐出材１１４を充填してからの日数と、Ｏリングの寿命とが、第１記憶部７７に記憶されていてもよい。そして、制御部１０６は、第１記憶部７７に記憶されている吐出材充填日とＯリング寿命情報とから、Ｏリング使用期限の時期を決定してもよい。

図４は、本実施形態のフローチャートの例を示す図である。インプリント装置１０１の処理部１０６１に搭載されたＣＰＵが、ＲＯＭに格納されたプログラムをＲＡＭに展開し、該展開したプログラムを実行する。これにより、図４の各処理が実行される。あるいはまた、図４におけるステップの一部または全部の機能をＡＳＩＣおよび電子回路等のハードウェアで実現してもよい。尚、各処理の説明における記号「Ｓ」は、当該フローチャートにおけるステップであることを意味する。図４は、加圧クリーニングの実行指示が入力された場合に、制御部１０６によって行われる処理の一例を示している。

Ｓ４０１で処理部１０６１は、制御基板７５の第１記憶部７７に記憶されているＯリングの使用期限情報を取得する。あるいは、処理部１０６１は、前述したように、吐出材充填日とＯリング寿命情報とからＯリングの使用期限情報を算出して取得してもよい。

Ｓ４０２で処理部１０６１は、Ｓ４０１で取得したＯリングの使用期限情報が示す使用期限までの期間が、第１期間を超えているかを判定する。第１期間は、例えば使用期限の１ヵ月前など、使用期限情報が示す使用期限から所定の期間前の期間とすることができる。あるいは、使用期限のそのものの値としてもよい。Ｏリングの使用期限情報が示す使用期限までの期間が第１期間を超えている場合、Ｓ４０３に進み、そうでない場合、Ｓ４０４に進む。

Ｓ４０３において処理部１０６１は、加圧クリーニング動作を行わないことを決定する。即ち、処理部１０６１は、加圧クリーニング動作のシーケンスを行わずに処理を終了する。尚、このとき、処理部１０６１は、表示装置３５０に、Ｏリングの使用期限が到来している旨のメッセージを表示してもよい。その後、本フローチャートの処理を終了する。

一方、Ｏリングの使用期限情報が示す使用期限までの期間が第１期間を超えていない場合、Ｓ４０４で処理部１０６１は、Ｏリングの使用期限情報が示す使用期限までの期間が第２期間を超えているかを判定する。第２期間は、使用期限情報が示す使用期限から所定の期間前の期間であり、第１期間よりも長い期間である。例えば、第１期間が使用期限の１ヵ月前である場合、第２期間は、使用期限の２ヵ月前などとすることができる。Ｏリングの使用期限情報が示す使用期限までの期間が第２期間を超えている場合、Ｓ４０５に進み、そうでない場合、Ｓ４０６に進む。

Ｓ４０５において処理部１０６１は、第１モードで加圧クリーニング動作を行う。第１モードは、通常の加圧クリーニングよりも低い圧力を用いるモードである。Ｏリングの使用期限が近付いている場合には、Ｏリングのシール性能が多少落ちていることも想定され得る。従って、本実施形態では、低圧で加圧クリーニング動作を行うことで吐出材１１４のリークのリスクを避けることが行われる。尚、Ｓ４０３と同様に、処理部１０６１は、表示装置３５０に、Ｏリングの使用期限が近付いていること、および、低圧での加圧クリーニング動作を行っていることを表示してもよい。その後、本フローチャートの処理を終了する。

Ｓ４０６において処理部１０６１は、第２モードで加圧クリーニング動作を行う。第２モードは、通常のモードである。即ち、第１モードよりも高い圧力で加圧クリーニングが行われる。換言すれば、第２モードは、通常の圧力（第１の圧力ともいう）で加圧クリーニングを行うモードであり、第１モードは、通常よりも低い圧力（第２の圧力ともいう）で加圧クリーニングを行うモードともいえる。Ｓ４０６では、Ｏリングの使用期限が近づいていないので、吐出材１１４のリークのリスクがない。このため、高圧での加圧クリーニング動作が行われる。その後、本フローチャートの処理を終了する。

以上説明したように、本実施形態では、消耗品であるＯリングの使用期限情報に基づいて、加圧クリーニング動作の制御処理を切り替えることが行われる。尚、図４の例では、第１期間および第２期間という２つの基準を設け、これに応じて加圧クリーニング動作を行わない、第１モードで加圧クリーニング動作を行う、および第２モードで加圧クリーニング動作を行う、という３つの制御処理の切り替えを説明した。しかしながら、１つの基準のみを用いて、２つの制御処理の切り替えを行うような形態でもよい。また、３つ以上の基準を設けて４つ以上の制御処理の切り替えが行われてもよい。

