KR20070110481A

KR20070110481A - 액체재료 공급장치

Info

Publication number: KR20070110481A
Application number: KR1020077007765A
Authority: KR
Inventors: 미치노부 미즈무라
Original assignee: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Priority date: 2004-11-15
Filing date: 2005-10-25
Publication date: 2007-11-19
Also published as: WO2006051687A1; JP4675611B2; CN101039758B; TW200626251A; JP2006136864A; CN101039758A; TWI337900B; KR101200690B1

Abstract

액체재료 공급장치는, 다른 액체재료가 개개로 충전된 복수의 디스펜서(26)를 갖고 지지체에 지지된 액체재료 토출부(7)와, 각 디스펜서(26) 내의 액체재료에 가스압을 인가하여 디스펜서(26)의 선단으로부터 미소량의 액체재료를 토출시키는 압력인가 기구와, 지지체와 컬러필터(피토출체)(W)를 고정한 테이블을 X, Y, Z축 방향으로 상대적으로 이동시켜, 액체재료 토출부(7)를 컬러필터(W)의 액체재료 도포 위치(P)로 이동시키는 구동장치를 구비하고, 액체재료 토출부(7)에는, 복수의 디스펜서(26)의 하나를 선택하여 그 선단부를 컬러필터(W) 상의 소정의 액체재료 토출 위치(액체재료 도포 위치)(P)에 이동 위치 결정시키는 디스펜서 교환기구(27)가 설치되어 있다.

Description

액체재료 공급장치{LIQUID MATERIAL SUPPLYING APPARATUS}

본 발명은 액정표시 장치 등에 있어서의 컬러필터에 생긴 결함부를 수정하는 경우 등에 있어서, 그 수정 개소에 수정 잉크 등의 액체재료를 공급하여 도포하는 액체재료 공급장치에 관한 것이다.

본원은, 2004년 11월 15일에 출원된 일본국 특허출원 2004-330995호에 의거하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

종래, 전자회로 기판의 배선 패턴 등에 단선 결함이 생긴 경우에, 그 결함부에 도전성의 용액(액체재료)을 공급한 후에 레이저 광 등을 조사하여 도선성 피막을 형성하여 단선부를 접속 보수하는 것이 행해지고 있다. 그때, 상기 결함부에 액체재료를 도포하는 액체재료 공급장치로서, 선단을 가늘게 조인 유리제 피펫의 내부에 액체재료를 충전해두고, 소요시에 가스압 인가기구에 의해 상기 피펫 내의 액체재료에 펄스형상의 가스압을 인가하여 피펫의 선단으로부터 미소량의 액체재료를 상기 결함부에 토출시켜 도포하도록 한 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1, 2, 3 참조).

특허문헌 1: 일본국 특허 공개공보 평8-66652호

특허문헌 2: 일본국 특허 공개공보 평9-45683호

특허문헌 3: 일본국 특허 공개 2001-252606호

그러나, 상기 종래의 액체재료 공급장치에 있어서는, 액체재료를 충전한 피펫과 그 피펫으로부터 액체재료를 토출시키는 기구가 1쌍만 장비되어 있는 것이기 때문에, 액정표시 장치의 컬러필터와 같이, 빨강, 녹색, 파랑의 각 필터층, 흑색의 매트릭스층이라는 복수의 착색층을 갖고, 그들의 다른 착색층 상에 결함부가 발생한 경우에는, 복수의 착색층에 대응한 액체재료를 개별로 충전한 피펫을 준비해 두고, 하나의 피펫에 의해 하나의 착색층의 결함부에 액체재료를 도포한 후에, 순차, 다른 액체재료를 충전한 다른 피펫으로 교환하여, 다른 착색층에 다른 액체재료를 도포할 필요가 있다. 이러한 피펫의 교환은, 특히 미세한 영역에 액체재료를 도포할 필요가 있는 경우에는, 피펫을 소정의 도포위치로 이동 위치 결정시키기 위한 티칭 작업을 포함하여 복잡한 작업이 필요하게 되어, 수고와 시간이 상당히 걸려, 액체재료의 결함부로의 도포작업을 능률적으로 행할 수 없는 문제가 있다.

본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 복수의 다른 액체재료를 신속하게 교환하여 각각의 도포해야 할 소요 개소에 능률적으로 공급하고, 액체재료의 도포작업을 효율적으로 행할 수 있는 액체재료 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해,

다른 액체재료가 개개로 충전된 복수의 디스펜서를 갖고 지지체에 지지된 액체재료 토출부와, 각 디스펜서 내의 액체재료에 가스압을 인가하여 디스펜서의 선단으로부터 미소량의 액체재료를 토출시키는 압력인가 기구와, 상기 지지체와 상기 액체재료가 토출되는 피토출체를 고정한 테이블을 상대적으로 이동시켜, 상기 액체재료 토출부를 상기 피토출체의 액체재료 도포 위치로 이동시키는 구동장치를 구비한 액체재료 공급장치에 있어서,

상기 액체재료 토출부에는, 상기 복수의 디스펜서의 하나를 선택하여 그 선단부를 상기 피토출체 상의 소정의 액체재료 토출 위치에 이동 위치 결정시키는 디스펜서 교환기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체재료 공급장치를 제공한다.

