TWI333929B - Work conveying device and electronic-component conveying device - Google Patents

Description

1333929 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 .. 本發明係關於搬送晶片型電子零件等多數電子零件用的 、 I件搬送裝置’更詳細而言’係關於藉由使設有作為收納 • 1件之收納部的貫穿孔之搬送台在搬送載台上移動，來搬 • 送工件之形式的工件搬送裝置及電子零件搬送裝置。 【先前技術】 • &前’製造晶片型電子零件時，於製作晶片型電子零 件，並檢查特性後，係依特性進行良品或瑕疲品之鑑定。 此外，亦依特性而將獲得之晶片型電子零件分別成數個 群。為了進行此等作業之自動化’以提高生產性，而提出 有各種製造裝置。 如下述之專利文獻1中揭示有此種電子零件搬送裝置之 一例。該電子零件搬送裝置為了搬送電子零件，係以接觸 於基座之搬送面的方式，而配置有圓板狀之搬送台。圓板 • i大之搬送台為了可在其中心軸周圍旋轉，而連結於旋轉驅 源而後，沿者搬送台之周方向形成有數個收納自漏斗 料供給之1個電子零件的貫穿孔。自漏斗供給電子零件 2該各貫穿孔心藉由㈣台在基座之搬送面上滑行且旋 ，而在搬送台之周方向搬送電子零件。 此時’係在將電子零件搬送於搬送台之周方向之間測定 ，子料之特性。而後，依據測定結果來鐘定良品或瑕窥 :’或疋為了依特性值來分別，而使用適當之電子零件取 機構，自上述貫穿孔取出測定特性後之電子零件。 i206l6.doc 另外i述搬送時，為了保持電子零件之 述搬送面上形成右办，… 旳隹上 /、上述貫穿孔相連之吸引用凹部，該吸 引用凹4連接於真空吸引源等。 另外，取出結φ 寺性測又之電子零件時，使用圖7所示 之構造。亦即，如R 7 K ， 圖7所不，電子零件搬送裝置101之上述 搬送台102包合書饮7, L 〇2a。貫穿孔102a中收納有電子零 件104。另外，输 、口 102之一方面1〇2b與基座1〇3之搬送 面I 03a抵接》 而後，在基座103之搬送面103a上，於電子零件1〇4之取 出位置開設有喷出7丨^ . L 103b。喷出孔1〇3b自搬送面1〇3a向與 面103c側延伸’且連接於壓縮空氣供 給軟管105。壓縮空教供仏姑答1λ<：、α从 孔供、軟管105連接於壓縮機或高壓儲 氣瓶等壓縮空氣供給源。 結束測疋之電子零件104藉由搬送台1〇2之旋轉而到達電 子零件取出位置時，直徑比貫穿孔心之開口部小的上述 喷出孔103b接近貫穿孔102&之一部分。而後，自噴出孔 103b喷射壓縮空氣。電子零件1〇4藉由壓縮空氣之壓力移 動至貫穿孔102a外方’而取出電子零件1〇4。 藉由忒方法，由於不造成機械性撞擊，而可取出電子零 件104 ’因此電子零件1〇4不易產生損傷。 [專利文獻1]曰本特開2004-226 101號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 且說搬送台102如前述’與基座ι〇3獨立在基座ι〇3之搬 】206 J6.doc 1333929 送面l〇3a上一面滑動一面移動。因此，藉由上述壓縮空氣 而取出電子零件1〇4後，進一步旋轉搬送台1〇2。直杜果， 上述喷出孔職由搬送台102之一方面⑽所再度關閉。 此時，壓縮空氣完全排出於貫穿孔1〇2£1内，而可取出電 子零件1〇4 ’然後’停止供給壓縮空氣後，噴出孔103b被 搬送台H)2之一方面黯關閉情況下，不致產生問題。 但是’提高搬送速度情況下’在M縮空氣殘留於喷出孔 聰内的狀態下，有時喷出孔·之開口部會被搬送台 ⑽關閉。此種情況下’ a縮空氣殘留於嘴出孔！㈣内而 產生殘餘壓力。 因此，搬送台1〇2進-步旋轉，收納有不得在上述電子 零件取出位置取出之電子零件的下―個貫穿孔移動至上述 育出孔娜上時’有時會因殘餘廢力而取出原本不應取出 之電子零件。®而，先前之電子零件搬送裝置於取出電子 零件104後’為了不使搬送台1〇2立即旋轉移動，而使空氣 完全排出，須使搬送台102等待特定之時間。亦 釋放上述殘⑽力，需要等料間，以致無 子零件搬送裝置。 口疋思忭电 大I!二隨者電子零件之尺寸縮小’上述喷出孔10313之 大小亦須縮小。