JP4675611B2 - 液体材料供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置等におけるカラーフィルタに生じた欠陥部を修正する場合等において、その修正個所に修正インク等の液体材料を供給して塗布する液体材料供給装置に関するものである。

従来、電子回路基板の配線パターン等に断線欠陥が生じた場合に、該欠陥部に導電性の溶液（液体材料）を供給した後にレーザ光等を照射して導線性被膜を形成して断線部を接続補修することが行われている。その際、前記欠陥部に液体材料を塗布する液体材料供給装置として、先端を細く絞ったガラス製のピペットの内部に液体材料を充填しておき、所要時にガス圧印加機構により前記ピペット内の液体材料にパルス状のガス圧を印加してピペットの先端から微少量の液体材料を前記欠陥部に吐出させて塗布するようにした装置が知られている（例えば、特許文献１，２，３照）。
特開平８−６６６５２号公報 特開平９−４５６８３号公報 特開２００１−２５２６０６号公報

しかし、上記従来の液体材料供給装置においては、液体材料を充填したピペットと該ピペットから液体材料を吐出させる機構が１組だけ装備されているものであるので、液晶表示装置のカラーフィルタのように、赤、緑、青の各フィルタ層、黒色のマトリックス層といった複数の着色層を有し、それらの異なる着色層上に欠陥部が発生したような場合には、複数の着色層に対応した液体材料を個別に充填したピペットを用意しておき、１つのピペットにより１つの着色層の欠陥部に液体材料を塗布した後に、順次、異なる液体材料を充填した他のピペットに交換して、他の着色層に他の液体材料を塗布する必要がある。このようなペレットの交換は、特に、微細な領域に液体材料を塗布する必要がある場合には、ピペットを所定の塗布位置に移動位置決めさせるためのティーチング作業を含めて複雑な作業が必要となり、手間と時間が相当かかり、液体材料の欠陥部への塗布作業を能率良く行えない問題がある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、複数の異なる液体材料を迅速に交換してそれぞれの塗布すべき所要箇所に能率良く供給し、液体材料の塗布作業を効率的に行うことができる液体材料供給装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係る液体材料供給装置は、異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサを有して支持体に支持された液体材料吐出部と、各ディスペンサ内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサの先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、前記支持体と前記液体材料が吐出される被吐出体を固定したテーブルとをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部を前記被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置とを備えた液体材料供給装置において、
前記液体材料吐出部に、複数のディスペンサの１つを選択してその先端部を被吐出体上の所定の液体材料吐出位置に移動位置決めさせるディスペンサ交換機構が設けられ、前記ディスペンサ交換機構はＺ軸に交差する軸線回りに回転駆動装置によって回転する旋回部材を備え、前記複数のディスペンサが、その先端部を前記旋回部材の回転中心を中心とする円弧線上に所定間隔をあけて配置されて旋回部材に支持されていることを特徴としている。

請求項２に係る液体材料供給装置は、請求項１に記載の液体材料供給装置において、前記各ディスペンサが、ディスペンサホルダに前記円弧上に沿うように配置されて固定されたディスペンサカートリッジとして構成され、該ディスペンサカートリッジが前記旋回部材に着脱自在に固定されるように設けられていることを特徴としている。

請求項３に係る液体材料供給装置は、請求項２に記載の液体材料供給装置において、前記ディスペンサカートリッジが、各ディスペンサを、それらの円筒部がディスペンサホルダに所定間隔をあけて形成した矩形断面の複数の装着溝にそれぞれ装着され、かつ弾性部材によって前記円筒部が装着溝の隅部に押圧されて固定された構成とされていることを特徴としている。

本発明によれば、以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係る液体材料供給装置によれば、異なる液体材料が個々に充填されて用意された複数のディスペンサから、液体材料吐出部に設けたディスペンサ交換機構によって、所要のディスペンサを選択して被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させることができるので、複数の異なる液体材料を塗布する必要がある電子回路基板に対して、所要の種類の液体材料を迅速、容易に所定の塗布箇所に供給して塗布することができて、液体材料の塗布作業を効率的に行うことができる。

