KR101081068B1

KR101081068B1 - 워크 반송장치 및 전자부품 반송장치

Info

Publication number: KR101081068B1
Application number: KR1020087027352A
Authority: KR
Inventors: 사토루 타케우치; 요시카즈 사사오카
Original assignee: 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
Priority date: 2006-06-02
Filing date: 2007-05-02
Publication date: 2011-11-07
Also published as: US7837027B2; CN101454229B; KR20090015921A; JP2007320732A; CN101454229A; TW200821246A; US20090127070A1; JP4079179B2; TWI333929B; WO2007141976A1

Abstract

반송 테이블의 관통구멍에 수납되어 전자부품이 반송되는 전자부품 반송장치에 있어서, 압축기체를 이용해서 관통구멍에서 전자부품을 신속하고도 확실하게 꺼낼 수 있는 동시에, 압축공기의 잔압에 의해 원치 않게 전자부품이 튀어나오는 일 등이 발생하기 어려워 반송 효율을 높일 수 있는 전자부품 반송장치를 제공한다. 반송 테이블(4)의 제1면(4c)에, 반송 테이블(4)이 회전 구동되었을 때에 분출구멍(11)에 포개지는 위치에서 반송방향과 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 흡인용 오목부(3b)에 연이어 통하는 압력개방홈(4f) 또는 대기 개방을 실현하는 압력개방구멍(4g)이 형성되어 있는 워크 반송장치(1).

전자부품 반송장치, 반송 테이블, 관통구멍, 분출구멍, 압력개방수단

Description

워크 반송장치 및 전자부품 반송장치{WORK TRANSPORTING APPARATUS AND ELECTRONIC COMPONENT TRANSPORTING APPARATUS}

본 발명은 칩형 전자부품 등의 다수의 전자부품을 반송(搬送)하기 위한 워크 반송장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 워크가 수납되는 수납부로서의 관통구멍이 형성되어 있는 반송 테이블을 반송 스테이지상에서 이동시킴으로써 워크를 반송하는 형식의 워크 반송장치 및 전자부품 반송장치에 관한 것이다.

종래, 칩형 전자부품의 제조시에는 칩형 전자부품을 제작하고 특성을 검사한 후, 특성에 따라 양품·불량품의 선별이 행해지고 있다. 또한 특성에 따라, 얻어진 칩형 전자부품을 복수의 그룹으로 분별하는 일도 행해지고 있다. 이들 작업을 자동화하여 생산성을 높이기 위해 각종 제조장치가 제안되어 있다.

예를 들면 하기의 특허문헌 1에는 이러한 종류의 전자부품 반송장치의 일례가 개시되어 있다. 이 전자부품 반송장치에서는 전자부품을 반송하기 위해 테이블 베이스의 반송면에 접촉하도록 원판 형상의 반송 테이블이 배치되어 있다. 원판 형상의 반송 테이블은 그 중심축 주위로 회전할 수 있도록 회전 구동원에 연결되어 있다. 그리고 호퍼(hopper)로부터 순차 공급되는 1개의 전자부품이 수납되는 관통구멍이 반송 테이블의 둘레방향을 따라 복수개 형성되어 있다. 이 각 관통구멍 내 에 전자부품이 호퍼로부터 공급된다. 반송 테이블이 테이블 베이스의 반송면상을 슬라이딩하면서 회전함으로써 전자부품이 반송 테이블의 둘레방향으로 반송된다.

여기서는, 전자부품을 반송 테이블의 둘레방향으로 반송하는 사이에 전자부품의 특성이 측정되고 있다. 그리고 측정 결과에 기초하여 양품·불량품을 선별하거나 특성값에 따라 분별하기 위해 특성이 측정된 전자부품이 상기 관통구멍으로부터 적절한 전자부품 추출 수단을 이용해서 꺼내진다.

또한, 상기 반송시에 전자부품의 자세를 유지하기 위해 상기 반송면에는 상기 관통구멍으로 이어지는 흡인용 오목부가 형성되어 있으며, 상기 흡인용 오목부는 진공 흡인원 등에 접속되어 있다.

한편, 특성의 측정을 마친 전자부품을 꺼낼 때에는 도 7에 나타내는 구조가 이용되고 있다. 즉, 도 7에 나타내는 바와 같이 전자부품 반송장치(101)에서는 상기 반송 테이블(102)이 관통구멍(102a)을 가진다. 관통구멍(102a)에는 전자부품(104)이 수납되어 있다. 또한, 반송 테이블(102)의 한쪽면(102b)은 테이블 베이스(103)의 반송면(103a)과 접촉되어 있다.

그리고 테이블 베이스(103)의 반송면(103a)에서는 전자부품(104)의 추출 위치에 분출구멍(103b)이 열려 있다. 분출구멍(103b)은 반송면(103a)으로부터 반송면(103a)과는 반대측인 면(103c)쪽을 향해 연장되어 있으며, 또한 압축공기 공급호스(105)에 접속되어 있다. 압축공기 공급호스(105)는 컴프레서(compressor)나 가스 실린더 등의 압축공기 공급원에 접속되어 있다.

측정을 마친 전자부품(104)이 반송 테이블(102)의 회전에 의해 전자부품 추 출 위치에 왔을 때, 관통구멍(102a)의 일부에 관통구멍(102a)의 개구부보다도 작은 직경의 상기 분출구멍(103b)이 면하게 된다. 그리고 분출구멍(103b)에서 압축공기가 분사된다. 압축공기의 압력에 의해 전자부품(104)이 관통구멍(102a) 외측으로 이동되어 전자부품(104)이 꺼내진다.

이 방법에 의하면, 기계적인 충격을 부여하지 않고 전자부품(104)을 꺼낼 수 있으므로 전자부품(104)의 손상이 발생하기 어렵다.

[특허문헌 1] 일본국 공개특허공보 2004-226101호

그런데 반송 테이블(102)은 상술한 바와 같이, 테이블 베이스(103)와는 독립적으로 테이블 베이스(103)의 반송면(103a)상을 슬라이딩하면서 이동한다. 따라서, 상기 압축공기에 의해 전자부품(104)이 꺼내진 후, 반송 테이블(102)이 더 회전된다. 그 결과, 상기 분출구멍(103b)은 반송 테이블(102)의 한쪽면(102b)에 의해 다시 닫히게 된다.

