TWI227890B - Method and apparatus for laminating stamper and multi-layered recording medium - Google Patents

Method and apparatus for laminating stamper and multi-layered recording medium Download PDF

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TWI227890B
TWI227890B TW092112350A TW92112350A TWI227890B TW I227890 B TWI227890 B TW I227890B TW 092112350 A TW092112350 A TW 092112350A TW 92112350 A TW92112350 A TW 92112350A TW I227890 B TWI227890 B TW I227890B
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centering
die
bonding
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Yukio Kaneko
Yoshiaki Murakami
Haruhiko Yamaguchi
Yoshiyuki Tatsumi
Mamoru Usami
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Tdk Corp
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Description

1227890 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於壓模貼合方法及裝置，以及多層記錄媒 體，特別係關於能夠進行碟片和壓模之間的定心’並能將 壓模相對於碟片進行貼合之壓模貼合方法及裝置’以及藉 由該裝置所製造出來的多層記錄媒體。 【先前技術】 目前，作爲下世代的記錄媒體，被提出各種多層構造 碟片。 第1 4圖係表示唯讀型的雙層碟片的構造的槪略剖面 圖。如該圖所示，唯讀型的雙層碟片 200，具有厚度 1 · 1 m m的底層基板2 0 2 ;而在此底層基板2 0 2的一側表面 ，形成具有厚度0.1mm的光透過層204的狀態。 第1 5圖係在第1 4圖中的底層基板和光透過層的邊界 部分的擴大圖。如該圖所示，在底層基板2 0 2和光透過層 2 04，各自形成以中心孔2 0 6 (參照第1 4圖）爲中心的螺 旋狀訊坑2 0 8。而且，在這些訊坑2 0 8的表面，分別藉由 濺鍍或蒸鍍等，設置反射層（未圖示），並在互相面對的 訊坑2 0 8之間，形成可以塡補由該訊坑所產生的凹凸之樹 脂層2 1 0。 對於如此構成的雙層碟片，從光透過層204的上方照 射雷射光，能夠進行讀取。 另外’在上述多層碟片的樹脂層2 1 0表面，形成訊坑 (2) 1227890 208或凹軌構造等之際，使用各種製造方法。 弟1 6 0和弟1 7圖係表不使用旋轉塗佈法來形成訊坑 的程序之製程說明圖。當要使用旋轉塗佈法來形成訊坑時 ’首先’如弟1 6圖所不’使底層基板2 0 2和透光性的, 模2〗2，夾住被塗佈在底層基板2 0 2的內緣側之紫外線硬 化樹脂般地貼合，接著以中心孔2 0 6爲旋轉中心，如箭頭 2 1 4所示地使底層基板202和壓模2 ] 2 —起旋轉。 如此，若使底層基板2 02和壓模2 1 2 —起旋轉，紫外 線硬化樹脂藉由離心力擴展至碟片外周側，以紫外線硬化 樹脂來塡補底層基板2 02和壓模212之間。以紫外線硬化 樹脂塡補前述間隙之後，從壓模2 1 2的上方照射紫外線， 藉由前述紫外線硬化樹脂的硬化，形成樹脂層2 1 6。 而且，樹脂層2 1 6被形成之後，如第1 7圖所示，將 壓模2 1 2往上方提升，使該壓模2 1 2和樹脂層2 1 6剝離。 