상기 구성에 있어서,

상기 액체재료 토출 위치를 통과하고, 상기 테이블의 상기 피토출체를 고정하는 면과 직교하는 축에 대해, 상기 디스펜서 교환기구는, 이 축에 교차하는 축선 둘레에 회전 구동장치에 의해 회전하는 선회부재를 구비하고,

상기 복수의 디스펜서가, 그 선단부가 상기 선회부재의 회전 중심을 중심으로 하는 원호선 상에 소정 간격을 두고 배치되도록, 그 선회부재에 지지되도록 해도 된다.

상기 복수의 디스펜서를 상기 원호 상을 따르도록 배치하여 고정하는 디스펜서 홀더를 구비하고,

상기 복수의 디스펜서가 고정된 디스펜서 홀더를, 디스펜서 카트리지로 하여, 상기 선회부재에 착탈 자유롭게 고정하도록 해도 된다.

바람직한 예로서, 각 디스펜서는 원통부를 갖고,

상기 디스펜서 홀더는, 상기 복수의 디스펜서에 대응하는 복수의 장착 홈을 갖고, 그 장착 홈은 소정 간격을 두고 형성되고, 단면 직사각형의 형상을 갖고,

상기 디스펜서 카트리지에 있어서, 각 디스펜서의 원통부가 상기 디스펜서 홀더의 각 장착 홈에 장착되고, 또한 탄성 부재에 의해 상기 원통부가 그 장착 홈의 모서리부에 가압되어 고정된 구성이 된다.

본 발명은 또한, 상술의 액체재료 공급장치를 구비한, 컬러필터의 결함수정 장치를 제공한다.

바람직한 예로서,

상기 피토출체로서의 컬러필터 상의 결함부를 레이저로 미리 정형 가공하는 수단과,

토출된 상기 액체재료를 레이저에 의해 경화시키는 수단을 갖고,

레이저 가공시의 대물렌즈와, 레이저 경화시의 대물렌즈를 치환함으로써, 단일의 레이저 조사계를 이용하여 상기 레이저 가공 및 레이저 경화를 행한다.

(발명의 효과)

본 발명의 액체재료 공급장치에 의하면, 다른 액체재료가 개개로 충전되어 준비된 복수의 디스펜서로부터, 액체재료 토출부에 설치한 디스펜서 교환기구에 의해, 소요 디스펜서를 선택하여 피토출체의 액체재료 도포위치로 이동시킬 수 있기 때문에, 복수의 다른 액체재료를 도포할 필요가 있는 컬러필터나 전자회로 기판에 대해, 소요 종류의 액체재료를 신속, 용이하게 소정의 도포 개소에 공급하여 도포할 수 있어, 액체재료의 도포 작업을 효율적으로 행할 수 있다.

또한, 상기 선회부재의 사용에 의해, 디스펜서의 교환을 단시간에 정밀하게 액체재료 도포위치로 이동시킬 수 있음과 동시에, 디스펜서 교환기구 내의 복수의 디스펜서 중의 하나의 디스펜서에 의한 도포작업 중, 다른 도포재료의 도포에 작용하고 있지 않은 디스펜서는, 그 선단부가 피토출체의 도포면으로부터 완전히 멀어진 상태가 되기 때문에, 그 다른 디스펜서의 선단에 의해 피토출체가 손상되는 것을 확실히 방지할 수 있다.

또한, 디스펜서 내에 액체재료가 없어진 경우에는, 디스펜서 카트리지마다 새로운 디스펜서 카트리지와 교환할 수 있기 때문에, 신속, 용이하게 액체재료 공급부에 액체재료를 공급할 수 있다.

또한, 디스펜서 홀더에 설치된 장착 홈에 의해, 디스펜서를 용이하게, 또한 정확하게 위치 결정 고정하여 디스펜서 카트리지를 조립할 수 있다.

또한, 단일의 레이저 조사계를 이용하여 상기 레이저 가공 및 레이저 경화를 행하는 컬러필터의 결함수정 장치에 의하면, 심플한 구성으로 효율적으로 컬러필터의 결함 수정을 행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 액체재료 공급장치를 장비한 컬러필터의 결함수정 장치의 일례를 나타내는 정면도이다.

도 2는 상기 액체재료 공급장치의 요부를 나타내는 평면도이다.

도 3은 상기 요부를 나타내는 정면도이다.

도 4는 상기 요부를 나타내는 측면도이다.

도 5는 도 4의 Q 화살표 방향으로 본 확대도이다.

도 6은 상기 액체재료 공급장치의 요부를 분해하여 나타내는 사시도이다.

도 7은 상기 액체재료 공급장치의 제어계통의 블록도이다.

도 8은 상기 액체재료 공급장치의 작용을 설명하는 흐름도이다.

