13.37900 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 示裝置等之濾色片 正墨等液體材料的 本發明係關於在修正產生於液晶顯 的缺陷部時，於該修正位置供給塗布修 液體材料供給裝置。 本案係根據2004年11 2004-330995號主張優先權 【先前技術】 月15日所中請之日本特願 並在本發明中援用其内容。 IX往’當電子電路基板之配線圖料發生斷線缺陷 時，係對該缺陷部供給導電性之溶液（液體材料）後，照射 雷射光等以形成導電性覆蓋膜而進行斷線部的連接修補。 此時，作為對前述缺陷部塗布液體材料的液體材料供給裝 置，較為人所熟悉的是：在前端縮小之玻璃製吸液管 (pipette)内部先充填液體材料，而於必要時利用氣壓施加 機構對前述吸液管内之液體材料施加脈衝狀之氣壓，而使 鲁微少量之液體材料由吸液管之前端送出至前述缺陷部而進 行塗布的裝置（例如，參照專利文獻1，2，3)。 [專利文獻1]日本特開平8-66652號公報 [專利文獻2]日本特開平9-45683號公報 [專利文獻3]日本特開2001-252606號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 仁疋，在上述先前之液體材料供給裝置中，僅裝設1 故用以充填液體材料的吸液管以及使液體材料由該吸液管 317573 5 1337900 :出：機構，因此如液晶顯示裝置之滤色片一般，具有紅、 ，:、、:藍之各t慮層 '黑色之矩陣層等複數個著色層，而當 :不同之者色層上產生缺陷部時，必須先準備個別充填 有對應複數個著色層的液體材料，並且在藉由一個吸液管 將液體材料塗布於1個著色層的缺陷部後，㈣替換成充 填有不同《㈣之其他料f，再將其他㈣材料塗布 在其他著色層。該種吸液管的替換，特別係在必須在微细 領域塗布液體材料時，需要進行包含用以使吸液管移動並 定位在預定之塗布位置的指示（teaching)作業的複雜作 業’且相當耗費作業與時間’而導致無法有效率地進行將 液體材料塗布在缺陷部的作業。 本發明係鏗於上述問題而創作者，其目的在提供一種 液體材料供給裝置，可迅速更換複數個不同的液體材料， 而得以有效率地對各個應塗布的位置進行供給，而實行有 效率之液體材料的塗布作業。 鲁（解決課題之手段） 本發明係為了解決上述課題， 乃提供一種液體材料供給裝置，係具備有： 具有为別充填有不同之液體材料的複數個供料器 (dispenser) ’且由支撐體所支撐之液體材料送出部；對各 供料器内的液體材料施加氣壓，並使微少量之液體材料由 供料器之前端送出之壓力施加機構；可使前述支撐體與固 定有送出前述液體材料之被送出體的工作台相對性移動， 並使前述液體材料送出部移動至前述被送出體之液體材料 6 317573 塗布位置的驅動裝置；其特徵為： 在前述液體材料送出部設有： 的其中-個，並使其前端移動定位在前：：：：個供料器 定液體材料送出位置的供料器更換機構σ出體上之預 在上述構成中，可使 前述供料器更換機構係具備有： 通過前述液體材料送出你番 固定前述被送出體的面正^對:與前述工作台之 與上述轴交叉的軸缘周圍旋轉:二输動裝置在 其前二數=:::—件所― 為令心的圓弧t 置在以前述旋迴構件之旋轉中心 且具備有.以沿著前述圓弧 複數個供料器之供料器支持器，《方式配置固定前述 ^ τ # m ^tJ ^ ^ ^ ^ 供，(C，，而使之能夠以可：做為 在則述旋迴構件。 斤裝之方式固疋 個理想例，各供料器係具有圓筒部， 數個安裝溝二 具?