CN100545752C - 用于形成微型图案的模具的树脂组合物及由其制备有机模具的方法 - Google Patents

用于形成微型图案的模具的树脂组合物及由其制备有机模具的方法 Download PDF

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Abstract

一种用于形成微型图案的模具的树脂组合物，该组合物包含(A)40至90重量份具有反应基团的可通过活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物；(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的活性单体；(C)0.01至200重量份基于100重量份组分(A)、(B)之和的含有硅氧烷或氟的化合物；和(D)0.1至10重量份基于100重量份组分(A)、(B)和(C)之和的光敏引发剂。本发明的树脂组合物可容易地通过活性能量射线的作用固化，而由此制备的有机模具没有不可逆的粘结物或产生缺陷，容易从母体模具上取下，并具有优异的尺寸和化学稳定性。

Description

用于形成微型图案的模具的树脂组合物及由其制备有机模具的方法
技术领域
本发明涉及用于形成微型图案的模具的树脂组合物，涉及用该树脂组合物制备有机模具的方法及由此而制备的有机模具。
背景技术
包括集成电路、半导体、电子、光电、显示、磁性或电磁器件及光学透镜(例如棱镜片和透镜片)的各种器件都包含微型图案，通常该微型图案是通过光刻蚀法形成的。但是，光刻蚀法要求复杂的形成图案的过程和高的生产成本，并且不适合于形成线宽低于100nm的超微型图案。
因此，最近已发展出了纳米印刻平版印刷术，其中硬模具如Si模具的图案被复制在热塑性聚合物层上。这种方法在制备具有约7nm的狭窄线宽的图案时是有利的，原因是模具的硬度(见S.Y.Chou等人，J.Vac.Sci.Technol.B15，2897(1997))。但是，这种纳米印刻平版印刷术存在以下问题：模具不易从基材上取下，在高温和高压条件下的加压过程中模具可能会断裂。
其它用于制备微型图案的非传统的平版印刷术包括微接触印刷(mCP)、毛细管微模制(MIMIC)、微转移模制(mTM)、软模制及毛细管力平版印刷术(CFL)。这些方法通常采用由弹性聚合物如硅橡胶型的聚二甲基硅氧烷(PDMS)制造的模具，但该PDMS模具的尺寸及化学稳定性较差，所以它不能完成宽度小于500nm的窄图案。
已开发出了包括h-PDMS(硬PDMS)和hv-PDMS(光可固化的PDMS)的改性PDMS，以解决所述的PDMS问题。但是，h-PDMS还存在脆性、断裂伸长率低及与基材接触时保形性差的问题(见Odom，Y.W.等人，Lailgilluir，18，5314-5320(2002))，而hv-PDMS不具备足够大的模量来复制低于100nm的精细图案，即使介绍能克服上述传统PDMS的某些限制(见J.Am.Chem.Soc.125，4060-4061(2003))。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种新颖的模具材料，该材料具有足够高的可用于形成亚微型图案的模量、良好的化学和尺寸稳定性，并可被用于制备有机模具，该有机模具可容易地和重复地从基材上取下，而不会有不可逆的粘结物或产生缺陷。
另外，本发明的另一个目的是提供使用所述材料来制备模具的方法，以及由此而制备的模具。
根据本发明的一个方面，提供了一种用于形成微型图案的模具的树脂组合物，该组合物包含：
(A)40至90重量份具有可通过活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物，该低聚物具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚和它们的组合；
(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的单体(即活性稀释剂)，该单体具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚和它们的组合；
