WO2009098940A1

WO2009098940A1 - 塗布液の塗布装置および塗布方法

Info

Publication number: WO2009098940A1
Application number: PCT/JP2009/050871
Authority: WO
Inventors: Takafumi Shioi; Tadaaki Nakano; Shigeo Hamaguchi; Yoshinori Akamatsu; Nobuyuki Itakura
Original assignee: Central Glass Company, Limited
Priority date: 2008-02-08
Filing date: 2009-01-21
Publication date: 2009-08-13
Also published as: CN101939114A; EP2248597A1; US20100310778A1; KR20100119880A; US8561571B2

Abstract

中央部が凹状に湾曲したような異形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、塗布ノズル２の高さを調節自在とするノズル高さ調整手段３０と、塗布ノズル２の水平方向の位置を調節自在とするノズル位置調整手段１０と、塗布ノズル２を開として塗布液を供給するコントローラとからなるものである。当該構成により、塗布ムラなく均一に塗布できる。また、矩形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、複数の塗布ノズル１１から吐出される帯状塗布面同士の間隔をａ／４～ａ／３０（ただし、帯状塗布面の幅ａ）とするものである。当該構成により、所定の時間経過後、レベリングにより膜厚を均一できる。

Description

塗布液の塗布装置および塗布方法

　本発明は、ガラス板や樹脂パネル等の板状体の表面に塗布液を塗布する装置及び方法、特に、自動車の窓ガラス等の湾曲した異形状のガラス板面に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）等を含むシリカバインダーによるＩＲカット膜等の成膜液等、速乾性の塗布液を塗布する装置及びその方法に関するものである。

　さらに、本発明は、ガラス板や樹脂パネル等の板状体の表面に塗布液の裏回りを発生させないで、最小限の塗布液によって塗布液を均一に塗布する装置に関し、特に、冷凍ショーケース等の防曇用、防霜用等に用いられる膜を均一に成膜するのに有用な塗布液の塗布装置に関するものである。

発明の背景

　従来、ガラス板や樹脂パネル等の板状体に塗布液等の塗布液を塗布する場合、刷毛により塗布液を塗布する方法、ノズルによってスプレー塗布する方法、またスリット形のノズルによってシャワー塗布するカーテンフローコート法や、板状体を回転させて塗布液を塗り広げるスピンコート法、あるいは回転ゴムロールに付着した塗布液を板状体に転写させて塗布する方法等のさまざまな方法や装置が知られている。

　例えば特開平７－３２８５０６号公報に、ロボットアームに刷毛を把持させて板状物体の上面の端縁を塗布するようになった刷毛式塗布装置において、ロボットアームに、左右方向へスライド可能にガイド棒にガイドされ、かつこのガイド棒に沿ってばねで付勢されたスライダを備えた左右方向用スライド装置を取付け、前記スライダに、前記ガイド棒に対して直交方向へスライド可能にスライド棒をガイドするガイド筒を備え、かつ前記スライド棒を上方へ付勢するばねを装着された上下方向用スライド装置を取付け、前記スライド棒の下端部に、板状物体の下面の端縁に前記スライド棒の前記ばね付勢で下方から圧接する下面ローラを取付け、また前記スライド棒の上端部に、前記下面ローラが前記端縁に下方から当接した状態で上面の端縁に接触する刷毛に塗布材を供給する塗布材供給装置を取付け、前記上下方向用スライド装置の位置固定部分に、前記上下面の前記端縁間の端面に前記ガイド棒の前記ばね付勢で圧接する端面ローラを取付けた刷毛式塗布装置が開示されている（特許文献１）。

　あるいはまた、例えば特開平１１－１５１４５８公報に、搬送コンベア上の所定位置に停止させた板状体面に薬液を塗布する方法において、板状体の一辺の長さ以上の幅を有する長尺な刷毛を薬液中に浸漬させ、該刷毛を板状体の一端辺と対向辺間を板状体の弯曲面形状に沿って昇降させながら少なくとも１回以上往復動させて、板状体面に均一に薬液を塗布し、開閉シリンダーによって開閉する一対の絞りロール間に開状態で刷毛を下降させて挿入し、刷毛の先端部を薬液槽内に浸漬させ、ついで絞りロールを閉状態で刷毛を上昇させて刷毛に付着した薬液を所望量に絞った後、該刷毛で板状体面に薬液を塗布するようにした薬液の塗布方法および装置が開示されている（特許文献２）。

　あるいはまた、例えば特開平１１－２１７２４０公報に、搬送コンベアにより水平姿勢で連続的に搬送されるガラス板面に酸性液を散布処理する方法において、ガラス板の搬送手段の上方位置にシャワー液槽を設け、該液槽の底部に複数個の細孔を互いに等間隔となるよう均一に配列し、供給手段によって供給される酸性液の該液槽内の液面レベルを一定にし、下部細孔から酸性液をガラス板の上部側表面に自然落下させて、ガラス板面上に酸性液を均一に散布させるようにしたことを特徴とするガラス板面の酸処理方法が開示されている（特許文献３）。

　あるいはまた、ノズルによってスプレー塗布する方法として、例えば特開２００７－１７５６６３号公報には、基材の被膜形成面に被膜を形成する被膜形成方法において、前記基材の被膜形成面が鉛直面に対して所定の角度となるように前記基材を保持する保持ステップと、前記被膜形成面に複数のノズルから塗布液を射出する射出ステップと、前記塗布液を射出しながら前記複数のノズルを前記被膜形成面に対して相対移動させるべく前記複数のノズル及び前記基材の少なくとも１つを移動させる移動ステップとを備えることを特徴とする被膜形成方法が開示されている（特許文献４）。

　あるいはまた、スリット形のノズルによってシャワー塗布する方法としては、例えば特開２００６－１７５４２１号公報に、一対の平行なレール間の中央に基板載置ステージが配置され、平面視において前記レールと直交する基板載置ステージの幅方向中心線を基準として、左右対象に第１及び第２の門型移動機構が前記レール間に独立して走行可能に架け渡され、これら第１及び第２の門型移動機構にスリットノズルが昇降可能に保持されていることを特徴とする塗布装置が開示されている（特許文献５）。

　あるいはまた、板状体を回転させて塗布液を塗り広げるスピンコート法としては、例えば特開平０９－１６４３６４号公報に、被処理物Ｗ表面の中央に被膜形成用の塗布液を滴下し、被処理物Ｗ表面に塗布液を均一に拡げる。この時、被処理物Ｗの外端部下面には被膜形成用の塗布液の一部が廻り込んでいるがそのまま減圧乾燥装置３に搬送してある程度まで乾燥せしめる。次いで搬送装置６によって被処理物を洗浄用スピンナー４のチャック４２上に移載し、チャック４２で吸着した状態で被処理物Ｗを高速回転せしめるとともに下面にノズル４３から洗浄液を噴出し、下面に廻り込んで、ある程度固まった塗布液を洗い落とすことを特徴とする被膜形成方法が開示されている（特許文献６）。