對應前述複數個供料器的複 面矩形之形狀，㈣隔者預定間隔而形成，且具有剖 供料各供料器的圓筒部係安裝在前述 推壓固定在該—文裝溝’並利用彈性構件使前述圓筒部 女裝溝的角隅部而構成。 317573 7 1337900 此外，本發明係提供一種具備上述液體材料供給 之濾色片的缺陷修正裝置。 。x 其理想例係具備有： 的缺陷部預 利用雷射對做為前述被送出體之濾色片上 先進行整形加工的手段； 利用雷射使被送出之前述液體材料硬化的手段； 糟由置換雷射加工時之物鏡、與雷射硬化時之物鏡， 而運用單—的雷射照射系統來進行上述雷射加卫以及雷射 硬化。 (發明之效果） 根據本發明之液體材料供給裝置，係藉由設在液體材 料送出部之供料器更換機構，由分別充填準備有不同之液 體材料的複數個供料器中，選擇所需的供料器並使之往被 送出體之液體材料塗布位置移動，因此’可對需要塗布複 數不同之液體材料的濾色片或電子電路基板迅速供給所需 馨種類之液體材料，且更容易地將液體材料供給至預定之塗 布位置以進行塗布，而得以有效率地進行液體材料之塗 作業。 此外藉由使用如述旋迴構件，不僅可在短時間内更 換供料器並在精密度良好之狀況下使其移動至液體材料塗 布位置，而且在供料器更換機構内之複數個供料器之其中 一個進行塗布作業時，其他未進行液體材料塗布之供料 為，由於其前端部處於與被送出體之塗布面完全分離的狀 態，因此可確實地防止被送出體被上述其他供料器之前端 317573 8 丄叩9〇〇 供給裝置中的液體材料送出部7。 前述顯微鏡部4係具備有：雷射震“ 8;由一對反 =巧成之雷射光轴調整鏡9 ;對雷射震蘯器8所輸出 J用:射光軸調整鏡9調整光Μ的雷射Μ的光束形 整形之光圈機構1G;具有成像透鏡U及物鏡12, 且使通過前述光圈機構1〇之雷射 w上的光學系統13。 “成像於前述濾色片 二述攝像部5係具備有：設置於前述光圈機構1〇與前 述先子糸統U之前述成像透鏡n之間的第！半透鏡14’· 面對該半透鏡14而設置之第2丰透铲 弟2牛透鏡15，以及配置在該 :2 =透鏡15上方的⑽相機(攝像手段)16，係透過前 c=系統13與前述第卜第2半透鏡14、15而以前述 相機16對經由前述照明投光器6照明之工作台！上 的遽色片W進行攝像。 此外’前述照明投光器6係具備：設在配置於前述雷 ，―軸1上之光學系統13的前述成像透鏡u與物鏡12之 間的第3半透鏡17 ;中間隔著透鏡18而與前述第3 鏡17相對向之反射透鏡19;透鏡2〇;連接未圖示之昭明 用投光器的照明用光纖21 ;並且使該照明用光纖 .出^照明^通過透鏡2〇、前述反射透鏡19與前述透鏡 士入於前述第3半反射鏡17，再通過物鏡12昭 作口 1上之濾色片w的上面。 在則述座架3之下端，升降板（支撐體）22係以藉由 Z軸伺服馬達52 (未顯示於第1圖中，請參照第7圖）與 3]7573 10 成像透鏡1 1下側 側之口卜刀一體朝Ζ軸方向（在第i圖中為 勒;/ &動的方式支’’而在前述升降板22中，活 菔m撐體）23係以沿著導軌22a並利用透鏡更換用伺 服馬達24朝X軸方向 々问x移動之方式支撐。而且，在前述 m I 23之下方’支撐板（支撐體）25係以沿著導軌23a =用驅動馬達25“月γ軸方向以堇移動少許距離之方式 支樓。
—述切板25之下端，設有使光轴沿著ζ軸方向ζ 、複丈個物鏡12。在第！圖所示之右端部，設有倍率最適 於塗布之塗布用透鏡12a，藉此倍率高的物鏡⑶至仏 可依序沿著x軸方向X排列安裝。 刖述X、Y、Z軸伺服馬達5〇、5卜52等，係構成為： 别述工作台1與前述座架3、升降板22、活動板23、支 f板25等支擇體，與χ、γ、ζ轴方向相對性移動，並使
