JP6808426B2 - 液体吐出装置、インプリント装置および方法 - Google Patents
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Description
大気圧に対して内部が負圧に維持されるノズルを有し、該ノズルから第一の液体を吐出する吐出ヘッドと、
前記第一の液体を収容する第一の液体収容部と、
第二の液体を収容する第二の液体収容部と、
前記第一の液体収容部の内部空間を、前記吐出ヘッドに連通し、前記第一の液体を収容する第一の収容空間と、前記第二の液体収容部と連通し、前記第二の液体を収容する第二の収容空間とに区画する可撓性部材と、を備え、
前記ノズルから前記第一の液体が吐出されると前記第二の液体が前記第二の液体収容部から前記第二の収容空間に供給される液体吐出装置であって、
前記第二の収容空間と前記第二の液体収容部との間で、前記第二の液体を循環させる循環手段と、
前記ノズルの内部の負圧が増加するように、前記第二の液体の圧力を減圧する減圧手段と、を備え、
前記第二の液体を循環しない場合よりも前記減圧手段により前記負圧を増加させて、前記循環手段により第二の液体を循環させることを特徴とする液体吐出装置が提供される。
<装置の構成>
図1は本発明の一実施形態に係る液体吐出装置1の概略図である。液体吐出装置1は、液体収容部4、吐出ヘッド3、循環ユニットCU、圧力調整ユニット13および搬送ユニット5を含む。
液体吐出装置1の動作例について説明する。吐出ヘッド3から吐出対象物6に液体9を吐出する場合、制御弁17は液体収容部12を大気開放し、送液ポンプ21および24は停止する。制御弁23は閉状態とする。
第一実施形態では、減圧ユニット18を設けたが、送液ポンプ24を減圧ユニット18としても利用することが可能である。図4はその一例を示す。同図の例では、減圧ユニット18および制御弁17は省略されており、流路16が常時大気に開放されている。つまり、液体収容部12は常時大気に開放されている。送液ポンプ24は、送液方向を切り換え可能である。
液状充填剤11の圧力を計測するセンサを設けてもよい。図7はその一例を示す図である。同図は、第一実施形態の構成において、圧力センサ30が追加されている。なお、第二の実施形態の構成において、圧力センサ30を追加することも可能である。
上記各実施形態で説明した送液ポンプ21、24、制御弁17、23および減圧ユニット18は手動で駆動および駆動停止を制御してもよいが、自動制御を行うことができる。図8は、液体吐出装置1の制御ユニット100のブロック図である。制御ユニット100は、CPU等の処理部101と、RAM、ROM、HDD等の記憶部102と、外部デバイスと処理部101とをインターフェースするインターフェース部103と、を含む。インターフェース部103には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、液体吐出装置1が配置された工場全体または一領域を制御するコンピュータである。
上記各実施形態の液体吐出装置1は、プリンタやインプリント装置等、各種の装置に適用可能である。ここでは第一実施形態の液体吐出装置1をインプリント装置に適用した例について説明するが、他の上記実施形態の液体吐出装置1を適用する場合も同様である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (13)
- 大気圧に対して内部が負圧に維持されるノズルを有し、該ノズルから第一の液体を吐出する吐出ヘッドと、
前記第一の液体を収容する第一の液体収容部と、
第二の液体を収容する第二の液体収容部と、
前記第一の液体収容部の内部空間を、前記吐出ヘッドに連通し、前記第一の液体を収容する第一の収容空間と、前記第二の液体収容部と連通し、前記第二の液体を収容する第二の収容空間とに区画する可撓性部材と、を備え、
前記ノズルから前記第一の液体が吐出されると前記第二の液体が前記第二の液体収容部から前記第二の収容空間に供給される液体吐出装置であって、
前記第二の収容空間と前記第二の液体収容部との間で、前記第二の液体を循環させる循環手段と、
前記ノズルの内部の負圧が増加するように、前記第二の液体の圧力を減圧する減圧手段と、を備え、
前記第二の液体を循環しない場合よりも前記減圧手段により前記負圧を増加させて、前記循環手段により第二の液体を循環させることを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体の圧力を計測する計測手段を更に備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体収容部は、前記吐出ヘッドよりも低い液面で前記第二の液体を収容し、
前記第二の液体収容部における前記第二の液体の液面を計測する計測手段を更に備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記減圧手段は、前記第二の液体の圧力を段階的に減圧する、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項2または請求項3に記載の液体吐出装置であって、
前記計測手段の計測結果に基づいて前記循環手段を制御する制御手段を更に備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項2または請求項3に記載の液体吐出装置であって、
前記計測手段の計測結果に基づいて前記減圧手段を制御する制御手段を更に備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記循環手段は、
前記第二の収容空間と前記第二の液体収容部とに連通した二つの流路と、
前記二つの流路の一方に設けられた送液手段と、を含む、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体を収容する第三の液体収容部と、
前記第二の液体収容部に前記第三の液体収容部から前記第二の液体を送液する送液手段と、を更に備え、
前記第二の液体収容部は、前記吐出ヘッドよりも低い液面で前記第二の液体を収容し、
前記送液手段は、前記第二の液体収容部における前記第二の液体の液面を調整し、
前記減圧手段は、前記第二の液体収容部の内部の気圧を減圧することにより、前記第二の液体を減圧する、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項8に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体収容部を、前記減圧手段または大気に選択的に連通させる弁を更に備える、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体を収容する第三の液体収容部を更に備え、
前記第二の液体収容部は、前記吐出ヘッドよりも低い液面で前記第二の液体を収容し、
前記減圧手段は、前記第二の液体収容部と前記第三の液体収容部との間で、前記第二の液体を送液する送液手段であり、かつ、前記第二の液体収容部における前記第二の液体の液面を低下させることにより、前記第二の液体を減圧する、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項10に記載の液体吐出装置であって、
前記第二の液体収容部および前記第三の液体収容部は、大気に開放されている、
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 基板に樹脂を吐出する、請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の液体吐出装置を備えたことを特徴とするインプリント装置。
- 請求項12に記載のインプリント装置によりインプリントを行う工程と、
インプリントがなされた基板を処理する工程と、を含む、
ことを特徴とする方法。
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