CN113628989A - 添加旋转运动的喷墨喷嘴模块及包括其的基板的修复装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其为在喷嘴向基板喷出油墨的喷墨喷嘴模块，上述喷墨喷嘴模块的特征在于，包括：XYZ载台，通过3轴运动移动到上述基板的上侧空间位置；旋转载台，与上述XYZ载台结合，改变相对于喷嘴尖端的Z轴位置；及喷嘴座，与上述旋转载台结合，供上述喷嘴安装和拆卸。

Description

添加旋转运动的喷墨喷嘴模块及包括其的基板的修复装置
技术领域
本发明涉及用于使用油墨修理在基板发生的缺陷的喷墨喷嘴模块及包括其的基板的修复装置。
背景技术
显示面板是显示如图片和图像等的视觉信息的装置。随着技术发达和IT趋势的改变，这种显示面板有在同一面积内包含更多的像素和数据线等的趋势。结果，包括数据线等的金属布线形成为具有非常微细的线宽，并且在显示面板的制造过程中出现如金属布线断开等的缺陷。如上所述，若发生如金属布线断开等的缺陷，则可以通过修复装置对其进行修理。而且，修复装置安装有用于将油墨喷出到缺陷区域的喷墨喷嘴模块。
然而，现有喷墨喷嘴模块具有分别喷出油墨例如导电油墨(Conductive Ink)和绝缘油墨(Passivation Ink)的两个喷嘴在彼此对称的位置以两臂结构布置的形态。也就是说，现有喷墨喷嘴模块由喷出导电油墨的喷墨喷嘴模块1和喷出绝缘油墨的喷墨喷嘴模块2构成。此时，喷墨喷嘴模块1和喷墨喷嘴模块2分别包括X载台、Y载台及Z载台，即，喷墨喷嘴模块中使用了总共六个轴载台。并且，在修复装置设置有用于视觉上确认通过喷墨喷嘴模块的工作过程的单独的VMU光学系统。
然而，这种喷墨喷嘴模块的结构降低定位精度，并导致增加通过每个喷嘴的工作所需的时间。另外，在喷墨工艺之后执行的激光过程陪伴对主光学系统进行定位，这也需要花费一定的时间，因此现有修复工艺存在在节拍时间方面不利的问题。
现有技术文献
(专利文献)
(专利文献1)韩国授权专利第10-1735820号(授权日：2017.5.8.)
(专利文献2)韩国公开专利第10-2018-0121470号(公开日：2018.11.07.)
(专利文献3)韩国公开专利第10-2019-0102864号(公开日：2019.9.4.)
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的实施例是为了解决上述问题而研制的，其旨在提供由于可以将多个喷嘴附着于单个模块而可以减少定位每个喷嘴所需的零件的数量和所需时间的喷墨喷嘴模块。另外，本发明旨在提供不仅可以用在修复过程中，而且可以用在滤色器的制造过程等中的喷墨喷嘴模块。并且，本发明旨在提供可以提高定位精度的喷墨喷嘴模块。另外，本发明旨在提供可以通过简单的工作改变在每个多个喷嘴之间的使用喷嘴的喷墨喷嘴模块。
本发明旨在提供代替用于喷墨喷嘴模块的光学系统使用现有光学部来可以减少确认工作过程所需的零件的数量和所需时间的基板的修复装置。并且，本发明旨在提供具有进一步简化的结构的基板的修复装置。
(二)技术方案
为了解决上述问题，本发明的实施例提供一种添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其为在喷嘴向基板喷出油墨的喷墨喷嘴模块，上述喷墨喷嘴模块的特征在于，包括：XYZ载台，通过3轴运动移动到上述基板的上侧空间位置；旋转载台，与上述XYZ载台结合，改变相对于喷嘴尖端的Z轴位置；及喷嘴座，与上述旋转载台结合，供上述喷嘴安装和拆卸。
上述旋转载台可以提供旋转运动，使得上述喷嘴尖端从预备位置移动到喷出油墨的喷射位置。
优选地，在上述预备位置和上述喷射位置之间的Z轴距离在10mm之内。
优选地，至少一个喷嘴结合到上述喷嘴座，在结合状态下相对于上述喷嘴尖端的Z轴位置从上述喷嘴座的中间地点越向两端地点越变高。
当多个上述喷嘴结合时，通过上述旋转载台的驱动在上述喷嘴之间可以改变使用喷嘴。
本发明提供一种基板的修复装置，其特征在于，包括：喷墨喷嘴模块；门架部，安装上述喷墨喷嘴模块；及光学部，设置在上述门架部，形成为具有与从激光部产生的激光束的光路同轴的光路，其中，通过借助上述光学部的图像确认通过上述喷墨喷嘴模块的喷墨工艺。
在上述门架部与上述光学部之间还可形成有改变上述光学部的Z轴位置的光学Z载台。
优选地，上述喷嘴尖端在喷射位置位于上述光学部的摄影区域内。
优选地，当上述喷墨工艺结束时，上述喷嘴尖端通过旋转运动从上述喷射位置移动到预备位置，然后以通过借助XYZ载台的X轴或Y轴运动从上述摄影区域内脱离的方式移动。
(三)有益效果
根据如上所述的本发明的解决问题的方案，可望达到包括如下的多种效果。但是，本发明并不是在实现如下所述的所有效果时才会成立的。