刚述液體材料送出部7朝前述濾色片w之液體材料塗布位 置移動的驅動震置。 、卜接著，前述液體材料送出部7係具備：具有分別充填 複數不同液體材料之複數個（在圖示例中為4個）供料器 26’且可使其中一個供料器移動至預定液體材料送出位置 p的供料II更換機構27。在該供料||更換機構27係連接 有.對各供料器26施加脈衝狀之氣壓，使液體材料由各供 料器26的前端送出至前述工作台上i上之濾色片w的壓 力施加機構28。㈣力施加機構28具有與習知相同構成 之構成，且安裝於前述座架3的前面。 317573 11 備有：：蟫機構27係如第2圖至第6圖所示，具 Λ螺栓固定在安裝有前述物鏡 木29,以可利用手動調 I叉保才反25的托 之方式支擇於該拖架29的支撐構^軸^向2調節升降 件3!’且位於包含前述 ’
的Y、Z細伞、 心尤子糸統13之光軸L 行轉動之推瞀田r，並在與Ζ軸呈傾斜之旋轉軸S周圍進 推^用脈衝馬達（旋轉驅 則述複數之供料器26 老置）32’以及保持 達以之輸出輪的旋迴構73=於前述推算用脈衝馬 述手動嘴… 的供料器1^ 34。亦可取代前 升降調Γ 湘舰馬料進行支料件31之 狀構34具備有中央部厚而兩側薄之矩形板 中1=供料器支持1 35’在該供料器支持器35 例中I “形剖t且沿著Y軸方向y形成的複數（在圖示
亂:@的文裳溝35a，係隔著預定間隔而形成於X -古Hi此外’前述複數個供料器26係保持於前述供料 為支持體35的各安裝溝35a。 "各供，器26#由前端部26a缩為極細、且基端側形成 粗徑之圓筒部抓的中空的玻璃製吸液管所形成。前端部 26a係由前述供料器支持體35朝前方（在第4圖中係朝右 下方’在第5圖中則朝正前側）突出，圓筒部施在前述 安裝溝35a㈣沿著其中一方（在第$圖中為左方）的角 4女裝並藉由接合或設在各安襄溝3 5 a内的一對彈性構 件35b的彈壓力推壓於溝壁並保持於安裝溝…内。前述 317573 供料器支持器35中，安裝有 避免供料器26由前述安#、、# u 之支持盗外罩36 ,以 田別迷女裝溝35a脫離至外側。 此外，前述供料器厘34係使銷 於前述旋迴構件33的一對銷 L疋位在固疋 插通於螺旋孔35d的一對 :】個）’再藉由使 絲孔&螺合，而將”…: 與旋迴構件33的螺 的接人面” 4拉削处女裝溝3以的開口部側與相反侧 的方二定在沿著前述旋迴構件33之旋轉抽8 ^方向的*裝板33b下側（在第6圖中為上側）的安裝面 糟此，保持於前述供料器支持體3 等間隔(等角度"間隔)配置^^ := 轴s之旋轉中心c為中心之預定半徑e的圓弧r 上的狀恕（參照第5圖），而且告兮莖兄山 ^而且田該荨則端部26a的前端（第 θ 的下端藉由在前述旋迴構件33之旋轉軸s 周圍的旋轉’移動至最下端位置（液體材料塗布位置p) 時’係被設定成：與前述光軸L 一致且最接近前述工作台 1上之濾色片w的上面的狀態。前述供料器匣34通常係 使中央侧的2個供料器26、26，停止在以等距離與液體材 料塗布位置P之兩側隔開的位置（待機位置）。 此外，在前述旋迴構件33中，係在其旋轉板33d安裝 外周設有突起39a的圓板39,旋迴構件33朝兩方向旋轉 移動至旋轉限制位置時，一對限位開關4〇a、4〇b會檢測出 前述突起39a，使前述推算用脈衝馬達32停止，以避免因 旋迴構件33之過度旋轉導致與物鏡12碰撞而造成損傷。 