KR102348483B1 - 스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈 및 이를 포함하는 기판의 리페어 장치 - Google Patents

Abstract

노즐에서 기판을 향해 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈에 있어서, 상기 기판의 상측 공간 위치로 3축 모션을 통해 이동하는 XYZ스테이지; 상기 XYZ스테이지와 결합되며, 노즐팁에 대한 Z축 위치를 변경시키는 스위블스테이지; 상기 스위블스테이지와 결합되며, 상기 노즐이 탈부착되게 하는 노즐홀더;를 포함하는 스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈을 제공한다.

Description

스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈 및 이를 포함하는 기판의 리페어 장치{INKJET NOZZLE MODULE WITH SWIVEL MOTION AND APPARATUS FOR REPAIRING SUBSTRATE COMPRISING THE SAME}

본 발명은 기판에 발생된 결함을 잉크를 사용하여 수리하기 위한 잉크젯 노즐 모듈 및 이를 포함하는 기판의 리페어 장치에 관한 것이다.

디스플레이 패널은 이미지, 영상 등의 시각 정보를 표시하는 장치이다. 이런 디스플레이 패널은 기술의 발달, IT 트렌드의 변화에 따라 동일 면적에 더 많은 화소, 데이터라인 등을 포함하는 추세에 있다. 그 결과, 데이터라인 등을 포함하는 금속 배선은 매우 미세한 선폭으로 형성되고, 디스플레이 패널의 제조 공정에는 금속 배선이 단선되는 등의 불량이 발생한다. 이와 같이, 금속 배선에 대한 단선 등 결함이 발생하면 리페어 장치를 통해 이를 수리하게 된다. 그리고, 리페어 장치에는 결함 영역에 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈이 장착되어 있다.

그러나, 종래 잉크젯 노즐 모듈은 잉크 예를 들어, 전도성 잉크(Conductive Ink)와 절연성 잉크(Passivation Ink)를 각각 토출시키는 2개의 노즐이 서로 대칭되는 위치에 양팔 구조로 배치되는 형태로 이루어져 있었다. 즉, 기존 잉크젯 노즐 모듈은 전도성 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈 1, 절연성 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈 2로 구성되었다. 이 때, 잉크젯 노즐 모듈 1과 잉크젯 노즐 모듈 2에는 각각 X스테이지, Y스테이지 및 Z스테이지를 포함하고 있어, 잉크젯 노즐 모듈에는 총 6개의 축 스테이지가 사용되었다. 또한, 리페어 장치에는 잉크젯 노즐 모듈을 통한 작업 과정을 시각적으로 확인하기 위해 별도의 VMU 광학계가 설치되었다.

그러나, 이런 잉크젯 노즐 모듈의 구조는 위치 결정을 위한 정밀도를 저하시켰으며, 각 노즐을 통한 작업의 소요 시간을 증가시키는 결과를 초래하였다. 또한, 잉크젯 공정 이후 진행되는 레이저 공정에는 메인 광학계에 대한 위치 결정이 수반되는데, 이 또한 일정 시간이 소요되는 이유로 종래 리페어 공정은 택트 타임 측면에서 불리하다는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-1735820호 (2017. 5. 08. 등록) 대한민국 공개특허 제10-2018-0121470호 (2018. 11. 07. 공개) 대한민국 공개특허 제10-2019-0102864호 (2019. 9. 4. 공개)

본 발명의 실시예는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 단일 모듈에 다수 개의 노즐이 부착될 수 있어, 각 노즐에 대한 위치 결정을 위해 소요되던 부품의 개수, 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 잉크젯 노즐 모듈을 제공하고자 한다. 또한, 리페어 공정 뿐만 아니라, 컬러필터 제조 공정 등에도 사용될 수 있는 잉크젯 노즐 모듈을 제공하고자 한다. 또한, 위치 결정의 정밀도를 보다 향상시킬 수 있는 잉크젯 노즐 모듈을 제공하고자 한다. 또한, 다수 개의 각 노즐 사이에서 간이한 동작으로 사용 노즐을 변경할 수 있는 잉크젯 노즐 모듈을 제공하고자 한다.