また、本実施形態では、Ｏリングの使用期限情報を制御基板７５内の第１記憶部７７に記憶し、処理部１０６１は、第１記憶部７７の情報を読み出して処理を切り替える例を説明したこれに限られない。Ｏリングの使用期限情報は、制御部１０６の第２記憶部１０６２に記憶されてもよい。例えば、処理部１０６１は、第１記憶部７７から情報を読み出し、その情報を用いて第２記憶部１０６２にＯリングの使用期限情報を書き込んでもよい。あるいは、不図示の外部サーバーからＯリングの使用期限情報を取得してもよい。

＜＜実施形態２＞＞
実施形態１では、消耗品としてＯリングを想定した処理を説明した。本実施形態では、消耗品として、有寿命部品である可撓性部材８を例に挙げ、可撓性部材８の寿命情報に応じて処理を切り替える形態を説明する。

筐体ユニット１００を使用し続けていると、吐出ヘッド３に泡が混入したり、ごみが詰まったりして吐出状態に影響を与えることがある。その場合、実施形態１で説明したように、吐出ヘッド３に対して加圧クリーニング動作が行われる。加圧クリーニングでは、前述したように、ポンプ７２が作動液１１を第２収容空間２２側に送り込んで、第２収容空間２２を加圧状態にするので、可撓性部材８に圧力がかかる。可撓性部材８に繰り返し圧力をかけると可撓性部材８が劣化する可能性がある。

そこで、本実施形態では、筐体ユニット１００の制御基板７５の第１記憶部７７に加圧クリーニング回数を記憶する。制御部１０６は、加圧クリーニングを行うごとに回数を加算し、第１記憶部７７に記憶されている加圧クリーニング回数を更新する。本実施形態では、消耗品である可撓性部材８の寿命に影響し得る加圧クリーニング回数に応じて、処理制御を切り替える例を説明する。

図５は、本実施形態のフローチャートである。図５のフローチャートは、インプリント装置１０１の制御部１０６（処理部１０６１）によって実行される。図５は、加圧クリーニングの実行指示が入力された場合に、制御部１０６によって行われる処理の一例を示している。

Ｓ５０１で処理部１０６１は、制御基板７５の第１記憶部７７に記憶されている加圧クリーニングの回数情報を取得する。

Ｓ５０２で処理部１０６１は、Ｓ５０１で取得した加圧クリーニングの回数情報が、第１上限を超えているかを判定する。第１上限は、通常の加圧クリーニング動作で生じる圧力および可撓性部材８の材質などから適宜決定される。本実施形態では、第１上限は、後述する第２上限よりも高い回数を示すものとする。第１上限を超えている場合、Ｓ５０３に進み、そうでない場合、Ｓ５０４に進む。

加圧クリーニングの回数情報が第１上限を超えている場合、Ｓ５０３において処理部１０６１は、加圧クリーニング動作を行わないことを決定する。即ち、処理部１０６１は、加圧クリーニング動作のシーケンスを行わずに処理を終了する。可撓性部材８に圧力をかけないようにするためである。

一方、加圧クリーニングの回数情報が第１上限を超えていない場合、Ｓ５０４で処理部１０６１は、加圧クリーニングの回数情報が第２上限を超えているかを判定する。第２上限は、第１上限の回数よりも少ない回数を示すものとする。加圧クリーニングの回数情報が第２上限を超えている場合、Ｓ５０５に進み、そうでない場合、Ｓ５０６に進む。

加圧クリーニングの回数情報が第２上限を超えている場合、Ｓ５０５において処理部１０６１は、第１モードで加圧クリーニング動作を行う。第１モードは、通常の加圧クリーニングよりも低い圧力を用いるモードである。可撓性部材８の負荷を軽減するためである。その後、本フローチャートの処理を終了する。

Ｓ５０６において処理部１０６１は、第２モードで加圧クリーニング動作を行う。第２モードは、通常のモードである。即ち、第１モードよりも高い圧力で加圧クリーニングが行われる。可撓性部材８に劣化が生じていないと考えられるからである。その後、本フローチャートの処理を終了する。

以上説明したように、本実施形態では、消耗品である可撓性部材８の寿命に影響する加圧クリーニングの回数情報に基づいて、制御処理を切り替える。尚、実施形態１と同様に、回数情報を比較する対象の基準として、１つ以上の基準を用いてもよく、切り替えられる処理も、基準の数に応じて適宜変えてよい。