此外，在前述各供料器26中，具有可撓性之空氣電子 317573 13 叫/900 係以氣雄方式將前述圓筒部26的基端側插入連接 =有彈力性之連接器❿的内孔，前述各連接器仏係 栌置：丰!丈之上連接器支持體42a (在第6圖下側的支 下連接器支持體42b(在第6圖中上側的支持體） 並經由該上、下連接器支持體42a、42b支撐於前述 供料器支持體35,使空氣雷子总41尤合士々^於別迮 伲二虱電子官41不會由各供料器26脫 離。此外，設於上述上、下連 物42a】、42b丨係以可批/ 支持體仏、仙之钩狀 >掊辦3 人、、 裝之方式扣合於設在前述供料器支 35 〇"、。溝35f、35g，而安裝於前述供料器支持體 *前述各空氣電子管41之供料器支持體35之相反側的 =部係連接在絲於前述難3㈣力施 =衝狀的氣壓係由該壓力施加機構28作用於各= 送出==第7圖’說明用以控制具備前述液體材料 體封料^ ^加機構28及X、Y、Z軸驅動裝置之液 體材枓供給裝置的動作的控制裝置43。 及摄=制裝置43係具備統籌控制包含前述顯微鏡部4 5之動作之裝置整體動作的控制電腦44。該控制 于連接連接於馬達驅動器45之控制部I·連 於自動聚焦裝置47之影像 总4日4本/ , y刖述影像處理部48 ===照明投光器6照明之前述工作台上的遽色 的反W ’通過錢賴鏡部4料學系統 317573 14 13J7900 il CCD ^鏡14、15 ’經由前述自動聚焦裝置47選取由前 述CCD照相機16所拍攝之前H = 杆所堂夕、笛〜a 巧v上的衫像’再進 ^理後將影像資料傳送到前述控制電腦料。 别这，動器45係根據來自控制 軸飼服馬達50、51動作，並使前述工作 色片w)與前述座架3 ( ^ ^ ^ ^ 心 υ轴方向移動，使用以使前述 叙你并法 π月〗1:1物鏡12移動之伺服馬達24 動作’麵所需之物鏡12的其中—個朝前述光學系统Η 的光軸L的位置移動，此外，又根據 ； 置47的指令，使前述Z㈣服馬達52動作== :二物鏡12同時升降’並使物鏡12的焦點對 準於刖述濾色片W上，接荖，你今、+.糾" 的推管爾接者使别述供料器更換機構27 由 衝馬達32動作，而選擇複數個供料器26的盆 中一個’並使其朝液體材料塗布位置？移動。 ，、 2述控制部46中，為了使各供料器％移動 麵布位置P’而使用以讓前述旋迴構件％由待機位置 (例如’設定在通過旋迴構件33之旋轉中心〇的 通過前述液體材料塗布位置？的位置）旋轉之推算用脈衝 馬達32的正·反旋轉方向、與指令脈衝數（根據指 出）’對應各供料器26 ( 26A、26B、26C、26D)並進行儲 L二’/Λ推算用脈衝馬達32之旋轉方向與脈衝數所 私疋之轉射"，由前述控制部46輸出至馬達驅動器Μ 時’為了使對應上述旋轉指令之其中一個供料器咐说、 26B、26C、26D)移動1位於前述液體材料塗布位置卜 317573 15 13^7900 此：達：動器45使前述脈衝馬達動作。 44的指令進m制^控制器49得'根據來自控制電腦 據對應填充於各‘ 機構28動作，再根 之壓力及同種類的液體材料而設定 %。 ^加時間，使脈衝狀的“施加於各供料器 接著’參照第8圖以及第9圄，并 ^ 缺陷部的情开並以修正渡色片〜之 #作用。4為例’說明前述構成之液體材料供給裝置的 基板5”具有綠色〇、紅色R、藍 黑色矩陣層BM之蒌a ® ♦ 合履色層與 例如在綠二Γ=色片w，係藉由檢查褒置， 昭第9圖（a)r二 測出脫色之缺陷部54時（參 '，、、第9圖⑴)，則述χ、γ、ζ驅動裝置會動 =部：之光學系統13的光轴L對準载置於前述」： 色片W的前述缺陷部54的位置 •的雷射光R通過雷射加工用的物㈣…_ : 而照射於前述缺陷部54，而將缺陷部54整形加工 的形狀（參照第9圖（b))。 