因而，j Λ U I , Μ ”孔103b之大小縮小時，空氣喷 tr更加需要延長除去殘餘壓力用的等待時間》 此外，即使延長等待時間’ 問題。 有殘餘[力徹底釋放困難之 [解決問題之技術手段] I20616.doc 1333929 本專利之第一發明得^ 送載台m二 送裝置，其特徵為包括：搬 八’、匕3搬廷工件之搬送面；搬送台， 以與前述搬送載台之，、係包含 述叛廷面相對向之方式配置& μ __ 面及與第一面相反側之第_; η θ 己置的第一 之貫穿孔；及驅動機構，Α在* + 第一面 與前述搬送載台之搬之第一面 對搬逆面！ 對向的狀態下可使前述搬送台 對叛达面一面滑動一而 <口 前+移動，而連結於前述搬送台及/或 則通搬送載台；在前诫拋 狀離下，，由H 、°之刖述貫穿孔中插入工件之 =下心則述搬送台對前述搬送面移動，而 工件’且在前述搬送載AL > J ^ 迗戟搬达面上設有：吸弓丨用凹部， /、係為了吸引並保持插入 工件之搬送方向延伸之方二： 件，以沿著前述 WR伸之方式設置；及喷出孔，其係為了取 出插入則述貫穿孔$ & 則述工件，以可與前述貫穿孔重疊之 方式没於工件取屮g 搬送& 錢縮氣財4;在前述 =之第-面上設有與前述貫穿孔相連，且在與工件搬 =向父又之方向上延伸的吸引溝’在該吸引溝與設於前 台之搬送面的前述吸引用凹部連通的狀態下，構成 :、’、月J述搬运台對搬送载台之搬送面一面滑動一面移動；進 :步包括：連結於前述吸引用凹部之吸引裝置，及連結於 則述唷出孔之壓縮氣體供給裝置，前述搬送台之前述第— 面上設有壓力釋放溝’其係在插入前述工件之前述貫穿孔 的搬送方向下游側，於前述搬送台移動時，自重疊於前述 喷出孔之位置向與搬送方向交叉之方向延伸，且連通於前 述吸引用凹部。 120616.doc 2發明中’較佳的是，前述塵力釋放溝之沿著前述搬 搬送寸即寬度方向尺寸’係形成前述貫穿孔與前述 ,、方向上游側之下一個貫穿孔間之距離的50%以上之大 2。此種情況下，由於麼力釋放溝之沿著搬送方向之尺寸 Π ΐ度方向尺寸充分大，因此可使壓縮氣體以充分長之時 β1噴出，而可確實釋放壓力。 搬：二第二發明係電子零件搬送裝置’其特徵為包括： 搬送载台，盆择白人恤… 含以盥〜 匕3搬达工件之搬送面；搬送台，其係包 3以與刖述搬送載二前 w -面及與第…對向之方式配置的第 面+ 相反側之第二面，且具備貫穿第一、第二 二：穿孔；及驅動機構，其係為在使前述搬送台之第= 台對搬送面對向的狀態下可使前述搬送 或L 滑動一面移動’而連結於前述搬送台及/ 之送載台；在前述搬送台之前述貫穿孔中插入工件 二；且藉/前述搬送台對前述搬送面移動，而搬送前 部，其係ΑΎ 截《之搬送面上设有：吸引用凹 1 吸引並保持插人前述貫穿孔之工件，以f著 了取出插之方式設置；及喷出孔，其係為 疊之方貝穿孔之前述工件’以可與前述貫穿孔重 且（万式设於前述工件 出；在前述%置’且用於使塵縮氣體喷 弟一面上設 在與工件搬送方向交 」』11貝穿孔相連，且 溝與設於前述搬送台伸的及引溝’在該吸引 態下，槿& & 搬送面的如述吸引用凹部連通的狀 構成為前述搬送台對搬送載台之搬送面-面滑動- 】20616.doc 1333929 較佳的是’前述搬送台包含中心軸，為了該搬送台可在 :亥中心軸之周圍旋轉，以前述驅動機構驅動前述搬送台， 藉此使前述貫穿孔向前述搬送台之周方南 门万向移動，而將前述 工件向搬送台之周方向搬送。此種情況下，將搬送台形成 圓板狀之形狀’可縮小包含搬送台之電子零件搬送時之搬 送路徑的設置空間，而可謀求包含電子零件搬送裝置之設 備的小型化。 [發明之效果] 第-、第二發明之電子零件搬送裝置，係以與搬送載台 之搬送面相對向之方式西己置有搬送台，在設於搬送台之貫 穿孔中插入有工件的狀態下’藉由對搬送面移動搬：台貝 來搬送工件。而後’因為在該搬送面上設有與貫穿孔相連 之吸引用凹部’所以電子零件藉由吸引並保持在適切之坎 勢。 文 且第一發明係壓力釋放溝以在搬送台之第一面上，配置 :上述貫穿孔之搬送方向下游側，且移動搬送台時，自重 宜於噴出孔之位置延伸至與搬送方向交叉之方向，且以連 $ & f弓I用凹部之方式而設置。因此’使壓縮氣體自喷出 ^噴出而取出收納於某個貫穿孔之工件後，即使藉由搬送 D之移動關閉該噴出孔，而產生殘餘壓力，其次上述壓力 釋放溝重疊於關閉之喷出孔時，上述殘餘壓力經由壓力釋