しかも、ディスペンサの交換を短時間に精度良く液体材料塗布位置へ移動させることができると共に、ディスペンサ交換機構内の複数のディスペンサのうちの１つのディスペンサによる塗布作業中、他の液体材料の塗布に働いていないディスペンサは、その先端部が被吐出体の塗布面から完全に離れた状態になるため、該他のディスペンサの先端によって被吐出体が損傷されるのを確実に防止することができる。

請求項２に係る液体材料供給装置によれば、ディスペンサ内に液体材料が無くなった場合には、ディスペンサカートリッジごと新たなディスペンサカートリッジと交換することによって、迅速、容易に液体材料供給部に液体材料を補給することができる。
請求項３に係る液体材料供給装置によれば、ディスペンサホルダにディスペンサを容易に、かつ正確に位置決めして固定してディスペンサカートリッジを組み立てることができる。

以下、本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置をカラーフィルタの欠陥修正装置に装備した場合について図１を参照して説明する。
図１において、Ｍは本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を装備したカラーフィルタの欠陥修正装置である。該カラーフィルタの欠陥修正装置Ｍは、カラーフィルタ（液体材料が吐出される被吐出体）Ｗを載置して架台（図示せず）上にＹ軸サーボモータ５１（図１では図示せず、図７参照）によってＹ軸方向（図１で紙面に垂直な方向）ｙに移動するように設けられたテーブル１と、該テーブル１の上方に配置されたＸ軸ビーム２に支持されてＸ軸サーボモータ（図１では図示せず、図７参照）によってＸ軸方向（図１で左右方向）ｘに移動するように設けられたサドル（支持体）３と、該サドル３にそれぞれ支持された顕微鏡部４、撮像部５、照明用投光部６と、前記サドル３に支持された本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置における液体材料吐出部７とを備えている。

前記顕微鏡部４は、レーザ発振器８と、一対の反射鏡からなるレーザ光軸調整ミラー９と、レーザ発振器８から出力されレーザ光軸調整ミラー９で光軸Ｌを調整されたレーザ光Ｒのビーム形状を整形するアパーチャー機構１０と、結像レンズ１１と対物レンズ１２を有し前記アパーチャー機構１０を通過したレーザ光Ｒを前記カラーフィルタＷ上に結像させる光学系１３とを備えている。
前記撮像部５は、前記レーザ光軸Ｌ上に配置された光学系１３において、前記アパーチャー機構１０と前記結像レンズ１１との間に設けた第１ハーフミラー１４と、該ハーフミラー１４に対向して設けた第２ハーフミラー１５と、該第２ハーフミラー１５の上方に配置されたＣＣＤカメラ（撮像手段）１６とを備え、前記照明投光器６によって照明されるテーブル１上のカラーフィルタＷを、前記光学系１３と前記第１、第２ハーフミラー１４，１５を介して前記ＣＣＤカメラ１６で撮像するようになっている。

また、前記照明用投光器６は、前記レーザ光軸Ｌ上に配置された光学系１３において、前記結像レンズ１１と対物レンズ１２との間に設けた第３ハーフミラー１７と、レンズ１８を間にして前記第３ハーフミラー１７に対向する反射ミラー１９と、レンズ２０と、図示しない照明用投光器に連絡された照明用光ファイバ２１とを備え、該照明用光ファイバ２１から発せられる照明光を、レンズ２０と前記反射ミラー１９と前記レンズ１８を通して前記第３ハーフミラー１７に入射させ、対物レンズ１２を通して前記テーブル１上のカラーフィルタＷの上面を照明するようになっている。

前記サドル３の下端には、昇降板（支持体）２２がＺ軸サーボモータ５２（図１では図示せず、図７参照）によってＺ軸方向（図１で上下方向）ｚに結像レンズ１１より下側の部分と一体的に移動するように支持され、前記昇降板２２には、可動板（支持体）２３がガイドレール２２ａに沿いレンズ交換用サーボモータ２４によってＸ軸方向ｘに移動するように支持されている。また、前記可動板２３の下には、支持板（支持体）２５がガイドレール２３ａに沿い駆動モータ２５ａによってＹ軸方向ｙに少距離だけ移動するように支持されている。
前記支持板２５の下端には、光軸をＺ軸方向ｚに沿わせた複数個の対物レンズ１２が、図１で右端部の倍率が塗布に最適な塗布用レンズ１２ａとこれより倍率の高い対物レンズ１２ｂ〜１２ｅとが順にＸ軸方向ｘに沿って整列して取り付けられている。
前記Ｘ，Ｙ，Ｚ軸サーボモータ５０，５１，５２等は、前記テーブル１と前記サドル３、昇降板２２、可動板２３、支持板２５等の支持体とを、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部７を前記カラーフィルタＷの液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置を構成している。