(C)以100重量份组分(A)、(B)之和为基准0.01至200重量份的含有硅氧烷或氟的化合物(即功能化添加剂)；和
(D)以100重量份组分(A)、(B)和(C)之和为基准0.1至10重量份的光敏引发剂。
根据本发明的另一个方面，提供了一种制备有机模具的方法，该方法包括在母体模具的图案面上涂布或浇铸本发明的树脂组合物，置放支撑物在树脂层上，辐照活性能量射线在所得的层压物上以初步固化树脂层，取下具有与母体模具图案相反图案面的、整体与母体模具的支撑物形成的有机模具，并完全固化所述的有机模具。
根据本发明的再另一个方面，提供了一种制备有机模具的方法，该方法包括在母体模具的图案面上涂布或浇铸本发明的树脂组合物，用活性能量射线辐照树脂层以初步固化它，在固化的树脂层上面倾倒可UV-或热-固化的树脂组合物以作为骨架，加热或辐照所得物以完全固化所述的树脂层与骨架层，取下具有与母体模具图案相反图案面的、整体与母体模具的骨架层形成的有机模具，并完全固化所述的有机模具。
根据本发明的又另一个方面，提供了一种具有亚微型图案、由本发明方法的任何一种制备的有机模具。
附图说明
从以下本发明的说明书并结合附图，本发明的以上目的及其它特征将更清楚，所述附图分别显示：
图1：表示用本发明的树脂组合物制备模具的步骤的示意图；
图2a：通过本发明的方法制备的具有80nm的相等线宽与间距的模具的电子显微镜照片；
图2b：使用图2a的模具在基材上形成的图案的电子显微镜照片；
图3a：通过本发明的方法制备的具有圆柱形图案的模具的电子显微镜照片；
图3b：使用图3a的模具在基材上形成的图案的电子显微镜照片；
图4a：具有金字塔型的图案、用于制备本发明对比例模具的母体模具的光学显微镜照片；
图4b：使用图4a的母体模具制备的有机模具的光学显微镜照片。
具体实施方式
本发明提供了一种用于形成微型图案、优选亚微型图案的有机模具的树脂组合物，使用所述树脂组合物制备有机模具的方法，以及由此而制备的模具。
本发明的树脂组合物的特征在于其包括可能量固化的组分，及含硅或氟的化合物，所述可能量固化的组分同时具有硬段如环脂族或芳环及软段如线性脂肪族长链，这使得可以形成微型图案，并赋予模具以曲挠性，所述含硅或氟的化合物可以提供具有优异的脱模性能、同时保持优良的物理性能的模具。紧密性，即模具分子结构中的交联度可通过调整存在于所述组合物中的反应基团的总量来提升。
文中，术语“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯，术语“活性能量射线”是指紫外线、红外线或电子束。
具体而言，本发明的树脂组合物包含可活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物(“组分A”)，以赋予组合物以高弹性和弯曲性。所述可活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物可以是线性的脂肪族、环脂族或芳香族的、含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物和它们的混合物。
所述基于氨基甲酸酯的低聚物在本发明组合物中的用量可以是40至90重量份。当所述量少于下限时，从组合物得到的模具的机械性能劣化，而当所述量超过上限时，模具变得太脆。
基于氨基甲酸酯的低聚物可以用活性低聚物部分地取代，以提升组合物的物理性能，如曲挠性、表面硬度、耐磨性、耐热性、耐候性及耐化学品性。这种任选的低聚物可以是(甲基)丙烯酸酯化的聚酯、(甲基)丙烯酸酯化的聚醚、(甲基)丙烯酸酯化的环氧、(甲基)丙烯酸酯化的聚碳酸酯、(甲基)丙烯酸酯化的聚丁二烯，或它们的混合物，其用量可以是所述基于氨基甲酸酯的低聚物的0至200重量％。