放溝而向吸弓丨用凹部逸出。藉此，釋放噴出孔内之壓力。 因此，"T °」防止因殘餘壓力導致下一個之電子零件從貫穿 L不希望的飛出，並且可縮短搬送裝置中，等待搬送台之 】2〇616.doc ' 或疋不需要等待時間，而可搬送搬送台。因 . 巾’可提高電子零件搬送裝置中之搬送效率。 •. 同樣地’第二發明係取代第-發明中之壓力釋放溝，而 &有開口於搬运台之[面實施大氣釋放的;1力釋放孔。 . ㈣力釋放孔係以配置於貫穿孔之搬送方向下游側，於移 . 冑搬运台時’與噴出孔重疊之方式設置。因此，藉由來自 喷出孔之壓縮氣體而取出收納於某個貫穿孔中之工件後， 鲁 #使私動搬送台，關閉該喷出孔而產生殘餘壓力，於壓力 釋放孔移動至重疊於該噴出孔之位置時，自麼力釋放孔迅 速地釋放殘餘壓力。 “因此，第一發明中，亦可抑制因殘餘壓力導致不希望之 電子零件的飛出等，且可提高電子零件搬送裝置中之搬送 效率。 【實施方式】 以下’藉由參照圖式，說明本發明具體之實施形態，來 • 瞭解本發明。 圖3(a)、圖3(b)係顯示本發明一種實施形態之電子零件 • 搬^裝置的略圊性前視圖及除去後述之搬送台之狀態的略 圖性前視圖。 2子令件搬送裝置1包含基板2。本實施形態之基板2係 又置二間中，延伸於上下方向而直立設置。不過，基板 亦可自上下方向傾斜，此外，基板2亦可延伸於水平方向 而配置。 在基板2之一方面2a上配置有搬送載台3。本實施形態之 120616.doc 1333929 搬送载台3係圓板狀之板，亦可具有方板狀等其他形狀。 搬送載台3對基板2固定。搬送載台3在與基板2側相反側之 面上具有搬送面3a。 在搬送面3a上配置有搬送台4。搬送台4具有圓板狀之形 狀。搬送台4以可在中心軸4a之周圍旋轉的方式配置，該 中心軸4a連結於略圖地顯示之驅動裝置5。搬送台4以藉由 驅動裝置5而順時鐘地旋轉移動之方式構成。

另外，本實施形態之搬送台4係在中心軸4a之周圍順時 鐘地旋轉’不過’亦可固定搬送台4,而在中心軸周圍旋 轉搬送載台3’此外’亦可搬送載台3與搬送台4兩者以與 中心軸4a之周圍不同的速度，或是反方向旋轉。 八 亦即’只須構成搬送台4相對地對搬送載台3之搬送面h 移動即可。