次に、前記液体材料吐出部７は、複数の異なる液体材料を個々に充填された複数（図示の例では４個）のディスペンサ２６を有して、それらの１つを所定の液体材料吐出位置Ｐに移動させるディスペンサ交換機構２７を備えている。該ディスペンサ交換機構２７には、各ディスペンサ２６にパルス状のガス圧を印加して、各ディスペンサ２６の先端から前記テーブル１上のカラーフィルタＷに液体材料を吐出させる圧力印加機構２８が接続されている。該圧力印加機構２８は従来周知の構成を有するものであり、前記サドル３の前面に取り付けられている。

前記ディスペンサ交換機構２７は、図２〜図６に示すように、前記対物レンズ１２を取り付けた支持板２５にボルトで固定されたブラケット２９と、該ブラケット２９に手動調整ねじ３０によりＺ軸方向ｚに昇降調節可能に支持されている支持部材３１と、該支持部材３１に取り付けられ、前記顕微鏡部４の光学系１３の光軸Ｌを含むＹ、Ｚ軸平面内にあってＺ軸に対して傾斜した回転軸Ｓの回りに回転する割出用パルスモータ（回転駆動装置）３２と、前記複数のディスペンサ２６を保持し、前記割出用パルスモータ３２の出力軸に連結された旋回部材３３に取り付けられたディスペンサカートリッジ３４とを備えている。前記手動調節ねじ３０に代えてサーボモータ等により支持部材３１を昇降調節するようにしてもよい。

前記ディスペンサカートリッジ３４は、中央部を厚く両側を薄くした矩形板状部材にＹ軸方向ｙに沿う矩形断面を有する複数（図示の例では４個）の装着溝３５ａをＸ軸方向ｘに所定間隔をあけて形成してなるディスペンサホルダ３５を備え、前記複数のディスペンサ２６を前記ディスペンサホルダ３５の各装着溝３５ｂに保持させて構成されている。
各ディスペンサ２６は、先端部２６ａが先細に絞られ基端側が大径の円筒部２６ｂに形成された中空のガラス製ピペットからなり、先端部２６ａを前記ディスペンサホルダ３５から前方へ（図４で右下方、図５で手前側へ）突き出され、円筒部２６ｂを前記装着溝３５ａ内にその一方（図５で左方）の角部に沿わせて装着され、接着もしくは各装着溝３５ａ内に設けた一対の弾性部材３５ｂの付勢力によって溝壁に押圧されて装着溝３５ａ内に保持されている。前記ディスペンサホルダ３５には、ディスペンサ２６が前記装着溝３５ａから外側に抜け出すのを防ぐために、ホルダカバー３６が着脱可能に取り付けられている。

そして、前記ディスペンサカートリッジ３４は、前記旋回部材３３に固定された一対のピン３７（一つだけ図示）にピン孔３５ｃを嵌合されて位置決めされ、ボルト孔３５ｄに挿通した一対のロックボルト３８を旋回部材３３のねじ孔３３ａに螺合させることにより、前記旋回部材３３の回転軸Ｓに沿う方向の取付板３３ｂの下側（図６では上側）の取付面３３ｃに、前記装着溝３５ａの開口部側と反対側の接合面３５ｅを当接して固定されている。これにより、前記ディスペンサホルダ３５に保持された各ディスペンサ２６は、それらの中心が前記回転軸Ｓの回転中心Ｃを中心とする所定半径Ｅの円弧ｒ上に等間隔（等角度θの間隔）に配置された状態となり（図５参照）、かつそれらの先端部２６ａの先端（図３、図４で下端）は、前記旋回部材３３の回転軸Ｓ回りの旋回により、最下端位置（液体材料塗布位置Ｐ）に移動したとき、前記光軸Ｌに一致して前記テーブル１上のカラーフィルタＷの上面に最も接近した状態となるように設定されている。前記ディスペンサカートリッジ３４は、常時は、中央側の２つのディスペンサ２６，２６が液体材料塗布位置Ｐの両側に等距離隔てた位置（待機位置）に停止するようになっている。