根据本发明的一实施例的喷墨喷嘴模块，由于可以将多个喷嘴附着于单个模块，因此可以减少定位每个喷嘴所需的零件的数量和所需时间。另外，不仅可以用在修复过程中，而且可以用在滤色器的制造过程等中。并且，通过借助旋转载台改变喷嘴尖端的Z轴位置的动作可以提高定位精度。另外，可以通过旋转运动容易地改变在每个喷嘴之间的使用喷嘴。
根据本发明的一实施例的基板的修复装置，代替用于喷墨喷嘴模块的光学系统使用现有光学部来可以减少确认工作过程所需的零件的数量和所需时间。此外，由此可以进一步简化基板的修复装置的结构。
附图说明
图1为本发明的一实施例的喷墨喷嘴模块的结构图。
图2为示出根据旋转运动过程的喷嘴的位置变化的图。
图3为喷嘴尖端根据旋转运动从预备位置变成喷射位置时的关系图。
图4为示出在喷嘴座附着多个喷嘴的状态的示意图。
图5为示出在包括图1的喷墨喷嘴模块的基板的修复装置中在喷墨工艺结束后的喷墨喷嘴模块的动作的图。
附图标记说明
100：喷墨喷嘴模块
10：XYZ载台
20：旋转载台
30：喷嘴座
40：喷嘴
42：喷嘴尖端
RP：预备位置
JP：喷射位置
200：光学部
300：光学Z载台
400：基板
D：摄影区域
具体实施方式
以下，在说明本发明的过程中，如果判断已知相关功能的冗余描述对于本领域技术人员而言是显而易见的，且对于本发明的要点是不必需的，其详细说明将被省略。此处使用的术语仅用于描述特定实施例，并且不预期限制本发明。用于单数的表达包含复数的表达，除非在上下文中具有清楚地不同意思。
在本申请中使用的“包括”、“具有”等用语表示具有说明书中记载的特征、数字、步骤、工作、构成要素、构件或其组合产物，而不应理解为排除一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、工作、构成要素、构件或其组合产物的存在或附加可能性。
下面，参照附图对本发明的具体实施例进行详细说明。
图1为本发明的一实施例的喷墨喷嘴模块的结构图，图2为示出根据旋转运动过程的喷嘴的位置变化的图，图3为喷嘴尖端根据旋转运动从预备位置变成喷射位置时的关系图，图4为示出在喷嘴座附着多个喷嘴的状态的示意图。
参照图1至图4，本发明的一实施例的喷墨喷嘴模块包括XYZ载台10、旋转载台20、喷嘴座30及喷嘴40等。其中，喷墨喷嘴模块100可以用作各种喷墨装置的一个零件，例如，电流体动力学(Electro Hydro Dynamics，E.H.D)喷墨装置、气动喷射式喷墨装置、激光化学气相沉积装置(LCVD)等的一个零件。喷墨喷嘴模块100可以执行将油墨喷出或涂布到包括半导体基板、显示面板及PCB基板等的各种类型的基板400的工艺。更具体而言，喷墨工艺可以根据使用的油墨用于例如修复工艺、滤色器制造工艺、各种电路制造工艺等。
喷墨喷嘴模块100起到使用喷嘴40将油墨向基板400喷出的作用。根据一实施例的喷墨喷嘴模块100可以具有用于修复如在显示面板中出现的开口缺陷和短缺陷等的缺陷的用途。缺陷可以是例如在面板上形成的数据线的一部分被断开的开口缺陷。此外，喷墨喷嘴模块100可以修复这种金属布线层。
在XYZ载台10中，X载台12、Y载台14及Z载台16被结合并通过在三轴方向上分别被单独控制的独立运动将物体移动到某个空间位置以定位。也就是说，XYZ载台10用作输送喷嘴40的输送手段。另一方面，XYZ载台10可以以如X-Y-Z、X-Z-Y及Y-X-Z等的各种组合彼此结合。
XYZ载台10可以通过3轴运动移动到基板400的上侧空间位置。即，XYZ载台10可以分别定位于水平方向(horizontal)和垂直方向(vertical)上。XYZ载台10以步进单位驱动，并且X载台12、Y载台14及Z载台16可以例如使用线性电动机在最大行程范围内以微米(μm)为单位进行超精确位置控制。
旋转载台20结合到XYZ载台10，且可以改变相对于喷嘴尖端42的Z轴位置。旋转载台20包括固定载台和由电动机驱动的驱动载台。旋转载台20通过在预定旋转角度范围内在正向和逆向之间往复运动的驱动载台进行定位。根据驱动载台的动作的运动被称为旋转运动。
根据一实施例的旋转载台20具有用于改变相对于作为喷嘴40的一端部的喷嘴尖端42(nozzle tip)的尤其Z轴位置的用途。具体而言，旋转载台20可以提供旋转运动，使得喷嘴尖端42从预备(ready)位置移动到喷出油墨的喷射(jetting)位置。预备位置RP是指在预先设定的喷射位置JP向Z轴方向位于上方的地点。
