TW581911B

TW581911B - Formation method of lumpy pattern and color filter for liquid crystal display apparatus manufactured by the same

Info

Publication number: TW581911B
Application number: TW087110482A
Authority: TW
Inventors: Kinji Matsushima; Tomonobu Sumino; Yukihiro Andou
Original assignee: Dainippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-06-26
Filing date: 1998-06-26
Publication date: 2004-04-01
Also published as: JP4200168B2; EP0921440B1; JP2006338032A; DE69833550T2; KR20000068331A; EP0921440A1; US6187485B1; DE69833550D1; EP0921440A4; WO1999000705A1; JP3947232B2; KR100578605B1

Description

581911 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（1 ) 技術領域本發明爲關於凹凸圖型之形成方法，特別爲關於可輕易控制凹部厚度及凸部厚度之凹凸圖型的簡便形成方法。又，本發明爲關於使用上述方法形成液晶顯示裝置用彩色濾色鏡之保護層及柱狀隔板部。又，本發明再關於可高精確度地控制作爲隔板之柱狀凸部及保護層之厚度之液晶顯示裝置用彩色濾光鏡。背景技術於基板上形成凹凸圖型者，已使用印刷用之凹板、凸版、浮雕雷射圖形成用之雷射圖原版、微透鏡排列等各種類型。例如，於基板上具備微透鏡之微透鏡排列，於近年普及之背光方式彩色液晶顯示器（L CD )中，被使用作爲令來自照明用光源之光，有效率地集光於畫素部之手段，又，於C CD等所使用之彩色影像感應器中，爲了提高有效開口率而被使用對應於各受光晶光裝設於受光面。再者，近年，於光通信等使用增大之光纖中，亦於_行光結合之情形中，組合使用微透鏡。但是，先前之凹凸圖型形成方法，係使用正型或負型之感光性樹脂，並且以所欲之圖型曝光後顯像形成凹凸圖型，或者，於樹脂層上以指定圖型形成罩殻，並且透過此罩殻蝕刻樹脂層，形成凹凸圖型，其具有工程煩雜、且構成凹凸圖型之凹部及凸部之標度精確度低之問題。近年，對於平面顯示器乃注目於彩色液晶顯示裝置。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝.

:、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） • 4 - 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 581911 A7 ______B7___ 五、發明説明（2 ) 彩色液晶顯示裝置之一例爲將具備黑色矩陣、複數顏色（通常，紅（R)、綠（G)、藍（B)之三原色）所組成之著色層、透朋導電層（共通電極）及定向層之彩色濾光鏡，及具備薄膜晶體管（TFT元件）、畫素電極及定向層之T F T排列基板，以維持指定之間隙相向配合，並且於此間隙部注入液晶材料作成液晶層。於此類之彩色液晶顯示裝置中，間隙部爲液晶層之厚度本身，爲了令彩色液晶顯示裝置所被要求之高速應答性、高對比、廣視野角等之良好的顯示性能變爲可能，則必須令液晶層之厚度，即彩色濾光鏡及T F T排列基板之間隙距離嚴密地保持一定〇近來，決定彩色液晶顯示裝置中之液晶層厚度之方法，乃爲在彩色濾光鏡及T F T排列基板之間隙，注入混合許多由玻璃和氧化鋁、塑膠等所構成之稱爲隔板之粒子或棒狀體液晶之方法。因此，根據隔板之大小，決定兩基板之間隙部之大小，即液晶層之厚度。但是，形成如上述彩色濾光鏡及T F T排列碁板之間隙部之方法，於彩色液晶顯示裝置之動作上產生如下述之問題。即，若無法令基板面上散在之隔板密度呈適切、且無法令基板面上之隔板均勻分散，則通過彩色液晶顯示裝置全面無法形成大小均勻之間隙部。一般，於增加隔板散在量（密度）之情形中，則間隙部厚度之偏差變少，但若散在量（密度）變多，則顯示畫素部上存在之隔板數亦增加，且於顯示畫素部中，此隔板乃成爲液晶材料之異物。本纸張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） -5- -------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ••訂 581911 A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製五、發明説明（3 ) 因此，經由隔板之存在，而令定向膜所規定之液晶分子的定向產生紊亂，並且僅使隔板周邊之液晶產生不能以電壓之ON、 OFF予以定向控制等之障礙，具有令對比等之顯示性能降低之問題。爲了解決此類問題，已提案出具備用以決定間隙（液晶層之厚度）之柱狀凸部之彩色濾光鏡（特開平 4一318816號等）。但是，此彩色濾光鏡因爲在形成著色層、及覆蓋此著色層之保護層形成後，使用光感光性樹脂再度依據光學平版印刷工程，於黑色鑄型上之指定位置形成柱狀凸部，故工程煩雜。又，例如，近年所注目之I P S ( In-Plane Switching )液晶型式，乃被要求比T N液晶型式更精密控制基板間隙。爲了符合此類要求，將柱狀凸部之高度精確度作成 ±0 · 3 //m以下，故乃要求感光性樹脂之高度塗佈精確度，此因而於生產量、產率等造成問題。發明之揭示本發明爲鑑.於如上述之情事，以提供工程簡便，並且標度之控制精確度高之凹凸圖型形成方法爲其目的。又，本發明爲以提供液晶顯示裝置用彩色濾光鏡中之透明保護層及柱狀凸部之形成方法，且可高度控制標度之簡單方法爲其目的。又，本發明再以提供高精確度地控制作爲隔板之柱狀凸部及保護層厚度之液晶顯示裝置用彩色濾光鏡爲其目的 (請先閲讀背面之注意事 4 -項再填· 裝— 寫本頁) 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公漦） -6- 581911 A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印簟五、發明説明（4 ) 〇爲達成上述目的，本發明於第一態樣中，提供凸凹圖型之形成方法，其包含於基板上形成含有鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂所組成之感光性樹脂層之第一工程、透過具備所欲開口圖型之光罩殼令該感光性樹脂層曝光之第二工程、經由令該感光性樹脂層以鹼性顯像液予以顯像並且施以硬化處理，形成對應於該開口圖型曝光區域之凸部、及對應於未曝光區域之凹部所組成之凹凸圖型之第三工程。又，本發明於第二態樣中，提供凹凸圖型之形成方法，其包含於基板上形成含有熱硬化性樹脂及負型感光性樹脂所組成之感光性樹脂層之後，將該感光性樹脂層令以該熱硬化性樹脂之至少一部分爲呈硬化地進行加熱處理之第一工程、透過具備所欲開口圖型之光罩殼令該感光性樹脂層曝光之第二工程、經由令該感光性樹脂層顯像並且施以硬化處學，形成對應於該開口圖型曝光區域之凸部、及對應於未曝光區域之凹部所組成之凹凸圖型之第三工程。再者，本發明爲提供具備基板、於該基板上由指定圖型所形成之複數色所組成之著色層、至少令該著色層被覆蓋而形成之透明保護層、及於該基板上之複數指定部位所形成之比該透明保護層更爲突出之透明柱狀凸部，且該透明保護層及該柱狀凸部爲依據上述任一種方法所形成之液本紙張尺度適用中國國家標準（CNS M4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事 4 •項再填」裝-- :寫本頁) 訂 .4 581911 經濟部中央標準局負工消費合作社印装 A7 B7五、發明説明（5 ) 晶顯示裝置用彩色濾光鏡。再者，本發明爲提供具備基板、於該基板上由指定圖型所形成之複數色所組成之著色層、至少令該著色層被覆蓋而形成之透明保護層、及於該基板上之複數指定部位所形成之比該透明保護層更爲突出之透明柱狀凸部，且該透明保護層爲以鹼不溶性樹脂或熱硬化性樹脂作爲主成分，且該柱狀凸部爲以經硬化之負型感光性樹脂作爲主成分之液晶顯示裝置用彩色濾光鏡。若依據使用特定感光性樹脂組成物之本發明之凹凸圖型形成方法，則因爲可在一回之光學平版印刷工程中形成凹凸圖型，故工程簡便，再者，經由適當設定感光性樹脂層之鹼不溶性樹脂或熱硬化性樹脂與負型感光性樹脂之比率和/或曝光量，而可同時以高精確度控制構成凹凸圖型之凹部及凸部之厚度和凸部之高度（凹部之深度）。因此，將此方法應用於液晶顯示裝置用彩色濾光鏡之保護層及柱狀凸部之形成時，則可同時控制柱狀凸部之高度及透明保護層之厚度，並且亦可符合對於液晶層之厚度择制要求高精確度之彩色液晶顯示裝置，例如I P s ( In-Plane Switching )液晶型式之彩色液晶顯示裝置。實施發明之最佳形態以下，參照圖面說明關於本發明之最佳實施形態。圖1爲示出本發明之凹凸圖型形成方法之一實施形態之工程圖。本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 _ (請先閲讀背面之注意事 1·. -項再填· :寫本頁) 裝· ••訂 581911 A7 B7 五、發明説明（6 ) (第一工程）依據第一態樣之本發明之凹凸圖型形成方法，首先，於基板1上，形成含有指定比率之鹼不溶性樹脂光性樹脂之感光性樹脂層2 (圖1 ( A ))。此感光性樹脂層2爲將含有指定比率之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂之感光性樹脂組成物，進行粘度之最適化，加上依據旋轉塗層、輥塗等公知手段，於基板1上塗布、乾燥即可形成。所使用之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂，可考慮凹凸圖型中所要求之特性，例如，透光率、耐熱性、耐藥品性、機械強度等，由公知之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂選出。可使用之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂之具體例可列舉以下物質。鹼不溶性樹脂本發明所使用之鹼不溶性樹脂，可大致分成如下述之正型感光性樹脂及非感光性樹脂。經濟部中央標準局員工消费合作社印装 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (正型感光性樹脂）基本上可使用極性變化型之透明正型感光性樹脂’且可使用含有如下述例示之樹脂及光致產酸劑之正型感光性樹脂。樹脂 •羥基經保護基予以保護之聚乙烯酚本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ g _ 581911 A7 B7 五、發明説明（7 )