π送台4如包含金屬或合成樹脂等硬質材料。在該搬送 台4之外周近旁，周方向上整齊地配置有數個貫穿孔心 貫穿孔4b構成收納作為工件之電子零件的收納部。本實施 形態係在周方向上形成2行該數個貫穿孔处。 不過’包含數個貫穿孔❹之行的數量並無特別限定，亦 〇亍或疋3行以上之形態而配置數個貫穿孔4b。 圖4以部分欠缺剖面圖顯示沿著圖3之A-A線的部分。從 圖憎解，搬送台4包含.把蛀十你卞 抵接或接近於搬送載台3之搬送 Γ二之第一面4C’及與第一面4c相反側之面的第二面 貝穿孔4b自第—而/ ^ _ c向第二面4d貫穿。在貫穿孔4b之 第-面辦的開口部形成電子零件6可進入之大小。 1206I6.doc * 14 - 1333929 本貫施形態之貫穿孔4b έ „„ 貝牙扎仆係以在弟二面4d上具有圓形之 開口形狀的方式設置β 回到圖3⑷，電子零件在上述貫穿孔4b中，自搬送台4之 二面“側’藉由電子零件供給裝置7而插入。該電子零 第 件供給裝置7可使用溫4· 4 +兩 便用漏+或適當之電子零件供給裝置，而 並無特別限定。 此外’ II由砸時鐘旋轉上述搬送台4,…般送台4之第一 面4c在搬送載台3之搬送面3&上 ^ 月仃之方式，而移動搬送 結果，收納於貫穿孔朴之電子零件6向搬送台々之周 方向搬送，不過在其搬送路徑之中途配置有特性測定裝置 8。特性敎裝置8如包含抵接於電子零件之電極的數個探 針，以用於測定電子零件6之電性特性而設置。依該測定 結果進行良品或瑕疲品之鑑定’或是依特性值來進行送達 之電子零件的分群。 上述測定裝置8，可依測定之特性，而制各種電性計 測裝置。 另外’圖3(b)中’以顯示取出上述搬送台4,而使搬送 載台3之搬送面3a露出的狀態之方式，而在搬送面^上，2 個吸引用凹部3b、3c設於同心圓上。該吸引用凹部补、3c 以經由後述之吸引溝，而與配置於搬送載台3上之搬送台4 的貫穿孔4b之一部分相連的方式而設置。在同心圓上設有 2個吸引用凹部3 b、3 c，係藉由數個貫穿孔在周方向L整 齊地配置2行。亦即’-方之吸引用凹部外在包含數個貫 穿孔4b之2行内’位於外侧之行的徑方向外側，吸引用凹 120616.doc 15 1333929 3c位於貫穿孔4b之小直徑之行的徑方向外側。而後’在 外側之行的貫穿孔4b中，經由後述之吸引溝而連接有吸引 用凹部3b ’内側之行的貫穿孔4b中，藉由後述之吸引溝而 連接内側之吸引用凹部3c。如圖3(b)所示，吸引用凹部 3b、3c連接於真空引源等之吸引源1〇。

如圖4所示’上述貫穿孔仆在第一面4c側，與延伸於搬 送台4之徑方向的吸引溝4e相連。該吸引溝4e之一部分設 於與上述吸引用凹部3b或吸引用凹部3c重疊之位置。 因此’藉由吸引源10而自吸引用凹部3b、3c吸引，電子 零件藉由其負壓而在貫穿孔4b内保持於正確之位置。 另外，在電子零件取出裝置9中，如圖3(b)所示，數個 喷出孔11開口於搬送面3a。 圖1〇)及圖1(b)係說明在工件取出位置取出電子零件9之 構造用的部分欠缺側面剖面圖及模式圖平面圓。

如圖2(b)所示，在搬送載台3之搬送面“上，於上述設置 成圓環狀之吸引用凹部3b、3c的側方，並在相當於電：零 件取出裝置9之位置，以延伸於周方向之方式配置有 喷出孔11 °圖1⑷顯示設有該喷出孔U之部分的剖面構 11之開口 11 a噴出壓縮空氣。 此外’上述噴出孔1卜於藉由驅動裝置 台4’而在中心軸4a之關順時鐘方向旋轉時=動搬送 孔仆重疊之位置。圖1(b)顯示 叹於貫穿 貝穿孔4b重疊於某個噴出孔 120616.doc • 16- 1333929 11之狀態。如前述’在貫穿孔4b中收納有 EJ 1 / \ - . 、有電子零件6。如 圖1(a)所不，以與貫穿孔扑相 ,^ <方式，設有前述吸引溝 补，该吸引溝4e在與貫穿孔仆相 „ ^ D PI 汉側之端部，如前述地重 疊於吸引用凹部3c。因此，電子 並保持其㈣。 吸引 另外，如圖1(a)所示，貫穿孔4 要政+办 迓取出電子零件6之位 置時，貝穿孔4b重疊於喷出孔u。而後， 喷出壓縮空氣’而自貫穿孔4b取出電子零件： 孔11 另外’如圖1(b)所示’在某個貫穿孔外之上游側，於搬 上設有壓力釋放溝4f。㈣2⑷及圖⑻所

