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기판 처리 장치를 세정하는 방법
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2021-10-26 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統
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TWI866480B
(zh)
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2019-01-17 |
2024-12-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ 私人控股有限公司 |
藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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TWI845607B
(zh)
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2019-02-20 |
2024-06-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
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TWI838458B
(zh)
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2019-02-20 |
2024-04-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於3d nand應用中之插塞填充沉積之設備及方法
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TWI873122B
(zh)
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2019-02-20 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
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TWI842826B
(zh)
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2019-02-22 |
2024-05-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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2019-03-08 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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(en)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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Asm Ip Holding B.V. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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(ko)
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2020-11-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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KR20200130652A
(ko)
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2019-05-10 |
2020-11-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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2019-05-16 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(ko)
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2019-06-06 |
2020-12-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
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KR20200141931A
(ko)
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2019-06-10 |
2020-12-21 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR20200145096A
(ko)
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2019-06-20 |
2020-12-30 |
세메스 주식회사 |
공정 가스 공급 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
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KR102406745B1
(ko)
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2019-06-20 |
2022-06-07 |
세메스 주식회사 |
공정 가스 공급 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
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KR20210005515A
(ko)
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2019-07-03 |
2021-01-14 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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(ja)
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2019-07-09 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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CN112216646A
(zh)
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Asm Ip私人控股有限公司 |
基板支撑组件及包括其的基板处理装置
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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(ko)
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2019-07-17 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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KR102860110B1
(ko)
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2019-07-17 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法
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Asm Ip私人控股有限公司 |
实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
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(zh)
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치 및 방법
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2019-07-30 |
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
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KR20210018761A
(ko)
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2019-08-09 |
2021-02-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
냉각 장치를 포함한 히터 어셈블리 및 이를 사용하는 방법
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USD965524S1
(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor support
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USD965044S1
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Susceptor shaft
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成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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US11286558B2
(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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(ko)
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2019-09-05 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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包括釩或銦層的裝置、結構及其形成方法、系統
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氣體分配總成、噴淋板總成、及調整至反應室之氣體的傳導率之方法
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專用於零件清潔的系統
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록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법
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KR20210116240A
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
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KR102775390B1
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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載置台及び基板処理装置
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주식회사 에이티에스 |
플라즈마 에칭 장비용 합금 및 이를 포함하는 체결기구
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江苏鲁汶仪器股份有限公司 |
一种终点检测装置及离子束刻蚀系统
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プラズマ処理装置用部材およびその製造方法
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