도 9는 상기 액체재료 공급장치에 있어서의, 컬러필터의 결함수정 공정을 나타내는 설명도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 테이블 3 새들(이동체)

7 액체재료 토출부 12 대물렌즈

12a 도포용 대물렌즈 13 광축

22 승강판(지지체) 23 가동판(지지체)

24 서보 모터 25 지지판(지지체)

25a 서보 모터 26 디스펜서

27 디스펜서 교환기구 28 압력인가 기구

32 산출용 펄스 모터 33 선회부재

34 디스펜서 카트리지 35 디스펜서 홀더

36 홀더 커버 41 에어 튜브

46 제어부 49 제어공압 컨트롤러

50, 51, 52 X, Y, Z축 서보 모터(구동장치)

C 회전 중심 E 반경

P 액체재료 도포장치(액체재료 토출 위치)

W 컬러필터(피토출체) r 원호

이하, 본 발명의 일 실시형태에 관한 액체재료 공급장치를 컬러필터의 결함수정 장치에 장비한 경우에 대해, 도 1을 참조하여 설명한다.

도 1에 있어서, M은 본 발명의 일 실시형태에 관한 액체재료 공급장치를 장비한 컬러필터의 결함수정 장치이다. 그 컬러필터의 결함수정 장치(M)는, 컬러필터(액체재료가 토출되는 피토출체)(W)를 얹어놓는 테이블(1)을 갖고, 이 테이블(1)은 가대(도시생략) 상에 올려지고, Y축 서보 모터(51)(도 1에서는 도시생략, 도 7 참조)에 의해 Y축 방향(도 1에서 지면에 수직한 방향)(y)으로 이동하도록 구성되어 있다. 본 결함수정 장치(M)는 또, 그 테이블(1)의 위쪽에 배치된 X축 빔(2)에 지지되어 X축 서보 모터(50)(도 1에서는 도시생략, 도 7 참조)에 의해 X축 방향(도 1에서 좌우방향)(x)으로 이동하도록 설치된 새들(지지체)(3)과, 그 새들(3)에 각각 지지된 현미경부(4), 촬상부(5), 조명 투광기(6)와, 상기 새들(3)에 지지된, 본 발명의 일 실시형태에 관한 액체재료 공급장치에 있어서의 액체재료 토출부(7)를 구비하고 있다.

상기 현미경부(4)는, 레이저 발진기(8)와, 한 쌍의 반사경으로 이루어지는 레이저 광축 조정 미러(9)와, 레이저 발진기(8)로부터 출력되고 레이저 광축 조정 미러(9)로 광축(L)이 조정된 레이저 광(R)의 빔 형상을 정형하는 조리개(aperture) 기구(10)와, 결상 렌즈(11)와 대물렌즈(12)를 갖고 상기 조리개 기구(10)를 통과한 레이저 광(R)을 상기 컬러필터(W) 상에 결상시키는 광학계(13)를 구비하고 있다.

상기 촬상부(5)는, 상기 조리개 기구(10)와 상기 광학계(13)에 있어서의 상기 결상 렌즈(11) 사이에 설치한 제 1 하프미러(14)와, 그 하프미러(14)에 대향하여 설치한 제2 하프미러(15)와, 그 제2 하프미러(15)의 위쪽에 배치된 CCD 카메라(촬상수단)(16)를 구비하고, 상기 조명 투광기(6)에 의해 조사되는 테이블(1) 상의 컬러필터(W)를, 상기 광학계(13)와 상기 제1, 제2 하프미러(14, 15)를 통해 상기 CCD 카메라(16)로 촬상하도록 되어 있다.

또한, 상기 조명 투광기(6)는, 상기 레이저 광축(L) 상에 배치된 광학계(13)의 상기 결상렌즈(11)와 대물렌즈(12) 사이에 설치한 제3 하프미러(17)와, 렌즈(18)를 사이에 두고 상기 제3 하프미러(17)에 대향하는 반사 미러(19)와, 렌즈(20)와, 도시하지 않은 조명용 투광기에 연락된 조명용 광섬유(21)를 구비하고, 그 조명용 광섬유(21)로부터 발해지는 조명광을, 렌즈(20)와 상기 반사 미러(19)와 상기 렌즈(18)를 통해 상기 제3 하프미러(17)에 입사시키고, 대물 렌즈(12)를 통해 상기 테이블(1) 상의 컬러필터(W)의 상면을 조명하도록 되어 있다.

상기 새들(3)의 하단에는, 승강판(지지체)(22)이, Z축 서보 모터(52)(도 1에서는 도시생략, 도 7 참조)에 의해 Z축 방향(도 1에서 상하 방향)(z)으로, 결상 렌즈(11)보다 하측의 부분과 일체적으로 이동하도록 지지되고, 상기 승강판(22)에는, 가동판(지지체)(23)이, 가이드 레일(22a)을 따라 렌즈 교환용 서보 모터(24)에 의해 X축 방향(x)으로 이동하도록 지지되어 있다. 또, 상기 가동판(23) 아래에는, 지지판(지지체)(25)이, 가이드 레일(23a)을 따라 구동 모터(25a)에 의해 Y축 방향(y) 으로 적은 거리만 이동하도록 지지되어 있다.

상기 지지판(25)의 하단에는, 광축을 Z축 방향(z)을 따르게 한 복수 개의 대물렌즈(12)가 설치되어 있다. 도 1에 도시하는 오른쪽 단부에는, 배율이 도포에 최적한 도포용 렌즈(12a)가 설치되고, 이보다 배율이 높은 대물렌즈(12b~12e)가 차례로 X축 방향(x)을 따라 정렬하여 장치되어 있다.