잉크젯 노즐 모듈을 위한 광학계 대신 기존 광학부를 사용하여 작업 과정을 확인하기 위해 소요되던 부품의 개수, 소요되는 시간을 감소시킬 수 있는 기판의 리페어 장치를 제공하고자 한다. 또한, 보다 단순화된 구조를 갖는 기판의 리페어 장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 실시예는 상기와 같은 과제를 해결하고자, 노즐에서 기판을 향해 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈에 있어서, 상기 기판의 상측 공간 위치로 3축 모션을 통해 이동하는 XYZ스테이지; 상기 XYZ스테이지와 결합되며, 노즐팁에 대한 Z축 위치를 변경시키는 스위블스테이지; 상기 스위블스테이지와 결합되며, 상기 노즐이 탈부착되게 하는 노즐홀더;를 포함하는 스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈을 제공한다.

상기 스위블스테이지는 상기 노즐팁이 레디위치에서 잉크가 토출되는 제팅위치로 이동되도록 스위블 모션을 제공할 수 있다.

상기 레디위치와 상기 제팅위치 사이의 Z축 거리는 10mm 이내인 것이 바람직하다.

상기 노즐홀더에는 적어도 하나 이상의 노즐이 결합되며, 결합 상태에서 상기 노즐팁에 대한 Z축 위치는 상기 노즐홀더의 중간 지점에서 양단 지점으로 갈수록 점차 높아지는 것이 바람직하다.

상기 노즐이 다수 개 결합되면, 상기 스위블스테이지에 의한 구동으로 상기 노즐 사이에서 사용 노즐이 변경될 수 있다.

잉크젯노즐모듈; 상기 잉크젯노즐모듈이 장착되는 갠트리부; 및 상기 갠트리부에 설치되며, 레이저부에서 발생되는 레이저빔의 광 경로와 동축 상의 광 경로를 갖도록 형성되는 광학부;를 포함하며, 상기 잉크젯노즐모듈을 통한 잉크젯 공정은 상기 광학부에 의한 영상을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어 장치를 제공한다.

상기 갠트리와 상기 광학부 사이에는 상기 광학부의 Z축 위치를 변경시키는 광학Z스테이지가 더 형성될 수 있다.

상기 노즐팁은 제팅위치에서 상기 광학부의 촬영영역 내에 위치하는 것이 바람직하다.

상기 잉크젯 공정이 종료되면, 상기 노즐팁은 스위블 모션에 의해 상기 제팅위치에서 레디위치로 이동된 이후, XYZ스테이지에 의한 X축 또는 Y축 모션에 의해 상기 촬영영역 내에서 이탈하도록 이동되는 것이 바람직하다.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 과제해결 수단에 의하면 다음과 같은 사항을 포함하는 다양한 효과를 기대할 수 있다. 다만, 본 발명이 하기와 같은 효과를 모두 발휘해야 성립되는 것은 아니다.

본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈은 단일 모듈에 다수 개의 노즐이 부착될 수 있어, 각 노즐에 대한 위치 결정을 위해 소요되던 부품의 개수, 소요되는 시간을 감소시킬 수 있다. 또한, 리페어 공정 뿐만 아니라, 컬러필터 제조 공정 등에도 사용될 수 있다. 또한, 스위블스테이지를 통해 노즐팁의 Z축 위치를 변경시키는 동작으로 위치 결정의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 스위블 모션을 통해 각 노즐 사이에서 사용 노즐을 간이하게 변경시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 리페어 장치는 잉크젯 노즐 모듈을 위한 광학계 대신 기존 광학부를 사용하여 작업 과정을 확인하기 위해 소요되던 부품의 개수, 소요되는 시간을 감소시킬 수 있다. 또한, 그로 인해 기판 리페어 장치의 구조를 보다 단순화시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈에 대한 구성도.
도 2는 스위블 모션 과정에 따른 노즐의 위치 변화를 보여주는 도면.
도 3은 스위블 모션에 따라 노즐팁이 레디위치에서 제팅위치로 변경될 때의 관계도.
도 4는 노즐홀더에 다수 개의 노즐이 부착된 상태를 도시한 개략도.
도 5는 도 1의 잉크젯 노즐 모듈을 포함하는 기판의 리페어 장치에서, 잉크젯 공정 종료 후 잉크젯 노즐 모듈의 동작을 보여주는 도면.

