JP2005190889A - 電子放出素子、電子源、画像表示装置およびこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板1上に共通配線電極(信号線)4a,4bを形成する電極形成工程と、該共通配線電極(信号線)4a,4b上に繊維状材料集合体6a,6bで構成された電子放出部を形成する電子放出部形成工程とを有する電子放出素子の製造方法において、電子放出素子の特性を低下させることなく、帯電防止膜7による異常放電防止を図ることができるようにする。
【解決手段】 電極形成工程の後に、共通配線電極(信号線)4a,4bの少なくとも一部を覆うレジストパターン40a,40bを形成するレジスト工程を施してから前記帯電防止膜形成工程をし、その後、共通配線電極(信号線)4a,4b上のレジストパターン40a,40bを帯電防止膜7と共に剥離するレジスト剥離工程を施してから前記電子放出部形成工程を施して、レジストパターン40a,40bが剥離された共通配線電極(信号線)4a,4b上に繊維状材料集合体6a,6bで構成された電子放出部を形成する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、基板上に設けられた電極と、該電極上に設けられた繊維状電子放出体を有する電子放出素子、この電子放出素子を複数備えた電子源、この電子源を用いた画像表示装置およびこれらの製造方法に関する。
近年、例えば、電界放出型素子(FE型素子)、金属/絶縁層/金属型素子(MIM素子)、表面伝導型電子放出素子(SCE素子)などの電子放出素子を用いたパネル型画像表示装置が提案されている。
上記画像表示装置は、例えばマトリクス駆動される複数の電子放出素子を電気的絶縁性の基板上に形成した電子源と、電子線の照射により画像を表示する画像形成部材とを対向配置したもので、画像表示部材側に高電圧をかけ、電子放出素子から放出された電子を加速して蛍光体などの画像形成部材に入射させることで発光画像を得るものとなっている。
ところで、画像表示部材側に高電圧をかけると、対向する電子放出素子の周りの基板面には、真空と絶縁体の誘電率で決まる容量分割による電位が発生する。この電位は、基板の絶縁性が良好であればあるほど時定数が長く、帯電したままである。更に、この状態で電子放出素子から電子を放出すると、電子は帯電した基板面にも衝突する。この時、電子が加速されることより、基板表面に電子やイオンなどの荷電粒子が注入されると、二次電子が発生し、特に高電界下では、異常放電に至るため、電子放出素子の電子放出特性が著しく低下し、最悪の場合、電子放出素子が破壊することが実験的に確かめられている。
従来、SCE素子を用いた画像表示装置における上記異常放電を防止するために、真空蒸着法やスパッタ蒸着法によって高抵抗の導電膜を帯電防止膜として形成する方法や、帯電防止材料を含む溶液をスプレーして帯電防止膜を形成する方法が知られている(例えば、特許文献1などを参照)。
しかしながら、電子放出素子の中でも、繊維状材料の集合体で電子放出部を形成した電子放出素子である場合に上記帯電防止膜の形成を適用すると、帯電防止膜の形成時に繊維状材料が汚損されて電子放出特性が劣化し、色ずれ、輝度ムラ、ゆらぎからくるノイズ感が増大する問題がある。また、特に帯電防止材料を含む溶液のスプレーによる帯電防止膜の形成においては、毛細管現象により、繊維状材料の形成領域に溶液が抱き込まれやすく、溶液の付着による繊維状材料の曲がりや倒れによる電子放出特性(VI特性)の劣化、繊維状材料の形成領域周囲の溶液が繊維状材料の形成領域へと取り込まれることによる帯電防止膜の形成ムラの発生、繊維状材料の必要以上の汚損などを生じやすい問題がある。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、電子放出素子の特性を低下させることなく、帯電防止膜による異常放電防止を図ることができるようにすることを目的とする。