　あるいはまた、ノズルから吐出する塗工液を基板等に塗布するノズルコート法としては、例えば特開平０９－０９２１３４号公報には、被塗工物の平面状の塗布面に対して離間した状態で、ノズル先端から塗工液を吐出しつつ、前記塗布面に対してこれと平行に、該ノズルを相対的に移動させて、塗布面に塗工液をライン状に塗布し、次の塗布ラインの幅方向の一部が先の塗布ラインに幅方向に重なるように順次繰り返して塗布することにより塗工面を形成することを特徴とするノズル塗布方法が開示されている（特許文献７）。
特開平７－３２８５０６号公報特開平１１－１５１４５８号公報特開平１１－２１７２４０号公報特開２００７－１７５６６３号公報特開２００６－１７５４２１号公報特開平０９－１６４３６４号公報特開平０９－０９２１３４号公報

発明の概要

　また、特許文献１で示されるものは、洗浄剤、プライマ、接着剤等の塗布材を刷毛で塗布させるものであり、刷毛で順次ガラス面全体を塗布するような場合、既に塗布した部分とこれから塗布する部分との境界の重なり部分が段差や、塗布ムラとなり、またガラス板面全体を塗布しようとすると塗布時間も要するため、塗布液が刷毛内で固化して塗布ムラは免れ得ないという問題点があった。

　また、特許文献２で示されるものは、湾曲した自動車の窓ガラスの一辺の長さ以上の幅を有する長尺な刷毛を薬液中に浸漬させ、該刷毛を板状体の一端辺と対向辺間を板状体の弯曲面形状に沿って昇降させながら少なくとも１回以上往復動させて、板状体面に均一に薬液を塗布させるようにするため、前記特許文献１の問題点が改良されてはいるものの、自動車の窓ガラスのようなサイズのガラス板に速乾性の薬液を塗布する場合には、ガラス板面全体を塗布しようとすると塗布時間も要するため、ガラス板面全体の塗布が完了しないうちに、既に塗布した部分の塗布液が固化して結晶化し、これから塗布する部分との境界の重なり部分が段差や、塗布ムラは免れ得ないという問題点があった。

　さらに、特許文献３で示されるような、シャワーにより薬液を散布する方法は、ガラス表面以外への飛散も多くなって薬液のロスと成り、薬液のガラス裏面側への裏周りも発生し易く、特に散布する薬液が速乾性の場合は、薬液が乾燥してくると一部結晶化して膜厚にムラが発生するという問題点があった。

　さらに、前記特許文献４で示される発明は、ノズルによってスプレー塗布する方法であって、ガラス板の被膜形成面の上端辺を吊下げ状態に支持し、ガラス板の片側縦辺より対向する縦辺に向けて複数本のノズルを移動させ、塗布液を塗布するものであるため、塗布液はガラス板面に沿ってその下方に向けて垂れ下がり状態で塗布されるため、下方側のノズルによって塗布された塗布面上に、さらに上方側のノズルによって塗布された塗布液が塗り重ねられて膜厚を一定とすることができないという問題点があった。

　また、前記特許文献５で示されるものは、水平姿勢で搬送されるガラス基板の上方より、長尺状のスリット部を有するスリットノズル部より塗布液をシャワー塗布する方法であるため、搬送されるガラス基板のエッジ部分より下面側に塗布液が回り込み易く、あるいは、塗布液によっては空気中の水分を吸収しやすいものもあり、このような水分の吸収が品質上問題となるような塗布液を扱う場合においては、ガラス板面から落下した塗布液を回収して循環させる間に、空気中の水分を吸収し、塗布液の性能低下を招いたり、空気中のリント等も付着し易いという問題点があった。

　さらに、前記特許文献６で示された発明においては、板状体を回転させて塗布液を塗り広げるスピンコート法であるために、ガラス基板上に塗布する塗布液の数量以上の塗布液を供給し、余った塗布液を遠心力で落下させるものであるため、塗布液を回収し循環させることになると、水分の吸収が品質上問題となるような塗布液を扱う場合においては、前記特許文献５で示された発明と同様に、循環して使用時に空気中の水分を吸収して、塗布液の性能低下を招いてしまうという問題点が発生し、さらに、ガラス基板が矩形状である場合には、エッジ部分より下面側に塗布液の裏周りが発生し易くなるという問題点があった。

　さらに、前記特許文献７で示される発明においては、ノズルをＸ方向（ガラス板の搬送方向と直交する方向）に駆動して塗布ラインを形成し、次にＹ方向（ガラス板の搬送方向）に塗布ラインの幅よりも小さいピッチＰだけ移動して次の塗布ラインを形成し、順次隣接する幅方向に一部重なるようにしてガラス基板の全面に強制的に順次塗布して塗工面を形成するものであるため、ガラス板の面積が大きくなると全面塗布に時間がかかり、また、コントロールが煩雑となるという問題点があった。

　本発明の第１の目的は、上記問題点の解決を図る、すなわち簡易な構成にして上面の中央部が凹状に湾曲したガラス板の上面だけに、速乾性の塗布液を、必要最小限の塗布量で塗布ムラもなく均一に、速い速度で塗布することである。

　本発明の第２の目的は、上記問題点の解決を図る、すなわち簡易な構成にして矩形状のフラットなガラス板や樹脂パネル等の板状体の上面に、空気中の水分を吸収しやすい塗布液を循環使用させずに１００％の塗布効率で、必要最小限の塗布量で塗布液を塗布して、ガラス板の裏面側に塗布液の裏回りも発生させず、均質な膜を塗布することである。

　本発明の第１の特徴に依れば、ガラス板面への塗布液による成膜予備工程として、搬送コンベア上で略水平姿勢で搬送される異形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、搬送手段によって搬送される前記ガラス板の搬送方向の先端を検出する検出手段と、該ガラス板の搬送方向と直交する方向に一定間隔で一列に複数配設した塗布液を噴射する塗布ノズルと、該各塗布ノズルの高さをそれぞれ調節自在とするノズル高さ調整手段と、前記塗布ノズルの位置を移動調節自在とするノズル位置調整手段と、前記ガラス板の先端から後端迄、塗布ノズルを開として塗布液を供給するコントローラとからなることを特徴とする塗布液の塗布装置が提供される。

　さらに、本発明の第１の特徴に依れば、上述の装置を用いて、ガラス板面への塗布液の成膜予備工程として、略水平姿勢で搬送されるガラス板の上面に塗布液を塗布する方法において、ガラス板を成膜室内に搬入後、ノズル位置調整手段とノズル高さ調整手段によって、ガラス板の搬送方向と直交する幅方向の湾曲面形状に沿って一定間隔で一列に配設した複数の塗布ノズルの各塗布位置がガラス板の先端位置以降、後端位置となる迄塗布ノズルを開にして塗布液を噴射するようにしたことを特徴とする塗布液の塗布方法が提供される。

　本発明の第２の特徴に依れば、搬送ロール上を水平姿勢で一定速度で搬送される矩形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、
　ガラス板の搬送方向と直交する幅方向に一定ピッチで塗布液供給用の複数のノズルを並設し、塗布液の供給停止を自在とする電磁弁を介して夫々チューブで塗布液タンクをノズルに接続し、前記ノズルの各先端部には塗布液を吐出する針状のニードル部をガラス板面に対して垂直方向に配設し、
該ニードル部からの塗布液の吐出によってガラス板の先端から後端間の上面に形成される塗布直後の帯状塗布面の幅をａとすると、該帯状塗布面同士が略ａ／４～ａ／３０となる間隔で平行となるように塗布後、ガラス板の搬送状態でレベリングさせ、各帯状塗布面の面積を互いに隙間の無くなるまで広げて、ガラス面上の膜厚を均一にするレベリング手段と、からなることを特徴とする塗布液の塗布装置が提供される。