なお、前記旋回部材３３には、その旋回板３３ｄに、外周に突起３９ａを設けた円板３９が取り付けられており、旋回部材３３が両方向への旋回制限位置まで旋回移動したとき、一対のリミットスイッチ４０ａ、４０ｂが前記突起３９ａを検出して前記割出用パルスモータ３２を停止させ、旋回部材３３の過旋回による対物レンズ１２に対する衝突による損傷を防止するようになっている。
また、前記各ディスペンサ２６には、それぞれ、可撓性を有するエアーチューブ４１が、その弾力性を有するコネクタ４１ａの内孔に前記円筒部２６ｂの基端部側を気密に差し込んで接続されており、前記各コネクタ４１ａは、半割りの上コネクタホルダ４２ａ（図６で下側のもの）と下コネクタホルダ４２ｂ（図６で上側のもの）とに挟み着けられ、該上、下コネクタホルダ４２ａ，４２ｂを介して前記ディスペンサホルダ３５に支持され、各ディスペンサ２６からエアチューブ４１が外れないようになっている。なお、前記上、下コネクタホルダ４２ａ，４２ｂは、それらに設けたフック４２ａ１，４２ｂ１が前記ディスペンサホルダ３５に設けた係合溝３５ｆ，３５ｇに着脱可能に係合されて、該前記ディスペンサホルダ３５に取り付けられるようになっている。
前記各エアチューブ４１のディスペンサホルダ３５と反対側の端部は前記サドル３に取り付けた圧力印加機構２８に接続され、該圧力印加機構２８から各ディスペンサ２６に所定のパルス状のガス圧が作用するようになっている。

次に、前記液体材料吐出部７と圧力印加機構２８とＸ，Ｙ，Ｚ軸駆動装置をから備えた液体材料供給装置の動作を制御する制御装置４３について図７を参照して説明する。該制御装置４３は、前記顕微鏡部４や撮像部５の動作を含む装置全体の動作を統括制御する制御コンピュータ４４を備えている。該制御コンピュータ４４は、モータドライバ４５に接続された制御部４６と、オートフォーカス装置４７に接続された画像処理部４８と、前記圧力印加機構２８に接続された制御空圧コントローラ４９とに接続されている。前記画像処理部４８は、前記照明投光器６によって照明された前記テーブル上のカラーフィルタＷからの反射光にもとづいて、前記顕微鏡部４の光学系１３とハーフミラー１４，１５とを通して、前記ＣＣＤカメラ１６によって撮像された前記カラーフィルタＷ上の画像を、前記オートフォーカス装置４７を経て取り込んで、所要の演算処理をして画像データを前記制御コンピュータ４４に送るようになっている。

前記モータドライバ４５は、制御部４６からの指令で前記Ｘ，Ｙ軸サーボモータ５０，５１を作動させて前記テーブル１（カラーフィルタＷ）と前記サドル３（液体材料供給部７）とを相対的にＸ，Ｙ軸方向に移動させたり、前記対物レンズ１２を移動させるサーボモータ２４を作動させて、所要の対物レンズ１２の１つを前記光学系１３の光軸Ｌの位置に移動させたり、また、前記オートフォーカス装置４７からの指令にもとづいて、前記Ｚ軸サーボモータ５２を作動させて、前記対物レンズ１２と共に前記液体材料吐出部７を昇降させて対物レンズ１２の焦点を前記カラーフィルタＷ上に合わせたり、さらに、前記ディスペンサ交換機構２７の割出用パルスモータ３２を作動させて、複数のディスペンサ２６のうちの１つを選択して液体材料塗布位置Ｐへ移動させるようにようになっている。