이하, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능에 대하여 이 분야의 기술자에게 자명한 사항으로서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈에 대한 구성도이고, 도 2는 스위블 모션 과정에서 노즐의 위치 변화를 보여주는 도면이며, 도 3은 스위블 모션에 따라 노즐팁이 레디위치에서 제팅위치로 변경될 때의 관계도이고, 도 4는 노즐홀더에 다수 개의 노즐이 부착된 상태를 도시한 개략도.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈은 XYZ스테이지(10), 스위블스테이지(20), 노즐홀더(30), 노즐(40) 등을 포함한다. 여기서, 잉크젯 노즐 모듈(100)은 각 종 잉크젯 장치 예를 들어, E.H.D(Electro Hydro Dynamics) 잉크젯 장치, 공압 토출 방식의 잉크젯 장치, 레이저 화학기상증착 장치(LCVD) 등에 일 부품으로 사용될 수 있다. 잉크젯 노즐 모듈(100)은 반도체 기판, 디스플레이 패널, PCB 기판 등을 포함하는 다양한 유형의 기판(400)에 대해 잉크를 토출시키거나, 도포하는 공정을 수행할 수 있다. 보다 구체적으로, 잉크젯 공정은 사용되는 잉크에 따라 예를 들어, 리페어 공정, 컬러필터 제조 공정, 각 종 회로 제조 공정 등에 활용될 수 있다.

잉크젯 노즐 모듈(100)은 노즐(40)을 이용하여 기판(400)을 향해 잉크를 토출시키는 기능을 한다. 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈(100)은 디스플레이 패널에 발생되는 오픈결함, 쇼트결함 등의 결함을 리페어하기 위한 용도를 갖을 수 있다. 결함은 예를 들어, 패널에 형성된 데이터라인의 일부가 단선되는 오픈결함일 수 있다. 그리고, 잉크젯 노즐 모듈(100)은 이런 금속 배선층을 리페어할 수 있다.

XYZ스테이지(10)는 X스테이지(12), Y스테이지(14) 및 Z스테이지(16)가 결합되어, 3축 방향으로 각각 개별 제어되는 독립 모션을 통해 대상물을 어느 일 공간 위치로 이동시켜 위치 결정을 한다. 즉, XYZ스테이지(10)는 노즐(40)을 이송시키는 이송 수단이 된다. 한편, XYZ스테이지(10)는 X-Y-Z, X-Z-Y, Y-X-Z 등 다양한 조합으로 서로 결합될 수 있다.

XYZ스테이지(10)는 기판(400)의 상측 공간 위치로 3축 모션을 통해 이동할 수 있다. 즉, XYZ스테이지(10)는 수평 방향(horizontal)과 수직 방향(vertical)으로 각각 위치 결정할 수 있다. XYZ스테이지(10)는 스텝 단위로 구동되며, X스테이지 등(12)(14)(16)은 예를 들어, 리니어 모터를 사용하여 최대 스트로크 범위 이내에서 마이크로 미터(μm) 단위의 초정밀 위치 제어가 가능하다.

스위블스테이지(20)는 XYZ스테이지(10)와 결합되며, 노즐팁(42)에 대한 Z축 위치를 변경시킬 수 있다. 스위블스테이지(20)는 고정 스테이지와 모터에 의해 구동되는 구동 스테이지를 포함한다. 스위블스테이지(20)는 소정의 회전 각도 범위 이내에서 정방향과 역방향 사이를 왕복 이동하는 구동 스테이지를 통해 위치 결정을 한다. 구동 스테이지의 동작에 따른 움직임을 스위블 모션이라고 한다.

일 실시예에 따른 스위블스테이지(20)는 노즐(40)의 일 단부인 노즐팁(42)(nozzle tip)에 대한 특히, Z축 위치를 변경시키기 위한 용도를 갖는다. 구체적으로, 스위블스테이지(20)는 노즐팁(42)이 레디(ready)위치에서 잉크가 토출되는 제팅(jetting)위치로 이동되도록 스위블 모션을 제공할 수 있다. 레디위치(RP)는 미리 설정되는 제팅위치(JP)에서 Z축 방향으로 상방에 위치하는 지점을 의미한다.