この塗布装置は、前記レベリング手段として、搬送ロール上のガラス板に強制的に微振動を与える微振動付与手段を取り付け、該微振動付与手段として、機械的振動手段または超音波振動手段によって、帯状塗布面の面積の広がりを促進させるようにしたことを特徴とする塗布装置であってもよい。

本発明の第１及び第２の目的はそれぞれ本発明の第１及び第２の特徴によって達成できる。

本発明の第１の特徴による塗布装置の側面図。本発明の第１の特徴による塗布装置の正面図。本発明の第１の特徴による塗布装置の平面図。本発明の第１の特徴による塗布方法の説明に使用するガラス板の平面図。本発明の第１の特徴による塗布方法の説明に使用するガラス板の平面図。本発明の第２の特徴による塗布装置の正面図。本発明の第２の特徴による塗布装置の平面図。本発明の第２の特徴による塗布装置の別の実施の形態の平面図。本発明の第２の特徴による塗布装置を説明するガラス板の側面図。本発明の第２の特徴による塗布装置を説明するガラス板の正面図。本発明の第２の特徴による塗布装置を説明するガラス板の平面図。

詳細な説明

　以下に、本発明の第１の特徴の効果を記述する。

簡易な構成にしてフラット形状、または弯曲面形状で異形状のガラス板等の板状体の上部面に、速乾性の塗布液を塗布するにあたり、塗布ムラもなく均一に、塗布液のロスも最小限で塗布することができる。

　また、溶媒タンクの上部開口部内に蓋部を兼ねた塗布ノズルの先端を塗布液に浸すようにして上部開口部を閉としたので、塗布ノズル内の塗布液が乾燥固化により目詰まりすることはなく、また、溶媒タンク内の溶媒の蒸発乾燥も防止できる。

　ガラス面上に等間隔な平行線条で塗布液を散布させるので、ガラス板面上の塗布液が乾燥する前に、次工程の多関節のロボットのハンドに取り付けたシート材等によって塗布液を容易に迅速にかつ均一に引き伸ばすことができ、塗布ムラもなく、このような散布方法により必要最小限の塗布液の使用となり、大幅なコストダウンとなる。

　さらに、前記シート材の取付部材の幅をガラス板の一辺の長さ以上の幅を有する長尺な部材とすれば、塗布速度も速く、つなぎ目もなく、塗布することができ、作業効率、生産効率も良い。

　また、前記シート材を不織布としたことによって、塗布面にリントや埃等が付着することもない。

以下に、本発明の第２の特徴の効果を記述する。

矩形状でフラットなガラス板や樹脂パネル等の板状体の上部面に、塗布液を、ガラス板の幅方向に一定ピッチで離隔した複数本のノズルによって等間隔で平行線状の帯状の塗布帯を設けるという簡易な構成によって塗布した複数本の帯状の塗布帯の塗布幅を、レベリングによって隣合う帯状の塗布帯間の隙間がなくなるまで広げて平坦化させることによって、ガラス面全体に塗布液を塗布ムラもなく均一に塗布することができる。

　また、ガラス板面上に一定ピッチで離隔した複数本のノズルによって等間隔な平行線条の帯状の塗布帯を設けるため、ディップコート法やカーテンフローコート法に比べて多量の塗布液を必要とせず、塗布液のロスもなく、塗着効率がほぼ１００％と非常に高い。

　さらにまた、前記塗布液タンクからノズルのニードル部までを外気中の水分から遮断し密閉系構造とし、塗布した液をほぼ１００％塗着できるために、カーテンフローコート法やスピンコート法のように塗布液を回収循環使用させる必要もなく、回収循環させた場合のように空気中の水分を塗布液が吸収することによる塗布液の変質もなく、塗布液を供給タンクからノズルまでの密封系の環境とすることができ、塗布液の品質を常時保つことができる。

以下に本発明の第１の特徴を例示的に詳述する。

　図１に示すように、水平姿勢のガラス板Ｇを搬送する搬送手段４０と、搬送手段４０によって搬送される前記ガラス板Ｇの搬送方向の先端を検出する検出手段２０と、該ガラス板Ｇの搬送方向と直交する方向に一定間隔で一列に複数配設した塗布液を供給する塗布ノズル２、２、・・と、該各塗布ノズル２、２、・・の高さをそれぞれ調節自在とするノズル高さ調整手段３０と、前記塗布ノズル２、２、・・の各位置をそれぞれ幅方向（水平方向）に移動調節自在とするノズル位置調整手段１０と、前記ガラス板Ｇの先端から後端迄、塗布ノズル２、２、・・の供給をオンオフさせる図示しないコントローラとからなる。

　前記塗布装置１を成膜室５０内のガラス板Ｇの搬入口の近傍に配設し、ガラス板Ｇを成膜室５０内へ搬入させるにあたり、開閉自在な昇降ドア５１の室内側に塗布ノズル２、２、・・又は溶媒タンク３のいずれか一方を固定させ、昇降ドア５１が開の時に塗布ノズル２、２、・・の先端部と溶媒タンク３とが互いに相対的に上下方向で離れ、昇降ドア５１が閉時には常時塗布ノズル２、２、・・の先端が溶媒タンク３内の溶媒液に浸漬するようにして、塗布ノズル２、２、・・の先端部内の塗布液が乾燥によって硬化し、結晶化により塗布ノズル２、２、・・内に目詰まりが発生しないようにした。

　前記ノズル位置調整手段１０は、ガラス板Ｇの搬送方向と直交する水平方向に設けたノズル取付横レール１１上に、前記塗布ノズル２、２、・・をそれぞれ移動調節自在に一列に取り付け、各塗布ノズル２、２、・・の取付位置はノズル取付横レール１１に沿って移動調節可能である。

　前記ノズル高さ調整手段３０は、図示しないが、前記ノズル取付横レール１１上に固定した取付ブラケットの各塗布ノズル２の取付位置に垂直方向に図示しない縦レールを設け、該縦レール上を昇降自在に塗布ノズル２を設け、各塗布ノズル２の高さをガラス板Ｇの湾曲面カーブに沿った形状とすることができる。

　前記塗布ノズル２の高さ調整手段としては、図示しない縦レールに複数個の高さ調整用の穿孔部を一定ピッチで一列に設け、該高さの異なる穿孔部位置に塗布ノズル２を取り付ける、または、複数個の穿孔部に代えて図２に示したような１００ｍｍ程度の長孔３１とし、該長孔３１の上端から下端までの範囲内で塗布ノズル２を取り付けて高さを調整することによって塗布ノズルの取り付け高さを調整するようにしても良い。

　塗布ノズル２の高さを、ガラス板Ｇの湾曲面形状に沿った高さとするのは、ガラス面から塗布ノズル２までの高さが異なると、成膜室外から成膜室内に搬送されるガラス板Ｇによって、塗布ノズル近傍の雰囲気に流されてガラス板Ｇ面の真下に落下しない場合があり、また、ガラス板Ｇ面への落下時の飛散範囲が大きくなり、裏周りや塗布液のロスが発生する恐れがあるためである。