상기 X, Y, Z축 서보 모터(50, 51, 52) 등은, 상기 테이블(1)과 상기 새들(3), 승강판(22), 가동판(23), 지지판(25) 등의 지지체를, X, Y, Z축 방향으로 상대적으로 이동시켜, 상기 액체재료 토출부(7)를 상기 컬러필터(W)의 액체재료 도포 위치로 이동시키는 구동장치를 구성하고 있다.

다음으로, 상기 액체재료 토출부(7)는, 복수의 다른 액체재료가 개개로 충전된 복수(도시의 예에서는 4개)의 디스펜서(26)를 갖고, 그들의 하나를 소정의 액체재료 토출 위치(P)에 이동시키는 디스펜서 교환기구(27)를 구비하고 있다. 그 디스펜서 교환기구(27)에는, 각 디스펜서(26)에 펄스형상의 가스압을 인가하여, 각 디스펜서(26)의 선단으로부터 상기 테이블(1) 상의 컬러필터(W)에 액체재료를 토출시키는 압력인가 기구(28)가 접속되어 있다. 그 입력인가 기구(28)는 종래 주지의 구성을 가지는 것으로, 상기 새들(3)의 전면에 장치되어 있다.

상기 디스펜서 교환기구(27)는, 도 2~도 6에 도시하는 바와 같이, 상기 대물렌즈(12)를 장치한 지지판(25)에 볼트로 고정된 브래킷(29)과, 그 브래킷(29)에 수동 조정 나사(30)에 의해 Z축 방향(z)으로 승강 조절 가능하게 지지되어 있는 지지부재(31)와, 그 지지부재(31)에 장치되고, 상기 현미경부(4)의 광학계(13)의 광축 (L)을 포함하는 Y, Z축 평면내에 있어 Z축에 대해 경사한 회전축(S)의 둘레로 회전하는 산출용 펄스 모터(회전 구동장치)(32)와, 상기 복수의 디스펜서(26)를 유지하고, 상기 산출용 펄스 모터(32)의 출력 축에 연결된 선회부재(33)에 장치된 디스펜서 카트리지(34)를 구비하고 있다. 상기 수동 조절 나사(30) 대신 서보 모터 등에 의해 지지부재(31)를 승강 조절하도록 해도 된다.

상기 디스펜서 카트리지(34)는, 중앙부를 두껍고 양측을 얇게 한 직사각형 판상 부재로 이루어지는 디스펜서 홀더(35)를 구비하고, 그 디스펜서 홀더(35)에는, 직사각형 단면을 갖고 Y축 방향(y)을 따르는 복수(도시의 예에서는 4개)의 장착 홈(35a)이, X축 방향(x)으로 소정 간격을 두고 형성되어 있다. 그리고, 상기 복수의 디스펜서(26)가, 상기 디스펜서 홀더(35)의 각 장착 홈(35a)에 유지되어 있다.

각 디스펜서(26)는, 선단부(26a)가 끝이 가늘게 좁혀지고 기단측이 큰 직경의 원통부(26b)로 형성된 중공의 유리제 피펫으로 이루어진다. 선단부(26a)는 상기 디스펜서 홀더(35)로부터 전방으로(도 4에서 아래쪽, 도 5에서 앞쪽으로) 돌출되고, 원통부(26b)는 상기 장착 홈(35a) 내에 그 한쪽(도 5에서 왼쪽)의 각(角)부를 따르도록 장착되고, 접착 혹은 각 장착 홈(35a) 내에 설치한 1쌍의 탄성 부재(35b)의 탄성가압력에 의해 홈 벽에 가압되어 장착 홈(35a) 내에 유지되어 있다. 상기 디스펜서 홀더(35)에는, 디스펜서(26)가 상기 장착 홈(35a)으로부터 외측으로 빠져나가는 것을 방지하기 위해, 홀더 커버(36)가 착탈 가능하게 장치되어 있다.

그리고, 상기 디스펜서 카트리지(34)는, 상기 선회부재(33)에 고정된 1쌍의 핀(37)(하나만 도시)에 핀구멍(35c)이 끼워 맞춰져 위치 결정되고, 볼트구멍(35d)에 삽입 통과한 1쌍의 록 볼트(38)를 선회부재(33)의 나사구멍(33a)에 나사 결합시킴으로써, 상기 선회부재(33)의 회전축(S)을 따르는 방향의 장착판(33b)의 하측(도 6에서는 상측)의 장착면(33c)에, 상기 장착 홈(35a)의 개구부측과 반대측의 접합면(35e)을 맞닿아 고정되어 있다. 이에 의해, 상기 디스펜서 홀더(35)에 유지된 각 디스펜서(26)는, 그들 중심이 상기 회전축(S)의 회전 중심(C)을 중심으로 하는 소정 반경(E)의 원호(r) 상에 같은 간격(같은 각도(θ)의 간격)으로 배치된 상태가 되고(도 5 참조), 또한 그들 선단부(26a)의 선단(도 3, 도 4에서 하단)은, 상기 선회부재(33)의 회전축(S) 둘레의 선회에 의해, 최하단 위치(액체재료 도포 위치(P))로 이동했을 때, 상기 광축(L)에 일치하여 상기 테이블(1) 상의 컬러필터(W)의 상면에 가장 접근한 상태가 되도록 설정되어 있다. 상기 디스펜서 카트리지(34)는, 평소에는, 중앙측의 2개의 디스펜서(26, 26)가 액체재료 도포 위치(P)의 양측으로 같은 거리를 둔 위치(대기 위치)에 정지하도록 되어 있다.