若如此地使壓模2 1 2從樹脂層2 1 6剝離，則在樹脂層2 1 6 的表面，露出從壓模2 1 2轉錄來的訊坑2 0 8，所以，之後 只要藉由濺鍍或蒸鍍等在樹脂層2 1 6的表面上’形成反射 層，然後藉由旋轉塗佈等的方法’形成光透過層便可以。 再者，在上述習知例中，係說明關於在樹脂層2 1 6的 表面上形成訊坑2 0 8的程序；然而使用壓模的此方式’並 不僅被限定於前述訊坑2 0 8的形成’當然也可以應用在碟 片圓周狀地形成凹軌構造、或是組合前述凹軌構造和訊坑 的形態中。 另外，相對於底層基板之壓模的間隙’必須能夠均句 冬 (3) 1227890 地設定在數十微米〜數百微米之間。但是，將壓模貼合在 底層基板上的情況，係使壓模相對於前述底層基板呈對稱 狀地靠近來進行貼合，但是有可能發生此壓模產生傾斜、 或是由於壓模本身的重量而在該壓模上產生翹曲、或是由 於預先塗佈在底層基板的內緣側之紫外線硬化樹脂（也就 是樹脂）的黏性阻力，而在壓模上產生翹曲等的情況。 一旦壓模如此地發生傾斜或是翹曲，則在碟片和壓模 之間硬化的紫外線硬化樹脂（也就是樹脂層）的厚度會相 異，結果’在上層記錄層的位置，於厚度方向，會發生變 成不固定的問題點。 【發明內容】 本發明係著眼於上述習知的問題點，其目的在於提供 一種可以使成爲貼合對象的壓模不會產生傾斜或是翹曲， 能夠以一樣的間隙來將壓模貼合在碟片上之壓模貼合方法 及裝置，以及藉由該裝置所製造出來的多層記錄媒體。 本發明係根據洞察到若將碟片和壓模的背面，預先分 別地使其被吸附在可以呈現出互相平行的台上，並使互相 面對的追些台互相靠近，壓模便可以相對於碟片呈平行， 且可以防止在壓模上產生翹曲的技術，而創作出來。 亦即，關於本發明的壓模貼合方法，係在具有中心孔 的碟片的內緣側塗佈樹脂之後，夾住此樹脂般地貼合壓模 ’用來形成旋轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合方法，其程 序爲： -7- (4) (4)1227890 一邊使前述中心孔嵌合在從旋轉器台突出的定心構件 上，一邊將前述碟片固定在前述旋轉器台上，並將樹脂塗 佈在前述碟片的內緣側之後，將前述定心構件嵌合在前述 壓模的中心孔，來使前述壓模經由前述樹脂重疊在前述碟 片上，同時根據貼合頭的按壓使前述壓模往前述碟片側下 降，再根據與前述定心構件之間的嵌合來進行前述壓模的 定心之後，利用前述貼合頭吸住前述壓模，再根據前述貼 合頭的下降，設定相對於前述碟片之前述壓模的間隙，同 時根據前述定心構件，來保持前述間隙。 又，關於本發明的壓模貼合裝置，係進行具有中心孔 的碟片和壓模之間的定心，且藉由樹脂來進行貼合，用來 形成旋轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合裝置，其特徵爲具 備： 具有碟面吸引手段，可以整個面地吸住前述碟片的一 面之旋轉器台； 從該旋轉器台突出，進行前述碟片和前述壓模之間的 定心，同時進行突出方向的保持之定心構件； 具有往復移動手段，可以將前述樹脂供應至前述碟片 的內緣側之分配器； 具有壓模吸引手段，作成可以整個面地吸住前述壓模 的一面，且相對於前述旋轉器台可以升降的貼合頭；及 藉由該貼合頭的下降，使前述壓模靠近前述旋轉器台 ，並藉由將前述中心孔嵌合在前述定心構件，來進行前述 壓模的定心之後，藉由前述壓模吸引手段的運轉，使前述 (5) (5)1227890 1塱模密接在前述貼合頭上，來設定相對於前述碟片之前述 壓模的間隙之控制手段。 而且’理想爲：以中空橡膠構件和連接此中空橡膠構 件的介質供給部，來構成前述定心構件，利用從該介質供 給部將介質供應至前述中空橡膠構件中，來使前述中空橡 膠構件擴徑，進行前述碟片和前述壓模之間的定心與突出 方向的保持；或是，以中空橡膠構件和可以插入此中空橡 膠構件內部的擴徑構件，來構成前述定心構件，利用將前 述擴徑構件插入前述中空橡膠構件內，來使前述中空橡膠 構件擴徑’進行前述碟片和前述壓模之間的定心與突出方 向的保持。 而且，關於本發明的多層記錄媒體，係藉由申請專利 範圍第2、3或4項中的其中一項所記載的壓模貼合裝置 ，而被製造出來。 若根據上述程序和構成，首先，將碟片的中心孔嵌合 在從旋轉器台突出的定心構件上，進行相對於旋轉器台之 碟片的定心。