0R1 (式中，Ri爲第三丁氧羰基、異丙氧羰基、四氫批喃基、三甲基甲矽烷基或第三丁氧羰甲基。） •苯乙烯馬來醯亞胺共聚物 /C cvν Λο R2 (式中，R2爲氫原子或鄰一四氫吡喃基，R3爲第三丁氧羰基、苯酚-鄰-第三丁氧羰基或亞甲氧乙醯基。）

J0, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂經濟部中央標準局貝工消費合作社印装光致產酸劑光致產酸劑爲由上述樹脂脫離保護基並且對於鹼性顯像液呈現可溶之觸媒，若爲經由曝光而可產生酸者，則無特別限定，且可使用下述之①鎩鹽、②含鹵素化贪物、③ 硯化合物、④硝苄基化合物、⑤磺酸化合物等。 ①鎗鹽

本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS )·Α4規格（210X297公釐） -10- 581911 A7 B7 五、發明説明（8 ) (式中，R4〜R6可爲彼此相同或相異，分別爲氫原子、胺基、硝基、氰基、取代或未取代之烷基或烷氧基，X爲 SbF6、AsFe、PF6、B F 4 , C F 3 C 0 2 . C 1 〇 4 , C F 3 S 0 3 , SO3

(但，R7爲氫原子、胺基、苯胺基、取代或未取代之烷基或烷氧基，R8、R9可爲彼此相同或相異，且分別爲取代或未取代之烷氧基，R1()爲氫原子、胺基、苯胺基、取代或未取代之烷基或烷氧基。） (請先閱讀背面之注意事 JW 項再填」裝— :寫本頁) 訂經濟部中央橾率局貝工消费合作社印装本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -11 - 581911 A7 B7 五、發明説明（9 )

--------裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部中央樣準局員工消费合作社印装

(式中，Y 爲表示 SbF6、AsF6、PF6 或 BF4。）0® CH3^ ^CH2—R11 (式中，R 1 1爲 CN •c=c

CN -c δ

Y爲表示BF4或CF3S〇3。） ②含鹵素化合物含鹵素化合物可列舉含有鹵烷基之烴系化合物、含有本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）· 〇 - d 581911 A7 B7 五、發明説明（1〇) 鹵烷基之雜環狀化合物等’且較佳可列舉下述之化合物 R4 R5

(式中，R4、R5、X爲同上述。）

(式中，R12爲氫原子或甲基，R13爲CnH2n + l ( η =8、 10、 11、 12、 14、 15、 16) ’Υ爲表示 S b F 6 或 P F 6。） --------0^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R\ R5 R6

••訂 CCl3^>^CCl3 經濟部中央樣率局貝工消费合作社印製 (式中，R4〜R6、X爲同上述

W R14 (式中，R14爲表示三氯甲基、苯基、甲氧苯基、萘基或甲氧萘基。）本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐）-13 _ 581911 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装五、發明説明（11)

(式中，R 1 5〜R 1 7可爲彼此相同或相異，且分別爲氫原子、鹵原子、甲基、甲氧基或羥基。） ③ 硕化合物碾化合物可列舉Θ-酮基碱、Θ-磺醯基硕等，且較佳可列舉下述之化合物。 •R20 R18 y(R21)u ^>-Y 十 S〇2"~<^ R19 (式中，R 1 8〜R 2 1可爲彼此相同或相異，且分別爲取代或未取代之烷基或鹵原子，Y爲一 C0 —、或一S02 —， u爲0〜3之整數。） ④ 硝苄基化合物硝苄基化合物可列舉磺酸硝苄酯化合物、磺酸二硝苄酯化合物等，且較佳可列舉下述之化合物。 (N〇2)v — R23 <RV-iH —0S02—R24 R22 (式中，R22爲取代或未取代之烷基，R23爲氫原子或甲基，R 2 4爲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-14 - --------Imp 裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂· 581911 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印«. 五、發明説明（12) R25 R26