また、実施形態１で説明したように、処理部１０６１は、所定のメッセージを表示装置３５０に表示してもよい。また、実施形態１で説明した形態と組み合わせてもよい。例えば、加圧クリーニング指示が入力された場合に、処理部１０６１は、加圧クリーニング回数およびＯリング使用期限情報を取得してよい。そして、いずれかが寿命が近付いているような情報であれば、実施形態１または２で説明したように、通常の処理から切り替えた処理を行ってよい。実施形態１で説明したように、加圧クリーニングの回数情報が制御部１０６の第２記憶部１０６２に記憶されてもよいし、外部サーバーから回数情報を取得してもよい。

＜＜実施形態３＞＞
本実施形態では、消耗品である吐出ヘッド３の吐出材１１４に関する使用状況に基づいて制御処理を切り替える形態を説明する。後述するように、本実施形態では、吐出材１１４の使用状況は、作動液の残量から求めることができる。そこで、本実施形態では、作動液１１の残量に基づいて制御処理を切り替える形態を説明する。また、作動液１１の残量と吐出材１１４の残量とに応じて制御処理を切り替える形態を説明する。

図２を再度参照して、説明する。メインタンク１９の作動液１１の残量は、メインタンク液面検知センサ７６で計測することができる。メインタンク１９の作動液１１の残量は、制御部１０６内にある第２記憶部１０６２に記憶される。

制御基板７５の第１記憶部７７には、筐体７内の吐出材１１４の残量（以下、吐出材残量という）が記憶されている。また、筐体７内にある吐出材１１４の吐出材残量は次のようにして計測して記憶される。筐体ユニット１００の出荷時においては、制御基板７５の第１記憶部７７には、吐出材残量として出荷時の吐出材１１４の初期充填量が記憶されている。その後、制御部１０６は、第１記憶部７７に記憶されている吐出材残量を更新する。前述したように、吐出材１１４が吐出されると、サブタンク１５から作動液１１が第２収容空間２２に汲み上げられる。制御部１０６は、サブタンク液面位置検知センサ１４がサブタンクの液面が目標値よりも低いことを検知すると、送液ポンプ１８を制御して、メインタンク１９からサブタンク１５に作動液１１を汲み上げる。このとき、制御部１０６は、送液ポンプ１８が汲み上げた作動液１１の量をカウントしている。送液ポンプ１８が汲み上げた作動液１１の量は、例えばポンプの駆動量から求めてもよいし、メインタンク液面検知センサ７６によって検知したメインタンク１９の液面の位置から求めてもよい。

ここで、作動液１１の汲み上げ量と吐出材１１４の消費量とは、等しいと考えることができる。従って、制御部１０６は、作動液１１の汲み上げ量に基づいて第１記憶部７７に記憶されている吐出材残量を更新する。出荷時においては、制御部１０６は、制御基板７５の第１記憶部７７に記憶されている吐出材１１４の初期充填量から作動液１１の汲み上げ量を差し引くことで吐出材残量を計算し、第１記憶部７７に記憶されている吐出材残量を更新する。その後は、現在の吐出材残量から作動液１１の汲み上げ量を差し引くことで吐出材残量を計算して、第１記憶部７７に記憶されている吐出材残量を更新する。尚、初期充填量は、現在の吐出材残量とは別の情報として、第１記憶部７７に記憶され続けていてもよい。

尚、第１記憶部７７に記憶される吐出材残量の決定方法は、この例に限られない。例えば、吐出材１１４の吐出回数と吐出材一滴あたりの吐出量とに基づいて、吐出済みの吐出材の容量が分かる。従って、制御部１０６は、吐出済みの吐出材１１４の容量を第１記憶部７７に記憶してもよい。この場合、吐出済みの吐出材１１４の容量を初期充填量から差し引くことで、吐出材残量を決定してもよい。

筐体ユニット１００は、筐体ユニット１００に充填されている吐出材１１４が使用されて無くなった場合などに、吐出装置１０から取り外して新しい筐体ユニット１００に交換される。筐体ユニット１００が交換されると、制御部１０６が第１記憶部７７から読み出す吐出材残量は、新規に設置された筐体ユニット１００の初期充填量となる。一方、メインタンク１９内の作動液１１の残量は、作動液１１を補充しない限りは減り続ける。仮に、筐体ユニット１００のみを交換して、メインタンク１９内の作動液１１の補充を全くしないと、いずれ作動液１１の残量が吐出材残量よりも少ない状態となる。