上記目的のために、本発明の第1は、基板上に設けられた電極と、該電極上に設けられた繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を有する電子放出素子において、前記電子放出部を除く領域に帯電防止膜が形成されていることを特徴とする電子放出素子
を提供するものである。
を提供するものである。
上記本発明の第1は、前記繊維状材料が、カーボンナノチューブまたはグラファイトナノファイバーであることを好ましい態様として含むものである。
本発明の第2は、上記本発明の第1に係る電子放出素子を複数備えていることを特徴とする電子源を提供するものである。
本発明の第3は、上記本発明の第2に係る電子源と、電子線の照射により画像を表示する画像形成部材とが対向配置されていることを特徴とする画像表示装置を提供するものである。
本発明の第4は、基板上に電極を形成する電極形成工程と、該電極上に繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を形成する電子放出部形成工程とを有する電子放出素子の製造方法において、前記電子放出部形成工程の前に、少なくとも基板上に帯電防止膜を形成する帯電防止膜形成工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法を提供するものである。
上記本発明の第4は、前記帯電防止膜形成工程が、帯電防止材料を含む溶液または分散液を塗布する工程を含むこと、
電極形成工程の後に、少なくとも電極の一部を覆うレジストパターンを形成するレジスト工程を施してから前記帯電防止膜形成工程を施し、その後、電極上のレジストを帯電防止膜と共に剥離するレジスト剥離工程を施してから前記電子放出部形成工程を施して、レジストが剥離された電極上に前記繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を形成すること
前記電子放出部形成工程が、カーボンナノチューブまたはグラファイトナノファイバーを前記電極上に形成する工程であること
を好ましい態様として含むものである。
電極形成工程の後に、少なくとも電極の一部を覆うレジストパターンを形成するレジスト工程を施してから前記帯電防止膜形成工程を施し、その後、電極上のレジストを帯電防止膜と共に剥離するレジスト剥離工程を施してから前記電子放出部形成工程を施して、レジストが剥離された電極上に前記繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を形成すること
前記電子放出部形成工程が、カーボンナノチューブまたはグラファイトナノファイバーを前記電極上に形成する工程であること
を好ましい態様として含むものである。
また、本発明の第5は、上記本発明の第4に係る電子放出素子の製造方法により、基板上に複数の電子放出素子を形成する工程を有することを特徴とする電子源の製造方法を提供するものであり、さらに本発明の第6は、上記本発明の第5に係る電子源の製造方法で製造した電子源と、電子線の照射により画像を表示する画像形成部材とを対向配置する工程を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法を提供するものである。
本発明の電子放出素子、電子源および画像表示装置は、いずれも繊維状材料の集合体である電子放出部には帯電防止膜が形成されていないことから、帯電防止材料などの付着による繊維状材料の曲がり、折れ、汚損による特性劣化がないと共に、この帯電防止膜による異常放電防止を図ることができる。
また、本発明の電子放出素子、電子源及び画像表示装置の各製造方法によれば、帯電防止膜の形成が繊維状材料の形成前に行われることから、帯電防止膜の形成時に繊維状材料に帯電防止材料などが付着することがなく、この付着による弊害を防止できると共に、帯電防止膜による異常放電防止を確実に図ることができる。
以上のことから、本発明によれば、大面積の画像表示装置としても、色ずれ、輝度ムラが減少し、ゆらぎからくるノイズ感の少ない、明るくクリアな映像を形成することができるものである。