27 或

N(CH3)2 (但，R25爲氫原子或甲基，R26、R27可爲彼此相同或相異，且分別爲取代或未取代之烷氧基），v爲表示1 〜3之整數、） ⑤磺酸化合物磺酸化合物可列舉烷基磺酸酯、鹵烷基磺酸酯、芳磺酸酯、亞胺基磺酸酯等，且較佳可列舉下述之化合物。 R28 〇 R30 /R29 .131 (式中，R28、R29可爲彼此相同或相異，且分別爲氫原子或取代或未取代之烷基，R3()、R31可爲彼此相同或相異，且分別表示氫原子、取代或未取代之烷基或芳基。） R32

R33 S—〇-N=C( \r34 (式中，R32爲氫原子或取代或未取代之烷基，R 33、 R34可爲彼此相同或相異，且分別爲取代或未取代之烷基或芳基，R33和R34亦可彼此結合形成環構造。）

Or (OSO3CZ3 )3 (式中，Z爲表示氟原子或氯原子 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

Jm 裝. --丁 4 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -15· 581911 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 _B7__五、發明説明（13) (非感光性樹脂）非感光性樹脂可使用以下之樹脂。環氧樹脂與丙烯酸之共聚物之二羥基丙烯酸酯或聚羥基丙烯酸酯、雙酚A型環氧樹脂。負型感光性樹脂可使用如下述例示之樹脂、聚合引發劑、含有單體之負型感光性樹脂。樹脂雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、酚醛淸漆型環氧樹脂、聚碳酸、縮水甘油酯、多元醇縮水甘油酯、脂族或脂環式環氧樹脂、胺環氧樹脂、三酚甲烷型環氧樹脂、二羥基苯型環氧樹脂等之環氧基與 (甲基）丙烯酸反應所得之環氧丙烯酸酯樹脂；甲醇、乙醇、丙醇等低級醇、聚乙二醇、聚丙二醇、甘油、羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等多元醇與（甲基）丙烯酸反應所得之酯化合物；N-羥甲基蜜胺、N-羥甲基苯並胍胺、（聚）N -羥甲基（甲基）丙烯醯胺等與（甲基）丙烯酸反應所得之酯化合物，馬來酐與可共聚單體類聚合所得之聚合物及羥乙基（甲基）丙烯酸之反應物等之一種或二種以上之組合。聚合引發劑本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-16 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 4 581911 A7 B7 五、發明説明（14) 下述之一種或二種以上之組合 • IRUGACUA 369、IRUGACUA 907 (Ciba Geigy 公司製） • KAYACUA-DETX (曰本化藥（株）製） • S - 1 2 3 (SINCO 技硏（株）製） • 2 〔2 / (5" —甲基呋喃基）亞乙基〕一 4，6 —雙 (三氯甲基）一 S —三畊（三和化學（株）製） • 2 (2 / —呋喃基亞乙基）一 4，6 —雙（三氯甲基）一 S -三畊（三和化學（株）製） • T A Z — 1 0 6 ( MIDORI 化學（株）製）單體 •丙烯酸二季戊四醇酯 •四丙烯酸季戊四醇酯經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於感光性樹脂層2中之鹼不溶性樹脂與負型感光性樹脂之比率，可考慮所形成之凹凸圖型之凹部厚度、凸部厚度、凹部高度（凹部深度）、後述第二工程之曝光量而適當設定。例如，可將正型感光性樹脂與負型感光性樹脂之重量比設定在1:2〜1:10之範圍內。感光性樹脂層2之厚度，可考慮所使用之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂、所形成之凹凸圖型之凹部厚度、凸部厚度、凸部高度（凹部深度）等而適當設定，通常可在 1〜1 0 /zm之範圍內設定。尙，於感光性樹脂層2之形成所用之感光性樹脂組成物中，除了鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂以外，亦可含本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ^7- 581911 A7 B7 五、發明説明（15 ) 有1〜3 0重量％範圍之聚合引發劑、感光交聯劑。又，所使用之正型感光性樹脂及負型感光性樹脂可具有共通之感光波長、或者感光波長爲不同者亦可。 (第二工程）第二工程爲令感光性樹脂層2，透過形成圖型用之光罩殼7進行曝光（圖1(B))。於此光罩殻7中，形成相當於所欲形成凹凸圖型之凸部之開口部7 a。使用正型感光性樹脂作爲鹼不溶性樹脂之情形中，感光性樹脂層2之曝光可經由正型感光性樹脂及負型感光性樹脂爲具有共通之感光波長、或者兩者之感光波長爲不同之任何情況、含有兩者感光波長之光、或者含有負型感光性樹脂之感光波長之光進行曝光。使用鹼不溶性樹脂作爲非感光性樹脂之情形中，可經由含有負型感光性樹脂之感光波長之光進行曝光。經濟部中央標準局員工消費合作社印製曝光量可考慮令所使用之負型感光性樹脂充分進行硬化反應所必須之曝光量、鹼不溶性樹脂與負型感光性樹脂之比率、所形成之凹凸圖型之凹部厚度、凸部厚度、凸部高度（凹部深度）等而適當設定。通常，曝光量可在 100〜700mJ〜cm2之範圍內設定。藉此，在感光性樹脂層2之凸部形成部位2 a (透過光罩殻之曝光部）進行負型感光性樹脂之硬化反應，並且於使用正型感光性樹脂作爲鹼不溶性樹脂，且在以含有此樹脂感光波長之光進行曝光之情形中，則呈現出亦進行正 -18- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 581911 A7 B7五、發明説明（16 ) 型感光性樹脂之分解反應之狀態。 (第三工程）本發明之凹凸圖型形成方法之第三工程爲，經由鹼性顯像液進行感光性樹脂層2之顯像。使用正型感光性樹脂作爲鹼不溶性樹脂時，因爲於第二工程中，如上述在凸部形成部位2 a，產生負型感光性樹脂之硬化反應及正型感光性樹脂之分解反應，故經由此顯像工程，在凸部形成部位2 a之正型感光性樹脂爲被顯像液所溶解移去，形成以負型感光性樹脂作爲主成分（施以硬化處理之負型感光性樹脂爲超過凸部3 a之5 0重量％)之凸部3 a。於使用非感光性樹脂作爲鹼不溶性樹脂之情形中，因爲於第二工程中，在凸部形成部位2 a產生負型感光性樹脂之硬化反應，故經由此顯像工程，則形成對於凸部形成部位2 a中被硬化之負型感光性樹脂及鹼性顯像液，顯示出不溶性之非感光性樹脂作爲主成分（施以硬化處理之負型感光性樹脂及非感光性樹脂爲超過凸部3 a之5 0重量％ )之凸部 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製