前記制御部４６には、前記割出用パルスモータ３２に対する指令パルス数と、前記旋回部材３３を、その回転方向の待機位置（例えば、旋回部材３３の回転中心Ｃを通る中央線Ｈが前記液体材料塗布位置Ｐに整列した位置とする）から各ディスペンサ２６が液体材料塗布位置Ｐまで移動させるために割出用パルスモータ３２の正、逆回転方向とパルス数をティーチングによって求めて、各ディスペンサ２６（２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ）に対応させて前記割出用パルスモータ３２の回転方向とパルス数が記憶されている。そして、前記制御部４６から、割出用パルスモータ３２の回転方向とパルス数とによって指定された回転指令がモータドライバ４５に出されると、それに対応したいずれか１つのディスペンサ２６Ａ（２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ）を前記液体材料塗布位置Ｐに移動、位置決めさせるべく、該モータドライバ４５が前記パルスモータ３２を作動させるようになっている。
また、前記制御空圧コントローラ４９は、制御コントローラ４４からの指令で動作して前記圧力印加機構２８を作動させて、各ディスペンサ２６に充填された異なる種類の液体材料に応じて設定された圧力とその付加時間により、各ディスペンサ２６にパルス状のガス圧を印加させるようになっている。

次に、前記構成に係る液体材料供給装置の作用をカラーフィルタＷの欠陥部を修正する場合を例にして図８、図９を参照して説明する。
基板５３に緑Ｇと赤Ｒと青Ｂの各フィルタ層と黒色のマトリックス層ＢＭの着色層を有するカラーフィルタＷは、予め、検査装置によって、例えば、緑Ｇのフィルタ層に色抜けした欠陥部５４が検出されている場合（図９（ａ）参照）、前記Ｘ，Ｙ，Ｚ駆動装置が作動されて、前記テーブル１上に載置したカラーフィルタＷの前記欠陥部５４の位置に、前記顕微鏡部４の光学系１３の光軸Ｌが合わせられて、パルス発振のレーザ光Ｒがレーザ加工用の対物レンズ１２ｂ〜１２ｅの１つを通して前記欠陥部５４に照射され、欠陥部５４が所定の形状に整形加工される（図９（ｂ）参照）。

次いで、制御部４６の指令でサーボモータ２４が作動されてレーザ加工用の対物レンズ１２ｂ〜１２ｅに代えて塗布用対物レンズ１２ａが前記光軸Ｌの位置に移動された（ステップＳ１）後、オートフォーカス装置４７の指令でモータドライバ４５を介して前記Ｚ軸サーボモータ５２が作動されて、前記支持板２２が上下動されて塗布用対物レンズ１２ａの焦点がカラーフィルタＷ上に合わせられる（ステップＳ２）と共に、サーボモータ２４が微移動されて、前記アパーチャー機構１０で整形されたレーザ発振８からのレーザ光で整形加工された液体材料の塗布領域５５が塗布用対物レンズ１２ａの光軸の位置（液体材料塗布位置）Ｐに正確に合わせられる（ステップＳ３）。次に、制御部４６から前記欠陥部５４のある緑Ｇのフィルタ層に対応する緑色の修正インクを充填されたディスペンサ、例えば、ディスペンサ２６Ａの選択指令（回転方向とパルス数）がモータドライバ４５に出される（ステップＳ４）と、該モータドライバ４５によって前記割出用パルスモータ３２が作動されて、前記旋回部材３３を介して前記ディスペンサカートリッジ３４が回転中心Ｃを中心にして図５に図示の待機位置からディスペンサ２６Ａが液体材料塗布位置Ｐまで回転移動される（ステップＳ５）。

前記ディスペンサ２６ａが液体材料塗布位置Ｐに移動して位置決めされると、前記制御部４５の指令でモータドライバ４５を介してＺ軸サーボモータ５２が作動されて、選択されたディスペンサ２６Ａが微少量降下されてカラーフィルタＷの塗布面に接触される（ステップＳ６）。その際、ディスペンサ２６Ａは、その先端部２６ａが可撓性を有するため、僅かに撓んで前記塗布面に柔軟に接触され、該塗布面が損傷することはない。続いて、制御空圧コントローラ４９が動作して前記圧力印加機構２８を作動させ、前記エアチューブ４１を通してディスペンサ２６Ａ内に、該ディスペンサ２６Ａ内に充填された液体材料（緑Ｇの修正インク）に対応した設定された所定の圧力と印加時間のパルス状のガス圧を印加するので、図９（ｃ）に示すように、ディスペンサ２６Ａの先端部２６ａから前記塗布面である緑Ｇのカラー層の加工部５５に液体材料５６が吐出される（ステップＳ７）。