在本发明中，使用与所述基于氨基甲酸酯的低聚物有反应活性的单体(“组分B”)作为活性稀释剂，其代表性实例包括(甲基)丙烯酸酯，例如丙烯酸异冰片酯、1，6-己二醇丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇(羟基)五丙烯酸酯、烷氧基化的四丙烯酸酯、丙烯酸十八酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸硬脂酸酯、丙烯酸二十二酯、苯乙烯类单体及它们的混合物；以及乙烯基酯和芳基醚，例如环己基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、十二烷基乙烯基醚、芳基丙基醚、芳基丁基醚、1，4-丁二醇二乙烯基醚、1，4-己二醇二乙烯基醚、二甘醇二乙烯基醚、乙二醇丁基乙烯基醚、乙二醇二乙烯基醚、三甘醇甲基乙烯基醚、三甘醇二乙烯基醚、三羟甲基丙烷三乙烯基醚、季戊四醇三芳基醚(pentaerythritol triaryether)、1，4-环己烷二甲醇二乙烯基醚及它们的混合物。
活性稀释剂可以控制组合物的交联密度，赋予组合物以曲挠性，其在所述组合物中的用量可以是10至60重量份。
另外，本发明的树脂组合物包含含有硅氧烷或氟基团的化合物(“组分C”)，以作为功能化添加剂。组分C含有至少一个硅或氟基团，其代表性实例包括(i)含硅氧烷基团的反应性单体或低聚物，例如含硅氧烷的乙烯基衍生物、含硅氧烷的(甲基)丙烯酸酯、含(甲基)丙烯酰氧基(acryloxy)的有机硅氧烷或硅氧烷聚丙烯酸酯；(ii)含有氟基的反应性单体或低聚物，例如含氟烷基的乙烯基衍生物、含氟烷基的(甲基)丙烯酸酯或氟聚丙烯酸酯；(iii)含硅氧烷或氟的树脂，例如有机聚硅氧烷及氟化的聚合物；和(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油，例如二甲基硅油；及它们的混合物。
功能化添加剂可以为模具提供良好的脱模性能，以100重量份所用组分A与组分B的总量计，所述添加剂的用量在成分(i)至(iii)的情况下可以是5至200重量份，在成分(iv)的情况下，其用量为0.01至5重量份。
用于本发明组合物中的光敏引发剂(“组分D”)可以是普通的自由基引发剂或阳离子引发剂，或它们的混合物。自由基引发剂的代表性实例包括苄基缩酮、二苯乙醇酮醚、苯乙酮衍生物、酮肟醚、二苯甲酮、苯并及噻吨酮(thioxantone)化合物、和它们的混合物，阳离子引发剂可以是鎓盐、二茂铁鎓盐、重氮盐、和它们的混合物。在乙烯基醚化合物被用作组分B的时候，优选使用自由基引发剂与阳离子引发剂的合适的混合物。
优选光敏引发剂的用量为基于100重量份所用组分A、组分B和组分C总量的0.1至10重量份。
本发明的树脂组合物可以用活性能量射线固化，以提供具有良好的可脱模性、在溶剂中的低溶性胀、对基材良好的外形一致性及高的机械强度的有机模具。还有，本发明的树脂组合物可以在单个过程中以低的生产成本提供大尺寸的模具，因此，它可被用于有机模具的大规模生产。
可有利地用所得的有机模具形成线宽低于几个纳米的超微型或亚微型图案。可以通过本领域已知的任何复制方法，例如纳米印刻平版印刷术、微接触印刷(mCP)、毛细管微模制(MIMIC)、微转移模制(mTM)、软模制及毛细管力平版印刷术(CFL)，用本发明的有机模具形成微型图案形。
图1是用本发明的树脂组合物制备模具的步骤示意图。具体而言，如步骤(a)中所显示的，将本发明的树脂组合物涂布或浇铸到母体模具的图案面上，再将模具支撑物覆盖在其上。所得的层压物用活性能量射线如UV光辐照，以初步固化所述的树脂组合物。将具有与母体模具相反图案的固化的有机模具从母体模具取下，并进一步用UV固化，直到树脂中剩余的反应基团完全消耗掉，以增强所述有机模具的硬度。模具支撑物优选由聚合物制造，如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚氯乙烯(PVC)、软的或硬的弹性体及其它聚合物。由此制备的有机模具可进一步与取决于模具最终用途的具有要求形状和厚度的软弹性的或硬的聚合物衬背粘合或结合。所述的衬背可以由环氧树脂、聚氨酯弹性体、丁二烯系橡胶或它们的混合物制造。
或者，根据图1的步骤(b)，首先，如步骤(a)中的用本发明的树脂组合物涂布或浇铸母体模具，用UV光假固化，再将作为骨架材料的可UV固化或可热固化的树脂组合物倾倒在容器中至要求的厚度，并完全固化。从母体模具上取下已固化的有机模具。所述可热固化或可UV固化的骨架树脂可以是普通的软或硬的聚合物材料，取决于模具的最终用途，所述聚合物材料选自环氧树脂、聚氨酯弹性体、丁二烯基橡胶，或它们的混合物。