또한, 상기 선회부재(33)에는, 그 선회판(33d)에, 외주에 돌기(39a)를 설치한 원판(39)이 장착되어 있고, 선회부재(33)가 양방향으로의 선회 제한 위치까지 선회 이동했을 때, 1쌍의 리미트 스위치(40a, 40b)가 상기 돌기(39a)를 검출하여 상기 산출용 펄스 모터(32)를 정지시키고, 선회부재(33)의 과선회에 의한 대물렌즈(12)에 대한 충돌에 의한 손상을 방지하도록 되어 있다.

또, 상기 각 디스펜서(26)에는, 각각, 가요성을 가지는 에어 튜브(41)가, 그 탄력성을 가지는 커넥터(41a) 내 구멍에 상기 원통부(26b)의 기단부측을 기밀로 끼 워넣어 접속되어 있고, 상기 각 커넥터(41a)는, 반쪽의 상 커넥터 홀더(42a)(도 6에서 하측의 것)와 하 커넥터 홀더(42b)(도 6에서 상측의 것)에 끼워 장착되고, 그 상, 하 커넥터 홀더(42a, 42b)를 통해 상기 디스펜서 홀더(35)에 지지되고, 각 디스펜서(26)로부터 에어 튜브(41)가 빠지지 않게 되어 있다. 또한, 상기 상, 하 커넥터 홀더(42a, 42b)는, 그들에 설치한 훅(42a1, 42b1)이 상기 디스펜서 홀더(35)에 설치한 결합 홈(35f, 35g)에 착탈 가능하게 결합되어, 그 상기 디스펜서 홀더(35)에 장치되도록 되어 있다.

상기 각 에어 튜브(41)의 디스펜서 홀더(35)와 반대측의 단부는 상기 새들(3)에 장착된 압력인가 기구(28)에 접속되고, 그 입력인가 기구(28)로부터 각 디스펜서(26)에 소정의 펄스형상의 가스압이 작용하도록 되어 있다.

다음으로, 상기 액체재료 토출부(7)와 압력 인가기구(28)와 X, Y, Z축 구동장치를 구비한 액체재료 공급장치의 동작을 제어하는 제어장치(43)에 대해, 도 7을 참조하여 설명한다.

그 제어장치(43)는, 상기 현미경부(4)나 촬상부(5)의 동작을 포함하는 장치 전체의 동작을 통괄 제어하는 제어 컴퓨터(44)를 구비하고 있다. 그 제어 컴퓨터(44)는, 모터 드라이버(45)에 접속된 제어부(46)와, 오토 포커스 장치(47)에 접속된 화상 처리부(48)와, 상기 압력인가 기구(28)에 접속된 제어공압 컨트롤러(49)에 접속되어 있다. 상기 화상 처리부(48)는, 상기 조명 투광기(6)에 의해 조명된 상기 테이블 상의 컬러필터(W)로부터의 반사광에 의거하여, 상기 현미경부(4)의 광학계(13)와 하프미러(14, 15)를 통해, 상기 CCD 카메라(16)에 의해 촬상된 상기 컬러필 터(W) 상의 화상을, 상기 오토 포커스 장치(47)를 거쳐 취입하여, 소요 연산 처리를 하여 화상 데이터를 상기 제어 컴퓨터(44)에 보내도록 되어 있다.

상기 모터 드라이버(45)는, 제어부(46)로부터의 지령으로 상기 X, Y축 서보 모터(50, 51)를 작동시켜 상기 테이블(1)(컬러필터(W))과, 상기 새들(3)(액체재료 공급부(7))을 상대적으로 X, Y축 방향으로 이동시키거나, 상기 대물렌즈(12)를 이동시키는 서보 모터(24)를 작동시켜, 소요 대물렌즈(12)의 하나를 상기 광학계(13)의 광축(L)의 위치에 이동시키거나, 또, 상기 오토 포커스 장치(47)로부터의 지령에 의거하여, 상기 Z축 서보 모터(52)를 작동시켜, 상기 대물렌즈(12)와 함께 상기 액체재료 토출부(7)를 승강시켜 대물렌즈(12)의 초점을 상기 컬러필터(W) 상에 맞추거나, 또, 상기 디스펜서 교환기구(27)의 산출용 펄스 모터(32)를 작동시켜, 복수의 디스펜서(26) 중 하나를 선택하여 액체재료 도포 위치(P)로 이동시키도록 되어 있다.

