TWI227378B

TWI227378B - Chemically amplified positive resist composition

Info

Publication number: TWI227378B
Application number: TW089127065A
Authority: TW
Inventors: Yasunori Uetani; Hiroaki Fujishima; Yoshiyuki Takata
Original assignee: Sumitomo Chemical Co
Priority date: 1999-12-22
Filing date: 2000-12-18
Publication date: 2005-02-01
Also published as: JP2001183836A; US20010014428A1; JP4453138B2; US6495306B2; KR100750815B1; GB0031072D0; DE10063064A1; GB2358256B; KR20010062537A; GB2358256A

Description

1227378 A7 B7 五、發明說明（f ) 發明背景本發明係關於經使用於半導體的微小處理中之化學上放大之正型阻體組成物。就大體而論，使用阻體組成物之微影術方法已採用於半導體的微小處理中。在微影術中，淸晰度原則上可隨著曝光波長之減短而改良如經由極限之Rayleight化繞射方程式所示。具有436 nm波長之g線、具有365 nm 波長之i線及具有248 nm波長之KrF準分子雷射等經採用作爲於製造半導體時所使用之微影術之曝光來源。因此，波長變成逐年縮短。現考慮具有193 nm波長之ArF 準分子雷射有希望成爲下一代之曝光源。與習用之曝光源之透鏡相比較，ArF準分子雷射曝光機器中所使用之透鏡或使用較短波長之光源的曝光機器中者具有較短之使用壽命。因此，曝光於ArF準分子雷射光下所需要之較短時間係所意欲。爲了此項原因，必須加強阻體之感光性。因此，業經使用所謂之化學放大型阻體，其利用由於曝光所產生之酸的催化作用及含有具有經由酸可裂解之基因的一種樹脂。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲了保證阻體的透光度，眾人皆知：所意欲的是，經使用於ArF準分子雷射曝光之阻體中樹脂不具有芳族環，但是爲了授予抗乾蝕刻性至其上而具有一個脂環族環代替芳族環。爲了保證阻體的透光度，眾人皆知：所意欲的是，經使用於ArF準分子雷射曝光之阻體中之樹脂不具有芳族本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1227378 A7 B7 五、發明說明（> ) 環，但是爲了授予抗乾蝕刻性至其上而具有一個脂環族環代替芳族環。D. C. Hofer在光聚合物科學和技術期刊，第9卷第3號ρ·387-398(1996)中所述之各種的樹脂截至目前爲止熟知作爲此等樹脂。然而，平常所知之樹脂具有一個問題即：由於在顯像時之不充分黏附特別當極性不充分時，圖型之剝離易於發生。 S. TaKechi等在光聚合物科學和枝術期刊，第9卷第 3號，D.475-487( 1 996)及日本裒利窭A-9-7 3 1 73等中報 ^ 導：當使用甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯的聚合物或共聚物作爲化學上放大型式的樹脂時，2_甲基-2-金剛烷基經由酸的作用予以分裂而充作正型，可獲得高抗乾蝕刻性和高淸晰度以及良好黏附至基體上。通常，具有脂環族之樹脂顯示高疏水性而因此對於係含水鹼之顯像劑不具有合宜之親和力。當與此種顯像劑之親和力是不令人滿意時，不能獲得均勻顯像而其結果是：影響所產生之圖型的因次均勻性或發生缺陷之顯鲁像。本發明之目的在提供含有一種樹脂組份和一種酸產生劑之化學上放大之正型阻體組成物其適合供使用於利用 Ai*F、KrF等之準分子雷射微影術中且其各種阻體性能特性令人滿意，例如感光性、淸晰度及黏附至基體上同時對於鹼性顯像劑顯示優良之親和力（潤溼性）° 日本專利案A- 1 0-274852中報導：使用一種樹脂（其具有聚合單位的一部份之丁內酯殘基）作爲化學上放大 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^5J· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1227378 A7 B7 五、發明說明（3 ) I I I I --- (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 之正型阻體組成物改進了阻體組成物的黏附至基體上。