　前記搬送手段４０は、成膜室５０内へのガラス板Ｇの搬入口である昇降ドア５１の室外側に搬入コンベア４１、昇降ドア５１の室内側には搬送コンベア４２を設け、該搬送コンベア４１は昇降ドア５１を挟んで前記搬入コンベア４１の下流で連なる位置に搬送コンベア４２が設けられ、昇降ドア５１が開の時、搬入コンベア４１と搬送コンベア４２が連結状態となり、昇降ドア５１が閉の時は２つのコンベア４１、４２間は遮断された状態となっている。

　前記成膜室５０は、温度、湿度、塵埃等の空調を一定の管理条件で保たれた箱型の略密閉された部屋であり、ガラス板Ｇを搬入させる時のみ搬入用の昇降ドア５１を開閉させ、ガラス板Ｇの搬出時も搬入時と同様に図示しない搬出用の昇降ドアの開閉により行う。

　前記検出手段２０は、搬入コンベアの最下流位置近傍に設け、搬入コンベアによって成膜室に搬入されるガラス板Ｇの最先端部を検出することにより、前記成膜室の昇降ドア５１を開閉させ、ガラス板Ｇを成膜室内に搬送させることができる。

　ガラス板Ｇの先端を検出するセンサーは、ガラス板Ｇの最下流側先端を遮った時にオンとするために、ガラス板Ｇの搬送面に平行、かつ昇降ドアに平行な水平方向にレーザー光等を一箇所設けると好都合である。尚、ガラス板Ｇの最先端部が通過する上下位置に近接センサーを調整して設けるようにしても良い。

　前記昇降ドア５１は通常閉状態であり、該閉状態のときは、塗布ノズル２の先端は下方向で、溶媒タンク３内に浸漬され、該溶媒タンクを昇降ドア５１の成膜室内側に固定し、塗布ノズル２を支持するノズル位置調整手段１０は昇降ドアとは独立分離して、成膜室に固定した場合には、昇降ドアの下降に伴って溶媒タンクが下降し、塗布ノズル２と溶媒タンクは分離状態となる。

　前記溶媒タンクを昇降ドア５１の成膜室内側に固定した場合、昇降ドアが開の状態のとき、固定高さである塗布ノズル２の下端はガラス板Ｇの上面より上方位置に設定し、昇降ドアに固定された溶媒タンクは、搬送コンベアの最上部面よりも低い位置に設定する必要がある。

　前記溶媒タンク３は、複数の塗布ノズル２、２、・・毎にそれぞれ独立して設けるようにしても良いが、すべての塗布ノズル２、２、・・を１つの溶媒タンク内に浸漬させるようにするのが好ましい。これは、溶媒タンク内に溶媒を補充するときに、1箇所から注入するだけで、すべての溶媒タンク内に均等に溶媒液を行き渡らせることができるためである。

　一方、塗布ノズル２を支持するノズル位置調整手段１０を昇降ドア５１の成膜室内側に固定し、該溶媒タンクを昇降ドアとは独立分離して、成膜室の搬送コンベア面よりも下部位置に固定した場合には、昇降ドアの上昇に伴って塗布ノズルが上昇し、塗布ノズル２と溶媒タンクは分離状態となる。

　前記ノズル位置調整手段１０を昇降ドア５１の成膜室内側に固定した場合、昇降ドアが開の状態のとき、塗布ノズル２の下端はガラス板Ｇの上面より上方位置に設定し、固定高さである溶媒タンクは、搬送コンベアの最上部面よりも低い位置に設定する必要がある。

　前記コントローラ（図示しない）は、前記ガラス板Ｇの先端辺から後端辺迄、塗布ノズル２、２、・・の供給をオンオフさせるようにコントロールするとともに、昇降ドアの昇降指令も行うものである。

　搬入コンベアによってガラス板Ｇが昇降ドア近傍まで搬送され、ガラス板Ｇの最先端部がセンサーによって検出されると昇降ドアが開となるが、成膜室の搬入口の昇降ドアの室内側に塗布ノズル又は溶媒タンクのいずれか一方が固定されているので、昇降ドアを開とした時に塗布ノズルの先端部と溶媒タンクとが相対的に上下方向に切離され、塗布ノズルと溶媒タンク間を通過するガラス板Ｇ面上への塗布液を塗布可能な待機状態とするが、塗布液の塗布指令はコントローラによって行われる。

　前記各塗布ノズルによる塗布液の供給開始のタイミングとしては、前記昇降ドアの開閉用として搬入コンベアの最下流位置近傍に設けたガラス板Ｇの先端検出用のセンサー２１を利用し、該ガラス板Ｇの先端をセンサー２１によって検出後、各塗布ノズル毎に塗布開始のタイミングをタイマーＴ１、・・Ｔｎで設定し、各塗布ノズルの下部を通過するガラス板Ｇの先端辺の該位置が先端辺から所定の長さだけ内側位置から塗布液の塗布を開始する。

　すなわち、ガラス板Ｇの先端を該ガラス板Ｇの検出センサーによって検出後、各塗布ノズルそれぞれの位置を通過するガラス板Ｇの搬送方向の先端の形状位置に合わせて、図５に示したように各塗布ノズル２、２、・・それぞれに供給開始のタイマーＴ１～Ｔｎを設け、各タイマーＴ１～Ｔｎそれぞれにより異形状のガラス板Ｇの先端辺の形状に合わせて、各塗布ノズルのそれぞれについて別々のタイミングで塗布液の供給を開始する。

　塗布液の供給を開始するタイミングの別の方法として、幅方向に一列に配設した各塗布ノズルの取付位置とほぼ同位置に設けたガラス板Ｇ検出用のセンサーのそれぞれが、該センサーと対応するガラス板Ｇの先端部分を検出後一定時間後にすると同時にガラス板の先端辺の検出後、塗布液の供給を開始するようにしても良い。

　一方、塗布液の供給を停止させるタイミングとしては、図５に示したように、前記昇降ドア開閉用のセンサー２１がガラス板Ｇを検出した後、各塗布ノズル２、２、・・毎にそれぞれ別々のタイマーＴ１’～Ｔｎ’により設定時間ｔ１’～ｔｎ’でオフとなるようにすれば良く、各塗布ノズル２、２、・・により供給された塗布液がガラス板Ｇの後端辺の各部で所定の長さだけ内側位置となるように設定する。

　また、塗布液６、６、・・の供給を停止させるタイミングの別の方法としては、塗布ノズルの位置がガラス板Ｇの後端部の手前の位置で塗布液の供給を停止させるために、塗布ノズルの位置よりも３ｃｍ程度上流位置に塗布停止指令用に用いる図示しないガラス検出センサーを設けて、該塗布停止指令用に用いるガラス検出センサーがオフとなった時点で塗布ノズルからの供給を停止させれば、ガラス板Ｇの後端より例えば３ｃｍ内側の供給となる。