而且，在進行此碟片的定心的同時，使碟片 吸引手段運轉，使前述碟片密接在旋轉器台上。若如此地 使碟片密接在旋轉器台上，由於碟片仿形在旋轉器台的表 面上，所以能夠防止前述碟片發生浮起等的情況產生。 而且，使碟片密接在旋轉器台上之後，使往復移動手 段運轉，並使分配器的吐出口移動至碟片的內緣側，將樹 脂塗佈在碟片內緣側。再者，樹脂的塗佈作業完成之後， 只要再度使往復移動手段運轉，使分配器的位置後退至不 -9 - (6) 1227890 會妨礙碟片的位置便可以。又，在此所使用的樹脂，只要 能夠在塡補碟片和壓模之間的間隙之後’使其硬化的樹脂 便可以；具體而言，理想爲紫外線硬化樹脂等。 將樹脂塗佈在碟片內緣側之後，使壓模從碟片上方往 下降。然後，藉由壓模的下降，一旦壓模的中心孔和定心 構件之間的嵌合程度變大，則壓模的軸心變成與前述碟片 的軸心一致。當碟片和壓模的軸心一致之後，使按壓該壓 模之貼合頭的壓模吸引手段運轉，使壓模固定在貼合頭上 。如此地被進行壓模的定心之後，若吸住前述壓模，則能 夠在與碟片之間的軸心不會偏移的情況下，使壓模靠近前 述碟片。在此，由於壓模固定在貼合頭上，所以該壓模一 直與位於下方的碟片保持平行，進而，當然能夠防止由於 壓模本身的重量、或是被塗佈在碟片的內緣側之樹脂的黏 性阻力，而產生的翹曲的情況發生。 再者，預先檢討壓模中的中心孔要嵌合在定心構件上 的程度，才可以使其與碟片的軸心一致，並將該値記憶在 控制手段中。而且，只要當壓模超過該値而靠近碟片時， 前述控制手段判斷壓模的定心已經被進行，且藉由從控制 手段來的指示，碟片吸引手段將壓模固定，並使該壓模靠 近碟片至預先設定的距離爲止便可以。而且，設定相對於 碟片之壓模的間隙之後，定心構件由於按壓前述壓模中的 中心孔的端面，所以藉由定心構件所達成之壓模的高度方 向的保持被進行，於是壓模與前述碟片之間的間隙被保持 著。 _ 10- (7) 1227890 若如此地使碟片和壓模平行，並使間隙在整個區域保 持一定，之後利用以定心構件爲中心來使旋轉器台迴轉（ 旋轉），樹脂便會從碟片內緣側擴展至外緣側，而可以形 成一定厚度的樹脂層。因此，能夠使在厚度方向中的上層 記錄層的位置保持一定。 另外，前述定心構件，若以中空橡膠構件和連接此中 空橡膠構件的介質供給部來構成，利用從該介質供給部將 介質導入前述中空橡膠構件中，能夠使該中空橡膠構件以 中心孔爲中心，均勻地膨脹。而且，藉由此膨脹，除了能 夠進行碟片和壓模之間的定心以外，若預先使膨脹前的中 空橡膠構件的外形設定成比中心孔的內徑小，則當將碟片 設置在旋轉器台上時，能夠防止碟片的中心孔的端面，在 中空橡膠構件上滑動。由於沒有產生此多餘的滑動，所以 可以防止由於該滑動所造成的塵埃的產生、或是定心構件 的尺寸變動的情況發生。 又，由於藉由膨脹來按壓中心孔的端面，所以能夠提 高壓模的保持力。因此，即使由於之後的旋轉塗佈程序， 旋轉力從中空橡膠構件傳達至壓模、或是沒有預期到的干 擾施加在壓模上，也能夠防止該壓模和定心構件之間的相 對位置發生變動。 而且，中空橡膠構件所具有的效果，也可以藉由改變 介質供給部而將擴徑構件插入中空橡膠構件的內部來達成 。若作成可以將擴徑構件插入中空橡膠構件的內部，能夠 不需要前述介質的配管路徑。再者，藉由位於中心孔的端 -11 - (8) (8)1227890 面和擴徑構件之間的中心橡膠構件的彈性變形，當然能夠 使施加在中心孔的端面上的力均勻化，並能夠提高定心的 精度。 【實施方式】 以下，參照圖面詳細地說明壓模貼合方法及裝置，以 及多層記錄媒體的具體實施形態。 第1圖係將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模 貼合部加以應用的凹軌形成裝置的槪略平面圖。再者，在 本實施形態中，係將具有壓模剝離部的裝置，作成凹軌形 成裝置，但是該裝置並不限定於凹軌構造的形成，也可以 取代前述的凹軌構造而作成可以碟片旋轉狀地形成訊坑、 或是作成可以形成將前述凹軌構造和訊坑加以組合。 將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模貼合部來 應用的凹軌形成裝置2 3 0，係對於在成爲多層記錄媒體之 可以寫錄的雙層碟片中的上層記錄側，形成凹軌構造的裝 置。