ATE261611T1 - Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden einrichtung sowie einer elektronenquelle und eines bilderzeugungsgerätes mit derartigen elektronen-emittierenden einrichtungen - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden einrichtung sowie einer elektronenquelle und eines bilderzeugungsgerätes mit derartigen elektronen-emittierenden einrichtungen

Info

Publication number
ATE261611T1
ATE261611T1 AT00201967T AT00201967T ATE261611T1 AT E261611 T1 ATE261611 T1 AT E261611T1 AT 00201967 T AT00201967 T AT 00201967T AT 00201967 T AT00201967 T AT 00201967T AT E261611 T1 ATE261611 T1 AT E261611T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
electron
producing
emitting
substrate
emitting devices
Prior art date
Application number
AT00201967T
Other languages
English (en)
Inventor
Masato Yamanobe
Takeo Tsukamoto
Keisuke Yamamoto
Yasuhiro Hamamoto
Original Assignee
Canon Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP25273094A external-priority patent/JP2909702B2/ja
Priority claimed from JP25907494A external-priority patent/JP2923841B2/ja
Priority claimed from JP9416895A external-priority patent/JPH08273517A/ja
Priority claimed from JP7266199A external-priority patent/JPH0992183A/ja
Application filed by Canon Kk filed Critical Canon Kk
Application granted granted Critical
Publication of ATE261611T1 publication Critical patent/ATE261611T1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/316—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode having an electric field parallel to the surface, e.g. thin film cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/027—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of thin film cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
    • H01J2201/30—Cold cathodes
    • H01J2201/316—Cold cathodes having an electric field parallel to the surface thereof, e.g. thin film cathodes
    • H01J2201/3165—Surface conduction emission type cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
AT00201967T 1994-09-22 1995-09-22 Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden einrichtung sowie einer elektronenquelle und eines bilderzeugungsgerätes mit derartigen elektronen-emittierenden einrichtungen ATE261611T1 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25273094A JP2909702B2 (ja) 1994-09-22 1994-09-22 電子放出素子、電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
JP25907494A JP2923841B2 (ja) 1994-09-29 1994-09-29 電子放出素子、電子源、及びそれを用いた画像形成装置と、それらの製造方法
JP9416895A JPH08273517A (ja) 1995-03-29 1995-03-29 電子放出素子及び電子源及び画像形成装置
JP7266199A JPH0992183A (ja) 1995-09-21 1995-09-21 電子放出素子、電子源及び画像形成装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE261611T1 true ATE261611T1 (de) 2004-03-15

Family

ID=27468192

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT00201967T ATE261611T1 (de) 1994-09-22 1995-09-22 Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden einrichtung sowie einer elektronenquelle und eines bilderzeugungsgerätes mit derartigen elektronen-emittierenden einrichtungen
AT95306708T ATE199290T1 (de) 1994-09-22 1995-09-22 Elektronen emittierende einrichtung und herstellungsverfahren

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT95306708T ATE199290T1 (de) 1994-09-22 1995-09-22 Elektronen emittierende einrichtung und herstellungsverfahren

Country Status (8)

