JP2006136864A - 液体材料供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液体材料供給装置は、異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサ26を有して支持体に支持された液体材料吐出部7と、各ディスペンサ26内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサ26の先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、支持体とカラーフィルタ(被吐出体)Wを固定したテーブルとをX,Y,Z軸方向に相対的に移動させて、液体材料吐出部7をカラーフィルタWの液体材料塗布位置Pへ移動させる駆動装置とを備え、液体材料吐出部7には、複数のディスペンサ26の1つを選択してその先端部をカラーフィルタW上の所定の液体材料吐出位置(液体材料塗布位置)Pに移動位置決めさせるディスペンサ交換機構27が設けられている。
【選択図】 図4
Description
すなわち、請求項1に係る液体材料供給装置は、異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサを有して支持体に支持された液体材料吐出部と、各ディスペンサ内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサの先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、前記支持体と前記液体材料が吐出される被吐出体を固定したテーブルとをX,Y,Z軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部を前記被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置とを備えた液体材料供給装置において、
前記液体材料吐出部に、複数のディスペンサの1つを選択してその先端部を被吐出体上の所定の液体材料吐出位置に移動位置決めさせるディスペンサ交換機構が設けられていることを特徴としている。
請求項1に係る液体材料供給装置によれば、異なる液体材料が個々に充填されて用意された複数のディスペンサから、液体材料吐出部に設けたディスペンサ交換機構によって、所要のディスペンサを選択して被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させることができるので、複数の異なる液体材料を塗布する必要がある電子回路基板に対して、所要の種類の液体材料を迅速、容易に所定の塗布箇所に供給して塗布することができて、液体材料の塗布作業を効率的に行うことができる。
請求項4に係る液体材料供給装置によれば、ディスペンサホルダにディスペンサを容易に、かつ正確に位置決めして固定してディスペンサカートリッジを組み立てることができる。
図1において、Mは本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を装備したカラーフィルタの欠陥修正装置である。該カラーフィルタの欠陥修正装置Mは、カラーフィルタ(液体材料が吐出される被吐出体)Wを載置して架台(図示せず)上にY軸サーボモータ51(図1では図示せず、図7参照)によってY軸方向(図1で紙面に垂直な方向)yに移動するように設けられたテーブル1と、該テーブル1の上方に配置されたX軸ビーム2に支持されてX軸サーボモータ(図1では図示せず、図7参照)によってX軸方向(図1で左右方向)xに移動するように設けられたサドル(支持体)3と、該サドル3にそれぞれ支持された顕微鏡部4、撮像部5、照明用投光部6と、前記サドル3に支持された本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置における液体材料吐出部7とを備えている。
前記撮像部5は、前記レーザ光軸L上に配置された光学系13において、前記アパーチャー機構10と前記結像レンズ11との間に設けた第1ハーフミラー14と、該ハーフミラー14に対向して設けた第2ハーフミラー15と、該第2ハーフミラー15の上方に配置されたCCDカメラ(撮像手段)16とを備え、前記照明投光器6によって照明されるテーブル1上のカラーフィルタWを、前記光学系13と前記第1、第2ハーフミラー14,15を介して前記CCDカメラ16で撮像するようになっている。
前記支持板25の下端には、光軸をZ軸方向zに沿わせた複数個の対物レンズ12が、図1で右端部の倍率が塗布に最適な塗布用レンズ12aとこれより倍率の高い対物レンズ12b〜12eとが順にX軸方向xに沿って整列して取り付けられている。
前記X,Y,Z軸サーボモータ50,51,52等は、前記テーブル1と前記サドル3、昇降板22、可動板23、支持板25等の支持体とを、X,Y,Z軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部7を前記カラーフィルタWの液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置を構成している。