接著，根據控制部46的指令使飼服馬達24㈣，並 取代雷射加工用的物鏡12b至12e ’使塗布用物鏡…移 動至前述光軸L的位置後（步驟s”後，根據自動 置47的指令藉由馬達驅動器45使前述z軸伺服馬達二 動作’在前述支#體22上下移動，且塗布用物鏡α的焦 點對準遽色片W上的同時（步驟⑵，使飼服馬達2 4微 317573 16 1337900 幅移動’而使經由來自前述光圈機構〗 -== 體材料的塗布領域55正確地對準 =物鏡，的光轴位置(液體材料塗布位置m步驟 2接者，充填有對應前述缺陷部54之某一綠色G之遽 曰之綠色修正墨的供料器、例如供料器26A的選擇产: :轉方向與脈衝數）由控制部46傳送至馬達驅動器^ (Y驟S4 )時，即藉由該馬達驅動哭45 #，ϋ ~ ^ 1咬他勒。° 45使刖述推算用脈 ’…、 乍，再經由前述旋迴構件33使前述供料器匣 ㈣以旋轉中心C為中心’使供料器26Α由第5圖所示之 待機位置旋轉移動至到達㈣材料塗布位置 騾S5)。 且、7 士刖述供料器26Α移動並定位於液體材料塗布位置ρ 時，ζ軸伺服馬達52會根據前述控制部45的指令並藉由 馬達驅動II 45而動作，使所選擇之供料器26α微幅下降 並接觸遽色片W的塗布面（步驟S6)。此時，由於供料器 26A之前端部26a具有可撓性，因此’只需些微彎曲即可 柔軟地接觸前述塗布面而不會損傷該塗布面。接著，控制 空壓控制器49會動作，而使前述壓力施加機構28動作， 並通過剷述空氣管41在供料器26A内，施加對應充填於 該供料器26A内之液體材料（綠色〇的修正墨）而設定之 預疋壓力與施加時間的脈衝狀的氣壓，因此，如第9圖（c ) 所示，可使液體材料56由供料器26A的前端部2^送出 至前述塗布面之綠色G的彩色層的加工部55 (步驟S7 )。 由削述供料器26A送出之液體材料56塗布於前述塗 317573 17 1337900 具備有.具有分別充填不同顏色之修正墨的複數的供料考 26，並由支撐體3、22、23、25所支撐之液體材料送出部 7;對各供料器26内的修正墨施加氣壓，使其由供料器％ 的前端送出微量修正墨的壓力施加機構28 ;使前述支撐體 3、22、23、25與固定濾色片之工作台j朝χ、γ、z軸方 向相對性移動，並使前述液體材料送出部7移動至前述遽 色片W之液體材料塗布位置p的驅動裝置；而且在前述液 •體材料送出部7配設有：選擇複數之供料器26的其中一 個，使其前端部26a移動並定位在濾色片w上之預定之液 體材料送出位置（液體材料塗布位置p)的供料器更 構 27。 、 因此，根據前述實施形態之液體材料供給裝置，可藉 由設在液體材料送出部7之供料器更換機構27，由分別^ 填準備有不同顏色之修正墨的複數個供料器26中，選擇充 填有所需之修正墨的供料器26，並使其移動至據色片w #的液體材料塗布位置P，因此對於必須塗布複數不同顏色 之修：墨之濾色片W，可迅速且輕易地將所需之種類的修 正墨提供、塗布於預定的塗布位置，以有效率地進行修正 墨的塗布作業。 / 此外，前述供料器更換機構2 7係具備有··藉由推算用 脈衝馬達32’在與Z軸交叉之軸線⑴周圍進行旋^之 旋迴構件33，前述複數個供料器％係形成：以預定之間 隔將上述前端部26a’隔開配置在以前述旋迴構件33之旋 轉中心C為中心的圓弧r上並支撐在旋迴構件33的構成， 317573 19 1337900 f此可在短時間内更換供料器26並以良好 移動至液體材料塗布位置P，此 又，之 肉田供枓态更換機構27 料器26.中的其t一個供料器(例 作㈣，未騎紅墨塗布之其他供㈣（此時， 而至勘），由於其前端部施係與濾色片w的塗布 = = 確實防止該其他供料器的前 知對濾色片W造成損傷。 〜此外，前述各供料器26係在供料器支持器％構成沿 者刖述圓弧r上配置固定之供料秀