이 경우, 압축공기가 완전히 관통구멍(102a) 내에 배출되어 전자부품(104)이 꺼내지고, 그 후 압축공기의 공급을 정지시킨 후에 분출구멍(103b)이 반송 테이블(102)의 한쪽면(102b)에서 닫힌 경우에는 문제가 생기지 않는다.

그러나 반송 속도를 높인 경우에는 압축공기가 분출구멍(103b) 내에 잔존한 상태 그대로, 분출구멍(103b)의 개구부가 반송 테이블(102)에 의해 닫히는 경우가 있었다. 그 경우에는 분출구멍(103b) 내에 압축공기가 잔존하여 잔압이 발생한다.

따라서, 반송 테이블(102)이 더 회전하여 상기 전자부품 추출 위치에서는 꺼내서는 안 되는 전자부품이 수납되어 있는 다음 관통구멍이 상기 분출구멍(103b)상에 이동해 오면, 본래 꺼내서는 안 되는 전자부품이 잔압에 의해 꺼내지는 경우가 있었다. 따라서, 종래의 전자부품 반송장치에서는 전자부품(104)을 꺼낸 후 반송 테이블(102)을 즉시 회전 이동시키지 않고, 공기를 완전히 배출시키기 위해 반송 테이블(102)을 소정 시간 대기시켜야 했다. 즉, 상기 잔압을 개방하기 위해 대기 시간이 필요하여 전자부품 반송장치를 고속 가동할 수 없었다.

특히, 전자부품의 사이즈가 작아짐에 따라, 상기 분출구멍(103b)의 크기도 작게 할 필요가 있었다. 그로 인해, 분출구멍(103b)의 크기가 작아지면 공기 분출량이 충분하지 않기 때문에, 잔압을 제거하기 위한 대기 시간을 한층 더 길게 하지 않으면 안 되었다. 또한, 대기 시간을 길게 하더라도 잔압이 충분히 개방되기 어려워진다는 문제도 있었다.

본원의 제1의 발명은, 워크가 반송되는 반송면을 가지는 반송 스테이지와, 상기 반송 스테이지의 상기 반송면에 대향하도록 배치된 제1면과, 제1면과는 반대측인 제2면을 가지며, 제1, 제2면을 관통하는 관통구멍이 포함되어 있는 반송 테이블과, 상기 반송 테이블의 제1면을 상기 반송 스테이지의 반송면에 대향시킨 상태로 상기 반송 테이블을 반송면에 대하여 슬라이딩시키면서 이동시키는 것이 가능하도록, 상기 반송 테이블 및/또는 상기 반송 스테이지에 연결된 구동 수단을 포함하고, 상기 반송 테이블의 상기 관통구멍에 워크를 삽입한 상태로 상기 반송 테이블이 상기 반송면에 대하여 이동됨으로써 상기 워크가 반송되는 워크 반송장치로서, 상기 반송 스테이지의 반송면에, 상기 관통구멍에 삽입된 워크를 흡인하여 유지하기 위해 상기 워크의 반송방향을 따라 연장되도록 형성된 흡인용 오목부와, 상기 관통구멍에 삽입된 상기 워크를 꺼내기 위해 상기 관통구멍과 포개질 수 있도록 워크 추출 위치에 형성되어 있으며 압축기체를 분출시키기 위한 분출구멍이 형성되어 있고, 상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 관통구멍으로 이어지도록, 또한 워크 반송방향과 교차하는 방향으로 연장된 흡인홈이 형성되어 있고, 상기 흡인홈이 상기 반송 테이블의 반송면에 형성된 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 상태로 상기 반송 테이블이 반송 스테이지의 반송면에 대하여 슬라이딩하면서 이동되도록 구성되어 있으며, 상기 흡인용 오목부에 연결된 흡인장치와, 상기 분출구멍에 연결된 압축기체 공급장치를 더 포함하며, 상기 반송 테이블의 상기 제1면에 있어서, 상기 워크가 삽입되는 상기 관통구멍의 반송방향 하류측에 있어서, 상기 반송 테이블이 이동되었을 때에 상기 분출구멍에 포개지는 위치로부터 반송방향과 직교하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 압력개방홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

제1의 발명에서는, 바람직하게는 상기 압력개방홈의 상기 반송방향을 따르는 치수인 폭방향 치수는 상기 관통구멍과 상기 반송방향 상류측의 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상의 크기로 되어 있다. 이 경우에는 압력개방홈의 반송방향을 따르는 치수인 폭방향 치수가 충분히 크게 되어 있으므로 압축기체를 충분히 긴 시간 분출시켜 압력을 확실하게 개방시킬 수 있다.

또한 제2의 발명은, 워크가 반송되는 반송면을 가지는 반송 스테이지와, 상기 반송 스테이지의 상기 반송면에 대향하도록 배치된 제1면과, 제1면과는 반대측인 제2면을 가지며, 제1, 제2면을 관통하는 관통구멍이 포함되어 있는 반송 테이블과, 상기 반송 테이블의 제1면을 상기 반송 스테이지의 반송면에 대향시킨 상태로 상기 반송 테이블을 반송면에 대하여 슬라이딩시키면서 이동시키는 것이 가능하도록, 상기 반송 테이블 및/또는 상기 반송 스테이지에 연결된 구동 수단을 포함하고, 상기 반송 테이블의 상기 관통구멍에 워크를 삽입한 상태로 상기 반송 테이블이 상기 반송면에 대하여 이동됨으로써 상기 워크가 반송되는 전자부품 반송장치로서, 상기 반송 스테이지의 반송면에, 상기 관통구멍에 삽입된 워크를 흡인하여 유지하기 위해 상기 워크의 반송방향을 따라 연장되도록 형성된 흡인용 오목부와, 상기 관통구멍에 삽입된 상기 워크를 꺼내기 위해 상기 관통구멍과 포개질 수 있도록 상기 워크 추출 위치에 형성되어 있으며 압축기체를 분출시키기 위한 분출구멍이 형성되어 있고, 상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 관통구멍으로 이어지도록, 또한 워크 반송방향과 교차하는 방향으로 연장된 흡인홈이 형성되어 있고, 상기 흡인홈이 상기 반송 테이블의 반송면에 형성된 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 상태로 상기 반송 테이블이 반송 스테이지의 반송면에 대하여 슬라이딩하면서 이동되도록 구성되어 있으며, 상기 흡인용 오목부에 연결된 흡인장치와, 상기 분출구멍에 연결된 압축기체 공급장치를 더 포함하고, 상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 반송 테이블이 이동되었을 때에 상기 분출구멍에 포개지는 위치로서, 상기 관통구멍의 반송방향 하류측에 배치되어 있고, 상기 반송 테이블의 제1면에 열려 있으며, 또한 대기에 연이어 통하고 있는 압력개방구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