另一方面，於感光性樹脂層2之凸部形成部位2 a以外之區域2 b中，未曝光之負型感光性樹脂爲被顯像液所溶解除去，並且形成對於顯像液顯示出不溶性之鹼不溶性樹脂作爲主成分（鹼不溶性樹脂爲超過凹部1 3 b之5 0 重量％ )之凹部3 b，其後，經由進行後烘焙處理，則可取得由凸部3 a及凹部3 b所構成之凹凸圖型（圖1 ( C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 581911 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 _^B7___五、發明説明（17 ) )卜此類凹凸圖型3，在如上述之一回光學平版印刷工程中可形成，所形成之凹凸圖型3之凸部3 a之表面爲平坦且厚度Ti均勻，又，所形成之凹凸圖型3之凹部3 b亦爲表面平坦且厚度T2均勻。因此，凸部3 a之高度Η (凹部 3 b之深度）亦爲均勻。此凸部3 a之厚度Ti和凹部3 b 之厚度T2、及凸部3 a之高度Η (凹部3 b,之深度）可藉由適當設定感光性樹脂層2之正型感光性樹脂與負型感光性樹脂層之比率和/或曝光量，而任意地控制。例如，凸部3 3之厚度丁1可在0.2〜5//111之範圍、凹部313之厚度丁2可在〇.1〜2#111之範圍、而凸部3 3之高度11 (凹部3b之深度）可在0 · 1〜4 · 5//m之範圍中適當設定。又，凸部3 a、凹部3b之最小寬度可設定在8 μ m左右。其次，說明關於依據第二態樣之本發明之凹凸圖型形成方法。依據第二態樣之本發明之凹凸圖型形成方法，除了 1 )使用含有熱硬化性樹脂及負型感光性樹脂作爲感光性樹脂組成物、及2 )於第一工程中，在基板上形成感光性樹脂層後進行熱硬化性樹脂成分之硬化處理，則與依據上述第一態樣之凹凸圖型形成方法於實質上相同。即，除了以下所述之不同點以外，關於依據第一態樣之本發明之凹凸圖型形成方法之上述記載可就其原樣應用。首先，於第一工程中，於基板1上將含有熱硬化性樹脂及負型感光性樹脂之感光性樹脂組成物予以塗布、乾燥本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 581911 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（18) 形成感光性樹脂層2。熱硬化性樹脂可使用酚系樹脂、酚醛淸漆系樹脂、尿素樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸系樹脂等。負型感光性樹脂可使用同上述物質。熱硬化性樹脂及負型感光性樹脂之使用量比爲與依據上述第一態樣之本發明方法同樣地，例如可在1: 2〜1 : 10之範圍內適當設定〇於基板上所形成之感光性樹脂層，其次令熱硬化性樹脂成分之至少一部分爲呈硬化地進行加熱處理。此加熱處理較佳以來自基板裏面（感光性樹脂層非形成面）之熱板等加熱手段進行加熱。第二工程爲對於上述熱處理後之感光性樹脂層2，與第一態樣之方法同樣地，以含有負型感光性樹脂感光波長之光進行曝光。接著於第三工程中之顯像亦與已述之第一態樣之方法同樣。若以顯像液進行顯像，則熱硬化性樹脂成分本身爲對鹼呈現不溶性或難溶性，但因爲經由與負型感光性樹脂混合，使得未曝光且未加熱之感光性樹脂層2對於顯像液具有溶解性，故接近基板之部分經由加熱而硬化之樹脂乃不溶解於顯像液中，但加熱不充分且未曝光之感光性樹脂層部分則被溶解除去，形成以熱硬化性樹脂作爲主成分之凹部3 b，並且經曝光硬化之部分則形成以負型感光性樹脂作爲主成分之凸部3 a。上述二態樣之本發明方法可應用於各種凹凸圖型之形成，例如，可適當應用於印刷用之凹版、凸版、浮雕雷射 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 _ 581911 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明（19) 圖形成用之雷射圖原版、微透鏡排列、彩色濾光鏡形成柱狀凸部等。其次說明本發明之凹凸圖型形成方法之適當的適用例之一：液晶顯示裝置彩色濾光鏡中之透明保護層及柱狀凸部的形成。圖2爲示出液晶顯示裝置用彩色濾光鏡之一例之部分平面圖，圖3爲以圖2之A — A線之縱截面圖。於圖2及圖3中，彩色濾光鏡1 0爲具備基板1、和此基板1上所形成之黑色矩陣4及著色層5。基板1可使用石英玻璃、派菜克斯耐熱玻璃、合成石英板等之無可撓性之透明堅硬材料、或者透明樹脂薄膜、光學用樹脂板等之具有可撓性之透明柔軟材料。其中特別以康寧公司製之7 0 5 9玻璃，因爲係爲熱膨脹率小之素材而爲標度安定性及高溫加熱處理中之作業性優異，且爲玻璃中不含鹼成分之無鹼玻璃，故適於根據主動矩陣方式之彩色液晶顯示裝置用之彩色濾光鏡。又，黑色矩陣4爲被設置於著色層5所構成之顯示畫素部之間，及著色層5之形成區域之外側。此類黑色矩陣 4爲經由濺鍍法、真空澱積法等形成厚度1 0 0 0〜 2 Ο Ο Ο A左右之鉻等金屬薄膜，並將此薄膜予以圖型化所形成者；或形成含有碳微粒子等遮光性粒子之聚醯亞胺樹脂、丙烯酸樹脂、環氧樹脂等之樹脂層，並將此樹脂層予以圖型化所形成者；或形成含有碳微粒子、金屬氧化物等遮光性粒子之感光性樹脂層，並將此感光性樹脂層予以本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22 - --------裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -s-t» _·線 581911 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ______B7五、發明説明（20 ) 圖型化所形成者等之任何一種均可。又’著色層5爲令紅色圖型5 R、綠色圖型5 G及藍色圖型5 B，以所欲之圖型形狀排列，其可經由使用含有所欲著色材料之感光性樹脂之顏料分散法予以形成，並且更可依據印刷法、電極沈積法、轉印法等公知方法予以形成。又，例如亦可將著色層5，依據紅色圖型5R爲最薄，且以綠色圖型5 G、藍色圖型5 B之順序變厚，令著色層5之各色設定爲最適當之液晶層厚度。於具有此類著色層及黑色矩陣之基板上，依據上述第一或第二態樣之本發明之凸凹圖型形成方法，則可形成相當於凹部之透明保護層3 b及相當於凸部之柱狀凸部3 a 〇透明保護層3 b爲用以令彩色濾光鏡1 〇之表面平坦化，並且用以防止著色層5所含有之成分溶出至液晶層所設置之物質。此透明保護層3 b之厚度可考慮所使用之材料的透光率、彩色濾光鏡1 0之表面狀態而設定，例如，可設定在0 · 1〜2 · 0//m之範圍。此類透明保護層 3 b爲在彩色濾光鏡1 〇貼合TFT排列基板時，形成用以至少覆蓋與液晶層接觸之著色層.5。透明保護層3 b如所述，爲以鹼不溶性樹脂或硬化後之熱硬化性樹脂作爲主成分（超過透明保護層3 b之5 0 重量％ )，而鹼不溶性樹脂或熱硬化性樹脂可考慮透明保護層3 b所要求之透光率予以選定。又，柱狀凸部3 a爲在彩色濾光鏡貼合TFT排列基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 581911 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 板時，作用爲隔板。此柱狀凸部3 a爲比上述之透明保護層3b，具有突出2〜10//m左右範圍之固定高度，突出量可由彩色液晶顯示裝置之液晶層所要求之厚度等而適當設定。又，柱狀凸部3 a之形成密度可考慮液晶層之不勻厚度、開口率、柱狀凸部3 a之形狀、材質等而適當設定，例如，於構成著色層5之紅色圖型5 R、綠色圖型 5 G及藍色圖型5 B之一組中，以一個之比例即可充分表現所必須之隔板機能。此類柱狀凸部3 a之形狀，於圖示例中雖爲圓柱形狀，但不限定於此，其亦可爲角柱形狀、截頭錐體形狀等。上述之柱狀凸部3 a爲如所述，以硬化後之負型感光性樹脂作爲主成分（超過柱狀凸部3 a之50重量％)，負型感光性樹脂可由上述之負型感光性樹脂中，考慮作爲柱狀凸部3 a所要求之機械強度、透光率等予以選定。於具備上述透明保護層3 b及柱狀凸部3 a之本發明彩色濾光鏡1，設置定向層予以定向處理（摩擦）後，與 TFT排列基板貼合時，柱狀凸部3 a在彩色濾光鏡1 0 與T F T排列基板之間形成間隙。而柱狀凸部3 a並不會產生R、 G、 B三色著色層疊層形成之柱狀凸部所觀察到之因爲均塗現象所造成之高度精確度不良、及各色位置配合不良，故其高度精確度及位置精確度極高，因此，兩基板之間隙精確度極高。又，假定於畫素部分存在部分的柱狀凸部，亦因其爲透明，故對於顯示品質幾乎無不良影響。