前記ディスペンサ２６Ａから吐出された液体材料５６が前記塗布面に塗布されると、前記Ｚ軸サーボモータ５２が作動して前記ディスペンサ２６Ａが上方へ待避した（ステップＳ８）後に、割出用パルスモータ３２が作動して旋回部材３３が回転して待機位置（図５の図示の位置）へ戻って（ステップＳ９）、前記カラーフィルタＷの塗布面への液体材料５６の塗布動作が終了する。この後に、顕微鏡部４が作動して連続発振のレーザ光Ｒが対物レンズ１２ｂ〜１２ｅの１つを通して前記塗布面に塗布された液体材料５６に照射されて、該液体材料５６が硬化して修正された緑Ｇのフィルタ層５７が形成される（図９（ｄ）参照）。

なお、カラーフィルタＷの複数色のフィルタ層に欠陥部がある場合には、一つの色のフィルタ層の修正が終わる毎に、同様に、制御部４６の指令でモータドライバ４５を介して、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸サーボモータ５０，５１，５２が作動されて前記液体材料吐出部がカラーフィルタＷの欠陥部である液体材料塗布領域に移動されると共に、割出用パルスモータ３２が作動されて欠陥部のあるフィルタ層の色に対応する液体材料（修正インク）を充填されたディスペンサ２６Ａ〜２６Ｄが順次に選択されて前記液体材料塗布位置Ｐに位置決めされて、制御コンピュータ４９の指令による圧力印加機構２８の作用により、所要の液体材料が前記塗布面に塗布される。そして、前記液体材料の塗布作業が継続されることにより、いずれかのディスペンサ２６内に液体材料が無くなった場合には、前記ディスペンサカートリッジごと新たなディスペンサカートリッジと交換して、液体材料吐出部７に液体材料を補給する。その場合には、ディスペンサカートリッジ３４はボルト３８を旋回部材３３に対して脱着することによって容易に交換することができる。

前記のように、実施の形態に係る液体材料供給装置は、異なる色の修正インクが個々に充填された複数のディスペンサ２６を有して支持体３，２２，２３，２５に支持された液体材料吐出部７と、各ディスペンサ２６内の修正インクにガス圧を印加してディスペンサ２６の先端から微少量の修正インクを吐出させる圧力印加機構２８と、前記支持体３，２２，２３，２５とカラーフィルタを固定したテーブル１とをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部７を前記カラーフィルタＷの液体材料塗布位置Ｐへ移動させる駆動装置とを備えると共に、前記液体材料吐出部７には、複数のディスペンサ２６の１つを選択してその先端部２６ａをカラーフィルタＷ上の所定の液体材料吐出位置（液体材料塗布位置Ｐ）に移動位置決めさせるディスペンサ交換機構２７が設けられた構成されている。

したがって、前記実施の形態に係る液体材料供給装置によれば、異なる色の修正インクが個々に充填されて用意された複数のディスペンサ２６から、液体材料吐出部７に設けたディスペンサ交換機構２７によって、所要の修正インクが充填されたディスペンサ２６を選択してカラーフィルタＷの液体材料塗布位置Ｐへ移動させることができるので、複数の異なる色の修正インクを塗布する必要があるカラーフィルタＷに対して、所要の種類の修正インクを迅速、容易に所定の塗布箇所に供給して塗布することができて、修正インクの塗布作業を効率的に行うことができる。

また、前記ディスペンサ交換機構２７はＺ軸に交差する軸線回りに割出用パルスモータ３２によって回転する旋回部材３３を備え、前記複数のディスペンサ２６が、その先端部２６ａを前記旋回部材３３の回転中心Ｃを中心とする円弧ｒ上に所定間隔をあけて配置されて旋回部材３３に支持された構成とされているので、ディスペンサ２６の交換を短時間に精度良く液体材料塗布位置Ｐへ移動させることができると共に、ディスペンサ交換機構２７内の複数のディスペンサ２６のうちの１つのディスペンサ２６Ａ（２６Ｂ〜２６Ｄ）による塗布作業中、他の修正インクの塗布に働いていないディスペンサ２６Ｂ〜２６Ｄ（２６Ａ）は、それらの先端部２６ａがカラーフィルタＷの塗布面から完全に離れた状態になるため、該他のディスペンサ２６Ｂ〜２６Ｄ（２６Ａ）の先端によってカラーフィルタＷが損傷されるのを確実に防止することができる。