상기 제어부(46)에는, 각 디스펜서(26)를 액체재료 도포 위치(P)까지 이동시키기 위해, 상기 선회부재(33)를 그 대기 위치(예를 들면, 선회 부재(33)의 회전 중심(C)을 통과하는 중앙선(H)이 상기 액체재료 도포 위치(P)를 통과하는 위치로 한다)로부터 회전시키기 위한 산출용 펄스 모터(32)의 정, 역회전 방향과 지령 펄스 수(티칭에 의해 구해진다)가, 각 디스펜서(26)(26A, 26B, 26C, 26D)에 대응시켜 기억되어 있다. 그리고, 상기 제어부(46)로부터, 산출용 펄스 모터(32)의 회전 방향과 펄스 수에 의해 지정된 회전 지령이 모터 드라이버(45)로 내어지면, 그에 대응한 어느 하나의 디스펜서(26)(26A, 26B, 26C, 26D)를 상기 액체재료 도포 위치 (P)에 이동, 위치 결정시키기 위해, 그 모터 드라이버(45)가 상기 펄스 모터(32)를 작동시키도록 되어 있다.

또, 상기 제어공압 컨트롤러(49)는, 제어 컴퓨터(44)로부터의 지령으로 동작하여 상기 압력인가 기구(28)를 작동시켜, 각 디스펜서(26)에 충전된 다른 종류의 액체재료에 따라 설정된 압력과 그 부가 시간에 의해, 각 디스펜서(26)에 펄스형상의 가스압을 인가시키도록 되어 있다.

다음으로, 상기 구성에 관한 액체재료 공급장치의 작용을, 컬러필터(W)의 결함부를 수정하는 경우를 예로 하여 도 8, 도 9를 참조하여 설명한다.

기판(53)에 녹색(G)과 빨강(R)과 파랑(B)의 각 필터층과 흑색의 매트릭스층(BM)의 착색층을 가지는 컬러필터(W)는, 미리, 검사 장치에 의해, 예를 들면, 녹색(G)의 필터층에 색이 빠진 결함부(54)가 검출되어 있는 경우(도 9(a) 참조), 상기 X, Y, Z 구동장치가 작동되어, 상기 테이블(1) 상에 얹어놓은 컬러필터(W)의 상기 결함부(54)의 위치에, 상기 현미경부(4)의 광학계(13)의 광축(L)이 맞춰져, 펄스 발진의 레이저 광(R)이 레이저 가공용의 대물렌즈(12b~12e)의 하나를 통해 상기 결함부(54)에 조사되고, 결함부(54)가 소정의 형상으로 정형 가공된다(도 9(b) 참조).

다음으로, 제어부(46)의 지령으로 서보 모터(24)가 작동되어 레이저 가공용의 대물렌즈(12b~12e) 대신 도포용 대물렌즈(12a)가 상기 광축(L)의 위치로 이동된(스텝 S1) 후, 오토 포커스 장치(47)의 지령으로 모터 드라이버(45)를 통해 상기 Z축 서보 모터(52)가 작동되어, 상기 지지판(22)이 상하이동되어 도포용 대물렌즈 (12a)의 초점이 컬러필터(W) 상에 맞춰짐(스텝 S2)과 동시에, 서보 모터(24)가 미세 이동되어, 상기 조리개 기구(10)에서 정형된 레이저 발진(8)으로부터의 레이저 광으로 정형 가공된 액체재료의 도포 영역(55)이 도포용 대물렌즈(12a)의 광축의 위치(액체재료 도포 위치)(P)에 정확히 맞춰진다(스텝 S3). 다음으로, 제어부(46)로부터 상기 결함부(54)가 있는 녹색(G)의 필터층에 대응하는 녹색의 수정 잉크가 충전된 디스펜서, 예를 들면, 디스펜서(26A)의 선택 지령(회전 방향과 펄스 수)이 모터 드라이버(45)에 내어지면(스텝 S4), 그 모터 드라이버(45)에 의해 상기 산출용 펄스 모터(32)가 작동되어, 상기 선회부재(33)를 통해 상기 디스펜서 카트리지(34)가, 회전 중심(C)을 중심으로 하여 도 5에 나타내는 대기 위치로부터 디스펜서(26A)가 액체재료 도포 위치(P)에 이르는 위치까지, 회전 이동된다(스텝 S5).

상기 디스펜서(26A)가 액체재료 도포 위치(P)로 이동하여 위치 결정 되면, 상기 제어부(45)의 지령으로 모터 드라이버(45)를 통해 Z축 서보 모터(52)가 작동되어, 선택된 디스펜서(26A)가 미소량 강하되어 컬러필터(W)의 도포면에 접촉된다(스텝 S6). 그때, 디스펜서(26A)는, 그 선단부(26a)가 가요성을 가지기 때문에, 약간 휘어 상기 도포면에 유연하게 접촉되어, 그 도포면이 손상하는 일은 없다. 이어, 제어공압 컨트롤러(49)가 동작하여 상기 압력인가 기구(28)를 작동시키고, 상기 에어 튜브(41)를 통해 디스펜서(26A) 내에, 그 디스펜서(26A) 내에 충전된 액체재료(녹색(G)의 수정 잉크)에 대응하여 설정된 소정의 압력과 인가 시간의 펄스형상의 가스압을 인가하기 때문에, 도 9(c)에 도시하는 바와 같이, 디스펜서(26A)의 선단부(26a)로부터 상기 도포면인 녹색(G)의 컬러층의 가공부(55)에 액체재료(56) 가 토출된다(스텝 S7).