另一方面，透明保護層3 b爲於存在微細凹凸之彩色濾 (請先閲讀背面之注意事 4 項再填· 裝— 寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作社印製 581911 A7 __B7_— __ 五、發明説明（22 ) 光鏡1 0表面作成平坦，減低對液晶定向造成表面粗度，並且可防止著色層中所微量含有之離子*性f純物等溶出至液晶層之對於顯示品質所造成之不良影# ° 其次，依據下述之實施例更詳細說明本發明° 實施例1 準備3 00mmx400mm、厚度1 · lmm之玻璃基板（康寧公司製7 0 5 9玻璃），並於此基板上使用下述組成之三種感光性樹脂組成物A — 1、A — 2、A -3，以旋轉塗層法進行塗布，形成各厚度5 /zm之感光性樹脂層。（以上，第一工程）感光性樹脂組成物A - 1之組成（正型：負型=1 : 4 ) •正型感光性樹脂 ……20重量份東京應化工業（株）製TDUR - P007 (感光波長 2 5 4 n m ) •下述組成之負型感光性樹脂 (感光波長3 6 5 n m ) ·••…8 0重量份樹脂：雙酚A甲酚酚醛淸漆環氧丙烯酸酯 ……75重量份單體··四丙烯酸二季戊四醇酯 ……2 0重量份聚合引發劑：IRUGACUA 369 ……5重量份 (Ciba Geigy 公司製） (上述負型感光性樹脂之固形成分=3 5重量％) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I-----------------9^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 581911 A7 B7__ 五、發明説明（23) 感光性樹脂組成物A - 2之組成(正型··負型=1 : 3 ) •正型感光性樹脂 ……2 5重量份東京應化工業（株）製TDUR — P007 (感光波長 2 5 4 n m ) •上述組成之負型感光性樹脂 (感光波長365nm) ……75重量份感光性樹脂絹成物A - 3之組成（正型：負型=1 : 2 ) •正型感光性樹脂 ……33重量份東京應化工業（株）製TDUR - P007 (感光波長 2 5 4 n m ) •上述組成之負型感光性樹脂 (感光波長365nm)· ……67重量份其次，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過設置各種線寬條紋狀開口部之光罩殼，以3 0 Om J /cm2之曝光量進行曝光。（以上，第二工程）經濟部中央標準局員工消費合作社印製其次，將基板於0 . 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可形成條紋狀之凹凸圖型，各凹凸圖型之凸部厚度Ti、凹部厚度τ2、凸部高度Η 、及凹凸圖型所可能形成之最小線寬爲示於下述之表1。由此，確認藉由適當設定感光性樹脂之正型感光性樹脂及 -Zt)- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 581911 A7 B7 __^五、發明説明（24) 負型感光性樹脂之比率，則可同時控制凹凸圖型之凸部厚度、凹部厚度、凸部高度。表1 感光性樹脂組成物正型：負型凸部之厚度Ti (μηι) 凹部之厚度Τ2 (//m) 凸部之高度Η (Τι~Τ2) (βτη) 最小線寬 (μιη) A- 1 1:4 4.80 0.10 4.70 8 A-2 1:3 4.60 0.60 4.00 8 A— 3 1 ·· 2 4.70 1.10 3.60 10 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製又，以傅里葉轉換型顯微紅外線測定裝置（（株）島津製作所製FT—IR—8200PC) ’測定使用感光性樹脂組成物A - 1所作成之凹凸圖型（試料1 )之凹部的紅外線吸收光譜及凸部的紅外線吸收光譜’並示於圖4 及圖5。再者，測定構成感光性樹脂組成物A 一 1之正型感光性樹脂的紅外線吸收光譜及負型感光性樹脂之紅外線吸收光譜，且示於圖6及圖7。其次’著眼於如圖6所示之正型感光性樹脂所特有之1 1 4 6 ( cm — i)吸收波峯、及如圖7所示之負型感光性樹脂所特有之1 19 1 ( cm — 1)吸收波峯，並且若比較圖4 (凹部之紅外線吸收光譜）中兩吸收波峯之比率，則11 46 (cm — 1)之吸收波峯乃大爲突出，另一方面，若比較圖5 (凸部之紅外線吸收光譜）中兩吸收波峯之比率，則1 1 9 1 ( cm_1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）厂 581911 Α7 Β7 經濟鄉中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（25) )之吸收波峯乃大爲突出。由此’可確認凹部爲以未反應 (未曝光）之正型感光性樹脂作爲主成分’且凸部爲以施行硬化處理之負型感光性樹脂作爲主成分。實施例2 使用實施例1之感光性樹脂組成物A - 3 ’同實施例 1處理，於基板上形成厚度4 · 5 /zm之感光性樹脂層。 (以上，第一工程）其次，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過實施例1同樣之光罩殻，以下述表2所示之4種曝光量，進行各感光性樹脂層之曝光。（以上’第二工程）其次，將基板於0 · 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可形成條紋狀之凹凸圖型，各凹凸圖型之凸部厚度T:、凹部厚度T2、凸部高度Η 、及圖型所可能形成之最小線寬爲示於下述之表2。由此，確認藉由適當設定曝光量，則可同時控制凹凸圖型之凸部厚度、凹部厚度、凸部高度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公董） 581911 A7 B7 五、發明説明（26) 表2 曝光量 (m J / c m) 凸部之厚度Ti (//m) 凹部之厚度T2 (//m) 凸部之高度Η (Τι-Τ2) (βτη) 最小線寬 (//m) 100 3.49 1.66 1.83 20 200 4.11 1.22 2.89 12 300 4.40 1.40 .3.00 10 500 4.44 1.10 3.34 16 -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施例3 於實施例1同樣之基板上，使用下述組成之三種感光性樹脂組成物B - 1、B — 2、B - 3，以旋轉塗層法進行塗布，形成各厚度5 //m之感光性樹脂層。（以上，第一工程）感光性樹脂組成物B - 1之組成（正型：負型=1 : 2 ) •下述組成之正型感光性樹脂 _ (感光波長365nm) ……33重量份樹脂：經第三丁氧羰基所保護之聚乙嫌酷 ......90重量份光致產酸劑：TFE三唑 ……10重量份 (三和化學（株）製） (上述正型感光性樹脂之固形成分=10重量％) •下述組成之負型感光性樹脂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）訂經濟部中央標準局員工消費合作社印製 581911 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（27 ) (感光波長365nm) ……67重量份樹脂：雙酚A甲酚酚醛淸漆環氧丙烯酸酯 ……75重量份單體：四丙烯酸二季戊四醇酯 ……20重量份聚合引發劑·· IRUGACUA 369 ……5重量份 (Ciba Geigy 公司製） (上述負型感光性樹脂之固形成分=3 5重量％ ) 感光性樹脂組成物B - 2之組成（正型：負型= 1:2.5) •上述組成之正型感光性樹脂 (感光波長365nm) ...... 29重量份 •上述組成之負型感光性樹脂 (感光波長365nm) ……71重量份感光性樹脂組成物B - 3之組成（正型：負型=1 : 3 ) •上述組成之正型感光性樹脂 (感光波長365nm) ……25重量份 •上述組成之負型感光性樹脂 (感光波長365nm) ……75重量份其次，以照射負型感光性樹脂感光波長光之超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過同上述之光罩殼’ 以300mJ/cm2之曝光量進行曝光。（以上，第二工程） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- I-訂 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ·Α4規格（210X297公釐）-30 - 581911 A7 _ B7__ 五、發明説明（28 ) 其次，將基板於0 · 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後’於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可形成條紋狀之凹凸圖型，各凹凸圖型之凸部厚度Τχ、凹部厚度T2、凸部高度Η 、及圖型所可能形成之最小線寬爲示於下述之表3 °由此，確認藉由適當設定感光性樹脂之正型感光性樹脂及負型感光性樹脂之比率，則可同時控制凹凸圖型之凸部厚度、凹部厚度、凸部高度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 表3 感光性樹脂組成物 ΤΗ型：負型凸部之厚度丁！ (βτα) 凹部之厚度Τ2 (βη\) 凸部之高度H (Τι~Τ2) (//m) 最小線寬 (//m) Β- 1 1:2 3.40 0.60 2.80 10 Β-2 1:2.5 3.20 1.10 2.10 10 Β — 3 1 ·· 3 3.01 2.88 0.13 14 、1Τ 4 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝實施例4 使用實施例3之感光性樹脂組成物Β - 2 ’同實施例 3處理，於基板上形成厚度4 · 5 //m之感光性樹脂層。 (以上，第一工程）其次，以照射負型感光性樹脂感光波長光之超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，除了曝光量以下述表4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ·Α4規格（210X297公釐）· 31 - 581911 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（29 ) 所示之4種曝光量以外，同實施例3處理，進行感光性樹脂層之曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0 . 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 200t、 30分鐘。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可形成條紋狀之凹凸圖型，各凹凸圖型之凸部厚度Τ:、凹部.厚度T 2、凸部高度Η 、及圖型所可能形成之最小線寬爲示於下述之表4。由此，確認藉由適當設定曝光量，則可同時控制凹凸圖型之凸部厚度、凹部厚度、凸部高度。表4 曝光量 (m J / c m2) 凸部之厚度Ti (//m) 凹部之厚度T2 (//m) 凸部之高度Η (Τι-Τ2) (βτη) 最小線寬 (βτη) 100 3.57 0.94 2.63 14 200 4.26 0.57 3.69 12 300 4.49 1.02 3.47 10 400 4.70 0.95 3.75 16 實施例5 準備1 0公分正方之石英玻璃基板作爲透鏡用基板（厚度1 · 1mm、折射率1 · 46) ’使用實施例1之感光性樹脂組成物A - 3，同實施例1處理’於透鏡用基板本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）· 32 - I--------0»^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 581911 A7 B7 五、發明説明（3G) 上形成厚度2 0 //m之感光性樹脂層。（以上，第一工程 ) 其次，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過以1 2 0#m螺距形成1 〇〇/zmx 1 00/im開口之光罩殻，以300 mJ/cma之曝光量進行曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0.05 %氫氧.化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 2 0 0 °C、3 0分鐘）。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可取得約1 1 0 正方、焦點距離2 0 0 // m之微透鏡爲複數排列之微透鏡排列實施例6 準備厚度1 . 1mm之玻璃基板（康寧公司製 7059玻璃），並於此基板上使用下述組成之三種感光性樹脂組成物C 一 1、C 一 2、C 一 3，以旋轉塗層法進行塗布，形成各厚度5 //m之感光性樹脂層。（以上，第一工程）感光性樹脂組成物C - 1之組成(鹼不溶型：負型=1 : 5 ) •鹼不溶性樹脂 ……1 7重量份 •下述組成之負型感光性樹脂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-33 - I--------------1T----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 581911 A7 B7 五、發明説明（31) (感光波長3 6 5 n m ) ……8 3重量份樹脂：雙酚A甲酚酚醛淸漆環氧丙烯酸酯 ……75重量份單體：四丙烯酸二季戊四醇酯 ……2 0重量份聚合引發劑：IRUGACUA 369 ……5重量份 (Ciba Geigy 公司製） (上述負型感光性樹脂之固形成分=3 5重量％ ) g光性樹脂組成物C 一 2之組成(鹼不溶型：負型=1 : 7 ) •上述鹼不溶性樹脂 ……12·5重量份 •上述組成之負型感光性樹脂 (感光波長365nm) ……87 · 5重量份感光性樹脂組成物C - 3之組成（鹼不溶型：負型=1 : 9 ) •上述鹼不溶性樹脂 ……1 0重量份 •上述組成之負型感光性樹脂經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (感光波長365nm) ……90重量份其次，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過設置各種線寬條紋狀開口部之光罩殼，以4 0 〇m J /cm2之曝光量進行曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0 . 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )·Α4規格（210X297公釐）-34 - 581911 A7 _ B7_ 五、發明説明（32 ) 200 °C、30分鐘。（以上，第三工程）請先閱讀背面之注意事經由如此一連串之處理，則可形成條紋狀之凹凸圖型，各凹凸圖型之凸部厚度T:、凹部厚度T2、凸部高度Η 、及凹凸圖型所可能形成之最小線寬爲示於下述之表5。由此，確認藉由適當設定感光性樹脂之鹼不溶性樹脂及負型感光性樹脂之比率，則可同時控制凹凸圖型之凸部厚度、凹部厚度、凸部高度。表5 感光性樹脂組成物 TF型：負型凸部之厚度Ti (//m) 凹部之厚度丁2 (//m) 凸部之高度Η (Τι-Τ2) (//m) 最小線寬 (//m) C-1 1 ·· 5 5.62 1.41 4.21 14 C-2 1:7 5.57 0.99 4.58 10 C-3 1:9 5.35 0.32 5.03 10 實施例7 一經濟部中央標準局員工消費合作社印製準備與實施例1相同之300mmx400mm、厚度1 · 1mm之玻璃基板（康寧公司製7059玻璃）作爲彩色濾光鏡用之基板。將此基板依常法洗淨後’於基板單側之全面依據濺鍍法成膜出金屬鉻所構成之遮光層（厚度0 · lgm)。其次，對此遮光層，依據通常之光學平版印刷法進行感光性抗蝕物塗布、罩殻曝光、顯像、蝕刻、抗蝕層剝離，形成黑色矩陣。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) λ4規格（210X297公釐）-35 - 581911 A7 B7 五、發明説明（33) 其次，對於形成黑色矩陣之基板全面，將紅色圖型用之感光性著色材料（富士軟片OR I N (株）製彩色瑪賽克CR — 7 0 0 1 )以旋轉塗層法進行塗布、形成紅色感光性樹脂層，並且進行預烘烤（85 °C、5分鐘）。其後，使用指定著色圖型用之光罩殼，將紅色感光性樹脂層予以排列曝光，並以顯像液（富士軟片〇 R I N (株）製彩色瑪賽克用顯像液CD之稀釋液）進行顯像，其次，進行後烘烤（200 °C、30分鐘），對於黑色矩陣圖型之指定位置形成紅色圖型（厚度1 · 5em)。同樣地，使用綠色圖型用之感光性著色材料（富士軟片ORIN (株）製彩色瑪賽克CG - 7001) ，對於黑色矩陣圖型之指定位置形成綠色圖型（厚度1 . 5 //m )。再者，使用藍色圖型用之感光性著色材料（富士軟片 ORIN (株）製彩色瑪賽克CB — 7001)，對於黑色矩陣圖型之指定位置形成藍色圖型（厚度1 . 