また、前記各ディスペンサ２６は、ディスペンサホルダ３５に前記円弧ｒ上に沿うように配置されて固定されたディスペンサカートリッジ３４として構成され、該ディスペンサカートリッジ３４が前記旋回部材３３に着脱自在に固定されるように設けられた構成とされているので、ディスペンサ２６内に修正インクが無くなった場合には、ディスペンダーカートリッジ３４ごと新たなディスペンダーカートリッジ３４と交換することによって、迅速、容易に液体材料供給部７に修正インクを補給することができる。
さらに、前記ディスペンサカートリッジ３４は、各ディスペンサ２６が、それらの円筒部２６ｂをディスペンサホルダ３５に所定間隔をあけて形成した矩形断面の複数の装着溝３５ａにそれぞれ装着され、かつ弾性部材３５ｂによって前記円筒部２６ｂが装着溝３５ａの隅部に押圧されて固定された構成とされているので、ディスペンサホルダ３５にディスペンサ２６を容易に、かつ正確に位置決めして固定してディスペンサカートリッジ３４を組み立てることができる。

なお、前記実施の形態に係る液体材料供給装置においては、カラーフィルタの欠陥部５４を修正する場合に、液体材料として複数色のフィルタ層に対応する修正インクを所定の塗布面に塗布する例について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、電子回路基板（被吐出体）に形成された配線の断線部を補修するにあたり、マスキング剤や導電性溶液をディスペンサカセットに充填しておいて、配線の断線部をマスキング剤を塗布してレーザ加工機により断線部を整形加工した後に、該整形加工部に導電性溶液を塗布する場合にも適用することができる。

本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を装備したカラーフィルタの欠陥修正装置の一例を示す正面図図である。 本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置の要部を示す平面図である。 同じく正面図である。 同じく側面図である。 図４のイ矢視拡大図である。 本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置の要部を分解して示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置の制御系統のブロック図である。 本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置の作用を説明するフロー図である。 本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を装備したカラーフィルタの欠陥修正工程を示す説明図である。

符号の説明

１ テーブル
３ サドル（移動体）
７ 液体材料吐出部
１２ 対物レンズ
１２ａ 塗布用対物レンズ
１３ 光軸
２２ 昇降板（支持体）
２３ 可動板（支持体）
２４ サーボモータ
２５ 支持板（支持体）
２５ａ サーボモータ
２６ ディスペンサ
２７ ディスペンサ交換機構
２８ 圧力印加機構
３２ 割出用パルスモータ
３３ 旋回部材
３４ ディスペンサカートリッジ
３５ ディスペンサホルダ
３６ ホルダカバー
４１ エアーチューブ
４６ 制御部
４９ 制御空圧コントローラ
５０，５１，５２ Ｘ，Ｙ，Ｚ軸サーボモータ（駆動装置）
Ｃ 回転中心
Ｅ 半径
Ｐ 液体材料塗布位置（液体材料吐出位置）
Ｗ カラーフィルタ（被吐出体）
ｒ 円弧

Claims (3)

1. 異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサを有して支持体に支持された液体材料吐出部と、各ディスペンサ内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサの先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、前記支持体と前記液体材料が吐出される被吐出体を固定したテーブルとをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部を前記被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置とを備えた液体材料供給装置において、
   前記液体材料吐出部には、複数のディスペンサの１つを選択してその先端部を被吐出体上の所定の液体材料吐出位置に移動位置決めさせるディスペンサ交換機構が設けられ、
   前記ディスペンサ交換機構はＺ軸に交差する軸線回りに回転駆動装置によって回転する旋回部材を備え、前記複数のディスペンサが、その先端部を前記旋回部材の回転中心を中心とする円弧線上に所定間隔をあけて配置されて旋回部材に支持されていることを特徴とする液体材料供給装置。
2. 前記各ディスペンサは、ディスペンサホルダに前記円弧上に沿うように配置されて固定されたディスペンサカートリッジとして構成され、該ディスペンサカートリッジが前記旋回部材に着脱自在に固定されるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体材料供給装置。
3. 前記ディスペンサカートリッジは、各ディスペンサが、それらの円筒部をディスペンサホルダに所定間隔をあけて形成した矩形断面の複数の装着溝にそれぞれ装着され、かつ弾性部材によって前記円筒部が装着溝の隅部に押圧されて固定された構成とされていることを特徴とする請求項２に記載の液体材料供給装置。

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