又，日本專利案A- 1 1 -305444中報導：使用具有各自自 (甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯及自馬來酸酐所衍生之聚合單位的樹脂作爲化學上放大之阻體組成物改進了阻體組成物之黏附至基體上。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明的發明人發現該項事實即：化學上放大之正型阻體組成物的黏附至基體上亦經由使用一種聚合物予以改進，此聚合物具有各自自（甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯所衍生之聚合單位及自（甲基）丙烯酸2-羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之聚合單位作爲阻體組成物中之樹脂，並申請日本專利申請案NO 1 1 -2385420。本發明人另外發現該項事實即··使用包括自羥基苯乙烯所衍生之聚合單位和自甲基丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯所衍生之聚合單位的樹脂改進了所產生之阻體組成物的淸晰度和曝光寬容度並申請日本專利申請案NO 1 1 -28 895。由於基於此等發現和知識之更進一步硏究的結果，本發明的發明人另外發現該項事實即：獲得阻體組成物其阻體性能特性優良例如，感光性、淸晰度和黏附至基體上同時顯示改進之親水性，因此，經由使用具有特定金剛院結構之樹脂（其中含有高極性的聚合單位）在阻體組成物中而改進了與鹼性顯像劑之潤溼性。本發明係基於此發現而完成。本發明之槪述本發明提供一種化學上放大之正型阻體組成物包含本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1227378 A7 B7 五、發明說明（

(Π) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其中R2代表氫或甲基而R3代表一個烷基。因爲自（甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯所衍生之式（Π)的聚合單位中2-烷基-2-金剛烷基由於酸的作用可裂解，所以此單位促成增加經歷曝光之阻體薄膜在鹼中之溶解度而含有具有此單位之樹脂的阻體連同一種酸產生劑則具有正型阻體之功能。此外，憑藉著金剛烷環之存在，自（甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯所衍生之脂環族環，該聚合單位提供具有高透光度（相對於 ArF準分子雷射光）之所產生的阻體、高對比及優良淸晰度，及促成抗乾飩刻性之改進。在式（Π )中，R3是烷基，舉例而言它可具有大約1至 6個碳原子且通常，它有利是直鏈但是當碳原子數目是 3或更多時，可能是支鏈。R3的實例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基和正丁基。自其中衍生式（Π )的聚合單位（b)之（甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯通常係經由使2-烷基-2-金剛烷醇或其金屬鹽與丙烯酸鹵化物或甲基丙烯酸鹵化物起反應予以製備。 (請先閱讀背面之注咅？事裝· — — 寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1227378 A7 B7 五、發明說明（）視需要，具有自（甲基）丙烯酸二羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之聚合單位U)和自（甲基）丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯所衍生之聚合單位（b)的樹脂（X)可含有一種力外之聚合單位。適合於與單位（a)與（b)共存之聚合單位的實例包括自（甲基）丙烯醯氧基-r - 丁內酯所衍生者，巷在丁內酯中，內酯環可用一烷基視需要而取代及自馬來酐所衍生者。自（曱基）丙烯醯氧基-r - 丁內酯所衍生之聚合物單位（此內酯中之內酯環可用一烷基視需要而取代）可經由下式（m )代表。自馬來酐所衍生之聚合物單位可經由下式（iv )代表： (請先閱讀背面之注意事項寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣或烷基。當R5、R6和R7每一者是烷基時’該院基可具有大約1至6個碳原子而當其碳原子數目是3或更大時，可能是直鏈或支鏈。經由r5、r6和r7所代表之特定烷基的實例包括甲基、乙基、丙基和丁基。樹脂其具有自（甲基）丙烯酸二羥基-1 -金剛院基醋所衍生之聚合單位U)和自（甲基）丙烯酸院基-2-金剛 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1227378 B7 五、發明說明（9 ) 80莫耳％之數量被包括入。