5 /zm) 〇經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，於形成著色層之基板上，使用實施例1所用之三種感光性樹脂組成物A - 1、A - 2、A - 3，依據旋轉塗層法進行塗布，形成各厚度5 /zm之感光性樹脂層。 (以上，第一工程）。對於所形成之各感光性樹脂層，與實施例1完全同樣處理進行曝光及預烘烤（第二工程）、顯像及後烘烤（第三工程）。經由如此一連串之處理，則可取得如圖2及圖3所示本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 36 - 581911 A7 B7 五、發明説明（34) 構造之彩色濾光鏡，且各彩色濾光鏡之透明保護層厚度（ T2)、透明柱狀凸部之突出高度（H)、柱狀凸部之厚度 (Ti)爲示於上述之表1。由此，確認藉由適當設定感光性樹脂層之正型感光性樹脂及負型感光性樹脂之比率，貝(J 可同時控制柱狀凸部之高度及透明保護層之厚度。實施例8 使用實施例1之感光性樹脂組成物A - 3，同實施例 7處理，於形成黑色矩陣及著色層之基板上，形成厚度5 //m之感光性樹脂層。（以上，第一工程）其次，同實施例2處理，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過在柱狀凸部形成位置設置指定形狀開口部之光罩殻，以上述表2所示之4種曝光量，進行各感光性樹脂層之曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0 · 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘）。（以上，第三工程）經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經由如上一連串之處理，則可取得如圖2及圖3所示構造之彩色濾光鏡，且各彩色濾光鏡之透明保護層厚度（ T2)、透明柱狀凸部之突出高度（H)、柱狀凸部之厚度 (Ti)爲示於上述之表2。由此，確認藉由適當設定曝光量，則可同時控制柱狀凸部之高度及透明保護層之厚度。實施例9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-37 - 581911 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（35 ) 首先，同實施例7處理，於基板上形成黑色矩陣。其次，同實施例1處理，對於黑色矩陣圖型之指定位置，形成紅色圖型、綠色圖型及藍色圖型。其次，於形成著色層之基板上，使用實施例3所用之三種感光性樹脂組成物B_l、B - 2、B - 3，依據旋轉塗層法進行塗布，形成各厚度5 //m之感光性樹脂層。 (以上，第一工程）。其次，同實施例3處理，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，透過在柱狀凸部形成位置設置指定形狀開口部之光罩殻，以3 0 Om J/cm2之曝光量進行曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0 · 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨後，於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘）。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可取得如圖2及圖3所示構造之彩色濾光鏡，且各彩色濾光鏡之透明保護層厚度（ T2)、透明柱狀凸部之突出高度（H)、柱狀凸部之厚度 (Ti)爲示於上述之表3。由此，確認藉由適當設定感光性樹脂層之正型感光性樹脂及負型感光性樹脂之比率’則可同時控制柱狀凸部之高度及透明保護層之厚度。實施例1 0 使用實施例3之感光性樹脂組成物B - 2，同實施例 7處理，於形成黑色矩陣及著色層之基板上，形成厚度5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）- 38- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 581911 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A 7 B7 五、發明説明（36) /zm之感光性樹脂層。（以上，第一工程）其次，以超高壓水銀燈作爲曝光光源之鄰近曝光機，除了曝光量以上述表4所示之四種曝光量以外，同實施例 1處理，進行感光性樹脂層之曝光。（以上，第二工程）其次，將基板於0 · 0 5%氫氧化鉀水溶液中浸漬 4 0秒鐘，進行顯像，洗淨，於精煉爐中進行烘烤（ 200 °C、30分鐘）。（以上，第三工程）經由如此一連串之處理，則可取得如圖2及圖3所示構造之彩色濾光鏡，且各彩色濾光鏡之透明保護層厚度（ T2)、透明柱狀凸部之突出高度（H)、柱狀凸部之厚度 (Ti)爲示於上述之表4。由此，確認藉由適當設定曝光量，則可同時控制柱狀凸部之高度及透明保護層之厚度。實施例1 1 經由對短邊300mm、長邊400mm、板厚 1 . 1mm之7059玻璃（康寧公司製）進行濺鑛，形成厚度0·2之氧化鉻/鉻之疊層構造膜。取得由玻璃面側觀察低反射之光學濃度爲4.0之物質。其次，將光學抗蝕物（東京應化製OF PR- 8 0 0 )塗布成0 · 5/zm之厚度，並且預烘烤，使用形成指定圖型之罩殼進行曝光，且於進行抗蝕物之顯像後，將氧化鉻/鉻膜予以蝕刻、經過剝離抗蝕物、線上乾燥工程，貝U 可形成黑色矩陣。其次，於溶劑及自由基聚合型光學聚合物（丙烯酸系本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-39 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. —訂 581911 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ____B7_五、發明説明（37 ) )中，令亞微細粒粒徑之蒽醌系紅色顏料（CI :色素紅 1 7 7及色素黃1 3 9之混合物）分散，並且於甲基丙烯酸苄酯-甲基丙烯酸共聚物、四丙烯酸季戊四醇酯、及4 一〔P — N，N —二（乙氧羰甲基）一 2 ，6 —二（三氯甲基）一 S —三畊中，加入作爲溶劑之3 —乙氧基丙酸乙酯，並將調整至固形成分2 0%、粘度6 · 5 cP (2 5 °C )之感光性材料組成物，於最後之熱處理終了後，塗布成1 · 6//m之厚度。其次.，將酞菁系綠色顏料（CI :色素綠7及色素黃 8 3之混合物）於紅色感光性材料所使用之相同組成物中分散之感光性材料，於最後之熱處理終了後，塗布成 1 · 8 μ m之厚度。其次，將酞菁系藍色顏料（CI :色素藍15 : 3及色素紫2 3之混合物）於紅色感光性材料所使用之同樣組成物中分散之感光性材料，於最後之熱處理終了後，塗布成1 · 8//m之厚度。其次，爲了形成透明保護層及柱狀凸部，於ί乍爲負型感光性樹脂組成物之雙酚Α甲酚酚醛淸漆環氧丙烯酸酯 75重量份四丙烯酸二季戊四醇酯 20重量份聚合引發劑（Ciba Geigy製IRUGACUA 369) 5重量份中，加入作爲溶劑之丙二醇單甲基醚醋酸酯，並將固形分散濃度調整至2 0重量％，並且使用側鏈具有環氧基之丙烯酸酯系樹脂（日本合成橡膠製OPUTOMER SS6699G )作 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-40 - 581911 A 7 B7 五、發明説明（38) 爲熱硬化性樹脂，將此些負型感光性樹脂及熱硬化性樹脂以5 : 1重量比混合之混合樹脂組成物，塗布成6 · 5 之厚度，並將基板面載置至熱板上且於1 5 0°C中預烘烤1 8 0秒鐘後，使用具有於黑色矩陣部形成柱狀體用圖型之光罩殻，以紫外線進行曝光。其次，以濃度爲0 . 0 5重量％之氫氧化鉀水溶液予以顯像後，於2 0 0 °C中後烘烤3 0分鐘，則一體成形出高度3 · 8//m之柱狀體及厚度1 · 7//m之保護膜。圖面之簡單說明圖1爲用以說明本發明凹凸圖型形成方法之一例之工程圖。圖2爲示出本發明液晶顯示裝置用彩色濾光鏡之一例之部分平面圖。圖3爲以圖2之A—A線之縱截面圖。圖4爲示出依據本發明方法所形成之凹凸圖型之凹部的紅外線吸收光譜圖。經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖5爲示出依據本發明方法所形成之凹凸圖型之凸部的紅外線吸收光譜圖。圖6爲示出正型感光性樹脂之紅外線吸收光譜圖。圖7爲示出負型感光性樹脂之紅外線吸收光譜圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）· 41 -