상기 디스펜서(26A)로부터 토출된 액체재료(56)가 상기 도포면에 도포되면, 상기 Z축 서보 모터(52)가 작동하여 상기 디스펜서(26A)가 위쪽으로 대피한(스텝 S8) 후에, 산출용 펄스 모터(32)가 작동하여 선회부재(33)가 회전하여 대기 위치(도 5 도시의 위치)로 되돌아와(스텝 S9), 상기 컬러필터(W)의 도포면으로의 액체재료(56)의 도포 동작이 종료한다. 이 후에, 현미경부(4)가 작동하여 연속 발진의 레이저 광(R)이 대물렌즈(12b~12e)의 하나를 통해 상기 도포면에 도포된 액체재료(56)에 조사되어, 그 액체재료(56)가 경화하고, 수정된 녹색(G)의 필터층(57)이 형성된다(도 9(d) 참조).

또한, 컬러필터(W)의 복수색의 필터층에 결함부가 있는 경우에는, 하나의 색의 필터층의 수정이 끝날 때마다, 마찬가지로, 제어부(46)의 지령으로 모터 드라이버(45)를 통해, X, Y, Z축 서보 모터(50, 51, 52)가 적절히 작동되어 상기 액체재료 토출부가 컬러필터(W)의 결함부인 액체재료 도포 영역으로 이동됨과 동시에, 산출용 펄스 모터(32)가 작동되어 결함부가 있는 필터층의 색에 대응하는 액체재료(수정 잉크)가 충전된 디스펜서(26)(26A~26D)가 순차 적절히 선택되어 상기 액체재료 도포 위치(P)에 위치 결정되어, 제어 컴퓨터(49)의 지령에 의한 압력인가 기구(28)의 작용에 의해, 소요 액체재료가 상기 도포면에 도포된다. 그리고, 상기 액체재료의 도포 작업이 계속됨으로써, 어느 것인가의 디스펜서(26) 내에 액체재료가 없어진 경우에는, 상기 디스펜서 카트리지(34)마다 새로운 디스펜서 카트리지로 교환하고, 액체재료 토출부(7)에 액체재료를 보급한다. 그 경우에는, 디스펜서 카트 리지(34)는 볼트(38)를 선회부재(33)에 대해 탈착함으로써 용이하게 교환할 수 있다.

상술과 같이, 본 실시형태에 관한 액체재료 공급장치는, 다른 색의 수정 잉크가 개개로 충전된 복수의 디스펜서(26)를 갖고 지지체(3, 22, 23, 25)에 지지된 액체재료 토출부(7)와, 각 디스펜서(26) 내의 수정 잉크에 가스압을 인가하여 디스펜서(26)의 선단으로부터 미소량의 수정 잉크를 토출시키는 압력인가 기구(28)와, 상기 지지체(3, 22, 23, 25)와 컬러필터를 고정한 테이블(1)을 X, Y, Z축 방향으로 상대적으로 이동시켜, 상기 액체재료 토출부(7)를 상기 컬러필터(W)의 액체재료 도포 위치(P)로 이동시키는 구동장치를 구비함과 동시에, 상기 액체재료 토출부(7)에는, 복수의 디스펜서(26)의 하나를 선택하여 그 선단부(26a)를 컬러필터(W) 상의 소정의 액체재료 토출 위치(액체재료 도포 위치(P))에 이동 위치 결정시키는 디스펜서 교환기구(27)가 설치된 구성으로 되어 있다.

따라서, 상기 실시형태에 관한 액체재료 공급장치에 의하면, 다른 색의 수정 잉크가 개개로 충전되어 준비된 복수의 디스펜서(26)로부터, 액체재료 토출부(7)에 설치한 디스펜서 교환기구(27)에 의해, 소요 수정 잉크가 충전된 디스펜서(26)를 선택하여 컬러필터(W)의 액체재료 도포 위치(P)로 이동시킬 수 있기 때문에, 복수의 다른 색의 수정 잉크를 도포할 필요가 있는 컬러필터(W)에 대해, 소요 종류의 수정 잉크를 신속, 용이하게 소정의 도포 개소에 공급하여 도포할 수 있어, 수정 잉크의 도포 작업을 효율적으로 행할 수 있다.

또, 상기 디스펜서 교환기구(27)는 Z축에 교차하는 축선(S) 둘레에 산출용 펄스 모터(32)에 의해 회전하는 선회부재(33)를 구비하고, 상기 복수의 디스펜서(26)가, 그 선단부(26a)를 상기 선회부재(33)의 회전 중심(C)을 중심으로 하는 원호(r) 상에 소정 간격을 두고 배치되어 선회부재(33)에 지지된 구성으로 되어 있기 때문에, 디스펜서(26)의 교환을 단시간에 정밀하게 액체재료 도포 위치(P)로 이동시킬 수 있음과 동시에, 디스펜서 교환기구(27) 내의 복수의 디스펜서(26) 중 하나의 디스펜서(예를 들면 26A)에 의한 도포 작업중, 수정 잉크의 도포에 작용하고 있지 않은 다른 디스펜서(이 경우, 26B~26D)는, 그들 선단부(26a)가 컬러필터(W)의 도포면으로부터 완전하게 멀어진 상태가 되기 때문에, 그 다른 디스펜서의 선단에 의해 컬러필터(W)가 손상되는 것을 확실히 방지할 수 있다.