不，壓力釋放溝4f係以進一步旋# M 疋得搬达台4，而旋轉驅動 屢力釋放溝4f至重疊於前述喷出孔U之位置時，連通喷出 孔η之開口 Ua與吸引用凹部3c之方式設置。換言之如 圖W、圖2⑷及圖2(b)料’上述壓力釋放溝鄉以於旋 轉驅動搬送載台3時’重疊於噴出孔u之方式，且在其狀 態下’重疊於吸引用凹部3〇之方式’而延伸於與上述電子 零件6之搬送方向交叉的方向，且連通於吸引用凹部氕之 方式設置。 上述屢力釋放溝4f在圖i⑷及圖1(b)中，係設於收納有 電子零件ό之貫穿孔4b的上游側，不過，在貫穿孔仆之上 游側，且在下一個貫穿孔的上游側亦分別配置有壓力釋放 溝4f。亦即，如圖2(b)所示，在}個貫穿孔扑之上游側，且 下一個貫穿孔4b的下游側，配置有壓力釋放溝4f。因為設 有壓力釋放溝4f ’而從後述之動作說明瞭解，在貫穿孔扑 120616.doc -17 - 1333929 中， 藉由 逸出 自喷出孔^噴出壓縮空氣而取出電子零件6後 搬送台4關閉喷出孔丨丨，殘餘壓力係自壓力釋 ’而可防止殘餘壓力造成之不良影響。 ，即使 放溝4f

較佳的I上述壓力釋放溝4£之沿著上述搬送方向的尺 寸之屋力釋放溝4f的寬度方向尺切，須為貫穿孔⑽位 於貫穿孔4b之搬送方向上游側之下一個貫穿孔間之距離的 观以上。此種情況下’由於壓力釋放溝竹之寬度方向尺 寸W充分大’因此可充分長地喷出壓縮空氣，❿更確實地 防止殘餘壓力造成之不良影響。 另外，本實施㈣之數個貫穿孔仙係排列於搬送台*之 周方向’不過’數個貫穿孔4b係以在周方向上成為2行之 方式配置。而在一方之行的貫穿孔扑之上游側配置有壓力 釋放溝4f，在另—方之行的貫穿孔❹上游側，亦同樣地設 有塵力釋放溝，㈣力釋放溝以到達重疊於吸引用凹部％ 之位置的方式設置。

而後，因為殘餘壓力亦藉由對應於上述另—方之行的貫 穿孔而設置之壓力釋放溝，而逸出吸引用凹部％，所以可 防止殘餘壓力造成之不良影響。 其次’說明本實施形態之電子零件搬送裝置的動作。 如圖3⑷所示，使用電子零件搬送裝置㈣定特性，而搬 =電子零件時’係、自電子零件供給裝置7逐—將數個電子 零件插人上述搬送台4之貫穿孔㈣。而後，#由驅動驅 動裝置5使搬送台4順時鐘方向旋轉。結果，收納於貫穿孔 仆中之電子零件6在搬送台4之周方向上順時鐘地搬送。此 】20616.doc 時’错由自吸引用凹部讣、3c吸引，而 子零件6保持正確之姿勢進行搬送。 穿孔朴内’電 性而性測定裝置8中，測定送達之電子零件6的特 件取性結果進行電子零件之分別。亦即，在電子零 广；置9中’取出電子零件時，在特定之位置僅取出 二位置：Γ置取出瑕疲品，並依特性值，決定在數個 取出電子零件。如此，係依特性測定結果， =子零件取出裝置”，於特定之電子零件取出位置取出 押:過’該控制只須在電子零件搬送裝置中連接 工幾構，並依自特性測定裝置8獲得之敎結果，來驅 動電子零件取出裝置9即可。 如上述地決定電子零件取出位置，在須取出電子零件之 位置的噴出孔"上’藉由搬送台4之旋轉驅動，而須取出 之電子零件6到達時，自喷出孔u嗔出屡縮空氣，來 電子零件6。 另外，使搬送台4進一步旋轉時，於貫穿孔补通過後， 上述噴出孔11被搬送台4之第一面4c關閉。此時，喷出孔 Π内殘留壓縮空氣時’在流路上產生殘餘壓力。' 而先前之搬送裝置，藉由該殘餘屢力 其次送達之電子零件6的位置，仍可能藉由殘餘厂以= 出。反之，本實施形態之工件搬送裝置丨，則可確實防止 該殘餘壓力造成之不良影響。 亦即，即使在噴出孔11内產生殘餘壓力，其次將壓力釋 放溝4f設於產生殘餘壓力之喷出孔u的上方。此時，如圖 120616.doc 1333929 2(b)所示’喷出孔1丨藉由壓力釋放溝4f而連通於吸引用凹 部3c。因此，自殘流於喷出孔丨丨内之壓力釋放溝4f吸引， 而消除殘餘壓力。 因此，其次，在除去了上述殘餘壓力之喷出孔丨丨上，即 使不應取出之電子零件6藉由搬送台4之旋轉驅動而到達 時，該電子零件6仍不致飛出。