즉 제1, 제2의 발명은 모두, 흡인용 오목부로 이어져 있으며 분출구멍에서의 잔압을 개방하기 위해 압력개방 수단이 형성되어 있는 점에서 공통된다.

상기 압력개방구멍은 길이방향이 상기 반송방향으로 연장되는 긴 구멍으로서, 상기 긴 구멍의 길이방향 치수가 상기 관통구멍과 상기 반송방향 상류측의 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상의 치수로 되어 있고, 또한 상기 긴 구멍의 길이방향과 직교하는 폭방향 치수는 상기 워크가 상기 긴 구멍에 들어갈 수 없도록, 워크의 바깥치수에서 가장 작은 변의 길이보다도 짧게 되어 있다. 이 경우에는 압력개방구멍이 긴 구멍이고, 그 길이방향 치수는 상기한 바와 같이 충분히 크게 되어 있으므로 압축기체를 긴 시간 분출시켜 압력을 충분히 개방할 수 있다. 덧붙여, 압력개방구멍의 폭방향 치수는 상기 워크가 들어갈 수 없는 크기로 되어 있으므로 잘못하여 워크가 압력개방구멍에 침입하는 일도 없다.

바람직하게는, 상기 압력개방구멍은 상기 반송 테이블의 제1면에서 제2면으로 관통하도록 형성되어 있다. 이 경우에는 압력개방구멍을 반송 테이블에 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 분출구멍에서 분출된 잔존하고 있는 압축기체가 압력개방구멍을 경유하여 반송 테이블의 제2면에서 외측으로 신속하게 빠져나가게 된다.

바람직하게는, 상기 반송 테이블이 중심축을 가지며 상기 반송 테이블이 상기 중심축의 주위로 회전할 수 있도록 상기 반송 테이블이 상기 구동 수단으로 구동되고, 그로 인해 상기 관통구멍이 상기 반송 테이블의 둘레방향으로 이동되어 상기 워크가 반송 테이블의 둘레방향으로 반송된다. 이 경우에는 반송 테이블을 원판 형상으로 하여 반송 테이블을 포함하는 전자부품 반송시의 반송 경로의 설치 스페이스를 작게 할 수 있어 전자부품 반송장치를 포함하는 설비의 소형화를 도모할 수 있다.

(발명의 효과)

제1, 제2의 발명에 따른 전자부품 반송장치에서는, 반송 스테이지의 반송면에 대향하도록 반송 테이블이 배치되어 있고, 반송 테이블에 형성된 관통구멍에 워크가 삽입된 상태로 반송 테이블이 반송면에 대하여 이동됨으로써 워크가 반송된다. 그리고 이 반송면에는 관통구멍으로 이어진 흡인용 오목부가 형성되어 있기 때문에 흡인에 의해 전자부품이 적절한 자세로 유지된다.

나아가 제1의 발명에서는, 압력개방홈이 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 관통구멍의 반송방향 하류측에 배치되어 있고, 또한 반송 테이블이 이동되었을 때에 분출구멍에 포개지는 위치에서 반송방향과 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 흡인용 오목부에 연이어 통하도록 형성되어 있다. 따라서, 어느 관통구멍에 수납되어 있는 워크를 압축기체를 분출구멍에서 분출시켜 꺼낸 후, 상기 분출구멍이 반송 테이블의 이동에 의해 닫혀 잔압이 발생하였다고 해도, 닫혀 있는 분출구멍에 다음에 상기 압력개방홈이 포개지면 압력개방홈을 경유하여 흡인용 오목부에 상기 잔압이 빠져나간다. 그로 인해 분출구멍 내의 압력이 개방되게 된다.

따라서, 잔압에 의한 다음 전자부품의 관통구멍에서 원치 않게 튀어나오는 것을 방지할 수 있는 동시에, 반송장치에 있어서 반송 테이블을 대기시키는 여분의 시간을 단축할 수 있다. 혹은 대기 시간을 요하지 않고 반송 테이블을 반송시킬 수 있다. 따라서 전자부품 반송장치에서의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

마찬가지로, 제2의 발명에서는 제1의 발명에서의 압력개방홈을 대신하여, 반송 테이블의 제1면에 열려 있고 대기 개방되어 있는 압력개방구멍이 형성되어 있다. 이 압력개방구멍은 관통구멍의 반송방향 하류측에 배치되어 있으며, 반송 테이블이 이동되었을 때에 분출구멍에 포개지도록 형성되어 있다. 따라서, 어느 관통구멍에 수납되어 있던 워크가 분출구멍에서의 압축기체에 의해 꺼내진 후, 반송 테이블이 이동되어 상기 분출구멍이 닫히고 잔압이 발생했다고 해도, 압력개방구멍이 상기 분출구멍에 포개지는 위치에 이동되어 왔을 때에 잔압이 압력개방구멍에서 신속하게 개방된다.

따라서, 제2의 발명에서도 잔압에 의해 원치 않게 전자부품이 튀어나오는 것 등을 억압할 수 있으며, 또한 전자부품 반송장치에서의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1(a) 및 (b)는 본 발명의 제1의 실시형태의 워크 반송장치에 있어서, 워크로서의 전자부품을 압축공기에 의해 꺼내는 부분의 구조를 나타내는 부분 절결(cutout) 측면 단면도 및 모식적 평면도이다.

