KR100857521B1 - 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비 - Google Patents
박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (23)
- 양각 또는 음각의 패턴이 형성된 마스터기판을 구비하는 제1단계와;상기 마스터기판 상부에 몰드용 레진을 코팅하는 제2단계와;상기 몰드용 레진에 빛을 조사하여 경화시키는 제3단계와;표면에 접착제가 도포된 분리용 기판을 이용하여 상기 경화된 몰드용 레진에 접촉시킨 후 상기 몰드용 레진을 상기 분리용 기판과 접착된 상태로 상기 마스터 기판으로부터 분리시키는 제4단계를 포함하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 마스터기판의 소재는 실리콘인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 양각 또는 음각의 패턴은 금속, 포토레지스트, 왁스, 실리카(SiO2), 질화규소(Si3N4) 중 하나를 이용하여 상기 마스터기판 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 빛은 자외선인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 각 단계는 진공의 분위기(0기압 초과, 1기압 미만)에서 수행되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 삭제
- 삭제
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 분리용 기판의 소재는 글라스, 석영, 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리 메틸 메타 아크릴레이트(PMMA), 폴리 카보네이트(PC) 중 하나인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 접착제는 스프레이방식, 스핀 코팅 방식, 슬릿 코팅 방식, 바 코팅 방식 중 하나의 방법으로 도포되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 접착제는 쓰리엠(3M)사의 EC-2320으로 명명된 소재인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 몰드용 레진은 액상 고분자 전구체이며 또한 광경화 소재인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1항에 있어서,상기 몰드용 레진은 폴리우레탄 아크릴레이트이거나 글리시딜 아크릴레이트 또는 부틸 메타크릴레이트에 이가큐어 369 또는 이가큐어 819가 혼합된 소재인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 제2단계는, 상기 마스터기판에 상기 몰드용 레진을 스핀 코팅 방식 또는 슬릿 코팅 방식으로 코팅하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 몰드용 레진이 코팅된 마스터기판이 상부에 안착되고 상하 기동 및 좌우 기동이 가능한 스테이지부와;상기 스테이지부의 상부에 위치하고, 상기 몰드용 레진과 마주보는 면에 접착제가 도포되어 있는 분리용 기판을 포함하며, 상기 마스터기판으로부터 상기 몰드용 레진을 분리시키기 위한 몰드분리부와;상기 스테이지부와 몰드분리부가 내치되며 광투과부를 구비한 챔버와;상기 챔버의 외부에 구성되며 상기 광투과부를 통해 상기 마스터기판으로 빛을 조사하는 광조사부를 포함하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 광조사부는 석영, 글라스 중 하나인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 몰드분리부는,상기 분리용 기판이 안착되는 기판 지그와, 상기 분리용 기판을 고정시키는 기판 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 삭제
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 광조사부는 자외선광을 조사하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 챔버는 진공의 분위기(0기압 초과, 1기압 미만)를 조성하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 챔버의 외장에 고정되어 상기 광투과부를 통해 상기 챔버 내부를 촬영하기 위한 카메라를 포함하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 청구항 제 20 항에 있어서,상기 카메라는 비젼 카메라인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
- 제 1항에 있어서,상기 몰드용 레진은 상기 마스터기판, 상기 분리용 기판 및 상기 접착제와 각각 제 1, 제 2, 제 3 접착력을 갖고, 상기 제 3 접착력은 상기 제 1 및 제 2 접착력보다 큰 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법
- 제 14항에 있어서,상기 몰드용 레진은 상기 마스터기판, 상기 분리용 기판 및 상기 접착제와 각각 제 1, 제 2, 제 3 접착력을 갖고, 상기 제 3 접착력은 상기 제 1 및 제 2 접착력보다 큰 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조장비
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