如上述，本實施形態之工件搬送裝置丨，因設有壓力釋 放溝4f，所以，即使噴出孔丨〗中產生殘餘壓力，仍可確實 防止因殘餘壓力導致不希望之電子零件飛出。 因而，不需要為了除去殘餘壓力，而停止搬送搬送台 4，並在等待狀態巾，自喷出孔η除去㈣空氣的繁雜步 驟’所以在工件搬送裝置】中，τ飛躍地提高搬送效率。 圖5⑷及圖5(b)係說明本發明第二種實施形態之工件搬 送裝置的重要部分用之部分欠缺侧面剖面圖及模式性前視 剖面圖，且係相當於圖1(a)及圖1(b)之圖。

第二種實施形態為了釋放殘餘壓力，而設有壓力釋放溝 4f，不過，第二種實施形態係取代該壓力釋放溝打，而 壓力釋放孔4g設於搬送台4上。亦即，圖6係顯示在第二種 實施形態之工件搬送裝置丨中’取代麼力釋放溝 有壓力釋放孔4g之邱八沾正二^ 又 g之口P刀的千面圖。其他構造與第— 形態相同’因此援用第-種實施形態之說明。 壓力釋放孔4g設於在工件取 上游側，且下一個噴出孔旧 -置之噴出孔"的 態，藉由來自噴出孔=側。從圖5(a)所示之狀 、 之壓鈿空氣而取出電子零件6後， 120616.doc ‘20. 方疋轉驅動搬送台4。結果，如圖6所示，在圖5(b)中，於取 出電子零件6之噴出孔11上重疊有上述壓力釋放孔4g。壓 力釋放孔4g自搬送台4之第一面4c貫穿於第二面4d。亦即 設有作為貫穿孔之壓力釋放孔4g。 如上述，因壓力釋放孔4g貫穿搬送台4,所以在噴出孔 11上重疊壓力釋放孔4g時’即使喷出孔u内產生殘餘壓 力’由於噴出孔11釋放於大氣中’因此殘餘壓力迅速消 除。 亦即’如第二種實施形態所示，亦可取代壓力釋放溝 而設置將噴出孔丨丨釋放於大氣中用的壓力釋放孔4g。 另外’第二種實施形態中’亦是壓力釋放孔4 g位於各貫 穿孔4b之上游側，亦即上流側，且位於下—個貫穿孔仏之 下游側。 較佳的是’壓力釋放孔4g之開口面積須大於上述噴出孔 11之開口面積。藉此，可迅速釋放噴出孔u於大氣中。 第二種實施形態之壓力釋放孔4g，由於可僅在搬送台4 上設置貫穿孔而形成，因此比第一種實施形態之壓力釋放 溝4f容易形成。另外，壓力釋放孔4g並不限定於上述之在 搬送台4上設置貫穿孔之構造’亦可一端開口於搬送台4之 第一面4c，另一端導向搬送台4之側面等，而在側面等連 通於大氣。 此外，第二種實施形態之壓力釋放孔4g，圖上顯示為圓 孔’不過’如圖5(b)中之一點鍵線所示，亦可形成長孔狀 之壓力釋放孔4h。長孔狀之壓力釋放孔4h較佳的是，其長 120616.doc 21 1333929