通过以下的实施例，将进一步详细地描述本发明，但是，并不预期用这些实施例来限制本发明的范围。
制备例1至5
制备具有如下表1中所示组成的模具组合物：
Figure C20048001003400141
脚注：
*1，*2：重量份
*3：基于组分A和B总和的重量份
*4：基于组分A、B和C总和的重量份
*5：丙烯酸羟丙酯与1，6-己二异氰酸酯以当量比为2∶1的氨基甲酸酯反应产物
*6：丙烯酸羟丙酯与4，4-二环己基甲烷二异氰酸酯以当量比为2∶1的氨基甲酸酯反应产物
*7：丙烯酸羟丙酯与具有1，6-己二异氰酸酯的异氰脲酸酯结构的三官能三异氰酸酯以当量比为3∶1的氨基甲酸酯反应产物
*8：丙烯酸羟丙酯与具有异氟尔酮(isoporone)二异氰酸酯的异氰脲酸酯结构的三官能三异氰酸酯以当量比为3∶1的氨基甲酸酯反应产物
*9：季戊四醇丙氧基化物三丙烯酸酯与1，6-己二异氰酸酯以当量比为2∶1的氨基甲酸酯反应产物
实施例1-1
通过如图1的步骤(a)中所示的复制方法制备有机模具。
具体来说，制备具有与要求的树脂图案相反的图案结构的硅母体模具。将制备例1的树脂组合物涂布到母体模具的图案面上，至厚度为15微米。然后，将厚度为188微米的透明粘合的聚对苯二甲酸乙二醇酯片放置在涂布过的表面上，用5mJ/cm2的UV光辐照所得的层压物15秒钟以固化所述的树脂组合物。
从母体模具上取下固化的有机模具，得到具有要求的图案并结合有聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)支撑物的有机模具。然后，另外辐照UV(5mJ/cm2)2小时，以完全固化所述的有机模具。
实施例1-2
按照图1步骤(b)中所示的制备复制的有机模具。
具体来说，首先用制备例1的树脂组合物涂布用于实施例1-1中硅母体模具的图案表面，至厚度为15微米，再用5mJ/cm2的UV光预固化3分钟。将该层压物放入容器中，倒入丙烯酸酯化的丁二烯树脂组合物并固化，形成厚度为2mm的骨架层。
从容器中取出固化的产品，从母体模具上取下具有丙烯酸酯化的丁二烯骨架的具有要求图案的有机模具，然后另外用UV(5mJ/cm2)辐照2小时以完全固化所述的有机模具。
图2a为按照实施例1-1制备的具有80nm的相等线宽和间距的有机模具的电子显微镜照片。
另外，图3a是按照实施例1-1制备的具有圆柱形图案的有机模具的电子显微镜照片，其中，直径为100nm、高为450nm的圆柱形腔体串联排列。
实施例2-1
采用图2a中所示的有机模具，通过软模制的方法形成图案。具体而言，将聚苯乙烯树脂溶液涂布到硅片基材上，在涂布过的树脂层上放置所述的模具，轻轻地按压以将要求的图案转移到聚苯乙烯树脂层上。图2b显示了由此形成的图案的电子显微镜照片。
实施例2-2
采用图3a中所示的有机模具、通过UV灌注复制(flash replication)的方法形成图案。具体来说，将可UV固化的丙烯酸酯化的环氧树脂涂布到PET基材上，将制备的模具放置到涂布过的环氧树脂层上，然后，用UV辐照所得的层压物以固化环氧树脂组合物。图3b为由此形成的图案的电子显微镜照片。
图2b和3b说明从本发明的树脂组合物制备的模具可以提供亚微型的图案，没有粘结物或缺陷产生的问题。
实施例3和4
重复实施例1-1的步骤制备有机模具，除了分别使用制备例2和3的模具组合物代替制备例1的模具组合物，然后按照实施例2-1的用所述模具形成图案。
由此制备的有机模具及由此而得到的图案分别具有如图2a和3a、2b和3b中所观察到的相同特征。
对比例1
重复实施例1-1的步骤，除了用制备例4的不包含功能化添加剂的树脂组合物，及具有金字塔图案的硅母体模具以外，其中母体模具的底面积为80微米×80微米、高为70微米串联排列的金字塔形状的腔体被用来制备有机模具。
图4a是金字塔形状形成的母体模具的光学显微镜照片，图4b是用所述母体模具制备的有机模具的光学显微镜照片。通过对比图4a和图4b可以看出，由此制备的有机模具有几处缺陷。
对比例2
重复实施例1-1的步骤，除了用制备例5的包含较少量活性稀释剂的有机模具组合物来制备有机模具以外。在形成图案的步骤中，由于其高脆性，该有机模具容易断裂。
