JP4244933B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

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Description

本発明は、機能基板の製造方法、カラーフィルタ基板、液晶表示装置、および電子機器に関する。
液晶表示装置において、液晶の厚さ(セルギャップともいう)の保持は、表示の高精細化に欠かせない要素である。このセルギャップは、液晶表示装置の表示面に亘って均一に保持される必要がある。セルギャップの精度は、TFT(Thin Film Transistor)をスイッチング素子として備える液晶表示装置の場合には±0.1μm程度であり、STN液晶表示装置の場合には±0.03μm程度である。
均一なセルギャップを得るために、液晶材料中にスペーサ用微小粒子を混入させて、基板間に散布させることが行われる。ところがこの方法では、スペーサ用微小粒子が画素部位に混入する場合がある。そして、画素部位にスペーサ用微小粒子が位置する場合には、液晶材料と、スペーサ用微小粒子と、の界面で散乱光が発生するので、表示画像に影響を及ぼす。また、液晶表示装置の表示面(表示画面)が大型化すると、表示面の全面に亘って均一にスペーサ用微小粒子を散布することが難しくなる。
そこで、フォトレジストを利用して、ブラックマトリクスに対応する部分上に選択的にフォトレジストを残し、残されたフォトレジストをスペーサとして利用する技術が提案されている。このような残されたフォトレジストからなるスペーサは、貝柱スペーサとも呼ばれる。なお、この技術でも、表示面が大型化すると、レジスト自体を均一に塗布することが困難になる。
また、下記の特許文献1は、透明基板上の複数の画素部位の間に対応する隙間部位に遮光層が位置しているとともに、複数の画素部位にそれぞれの透明着色層が位置しているカラーフィルタの製造方法において、次のような製造方法を開示している。特許文献1によれば、透明着色層上に光硬化型接着剤層を一面に形成して、形成された光硬化型接着剤層上にスペーサ用微小粒子を散布する。そして、遮光層に対応する部分の光硬化型接着剤層を選択的に露光したうえで光硬化型接着剤層を現像することで、画素部位の光硬化型接着剤層と、光硬化型接着剤層上のスペーサ用微小粒子と、を除去する。
特開平5−188211号公報
ところが、上記のいずれの製造方法でも、画素部位(画素領域)に位置する残渣を洗浄する必要が生じる。例えば、貝柱スペーサの場合には、パターニングによってフォトレジストが除去された後に有機物の残渣が残ってしまう。また、特許文献1の場合でも、光硬化型接着剤層およびスペーサ用微小粒子を現像によって画素部位から除去しても、そこに光硬化型接着剤層の残渣が残ってしまう。
そこで本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的の一つは、残渣を洗浄する工程を含まずに、ブラックマトリクスに対応する部分だけにスペーサを配置する方法を提供することである。
本発明によれば、ブラックマトリクスが設けられた液晶表示装置において用いられる機能基板の製造方法が、基体の表面を覆う撥液層を形成するステップAと、マスクパターンを介して前記ブラックマトリクスに対応した前記撥液層の第1部分に光を照射して、前記第1部分の撥液性を前記撥液層の他の部分の撥液性より低下させるステップBと、スペーサが分散された分散液で前記光照射後の前記撥液層を覆うステップCと、を包含する。
上記特徴によれば、ブラックマトリクスに対応する部分(上記第1部分)の撥液性が、他の部分の撥液性よりも低い。このため、スペーサが分散された分散液は、上記他の部分からブラックマトリクスに対応する部分に集まる。ここで、ブラックマトリクスとは、画素領域を規定する遮光パターンであり、上記他の部分は画素領域に対応する。つまり、画素領域にはスペーサも分散液の残渣も残らない。
本発明のある態様によれば、上記機能基板の製造方法が、前記基体の表面上に光触媒層を設けるステップDをさらに備えている。そして、前記ステップAは、前記光触媒層上に前記撥液層を形成するステップを含んでいる。そして、好ましくは、前記ステップDは、シリカ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、チタン酸ストロンチウム、酸化タングステン、酸化ビスマス、および酸化鉄から選択される1種以上の物質から構成される微粒子を前記表面に付与して前記光触媒層を形成するステップを含んでいる。