度方向尺寸為上述搬送方向’該長度方向尺寸須為貫穿孔 仆與位於貫穿孔4b之搬送方向上游侧之下一個貫穿孔間之 距離的50。/。以上之長度。此種情況下，由於沿著壓力釋: 孔4h之搬送方向的尺寸充分長，因此可以充分長之時間釋 放麼力’藉此’可更每實防止殘餘壓力造成之不良影響。 較佳的是’上述長孔狀之处的寬度方向尺寸，亦即與㈣ 方向正交之方向的尺寸為工件6無法進入之大小，=即項 比工件之外部尺寸中最小之邊的長度短。藉此，工件 致進入壓力釋放孔4 h而被收納。 並在中心軸 上述實施形態之搬送台具有圓板狀之形狀 4a之周圍順時鐘旋轉驅動，不過，搬送台無須具有圓板狀 之形狀。此外’搬送台亦可移動於直線狀等其他方向，藉 此’以使設於搬送台中之貫穿孔不在周方肖，而搬送於^ 他方向的方式構成搬送路徑。亦即，本發明之工件搬送裝

置並不限定於使圓板狀之搬送台對搬送載台之搬送面旋 而行動者。 此外，上述電子零件搬送裝置係搬送作為工件之電子零 件，不過，亦可用於搬送電子零件以外之其他工件的用途 上0 此外，上述實施形態之壓、缩氣體係使用壓、缩空氣，不過 亦可使用氮等其他惰性氣體。 [圖式簡單說明】 圖】（a)及圖1(b)係顯不在本發明之第—種實施形態的工 件搬送裝置中，藉錢縮空氣取出作為工件之電子零件之 J206l6.doc -22. 1333929 部分的構造之部分欠缺側面剖面圖及模式平面圖。 圖2(a)及圖2(b)係顯示在本發明之第—種實施形態的工 件搬送裝置中，設有除去噴出孔内之殘餘壓力用的壓力釋 放溝之部分連通於吸引用凹部的狀態之部分欠缺側面剖面 圖及模式前視圖。

圖4係放大沿著圖3之Α·Α線部分而顯示之側面剖面圖。 圖5⑷及圖5⑻係說明在本發明之第二種實施形態的工 件搬运裝置m件取出位置取出作為工件之電子零件 的構造用之部分欠缺剖面圖及模式平面圖。 圆6係顯示第二種實施形態中 孔之狀態的部分欠缺剖面圖。

圖3⑷係本發明—種實施形態之電子零件搬送裝置的前 視圖，圖，說明設於搬送面之吸引溝用的前視圖。 ’壓力釋放孔重疊於嘴出 送裝.置中，取出電子零件 圖7係說明先前之電子零件搬 之部分用的模式性前視剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 電.子零件搬送裝置 2 基板 3 搬送载台 3a 搬送面 3b, 3c, 3d 吸引用凹部 4 搬送台 4a 中心 4b 貫穿孔 120616.doc -23- 1333929 4c 第一面 4d 第二面 4e 吸引溝 4f 壓力釋放溝 4g 壓力釋放孔 4h 壓力釋放孔 5 驅動裝置 6 電子零件 7 電子零件供給裝置 8 特性測定裝置 9 取出裝置 10 吸引源 11 噴出？L 11a 開口部 1206l6.doc -24-

Claims (1)