前述したように、吐出装置１０においては、吐出材１１４の消費量と同じ量だけメインタンクの作動液１１がサブタンク１５に組み上げられる。従って、作動液１１の残量が吐出材残量よりも少ない状態で吐出動作を続けると、筐体７内の吐出材１１４よりもメインタンク１９内の作動液１１が先に枯渇する。そこからさらに、吐出動作を続けると、メインタンク１９からサブタンク１５に作動液１１を補充することができず、サブタンク１５の作動液１１の液面位置が規定位置よりも下がってしまう。すると、鉛直方向における吐出ヘッド３とサブタンク１５の作動液１１の液面位置との差が大きくなる。この結果、吐出ヘッド３にかかる負圧が大きくなり、吐出ヘッド３での吐出材の吐出性能が変動して、着弾位置が変動してしまう。

本実施形態では、このような現象を防止するため、作動液１１の残量の情報（以下、作動液残量情報という）を用いて処理を切り替える例を説明する。より詳細には、作動液残量情報と吐出材残量の情報（以下、吐出材残量情報ともいう）とを用いて処理を切り替える例を説明する。

図６は、本実施形態のフローチャートの例を示す図である。実施形態１と同様に、図６の処理は、インプリント装置１０１の制御部１０６（処理部１０６１）によって実行される。図６のフローチャートは、制御部１０６において定期的にまたは不定期に実行される処理である。例えば、吐出指示が入力された場合に、図６に示す処理が開始される。また、吐出動作実行時に、所定の間隔で、図６に示す処理が開始される。

Ｓ６０１において処理部１０６１は、第２記憶部１０６２に記憶されているメインタンク１９の作動液残量情報を取得する。また、処理部１０６１は、制御基板７５の第１記憶部７７に記憶されている吐出材残量情報を取得する。

Ｓ６０２において処理部１０６１は、第２記憶部１０６２に記憶されている作動液残量情報が所定量以下を示しているかを判定する。Ｓ６０２において作動液残量情報が所定量以下を示している場合、Ｓ６０３に進む。そうでない場合、Ｓ６０４に進む。例えば、Ｓ６０２で処理部１０６１は、作動液残量情報が、作動液の残量がゼロであることを示しているかを判定する。メインタンクの作動液の残量が所定量以下の場合、前述したように、吐出特性の変動により、着弾位置が変動してしまう可能性がある。即ち、吐出動作を継続してしまうと、形成される回路パターンに影響を与える可能性がある。そこでＳ６０２では、作動液残量情報に基づいて処理を切り替えている。

Ｓ６０３において処理部１０６１は、吐出装置１０またはインプリント装置１０１の動作を停止する。吐出特性の変動により、着弾位置の変動を防止するためである。そして、本フローの処理は終了する。

Ｓ６０４において処理部１０６１は、Ｓ６０１で取得した作動液残量情報と吐出材残量情報とを比較する。そして、作動液１１の残量が吐出材１１４の残量よりも少ない場合、Ｓ６０５に進み、そうでない場合、Ｓ６０６に進む。

メインタンク１９内の作動液１１の残量が吐出材１１４の残量よりも少ない場合、Ｓ６０５において、処理部１０６１は、警告を出力する。例えば、処理部１０６１は、表示装置３５０に警告メッセージを表示する。警告メッセージは、作動液残量が不足している旨のメッセージとすることができる。あるいは、作動液の補充を促すメッセージでもよい。このようにして、操作使用者に作動液１１の補充を促すことができる。その後、処理はＳ６０６に進む。

Ｓ６０６において処理部１０６１は、吐出動作を継続する。尚、Ｓ６０５の警告を出力した後に吐出動作を継続する例を説明したが、Ｓ６０５の警告を出力した後に、吐出動作を一時的に停止してもよい。

また、Ｓ６０４からＳ６０６では、作動液１１の残量が吐出材１１４の残量よりも少ない場合に警告を出力する例を説明したが、これに限られない。例えば、作動液１１の残量が吐出材１１４の残量よりも多い場合であっても、その差が所定範囲であれば、Ｓ６０５に進み警告を出力する形態でもよい。即ち、作動液１１の残量から吐出材１１４の残量を差し引いた値が所定値を超えている場合、Ｓ６０５に進み警告を出力してもよい。このときの所定値は、マイナスの値を含んでよい。

また、Ｓ６０２の処理では、作動液１１の残量が所定量以下である場合にＳ６０３に進み、動作を停止する例を説明したが、Ｓ６０２で吐出材１１４の残量が所定量以下である場合にＳ６０３に進む形態でもよい。

本実施形態では、吐出材残量情報を筐体ユニット１００の制御基板７５内の第１記憶部７７に記憶する例に説明したが、これに限られない。吐出材残量情報を制御部１０６の第２記憶部１０６２に記憶してもよい。