　すなわち、塗布ノズルの位置がガラス板Ｇの後端部の手前の位置で塗布液の供給を停止させるために、塗布ノズルの位置よりも例えば３ｃｍ程度上流位置に塗布停止指令用に別のガラス検出センサーを設けて、該塗布停止指令用に用いるガラス検出センサーがオフとなった時点で塗布ノズルからの供給を停止させるようにしても良い。

　前記コントローラ（図示しない）は、搬送される異形状のガラス板Ｇの先端部を検出後、先端部より僅かに上流側位置より塗布液の供給を開始するタイミングをコントロールするタイマーＴ１～Ｔｎと、後端部の僅かに手前の位置で供給を停止するタイミングをコントロールするタイマーＴ１’～Ｔｎ’を有する。

　また、ガラス板Ｇの品種、形状毎に、各塗布ノズル毎の塗布液の供給開始時間と停止時間をコントローラの上位コンピュータに設定登録しておき、搬送するガラス板Ｇの品種、形状の変更時に上位コンピュータより下位のコントローラに前記設定時間、および搬送速度等をダウンロードすることにより、所定位置での塗布ノズルの塗布開始、停止のタイミングをコントロール可能である。

　前記僅かに上流側位置、および後端部より僅かに手前の位置とは、図４に示したように、塗布液を塗布ノズル２から落下したときに、塗布液がガラス板Ｇ面上で破線で示した円形状に拡散するため、拡散した塗布液がガラス板Ｇの端面より垂れ下がらないようにさせるためであり、塗布ノズルの高さ、塗布液の量、ガラス板Ｇの搬送速度等によって異なるが、塗布液の中心がガラス板Ｇのエッジから概ね２～５ｃｍ程度あれば良い。

　前記塗布ノズル２はガラス板Ｇの搬送方向と直交する幅方向に一定ピッチで複数箇所に設けられ、図４の太い実線で示したような軌跡となるように複数本の塗布ノズル２、２、・・から塗布液６の供給が行われる。ガラス板Ｇ面上で複数の平行線となるように塗布された糸状の塗布液６、６、・・は時間の経過とともに幅広に広がりを示し、次工程において、図示しないロボットのハンド、または人手により、図示しない不織布でガラス板Ｇの上部面側だけとなるように均一な厚みとなるように塗り広げられ、決してガラス板Ｇの端面や裏面には塗布液が付着しないように塗り広げられる。

　前記塗布液６は乾燥固化し易い液体であるため、自動車用の窓ガラス板Ｇのようなサイズのガラス板Ｇ面全体に塗布液６を均一に塗り広げる成膜予備工程として、まず本発明の塗布装置１によってガラス板Ｇ面全体に滴下塗布させるようにし、ガラス板Ｇ面上の該塗布液６が乾燥固化する前に図示しない不織布によって上面に均一に塗り広げるようにする。これによって、塗布液６を塗り広げている途中で塗布液６を追加補充したりする必要もなく、短時間で容易にムラなく塗り広げることができる。

　このように塗布液６を滴下する成膜予備工程を経た後に、本成膜工程として、前記不織布によって速乾性の塗布液をガラス板面上に均一に塗り広げる。

　図示しない本成膜工程においては、不織布によって塗布液をガラス板Ｇ面に均一に塗り広げるときに、塗布液６が不織布に染み込み、染み込んだ塗布液が不織布内で乾燥固化すると、次回、ガラス板面上の塗布液を塗り広げる時に塗布液がスジ状となる恐れがあるため、２枚目以降のガラス板Ｇに対しては不都合である。このため、一度使用し、乾燥固化した塗布液の付着した不織布は再利用せず、新しい不織布に取り替えたのち、塗布液を塗り広げるのが好ましい。

　以上、本発明の第１の特徴における好適な実施例について述べたが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の応用が考えられるものである。

　ガラス板Ｇは、フラットな板、湾曲板のいずれでも良く、また、自動車用の前後の窓ガラスや側部窓ガラス板Ｇのような異形状のガラス板Ｇでも良い。さらに、ガラス板Ｇは強化ガラス板、半強化ガラス板、生板等の単板、あるいは複数枚の強化ガラス相互、あるいは強化ガラスと生板ガラスを組み合わせてＰＶＢやＥＶＡ等の中間膜または樹脂注入で接着した合わせガラス等が対象となる。

　また、ガラス板Ｇに限らず樹脂板、木板等の各種のパネル材にも応用できる。

以下に本発明の第２の特徴を例示的に詳述する。

　図６に示すように、塗布手段１０は、ガラス板Ｇの搬送方向と直交する幅方向に一定ピッチで塗布液供給用の複数のノズル１１が並設され、塗布液の供給停止を自在とする電磁弁１３を介して夫々チューブ１４で塗布液タンク１５が各ノズル１１、１１、・・に接続されている。

　前記各ノズル１１、１１、・・の先端部には塗布液を吐出する針状のニードル部１２が水平姿勢のガラス板Ｇ面に対して垂直方向に配設され、該ニードル部１２からの塗布液の吐出によってガラス板Ｇの先端から後端間の上面に形成される帯状塗布面２、２、・・の各幅をａとすると、該帯状塗布面２、２、・・同士が略ａ／４～ａ／３０となる間隔で平行となるように塗布される。この時、ガラス板Ｇは水平に精度よく配設し、ニードル部１２はガラス板Ｇ面に垂直となる方向に設ける。

　図７に示したように、前記塗布手段１０によってガラス板Ｇの上面上に、複数本の帯状塗布面２が平行に形成されると、前記レベリング手段によって、ガラス板Ｇの搬送中にガラス板Ｇ面上の各帯状塗布面２、２、・・の塗布液をレベリングさせて塗布面積を広げて、各帯状塗布面２、２、・・の面積を互いに隙間が無くなるまで引き伸ばして、ガラス板Ｇ面上の塗布液の膜厚が均一となるようにする。

　加圧タンク１６内にいれた前記塗布液タンク１５からノズル１１のニードル部１２までを極力外気の水分から遮断した密閉系構造とし、一旦ニードル部１２から吐出された塗布液については、循環使用しない構造とした。さらに、加圧タンク１６に接続した配管１７を通して加圧タンク１６内に送り込むエアーとしては、乾燥したクリーンな空気とした。

　前記ノズル１１については、ステンレス製（ＳＵＳ３０４）とし、針状のニードル部１２の穴内径を０．５～３．０ｍｍ、ニードル部１２の長さを５～３０ｍｍ、ニードル部１２の下端からガラス板Ｇの上面までの距離を５～１５０ｍｍとして、並設する各ニードル部１２、１２、・・間の間隔を５～１００ｍｍとするのが好ましい。

　前記針状のニードル部１２の穴内径を０．５～３．０ｍｍの範囲とするのが良いとしたのは、ガラス板Ｇの面上に塗布する塗布量、および帯状塗布面の幅をコントロールし易くなるためであり、余り細くすると目詰まりの恐れや塗布圧力の上昇による塗布液の飛散の恐れがあり、余り太くすると吐出量のコントロールが困難となったり、塗布液の粘度によっては、給液停止時の液止まりが悪くなり、ニードル部内の塗布液の残量が意図しない位置で落下する恐れがあるためである。