各ディスペンサ26は、先端部26aが先細に絞られ基端側が大径の円筒部26bに形成された中空のガラス製ピペットからなり、先端部26aを前記ディスペンサホルダ35から前方へ(図4で右下方、図5で手前側へ)突き出され、円筒部26bを前記装着溝35a内にその一方(図5で左方)の角部に沿わせて装着され、接着もしくは各装着溝35a内に設けた一対の弾性部材35bの付勢力によって溝壁に押圧されて装着溝35a内に保持されている。前記ディスペンサホルダ35には、ディスペンサ26が前記装着溝35aから外側に抜け出すのを防ぐために、ホルダカバー36が着脱可能に取り付けられている。
また、前記各ディスペンサ26には、それぞれ、可撓性を有するエアーチューブ41が、その弾力性を有するコネクタ41aの内孔に前記円筒部26bの基端部側を気密に差し込んで接続されており、前記各コネクタ41aは、半割りの上コネクタホルダ42a(図6で下側のもの)と下コネクタホルダ42b(図6で上側のもの)とに挟み着けられ、該上、下コネクタホルダ42a,42bを介して前記ディスペンサホルダ35に支持され、各ディスペンサ26からエアチューブ41が外れないようになっている。なお、前記上、下コネクタホルダ42a,42bは、それらに設けたフック42a1,42b1が前記ディスペンサホルダ35に設けた係合溝35f,35gに着脱可能に係合されて、該前記ディスペンサホルダ35に取り付けられるようになっている。
前記各エアチューブ41のディスペンサホルダ35と反対側の端部は前記サドル3に取り付けた圧力印加機構28に接続され、該圧力印加機構28から各ディスペンサ26に所定のパルス状のガス圧が作用するようになっている。
また、前記制御空圧コントローラ49は、制御コントローラ44からの指令で動作して前記圧力印加機構28を作動させて、各ディスペンサ26に充填された異なる種類の液体材料に応じて設定された圧力とその付加時間により、各ディスペンサ26にパルス状のガス圧を印加させるようになっている。
基板53に緑Gと赤Rと青Bの各フィルタ層と黒色のマトリックス層BMの着色層を有するカラーフィルタWは、予め、検査装置によって、例えば、緑Gのフィルタ層に色抜けした欠陥部54が検出されている場合(図9(a)参照)、前記X,Y,Z駆動装置が作動されて、前記テーブル1上に載置したカラーフィルタWの前記欠陥部54の位置に、前記顕微鏡部4の光学系13の光軸Lが合わせられて、パルス発振のレーザ光Rがレーザ加工用の対物レンズ12b〜12eの1つを通して前記欠陥部54に照射され、欠陥部54が所定の形状に整形加工される(図9(b)参照)。
さらに、前記ディスペンサカートリッジ34は、各ディスペンサ26が、それらの円筒部26bをディスペンサホルダ35に所定間隔をあけて形成した矩形断面の複数の装着溝35aにそれぞれ装着され、かつ弾性部材35bによって前記円筒部26bが装着溝35aの隅部に押圧されて固定された構成とされているので、ディスペンサホルダ35にディスペンサ26を容易に、かつ正確に位置決めして固定してディスペンサカートリッジ34を組み立てることができる。
3 サドル(移動体)
7 液体材料吐出部
12 対物レンズ
12a 塗布用対物レンズ
13 光軸
22 昇降板(支持体)
23 可動板(支持体)
24 サーボモータ
25 支持板(支持体)
25a サーボモータ
26 ディスペンサ
27 ディスペンサ交換機構
28 圧力印加機構
32 割出用パルスモータ
33 旋回部材
34 ディスペンサカートリッジ
35 ディスペンサホルダ
36 ホルダカバー
41 エアーチューブ
46 制御部
49 制御空圧コントローラ
50,51,52 X,Y,Z軸サーボモータ(駆動装置)
C 回転中心
E 半径
P 液体材料塗布位置(液体材料吐出位置)
W カラーフィルタ(被吐出体)
r 円弧
Claims (4)
- 異なる液体材料が個々に充填された複数のディスペンサを有して支持体に支持された液体材料吐出部と、各ディスペンサ内の液体材料にガス圧を印加してディスペンサの先端から微少量の液体材料を吐出させる圧力印加機構と、前記支持体と前記液体材料が吐出される被吐出体を固定したテーブルとをX,Y,Z軸方向に相対的に移動させて、前記液体材料吐出部を前記被吐出体の液体材料塗布位置へ移動させる駆動装置とを備えた液体材料供給装置において、
前記液体材料吐出部には、複数のディスペンサの1つを選択してその先端部を被吐出体上の所定の液体材料吐出位置に移動位置決めさせるディスペンサ交換機構が設けられていることを特徴とする液体材料供給装置。 - 前記ディスペンサ交換機構はZ軸に交差する軸線回りに回転駆動装置によって回転する旋回部材を備え、前記複数のディスペンサが、その先端部を前記旋回部材の回転中心を中心とする円弧線上に所定間隔をあけて配置されて旋回部材に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の液体材料供給装置。
- 前記各ディスペンサは、ディスペンサホルダに前記円弧上に沿うように配置されて固定されたディスペンサカートリッジとして構成され、該ディスペンサカートリッジが前記旋回部材に着脱自在に固定されるように設けられていることを特徴とする請求項2に記載の液体材料供給装置。
- 前記ディスペンサカートリッジは、各ディスペンサが、それらの円筒部をディスペンサホルダに所定間隔をあけて形成した矩形断面の複数の装着溝にそれぞれ装着され、かつ弾性部材によって前記円筒部が装着溝の隅部に押圧されて固定された構成とされていることを特徴とする請求項3に記載の液体材料供給装置。
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