도 2(a) 및 (b)는 본 발명의 제1의 실시형태의 워크 반송장치에 있어서, 분출구멍 내의 잔압을 제거하기 위한 압력개방홈이 형성되어 있는 부분이 흡인용 오목부에 연이어 통하는 상태를 나타내는 부분 절결 측면 단면도 및 모식적 정면도이다.

도 3(a)는 본 발명의 하나의 실시형태의 전자부품 반송장치의 정면도이고, (b)는 반송면에 형성된 흡인홈을 설명하기 위한 정면도이다.

도 4는 도 3의 A-A선을 따라 자른 부분을 확대해서 나타내는 측면 단면도이다.

도 5(a) 및 (b)는 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 워크 반송장치에 있어서, 워크 추출 위치에서 워크로서의 전자부품이 꺼내지는 구조를 설명하기 위한 부분 절결 단면도 및 모식적 평면도이다.

도 6은 제2의 실시형태에 있어서, 압력개방구멍이 분출구멍에 포개진 상태를 나타내는 부분 절결 단면도이다.

도 7은 종래의 전자부품 반송장치에 있어서, 전자부품이 꺼내지는 부분을 설명하기 위한 모식적 정면 단면도이다.

<부호의 설명>

1 전자부품 반송장치

2 베이스 플레이트

3 반송 스테이지

3a 반송면

3b, 3c, 3d 흡인용 오목부

4 반송 테이블

4a 중심축

4b 관통구멍

4c 제1면

4d 제2면

4e 흡인홈

4f 압력개방홈

4g 압력개방구멍

4h 압력개방구멍

5 구동장치

6 전자부품

7 전자부품 공급장치

8 특성측정장치

9 추출장치

10 흡인원

11 분출구멍

11a 개구부

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명함으로써 본 발명을 명확히 한다.

도 3(a), (b)는 본 발명의 하나의 실시형태에 따른 전자부품 반송장치를 나타내는 약도적 정면도 및 후술하는 반송 테이블을 제외한 상태의 약도적 정면도이다.

전자부품 반송장치(1)는 베이스 플레이트(2)를 가진다. 본 실시형태에서 베 이스 플레이트(2)는 설치 스페이스에 있어서 상하방향으로 연장되도록 세워서 형성되어 있다. 단, 베이스 플레이트(2)는 상하방향에서 경사져 있어도 되고, 또한 베이스 플레이트(2)는 수평방향으로 연장되도록 배치되어 있어도 된다.

베이스 플레이트(2)의 한쪽면(2a)상에 반송 스테이지(3)가 배치되어 있다. 반송 스테이지(3)는 본 실시형태에서는 원판 형상의 플레이트이지만, 각판(角板) 형상 등의 다른 형상을 가지고 있어도 된다. 반송 스테이지(3)는 베이스 플레이트(2)에 대하여 고정되어 있다. 반송 플레이트(3)는 베이스 플레이트(2)측과는 반대측 면에 반송면(3a)을 가진다.

반송면(3a)상에 반송 테이블(4)이 배치되어 있다. 반송 테이블(4)은 원판 형상의 형상을 가진다. 반송 테이블(4)은 중심축(4a)의 주위로 회전할 수 있도록 배치되어 있으며, 상기 중심축(4a)은 약도적으로 나타내는 구동장치(5)에 연결되어 있다. 구동장치(5)에 의해 반송 테이블(4)은 시계방향으로 회전 이동되도록 구성되어 있다.

또한, 본 실시형태에서는 반송 테이블(4)이 중심축(4a)의 주위로 시계방향으로 회전되는데, 반송 테이블(4)이 고정되어 있고 반송 스테이지(3)가 중심축 주위로 회전되어도 되고, 또한 반송 스테이지(3)와 반송 테이블(4)의 쌍방이 중심축(4a)의 주위로 다른 속도로, 혹은 역방향으로 회전되어도 된다.

즉, 반송 테이블(4)이 상대적으로 반송 스테이지(3)의 반송면(3a)에 대하여 이동되도록 구성되어 있기만 하면 된다.

반송 테이블(4)은 예를 들면 금속 혹은 합성 수지 등의 경질(硬質) 재료로 이루어진다. 이 반송 테이블(4)의 바깥둘레 근방에는 복수의 관통구멍(4b)이 둘레방향으로 정렬 배치되어 있다. 관통구멍(4b)은 워크로서의 전자부품이 수납되는 수납부를 구성하고 있다. 본 실시형태에서 이 복수의 관통구멍(4b)은 둘레방향으로 2열 형성되어 있다.

단, 복수의 관통구멍(4b)으로 이루어지는 열의 수는 특별히 한정되지 않으며, 1열 혹은 3열 이상의 형태로 복수의 관통구멍(4b)이 배치되어도 된다.

도 4에 도 3의 A-A선을 따라 자른 부분을 부분 절결 단면도로 나타낸다. 도 4로부터 명확한 바와 같이, 반송 테이블(4)은 반송 스테이지(3)의 반송면(3a)상에 접촉 혹은 근접되어 있는 제1면(4c)과, 제1면(4c)과는 반대측의 면인 제2면(4d)을 가진다. 관통구멍(4b)은 제1면(4c)에서 제2면(4d)을 향해 관통하고 있다. 관통구멍(4b)의 제2면(4d)에서의 개구부는 전자부품(6)이 들어갈 수 있는 크기로 되어 있다.

본 실시형태에서는 관통구멍(4b)은 제2면(4d)에 있어서 원형의 개구 형상을 가지도록 형성되어 있다.

도 3(a)로 돌아가서, 전자부품은 상기 관통구멍(4b)에 반송 테이블(4)의 제2면(4d)측으로부터 전자부품 공급장치(7)에 의해 삽입된다. 이 전자부품 공급장치(7)로서는 호퍼나 적절한 전자부품 공급장치를 이용할 수 있으며 특별히 한정되지는 않는다.