例如，假设预备位置RP的空间坐标为x1、y1及z1，并且喷射位置JP的空间坐标为x2、y2及z2。在此，优选地，根据一实施例的预准位置RP与喷射位置JP之间的Z轴距离在10mm以内。也就是说，通过旋转运动，喷嘴尖端42可以在z1与z2之间的距离为最大10mm内改变其空间坐标。此时，x1与x2之间的距离可以在几十到几百微米(μm)内变化。此外，y1与y2之间的距离也可以在几十到几百微米(μm)内变化。另一方面，z1与z2之间的最小距离可以通过工作者被预先设定。为此，当喷嘴尖端42在预备位置RP沿水平方向移动时，需要考虑不会干涉基板400。
上述旋转载台20可以实现在预备位置RP相对于喷嘴尖端42的尤其Z轴方向上的高精度位置控制。为此，可将旋转载台20布置成使得驱动载台在非旋转状态下竖直向上或竖直向下。在图1中，旋转载台20布置成竖直向下。相反，旋转载台20结合到XYZ载台10的上侧，并且可以布置成竖直向上。另一方面，旋转载台20根据与XYZ载台10的结合关系或其结合方向，即使旋转运动也可以使x1与x2之间的距离和y1与y2之间的距离中的任何一个距离变为零。
旋转载台20与在三轴方向上线性移动的XYZ载台10结合以提高喷墨喷嘴模块100的定位精度。结果，在预备位置RP中，Z载台被控制为不动作。
喷嘴座30结合到旋转载台20。喷嘴座30具有用于将喷嘴40设置到旋转载台20的用途。为此，喷嘴座30可形成有台阶部32，该台阶部32供喷嘴40的另一端部(喷嘴尖端42的正相反的部分)附着。此时，喷嘴40的长度可以根据预先设定的喷嘴尖端42的空间坐标而变化。当喷嘴40通过台阶部32等附着到喷嘴座30时，喷嘴尖端42位于预备位置RP。另一方面，喷嘴座30的形状不限于任何一种形状。另外，台阶部的位置或数量也不受限制。
另一方面，喷嘴40被反复更换，这必然陪伴安装和拆卸的过程。另外，在根据一实施例的喷嘴座30可以结合有至少一个喷嘴40。此时，喷嘴40起到喷出不同类型的油墨的作用。具体而言，油墨包括用于修复的导电油墨、绝缘油墨等。另外，油墨可以进一步包括用于制造滤色器的彩色墨等。另一方面，设置在喷嘴座30中的喷嘴40的数量可以根据旋转载台20的尺寸、喷嘴座30的形状、台阶部的数量等而受到限制。
当多个喷嘴40结合到喷嘴座30时，在结合状态下相对于喷嘴尖端42的Z轴位置从喷嘴座30的中间地点越朝向两端地点越变高。这是考虑到根据旋转运动的旋转载台20的驱动角度的。另一方面，当多个喷嘴40结合时，首先需要改变使用状态，以便选择与每个工艺相对应的任何一个喷嘴40并使用该喷嘴。旋转载台20可以通过驱动载台的驱动在多个喷嘴40之间改变使用喷嘴。例如，当要从喷嘴1变更为喷嘴2作为使用喷嘴时，通过向正向或逆向驱动旋转载台20来将喷嘴2的尖端位置移动到预备位置RP即可。
如上所述，根据一实施例的喷墨喷嘴模块100可以为了定位多个喷嘴尖端42而使用一个XYZ载台10和一个旋转载台20来使单个模块内使用的马达载台的总数量最小化。由此，在喷嘴尖端42的定位过程中，喷墨喷嘴模块100可以提供在1μm内的位置精度。并且，可以在单个模块内附着多个喷嘴40，因此能够使用不同类型的油墨，从而可以用于各种工艺。
图5为示出在包括图1的喷墨喷嘴模块的基板400的修复装置中喷墨工艺结束后的喷墨喷嘴模块的动作的图。参照图5，根据一实施例的基板400的修复装置可以包括喷墨喷嘴模块100、门架部(图中未示出)、光学部200及控制部(图中未示出)等。由于在上面已说明喷墨喷嘴模块100，因此下面省略其具体说明。门架部(图中未示出)是安装喷墨喷嘴模块100的部件，通过单独的XY载台在基板400上侧空间向水平方向移动。上述门架部可以通过宏观行为而快速地移动到用于修复等的工作区域。
光学部200设置在门架部上，并且形成为具有与从激光部产生的激光束的光路同轴上的光路。光学部200可以包括例如视觉摄像机、多个透镜和镜子等。另一方面，通过借助光学部200的图像确认通过喷墨喷嘴模块100的喷墨工艺。也就是说，在根据一实施例的基板400的修复装置中，也可以通过用于激光部的光学部200实时确认喷墨工艺的工作过程。其中，喷墨工艺可以根据油墨的类型不同。如上所述，喷墨工艺包括修复工艺等。
为此，喷嘴尖端42在喷射位置JP中位于光学部200的摄影区域D内。另一方面，当喷墨工艺结束时，喷嘴尖端42通过旋转运动从喷射位置JP移动到预备位置RP。之后，喷嘴尖端42以通过借助XYZ载台10的X轴或Y轴运动从摄影区域D内脱离的方式移动。也就是说，当喷嘴尖端42为预备位置RP时，根据一实施例的喷嘴40可以向X轴或Y轴方向移动。
另一方面，在门架部和光学部200之间可以进一步形成用于改变光学部200的Z轴位置的光学Z载台300。上述光学Z载台300可以在垂直方向上升高或降低光学部200。控制部(图中未示出)可以控制用于构成喷墨喷嘴模块100的XYZ载台10、旋转载台20、光学Z载台300及门架部的位置移动等的各个马达。控制部可以控制喷出油墨的每个喷嘴40。