또, 상기 각 디스펜서(26)는, 디스펜서 홀더(35)에 상기 원호(r) 상을 따르도록 배치되어 고정된 디스펜서 카트리지(34)로서 구성되고, 그 디스펜서 카트리지(34)가 상기 선회부재(33)에 착탈 자유롭게 고정되도록 설치된 구성으로 되어 있기 때문에, 디스펜서(26) 내에 수정 잉크가 없어진 경우에는, 디스펜서 카트리지(34)마다 새로운 디스펜서 카트리지(34)로 교환함으로써, 신속, 용이하게 액체재료 공급부(7)에 수정 잉크를 보급할 수 있다.

또한, 상기 디스펜서 카트리지(34)는, 각 디스펜서(26)가, 그들 원통부(26b)를 디스펜서 홀더(35)에 소정 간격을 두고 형성한 직사각형 단면의 복수의 장착 홈(35a)에 각각 장착되고, 또한 탄성 부재(35b)에 의해 상기 원통부(26b)가 장착 홈(35a)의 모서리부에 가압되어 고정된 구성으로 되어 있기 때문에, 디스펜서 홀더(35)에 디스펜서(26)를 용이하게, 또한 정확하게 위치 결정하여 고정하여 디스펜서 카트리지(34)를 조립할 수 있다.

또한, 상기 실시형태에 관한 액체재료 공급장치에 있어서는, 컬러필터의 결함부(54 등)를 수정하는 경우에, 액체재료로서 복수 색의 필터층에 대응하는 수정 잉크를 소정의 도포면에 도포하는 예에 대해 설명했지만, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 예를 들면, 전자회로 기판(피토출체)에 형성된 배선의 단선부를 보수할 때, 마스킹제나 도전성 용액을 디스펜서 카세트에 충전해 두고, 배선의 단선부에 마스킹제를 도포하여 레이저 가공기에 의해 단선부를 정형 가공한 후에, 그 정형 가공부에 도전성 용액을 도포하는 경우에도 적용할 수 있다.

복수의 다른 액체재료를 도포할 필요가 있는 컬러필터나 전자회로 기판에 대해, 소요 종류의 액체재료를 신속, 용이하게 소정의 도포 개소에 공급하여 도포할 수 있어, 액체재료의 도포 작업을 효율적으로 행할 수 있다.

Claims

다른 액체재료가 개개로 충전된 복수의 디스펜서를 갖고 지지체에 지지된 액체재료 토출부와, 각 디스펜서 내의 액체재료에 가스압을 인가하여 디스펜서의 선단으로부터 미소량의 액체재료를 토출시키는 압력인가 기구와, 상기 지지체와 상기 액체재료가 토출되는 피토출체를 고정한 테이블을 상대적으로 이동시켜, 상기 액체재료 토출부를 상기 피토출체의 액체재료 도포 위치로 이동시키는 구동장치를 구비한 액체재료 공급장치에 있어서,

상기 액체재료 토출부에는, 상기 복수의 디스펜서의 하나를 선택하여 그 선단부를 상기 피토출체 상의 소정의 액체재료 토출 위치에 이동 위치 결정시키는 디스펜서 교환기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체재료 공급장치.
청구항 1에 있어서,

상기 액체재료 토출 위치를 통과하고, 상기 테이블의 상기 피토출체를 고정하는 면과 직교하는 축에 대해, 상기 디스펜서 교환기구는, 이 축에 교차하는 축선 둘레에 회전 구동장치에 의해 회전하는 선회부재를 구비하고,

상기 복수의 디스펜서가, 그 선단부가 상기 선회부재의 회전 중심을 중심으로 하는 원호선 상에 소정 간격을 두고 배치되도록, 그 선회부재에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 액체재료 공급장치.
청구항 2에 있어서,

상기 복수의 디스펜서를 상기 원호 상을 따르도록 배치하여 고정하는 디스펜서 홀더를 구비하고,

상기 복수의 디스펜서가 고정된 디스펜서 홀더를, 디스펜서 카트리지로 하여, 상기 선회부재에 착탈 자유롭게 고정하도록 한 것을 특징으로 하는 액체재료 공급장치.
청구항 3에 있어서,

각 디스펜서는 원통부를 갖고,

상기 디스펜서 홀더는, 상기 복수의 디스펜서에 대응하는 복수의 장착 홈을 갖고, 그 장착 홈은 소정 간격을 두고 형성되고, 단면 직사각형의 형상을 갖고,

상기 디스펜서 카트리지에 있어서, 각 디스펜서의 원통부가 상기 디스펜서 홀더의 각 장착 홈에 장착되고, 또한 탄성 부재에 의해 상기 원통부가 그 장착 홈의 모서리부에 가압되어 고정된 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 액체재료 공급장치.
청구항 1에 기재한 액체재료 공급장치를 구비한, 컬러필터의 결함수정 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 피토출체로서의 컬러필터 상의 결함부를 레이저로 미리 정형 가공하는 수단과,

토출된 상기 액체재료를 레이저에 의해 경화시키는 수단을 갖고,

레이저 가공시의 대물렌즈와, 레이저 경화시의 대물렌즈를 치환함으로써, 단일의 레이저 조사계를 이용하여 상기 레이저 가공 및 레이저 경화를 행하는 것을 특징으로 하는, 컬러필터의 결함수정 장치.