以上説明したように、本実施形態によれば、吐出材１１４の吐出動作に関係する作動液１１の残量に基づいて制御処理を切り替えることができる。これにより、作動液１１の不足による筐体７内の圧力変動に起因する吐出変動が発生することを防止することができる。

尚、新しい筐体ユニット１００に交換する際に、制御部１０６は、表示装置３５０に警告を出力してもよい。警告メッセージの例としては、メインタンク１９内の作動液１１を補充することを促すメッセージであってよい。または、作動液が充填された新しいメインタンク１９へ交換することを促すメッセージであってもよい。

＜＜実施形態４＞＞
実施形態１から３においては、筐体ユニット１００内の制御基板７５内の第１記憶部７７に各種の情報が記憶されている形態を例に挙げて説明した。本実施形態では、外部のサーバーに、実施形態１から３で説明した情報が格納されており、制御部１０６は、サーバーから取得した情報に基づいて制御処理を切り替える例を説明する。

図７は、図３で示すインプリント装置１０１を含むシステムの一例を示す図である。本システムは、ネットワークを介してインプリント装置１０１と接続されるサーバー７００を有している。制御部１０６は、サーバー７００との間で情報の送受信が可能に構成されている。サーバー７００は、データベース７１０を有している。データベース７１０には、実施形態１から３において筐体ユニット１００内の第１記憶部７７に記憶されていると説明した情報を含む各種の情報が記憶される。

本実施形態では、筐体ユニット１００は、個体識別情報保持部７８を有している。各筐体ユニット１００には、筐体ユニット１００を識別するための個体識別情報が割り振られている。個体識別情報は、所定の文字、数字、または記号などから組み合わせた情報とすることができる。個体識別情報保持部７８は、例えば筐体ユニット１００に個体識別情報が刻印された領域であってもよいし、個体識別情報を符号化してバーコードとして張り付けられた領域でもよい。また、第１記憶部７７が個体識別情報保持部７８を有していてもよい。即ち、個体識別情報は、第１記憶部７７に記憶されてもよい。

制御部１０６は、個体識別情報を読み取り、個体識別情報と関連付けた情報をデータベース７１０に記憶したり、データベースから読み出したりする。制御部１０６は、読み出した情報を第２記憶部１０６２に記憶して、実施形態１から３で説明したような処理を行うことができる。

＜＜実施形態５＞＞
実施形態１から４では、筐体ユニット１００内の消耗品の使用状況に関する情報に基づいて制御処理を切り替える形態を説明した。そして、切り替える制御処理は、吐出装置１０の筐体ユニット１００に関連する処理である例を説明した。本実施形態では、筐体ユニット１００を交換して再利用する際の工程を切り替える形態を説明する。具体的には、リフィル工程を行うか、リファブ工程を行うかを切り替える形態を説明する。リフィル工程とは、筐体ユニットを分解せずに吐出材１１４の再充填だけ行う工程のことをいう。リファブ工程とは、筐体ユニットを分解し、消耗品の交換、洗浄、および再組立て後に、吐出材１１４を充填する工程である。即ち、分解後充填を行う工程をリファブ工程という。

図８は、本実施形態におけるインプリント装置１０１を含むシステムの一例を示す図である。本システムは、実施形態４で説明したサーバー７００に加えて、サーバー７００とネットワークを介して接続される端末８００を有している。端末８００は、表示部８０１と処理部８０２とを有する。処理部８０２は、データベース７１０を参照し、リフィル工程とすべきかリファブ工程とすべきかを決定をする。表示部８０１は、その処理の結果を表示する。また、表示部８０１は、リファブ工程の場合、交換対象の部品を表示する。

本実施形態は、例えば筐体ユニット１００に充填されている吐出材１１４が無くなり、交換のために筐体ユニット１００が吐出装置１０から取り外しされ、再生工場などに移送された場合の処理とすることができる。端末８００は、例えば再生工場などに設置されているコンピュータ装置とすることができるが、スマートフォンなどの移動型端末でもよく、所定の情報処理を行う情報処理装置であればよい。

本実施形態のサーバー７００のデータベース７１０には、筐体ユニット１００の消耗品に関連する寿命情報が各種含まれている。以下、消耗品に関連する寿命情報の例を説明する。

筐体ユニット１００を構成する部品で交換が必要な消耗品に分類されるものは、吐出材１１４、Ｏリング９、吐出ヘッド３、可撓性部材８、循環ポンプ３１、循環フィルタ３２である。これらの部品は使用期間が決められている。データベース７１０には、筐体ユニット１００を構成する部品の各寿命情報が記憶されている。例えば、図８に示すように、吐出材寿命情報、筐体ユニット寿命情報、吐出ヘッド寿命情報、可撓性部材寿命情報、Ｏリング寿命情報、およびフィルタ寿命情報が記憶されている。これらは、予め決められた使用期間または使用期限が記憶されている。