Claims

581911 4 ABCD 六、申請專利範圍一，第87 1 1 0482號專利申請案 ',二， :中文申請專利範圍修正本民國92年7月14日修正 1 · 一種使用於彩色濾光鏡的凸凹圖型之形成方法，其特徵爲包含於基板上形成含有具有不同感光波長之重量比爲 1 : 2〜1 : 1 0的正型感光性樹脂及負型感光性樹脂所組成之感光性樹脂層之第一工程、透過具備所欲開口圖型之光罩殼令該感光性樹脂層以含有該負型感光性樹脂感光波長之光進行曝光之第二工程、經由令該感光性樹脂層以鹼性顯像液予以顯像並且施以硬化處理，形成對應於該開口圖型曝光區域之凸部、及對應於未曝光區域之凹部所組成之凹凸圖型之第三工程。 2 . —種使用於彩色濾光鏡的凹凸圖型之形成方法，其特徵爲包含於具有指定圖型所形成之複數色著色層之液晶顯示裝置用彩色濾光鏡基板上形成含有重量比爲1 : 2〜1 : 1 0的熱硬化性樹脂及負型感光性樹脂所組成之感光性樹脂層之後，將該感光性樹脂層令以該熱硬化性樹脂之至少一部分爲呈硬化地進行加熱處理之第一工程、透過具備所欲開口圖型之光罩殼令該感光性樹脂層曝光之第二工程、經由令該感光性樹脂層顯像並且施以硬化處理，形成對應於該開口圖型曝光區域之凸部、及對應於未曝光區域之凹部所組成之凹凸圖型之第三工程。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X297公釐） ~\Z : ·裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 i0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 581911 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 . —種液晶顯示裝置用彩色濾光鏡，其特徵爲具備基板、於該基板上由指定圖型所形成之複數色所組成之著色層、至少令該著色層被覆蓋而形成之透明保護層、及於該基板上之複數指定部位所形成之比該透明保護層更爲突出之透明柱狀凸部，且該透明保護層及該柱狀凸部爲依據如申請專利範圍第1或2項之方法所形成。 4 . 一種液晶顯示裝置用彩色濾光鏡，其特徵爲具備基板、於該基板上由指定圖型所形成之複數色所組成之著色層、至少令該著色層被覆蓋而形成之透明保護層、及於該基板上之複數指定部位所形成之比該透明保護層更爲突出之透明柱狀凸部，且該透明保護層爲以鹼不溶性樹脂作爲主成分，且該柱狀凸部爲以經硬化之負型感光性樹脂作爲主成分。 5 ·如申請專利範圍第4項之彩色濾光鏡，其中鹼不溶性樹脂爲正型感光性樹脂。 6 · —種以如申請專利範圍第1項之方法所製得之液晶顯示裝置用彩色濾光鏡，其特徵爲，具備基板、於該基板上由指定圖型所形成之複數色所組成之著色層、至少令該著色層被覆蓋而形成之透明保護層、及於該基板上之複數指定部位所形成之比該透明保護層更爲突出之透明柱狀凸部，且該透明保護層爲以熱硬化性樹脂作爲主成分，且該柱狀凸部爲以經硬化之負型感光性樹脂作爲主成分。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -2 - .·裝------1T------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)