上記特徴によれば、撥液層のパターニングが容易になる。
さらに、前記ステップAは、前記撥液層として、前記基体の前記表面にフッ素を含有する高分子化合物の膜を形成するステップを含んでいてもよい。また、前記ステップAは、前記撥液層として、前記基体の前記表面にフッ素を含有する有機分子からなる有機膜を形成するステップを含んでいてもよい。さらに、前記ステップAは、フルオロカーボン系化合物を反応ガスに用いて、前記基体の前記表面にフッ素を導入して前記撥液層を形成するステップを含んでいてもよい。
また、前記ステップAは、前記撥液層として、前記基体の前記表面に炭素が4つ以上の炭化水素鎖を含有する有機分子からなる有機膜を形成するステップを含んでいてもよい。
そしてさらに、前記ステップAは、前記撥液層として、前記基体の前記表面に感光性分子膜を形成するステップを含んでいてもよい。
また本発明のカラーフィルタ基板は、上記機能基板の製造方法で製造されている。また、本発明の液晶表示装置は、上記カラーフィルタ基板を備えている。また、本発明の電子機器は、上記液晶表示装置を備えている。
以下の実施形態1から4では、機能基板としてのカラーフィルタ基板の製造方法を説明する。なお、実施形態1から4を通して同様な構成要素には同じ参照符号が付されており、同様な構成要素についての重複する説明は省略されている。
(実施形態1)
図1(a)に示す基体1aは、後述する処理を経て、カラーフィルタ基板100a(図2(d))となる構造を備えている。具体的には、基体1aは、偏光板3と、光透過性を有する基板4と、基板4上に位置するブラックマトリクス5と、バンクパターン6と、複数のカラーフィルタエレメント7と、オーバーコート層8と、オーバーコート層8上の対向電極11と、を備えている。
ブラックマトリクス5は、複数の光透過部5aを規定する遮光パターンである。また、ブラックマトリクス5は、液晶表示装置における複数の画素領域Gを規定している。具体的には、複数の光透過部5aのそれぞれが、後述する素子基板100bにおける複数の画素電極66(図3)のそれぞれに対応している。より具体的には、液晶表示装置が組み立てられた場合に、複数の光透過部5aのそれぞれが、対応する画素電極66に重なる。なお、本実施形態の複数の光透過部5aのそれぞれは、ブラックマトリクス5に設けられた開口部である。
バンクパターン6はブラックマトリクス5上に位置している。そして、バンクパターン6は、複数の開口部6aを規定する形状を有している。ここで、複数の開口部6aのそれぞれは、ブラックマトリクス5が規定する複数の光透過部5aのそれぞれに重なっている。
複数のカラーフィルタエレメント7のそれぞれは、バンクパターン6が規定する複数の開口部6aのそれぞれの内に位置している。本実施形態の複数のカラーフィルタエレメント7のそれぞれは、インクジェット法を用いて設けられている。インクジェット法を用いてカラーフィルタエレメント7を形成する場合には、カラーフィルタエレメント7の原料である液状のフィルタ材料をバンクパターン6が受け止めるので、バンクパターン6を設けることは有利である。しかしながら、複数のカラーフィルタエレメント7がインクジェット法以外の方法にしたがって形成される場合には、バンクパターン6はなくてもよい。
オーバーコート層8は、複数のカラーフィルタエレメント7と、バンクパターン6と、を覆っている。ここで、オーバーコート層8の厚さは、オーバーコート層8がカラーフィルタエレメント7とバンクパターン6とによって形成される段差を吸収するように、設定されている。このため、下地の段差にもかかわらず、オーバーコート層8の表面はほぼ平坦である。
対向電極11は、オーバーコート層8上に位置している。ここで、対向電極11は、ITOからなる電極であり、このため対向電極11は光透過性を有している。そして、対向電極11は、液晶表示装置における複数の画素電極66(図3)の全てに対応するべた電極(1枚の電極)である。つまり、液晶表示装置が組み立てられた場合には、対向電極11は、複数の画素電極66の全てに対向することになる。
偏光板3は、基板4のブラックマトリクス5とは反対側の面に位置する。本実施形態では、基体1aに偏光板3が含まれている。ただし、基体1aの構成要素として偏光板3は必須ではない。つまり、基体1aと偏光板3とが、分離した構成要素として構成されてもよい。
(製造方法)