또한, 상기 반송 테이블(4)이 시계방향으로 회전됨으로써, 반송 테이블(4)의 제1면(4c)이 반송 스테이지(3)의 반송면(3a)상을 슬라이딩하도록 반송 테이블(4)이 이동한다. 그 결과, 관통구멍(4b)에 수납된 전자부품(6)이 반송 테이블(4)의 둘레방향으로 반송되어 가는데, 그 반송로의 도중에는 특성측정장치(8)가 배치되어 있다. 특성측정장치(8)는 예를 들면 전자부품의 전극에 접촉되는 복수의 프로브(probe)를 가지며, 전자부품(6)의 전기적 특성을 측정하기 위해 형성되어 있다. 이 측정 결과에 따라 양품·불량품의 판별이 행해지거나, 혹은 특성값에 따라, 반송되어 오는 전자부품의 그룹이 나누어진다.

상기 측정장치(8)로서는 측정되는 특성에 따라 각종 전기적 계측 장치를 이용할 수 있다.

한편, 도 3(b)에 있어서, 상기 반송 테이블(4)을 떼어 내고 반송 스테이지(3)의 반송면(3a)을 노출시킨 상태를 나타내는 바와 같이, 반송면(3a)에는 2개의 흡인용 오목부(3b, 3c)가 동심원상에 형성되어 있다. 이 흡인용 오목부(3b, 3c)는 반송 스테이지(3)상에 배치되어 있는 반송 테이블(4)의 관통구멍(4b)의 일부에 후술하는 흡인홈을 통해 이어지도록 형성되어 있다. 동심원상에 2개의 흡인용 오목부(3b, 3c)가 형성되어 있는 것은 복수의 관통구멍이 둘레방향으로 2열 정렬 배치되어 있는 것에 따른다. 즉, 한쪽의 흡인용 오목부(3b)는 복수의 관통구멍(4b)으로 이루어지는 2열 중 외측 열의 직경방향 외측에 위치하고 있으며, 흡인용 오목부(3c)는 관통구멍(4b)의 작은 직경의 열의 직경방향 외측에 위치하고 있다. 그리고 외측 열의 관통구멍(4b)에 후술하는 흡인홈을 통해 흡인용 오목부(3b)가 접속되어 있으며, 내측 열의 관통구멍(4b)에는 후술하는 흡인홈에 의해 내측 흡인용 오목부(3c)가 접속된다. 흡인용 오목부(3b, 3c)는 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 진공 흡인원 등의 흡인원(10)에 접속되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 관통구멍(4b)은 제1면(4c)측에 있어서, 반송 테이블(4)의 직경방향으로 연장되는 흡인홈(4e)으로 이어져 있다. 이 흡인홈(4e)은 그 일부가 상기 흡인용 오목부(3b) 또는 흡인용 오목부(3c)에 포개지는 위치에 형성되어 있다.

따라서 흡인용 오목부(3b, 3c)에서 흡인원(10)에 의해 흡인함으로써, 그 부압에 의해 전자부품은 관통구멍(4b) 내에서 올바른 위치로 유지된다.

한편, 전자부품 추출장치(9)에서는 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 복수의 분출구멍(11)이 반송면(3a)에 열려 있다.

도 1(a) 및 (b)는 워크 추출 위치에서 전자부품(9)을 꺼내는 구조를 설명하기 위한 부분 절결 측면 단면도 및 모식도 평면도이다.

도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 반송 스테이지(3)의 반송면(3a)상에는 상기 원환(圓環) 형상으로 형성된 흡인용 오목부(3b, 3c)의 옆쪽에 있어서, 전자부품 추출 위치(9)에 상당하는 위치에 복수의 분출구멍(11)이 둘레방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 도 1(a)는 이 분출구멍(11)이 형성되어 있는 부분의 단면 구조를 나타낸다.

분출구멍(11)은 압축공기 공급원(X)에 접속되어 있으며, 분출구멍(11)의 개구(11a)에서 압축공기를 분출시킬 수 있도록 형성되어 있다.

또한, 상기 분출구멍(11)은 반송 테이블(4)이 구동장치(5)에 의해 회전 구동되고, 중심축(4a)의 주위로 시계방향으로 회전되어 왔을 때에 관통구멍(4b)이 포개 지는 위치에 형성되어 있다. 도 1(b)에서는 관통구멍(4b)이 어느 분출구멍(11)에 포개져 있는 상태가 도시되어 있다. 상술한 바와 같이, 관통구멍(4b)에는 전자부품(6)이 수납되어 있다. 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 관통구멍(4b)으로 이어지도록 상술한 흡인홈(4e)이 형성되어 있고, 상기 흡인홈(4e)은 관통구멍(4b)과는 반대측 단부(端部)에서 상술한 바와 같이 흡인용 오목부(3c)에 포개져 있다. 따라서, 반송되고 있는 사이 전자부품(6)은 흡인에 의해 그 자세가 유지되고 있다.

한편, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이 관통구멍(4b)이 전자부품(6)을 꺼내는 위치에 왔을 때에는 관통구멍(4b)은 분출구멍(11)에 포개진다. 그리고 분출구멍(11)에서 압축공기를 분출함으로 인해 전자부품(6)은 관통구멍(4b)에서 꺼내진다.

한편, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 어느 관통구멍(4b)의 상류측에서는 반송 테이블(4)의 제1면(4c)에 압력개방홈(4f)이 형성되어 있다. 압력개방홈(4f)은 도 2(a) 및 (b)에 나타내는 바와 같이, 반송 테이블(4)이 더 회전되어 압력개방홈(4f)이 상술한 분출구멍(11)에 포개지는 위치까지 회전 구동되었을 때에 분출구멍(11)의 개구부(11a)와 흡인용 오목부(3c)를 연이어 통하도록 형성되어 있다. 바꿔 말하면, 도 1(b) 및 도 2(a) 및 (b)에 나타내는 바와 같이, 상기 압력개방홈(4f)은 반송 테이블(3)이 회전 구동되었을 때에 분출구멍(11)에 포개지도록, 또한 그 상태에서 흡인용 오목부(3c)에 포개지도록 상기 전자부품(6)의 반송방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있고, 또한 흡인용 오목부(3c)에 연이어 통하도록 형성되어 있다.