而且，如第1圖所示，在凹軌形成裝置230中，設置 :用來將碟片和壓模供給至該裝置內的碟片·壓模供給部 2 3 2 ;進行碟片表面的淸潔的淸潔部2 3 4 ;用來將壓模貼 合在上述碟片上的壓模貼合部2 3 6 ;使位於碟片和壓模之 間的紫外線硬化樹脂固化，用來形成樹脂層的紫外線照射 部2 3 8 ;用來將碟片從壓模剝下的壓模剝離部24〇 ;及用 來將碟片和壓模排出的碟片排出部2 4 2。而且，在這些構 件之間，設置：供給臂2 4 4、第1移載臂2 4 6、第2移載 -12- (9) (9)1227890 p|5 2 4 8、及排出臂2 5 0 ;利用這些臂的旋轉運動，作成能 夠將碟片和壓模搬送至後側段。 第2圖係第]圖中的壓模貼合部的擴大圖、第3圖係 第2圖中的B B剖面圖、第4圖係第3圖的要部擴大圖。 如這些圖所示，在壓模貼合部2 3 6中，設置：藉由未 圖示的凸輪組件，而可以1 8 0度旋轉之圓盤狀的貼合台 3 5 0。而且，在此貼合台3 5 0上，對稱旋轉中心地設置一 對的旋轉器台3 5 2。 該旋轉器台3 5 2，與前述貼合台3 5 〇同樣地成爲圓盤 狀的形狀’並在其下方設置旋轉用伺服馬達354。而且， 此旋轉用伺服馬達3 5 4的旋轉軸，與旋轉器台3 5 2的中心 部連接’作成利用使前述旋轉用伺服馬達3 5 4運轉，可以 使旋轉器台3 5 2旋轉。 又，在貼合台3 5 0的上方，對應—對旋轉器台3 5 2的 位置’分別設置貼合頭3 5 6、及第]U V照射器3 5 8 ;藉由 將前述貼合頭3 5 6和前述第]UV照射器3 5 8，分別與旋轉 器台3 5 2組合’作成在貼合台3 5 〇上，可以形成構成關於 本實施形態的壓模貼合裝置之壓模貼合部2 3 6和暫時硬化 U V照射部3 6 0。 以下說明用來形成壓模貼合部2 3 6的旋轉器台3 5 2。 形成圓盤狀的旋轉器台3 5 2的外徑，設定成比成爲貼 合對象的碟片2 7 8的外徑稍微小。而且，在旋轉器台3 5 2 ，在其側面，設置朝向前述旋轉器台3 5 2的中心部之鑿穿 孔3 6 4 ’同時在靠近此鑿穿孔3 6 4的前述旋轉器台3 5 2的 -13- (10) 1227890 表面，設置複數個連通前述鑿穿孔3 64的吸引口 利用使未圖示的碟片吸引手段（也就是真空泵等 鑿穿孔3 64的端部開口，使該鑿穿孔3 64內部成 間，由吸引口 3 6 1進行吸入，而作成可以將碟片 在碟片吸引部上。再者，在旋轉器台3 5 2的背面 (未圖示）被設置在鑿穿孔3 6 4之間，作成可以 轉器台3 5 2輕量化。 又，在旋轉器台3 5 2，設置：可以從其中央 且構成定心構件之形成圓筒形狀的中空橡膠構件 且，在該中空橡膠構件3 7 0的內側，設置擴徑構 該擴徑構件3 72，被配置有：沿著中空橡膠構件 壁設置，相對於該中空橡膠構件的半徑方向可以 壓壁3 7 4 ;及在此按壓壁3 7 4的內側，沿著中空 3 7 0的軸心，而往上方突出的中心銷 3 7 6 ;藉由 L字形的爪之第1移載臂246，將此中心銷376 按壓壁3 74擴徑，來使中空橡膠構件3 70往碟片 心孔的側壁推壓，作成相對於中空橡膠構件 3 7 0 行碟片2 7 8的定心。 另外，在旋轉器台3 5 2的外方，設置可以將 台3 5 2包圍的導板3 7 8。而且，利用該導板3 7 8 前述旋轉器台3 5 2，能夠防止從壓模貼合部2 3 6 來的塵埃，堆積在已經被吸引在旋轉器台3 5 2 2 7 8的表面上的情況發生。 另一方面，形成壓模貼合部2 3 6的貼合頭3 3 6 ];並 )連接至 爲負壓空 2 7 8吸住 側，凹部 使前述旋 部突出， 3 7 0 ；而 件 3 72 ° 3 7 0的內 移動的按 橡膠構件 利用具有 壓下，使 2 7 8的中 ，可以進 該旋轉器 來包圍住 的外部飛 上的碟片 5 6，係如 -14- (11) 1227890 下述般的構成。 S亥貼合頭3 5 6，形成具有凸緣部3 8 2的圓盤狀 對旋轉器台3 5 2之作成小徑側的一側，形成藉由吸 壓模2 8 0密接的壓模安裝面3 8 4。