Country Link
US (2) US5847495A (de)
EP (2) EP0703594B1 (de)
KR (1) KR100220214B1 (de)
CN (2) CN1106656C (de)
AT (2) ATE261611T1 (de)
AU (1) AU712966B2 (de)
CA (1) CA2158886C (de)
DE (2) DE69532690T2 (de)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6246168B1 (en) * 1994-08-29 2001-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source and image-forming apparatus as well as method of manufacturing the same
JP3229223B2 (ja) * 1995-10-13 2001-11-19 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造法並びに電子放出素子製造用金属組成物
US6005334A (en) 1996-04-30 1999-12-21 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting apparatus having a periodical electron-emitting region
DE69807554T2 (de) * 1997-03-21 2003-05-22 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines bedruckten Substrats, elektronenemittierendes Element, Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerät
CN1222975C (zh) 1999-01-19 2005-10-12 佳能株式会社 制造图像形成装置的方法
GB2346731B (en) * 1999-02-12 2001-05-09 Toshiba Kk Electron emission film and filed emission cold cathode device
JP3668651B2 (ja) * 1999-10-01 2005-07-06 ローム株式会社 不揮発性メモリを用いた光−電気変換装置、およびこれを利用した画像装置
JP3658346B2 (ja) * 2000-09-01 2005-06-08 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置、並びに電子放出素子の製造方法
JP3639809B2 (ja) 2000-09-01 2005-04-20 キヤノン株式会社 電子放出素子，電子放出装置，発光装置及び画像表示装置
JP3610325B2 (ja) * 2000-09-01 2005-01-12 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3639808B2 (ja) * 2000-09-01 2005-04-20 キヤノン株式会社 電子放出素子及び電子源及び画像形成装置及び電子放出素子の製造方法
JP3634781B2 (ja) * 2000-09-22 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子放出装置、電子源、画像形成装置及びテレビジョン放送表示装置
KR20020057478A (ko) * 2001-01-05 2002-07-11 엘지전자 주식회사 전계방출형 표시소자 및 그 진공도 측정방법과, 게터의자동 활성화 방법
JP3768908B2 (ja) * 2001-03-27 2006-04-19 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置
JP3703415B2 (ja) * 2001-09-07 2005-10-05 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置、並びに電子放出素子及び電子源の製造方法
JP3605105B2 (ja) * 2001-09-10 2004-12-22 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、発光装置、画像形成装置および基板の各製造方法
JP3647436B2 (ja) * 2001-12-25 2005-05-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置、及び電子放出素子の製造方法
JP3619240B2 (ja) * 2002-09-26 2005-02-09 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法及びディスプレイの製造方法
JP3625467B2 (ja) * 2002-09-26 2005-03-02 キヤノン株式会社 カーボンファイバーを用いた電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
US7064475B2 (en) * 2002-12-26 2006-06-20 Canon Kabushiki Kaisha Electron source structure covered with resistance film
JP3907626B2 (ja) * 2003-01-28 2007-04-18 キヤノン株式会社 電子源の製造方法、画像表示装置の製造方法、電子放出素子の製造方法、画像表示装置、特性調整方法、及び画像表示装置の特性調整方法
US20040217006A1 (en) * 2003-03-18 2004-11-04 Small Robert J. Residue removers for electrohydrodynamic cleaning of semiconductors
JP4324078B2 (ja) * 2003-12-18 2009-09-02 キヤノン株式会社 炭素を含むファイバー、炭素を含むファイバーを用いた基板、電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源、該電子源を用いた表示パネル、及び、該表示パネルを用いた情報表示再生装置、並びに、それらの製造方法
JP2005190889A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Canon Inc 電子放出素子、電子源、画像表示装置およびこれらの製造方法
JP3740485B2 (ja) * 2004-02-24 2006-02-01 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置の製造方法及び駆動方法
US7271529B2 (en) * 2004-04-13 2007-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting devices having metal-based film formed over an electro-conductive film element
US7230372B2 (en) * 2004-04-23 2007-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source, image display apparatus, and their manufacturing method
JP3907667B2 (ja) * 2004-05-18 2007-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子放出装置およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP3935479B2 (ja) * 2004-06-23 2007-06-20 キヤノン株式会社 カーボンファイバーの製造方法及びそれを使用した電子放出素子の製造方法、電子デバイスの製造方法、画像表示装置の製造方法および、該画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP3774723B2 (ja) * 2004-07-01 2006-05-17 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法、該製造方法によって製造された画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP4596878B2 (ja) * 2004-10-14 2010-12-15 キヤノン株式会社 構造体、電子放出素子、２次電池、電子源、画像表示装置、情報表示再生装置及びそれらの製造方法
JP4594077B2 (ja) * 2004-12-28 2010-12-08 キヤノン株式会社 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置
JP4769569B2 (ja) * 2005-01-06 2011-09-07 キヤノン株式会社 画像形成装置の製造方法
JP4920925B2 (ja) * 2005-07-25 2012-04-18 キヤノン株式会社 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像表示装置および情報表示再生装置とそれらの製造方法
JP2008027853A (ja) * 2006-07-25 2008-02-07 Canon Inc 電子放出素子、電子源および画像表示装置、並びに、それらの製造方法
TWI344167B (en) * 2007-07-17 2011-06-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Electron-emitting device and fabricating method thereof
EP2287880A1 (de) 2008-04-10 2011-02-23 Canon Kabushiki Kaisha Elektronenemitter und Elektronenquelle, Elektronenstrahlvorrichtung sowie Bildanzeigevorrichtung damit
EP2109132A3 (de) * 2008-04-10 2010-06-30 Canon Kabushiki Kaisha Elektronenstrahlvorrichtung und Bildanzeigevorrichtung damit
JP2009277457A (ja) 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP2009277460A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Canon Inc 電子放出素子及び画像表示装置
JP4458380B2 (ja) * 2008-09-03 2010-04-28 キヤノン株式会社 電子放出素子およびそれを用いた画像表示パネル、画像表示装置並びに情報表示装置
WO2012050964A1 (en) * 2010-09-29 2012-04-19 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Systems and methods using a glassy carbon heater