상기 압력개방홈(4f)은 도 1(a) 및 (b)에서 전자부품(6)이 수납되어 있는 관통구멍(4b)의 상류측에 형성되어 있었지만, 관통구멍(4b)의 상류측이며, 다음 관통구멍의 상류측에도 각각 압력개방홈(4f)이 배치되어 있다. 즉, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 1개의 관통구멍(4b)의 상류측이자, 다음 관통구멍(4b)의 하류측에 압력개방홈(4f)이 배치되어 있다. 압력개방홈(4f)이 형성되어 있기 때문에 후술하는 동작 설명으로부터 명확한 바와 같이, 관통구멍(4b)으로 분출구멍(11)에서 압축공기를 분출시켜 전자부품(6)을 꺼낸 후, 분출구멍(11)이 반송 테이블(4)에 의해 닫혔다고 하더라도 잔압이 압력개방홈(4f)으로부터 빠져나가 잔압에 의한 악영향을 방지할 수 있다.

바람직하게는, 상기 압력개방홈(4f)의 상기 반송방향을 따르는 치수인 압력개방홈(4f)의 폭방향 치수(W)는 관통구멍(4b)과, 관통구멍(4b)의 반송방향 상류측에 위치하고 있는 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 압력개방홈(4f)의 폭방향 치수(W)가 충분히 크게 되므로, 압축공기를 충분히 긴 시간 분출시켜 잔압에 따르는 악영향을 따라 확실하게 방지할 수 있다.

한편, 본 실시형태에서는 복수의 관통구멍(4b)이 반송 테이블(4)의 둘레방향으로 배열되어 있는데, 복수의 관통구멍(4b)은 둘레방향에 2열이 되도록 배치되어 있다. 그리고 한쪽 열의 관통구멍(4b)의 상류측에 압력개방홈(4f)이 배치되어 있었지만, 다른쪽 열의 관통구멍(4b)의 상류측에도 마찬가지로 압력개방홈이 형성되어 있으며, 이 압력개방홈은 흡인용 오목부(3d)에 포개지는 위치에 이르도록 형성된 다.

그리고 상기 다른쪽 열의 관통구멍에 대응해서 형성된 압력개방홈에 의해서도, 잔압이 흡인용 오목부(3d)로 빠져나가게 되기 때문에 잔압에 의한 악영향을 방지할 수 있다.

다음으로 본 실시형태의 전자부품 반송장치의 동작을 설명한다.

도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 전자부품 반송장치(1)를 이용해서 특성을 선별하고, 전자부품을 반송하는 데 있어서는 전자부품 공급장치(7)로부터 복수의 전자부품을 1개씩 상기 반송 테이블(4)의 관통구멍(4b)에 삽입한다. 그리고 반송 테이블(4)을 구동장치(5)를 구동시킴으로써 시계방향으로 회전시킨다. 그 결과, 관통구멍(4b)에 수납되어 있는 전자부품(6)은 반송 테이블(4)의 둘레방향에 있어서 시계방향으로 반송되게 된다. 이 경우, 흡인용 오목부(3b, 3c)에서 흡인함으로써 관통구멍(4b) 내에서 전자부품(6)이 올바른 자세로 유지되어 반송된다.

그리고 특성측정장치(8)에 있어서, 반송되어 온 전자부품(6)의 특성이 측정되고 특성결과에 따라 전자부품의 분별이 행해진다. 즉, 전자부품 추출장치(9)에서 전자부품을 꺼낼 때에 양품만을 특정 위치에서 꺼내고 불량품을 다른 위치에서 꺼내거나, 특성값에 따라 복수의 다른 위치에서 전자부품을 꺼내는 것이 결정된다. 이와 같이 특성 측정결과에 따라 전자부품 추출장치(9)에 있어서 특정 전자부품 추출 위치에서 전자부품이 꺼내지게 되는데, 이러한 제어는 전자부품 반송장치에 제어 수단을 접속하고, 특성측정장치(8)로부터 얻어진 측정결과에 따라 전자부품 추출장치(9)를 구동하면 된다.

상기한 바와 같이 하여 전자부품 추출 위치가 결정되고 전자부품을 꺼내야 할 위치의 분출구멍(11)상에, 반송 테이블(4)의 회전 구동에 의해 꺼내야 할 전자부품(6)이 도달했을 때에 분출구멍(11)에서 압축공기가 분출되어 전자부품(6)이 꺼내진다.

한편, 반송 테이블(4)을 더 회전시키면 관통구멍(4b)이 통과한 후, 상기 분출구멍(11)은 반송 테이블(4)의 제1면(4c)에 의해 닫히게 된다. 이 경우, 분출구멍(11) 내에 압축공기가 잔존하면 유로(流路)에 잔압이 발생한다.

그리고 종래의 반송장치에서는 이 잔압에 의해, 다음에 반송되어 온 전자부품(6)을 꺼내야 할 위치가 아님에도 불구하고 잔압에 의해 꺼내질 우려가 있었다. 이에 반해, 본 실시형태의 워크 반송장치(1)에서는 이러한 잔압에 의한 악영향이 확실하게 방지된다.

즉, 분출구멍(11) 내에서 잔압이 발생하였다고 해도, 다음에 압력개방홈(4f)이 잔압이 발생한 분출구멍(11)의 상측에 위치하게 된다. 이 경우, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 분출구멍(11)이 압력개방홈(4f)에 의해 흡인용 오목부(3c)에 연이어 통하게 된다. 따라서, 분출구멍(11) 내에 잔존하고 있던 압력개방홈(4f)으로부터 흡인되어 잔압이 없어지게 된다.

따라서, 다음에 상기 잔압이 제거된 분출구멍(11)상에 꺼내서는 안 되는 전자부품(6)이 반송 테이블(4)의 회전 구동에 의해 도달하였다고 해도, 상기 전자부품(6)이 튀어나올 염려가 없다.