本発明は、繊維状材料の集合体で電子放出部を構成した電子放出素子、それを用いた電子源及び画像表示装置に適用されるものである。この繊維状材料とは、例えば炭素六角網面が円筒状に配置されている構造を持つカーボンナノチューブ、炭素六角網面が平板形状(プレートレット)あるいは籠形状(ヘリンボーン、カップスタック)に積み重なっている形状を持つグラファイトナノファイバなどが代表的なものであるが、本発明における繊維状材料はこれらの材料に限定されるものではなく、導電性を有する繊維状物であれば他の材料であってもよい。
帯電防止膜は、例えば真空蒸着やスパッタ蒸着によって形成された高抵抗な導電性膜でもよいが、これらの形成は、基板が大きくなるに従って設備的負担が大きくなると共に、タクトタイムも長くなる。これに対して帯電防止材料を含む溶液または分散液の塗布によって形成される帯電防止膜は、基板の大きさに拘わらず簡易な設備でしかも短いタクトタイムで形成することができる点で好ましい。また、溶液または分散液の塗布は、スプレー法の他、浸漬法、スピンコート法などによることもできる。
以下、図面に基づいて更に詳細に説明する。
(第1の例)
図1及び図2に基づいて本発明の第1の例を説明する。
図1及び図2に基づいて本発明の第1の例を説明する。
本例は、マトリクス配置された電子放出素子を有する電子源の製造に係るもので、図1は本例によって製造された電子源の平面図、図2が図1におけるA−A断面図である。
図1及び図2において、1は基板、2は共通配線電極(走査線)、3は層間絶縁層、4a,4bは共通配線電極(信号線)、5a,5bはゲート電極(引き出し電極)、6a,6bは繊維状材料集合体(本例ではカーボンナノチューブの集合体)、7は帯電防止膜、8はコンタクトホールである。
本例の製造手順を説明する。
(1)PDP用ガラスの基板1を用いて、表面に厚さ500nmでITOを蒸着し、ホトリソグラフィー技術を用いて幅600μmの走査共通配線電極2を形成した。
(2)次に、酸化鉛とシリカを主成分とする厚さ約10μmの層間絶縁層3を、塗布、焼成工程を経て形成した。
(3)次に、酸化スズに酸化アンチモンをドープした酸化物微粒子をエタノールとイソプロパノールの1:1混合液に分散させ、固形物の重量濃度が約0.1Wt%としものを、スプレー装置を用い、液圧0.025Mpa、エアー圧1.5Kg/cm2,基板−ヘッド間距離50mm、ヘッド移動速度0.8m/secの条件で塗布を行い、425℃、20minの大気焼成を行い、帯電防止膜7を形成した。
(4)次にコンタクトホール8をホトリソグラフィー技術を用いて直径約150μmの孔を層間絶縁層3に形成した。
(5)基板1の全面に厚さ約1μmのクロムを全面に蒸着により形成した後、ホトリソグラフィー技術を用いて共通配線電極(信号線)4a,4bと、ゲート電極(引き出し電極)5a,5bを同時に形成した。
(6)繊維状材料(本例ではカーボンナノチューブ)を含み、有機材料、無機材料、感光性有機材料を適当に含む印刷用ペースト材料を用いて、電子放出部となる繊維状材料集合体6a,6bを共通配線電極(信号線)4a,4bの一部に印刷形成した。この後、基板1の裏面から透過される光を用いたホトリソグラフィーにより精密な形状に形成した。
上記の手法によると、図1の平面配置から分かるように、帯電防止膜7が電子放出素子の周囲だけでなく、絶縁性の表面全面に形成されることで、確実に帯電性能を引き出すことが可能となる。
上記帯電防止膜7の形成を行わない場合、一定の電子放出電流を得ようとすると、時間と共に次第に駆動電圧の上昇だけでなく、電子ビーム位置の変動も生じやすいが、帯電防止膜7を形成することで、一定の駆動電圧で駆動することができる。また、得られる電子ビームによる蛍光スポット位置も、長時間に亘って変動を防止することができる。
さらに、繊維状材料集合体6a,6bの形成前に帯電防止膜7を形成することにより、電子放出に関わる閾値特性、VI特性等の劣化を防止することができる。
(第2の例)
図3及び図4に基づいて本発明の第2の例を説明する。
図3及び図4に基づいて本発明の第2の例を説明する。
本例も、第1の例と同様に、マトリクス配置された電子放出素子を有する電子源の製造に係るもので、図3は本例によって製造された電子源の平面図、図4は図3におけるB−B断面図である。