また、データベースには、各部材の使用開始日が記憶される。例えば、吐出材の充填日、吐出ヘッド使用開始日、可撓性部材使用開始日、Ｏリング使用開始日、循環ポンプ使用開始日、および循環フィルタ使用開始日が記憶される。また、吐出材充填回数、吐出済みの吐出材の容量、吐出材残量、筐体ユニット内部の加圧クリーニングの回数、吐出ヘッドの駆動回数、循環ポンプ駆動時間などのように、インプリント装置１０１内で得られる情報が記憶されている。尚、データベース７１０に記憶される情報は、制御部１０６がインプリント装置１０１の筐体ユニット１００の制御基板７５内の第１記憶部７７から情報を読み出してサーバー７００に送信したものであってよい。あるいは、制御部１０６の第２記憶部１０６２に記憶されている情報を制御部１０６がサーバー７００に送信したものであってよい。データベース７１０に記憶される情報は、筐体ユニット１００の個体識別情報と関連付けて記憶されている。

インプリント装置１０１から取り外して回収した筐体ユニット１００は、再利用される。ここで、どのような再利用の工程を実施するかを判定することが求められる。例えば、消耗品に所定の交換期限が到来していない場合、即ち、有寿命部品の交換の必要がない場合、筐体ユニット１００を分解することなく、吐出材１１４を再充填すればよい。即ち、リフィル工程を行えばよい。一方、一つでも消耗品の有効期限が過ぎている場合、または、次回の回収までに有効期限を過ぎると予想される場合、リファブ工程を行えばよい。

図９は、本実施形態におけるフローチャートである。図９に示すフローチャートは、端末８００の処理部８０２に搭載されたＣＰＵが、ＲＯＭに格納されたプログラムをＲＡＭに展開し、該展開したプログラムを実行する。これにより、図９の各処理が実行される。あるいはまた、図９におけるステップの一部または全部の機能をＡＳＩＣおよび電子回路等のハードウェアで実現してもよい。図９の処理は、端末８００において再利用工程を決定するための所定のプログラムが起動された場合に開始される。

Ｓ９０１において端末８００の処理部８０２は、端末８００に入力された個体識別情報を取得し、個体識別情報に基づいてデータベース７１０の情報を参照する。インプリント装置１０１から取り外して、使用先から回収してきた筐体ユニット１００に対しては、まず個体識別が行われる。個体識別は、端末８００の処理部８０２が、個体識別情報を取得することで行われる。例えば、実施形態４で説明したように、筐体ユニット１００に刻印してある個体識別情報を作業者が端末８００の入力インタフェースを介して入力することで、処理部８０２は、個体識別情報を取得してよい。バーコードのような記号を不図示の読取部によって読み込むことで処理部８０２が個体識別情報を入力してもよい。端末８００は、インプリント装置１０１と通信が可能に構成され、第２記憶部１０６２に記憶されている個体識別情報を処理部８０２が取得してもよい。

処理部８０２は、取得した個体識別情報に基づいてサーバー７００のデータベース７１０に記憶されている情報を参照する。データベース７１０には、吐出材充填日、吐出材充填回数、吐出部使用開始日、可撓性部材使用開始日、Oリング使用開始日、循環ポンプ使用開始日、循環フィルタ使用開始日のような筐体ユニット１００の組立に関する情報が記録されている。また、吐出済み吐出材の容量、吐出材残量、吐出部駆動回数、筐体ユニット内部加圧の回数、循環ポンプ駆動時間のようなインプリント装置１０１内で得られる情報が記憶されている。処理部８０２は、これらの情報と前述した各寿命情報とをデータベース７１０からダウンロードして取得する。

Ｓ９０２において処理部８０２は、外観検査による交換部品の入力があるかを判定する。例えば、作業者は、目視による筐体ユニット１００の外観検査を行う。これはデータベース７１０から読みとれる情報だけでは判断できない交換要否を確認するものである。たとえば、作業者は、吐出ヘッド３をチェックして破損がないか、あるいはＯリング９を見て吐出材１１４または作動液１１が染み出た形跡がないかなどの目視によるチェックを実施する。作業者は、異常と診断した部品があれば、その部品を交換対象として端末８００に入力する。Ｓ９０２において処理部８０２は、このような交換部品の入力があるかを判定する。交換部品の入力があった場合、Ｓ９０３に進み、再利用する際の工程をリファブ工程に決定し、その後、Ｓ９０８に処理が進む。交換部品の入力がない場合、Ｓ９０４に進む。