再者，壓模安裝 的外徑，係形成比壓模2 8 0的外徑稍大，作成能夠 合頭3 5 6來按壓壓模2 8 0的整個表面。 另外，在貼合頭3 5 6中的壓模安裝面3 8 4的相 亦即在貼合頭3 5 6中，面對用來使該貼合頭3 5 6升 合的貼合板3 8 8的一側，形成凹部3 9 0 ;利用將前 頭3 5 6安裝在前述貼合板3 8 8上，可以形成與設在 3 8 8側的壓模吸引手段（也就是真空泵等，未圖示 的空氣吸引經路。再者，凹部3 90的形狀，.係從與 3 8 8的接觸面側開始至壓模安裝面3 84側爲止，形 個小直徑狀；利用該複數個小直徑孔來吸引與前述 裝面3 8 4接觸壓模2 8 0，除了能夠提高壓模2 8 0對 安裝面3 84的密合度以外，也可以藉由前述孔來防 2 8 0發生變形。再者，上述貼合頭3 5 6的凹部3 9 0 爲複雜的形狀，不僅可以藉由機械加工的切削方法 ，也可以藉由燒結方法來製造。 在如此構成的貼合頭3 5 6的側方，往垂直方向 設置：與升降用伺服馬達3 9 1連接的螺栓；及由隨 栓的旋轉而可以進行往復運動的升降台3 92所構成 組件3 9 4。而且’連結臂3 9 6被設置在升降台3 9 2 板3 8 8之間，作成可以使貼合板3 8 8側隨著升降台 ;在面 引來使 面 384 利用貼 反側， 降而結 述貼合 貼合板 )連接 貼合板 成複數 壓模安 於壓模 Ji壓模 ，由於 來製造 直立地 著此螺 的單軸 和貼合 3 92進 -15 - (12) (12)1227890 行升降。 另外，在旋轉器台3 5 2的周圍，於不妨礙前述單軸組 件3 94的位置，設置其前端設有吐出噴嘴3 9 7的分配器 3 9 8 °在此，該分配器3 9 8，具備：藉由伺服馬達驅動之 作爲往復移動手段的螺栓機構400 ;藉由此螺栓機構400 的運轉’使分配器3 9 8前進，而可以藉由吐出噴嘴3 9 7將 組成樹脂的紫外線硬化樹脂塗佈在碟片2 7 8的內緣側。 再者，前述貼合台3 5 0的旋轉、旋轉用伺服馬達3 5 4 、升降用伺服馬達3 9 ]、碟片和壓模吸引手段、及分配器 3 9 8 ’全部與未圖示的控制手段連接，作成可以根據從該 控制手段來的運轉訊號，進行旋轉或升降等。 以下說明使用如此構成的凹軌形成裝置2 3 0，來將壓 模2 8 0貼合在碟片2 7 8上的程序。 第5圖〜第1 1圖，係表示碟片和壓模通過壓模貼合 部的情況之狀態說明圖。 首先，如第5圖所示，使用第1移載臂246，從淸潔 部2 3 4將碟片2 7 8往壓模反轉夾頭404移載。接著，如第 6圖所示，使第1移載臂2 4 6再度旋轉，將被保持在壓模 反轉夾頭4〇4上的碟片2 7 8，往旋轉器台3 52移載，同時 將被承載在淸潔部2 3 4上的壓模2 8 0，往壓模反轉夾頭 404移載。再者，第1移載臂246，係作成可以旋轉，且 可以往上下方向（第6圖中的紙面厚度方向）升降。因此 ，藉由第1移載臂246的下降，該第]移載臂2 4 6的腕部 ，按壓從旋轉器台3 5 2突出的中心銷3 7 6，而利用該中心 -16- (13) 1227890 銷3 7 6的下降，按壓壁3 7 4往徑方向擴大，經由中 構件3 7 0，按壓碟片2 7 8的空心孔內壁。因此，碟 ，除了與旋轉器台3 5 2的旋轉中心一致地被定心以 述碟片2 7 8，藉由碟片吸引手段所產生的負壓，而 在旋轉器台3 5 2的表面上。再者，只要以控制手段 第1移載臂246的旋轉，一直到碟片2 7 8被載置在 台3 5 2上爲止，然後使碟片吸引手段運轉，來吸 2 7 8便可以。 如此地使碟片2 7 8吸引在旋轉器台3 5 2上之後 手段使螺栓機構4 0 0運轉來使分配器3 9 8前進。而 安裝在該分配器3 9 8的前端之吐出噴嘴3 97，一旦 片2 78的內緣側，則使螺栓機構400停止，並藉由 伺服馬達3 5 4的運轉來使碟片2 7 8旋轉，同時從吐 3 9 7的前端吐出紫外線硬化樹脂，將紫外線硬化樹 在碟片2 7 8的內緣側。又，藉由伺服馬達驅動的螺 可以從內周到外周或是從外周到內周，一邊使分配 一邊使旋轉器台同步地旋轉，進行螺旋狀地塗佈。 只要塗佈預先設定的量的紫外線硬化樹脂之後，再 栓機構4 〇 〇運轉，來使分配器3 9 8從碟片2 7 8後退 的位置便可以。 