図3及び図4において、21は基板、22は共通配線電極(走査線)、23は層間絶縁層、24a,24bはカソード電極、25a,25bはゲート電極(引き出し電極)、26a,26bは繊維状材料集合体(本例ではグラファイトナノファイバの集合体)、27は帯電防止膜、28は共通配線電極(信号線)である。
本例の製造手順を説明する。
(1)PDP用ガラスの基板21を用いて、基板1の全面に実施例1の工程3と同様の方法で帯電防止膜27を形成した。
(2)上記帯電防止膜27を形成した基板1の表面に厚さ100nmでTiNを蒸着し、ホトリソグラフィー技術を用いて、カソード電極24a,24bとゲート電極(引き出し電極)25a,25bを同時に形成した。
(3)銀系の印刷用ペーストを用いて、厚さ約1μmの共通配線電極(信号線)28a,28bを、印刷、焼成工程を経て形成した。
(4)酸化鉛とシリカを主成分とする印刷用ペーストを用いて、厚さ約20μmの層間絶縁層23a,23bを印刷し、焼成工程を経て形成した。
(5)銀系の印刷用ペーストを用いて、厚さ約2μmの共通配線電極(走査線)22を、印刷、焼成工程を経て形成した。
(6)Pd−Coからなる触媒超微粒子をカソード電極24上に分散塗布し、Arによるドライエッチングを行ない、カソード電極24の一部領域に触媒を付設した。
(7)アセチレンガス、水素ガスを用いて、減圧熱CVDにより、触媒超微粒子を介して、およそ550℃でグラファイトナノファイバを生成させた。この結果、グラファイトナノファイバの集合体からなる繊維状材料集合体26a,26bのカソード領域が形成された。
なお、本発明では、前述のように、グラファイトナノファイバ−とカーボンナノチューブでは、炭素の六角網面の構成が異なっているため、グラファイトナノファイバとカーボンナノチューブを区別して呼ぶ。
本例においても、帯電防止膜27が電子放出素子の周囲だけでなく、絶縁性の表面全面に形成されることで、確実に帯電性能を引き出すことが可能である。
この結果、前記第1の例と同様に、駆動電圧の上昇およびビーム位置の変動を押さえることができるものである。
(第3の例)
図5に基づいて本発明の第3の例を説明する。
図5に基づいて本発明の第3の例を説明する。
本第3の例は、図3及び図4に示される前記第2の例と同様な構成の電子源の製造に際して、帯電防止膜を異なる手法で設けるもので、図5はその製造手順の説明図である。
図5において、21は基板、22は共通配線電極(走査線)、24a,24bはカソード電極、25a,25bはゲート電極(引き出し電極)、26a,26bは繊維状材料集合体(本例ではグラファイトナノファイバの集合体)、27は帯電防止膜、28a,28bは共通配線電極(信号線)、39a,39bは触媒層、40a,40bはレジストパターン(剥離層)である。
なお、図4に示される層間絶縁層23を本構成においても有しているが、図5では不図示である。
第2の例における工程(1)は行わずに、工程の(2)から始め、工程(5)まで終了したとして、この後の工程から説明する。
(1)Pd−Coからなる触媒超微粒子をカソード電極24上に分散塗布して触媒層39a,39bを形成し、その後、ホトレジストを塗布してレジストパターン40a,40bを形成した。
(2)Arによるドライエッチングを行ない、カソード電極24a,24bの一部領域にレジストパターン40a,40bで覆われた触媒層39a,39bを残留させた(図5(a))。
(3)基板1の全面に帯電防止膜37として数nmの酸化スズをEB蒸着した(図5(b))。
(4)レジスト剥離液にて、レジストパターン40a,40bを剥離した(図5(c))。
(5)アセチレンガス、水素ガスを用いて、減圧熱CVDにより、触媒層39a,39bの触媒超微粒子を介して、およそ550℃でグラファイトナノファイバを生成させた。この結果グラファイトナノファイバの集合体からなる繊維状材料集合体26a,26bのカソード領域が形成された(図5(d))。