尽管通过参考以上的具体实施例而描述了本发明，应当理解，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变化，而这些仍然属于由本发明所附权利要求所定义的发明范围内。

Claims (11)

1.一种用于形成微型图案的有机模具，由树脂组合物组成，该树脂组合物包含：
(A)40至90重量份具有可通过活性能量固化的含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物，该低聚物具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯基、乙烯基醚基、芳基醚基、以及它们的组合；
(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的单体，该单体选自以下组中：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；
(C)含有硅氧烷或氟的化合物，其中，该含有硅氧烷或氟的化合物选自以下组中的成分：
(i)含硅氧烷基团的反应性单体或低聚物；
(ii)含有氟基的反应性单体或低聚物；
(iii)含硅氧烷或氟的树脂；
(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油；
及它们的混合物；
并且，以100重量份组分(A)、(B)之和为基准，在成分(i)至(iii)的情况下，(C)的量是5至200重量份，在成分(iv)的情况下，(C)的量为0.01至5重量份；和
(D)以100重量份组分(A)、(B)和(C)之和为基准0.1至10重量份的光敏引发剂。
2.权利要求1有机模具，其中所述树脂组合物中使用的可通过活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物选自以下组中：线性的脂肪族、脂环族和芳香族的、含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物、以及它们的混合物。
3.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物还包含至少一种选自以下组中的反应性低聚物：(甲基)丙烯酸酯化的聚酯、(甲基)丙烯酸酯化的聚醚、(甲基)丙烯酸酯化的环氧、(甲基)丙烯酸酯化的聚碳酸酯、(甲基)丙烯酸酯化的聚丁二烯、以及它们的混合物，以作为组分(A)的部分取代物。
4.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物中用作组分(B)的(甲基)丙烯酸酯选自以下组中：丙烯酸异冰片酯、1，6-己二醇丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇(羟基)五丙烯酸酯、烷氧基化的四丙烯酸酯、丙烯酸十八酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸硬脂醇酯、丙烯酸二十二酯、以及它们的混合物。
5.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物中用作组分(B)的乙烯基醚选自以下组中：环己基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、十二烷基乙烯基醚、1，4-丁二醇二乙烯基醚、1，4-己二醇二乙烯基醚、二甘醇二乙烯基醚、乙二醇丁基乙烯基醚、乙二醇二乙烯基醚、三甘醇甲基乙烯基醚、三甘醇二乙烯基醚、三羟甲基丙烷三乙烯基醚、1，4-环己烷二甲醇二乙烯基醚、以及它们的混合物。
6.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物中用作组分(B)的芳基醚选自以下组中：芳基丙基醚、芳基丁基醚、季戊四醇三芳基醚、以及它们的混合物。
7.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物中使用的含硅氧烷或氟的化合物为选自以下的至少一种组分：