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 係爲另種組份之酸產生劑經由使用放射光線例如光和電子束照射該組份本身或包括該組份之阻體組成物予以分解而產生酸。自酸產生劑所產生之酸作用在樹脂上而使欲經由存在於樹脂中之酸的作用予以裂解之基因裂解。此類酸產生劑之實例包括鐵鹽化合物、有機鹵素化合物、楓化合物和磺酸酯化合物。特別，可述及下列化合物：二苯基碘鏺三氟甲烷磺酸酯、 4-甲氧基苯基苯基碘鏺六氟銻酸鹽、 4-甲氧基苯基苯基碘鐵三氟甲烷磺酸酯、雙（4-第三·丁基苯基）碘鐵四氟硼酸鹽、雙（4-第三-丁基苯基）碘鐵六氟磷酸鹽、雙（4-第三-丁基苯基）碘鐵六氟銻酸鹽、雙（4-第三-丁基苯基）碘鏺三氟甲烷磺酸鹽、三苯基毓六氟磷酸鹽、三苯基毓六氟銻酸鹽、經濟部智慧財產局員工消費合作社印製三苯基毓三氟甲烷磺酸鹽、 4-甲氧基苯基二苯基毓六氟銻酸鹽、 4-甲氧基苯基二苯基毓三氟甲烷磺酸鹽、對-甲苯基二苯基毓三氟甲烷磺酸酯、對-甲苯基二苯基毓全氟丁烷磺酸酯、對-甲苯基二苯基毓全氟辛烷磺酸酯、 2,4,6·三甲基苯基二苯基毓三氟甲烷磺酸酯、 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1227378 A7 B7 五、發明說明Ο。） 4-第三-丁基苯基二苯基毓三氟甲烷磺酸酯、 4-苯硫基苯基二苯基毓六氟磷酸酯、 4-苯硫基苯基二苯基毓六氟銻酸酯、 1- ( 2-萘甲醯基甲基）硫羥六氟銻酸鹽、 1- ( 2-萘甲醯基甲基）硫羥三氟甲烷磺酸鹽、 4-羥基-1·萘基二甲基毓六氟銻酸鹽、 4-羥基-1-萘基二甲基毓三氟甲烷磺酸鹽、 2- 甲基-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2,6,4-三（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2·苯基-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三畊、 2-(4-氯苯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2- ( 4-甲氧基苯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2- ( 4-甲氧基-1-萘基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5·三哄、 2-(苯並[d][l，3]二氧戊環-5-基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2- ( 4-甲氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-135-三口井、 2- ( 3,4,5-三甲氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三畊、 2-(3,4-二甲氧基苯乙烯基）-4,6·雙（三氯甲基）-1,3,5· 三畊、 2-(2,4-二曱氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三畊、 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Hr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1227378 A7 _B7 五、發明說明（11 ) 2- (2-甲氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3，5-三哄、 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 2-(4-丁氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3,5-三哄、 2- (4-戊氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1，3，5-三畊、對-甲苯磺酸1-苯甲醯基-1-苯基甲酯（所謂之苯偶姻甲苯磺酸酯）、對-甲苯磺酸2-苯甲醯基-2-羥基-2-苯乙酯（所謂之α -經甲基苯偶姻甲苯磺酸酯）、三甲烷磺酸1，2,3-苯三苯甲基酯、對-甲苯磺酸2,6-二硝基苄酯、對-甲苯磺酸2-硝基苄酯、對-甲苯磺酸4-硝基苄酯、二苯基二楓' 二對-甲苯基二楓、雙（苯基磺醯基）重氮甲烷、雙（4-氯苯基磺醯基）重氮甲烷、經濟部智慧財產局員工消費合作社印製雙（對-甲苯基磺醯基）重氮甲烷、雙（4 -第三-丁基苯基磺醯基）重氮甲院、雙（2,4-二甲苯基磺醯基）重氮甲烷、雙（環己基磺醯基）重氮甲烷、 (苯甲醯）（苯基磺醯基）重氮甲烷、 Ν-(苯基磺醯氧基）琥珀醯亞胺、 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1227378 A7 ______Β7 五、發明說明4 ) N-(三氟甲基磺醯氧基）琥珀醯亞胺、 N-(三氟甲基磺醯氧基）酞醯亞胺、 N-(三氟甲基磺醯氧基）-5-降萡烯-2,3-二羧基胺亞胺、 N-(三氟甲基磺醯氧基）萘二甲醯亞胺、 N- ( 10-樟腦磺醯氧基）萘二甲醯亞胺等。