図1および図2を参照しながら、カラーフィルタ基板の製造方法を説明する。まず、図1(a)に示すように、スパッタ蒸着法を用いてオーバーコート層8上に対向電極11を形成する。
次に、図1(b)に示すように、対向電極11を覆う撥液層13を設ける。具体的には、スピンコート法を用いて、対向電極11上に撥液性高分子を含む溶液を塗布して、撥液性高分子層、つまり有機膜、を形成する。ここで、このような撥液性高分子を含む溶液として、ダイキン工業株式会社から入手可能な「ユニダイン」が利用可能である。さて、塗布された撥液性高分子層を、120℃で2分間熱処理をして、約200nmの厚さの撥液層13を得る。以下では、説明の便宜上、撥液層13のうち、ブラックマトリクス5に対応する部分を「第1部分13a」と表記する。一方、撥液層13のうち、ブラックマトリクス5が規定する光透過部5aに対応する部分を「第2部分13b」と表記する。なお、撥液性高分子を含む溶液を塗布してなる有機膜は、本発明のフッ素を含有する高分子化合物の膜の一例である。また、撥液層13の厚さは、50nmから1000nmの範囲内であればよい。
このようなフッ素を含有する高分子化合物として、分子内にフッ素原子を含有するオリゴマーまたはポリマーを用いることができる。具体例を挙げるならば、フッ素を含有する高分子化合物には、ポリ4フッ化エチレン(PTFE)、エチレン−4フッ化エチレン共重合体、6フッ化プロピレン−4フッ化エチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン(PVdF)、ポリ(ペンタデカフルオロヘプチルエチルメタクリレート)(PPFMA)、ポリ(パーフルオロオクチルエチルアクリレート)等の長鎖パーフルオロアルキル構造を有するエチレン、エステル、アクリレート、メタクリレート、ビニル、ウレタン、シリコン、イミド、カーボネート系ポリマーがある。
次に、図1(c)および(d)に示すように、撥液層13をパターニングして、撥液パターン13pを形成する。具体的には、第1部分13aの撥液性の程度を第2部分13bの撥液性の程度よりも低下させることで、撥液パターン13pを形成する。
より具体的には、マスクパターン9を介して撥液層13に172nmまたは254nmの波長の光L1を照射する。ここで、マスクパターン9は、ブラックマトリクス5に対応する光透過部9aと、複数の画素領域Gに対応する遮光部9bと、を有している。そこで、このようなマスクパターン9の光透過部9aをブラックマトリクス5に重ねたうえで、光L1を照射する。この結果、撥液層13の第1部分13aは172nmまたは254nmの波長の光L1によって照射される。一方、撥液層13の第2部分13bはなんら光L1に照射されない。
図1(d)に示すように、第1部分13aに上記波長の光が照射されることによって、第1部分13aの撥液性の程度が第2部分13bの撥液性の程度より低くなる。具体的には、後述の分散液DS1(図2)と第1部分13aとがなす接触角と、分散液DS1と第2部分13bとがなす接触角と、の差が10°以上になる。
より具体的には、上記波長の光によって、第1部分13aにおける分子の分解、開裂、転移、酸化、第1部分13aにおける分子同士の結合、または第1部分13aにおける分子への水分子または酸素の結合が生じる。そして、第1部分13aにおけるこのような化学反応によって、分散液DS1(図2)に対して第1部分13aが親液性を呈するようになる。本実施形態では、上記波長の光によって、第1部分13aの水に対する接触角は80°以下になる。一方、第2部分13bの水に対する接触角は、90°以上を維持している。
次に、図2(a)に示すように、撥液パターン13p上に分散液DS1を付与または塗布する。ここで、分散液DS1は、分散媒として機能する水と、水に分散された4μm径のスペーサS1と、を含んでいる。このようなスペーサS1として積水化学工業株式会社製の熱硬化性表面処理のビーズが利用可能である。さて、分散液DS1が撥液パターン13pを覆うように付与されると、図2(b)に示すように、撥液パターン13pに応じて、分散液DS1の自己組織化、または分散液DS1のセルフアライメントが生じる。具体的には、分散液DS1の表面張力によって分散液DS1の殆ど全てが、相対的に撥液性の低い第1部分13aに集合する。この際、分散媒である水と共に、スペーサS1も第1部分13aに集合する。一方、撥液性が高い第2部分13bには、分散媒もスペーサS1も残らない。しかも、分散媒が水なので、画素領域Gまたは第2部分13bに、なんら残渣が残らない。