(i)含硅氧烷的反应性单体或低聚物，其选自以下组中：含硅氧烷的乙烯基衍生物、含硅氧烷的(甲基)丙烯酸酯、含(甲基)丙烯酰氧基的有机硅氧烷、硅氧烷聚丙烯酸酯、以及它们的混合物；
(ii)含氟的反应性单体或低聚物，其选自以下组中：含氟烷基的乙烯基衍生物、含氟烷基的(甲基)丙烯酸酯、氟聚丙烯酸酯、以及它们的混合物；
(iii)含硅氧烷或氟的树脂、或它们的混合物；和
(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油、或它们的混合物。
8.权利要求1的有机模具，其中所述树脂组合物中使用的光敏引发剂为选自以下组中的自由基引发剂：苄基缩酮、二苯乙醇酮醚、苯乙酮衍生物、酮肟醚、二苯甲酮、苯并及噻吨酮化合物、以及它们的混合物，或选自以下组中的阳离子引发剂：鎓盐、重氮盐、以及它们的混合物。
9.一种制备有机模具的方法，其包括在母体模具的图案面上涂布或浇铸用于所述有机模具的树脂组合物，在树脂层上放置支撑物，用活性能量射线辐照所得的层压物以初步固化所述的树脂组合物，取下具有与母体模具图案面相反的图案面、且与母体模具的支撑物整体形成的有机模具，然后完全固化所述的有机模具，其中所述树脂组合物包括(A)40至90重量份具有可通过活性能量固化的含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物，该低聚物具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的单体，该单体具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；(C)含有硅氧烷或氟的化合物，其中，该含有硅氧烷或氟的化合物选自以下成分：(i)含硅氧烷基团的反应性单体或低聚物；(ii)含有氟基的反应性单体或低聚物；(iii)含硅氧烷或氟的树脂；和(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油，及它们的混合物；并且，以100重量份组分(A)、(B)之和为基准，在成分(i)至(iii)的情况下，(C)的量是5至200重量份，在成分(iv)的情况下，(C)的量为0.01至5重量份；和(D)以100重量份组分(A)、(B)和(C)之和为基准0.1至10重量份的光敏引发剂。
10.权利要求9的方法，其还包括在所述有机模具的底面粘合具有曲面或平面的软或硬的衬背。
11.一种制备有机模具的方法，其包括在母体模具的图案面上涂布或浇铸用于所述有机模具的树脂组合物，用活性能量射线辐照树脂层以初步固化它，倾倒可UV-或热固化的树脂组合物到所述作为骨架的固化的树脂层上，加热或辐照所得物以完全固化所述树脂和骨架层，取下具有与母体模具图案面相反的图案面、且与母体模具的骨架层整体形成的有机模具，然后完全固化所述的有机模具，其中所述树脂组合物包括(A)40至90重量份具有可通过活性能量固化的含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物，该低聚物具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的单体，该单体具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；(C)含有硅氧烷或氟的化合物，其中，该含有硅氧烷或氟的化合物选自以下成分：(i)含硅氧烷基团的反应性单体或低聚物；(ii)含有氟基的反应性单体或低聚物；(iii)含硅氧烷或氟的树脂；和(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油，及它们的混合物；并且，以100重量份组分(A)、(B)之和为基准，在成分(i)至(iii)的情况下，(C)的量是5至200重量份，在成分(iv)的情况下，(C)的量为0.01至5重量份；和(D)以100重量份组分(A)、(B)和(C)之和为基准0.1至10重量份的光敏引发剂。
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