亦係熟知者：通常在化學上放大之正型阻體組成物中，由於與在曝光後相關聯而留下之酸的鈍化使性能退化可經由添加鹼性化合物予以減少，特別是添加鹼性含氮之有機化合物例如胺類作爲驟冷劑。本發明中亦合宜：添加此類鹼性化合物。經使用作爲驟冷劑、鹼性化合物的具體實_例包括經由下列各式所代表之一：、R12

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R:1 /R12 Ν R1合/ rvr12 、音 R13 R14 R15 R15 R14 R13 π14έΝ r15 R11-N^) r11-〇-r12 r11-〇 R11 r16-n〔、R12 〇13 p13 R14^a^R14 r15^=N N=^r15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χΤ97公釐） -14 1227378 A7 __ B7_ 五、發明說明（13 ) 其中R11和R12，相互獨立，代表氫、環院基、芳基或可以羥基視情況所取代之烷基，R13、R14和R15相互相同或不同係代表氫、環烷基、芳基、烷氧基或可以羥基視情況所取代之烷基；R16代表可以羥基視情況所取代之環烷基或烷基、A代表伸烷基、羰基或亞胺基。經由R11 至R16所代表之烷基及經由R13至R15所代表之烷氧基可具有大約1至6個碳原子。環烷基可具有大約5至10 個碳原子而芳基可具有大約6至10個碳原子。經由R11 至R15所代表之芳基可具有大約6至10個碳原子。經由 A所代表之伸烷基可具有大約1至6個碳原子且可能是直鏈或支鏈。本發明的阻體組成物宜含有樹脂（X)其數量在80莫耳 %至99.9重量％之範圍內及酸產生劑（Y)其數量在基於樹月旨（X)和酸產生劑（Y)的總量10.1重量％至20重量％。當使用一種鹼性化合物作爲驟冷劑時，其含量宜是在基於樹脂組成物的總固體組份重量0.0001重量％至0.1重量 %的範圍內。若需要，該組成物亦可含有各種添加劑例如敏化劑、溶解抑制劑，除樹脂（X)以外之樹脂、界面活性劑、穩定劑和染料只要本發明之目的不受損。本發明的阻體組成物通常變成阻體溶解之狀態其中，將上述各組份溶入欲施加至基體例如矽晶圓上之溶劑中。此處所使用之溶劑可能是溶解每一組份之溶劑，具有適當之乾燥速率且在蒸發溶劑後可產生均勻而光滑塗層並可能是通常使用於此領域中之溶劑。其實例包括乙 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁) - 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1227378 A7 __B7 _ 14 五、發明說明（）二醇醚酯類（例如乙基乙二醇乙醚乙酸鹽、甲基乙二醇乙醚乙酸鹽和丙二醇單甲醚乙酸鹽；各種酯類例如乳酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯和丙酮酸乙酯；酮類例如丙酮、甲基異丁基甲酮、2-庚酮和環已酮及環狀酯例如r -丁內酯。此等溶劑可單獨使用或兩或多種聯合而使用。使經施加至基體上之阻體膜，在乾燥後歷經曝光處理以便形成圖型。然後，在熱處理以便促進保護之膜保護反應後，實施經由鹼性顯像劑之顯像。此處所使用之鹼性顯像劑可能是經使用於此領域中之各種的鹼性水溶液。就大體而論，時常使用氫氧化四甲銨或氫氧化（2-羥乙基）三甲銨（稱爲colline )之水溶液。其次，本發明將經由舉例予以更詳細敘述，此等實例不應解釋爲限制本發明之範圍。除非在其他情況載明，實例中之所有份數均是以重量計。重量平均分子量是使用聚苯乙烯作爲參考標準自凝膠透過層析法所測得之數値。單體合成1 (合成甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯）將83.1克之2-甲基-2-金剛烷醇及101克之三乙胺加進一容器中，添加200克之甲基、異丁基甲酮至其中而形成溶液。將78.4克之甲基丙烯酸氯化物（1.5倍的2-甲基-2-金剛烷醇的莫耳數量）逐漸滴加至此溶液中，繼以在室溫下攪拌歷大約1 0小時。在過瀘後，將所產生之有機層用5重量％碳酸氫鈉水溶液洗滌，然後用水洗滌兩次。