在使用基板400的修复装置的喷墨工艺中，例如，当修复工艺结束时，后续进行使用激光束固化喷出的油墨的烧结工艺。在这种烧结工艺中使用光学部200，且该工艺限定于经修复的部分。并且，此时，若使用光学部200，则可以节约光学部200的定位所需的时间，因此可以减少节拍(tact)时间。
并且，根据另一实施例的基板400的修复装置在烧结工艺后重新形成滤色器层的过程中可以使用喷墨喷嘴模块100。这可以通过借助旋转载台20的旋转运动改变使用喷嘴来实现。也就是说，通过选择喷出任何一个眼色的例如喷嘴3的过程来实现。结果，喷嘴3的尖端可以移动并变更为预备位置RP。
如上所述，基板400的修复装置可以通过将为每个喷嘴分别定位的方法改变为对于由多个喷嘴40构成的喷嘴组的单一定位方法来减少整个轴载台的数量。结果，可以进一步提高定位精度。
综上，对本发明地优选实施例进行了具体说明，但本发明的范围不应限于如上所述的特定实施例，在权利要求书所记载的范畴内可以适当改变。

Claims (9)

1.一种添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其为在喷嘴向基板喷出油墨的喷墨喷嘴模块，所述喷墨喷嘴模块的特征在于，包括：
XYZ载台，通过3轴运动移动到所述基板的上侧空间位置；
旋转载台，与所述XYZ载台结合，改变相对于喷嘴尖端的Z轴位置；及
喷嘴座，与所述旋转载台结合，供所述喷嘴安装和拆卸。
2.根据权利要求1所述的添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其特征在于，所述旋转载台提供旋转运动，使得所述喷嘴尖端从预备位置移动到喷出油墨的喷射位置。
3.根据权利要求2所述的添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其特征在于，在所述预备位置和所述喷射位置之间的Z轴距离在10mm之内。
4.根据权利要求1所述的添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其特征在于，至少一个喷嘴结合到所述喷嘴座，在结合状态下相对于所述喷嘴尖端的Z轴位置从所述喷嘴座的中间地点越向两端地点越变高。
5.根据权利要求1所述的添加旋转运动的喷墨喷嘴模块，其特征在于，当多个所述喷嘴结合时，通过所述旋转载台的驱动在所述喷嘴之间改变使用喷嘴。
6.一种基板的修复装置，其特征在于，包括：
根据权利要求1至5中任一项所述的喷墨喷嘴模块；
门架部，安装所述喷墨喷嘴模块；及
光学部，设置在所述门架部，形成为具有与从激光部产生的激光束的光路同轴的光路，
其中，通过借助所述光学部的图像确认通过所述喷墨喷嘴模块的喷墨工艺。
7.根据权利要求6所述的基板的修复装置，其特征在于，在所述门架部与所述光学部之间还形成有改变所述光学部的Z轴位置的光学Z载台。
8.根据权利要求6所述的基板的修复装置，其特征在于，所述喷嘴尖端在喷射位置位于所述光学部的摄影区域内。
9.根据权利要求8所述的基板的修复装置，其特征在于，
当所述喷墨工艺结束时，所述喷嘴尖端通过旋转运动从所述喷射位置移动到预备位置，然后以通过借助XYZ载台的X轴或Y轴运动从所述摄影区域内脱离的方式移动。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116810184A (zh) * 2023-08-30 2023-09-29 苏州科韵激光科技有限公司 一种微细线路激光修复装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07314167A (ja) * 1994-05-26 1995-12-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置
US6123268A (en) * 1999-05-04 2000-09-26 Nordson Corporation Angularly adjustable nozzle
US20070097198A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Seiko Epson Corporation Method for forming mark and liquid ejection apparatus
CN101259798A (zh) * 2007-03-09 2008-09-10 株式会社御牧工程 三维打印机
CN101484248A (zh) * 2006-04-21 2009-07-15 夏普株式会社 缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质