Ｓ９０４で処理部８０２は、Ｓ９０１で参照したデータベース７１０の情報に基づいて、吐出材１１４以外の消耗品の交換部品がないかを判定する。交換部品があると判定した場合、Ｓ９０５に進み、そうでない場合、Ｓ９０７に進む。Ｓ９０４の判定処理においては、交換部品の判定は、例えばＳ９０１で参照した使用期限に基づいて行われる。データベース７１０には、前述したように、各使用開始日が記憶されている。このため、処理部８０２は、使用開始日から使用日数を決定できる。また、データベース７１０には、各部品の寿命情報が記憶されている。従って、処理部８０２は、使用期限を超えた部品、もしくは、次回回収時に使用期限を超える見込みの部品を交換対象と決定することができる。

また、Ｓ９０４において処理部８０２は、使用期限および使用開始日以外の情報を用いて判定を行うことができる。例えば、前述の実施形態で説明したように、吐出ヘッド内加圧クリーニングの回数、吐出ヘッドの駆動回数、循環ポンプ駆動時間なども交換の判定に用いることができる。尚、吐出材１１４の交換（補充）の有無は、リファブ工程かリフィル工程かの判定に影響しないので、ここでは判定対象からは除いている。

消耗品の交換部品がないと判定した場合、Ｓ９０５において処理部８０２は、再利用する際の工程をリファブ工程に決定する。続いてＳ９０６において処理部８０２は、Ｓ９０４で交換が必要と判定した交換部品を表示部８０１に表示する。その後、Ｓ９０８に処理が進む。

一方、Ｓ９０４において吐出材１１４以外の消耗品の交換が必要ではないと判定された場合、Ｓ９０７において処理部８０２は、再利用する際の工程をリフィル工程に決定する。尚、本実施形態は、基本的に再利用する際の処理を想定しているので、Ｓ９０７では他の判定をせずにリフィル工程と決定しているが、これに限られない。例えば吐出材１１４が全く減っていない状態で誤って回収されている場合も想定される。従って、Ｓ９０７において処理部８０２は、吐出材１１４の残量が初期値から減っているかを判定し、少しでも吐出材１１４の残量が初期値から減っていればリフィル工程の対象としてもよい。Ｓ９０７の処理の後、Ｓ９０８に処理が進む。

Ｓ９０８で処理部８０２は、このようにして得られたリフィル工程またはリファブ工程の判定結果を表示部８０１に表示する。尚、Ｓ９０６で説明したように、データベース７１０の情報に基づいてリファブ工程と判定された場合には、交換部品が表示される。このため、再組立ての作業者は、表示部８０１の内容をもとに部品交換をして再組立てを行うことになる。

リファブ工程あるいはリフィル工程後は、処理部８０２は、データベース７１０の情報を最新の情報に書き換えを行う。更新を行うことで、継続性を持ったデータの管理が可能となる。

以上、本実施形態によれば、データベース７１０に格納されている情報に基づいて、筐体ユニット１００を再利用する際の工程を、リファブ工程にするかリフィル工程にするかを判定することができる。基本的には、リフィル工程の方が、リファブ工程と比べて分解、洗浄、および組立といった工程を省略することができるので、再利用する際の工数および部品数が少なく済む。したがって、できるだけリフィル工程と判定されることが、コスト等の観点からは好ましい。しかしながら、作業者が目視で確認できないような有寿命部品の情報を、端末８００がデータベース７１０から参照することで、端末８００は、再利用時に有寿命部品の寿命が到来する場合にはリファブ工程と決定することができる。このため、再利用後に有寿命部品の寿命が到来してしまうような場合に、インプリント処理時に予期せぬ事象が発生することを防止することができる。

＜＜実施形態６＞＞
実施形態５では、端末８００は、サーバー７００のデータベース７１０に記憶されている情報を参照して処理を行う形態を説明した。本実施形態では、筐体ユニット１００の第１記憶部７７に実施形態５に相当する情報が含まれている形態を説明する。

図１０は、本実施形態におけるインプリント装置１０１を含むシステムの例を示す図である。図１０では、ネットワークを経由せずに、直接的に筐体ユニット１００の情報を端末８００が読み出す例である。本実施形態の筐体ユニット１００の制御基板７５内の第１記憶部７７は、図９のデータベース７１０に記憶されている情報と同等の情報を記憶している。また、第１記憶部７７は個体識別情報も記憶している。本実施形態において制御基板７５と端末８００とは、専用のコードで接続可能に構成されている。これにより、端末８００は、第１記憶部７７に記録さている情報を読み出すことができる。本実施形態では個体識別情報を作業者が入力することがないので作業者による人為的な間違いを防ぐことができる。