如此地將紫外線硬化樹脂塗佈在碟片2 7 8的內 後，再度使第1移載臂246:旋轉，從壓模反轉夾頭 將壓模2 8 0放置在碟片2 7 8的上方。一旦壓模2 8 0 從第]移載臂24 6放下，前述壓模2 8 0的中心孔， 空橡膠 片27 8 外，前 被密接 判斷從 旋轉器 引碟片 ，控制 且，被 到達碟 旋轉用 出噴嘴 脂塗佈 栓，也 器移動 而且， 度使螺 至原先 緣側之 404， 如此地 與藉由 -17- (14) (14)1227890 按壓壁3 7 4而擴大其外徑的中空橡膠構件3 7 0的外表面接 觸，以與碟片2 7 8之間保持相當的距離的狀態，壓模2 8 0 藉由中空橡膠構件3 7 0而被保持。第7圖表示碟片2 7 8和 壓模2 8 0重疊的狀態。再者，旋轉器台3 5 2與構成壓模貼 合部2 3 6的貼合頭3 5 6之間，由於貼合頭3 5 6相對於前述 旋轉器台3 5 2，以位於保持充分的距離的上方的狀態，待 機中，所以即使第1移載臂2 4 6移動至旋轉器台3 5 2的上 方，其高度位置係位於貼合頭3 5 6的下側，因而能夠防止 雙方之間互相妨礙。 控制手段，一旦壓模2 8 0被保持在碟片2 7 8的上方， 則使升降用伺服馬達391運轉，來使升降台3 92連結臂 3 96、貼合板3 8 8，與貼合頭3 5 6 —起，往壓模2 8 0下降 〇 第1 2圖係表示貼合頭3 5 6的下降距離和時間之間的 關係的圖。相對於壓模貼合位置之貼合頭3 5 6的高度，在 第1移載臂24 6從旋轉器台3 5 2的上方進入的情況，如圖 中的點A所示，其高度係被設定在200mm。而且，從點 A的位置開始至點B所示的自動運轉待機位置（1 〇 〇 m m ) 爲止，以2秒的時間下降；接著，再以2秒的時間，從點 B的位置下降至點C所示的與壓模2 8 0的接觸位置（5 m m )。如此地使貼合頭3 5 6接觸壓模2 8 0之後，降低下降速 度，以一定的速度下降至點E所示的壓模貼合高度。在此 ，位於中空橡膠構件3 7 〇的途中的壓模2 8 〇，該與貼合頭 3 5 6 —起下降的前述壓模2 8 0，在點D的高度（1⑺m )， -18- (15) (15)1227890 藉由中空橡膠搆件3 7 0，與碟片2 7 8同樣地被進行定心。 再者，點D的高度，係根據壓模2 8 0的規格或其他的情況 ，而可以任意地設定；其咼度只要根據被配置在中空椽月翏 構件3 7 0內側的擴徑構件3 7 2的擴大程度，自由地設定便 可以。而且，若預先在控制手段中記憶著要進行壓模2 S 〇 的定心之高度（在本實施形態中爲1 m n〇 ，在貼合頭3 5 6 到達點D的時點，控制手段便會使壓模吸引手段運轉，使 壓模2 8 0被吸引在壓模安裝面3 8 4上。再者，從點c到點 D所需的時間係設定爲4秒。 如此地在貼合頭3 5 6到達壓模2 8 0的時點，如上所述 ，由於壓模2 8 0係處於藉由中空橡膠構件3 7 0而被定心的 狀態，所以只要使壓模280被吸引在壓模安裝面384上’ 以保持在該壓模2 8 0的定心位置（固定半徑方向的位朦） 的狀態，下降至點E所示之預先設定的貼合高度便可以。 再者，相對於碟片278之壓模2 8 0的貼合高度（也就是所 謂的間隙），係被任意地設定在數十微米〜數百微米之間 〇 而且，在貼合頭3 5 6到達點E，相對於碟片2 7 8之壓 模2 8 0的貼合高度被設定之後，使貼合頭3 5 6從點F上升 到達點G。再者，當使貼合頭3 5 6上升之際，藉由控制手 段預先使壓模吸引手段停止，以便能夠使貼合頭3 5 6和壓 模2 8 0之間容易分離。如此地使貼合頭3 5 6上升至點G之 後’如尿8圖所不’使貼合台3 5 0旋轉1 8 0度，來使貼合 後的碟片2 7 8和壓模2 8 0，與 -19 - (16) 1227890 旋轉器台3 5 2 —起往暫時硬化UV照射部36〇移動。 然後，利用此暫時硬化U V照射部3 6 0，使貼合後的碟片 2 7 8和壓検2 8 0旋轉，利用此離心力來使紫外線硬化樹脂 從碟片內緣側往外方擴徑，將紫外線硬化樹脂充塡在碟片 2 7 8和壓模2 8 0之間。