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06101297B2 (ja) * 1988-04-27 1994-12-12 キヤノン株式会社 電子放出素子
JPH07114106B2 (ja) * 1988-04-27 1995-12-06 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法
US5023110A (en) * 1988-05-02 1991-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing electron emission device
JP2630988B2 (ja) * 1988-05-26 1997-07-16 キヤノン株式会社 電子線発生装置
JP2631007B2 (ja) * 1989-03-22 1997-07-16 キヤノン株式会社 電子放出素子及びその製造方法と、該素子を用いた画像形成装置
JP2981751B2 (ja) * 1989-03-23 1999-11-22 キヤノン株式会社 電子線発生装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに電子線発生装置の製造方法
US5285079A (en) * 1990-03-16 1994-02-08 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting device, electron emitting apparatus and electron beam drawing apparatus
CA2060809A1 (en) * 1991-03-01 1992-09-02 Raytheon Company Electron emitting structure and manufacturing method
JP3072795B2 (ja) * 1991-10-08 2000-08-07 キヤノン株式会社 電子放出素子と該素子を用いた電子線発生装置及び画像形成装置
CA2080092C (en) * 1991-10-08 1999-03-23 Ichiro Nomura Electron-emitting device, and electron beam-generating apparatus and image-forming apparatus employing the device
JP2946140B2 (ja) * 1992-06-22 1999-09-06 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3205167B2 (ja) * 1993-04-05 2001-09-04 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像形成装置の製造方法
US6121942A (en) * 1993-12-22 2000-09-19 Canon Kabushiki Kaisha Image-forming apparatus with correction in accordance with positional deviations between electron-emitting devices and image-forming members
CA2126509C (en) * 1993-12-27 2000-05-23 Toshikazu Ohnishi Electron-emitting device and method of manufacturing the same as well as electron source and image-forming apparatus
JP3332676B2 (ja) * 1994-08-02 2002-10-07 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置と、それらの製造方法
JPH0982214A (ja) * 1994-12-05 1997-03-28 Canon Inc 電子放出素子、電子源、及び画像形成装置
JP2932250B2 (ja) * 1995-01-31 1999-08-09 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置及びそれらの製造方法
EP0955663B1 (de) * 1995-03-13 2005-09-21 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren einer Elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
JP3229223B2 (ja) * 1995-10-13 2001-11-19 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造法並びに電子放出素子製造用金属組成物
US6794805B1 (en) * 1998-05-26 2004-09-21 Matsushita Electric Works, Ltd. Field emission electron source, method of producing the same, and use of the same
JP3703448B2 (ja) * 2001-09-27 2005-10-05 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源基板、表示装置及び電子放出素子の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1037246B1 (de) 2004-03-10
EP0703594A1 (de) 1996-03-27
AU3282495A (en) 1996-04-04
DE69520126T2 (de) 2001-08-02
AU712966B2 (en) 1999-11-18
DE69520126D1 (de) 2001-03-29
CN1146937C (zh) 2004-04-21
EP1037246A2 (de) 2000-09-20
ATE199290T1 (de) 2001-03-15
CA2158886C (en) 2001-01-09
CN1106656C (zh) 2003-04-23
EP1037246A3 (de) 2001-06-13
CN1131337A (zh) 1996-09-18
KR100220214B1 (ko) 1999-09-01
US20020132041A1 (en) 2002-09-19
DE69532690T2 (de) 2005-01-13