상기한 바와 같이, 본 실시형태의 워크 반송장치(1)에서는 압력개방홈(4f)이 형성되어 있기 때문에, 분출구멍(11)에 잔압이 발생하였다고 해도 잔압에 의해 원치 않게 전자부품이 튀어나오는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

따라서, 잔압을 제거하기 위해 반송 테이블(4)의 반송을 정지하고, 대기 상태에서 압축공기를 분출구멍(11)으로부터 제거하는 번잡한 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 워크 반송장치(1)에서 반송 효율을 비약적으로 높일 수 있게 된다.

도 5(a) 및 (b)는 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 워크 반송장치의 요부를 설명하기 위한 부분 절결 측면 단면도 및 모식적 정면 단면도로서, 도 1(a) 및 (b)에 상당하는 도면이다.

제1의 실시형태에서는 잔압을 개방하기 위해 압력개방홈(4f)이 형성되어 있었지만, 이 압력개방홈(4f)을 대신하여 제2의 실시형태에서는 압력개방구멍(4g)이 반송 테이블(4)에 형성되어 있다. 즉, 도 6은 제2의 실시형태의 워크 반송장치(1)에 있어서, 압력개방홈(4f)을 대신하여 압력개방구멍(4g)이 형성되어 있는 부분을 나타내는 평면도이다. 기타 구조에 대해서는 제1의 실시형태와 동일하기 때문에 제1의 실시형태의 설명을 원용하기로 한다.

압력개방구멍(4g)은 워크 추출 위치에 형성된 분출구멍(11)의 상류측이자, 다음 분출구멍(11)의 하류측에 형성되어 있다. 도 5(a)에 나타내는 상태로부터, 전자부품(6)이 분출구멍(11)으로부터의 압축공기에 의해 꺼내진 후 반송 테이블(4)이 회전 구동된다. 그 결과, 도 6에 나타내는 바와 같이 도 5(b)에 있어서 전자부품(6)이 꺼내진 분출구멍(11)에 상기 압력개방구멍(4g)이 포개지게 된다. 압력개방구멍(4g)은 반송 테이블(4)의 제1면(4c)에서 제2면(4d)으로 관통하고 있다. 즉, 관 통구멍으로서의 압력개방구멍(4g)이 형성되어 있다.

압력개방구멍(4g)은 상기한 바와 같이 반송 테이블(4)을 관통하고 있기 때문에, 분출구멍(11)에 압력개방구멍(4g)이 포개지면 분출구멍(11) 내에 잔압이 발생하였다고 해도 분출구멍(11)이 대기에 개방되므로 잔압이 신속하게 없어지게 된다.

즉, 제2의 실시형태에 나타내는 바와 같이 압력개방홈(4f)을 대신하여 분출구멍(11)을 대기 개방으로 하기 위한 압력개방구멍(4g)을 형성해도 된다.

한편, 제2의 실시형태에서도 압력개방구멍(4g)은 각 관통구멍(4b)의 상류측, 즉 상류측이자, 다음 관통구멍(4b)의 하류측에 위치하게 된다.

바람직하게는, 압력개방구멍(4g)의 개구 면적은 상기 분출구멍(11)의 개구 면적 이상으로 하는 것이 바람직하다. 그로 인해 분출구멍(11)을 신속하게 대기 개방으로 할 수 있다.

제2의 실시형태의 압력개방구멍(4g)은 반송 테이블(4)에 관통구멍을 마련하는 것만으로 형성할 수 있으므로, 제1의 실시형태의 압력개방홈(4f)에 비해 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 압력개방구멍(4g)은 상기와 같은 반송 테이블(4)에 관통구멍을 형성한 구조에 한정되지 않으며, 반송 테이블(4)의 제1면(4c)에 한쪽 끝이 열려 있고, 다른쪽 끝은 반송 테이블(4)의 측면 등으로 유도되어 측면 등에서 대기로 연이어 통하고 있어도 된다.

또한, 제2의 실시형태에서는 압력개방구멍(4g)은 둥근 구멍과 같이 도시되어 있지만, 도 5(b)에 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 긴 구멍 형상의 압력개방구멍(4h)을 형성해도 된다. 긴 구멍 형상의 압력개방구멍(4h)에서는, 바람직하게는 그 길이방향 치수가 상기 반송방향으로 되어 있고, 상기 길이방향 치수가 관통구멍(4b)과 관통구멍(4b)의 반송방향 상류측에 위치하는 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상의 길이로 되는 것이 바람직하다. 이 경우에는 압력개방구멍(4h)의 반송방향을 따르는 치수가 충분히 길게 되므로 압력을 충분히 긴 시간 개방할 수 있으며, 그로 인해 잔압에 의한 악영향을 따라 확실하게 방지할 수 있다. 바람직하게는, 상기 긴 구멍 형상의 압력개방구멍(4h)의 폭방향 치수, 즉 반송방향과 직교하는 방향의 치수는 워크(6)가 들어갈 수 없는 크기로 하는 것이, 즉 워크의 바깥치수에서 가장 짧은 변의 길이보다도 짧게 되어 있는 것이 바람직하다. 그로 인해 워크(6)가 압력개방구멍(4h)에 들어가 수납될 염려가 없다.

상기 실시형태에서는 반송 테이블은 원판 형상을 가지며, 중심축(4a)의 주위로 시계방향으로 회전 구동되고 있었지만, 반송 테이블은 반드시 원판 형상의 형상을 가질 필요는 없다. 또한, 반송 테이블은 직선 형상 등의 다른 방향으로 이동되고, 그로 인해 반송 테이블에 형성된 관통구멍을 둘레방향이 아니라 다른 방향으로 반송시키도록 반송로를 구성해도 된다. 즉, 본 발명의 워크 반송장치는 원판 형상의 반송 테이블을 반송 스테이지의 반송면에 대하여 회전시키는 행동에 한정되는 것이 아니다.

또한, 상기 전자부품 반송장치에서는 워크로서의 전자부품이 반송되고 있었지만, 전자부품 이외의 다른 워크를 반송하는 용도로 이용되어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는 압축기체로서 압축공기를 이용했지만, 질소 등의 다른 불활성 기체를 이용해도 된다.