1333929 捫年7月Μ日修(更)正本 - 第096118000號專利申請案 . 中文申請專利範圍替換本(99月7月） 十、申請專利範圍： 1. 一種工件搬送裝置，其特徵為包括： • 搬送載台，其係包含搬送工件之搬送面； . 搬送台，其係包含以與前述搬送載台之前述搬送面相 - 對向之方式配置的第一面及與第一面相反側之第二面， 且具備貫穿第一、第二面之貫穿孔；及 驅動機構，其係為在使前述搬送台之第一面與前述搬 送載台之搬送面相對向的狀態下可使前述搬送台對搬送 面一面滑動一面移動，而連結於前述搬送台及/或前述搬 送載台； 在前述搬送台之前述貫穿孔中插入工件之狀態下，藉 由前述搬送台相對前述搬送面移動，而搬送前述工件，且 在前述搬送載台之搬送面上設有：吸引用凹部，其係 為了吸引並保持插入前述貫穿孔之工件，以沿著前述工 件之搬送方向延伸之方式設置；及喷出孔，其係為了取 出插入前述貫穿孔之前述工件，以可與前述貫穿孔重疊 之方式設於工件取出位置，且用於使壓縮氣體喷出； 在前述搬送台之第一面上以與前述貫穿孔相連的方式 設有在與工件搬送方向交叉之方向上延伸的吸引溝，且 構成為在該吸引溝與設於前述搬送台之搬送面的前述吸 引用凹部連通的狀態下，前述搬送台相對搬送載台之搬 送面一面滑動一面移動；且進一步包括： 連結於前述吸引用凹部之吸引裝置；及 連結於前述喷出孔之壓縮氣體供給裝置； 120616-990716.doc 1333929 前述搬送台之前述第一面上設有壓力釋放溝，其係在 插入前述工件之前述貫穿孔的搬送方向下游侧，自前述 搬送台移動時與前述喷出孔重疊之位置向與搬送方向交 又之方向延伸’且連通於前述吸引用凹部。 2. 求項1之工件搬送裝置，其中前述壓力釋放溝之沿 著前述搬送方向之尺寸即寬度方向尺寸，係設為前述貫 穿孔與前述搬送方向上游側之下一個貫穿孔間之距離的 50%以上之大小。 3. —種工件搬送裝置，其特徵為包括： 搬送載台，其係包含搬送工件之搬送面； 搬送0，其係包含以與前述搬送載台之前述搬送面相 士向之方式配置的第一面及與第一面相反側之第二面， 且具備貫穿第―、第二面之貫穿孔；及 驅動機構，其係為在使前述搬送台之第一面與前述搬 送載口之搬送面相對向的狀態下可使前述搬送台對搬送 面面滑動一面移動，而連結於前述搬送台及/或前述搬 送載台； 在前述搬送台之前述貫穿孔卡插入工件之狀態下，藉 由前述搬送台相對前述搬送面移動’而搬送前述工件，且 在刖述搬送载台之搬送面上設有：吸引用凹部，其係 為了吸引並保持插入前述貫穿孔之工件，以沿著前述工 件之搬：方向延伸之方式設置；及喷出孔，其係為了取 出插入刖述貝牙孔之前述工件，以可與前述貫穿孔重疊 之方式設於前述工件取出位置，且用於使壓縮氣體噴 120616-990716.doc 2 · 1333929 出； 在前述搬送台之第一面上以與前述貫穿孔相連之方 設有在與工件搬送方向交叉之方向上延伸的吸引溝式 構成為在該吸引溝與設於前述搬送台之搬 引用凹部連通的狀態下，前述搬送台相對搬送載台之搬 送面一面滑動一面移動；且進一步包括： 連結於前述吸引用凹部之吸引溝、連結於前述 之吸引裝置、及 連結於前述喷出孔之壓縮氣體供給裝置； 刖述搬送台之第一面上設有壓力釋放孔，其係 前述貫穿孔之搬送方向下游側且前述搬送台移動時會與 前述喷出孔重疊之位置’於前述搬送台之第一面開口 :、 且連通於大氣。 (如請求項3之工件搬送裝置，其中前述壓力釋放孔係長 度方向延伸於前述搬送方向之長孔，前述長孔之長度方 向尺寸係設為前述貫穿孔與前述搬送方向上游侧之下一 個貫穿孔間的距離之5〇%以上的尺寸，且與前述長孔之 =方向正交之寬度方向尺寸為了使前述工件無法進入 該長孔，設為比工件之外部尺寸中最小之邊的長度更 短0 5. 如5青求項3或4之工杜你，、’αμ 女Ρ 件搬迗裝置，其中前述壓力釋放孔具 有與賀出孔之開口邱沾„ 的開口面積相同之開口面積。 6. 如請求項4之工件搬 、 A 逯裝置，其中前述壓力釋放孔係以 自刖述搬送台之望_ τ* ^ 第面貝穿於第二面之方式設置。 120616-990716.doc 1333929 7. 如請求項1至4中任一項之工件搬送裝置，其中前述搬送 台包含中心軸，為了該搬送台可在該中心轴之周圍旋 轉，以前述驅動機構驅動前述搬送台，藉此使前述貫穿 孔向前述搬送台之周方向移動，而將前述工件向搬送台 之周方向搬送。 8. 如請求項1至4中任一項之工件搬送裝置，其中前述工件 係電子零件。 120616-990716.doc