將有機層濃縮然後在減壓下蒸餾而獲得經由下 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) -線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1227378 A7 B7 15 五、發明說明（）式所代表之甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯： CH3 ch3 CH2=c-C-〇-^>) 單體合成2(合成甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯）將50克之二乙醚加至31.1克之2-金剛烷酮中而形成溶液。將200毫升的二乙醚中之基鋰（在1.14莫耳/升之濃度）溶液逐滴加至此溶液中同時保持該溶液在不高於10°C之溫度下。在0°C下攪拌歷2小時後，將甲基丙烯酸氯化物（其數量爲26.2克，1.2倍的2-金剛烷酮的莫耳數量）逐漸加至此溶液中同時保持該溶液在不高於 10 °C之溫度下。在逐滴加成完成後，將所產生之混合物在室溫下攪拌歷大約12小時。其後，過濾出所沈澱之有機鹽，將所產生之有機層用5重量％碳酸氫鈉水溶液洗滌，然後用水洗滌兩次。將有機層濃縮，然後在減壓下蒸餾而獲得經由下式所代表之甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛院基酯： CH^ C2H5 單體合成3(合成α-甲基丙烯醯氧基-r-丁內酯）將100克之α-溴-T-丁內酯和104.4克之甲基丙烯酸 (2.0倍的α -溴-r - 丁內酯的莫耳數量）加進一容器中。然後，將重量爲α-溴-r-丁內酯重量三倍的甲基異 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事d 裳—— :a填寫本頁) . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1227378 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（）丁基甲酮加至其中而形成溶液。將1 8 3.6克之三乙胺 (3.0倍的α -溴-r -丁內酯之莫耳數量）逐滴添加至該溶液中，繼以在室溫下攪拌歷大約10小時。在過濾後，將所產生之有機層用5重量％碳酸氫鈉水溶液洗滌然後用水洗滌兩次。將有機層濃縮而獲得經由下式所代表之α-甲基丙烯醯氧基-r-丁內酯： ch3 ch2=c - 〇〇 ο 樹脂合成1(合成甲基丙烯酸2 -甲基-2-金剛烷基酯/甲基丙烯酸3,5-二羥基-1-金剛烷基酯/α -甲基丙烯醯氧基― r -丁內酯共聚物）將甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸3,5-二羥基-1-金剛烷基酯及α -甲基丙烯醯氧基-r -丁內酯以 2:1:1之莫耳比（20.0克：11.4克：7.3克）混合。將此混合物另外與作爲聚合調節劑之1 · 1 2克的3 -锍基丙酸 2 -乙基已酯（0 · 1 2倍的甲基丙烯酸3，5 -二羥基-1 -金剛烷基酯的莫耳數量）及40克之1，4-二噚烷混合而形成單體溶液。將10克之二噚烷加至2,2，-偶氮雙異丁腈其數量相當於1莫耳％所有單體之總量而形成引發劑溶液。於兩小時內’將此等單體溶液和引發劑溶液並行逐漸倂入經加熱至7(TC之50克，1，4-二噚烷中，繼以攪拌歷5 小時。在冷卻後，將反應物質與大量的庚烷混合而致使聚合物質沈搬，繼以過濾。隨後，將所產生之溼濾餅溶 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） — l·-----------裝--------訂· (請先閱讀背面之注音？事項寫本頁}

1227378 Α7 Β7 18 -- 五、發明說明（）將甲基丙烯酸2 -甲基-2 -金剛烷基酯、甲基丙烯酸3-键基-1 -金剛烷基酯和α -甲鄕基丙烯醯氧基—r —丁內酯以 2:1:1之莫耳比（20.0克：9.9克：7.26克）混合。將此混合物另外與40克之甲基異丁基甲酮混合而形成單體溶液。將10克之甲基異丁基甲酮添加至2,2，_偶氮雙異丁腈其數量相當於1·2莫耳％所有單體之總量而形成引發劑溶液。於兩小時內，將此等單體溶液和引發劑溶液並行逐漸倒入經加熱至8 5 °C之5 0克，甲基異丁基甲酮中繼以攪拌歷5小時。在冷卻後，將反應物質與大量的庚烷混合而致使聚合物質沈澱，繼以過濾。隨後將所產生之溼濾餅溶入甲基異丁基甲酮中並與大量之庚烷混合而致使聚合物質沈澱，繼以過濾。爲了純化，再一次實施自溶解至再沈澱之程序而獲得具有大約1 1,000重量平均分子量和1.6之分散度的共聚物。經如此獲得之共聚物稱爲樹脂X。樹脂合成4 (合成甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯/甲基丙烯酸3-羥基-1_金剛烷基酯/ α -甲基丙烯醯氧基-τ -丁內酯共聚物）將甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸3-羥基-1 -金剛烷基酯及α -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁內酯以 2:1:1之莫耳比（20.0克：9.5克：6.85克）混合。