예를 들어, 레디위치(RP)에 대한 공간 좌표가 x1, y1, z1이고, 제팅위치(JP)에 대한 공간 좌표가 x2, y2, z2라고 상정한다. 여기서, 일 실시예에 따른 레디위치(RP)와 제팅위치(JP) 사이의 Z축 거리는 10mm 이내인 것이 바람직하다. 즉, 스위블 모션에 의해 노즐팁(42)은 z1과 z2 사이의 거리가 최대 10mm 이내에서 그 공간 좌표가 변경될 수 있다. 이 때, x1과 x2 사이의 거리는 수십 내지 수백 마이크로 미터(μm) 이내에서 변경될 수 있다. 또한, y1과 y2 사이의 거리 역시 수십 내지 수백 마이크로 미터(μm) 이내에서 변경될 수 있다. 한편, z1과 z2 사이의 최소 거리는 작업자에 의해 미리 설정할 수 있다. 이는, 노즐팁(42)이 레디위치(RP)에서 수평 방향으로 이동하는 경우, 기판(400)에 대한 간섭이 발생되지 않도록 고려한다.

이런 스위블스테이지(20)는 레디위치(RP)에서 노즐팁(42)에 대한 특히 Z축 방향에 대한 고정밀도의 위치 제어를 가능하게 한다. 이를 위해, 스위블스테이지(20)는 미회전 상태에서 구동 스테이지가 연직 상방을 향하거나 연직 하방을 향하도록 배치될 수 있다. 도 1에서, 스위블스테이지(20)는 연직 하방을 향해 배치되어 있다. 이와 달리, 스위블스테이지(20)는 XYZ스테이지(10) 상측에 결합되며 연직 상방을 향하도록 배치될 수 있다. 한편, 스위블스테이지(20)는 XYZ스테이지(10)와의 결합 관계나 그 결합 방향에 따라, 스위블 모션이 있더라도 x1과 x2 사이의 거리 및 y1과 y2 사이의 거리 중 어느 하나의 거리가 제로가 되도록 할 수 있다.

스위블스테이지(20)는 3축 방향으로 직선 모션하는 XYZ스테이지(10)와 결합되어 잉크젯 노즐 모듈(100)에 대한 위치 결정의 정밀도를 향상시킨다. 그 결과, 레디위치(RP)에서 Z스테이지는 동작하지 않도록 제어된다.

노즐홀더(30)는 스위블스테이지(20)에 결합된다. 노즐홀더(30)는 스위블스테이지(20)에 노즐(40)을 셋팅하기 위한 용도를 갖는다. 이를 위해, 노즐홀더(30)에는 노즐(40)의 타 단부(노즐팁(42)의 정반대 부분)가 부착될 수 있는 턱(32) 등이 형성될 수 있다. 이 때, 노즐(40)의 길이는 미리 설정되는 노즐팁(42)의 공간 좌표에 따라 달라질 수 있다. 노즐(40)이 턱(32) 등을 통해 노즐홀더(30)에 부착되면 노즐팁(42)은 레디위치(RP)에 위치하게 된다. 한편, 이런 노즐홀더(30)의 형상은 어느 일 형상으로 한정되지 않는다. 또한, 턱의 위치나 그 개수 역시 한정되지 않는다.

한편, 노즐(40)은 반복적으로 교체되며, 이는 탈부착되는 과정을 반드시 수반한다. 또한, 일 실시예에 따른 노즐홀더(30)에는 적어도 하나 이상의 노즐(40)이 결합될 수 있다. 이 때, 노즐(40)은 서로 다른 종류의 잉크를 토출시키는 역할을 한다. 구체적으로, 잉크는 리페어를 위한 전도성 잉크, 절연성 잉크 등을 포함한다. 또한, 잉크는 컬러필터 제조를 위한 컬러 잉크 등을 더 포함할 수 있다. 한편, 노즐홀더(30)에 셋팅되는 노즐(40)의 개수는 스위블스테이지(20)의 크기, 노즐홀더(30)의 형상, 턱의 개수 등에 따라 제한될 수 있다.

노즐(40)이 노즐홀더(30)에 다수 개 결합되는 경우, 결합 상태에서 노즐팁(42)에 대한 Z축 위치는 노즐홀더(30)의 중간 지점에서 양단 지점으로 갈수록 점차 높아진다. 이는, 스위블 모션에 따른 스위블스테이지(20)의 구동 각도를 고려한 것이다. 한편, 노즐(40)이 다수 개 결합되는 경우, 각 공정에 대응되는 어느 하나의 노즐(40)이 선택되고 해당 노즐이 사용되기 위해서는 먼저 사용 상태를 변경하는 것이 필요하다. 스위블스테이지(20)는 구동 스테이지의 구동을 통해 다수 개의 노즐(40) 사이에서 사용 노즐을 변경시킬 수 있다. 예를 들어, 노즐 1에서 노즐 2로 사용 노즐을 변경하고자 하면, 스위블스테이지(20)를 정방향 또는 역방향으로 구동하여, 노즐 2의 팁 위치를 레디위치(RP)로 이동시키면 된다.