US20100301130A1 (en) * 2009-06-01 2010-12-02 Nelson Irrigation Corporation Automatic nozzle changer
KR20110125020A (ko) * 2010-05-12 2011-11-18 주식회사 디이엔티 멀티노즐장치
KR20110125013A (ko) * 2010-05-12 2011-11-18 주식회사 디이엔티 잉크공급장치
CN104217979A (zh) * 2013-05-28 2014-12-17 东京毅力科创株式会社 基板清洗装置和基板清洗方法
KR20170001354A (ko) * 2015-06-26 2017-01-04 주식회사 선익시스템 잉크젯 유닛
CN107297892A (zh) * 2017-06-23 2017-10-27 华中科技大学 一种3d曲面电喷印图案化设备及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170001011A (ko) * 2015-06-25 2017-01-04 세메스 주식회사 액적 토출 장치
KR101735820B1 (ko) 2015-07-20 2017-05-15 창원대학교 산학협력단 메탈잉크 프린팅 장치, 방법 및 메탈잉크 코팅 강판
KR20190102864A (ko) 2018-02-27 2019-09-04 주식회사 코윈디에스티 회로기판 오픈 결함의 리페어를 위한 잉크젯 노즐 모듈 및 그 구동 방법
KR20180121470A (ko) 2018-11-01 2018-11-07 주식회사 코윈디에스티 Ehd 잉크젯용 노즐 및 이의 제조방법

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07314167A (ja) * 1994-05-26 1995-12-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ加工装置
US6123268A (en) * 1999-05-04 2000-09-26 Nordson Corporation Angularly adjustable nozzle
US20070097198A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Seiko Epson Corporation Method for forming mark and liquid ejection apparatus
CN101484248A (zh) * 2006-04-21 2009-07-15 夏普株式会社 缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质
CN101259798A (zh) * 2007-03-09 2008-09-10 株式会社御牧工程 三维打印机
US20100301130A1 (en) * 2009-06-01 2010-12-02 Nelson Irrigation Corporation Automatic nozzle changer
KR20110125020A (ko) * 2010-05-12 2011-11-18 주식회사 디이엔티 멀티노즐장치
KR20110125013A (ko) * 2010-05-12 2011-11-18 주식회사 디이엔티 잉크공급장치
CN104217979A (zh) * 2013-05-28 2014-12-17 东京毅力科创株式会社 基板清洗装置和基板清洗方法
KR20170001354A (ko) * 2015-06-26 2017-01-04 주식회사 선익시스템 잉크젯 유닛
CN107297892A (zh) * 2017-06-23 2017-10-27 华中科技大学 一种3d曲面电喷印图案化设备及方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116810184A (zh) * 2023-08-30 2023-09-29 苏州科韵激光科技有限公司 一种微细线路激光修复装置
CN116810184B (zh) * 2023-08-30 2024-02-02 苏州科韵激光科技有限公司 一种微细线路激光修复装置

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