4 S 34，由於該供料器S 在I上係以可自由拆裝的方式固^在前述旋迴構件 ’因此’當供料器26内的修正墨用㈣ 供料龍34更換新的供料器w易且迅速地對： 體材料供給部7補給修正墨。 、、也對液 此外，前述供料器S34係形成：各供料^分別安 ，在：隔著狀距離將該等圓筒部施形成在供料器支持 鲁盗35之矩形剖面的複數個安裝溝％，且利用彈性構件说 :前述圓筒部26b推壓固定在安裝溝…之角隅部的構 成，因此可輕易且正確地將供料器26定位並固定在供料器 支持态35，以進行供料器匣34的組裝。 此外，在前述實施形態之液體材料供給裝置中，係 明:進行濾色片之缺陷部（54等）的修正時，將作為液體 材料之對應複數色之遽色層的修正墨塗布於預定之塗布面 的例子，但本發明並未侷限於上述例，本發明同樣可適用 於：例如’在修補形成於電子電路基板（被送出體）之配 317573 20 1337900 線纟斷線。卩4，先將遮罩劑或導電性溶液充填於供料器 盒，再將遮罩劑塗布於配線的斷線部並利用雷射加工機整 瓜加工斷線。卩後’將導電性溶液塗布於該整形加工部的情 形。 (產業上之可利用性） 本發明係對於必須塗布複數之不同液體材料的濾色片 或電子電路基板，可迅速且輕易地將所需種類的液體材料 供給塗布在預定之塗布位置，i可有&地進行液體材料的 響塗布作業。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示裝設有本發明一實施形態之液體材料供 給裝置的濾色片的缺陷修正裝置的一例的前視圖。 第2圖係顯示上述液體材料供給裝置之主要部分的俯 視圖。 第3圖係顯示上述主要部分的前視圖。 • 第4圖係顯示上述主要部分的側視圖。 第5圖係第4圖的Q箭視放大圖。 第6圖係分解顯示上述液體材料供給裝置之主要部分 的斜視圖。 第7圖係上述液體材料供給裝置的控制系統的方塊 圖0 第8圖係說明上述液體材料供給裝置之作用的流程 圖。 第9圖（a)至（d)係說明上述液體材料供給裝置之濾色片之 317573 21 2 2 1 3 5 7 9 11 12a 14 16 28 30 32 33 34 35a 35f 推异用脈衝馬達（旋轉驅動裝置） 4 6 8 10 12 13 15 17 19 22 23 25 26a 27 29 31 缺陷修正步驟的說明圖 【主要元件符號說明】 工作台 座架（移動體） 攝像部 液體材料送出部 雷射光轴調整鏡 成像透鏡 塗布用物鏡 第1半透鏡 CCD相機 18、20透鏡 21 照明用光纖 22a、23a 導軌 24、25a 伺服馬達 26、26A至26D供料器 26b 圓筒部 壓力施加機構 手動調整螺絲 旋迴構件 供料器匣 安裝溝 35g扣合溝 X軸光束 顯微鏡部 照明投光器 雷射震盪器 光圈機構 12b至12e 物鏡 光學系統 第2半透鏡 第3半透鏡 反射透鏡 升降板（支撐體） 活動板（支撐體） 支撐板（支撐體） 前端部 供料器更換機構 托架 支撐構件 33a 螺絲孔 35 供料器支持器 35d 螺旋孔 36 支持器覆罩 317573 22