이와 같이, 일 실시예에 따른 잉크젯 노즐 모듈(100)은 다수 개의 노즐팁(42)에 대한 위치 결정을 위해 XYZ스테이지(10) 1개, 스위블스테이지(20) 1개를 사용하여, 단일 모듈 내에 사용되는 모터 스테이지의 전체 개수를 최소화할 수 있다. 그로 인해, 잉크젯 노즐 모듈(100)은 노즐팁(42)에 대한 위치 결정에 있어, 1μm 이내의 위치 정밀도를 제공할 수 있다. 또한, 단일 개의 모듈 내에 다수 개의 노즐(40)이 부착될 수 있어, 서로 다른 종류의 잉크를 사용할 수 있는 바, 다양한 공정에서 사용할 수 있다.

도 5는 도 1의 잉크젯 노즐 모듈을 포함하는 기판(400)의 리페어 장치에서, 잉크젯 공정 종료 후 잉크젯 노즐 모듈의 동작을 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 기판(400)의 리페어 장치는 잉크젯노즐모듈(100), 갠트리부(미도시), 광학부(200), 제어부(미도시) 등을 포함할 수 있다. 잉크젯노즐모듈(100)은 앞에서 상술한 바, 이하 구체적 설명을 생략한다. 갠트리부(미도시)는 잉크젯노즐모듈(100)이 장착되는 부재로, 별도의 XY스테이지에 의해 기판(400) 상측 공간에서 수평 방향으로 이동할 수 있다. 이런 갠트리부는 거시 거동을 통해 리페어 등을 위한 작업 영역으로 신속하게 이동할 수 있다.

광학부(200)는 갠트리부에 설치되며, 레이저부에서 발생되는 레이저빔의 광 경로와 동축 상의 광 경로를 갖도록 형성된다. 광학부(200)는 예를 들어, 비전 카메라, 다수 개의 렌즈 및 미러 등을 포함할 수 있다. 한편, 잉크젯노즐모듈(100)을 통한 잉크젯 공정은 광학부(200)에 의한 영상을 통해 확인된다. 즉, 일 실시예에 따른 기판(400)의 리페어 장치는 레이저부를 위한 광학부(200)를 통해 잉크젯 공정의 작업 과정 역시 실시간 확인할 수 있다. 여기서, 잉크젯 공정은 잉크의 종류에 따라 달라질 수 있다. 이는 전술한 것처럼, 리페어 공정 등을 포함한다.

이를 위해, 노즐팁(42)은 제팅위치(JP)에서 광학부(200)의 촬영영역(D) 내에 위치한다. 한편, 잉크젯 공정이 종료되면, 노즐팁(42)은 스위블 모션에 의해 제팅위치(JP)에서 레디위치(RP)로 이동된다. 그 이후, 노즐팁(42)은 XYZ스테이지(10)에 의한 X축 또는 Y축 모션에 의해 촬영영역(D) 내에서 이탈하도록 이동된다. 즉, 일 실시예에 따른 노즐(40)은 노즐팁(42)이 레디위치(RP)일 때, X축 또는 Y축 방향으로 이동할 수 있다.

한편, 갠트리와 광학부(200) 사이에는 광학부(200)의 Z축 위치를 변경시키는 광학Z스테이지(300)가 더 형성될 수 있다. 이런 광학Z스테이지(300)는 광학부(200)를 연직 방향으로 상승 또는 하강시킬 수 있다. 제어부(미도시)는 잉크젯노즐모듈(100)을 구성하는 XYZ스테이지(10), 스위블스테이지(20), 광학Z스테이지(300), 갠트리의 위치 이동 등에 사용되는 각 모터를 제어할 수 있다. 제어부는 잉크를 토출하는 각 노즐(40)을 제어할 수 있다.