　また、ニードル部１２の長さを５～３０ｍｍの範囲とするのが好ましいとしたのは、５ｍｍ未満と短くすると、ニードル部を垂直方向に設定するのが困難である。このため、長さをやや長くするのが好都合であるが、３０ｍｍを超えて長くしすぎるとニードル部が折れ曲がったり、ニードル部の周辺装置を大型化とする必要があるため、取扱いが困難となる恐れがあるためである。

　ニードル部１２の下端からガラス板Ｇの上面までの距離を５～１５０ｍｍとしたのは、５ｍｍ未満だとガラス板の板厚を変更時に、ニードル部がガラス板に接触したりする恐れがあり、このためニードル部の高さを調整しなければならず、一方、１５０ｍｍ超だと、ガラス板に塗布液を塗布した際に塗布液が飛び散る原因となり易いためである。

　並設する各ニードル部１２、１２、・・間の間隔を５～１００ｍｍとするのが好ましいとしたのは、取り扱う塗布液の粘度や塗布液をガラス板に給液した後、塗布液が蒸発する速度を勘案したためであり、さらに各ニードル部から吐出され形成される塗布直後の帯状塗布面の幅をａ（５～１００ｍｍ）としたときに、隣合う帯状塗布面間の何も塗布されていない部分は塗布面をレベリングすることによって狭まり、帯状塗布面は面全体に塗れ広がって、ガラス板Ｇの面全体を均一の厚みとすることができるためである。

　尚、ガラス板は水平に配設することが重要であり、水平にすることで、均一な膜を形成することができる。また、各ニードル部も、ガラス面に垂直方向となるように設ける必要がある。これは、該ニードル部が傾いているとガラス板面上に塗布液を均一に塗布することが難しくなり、結果として液切れや膜ムラ発生の恐れがあるためである。

　図６、図７に示すように、複数のニードル部を一列に配置したが、図８に示したように、幅方向に設けたレールを２本設け、該２本のレールに複数のニードル部をガラス板の幅方向にジグザグ状または千鳥足状に交互となるように配置しても良い。

　帯状塗布液の間隔を電磁弁の幅よりも狭い間隔とした場合、図６、図７に示すように、電磁弁を１本のレール上に一列に並べることができないため、電磁弁を図８のようにガラス板の幅方向にジグザグ状または千鳥足状に配置すれば、電磁弁に取り付けられるノズルのニードル部間の幅方向の間隔を狭めることができる。

　前記各ノズル１１、１１、・・は、幅方向（水平方向）に設けたレール上にスライド移動自在なガイド（図示しない）を設け、該ガイドに電磁弁を取付固定してノズル１１、１１、・・を幅方向にスライド移動調整自在とした位置調整手段を有している。また各ノズル１１、１１、・・は、ガイド上に取り付けた取付部材に設けた上下方向の長穴によって、高さ方向の位置調整が可能とした。

　また、並設した複数のノズルの上流位置近傍に設けたガラス板Ｇの搬送方向の先端位置を検出可能なセンサー４１等からなる位置検出手段４０によって検出し、ニードル部１２、１２、・・からの塗布液の吐出によって塗布された塗布直後の隣合う帯状塗布面間の間隔の略１／２の長さだけ、ガラス板の先端より内側位置より電磁弁を開として塗布開始し、後端より前記間隔と略同一長さだけ手前位置で電磁弁を閉として塗布停止するようにした図示しないコントローラによって塗布液をガラス板面上に塗布させる。

　尚、塗布装置１の前記コントローラ（図示しない）は、前記センサー４１によってガラス板Ｇの先端を検出後、予めガラス板Ｇの寸法毎にコントローラに設定記憶させたタイマーまたは搬送移動距離によって各電磁弁を開とするタイミングと、各電磁弁１３、１３、・・を閉とするタイミングをコントロールする。さらに、複数個所に並設した電磁弁１３、１３、・・のうち開閉を行う電磁弁１３、１３、・・を、ガラス板Ｇの幅毎に予め設定記憶させておく。

　搬送ロール５１の搬送速度が一定の場合は、タイマーのコントロール等で対応可能であるが、搬送速度がキャンペーンによって若干異なる場合もあり得るため、ガラス板Ｇの搬送距離を図示しないロータリーエンコーダ等によって発生するパルスのカウントにより前端位置、後端位置を精度良く決定する。

　前記ガラス板Ｇの先端部の検出センサー４１をノズル１１、１１、・・の位置の上流側に配置し、該センサー４１がガラス板Ｇの後端を検出後、後端エッジよりａ／４だけ手前（ガラス板の内側方向）位置で電磁弁１３、１３、・・を閉とすることもできる。

　図９～図１１に示したように、前記レベリング手段２０としては、塗布以降の搬送ロール５１の速度を低下させて、搬送中に搬送ロール５１上のガラス板Ｇの上面に塗布された帯状塗布液面２が自重で徐々に広がって隣り合う帯状塗布液面２、２、・・同士が搬送ロール５１の微振動で互いにピッタリ接合状態となり、ガラス板Ｇ面の前端側後端側の余白部にも塗布面が広がって、ガラス板Ｇ面全体に均一な厚みで塗布液面が形成するようにしても良い。

　前記レベリング手段２０の別の実施の形態としては、搬送ロール５１上で複数本の帯状塗布面２、２、・・が形成されたガラス板Ｇに、強制的に微振動を与える微振動装置（図示しない）を取り付け、例えば、超音波によって微振動を与えて帯状塗布面の塗布面積の広がりを促進させたり、搬送ロール自体に微振動装置を取り付けて、帯状塗布面の面積の広がりを促進させるようにしても良い。

　以上、本発明の第２の特徴における好適な実施例について述べたが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の応用が考えられるものである。

　ガラス板Ｇは、フラットな板とするが、強化ガラス板、半強化ガラス板、未強化のフロート（通称、生板ともいう）等の単板、あるいは複数枚の強化ガラス相互、あるいは強化ガラスと生板ガラスを組み合わせてＰＶＢやＥＶＡ等の中間膜または樹脂注入で接着した合わせガラス等でも良く、さらに、ガラス板Ｇに限らず樹脂板等の各種のパネル材にも応用できる。

　以下の実施例１において、本発明の第１の特徴に係わる塗布液の塗布方法および装置を図面に基づき詳細に説明する。

［実施例１］
　図２～図４に示すように、予めガラス板Ｇの平面形状に合わせて複数の塗布ノズルのそれぞれの幅方向（水平方向）の位置をノズル位置調整手段１０によって調整しておく。

　また、図２に示すように、予めガラス板Ｇの幅方向の湾曲面に沿って各塗布ノズルの高さを位置調整する。

　図１、図２に示したように、ガラス板Ｇを成膜室５０内に順次搬入するために、搬入コンベア４１によってガラス板Ｇを昇降ドア５１近傍まで搬送すると、ガラス板Ｇ検出センサー２１がガラス板Ｇの最先端部を検出し、成膜室の搬入口の昇降ドア５１が下降して開となる。

　昇降ドア５１が下降すると、昇降ドア５１の室内側壁面に取り付けられた溶媒タンクも同時に下降するが、溶媒タンク内の溶媒液に浸っていた塗布ノズルは、昇降ドア５１ではなく成膜室側に固定されているので、溶媒タンクから切り離される。