接著，在此旋轉處理的同時，使第 】UV照射器3 5 8運轉，將紫外線經由壓模照射在紫外線硬 化樹脂上，使紫外線硬化樹脂硬化，直到厚度尺寸不再變 動爲止（也就是所謂的暫時硬化製程）。 而且’暫時硬化製程結束之後，如第1 〇圖所示，只 要再度使貼合台3 5 0旋轉1 8 G度，來使貼合後的碟片2 7 8 和壓模2 8 0 ’與旋轉器台3 5 2 一起往壓模貼合部2 3 6側移 動’然後使用第1移載臂246將碟片27 8和壓模28〇加以 把持’再藉由第1移載臂2 4 6的旋轉，將碟片2 7 8和壓模 2 8 0搬送至紫外線照射部2 3 8，藉由此紫外線照射部238 ’來進行紫外線硬化樹脂的正式硬化便可以。 再者，在上述說明中，係表示一枚碟片2 7 8 (與壓模 2 8 0 )通過壓模貼合部的情況，但是實際的作業，係被設 置在第1移載臂2 4 6上的3根腕部分別同時地作用，來使 複數枚碟片2 7 8 (與壓模2 8 0 )通過壓模貼合部，此點請 務必瞭解。 另外’在本實施形態中，係在中空橡膠構件3 70的內 部’設置按壓檗3 74和中心銷3 76，作成使前述中空橡膠 _件-3 7 0如圖所示地擴徑，但是也可以不被限定於此形態 ’而使用其他形態。 -20- (17) 1227890 第1 3圖係表示定心構件的其他形態的剖面說 再者，除了定心構件以外，其構造與上述的旋轉器 的構造相同，關於共通的部分，係標上相同的符號 說明。 如該圖所示，構成袋狀的中空橡膠構件4 0 6 ’ 裝成從旋轉器台3 5 2的中央部分突出。而且，在前 橡膠構件406的下方，設置與該中空橡膠構件406 一對空氣配管4 0 8 ;而該空氣配管4 0 8的另一端則 示的壓力供給手段連接。若如此地經由空氣配管使 給手段與袋狀的中空橡膠構件406連接，則利用使 入中空橡膠構件4 0 6內來使中空橡膠構件4 0 6擴徑 若將空氣從中空橡膠構件406的內部吸出，則.可以 橡膠構件4 0 6的外徑縮小，而能夠容易地進行碟片 定心或取出。再者，發明人係著眼於耐摩耗性優異 使溫度變化其硬度變化也少的特定，因而中空橡膠 材質係使用矽橡膠，但是也不限定於此形態，只要 途或使用環境來選擇適當的材料便可以。 【發明之效果】 如以上所述，若根據本發明，將壓模重疊在碟 然後利用貼合頭的按壓，來使壓模往前述碟片側下 且，藉由與定心構件之間的嵌合，進行壓模的定心 利用貼合頭將壓模吸住。若如此地利用貼合頭的下 定相對於碟片之壓模的間隙，除了能夠進行碟片和 明圖。 台 352 來進行 係被安 述中空 連接的 與未圖 壓力供 空氣導 :又， 使中空 278的 同時即 構件的 根據用 片上， 降。而 之後， 降來設 壓模之 -21 - (18) 1227890 間的定心以外，在碟片和壓模之間，也可以進行不會產生 傾斜或翹曲的貼合。 【圖式簡單說明】 第]圖係將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模 貼合部加以應用的凹軌形成裝置的槪略平面圖。 第2圖係第1圖中的壓模貼合部的擴大圖。 第3圖係第2圖中的B B剖面圖。 第4圖係第3圖的要部擴大圖。 第5圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第6圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第7圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第8圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第9圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第1 〇圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之 狀態說明圖。 第1 1圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之 狀態說明圖。 第]2圖係表示貼合頭的下降距離和時間之間的關係 -22- (19) 1227890 的圖。 第】3圖係表示定心構件的其他形態的剖面說明圖。 