本例では、繊維状材料集合体26a,26bで構成された電子放部近傍に露出している基板21面だけでなく、共通配線電極(走査線)22、層間絶縁層23a,23b、カソード電極24a,24b、ゲート電極(引き出し電極)25a,25b、共通配線電極(信号線)28a,28bの上部にも帯電防止膜37が形成されることで、確実に帯電性能を引き出すことができる。
この結果、前記第1および第2の例と同様に、駆動電圧の上昇およびビーム位置の変動を押さえることができるものである。
1 基板
2 共通配線電極(走査線)
3 層間絶縁層
4a,4b 共通配線電極(信号線)
5a,5b ゲート電極(引き出し電極)
6a,6b 繊維状材料集合体
7 帯電防止膜
8 コンタクトホール
21 基板
22 共通配線電極(走査線)
23 層間絶縁層
24a,24b カソード電極
25a,25b ゲート電極(引き出し電極)
26a,26b 繊維状材料集合体
27 帯電防止膜
28は共通配線電極(信号線)
39a,39b 触媒層
40a,40b レジストパターン(剥離層)
2 共通配線電極(走査線)
3 層間絶縁層
4a,4b 共通配線電極(信号線)
5a,5b ゲート電極(引き出し電極)
6a,6b 繊維状材料集合体
7 帯電防止膜
8 コンタクトホール
21 基板
22 共通配線電極(走査線)
23 層間絶縁層
24a,24b カソード電極
25a,25b ゲート電極(引き出し電極)
26a,26b 繊維状材料集合体
27 帯電防止膜
28は共通配線電極(信号線)
39a,39b 触媒層
40a,40b レジストパターン(剥離層)
Claims (10)
- 基板上に設けられた電極と、該電極上に設けられた繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を有する電子放出素子において、前記電子放出部を除く領域に帯電防止膜が形成されていることを特徴とする電子放出素子。
- 前記繊維状材料が、カーボンナノチューブまたはグラファイトナノファイバーであることを特徴とする請求項1に記載の電子放出素子。
- 請求項1または2に記載の電子放出素子を複数備えていることを特徴とする電子源。
- 請求項3に記載の電子源と、電子線の照射により画像を表示する画像形成部材とが対向配置されていることを特徴とする画像表示装置。
- 基板上に電極を形成する電極形成工程と、該電極上に繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を形成する電子放出部形成工程とを有する電子放出素子の製造方法において、前記電子放出部形成工程の前に、少なくとも基板上に帯電防止膜を形成する帯電防止膜形成工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
- 前記帯電防止膜形成工程が、帯電防止材料を含む溶液または分散液を塗布する工程を含むことを特徴とする特徴とする請求項5に記載の電子放出素子の製造方法。
- 電極形成工程の後に、少なくとも電極の一部を覆うレジストパターンを形成するレジスト工程を施してから前記帯電防止膜形成工程を施し、その後、電極上のレジストを帯電防止膜と共に剥離するレジスト剥離工程を施してから前記電子放出部形成工程を施して、レジストが剥離された電極上に前記繊維状材料の集合体で構成された電子放出部を形成することを特徴とする請求項5または6に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記電子放出部形成工程が、カーボンナノチューブまたはグラファイトナノファイバーを前記電極上に形成する工程であることを特徴とする請求項5または6に記載の電子放出素子の製造方法。
- 請求項5〜8のいずれか1項に記載の電子放出素子の製造方法により、基板上に複数の電子放出素子を形成する工程を有することを特徴とする電子源の製造方法。
- 請求項9の電子源の製造方法で製造した電子源と、電子線の照射により画像を表示する画像形成部材とを対向配置する工程を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
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