　昇降ドア５１が下降し、ガラス板Ｇが搬入されると、図５に示したように、前記ガラス板検出センサー２１がオンのタイミングで各塗布ノズル２、２、・・毎に設定されたタイマーＴ₁～Ｔ_nを起動させ、各塗布ノズル２、２、・・位置にガラス板Ｇの先端Ｇｓより設定値である例えば３ｃｍ程度内側の位置より塗布開始となるようにタイマーの設定時間ｔ₁、ｔ₂、・・ｔ_nが設定され、ガラス板Ｇは一定速度で搬送されながら、各塗布ノズルによって塗布液６、６、・・が幾条かの平行な直線状で滴下される。

　さらに、図５に示したように、ガラス板Ｇの異形形状に合わせて、前記塗布ノズル毎に該塗布ノズルがガラス板Ｇの後端部Ｇｅの手前位置で該塗布ノズルからの塗布液６の供給を停止させるタイマーＴ１’～Ｔｎ’を起動させ、各塗布ノズル２、２、・・位置にガラス板Ｇの後端より例えば３ｃｍ程度内側の位置で塗布停止となるようにタイマーの設定時間ｔ₁’、ｔ₂’、・・ｔ_n’が設定され、前記位置で各塗布ノズル２、２、・・毎の塗布液６の供給を停止させる。

　ガラス板Ｇの後端が昇降ドア５１を通過完了し、かつ塗布ノズル２、２、・・による塗布液６の塗布も停止した時点で、昇降ドア５１は上昇し閉となる。

　このように、ガラス板Ｇの全上面に塗布液を散布するのではなく、間隔を設けた幾本かの平行な線条でガラス板Ｇの先端辺Ｇｓの内側から後端辺Ｇｅの内側まで散布するようにしたので、塗布液６、６、・・がガラス板Ｇのエッジ端面や下面に裏回りすることはなく、必要最小限の塗布液の使用で均一な膜を形成することができる。

　特に、中央部が凹状になった湾曲ガラス板の上面側である凹面部に塗布液を塗布する場合であっても、下面側に塗布液の裏周りを発生させることがない。

　上部側面に平行線条に塗布液６、６、・・が塗布されたガラス板Ｇは、塗布液６、６、・・が乾燥固化する前に図示しない次工程のロボットハンドに取り付けた図示しない不織布のシート材によってガラス板Ｇの上面のみに塗り広げられた後、所定の時間を経てレベリングさせ、膜厚が均一となるようにした。

　前記塗布液を塗り広げるために使用した不織布のシート材は、乾燥固化した塗布液の付着により次のガラス板Ｇ面に使用すると、塗りムラや糸スジ等が発生して、均一な成膜が得られない恐れがあるため、ガラス板Ｇ毎に交換するのが望ましい。

以下の実施例２～４において、本発明の第２の特徴に係わる塗布液の塗布装置１を図面に基づき詳細に説明する。

［実施例２］
　図６、図７に示すように、前工程で位置決めされたガラス板Ｇの幅に合わせて、ガラス板Ｇの幅方向（水平方向）に設けたレール３１上に設けたスライド移動自在なガイド３２に取り付けた取付部材（図示しない）によって、ノズル１１、１１、・・の取付位置を調整し、さらに複数の塗布ノズル１１、１１、・・のうち、どのノズル１１、１１、・・を使用するかをガラス板Ｇ毎に設定登録しておく。

　さらにまた、ガラス板Ｇの厚み等によってノズル１１の高さ調整が必要となった場合には、ガイド３２上に取り付けた取付部材（図示しない）の長穴によって、上下方向に高さ方向の位置調整を可能である。

　図６、図７に示したように、図示しない前工程のガラス板の位置決め装置にて位置決めされたガラス板Ｇに塗布液２を成膜するために、搬送手段５０の搬送ロール５１によってガラス板Ｇが搬送される。ガラス板Ｇがノズル１１、１１、・・近傍まで近づくと、ガラス板検出センサー４１が作動する。

　ガラス板検出センサー４１がガラス板の先端を検出して所定時間後、ガラス板Ｇがノズルの真下を通過し、ガラス板の先端より数ｍｍ上流側の位置に到達した時点より設定された箇所の複数個の電磁弁１３の夫々が開いて、各ノズル１１のニードル部１２から塗布液が滴下開始される。

　ノズルによって吐出される塗布直後の帯状塗布面の幅ａを２４ｍｍ、ノズルが２８ｍｍの一定ピッチで並設される設定において、隣合う帯状塗布面同士の間隔は４ｍｍとなるので、ガラス板の先端より前記間隔の１／２の長さに相当する２ｍｍだけ上流位置（ガラス板の内側）で予め設定されている複数箇所の電磁弁のそれぞれを開として、各ノズルのニードル部から塗布液が滴下開始され、図１０、図１１に示すように、平行線状の帯状塗布帯２が形成される。

　次に、図７に示すように、ガラス板の幅方向に複数個のノズルが２８ｍｍの一定ピッチで並設され、各ノズルのニードル部から吐出された帯状塗布面の塗布直後の幅ａは２４ｍｍであり、ガラス板がさらに搬送されて、後端部に接近すると、ガラス板の後端部から前記間隔の１／２の長さに相当する２ｍｍだけ手前位置で各ノズル毎の電磁弁が閉となりニードル部からの塗布液の滴下が停止する。

　ガラス板Ｇの後端がノズル１１の吐出位置の真下を通り過ぎた後は、レベリングゾーンに搬送される。レベリングゾーンではガラス板の搬送速度を落とし、２４℃の環境下で２分程度経過させると、図１１のようにガラス板全面に膜が広がり防曇膜が形成される。

　尚、ガラス板は水平を保つように配設し、各ニードル部も、ガラス面に垂直方向となるように設けた。

　各ノズルのニードル部の材質はステンレス製（ＳＵＳ３０４）であり、その内径は１．４ｍｍ、吐出圧力は０．０５ＭＰａであり、フロー量は２．２ｇ／sｅｃ、ガラス板の搬送速度は０．４ｍ／ｓｅｃとした。

　このように、ガラス板Ｇの全上面に塗布液を散布するのではなく、間隔を設けた幾本かの平行な帯状塗布帯でガラス板Ｇの先端の内側から後端の内側まで散布するようにしたので、塗布液がガラス板Ｇのエッジ端面や下面に裏回りすることはなく、吐出した塗布液を１００％使用できて、ガラス板面からあふれ落ちた塗布液を回収して再利用する必要もないので、塗布液を回収利用した時のような塗布液の空気中の水分の吸収の可能性もなくなり、水分の吸収による防曇膜の性能低下を引き起こすこともなく、均一な膜を形成することができた。

　［実施例３］
図８に示したように、塗布ノズルを支持するレール３１を２本設け、前記複数のノズル１１を２本のレール３１、３１上に交互に配置して、ガラス板Ｇの幅方向にジグザグ状または千鳥足状に配置した。この場合、各ノズル１１、１１、・・の塗布開始のタイミングは、各ノズル毎にセンサー４１位置までの距離を補正して、ガラス板の先端部の所定の塗布位置から塗布液を塗布できるようにした。