第】4圖係表示唯讀型的雙層碟片的構造的槪略剖面 圖。 第1 5圖係在第]4圖中的底層基板和光透過層的邊界 部分的擴大圖。 第1 6圖係表不使用旋轉塗佈法來形成凹軌層的程序 之製程說明圖。 第17隨表示使用旋轉塗佈法來形成凹軌層的程序 之製程說明圖。 【符號說明】‘ 230:凹軌形成裝置 2 3 2 :碟片·壓模供給部 2 3 4 :淸潔部 2 3 6 :壓模貼合部 2 3 8 :紫外線照射部 2 4 0 :壓模剝離部 2 4 2 :碟片排出部 2 4 4 :供給臂 246.弟1移載臂 2 4 8 :第2移載部 2 5 0 :排出臂 2 7 8 :碟片 -23- (20)1227890 2 8 0 :壓模 3 5 0 :貼合台 3 5 2 :旋轉器召 3 5 4 :旋轉用伺 3 5 6 :貼合頭 3 5 8 :第 1UV p 3 6 0 :暫時硬{七 3 6 1 :吸引口 3 6 4 :鑿穿孔 3 7 0 :中空橡膠 3 7 2 :擴徑構付 3 7 4 :按壓壁 3 7 6 :中心銷 3 7 8 :導板 3 8 2 :凸緣部 3 8 4 :壓模安裝 3 8 8 :貼合板 3 9 0 :凹部 3 9 1 :升降用作 3 9 2 :升降台 3 9 4 :單軸組f) 3 9 6 :連結臂 3 9 7 :吐出噴嘆 3 9 8 :分配器 服馬達 :射器 UV照射部 構件 面 鲁 服馬達 -24 - (21) (21)1227890 4 0 0 :螺栓機構 4 04 :壓模反轉夾頭 4 0 6 :中空橡膠構件 4 0 8 :空氣配管
-25-

Claims (1)

  1. (1) (1)1227890 拾、申請專利範圍 1 · 一種壓模貼合方法，係在具有中心孔的碟片的內緣 側塗佈樹脂之後，夾住此樹脂般地貼合壓模，用來形成旋 轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合方法，其特徵爲： 一邊使前述中心孔嵌合在從旋轉器台突出的定心構件 上’一邊將前述碟片固定在前述旋轉器台上，並將樹脂塗 佈在前述碟片的內緣側之後，將前述定心構件嵌合在前述 壓模的中心孔’來使前述壓模經由前述樹脂重疊在前述碟 片上’同時根據貼合頭的按壓使前述壓模往前述碟片側下 降’再根據與前述定心構件之間的嵌合來進行前述壓模的 定心之後，利用前述貼合頭吸住前述壓模，再根據前述貼 合頭的下降，設定相對於前述碟片之前述壓模的間隙，同 時根據前述定心構件，來保持前述間隙。 2 . —種壓模貼合裝置，係進行具有中心孔的碟片和壓 模之間的定心，且藉由樹脂來進行貼合，用來形成旋轉塗 佈處理前的狀態之壓模貼合裝置，其特徵爲具備： 具有碟面吸引手段，可以整個面地吸住前述碟片的一 面之旋轉器台； 從該旋轉器台突出，進行前述碟片和前述壓模之間的 定心，同時進行突出方向的保持之定心構件； 具有往復移動手段，可以將前述樹脂供應至前述碟片 的內緣側之分配器； 具有壓模吸引手段，作成可以整個面地吸住前述壓模 的一面，且相對於前述旋轉器台可以升降的貼合頭；及 -26- (2) 1227890 藉由該貼合頭的下降，使前述壓模靠近前述旋轉器台 ’並藉由將前述中心孔嵌合在前述定心構件，來進行前述 壓模的定心之後，藉由前述壓模吸引手段的運轉，使前述 壓模密接在前述貼合頭上，來設定相對於前述碟片之前述 壓模的間隙之控制手段。 3 .如申請專利範圍第2項所述的壓模貼合裝置，其中 以中空橡膠構件和連接此中空橡膠構件的介質供給部，來 構成前述定心構件，利用從該介質供給部將介質供應至前 述中空橡膠構件中，來使前述中空橡膠構件擴徑，進行前 述碟片和前述壓模之間的定心與突出方向的保持。 4 .如申請專利範圍第2項所述的壓模貼合裝置，其中 以中空橡膠構件和可以插入此中空橡膠構件內部的擴徑構 件，來構成前述定心構件，利用將前述擴徑構件插入前述 中空橡膠構件內’來使前述中空橡膠構件擴徑’進行前述 碟片和前述壓模之間的定心與突出方向的保持。 5.—種多層記錄媒體，其特徵爲： 藉由申請專利範圍第2、3或4項中的其中一項所記 載的壓模貼合裝置’而被製造出來。
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