Claims

워크가 반송(搬送)되는 반송면을 가지는 반송 스테이지와,

상기 반송 스테이지의 상기 반송면에 대향하도록 배치된 제1면과, 제1면과는 반대측인 제2면을 가지며, 제1, 제2면을 관통하는 관통구멍이 포함되어 있는 반송 테이블과,

상기 반송 테이블의 제1면을 상기 반송 스테이지의 반송면에 대향시킨 상태로 상기 반송 테이블을 반송면에 대하여 슬라이딩시키면서 이동시키는 것이 가능하도록 상기 반송 테이블 및/또는 상기 반송 스테이지에 연결된 구동 수단을 포함하고,

상기 반송 테이블의 상기 관통구멍에 워크를 삽입한 상태로 상기 반송 테이블이 상기 반송면에 대하여 이동됨으로써 상기 워크가 반송되는 워크 반송장치로서,

상기 반송 스테이지의 반송면에, 상기 관통구멍에 삽입된 워크를 흡인하여 유지하기 위해 상기 워크의 반송방향을 따라 연장되도록 형성된 흡인용 오목부와, 상기 관통구멍에 삽입된 상기 워크를 꺼내기 위해 상기 관통구멍과 포개질 수 있도록 워크 추출 위치에 형성되어 있으며 압축기체를 분출시키기 위한 분출구멍이 형성되어 있고,

상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 관통구멍으로 이어지도록, 또한 워크 반송방향과 교차하는 방향으로 연장된 흡인홈이 형성되어 있고, 상기 흡인홈 이 상기 반송 테이블의 반송면에 형성된 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 상태로 상기 반송 테이블이 반송 스테이지의 반송면에 대하여 슬라이딩하면서 이동되도록 구성되어 있으며,

상기 흡인용 오목부에 연결된 흡인장치와,

상기 분출구멍에 연결된 압축기체 공급장치를 더 포함하고,

상기 반송 테이블의 상기 제1면에 있어서, 상기 워크가 삽입되는 상기 관통구멍의 반송방향 하류측에 있어서, 상기 반송 테이블이 이동되었을 때에 상기 분출구멍에 포개지는 위치에서 반송방향과 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 압력개방홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제1항에 있어서,

상기 압력개방홈의 상기 반송방향을 따르는 치수인 폭방향 치수는 상기 관통구멍과 상기 반송방향 상류측의 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상의 크기로 되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
워크가 반송되는 반송면을 가지는 반송 스테이지와,

상기 반송 스테이지의 상기 반송면에 대향하도록 배치된 제1면과, 제1면과는 반대측인 제2면을 가지며, 제1, 제2면을 관통하는 관통구멍이 포함되어 있는 반송테이블과,

상기 반송 테이블의 제1면을 상기 반송 스테이지의 반송면에 대향시킨 상태로 상기 반송 테이블을 반송면에 대하여 슬라이딩시키면서 이동시키는 것이 가능하도록 상기 반송 테이블 및/또는 상기 반송 스테이지에 연결된 구동 수단을 포함하고,

상기 반송 테이블의 상기 관통구멍에 워크를 삽입한 상태로 상기 반송 테이블이 상기 반송면에 대하여 이동됨으로써 상기 워크가 반송되는 워크 반송장치로서,

상기 반송 스테이지의 반송면에, 상기 관통구멍에 삽입된 워크를 흡인하여 유지하기 위해 상기 워크의 반송방향을 따라 연장되도록 형성된 흡인용 오목부와, 상기 관통구멍에 삽입된 상기 워크를 꺼내기 위해 상기 관통구멍과 포개질 수 있도록 상기 워크 추출 위치에 형성되어 있으며 압축기체를 분출시키기 위한 분출구멍이 형성되어 있고,

상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 관통구멍으로 이어지도록, 또한 워크 반송방향과 교차하는 방향으로 연장된 흡인홈이 형성되어 있고, 상기 흡인홈이 상기 반송 테이블의 반송면에 형성된 상기 흡인용 오목부에 연이어 통하는 상태로 상기 반송 테이블이 반송 스테이지의 반송면에 대하여 슬라이딩하면서 이동되도록 구성되어 있으며,

상기 흡인용 오목부에 연결된 흡인장치와,

상기 분출구멍에 연결된 압축기체 공급장치를 더 포함하고,

상기 반송 테이블의 제1면에 있어서, 상기 반송 테이블이 이동되었을 때에 상기 분출구멍에 포개지는 위치로서, 상기 관통구멍의 반송방향 하류측에 배치되어 있으며 상기 반송 테이블의 제1면에 열려 있고 또한 대기에 연이어 통하고 있는 압력개방구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제3항에 있어서,

상기 압력개방구멍은 길이방향이 상기 반송방향으로 연장되는 긴 구멍으로서, 상기 긴 구멍의 길이방향 치수가 상기 관통구멍과 상기 반송방향 상류측의 다음 관통구멍 사이의 거리의 50% 이상의 치수로 되어 있고, 또한 상기 긴 구멍의 길이방향과 직교하는 폭방향 치수는 상기 워크가 상기 긴 구멍에 들어갈 수 없도록 워크의 바깥치수에서 가장 작은 변의 길이보다도 짧게 되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제3항 또는 제4항에 있어서,

상기 압력개방구멍은 분출구멍의 개구부의 개구 면적과 동일한 개구 면적을 가지는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제3항 또는 제4항에 있어서,

상기 압력개방구멍은 상기 반송 테이블의 제1면에서 제2면으로 관통하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 반송 테이블이 중심축을 가지며, 상기 반송 테이블이 상기 중심축의 주위로 회전할 수 있도록 상기 반송 테이블이 상기 구동 수단으로 구동되고, 그로 인해 상기 관통구멍이 상기 반송 테이블의 둘레방향으로 이동되고 상기 워크가 반송 테이블의 둘레방향으로 반송되는 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 워크가 전자부품인 것을 특징으로 하는 워크 반송장치.