기판(400)의 리페어 장치를 이용한 잉크젯 공정 중 예를 들어, 리페어 공정이 종료되면, 레이저빔을 이용하여 토출된 잉크를 경화시키는 소결 공정이 후속된다. 이런 소결 공정에는 광학부(200)를 이용하며, 리페어된 부분에 한정하여 이루어진다. 그리고 이 때, 광학부(200)를 이용하면, 광학부(200)의 위치 결정에 소요되는 시간을 절약할 수 있는 바, 택트(tact) 타임을 줄일 수 있다.

또한, 다른 실시예에 따른 기판(400)의 리페어 장치는 소결 공정 이후 다시 컬러필터층을 형성하는 과정에서 잉크젯노즐모듈(100)을 사용할 수 있다. 이는, 스위블스테이지(20)에 의한 스위블 모션으로 사용 노즐을 변경함에 따라 가능할 수 있다. 즉, 어느 일 컬러가 토출되는 예를 들어, 노즐 3이 선택되는 과정에 의한다. 그 결과, 노즐 3의 팁은 레디위치(RP)로 이동, 변경될 수 있다.

이와 같이, 기판(400)의 리페어 장치는 노즐 별로 각각 위치 결정되던 방식에서 다수 개의 노즐(40)로 이루어진 노즐군에 대한 단일의 위치 결정 방식으로 변경되면서, 전체적인 축 스테이지의 개수를 감소시킬 수 있다. 그 결과, 위치 결정의 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

100 : 잉크젯노즐모듈 10 : XYZ스테이지
20 : 스위블스테이지 30 : 노즐홀더
40 : 노즐 42 : 노즐팁
RP : 레디위치 JP : 제팅위치
200 : 광학부 300 : 광학Z스테이지
400 : 기판 D : 촬영영역

Claims (9)

1. 노즐에서 기판을 향해 잉크를 토출시키는 잉크젯 노즐 모듈에 있어서,
   상기 기판의 상측 공간 위치로 3축 모션을 통해 이동하는 XYZ스테이지;
   상기 XYZ스테이지와 결합되며, 노즐팁에 대한 Z축 위치를 변경시키는 스위블스테이지; 및
   상기 스위블스테이지 중 구동스테이지와 결합되며, 상기 노즐이 탈부착되게 하는 노즐홀더;를 포함하고,
   레디위치는 미리 설정되는 제팅위치에서 Z축 방향으로 상방에 위치하는 지점이고,
   상기 레디위치에서 Z스테이지는 동작하지 않고, 상기 스위블스테이지는 상기 노즐팁이 상기 레디위치에서 잉크가 토출되는 상기 제팅위치로 이동되도록 하며,
   상기 레디위치와 상기 제팅위치 사이의 Z축 거리는 10mm 이내이고,
   상기 노즐은 상기 스위블스테이지가 미회전 상태에서 연직 상방을 향하거나 연직 하방을 향하도록 배치되며,
   상기 노즐홀더에는 적어도 하나 이상의 노즐이 결합되며, 상기 레디위치에서 상기 노즐에 대한 사용 상태가 변경되고, 상기 노즐의 길이는 미리 설정되는 상기 노즐팁의 공간 좌표에 따라 달라지는 스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,
   상기 노즐이 다수 개 결합되면, 상기 스위블스테이지에 의한 구동으로 상기 노즐 사이에서 사용 노즐이 변경되는 스위블 모션이 가미된 잉크젯 노즐 모듈.
6. 제1항 또는 제5항에 따른 잉크젯노즐모듈;
   상기 잉크젯노즐모듈이 장착되는 갠트리부; 및
   상기 갠트리부에 설치되며, 레이저부에서 발생되는 레이저빔의 광 경로와 동축 상의 광 경로를 갖도록 형성되는 광학부;를 포함하며,
   상기 잉크젯노즐모듈을 통한 잉크젯 공정은 상기 광학부에 의한 영상을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 갠트리와 상기 광학부 사이에는 상기 광학부의 Z축 위치를 변경시키는 광학Z스테이지가 더 형성되는 기판의 리페어 장치.
8. 제6항에 있어서,
   상기 노즐팁은 제팅위치에서 상기 광학부의 촬영영역 내에 위치하는 기판의 리페어 장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 잉크젯 공정이 종료되면,
   상기 노즐팁은 스위블 모션에 의해 상기 제팅위치에서 레디위치로 이동된 이후, XYZ스테이지에 의한 X축 또는 Y축 모션에 의해 상기 촬영영역 내에서 이탈하도록 이동되는 기판의 리페어 장치.

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