　このようなノズル設置とすることによって、電磁弁の幅よりも狭い間隔でノズル間の間隔を配置することが可能になった。

　［実施例４］
　前記レベリング手段として、搬送ロール上のガラス板に強制的に微振動を与える微振動付与手段として、図示しない超音波装置によってガラス板面上の帯状塗布帯に対して超音波を帯状塗布液に照射した。この場合に、超音波の照射停止後、数秒間の静止時間を設けた。これによって、帯状塗布面の面積の広がりを促進させることができるようになった。

Claims

ガラス板面への塗布液による成膜予備工程として、搬送コンベア上で略水平姿勢で搬送される異形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、搬送手段によって搬送される前記ガラス板の搬送方向の先端を検出する検出手段と、該ガラス板の搬送方向と直交する方向に一定間隔で一列に複数配設した塗布液を噴射する塗布ノズルと、該各塗布ノズルの高さをそれぞれ調節自在とするノズル高さ調整手段と、前記塗布ノズルの水平方向の位置を移動調節自在とするノズル位置調整手段と、前記ガラス板の先端から後端迄、塗布ノズルを開として塗布液を供給するコントローラとからなることを特徴とする塗布液の塗布装置。
前記塗布装置を成膜室内のガラス板搬入口近傍に配設し、ガラス板を成膜室内へ搬入させるための開閉自在な昇降ドアの室内側に塗布ノズル又は溶媒タンクのいずれかを固定させ、昇降ドアの開時に塗布ノズルの先端部と溶媒タンクとが相対的に上下方向に切離され、昇降ドアが閉時に塗布ノズルの先端が溶媒タンク内に浸漬するようにしたことを特徴とする請求項１記載の塗布液の塗布装置。
前記請求項１または２記載の装置を用いて、ガラス板面への塗布液の成膜予備工程として、略水平姿勢で搬送されるガラス板の上面に塗布液を塗布する方法において、ガラス板を成膜室内に搬入後、ノズル位置調整手段とノズル高さ調整手段によって、ガラス板の搬送方向と直交する幅方向の湾曲面形状に沿って一定間隔で一列に配設した複数の塗布ノズルの各塗布位置がガラス板の先端位置以降、後端位置となる迄塗布ノズルを開にして塗布液を噴射するようにしたことを特徴とする塗布液の塗布方法。
昇降ドアが閉時に各塗布ノズルの先端がそれぞれ溶媒タンク内に浸漬されるようにし、搬入されるガラス板の先端を検出し、成膜室の搬入口の昇降ドアの室内側に塗布ノズル又は溶媒タンクのいずれか一方が固定され、昇降ドアを開とした時に塗布ノズルの先端部と溶媒タンクとが相対的に上下方向に切離され、塗布ノズルと溶媒タンク間を通過するガラス板面上に塗布液を塗布可能としたことを特徴とする請求項３記載の塗布液の塗布方法。
塗布ノズルからの塗布液の供給開始のタイミングが、前記昇降ドアの開閉用のガラス板検出用のセンサーによって該ガラス板の先端を検出後、各塗布ノズル毎に塗布開始のタイミングをタイマーで設定し、各塗布ノズルの下部を通過するガラス板の先端辺の該位置が先端辺から所定の長さだけ内側位置から塗布液の塗布を開始することを特徴とする請求項３または４記載の塗布液の塗布方法。
塗布ノズルからの塗布液の供給開始のタイミングが、幅方向に一列に配設した各塗布ノズルの取付位置とほぼ同位置に設けたガラス板検出用のセンサーのそれぞれが、該センサーと対応するガラス板の先端部分を検出後一定時間後にすると同時にガラス板の先端辺の検出後、塗布液の供給を開始することを特徴とする請求項３または４記載の塗布液の塗布方法。
塗布液の供給停止のタイミングが、前記供給開始のタイミング用のセンサーがガラス板を検出した後、各塗布ノズル毎にそれぞれ別々の設定時間でオフとし、各塗布ノズルにより供給された塗布液がガラス板の後端辺の各部で所定の長さだけ内側位置となるように設定することを特徴とする請求項５または６記載の塗布液の塗布方法。
前記塗布ノズルの位置がガラス板の後端部の手前の位置で塗布液の供給を停止させるために、塗布ノズルの位置よりも２～５ｃｍ上流位置に塗布停止指令用に用いるガラス検出センサーを設けて、該塗布停止指令用に用いるガラス検出センサーがオフとなった時点で塗布ノズルからの供給を停止させ、ガラス板の後端より２～５ｃｍ内側の供給となるように設定することを特徴とする請求項５または６記載の塗布液の塗布方法。
前記請求項３乃至８の各塗布方法によって予めガラス板面上に塗布液を点在塗布した後、次工程で不織布のシート材によってガラス板面上で均一な膜厚となるように塗り広げることを特徴とする請求項３乃至８のいずれかに記載の塗布液の塗布方法。
搬送ロール上を水平姿勢で一定速度で搬送される矩形状のガラス板の上面に塗布液を塗布する装置において、
ガラス板の搬送方向と直交する幅方向に一定ピッチで塗布液供給用の複数のノズルを並設し、塗布液の供給停止を自在とする電磁弁を介して夫々チューブで塗布液タンクをノズルに接続し、前記ノズルの各先端部には塗布液を吐出する針状のニードル部をガラス板面に対して垂直方向に配設し、
該ニードル部からの塗布液の吐出によってガラス板の先端から後端間の上面に形成される塗布直後の帯状塗布面の幅をａとすると、該帯状塗布面同士が略ａ／４～ａ／３０となる間隔で平行となるように塗布後、ガラス板の搬送状態でレベリングさせ、各帯状塗布面の面積を互いに隙間の無くなるまで広げて、ガラス面上の膜厚を均一にするレベリング手段と、からなることを特徴とする塗布液の塗布装置。
前記塗布液タンクからノズルのニードル部までを外気の水分から遮断し密閉系構造とし、一旦ニードルから吐出された塗布液を循環使用しない構造としたことを特徴とする請求項１０に記載の塗布液の塗布装置。
前記針状のニードル部の穴内径を０．５～３．０ｍｍ、長さを５～３０ｍｍ、ニードル部の下端からガラス板の上面までの距離を５～１５０ｍｍとし、並設する各ニードル部間の間隔を５～１００ｍｍとしたことを特徴とする請求項１０または１１に記載の塗布液の塗布装置。
前記複数のニードル部をガラス板の幅方向にジグザグ状または千鳥足状に配置したことを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれかに記載の塗布液の塗布装置。
前記各ノズルは幅方向に設けたレール上で幅方向の位置を調整可能とする位置調整手段を有したことを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれかに記載の塗布液の塗布装置。
ガラス板の搬送方向の先端位置を位置検出手段によって検出し、ニードル部からの吐出により塗布された塗布直後の隣合う帯状塗布面間の間隔の略１／２の長さだけ、ガラス板の先端より内側位置より電磁弁を開として塗布開始し、後端より前記間隔と略同一長さだけ手前位置で電磁弁を閉として塗布を停止するコントローラによって塗布液を塗布させることを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれかに記載の塗布液の塗布装置。
前記レベリング手段として、搬送ロール上のガラス板に強制的に微振動を与える微振動付与手段を取り付け、該微振動付与手段として、機械的振動手段または超音波振動手段によって、帯状塗布面の面積の広がりを促進させるようにしたことを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれかに記載の塗布液の塗布装置。