＜＜その他の実施形態＞＞
上記の各実施形態では、所定の警告メッセージ等を表示することで、作業者などに状態を知らせる形態を説明したが、音声によって状態を知らせてもよいし、所定の表示灯を点灯させるなどによって状態を知らせてもよい。いずれにせよ、作業者などに状態が通知される形態であればよい。

本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

１０１ インプリント装置
１０ 吐出装置
１００ 筐体ユニット
７５ 制御基板
１０６ 制御部

Claims (9)

1. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットと、
   前記吐出材吐出装置の処理を、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に応じて切り替える制御をする制御手段と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材をシールしているＯリングであり、
   前記制御手段は、前記Ｏリングの使用期限までの期間が所定の期間を超えていない場合、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を第１の圧力で行い、前記Ｏリングの使用期間が所定の期間を超えた場合、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力で前記クリーニングする処理を行うことを特徴とする吐出材吐出装置。
2. 前記制御手段は、前記Ｏリングの使用期限までの期間が前記所定の期間よりも短い他の期間を超えた場合、前記クリーニングする処理を行わない、請求項１に記載の吐出材吐出装置。
3. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットと、
   前記吐出材吐出装置の処理を、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に応じて切り替える制御をする制御手段と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材をシールしているＯリングであり、
   前記制御手段は、前記Ｏリングの使用期限までの期間が所定の期間を超えた場合、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を行わないことを特徴とする吐出材吐出装置。
4. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットと、
   前記吐出材吐出装置の処理を、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に応じて切り替える制御をする制御手段と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材であり、
   前記制御手段は、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を行うように構成され、
   前記制御手段は、前記クリーニングの回数が所定の回数を越えていない場合、第１の圧力で前記クリーニングする処理を行い、前記クリーニングの処理の回数が所定の回数を越えた場合、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力で前記クリーニングする処理を行うことを特徴とする吐出材吐出装置。
5. 前記制御手段は、前記クリーニングの回数が前記所定の回数よりも多い他の回数を超えた場合、前記クリーニングする処理を行わない、請求項４に記載の吐出材吐出装置。
6. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットと、
   前記吐出材吐出装置の処理を、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に応じて切り替える制御をする制御手段と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材であり、
   前記制御手段は、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を行うように構成され、
   前記クリーニングの処理の回数が所定の回数を越えた場合、前記クリーニングする処理を行わないことを特徴とする吐出材吐出装置。
7. 前記筐体ユニットは、記憶部を有し、かつ前記吐出材吐出装置から取り外し可能に構成されており、
   前記記憶部は、前記筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況に関する情報を記憶し、
   前記制御手段は、前記記憶部に記憶されている前記情報に基づいて前記処理の切り替えを行う、請求項１から６のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。
8. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置における制御方法であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況を示す情報を取得する工程と、
   前記消耗品の使用状況を示す情報に応じて処理を切り替える工程と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材をシールしているＯリングであり、
   前記切り替える工程において、前記Ｏリングの使用期限までの期間が所定の期間を超えていない場合、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を第１の圧力で行い、前記Ｏリングの使用期間が所定の期間を超えた場合、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力で前記クリーニングする処理を行うことを特徴とする吐出材吐出装置の制御方法。
9. 基板上に吐出された吐出材にモールドを押し付けてパターンを形成するインプリント装置に用いられる吐出材吐出装置における制御方法であって、
   吐出材を前記基板上に吐出する吐出ヘッドと、
   可撓性部材によって、前記吐出ヘッドと導通し前記吐出材を収容する第１収容空間と、前記吐出ヘッドと導通せず作動液を収容する第２収容空間とに分離された筐体と、
   を有する筐体ユニットに含まれる消耗品の使用状況を示す情報を取得する工程と、
   前記消耗品の使用状況を示す情報に応じて処理を切り替える工程と、
   を有し、
   前記吐出材吐出装置は、前記作動液の圧力を制御することで前記可撓性部材を介して前記吐出ヘッドの圧力を制御するように構成され、
   前記消耗品は、前記可撓性部材をシールしているＯリングであり、
   前記切り替える工程において、前記Ｏリングの使用期限までの期間が所定の期間を超えた場合、前記吐出ヘッドを加圧してクリーニングする処理を行わないことを特徴とする吐出材吐出装置の制御方法。

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