CA2158886A1 (en) 1996-03-23
DE69532690D1 (de) 2004-04-15
CN1282975A (zh) 2001-02-07
US5847495A (en) 1998-12-08
KR960012180A (ko) 1996-04-20
EP0703594B1 (de) 2001-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE261611T1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden einrichtung sowie einer elektronenquelle und eines bilderzeugungsgerätes mit derartigen elektronen-emittierenden einrichtungen
ATE181620T1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronen- emittierenden vorrichtung und elektronenquelle sowie einer bilderzeugungsvorrichtung
ATE252768T1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronen emittierenden vorrichtung,
ATE194727T1 (de) Herstellungsverfahren einer elektronen emittierenden vorrichtung, einer elektronenquelle und eine bilderzeugungsvorrichtung
ATE472167T1 (de) Feldemissionselektronenquelle, verfahren zu deren herstellung und verwendung derselben
DE69516945D1 (de) Vorrichtung zur Herstellung einer Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerät
ATE557419T1 (de) Verfahren zur herstellung eines halbleiterbauelements
DE69934958D1 (de) Feldemissions-Elektronenquelle, Verfahren zu deren Herstellung und Anzeigevorrichtung mit einer solchen Elektronenquelle
ATE171562T1 (de) Elektronenquelle und bilderzeugungsvorrichtung und verfahren zur herstellung
CA2165409A1 (en) Electron-emitting device, electron source substrate, electron source, display panel and image-forming apparatus, and production method thereof
ATE450056T1 (de) Verfahren zur herstellung einer photovoltaischen dünnschichtvorrichtung
CA2335213A1 (en) Electron-emitting source, electron-emitting module, and method of manufacturing electron-emitting source
DE3587279D1 (de) Ultraduenne chemisch widerstandsfaehige markierung und verfahren zur herstellung einer solchen.
ATE179276T1 (de) Herstellungsverfahren einer elektronemittierenden vorrichtung
DE69034023D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung mit einer leitfähigen Schicht
WO2003021624A3 (en) Nanotubes activated as field emission sources
ATE369620T1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronenemittierende vorrichtung, einer elektronenquelle, und eines bilderzeugungsgerätes
DE69112982D1 (de) Elektrochemisches Verfahren.
PT95436A (pt) Processo de producao de uma pelicula depositada e de producao de um dispositivo semicondutor
EP0935288A3 (de) Versiegelte Anordnung für eine Halbleiterschaltung und deren Herstellungsverfahren
CA2282898A1 (en) Electron-emitting device and method of manufacturing the same as well as electron source and image forming apparatus comprising such electron-emitting devices
ATE209395T1 (de) Halbleiteranordnung und verfahren zu ihrer herstellung
KR970017858A (ko) 필드에미션 디바이스의 팁 구조 및 그 제조방법
JPS6448416A (en) Transfer method of photoelectron image
CA2295551A1 (en) Electron-emitting device, electron source substrate, electron source, display panel and image-forming apparatus, and production method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties