JPH07314167A

JPH07314167A - レーザ加工装置

Info

Publication number: JPH07314167A
Application number: JP6112380A
Authority: JP
Inventors: Kenta Tanaka; 研太田中
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1994-05-26
Filing date: 1994-05-26
Publication date: 1995-12-05

Abstract

(57)【要約】【目的】レーザ光を照射するノズル部の位置を簡単な
作業で微調整することのできるレーザ加工装置を提供す
ること。【構成】レーザ照射部１００を、ノズル部３０と、装
置フレームに取り付けられて上下方向に延びる第１の軸
を中心とする回転駆動を行うための第１の回転駆動機構
１０と、該第１の回転駆動機構と共に回転可能に連結さ
れた連結機構４０と、該連結機構に取り付けられ、前記
第１の軸に対して鋭角をもって交差する第２の軸を中心
とする回転駆動を行うための第２の回転駆動機構２０と
で構成する。前記ノズル部はレーザ光導入用の光ファイ
バケーブル６７に接続されると共に、前記第２の回転駆
動機構にアーム２７を介して連結されて前記第１の軸及
び前記第２の軸を中心とする回転が可能なように構成さ
れる。前記アームと前記ノズル部との連結部には、前記
ノズル部をｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向のそれぞれに微動可
能とするための第１〜第３の微調整機構を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工装置に関し、
特にレーザ照射を行うノズル部を三次元的に駆動可能と
したレーザ加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のレーザ加工装置の一例として、
支持枠に回転自在に軸支した第１の回転体と、この第１
の回転体を回転駆動する第１のモータと、前記第１の回
転体に回転自在に軸支した第２の回転体と、この第２の
回転体を回転駆動する第２のモータと、前記第２の回転
体よりも先端部側に設けたノズル部と、前記第１の回転
体に設けられ、その軸線上に放射されたレーザ光を前記
第２の回転体に案内する第１の反射手段と、前記第２の
回転体に設けられ、その軸線上に放射されたレーザ光を
前記ノズル部に向けて案内する第２の反射手段とを備
え、該第２の反射手段で反射されたレーザ光を前記ノズ
ル部からワーク（被加工物）へ向けて照射する三次元レ
ーザ加工装置であって、前記支持枠に揺動フレームを揺
動可能に設けると共に、該揺動フレームに前記第１の回
転体を回転自在に軸支して、該揺動フレームで前記第１
の回転体、第２の回転体、ノズル部、第１の反射手段、
第２の反射手段、第１のモータ及び第２のモータを一体
的に支持させ、更に前記揺動フレームを通常は所定の非
作動位置に保持する保持手段を設けるとともに、該揺動
フレームが前記非作動位置から揺動したことを検出する
検出手段を設けたものが知られている（例えば、特公平
３−５５２３４号）。

【０００３】しかしながら、上記のレーザ加工装置を含
め、これまでのものは、レーザの発振源からノズル部ま
でのレーザ導入経路が固定式である。このため、三次元
的に駆動可能であるとは言っても、レーザ導入経路がノ
ズル部の自在な動きを妨げ、ノズル部の動きに制約が生
じていた。

【０００４】このような問題点を解決するために、本発
明者らは図４に示すようなレーザ照射部を備えたレーザ
加工装置を提案した（本発明と同日出願）。以下に、こ
れを簡単に説明する。このレーザ照射部は後述する装置
フレームに実装されるものであり、前記装置フレームに
取り付けられて上下方向に延びるｚ軸（第１の軸）を中
心とする回転駆動を行うための第１の回転駆動機構１０
と、この第１の回転駆動機構１０と共に回転可能に連結
された連結機構４０と、この連結機構４０に取り付けら
れ、ｚ軸に対して鋭角をもって交差するθ軸（第２の
軸）を中心とする回転駆動を行うための第２の回転駆動
機構２０と、ノズル部３０とを有する。

【０００５】ノズル部３０はレーザ光導入用の光ファイ
バケーブル６７に接続されると共に、第２の回転駆動機
構２０に回動アーム２７を介して連結されてｚ軸及びθ
軸を中心とする回転が可能なように構成されている。

【０００６】このような構成によれば、図４の状態で
は、第１の回転駆動機構１０よりノズル部３０はｚ軸を
中心に回転駆動される。また、図４の状態で第２の回転
駆動機構２０のみを駆動すると、回動アーム２７がθ軸
を中心に回動することにより、ノズル部３０もθ軸を中
心に回転駆動される。そして、第１、第２の回転駆動機
構１０，２０を共に駆動することにより、ノズル部３０
の先端が様々な方向を向く、いわゆる三次元の姿勢制御
を行うことができる。なお、第１、第２の回転駆動機構
１０、２０共に、実際の回転角度範囲は３６０°より小
さい。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、第２の回転
駆動機構２０とノズル部３０との位置関係は固定である
ため、第１、第２の回転駆動機構１０，２０、ノズル部
３０、連結機構４０の組み立て工程において組み付け誤
差があると、図４に示すように、レーザ光の集光点とθ
軸との間に差αが生じる。この差αは、数値制御による
加工精度に大きく作用する。それ故、上記各要素の組み
付けに際しては、差αを０にするために精密な組み立て
作業を必要としていた。

【０００８】そこで、本発明の課題はレーザ光を照射す
るノズル部の位置を簡単な作業で微調整することのでき
るレーザ加工装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、装置フレーム
に、レーザ照射用のノズル部を有するレーザ照射部を実
装したレーザ加工装置において、前記レーザ照射部は、
前記装置フレームに取り付けられて上下方向に延びる第
１の軸を中心とする回転駆動を行うための第１の回転駆
動機構と、該第１の回転駆動機構と共に回転可能に連結
された連結機構と、該連結機構に取り付けられ、前記第
１の軸に対して鋭角をもって交差する第２の軸を中心と
する回転駆動を行うための第２の回転駆動機構とを有
し、前記ノズル部はレーザ光導入用の光ファイバに接続
されると共に、前記第２の回転駆動機構にアームを介し
て連結されて前記第１の軸及び前記第２の軸を中心とす
る回転が可能なように構成され、前記アームと前記ノズ
ル部との連結部には、前記ノズル部をｘ、ｙ、ｚ軸の３
軸方向のそれぞれに微動可能とするための第１〜第３の
微調整機構を設けたことを特徴とする。

【００１０】なお、前記第２の回転駆動機構と前記アー
ムとの連結部には、前記ノズル部の前記ｚ軸に関する傾
きを調整するための第４の微調整機構を設けるのが好ま
しい。

【００１１】また、前記第１，第２の微調整機構はそれ
ぞれ、前記ノズル部側の連結部材、前記アーム側の連結
部材の一方に長穴を設け、他方には前記長穴を通して偏
心ピンを螺入することにより構成される。

【００１２】更に、前記ノズル部を筒状のハウジングで
保持し、該ハウジングを前記ノズル部側の連結部材に設
けた穴に挿通し、前記第３の微調整機構を、前記ハウジ
ングの外周であって前記ノズル部側の連結部材を間にし
た上下の位置にそれぞれおねじ部を形成し、これらのお
ねじ部にそれぞれ、ナットを嵌め込んで構成することが
できる。

【００１３】

【実施例】はじめに、図３を参照して本発明を適用した
レーザ加工装置を概略的に説明する。図３において、第
１の蛇腹機構６１によりワーク載置台６５を一方向（こ
こではｘ軸方向と呼ぶ）に走行可能な門型の可動フレー
ム６０に、第２の蛇腹機構６２、第３の蛇腹機構６３に
よりｙ軸方向、ｚ軸方向に移動可能な可動フレーム６４
を取り付けている。可動フレーム６４の下部には、レー
ザ光照射用のノズル部とこれをｘ、ｙ、ｚの３軸方向に
駆動する駆動機構とから成るレーザ照射部１００が取り
付けられている。レーザ発振源等を内蔵した駆動ユニッ
ト６６から光ファイバケーブル６７が導出され、この光
ファイバケーブル６７は可動フレーム６４、レーザ照射
部１００の動きに通過して変形可能な状態でレーザ照射
部１００に接続されている。６８は装置の起動、停止を
行うためのスイッチやリモコン操作用のボタン等を実装
した操作ボックスであり、可動フレーム６０に取り付け
られている。６９はワークを数値制御等によりレーザ加
工するための設定値等を入力したり、各種データを表示
するための操作パネルである。

【００１４】次に、図１を参照して本発明の要部である
レーザ照射部１００について説明する。本レーザ照射部
１００は、図４に示したものを詳細に示したものであ
り、レーザ照射用のノズル部３０をｚ軸を中心に回転さ
せるための第１の回転駆動機構１０、ノズル部３０をｚ
軸に対して鋭角（通常、４５°）をなすθ軸を中心に回
転させるための第２の回転駆動機構２０、第１の回転駆
動機構１０と第２の回転駆動機構２０とを連結するため
の連結機構４０とに大別され、第２の回転駆動機構２０
とノズル部３０との間は回動アーム２７で連結されてい
る。本発明の特徴は、回動アーム２７による第２の回転
駆動機構２０とノズル部３０との連結構造にあり、詳し
くは後述する。

【００１５】第１の回転駆動機構１０は、図３に示され
た可動フレーム６４に固定された固定ベース１１−１，
１１−２を有し、固定ベース１１−２にはモータ１２を
取り付けている。モータ１２の出力軸はカップリング機
構１３を介して減速機構１４に連結されている。減速機
構１４により減速された回転は回転構造体１５に伝達さ
れる。回転構造体１５は、減速機構１４に連結された回
転板１５−１と、これに固定され、下方には内方に張り
出すように形成された環状の張り出し部１５−３を有す
る支持板１５−２とから成る。張り出し部１５−３の内
周面は上方に向けて広がるようなテーパ状にされてい
る。

【００１６】連結機構４０は、その中心に上方に向かっ
て広がるテーパ部４１−１とこのテーパ部４１−１の上
端に設けられたフランジ４１−２とを有するテーパ構造
体４１を有し、このテーパ構造体４１はフランジ４１−
２が張り出し部１５−３に載置された状態で支持され
る。テーパ構造体４１の下部には、斜め下方に向けて延
びる中空の連結部材４２−１を有する回転伝達部材４２
が固定されている。回転伝達部材４２と支持板１５−２
との間には、ｚ軸を中心とする周方向に９０°の角度間
隔をおいて４つのコイルスプリング（４３−１、４３−
２のみを示す）が斜めに傾斜させた状態で設けられてい
る。これらのコイルスプリングは伸張方向に付勢力を生
ずるものであり、これらの一端はそれぞれ、回転伝達部
材４２に設けられた４つのシリンダ状の支持筒（４４−
１、４４−２のみを示す）により支持され、他端はそれ
ぞれ支持板１５−２に当接した状態に置かれている。

【００１７】４つの支持筒にはそれぞれ、コイルスプリ
ングの一端に当接させたピストン状の移動体を移動させ
ることにより、各コイルスプリングの付勢力を調整する
調整機構（４５−１、４５−２のみを示す）が組み合わ
されている。各コイルスプリングの付勢力により、テー
パ構造体４１のフランジ４１−２が張り出し部１５−３
に圧接され、その摩擦力により回転構造体１５の回転が
テーパ構造体４１に伝達される。

【００１８】連結部材４２−１には、第２の回転駆動機
構２０が連結され、この第２の回転駆動機構２０は９０
°に折れた中空の筒状体内にモータ２１、カップリング
機構２２が収容されている。そして、カップリング機構
２２の出力軸に第１のベベルギヤ２３を設け、この第１
のベベルギヤ２３には第２のベベルギヤ２４を歯合させ
ることで、モータ２１の回転をθ軸を中心とする回転運
動に変換するように構成している。第２のベベルギヤ２
４の回転軸には、減速機構２５を介して回転体２６が連
結され、この回転体２６の回転が回動アーム２７を介し
てノズル部３０に伝達される。

【００１９】ノズル部３０の上部には光ファイバケーブ
ル６７がコネクタ３１を介して連結され、コネクタ３１
を通して導入されたレーザ光はノズル部３０の上部に内
蔵された反射鏡３２により９０°の角度で反射されて中
心軸（図１の状態ではｚ軸）に沿って下方に向かう。

【００２０】ノズル部３０は、回動アーム２７と連結さ
れた連結支持部３３より下方の部分と、連結支持部３３
より上方にあってコネクタ３１と反射鏡３２とを含んで
いる導入部とに分けられ、この導入部は連結支持部３３
に対してベアリング３４により回転可能に構成されてい
る。このようにして、コネクタ３１と反射鏡３２とは、
連結支持部３３に対して一体的に回転自在に組み付けら
れており、回動アーム２７がθ軸を中心に回転しても光
ファイバケーブル６７は回転を妨げず、しかも常に光フ
ァイバケーブル６７からのレーザ光を中心軸方向に反射
できるようにされている。

【００２１】この他、ノズル部３０には、反射鏡３２か
らのレーザ光を焦点位置３５に集光させるための手段や
焦点調整機構が組み合わされるが、これらはいずれも周
知であるので図示、説明は省略する。

【００２２】以上のように構成することにより、図１の
状態では、第１の回転駆動機構１０によりノズル部３０
はｚ軸を中心に３６０°より小さい範囲で回転駆動され
る。また、図１の状態で第２の回転駆動機構２０のみを
駆動すると、ノズル部３０はθ軸を中心に３６０°より
小さい範囲で回転駆動される。そして、第１、第２の回
転駆動機構１０，２０を共に駆動することにより、ノズ
ル部３０の先端が様々な方向を向く、いわゆる三次元の
姿勢制御を行うことができる。すなわち、連結支持部３
３がワ−クに対する加工に合わせてｚ軸やθ軸を中心に
回転しても、導入部が連結支持部３３に対して自由に回
転可能であるので、光ファイバケーブル６７の接続部に
は大きな動きは生じない。言い換えれば、光ファイバケ
ーブル６７がノズル部３０の動きを妨げることが無い。

【００２３】このことから、光ファイバケーブル６７と
して保護被覆を強化することにより可撓性の低い、つま
り硬い光ファイバケーブルでも使用することができ、安
全性の向上に寄与せしめることができる。

【００２４】ところで、上記構成の他に、本実施例で
は、ノズル部３０が万一、ワークと衝突した場合を考慮
して、次のような手段を講じている。第１の手段は、張
り出し部１５−３に上方に向けてピン４６を設け、この
ピン４６をテーパ構造体４１のフランジ４１−２に設け
た貫通孔に挿通させて成る。第２の手段は、テーパ構造
体４１のテーパ部４１−１に隣接した張り出し部１５−
３のテーパ部に、その周方向に１２０°の角度間隔をお
いて３個の近接センサ４７−１（１個のみ図示）を配設
して成る。これらの近接センサ４７−１の検出信号は、
前述した駆動ユニット６６に内蔵された第１〜第３の蛇
腹機構の制御部に送出される。

【００２５】これら第１、第２の手段の機能について説
明する。例えば、ノズル部３０がワークに衝突して図中
上方向に所定値以上の力、すなわち４３−１、４３−２
で代表的に示した各コイルスプリングによる付勢力を越
えるような力が作用した場合には、テーパ構造体４１
は、そのフランジ４１−２が張り出し部１５−３から離
れて上方に浮き上がるように変位することでノズル部３
０、第２の回転駆動機構２０、連結機構４０に加わる衝
撃力を吸収すると共に、上記各部を介して可動フレーム
６４に衝撃力が加わることを防止する。

【００２６】しかも、テーパ構造体４１は、そのフラン
ジ４１−２に設けられた貫通孔にピン４６が挿通されて
いることにより、上方に変位しても周方向の位置ずれが
規制され、テーパ構造体４１を元の位置に戻す時の復元
作業を容易にする。加えて、上記のような変位の場合、
３個の近接センサ４７−１のすべてがテーパ構造体４１
の変位を検出して検出信号を送出する。これらの検出信
号を受けた制御部ではノズル部３０に対して下方から力
が作用していると判定し、レーザ照射部１００を上方に
移動させるような蛇腹機構の制御動作を行う。

【００２７】次に、ノズル部３０がワークに衝突して図
中横方向に所定値以上の力が作用した場合には、テーパ
構造体４１は、フランジ４１−２が傾いた状態で一部が
張り出し部１５−３から離れるように変位することで、
上記の場合と同様に衝撃力の吸収を行う。そして、この
場合にもピン４６がフランジ４１−２の貫通孔から抜け
ることはないので、テーパ構造体４１の周方向の位置ず
れが規制される。

【００２８】更に、上記のような変位の場合には、３個
の近接センサ４７−１のすべてが変位を検出することは
なく、１個あるいは２個の近接センサ４７−１から検出
信号が送出される。この場合、制御部では、近接センサ
４７−１からの検出信号が１つである場合には、その近
接センサ４７−１の設置箇所と反対の方向から力が作用
していると判定し、この力を回避する方向にレーザ照射
部１００を移動させるように蛇腹機構の駆動制御を行
う。一方、近接センサ４７−１からの検出信号が２つで
ある場合には、制御部はこれら２つの近接センサ４７−
１の設置箇所の中間部と反対の方向から力が作用してい
ると判定する。そして、このような力を回避する方向に
レーザ照射部１００を移動させるように蛇腹機構の駆動
制御を行う。

【００２９】次に、図２を参照して、本発明の特徴箇所
である回動アーム２７による連結構造について説明す
る。図２において、回動アーム２７は、第２の回転駆動
機構２０側の連結部材２８に平行な板部材２７−１と連
結支持部３３側の連結部材３３−１に平行な板部材２７
−２とを有して、連結部材２８と連結部材３３−１との
間に連結される。連結支持部３３はまた、円筒状のハウ
ジング３３−２を有し、このハウジング３３−２にはこ
れより下方のノズル部３０部分が取り付けられている。
一方、ハウジング３３−２の内側にはベアリング３４を
介してミラーボックス３６が設けられ、このミラーボッ
クス３６に取り付けられたノズル部３０の導入部がハウ
ジング３３−２に対して回転可能に組み合わされる。

【００３０】板部材２７−１と連結部材２８との連結
は、板部材２７−１に設けられた貫通穴２７−３を通し
て連結部材２８に設けられたねじ穴２８−１にボルト２
８−３を捩じ込むことで行われるが、貫通穴２７−３の
径はボルト２８−３の径よりやや大きくしている。これ
は、回動アーム２７をノズル部３０と共にピン２８−４
を中心にわずかに回動可能にするためである。ピン２８
−４は板部材２７−１と連結部材２８とに挿通されてい
る。また、回動アーム２７の回動調整は、偏心ピン２８
−５を回動させることにより行われる。偏心ピン２８−
５は、板部材２７−１に設けられた長穴２７−４を通し
て連結部材２８に設けた穴（図示せず）に捩じ込まれて
いる。このことにより、ボルト２８−３を緩めた状態で
偏心ピン２８−５を回動させると、その一部が長穴２７
−４の縁部に係合して板部材２７−１をピン２８−４を
中心としてわずかに回動させることができる。このこと
から、偏心ピン２８−５と長穴２７−４とは、ノズル部
３０を図面に対して平行に回動させる微調整機構、言い
換えればノズル部３０のｚ軸に関する傾き角度を微調整
する機構として作用する。なお、微調整終了後はボルト
２８−３を堅く締めるようにする。

【００３１】板部材２７−２と連結部材３３−１との連
結も同様な構造により連結されるが、これらの間には連
結部材３３−１と一体に変位可能に摺動板２７−５を介
在させている。連結部材３３−１、摺動板２７−５に設
けられた貫通穴を通して板部材２７−２に設けられたね
じ穴にボルト３３−３が捩じ込まれ、連結部材３３−
１、摺動板２７−５の貫通穴の径はボルト３３−３の径
よりやや大きくしている。そして、偏心ピン３３−４
が、長穴３３−５、摺動板２７−５に設けられた長穴２
７−６を通して板部材２７−２に設けた穴（図示せず）
に捩じ込まれている。このことにより、ボルト３３−３
を緩めた状態で偏心ピン３３−４を回動させると、その
一部が長穴２７−６の縁部に係合して摺動板２７−５と
連結部材３３−１とを図２（ｂ）中、左右方向にわずか
に移動させることができる。なお、長穴３３−５は、偏
心ピン３３−４の回動を妨げないように、長穴２７−６
より大き目にされている。

【００３２】同様に、偏心ピン３３−６が、摺動板２７
−５と連結部材３３−１に設けられた長穴３３−７を通
して板部材２７−２に設けた穴（図示せず）に捩じ込ま
れている。このことにより、ボルト３３−３を緩めた状
態で偏心ピン３３−６を回動させると、その一部が長穴
３３−７の縁部に係合して摺動板２７−５と連結部材３
３−１とを図２（ｂ）中、上下方向にわずかに移動させ
ることができる。以上のことから理解できるように、偏
心ピン３３−４と偏心ピン３３−６はそれぞれ、ノズル
部３０をｘ軸、ｙ軸方向に微調整する機構として作用す
る。勿論、微調整終了後は、ボルト３３−３は堅く締め
られる。

【００３３】次に、ノズル部３０の上下方向、すなわち
ｚ軸の微調整機構について説明する。ノズル部３０はハ
ウジング３３−２によって支持されており、ノズル部３
０はこのハウジング３３−２と共に、連結部材３３−１
に設けられた穴３３−１ａに挿通されている。ハウジン
グ３３−２の外周には、連結部材３３−１を間にして上
下にそれぞれおねじが切られており、これらのおねじに
ナット３７、３８が嵌め込まれている。これらのナット
３７、３８は、ハウジング３３−２を含むノズル部３０
を連結部材３３−１に固定すると共に、図２ａの上下方
向、すなわちｚ軸方向に微調整するためのものである。
すなわち、ナット３７、３８を回転させて、図２ａ中、
上方向あるいは下方向に移動させることにより、ノズル
部３０のｚ軸方向位置を微調整することができる。な
お、図２ｂでは、ハウジング３３−２の周囲の構成要素
については図示を省略している。

【００３４】以上のようにして、ノズル部３０をｘ、
ｙ、ｚの３軸方向に位置調整できるだけでなく、ノズル
部３０の傾き角度をも調整することができ、簡単な作業
で図４に示されたレーザ光の集光点とθ軸との間の差α
を０にすることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ばノズル部に対するレーザ光の導入をノズル部の駆動機
構とは分離した光ファイバケーブルを通して、ノズル部
の動きを極力妨げることの無いようにして実現したこと
により、ノズル部の姿勢を第１、第２の回転駆動機構に
より様々に制御することができる。また、ノズル部の位
置の微調整を簡単な作業で行うことができ、レーザ光の
集光点とθ軸との間の差αを０にして、加工精度の高い
レーザ加工を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ加工装置のレーザ照射部の
内部構造を示した断面図である。

【図２】本発明によるノズル部の位置微調整機構を説明
するための図であり、図ａはノズル部と第２の回転駆動
機構との連結構造を横方向から見た図で、図ｂは図ａの
部分を上から見た図である。

【図３】本発明を適用したレーザ加工装置の一例を示し
た概略斜視図である。

【図４】本発明者らにより提案されているレーザ照射部
を横方向から見た図である。

【符号の説明】

１０第１の回転駆動機構２０第２の回転駆動機構３０ノズル部４０連結機構２７回動アーム２８、３３−１連結部材３２反射鏡３３連結支持部３３−２ハウジング２８−５、３３−４、３３−６偏心ピン３６ミラーボックス３７、３８ナット４２回転伝達部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置フレームに、レーザ照射用のノズル
部を有するレーザ照射部を実装したレーザ加工装置にお
いて、前記レーザ照射部は、前記装置フレームに取り付
けられて上下方向に延びる第１の軸を中心とする回転駆
動を行うための第１の回転駆動機構と、該第１の回転駆
動機構と共に回転可能に連結された連結機構と、該連結
機構に取り付けられ、前記第１の軸に対して鋭角をもっ
て交差する第２の軸を中心とする回転駆動を行うための
第２の回転駆動機構とを有し、前記ノズル部はレーザ光
導入用の光ファイバに接続されると共に、前記第２の回
転駆動機構にアームを介して連結されて前記第１の軸及
び前記第２の軸を中心とする回転が可能なように構成さ
れ、前記アームと前記ノズル部との連結部には、前記ノ
ズル部をｘ、ｙ、ｚ軸の３軸方向のそれぞれに微動可能
とするための第１〜第３の微調整機構を設けたことを特
徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】請求項１記載のレーザ加工装置におい
て、前記第２の回転駆動機構と前記アームとの連結部に
は、前記ノズル部の前記ｚ軸に関する傾きを調整するた
めの第４の微調整機構を設けたことを特徴とするレーザ
加工装置。
【請求項３】請求項１あるいは２記載のレーザ加工装
置において、前記第１，第２の微調整機構はそれぞれ、
前記ノズル部側の連結部材、前記アーム側の連結部材の
一方に長穴を設け、他方には前記長穴を通して偏心ピン
を螺入することにより構成されることを特徴とするレー
ザ加工装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ
加工装置において、前記ノズル部は筒状のハウジングで
保持し、該ハウジングを前記ノズル部側の連結部材に設
けた穴に挿通し、前記第３の微調整機構は、前記ハウジ
ングの外周であって前記ノズル部側の連結部材を間にし
た上下の位置にそれぞれおねじ部を形成し、これらのお
ねじ部にそれぞれ、ナットを嵌め込んで構成されること
を特徴とするレーザ加工装置。