將此混合物另外與40克之甲基異丁基甲酮混合而形成單體溶液。將10克之甲基異丁基甲酮加至22-偶氮雙異丁腈其數量相當於2莫耳％之所有單體之總量而形成引發劑 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注音？事<^填寫本頁) 裝訂：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1227378 A7 ___ B7____ 心 20 五、發明說明（） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項H寫本頁) 將超純水施加至經預烘焙之阻體膜上，接觸角經由接觸角測量裝置（由 Erma化學有限公司所造之 Ermagoniometer型）而量計。結果示於表}中。將具有經形成在其上之阻體膜之晶圓使用ArF準分子雷射步進器（由 NiKon 所造，nNSR-ArF"，NA = 0.55， σ = 0·6 )照射，通過線和空間圖型，逐漸改變曝光量。使經曝光之晶圓歷經1 30 °C下在熱板上之曝光後烘焙 (PEB)歷60秒。然後使晶圓歷經使用2.38重量％氫氧化四甲銨水溶液之槳式顯像歷60秒。經顯像之亮視野圖型經由掃描電子顯微鏡予以觀察及經由下列方法評估有效之感光性和淸晰度：有效之感光性：這是以最小量之曝光予以表示，其產生0.1 8 // m的1:1線和空間圖型。 •線：淸晰度：這是以最小尺寸予以表示，其產生在有效感光性的曝光數量時所發射之線-和-空間圖型。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製亮視野圖型係由通過包含鉻層（不透光層）所形成之外框架和經形成在玻璃基體（光透過部份）表面上之線性鉻層（不透光層）之標線片來曝光和顯像而獲得。因此，在曝光與顯像後，環繞線和空間圖型之阻體層的部份被移除而相當於外框架之一部份的阻體層被留置在線和空間圖型之外面。 -22- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2101297公釐） 1227378 A7 _B7 五、發明說明（21 ) 表1 樹脂酸產生劑預烘焙溫度接觸角有效感光性淸晰度實例1 A C(0.1 份） 15 0°C 56° 54 mJ/cm2 0.16// m 實例2 B D(0.2 份） 130°C 55° 30 mJ/cm2 0.16// m 比較性實例1 X C(0.1 份） 15 0°C 60° 66 mJ/cm2 0.16// m 比較性實例2 Y D(0.2 份） 130°C 59° 30 mJ/cm2 0.16// m 如自表1可見，當使用含有經由本發明所指定之樹脂之阻體在ArF準分子雷射曝光中時，當與比較性實例比較時，阻體塗層與水間之接觸角減小而不會使感光性和淸晰度退化。此乃意指：阻體具有與顯像劑之改進親和力而因此，在改良線寬度均勻性和減少缺陷顯像的可能性方面是有效。 ϋ ϋ ϋ ϋ n n I ϋ ϋ I 1 I I ϋ (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) . 線」經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims

1227378 :、申請專利範圍第89 1 27065號「化學上放大之正型阻體組成物」專利案 (93年10月6日修正) 六申請專利範圍： 1 . 一種化學上放大之正型阻體組成物，包含：樹脂（X )，其具有自（甲基）丙烯酸二羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之4〜70mol%聚合單位（a)及自（甲基）丙烯酸2 -院基-2 -金剛院基醋所衍生之3 0〜8 0 m ο 1 %聚合單位 (b )，上述數量係基於樹脂之總單位，其中，自（甲基）丙烯酸二羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之聚合單位（a )經由下式（I )代表··

1227378 ^、申請專利範圍且該樹脂，就其本身而論係不溶或略可溶於驗中但是由於酸的作用，變成可溶於鹼中；及一種酸產生劑（Y)。 2 .如申請專利範圍第1項之阻體組成物，其中自（甲基）丙烯酸二羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之聚合單位（a )是自（甲基）丙烯酸3，5 -二羥基-1 -金剛烷基酯所衍生之一個單位。 3 .如申請專利範圍第1項之阻體組成物，其中樹脂（X )另外具有自（甲基）丙烯醯氧基-7 - 丁內酯所衍生之聚合單位，其中內酯環可使用烷基及/或自馬來酸酐所衍生之聚合單位視需要予以取代。 4 .如申請專利範圍弟1項之阻體組成物’它另外包含一種胺作爲驟冷劑。