このように、画素領域Gに対応する部分(第2部分13b)に撥液性が残っているので、たとえ撥液パターン13p上に分散液DS1が一様に塗布されても、スペーサS1が残るべきでない部分(第2部分13b)からスペーサS1を取り除くことができる。以上のことから、画素領域GにスペーサS1が残留していないので、液晶表示装置が画像を表示する際に、スペーサS1による光の散乱が生じない。
その後、図2(c)に示すように、スペーサS1が設けられた基体1aを加熱して、分散媒(水)を蒸発させる。さらに、この加熱によって、スペーサS1の表面を構成する熱硬化性樹脂を硬化させる。そうすると、スペーサS1同士が第1部分13a上で互いに固着されるだけでなく、スペーサS1が第1部分13aの表面にも固着される。
そして、図2(d)に示すように、第1部分13a上のスペーサS1と、第2部分13bと、を覆う配向膜15を形成する。配向膜15の厚さは約30nmである。そして、得られた配向膜15にラビング処理をすると、基体1aはカラーフィルタ基板100aとなる。
その後、別途作製した素子基板100bとカラーフィルタ基板100aとを張り合わせる。この場合、カラーフィルタ基板100aの配向膜15と、素子基板100bの配向膜71と、が互いに向き合うように、カラーフィルタ基板100aと素子基板100bとを位置合せする。ここで、第1部分13aに対応する部分の配向膜15は、下地のスペーサS1の直径に相当する距離だけ、第2部分13bに対応する部分の配向膜15よりも張り出している。このため、カラーフィルタ基板100aと素子基板100bとを張り合わせると、ほぼスペーサS1の直径に相当するギャップが、カラーフィルタ基板100aと素子基板100bとの間に生まれる。そこで、このギャップに液晶材料を充填して液晶層100cを形成する。そうすると、図3に示す液晶表示装置100が得られる。
さて、図3に示すように、液晶表示装置100は、上記構成要素に加えて2つの紫外線フィルタUFを備えてもよい。この場合には、2つの紫外線フィルタUFの間に、カラーフィルタ基板100aと、素子基板100bと、液晶層100cと、が位置するように、これら2つの紫外線フィルタUFが設けられる。そうすれば、光源からの光に含まれる紫外光および外光に含まれる紫外光によって偏光板3、61が劣化すること、を防止できる。なお、外光に含まれる紫外光が無視できる強度であれば、外光が入射する側の紫外線フィルタUFが省略されてもよい。また、LED光源の場合のように、光源からの光に含まれる紫外光が無視できるのであれば、光源側の紫外線フィルタUFが省略されてもよい。
(素子基板)
図3に示す素子基板100bは、光透過性を有する基板62と、図示しない複数のソース信号線および複数のゲート信号線と、基板上に位置する複数のスイッチング素子74と、複数のスイッチング素子74による段差を吸収する層間絶縁膜75と、層間絶縁膜75上に位置する複数の画素電極66と、複数の画素電極66を覆う配向膜71と、を備えている。層間絶縁膜75には、図示しないスルーホールが設けられていて、スルーホールを介して複数のスイッチング素子74のそれぞれと、複数の画素電極66のそれぞれと、が電気的に接続されている。
図3に示すように、本実施形態の製造方法によれば、ギャップを維持するスペーサS1が、ブラックマトリクス5に対応する部分にのみに集合することが保証される。つまり、スペーサS1が画素領域Gには入り込まない。また、画素領域GにスペーサS1が入り込まないので、スペーサS1による光の散乱が起こらない。しかも、分散媒が水なので、画素領域Gに残渣が残る可能性がなく、そしてこのため、画素領域Gにおける残渣を洗浄する必要がない。したがって、これらのことから、本実施形態によれば、良好な表示を実現できる液晶表示装置100が得られる。
さらに、本実施形態では、ブラックマトリクス5がカラーフィルタ基板100aにおいて設けられている。しかしながら、このような構成に代えて、ブラックマトリクス5が、素子基板100bに設けられていてもよい。さらに、素子基板100bにおいて、複数のソース信号線自体および複数のゲート信号線自体がブラックマトリクス5として機能する場合には、本実施形態で説明するようなブラックマトリクス5は省略されてもよい。このような場合には、複数のソース信号線および複数のゲート信号線が、本発明のブラックマトリクスに対応する。
また、分散液DS1が素子基板100bに付与されてもよい。この場合には、層間絶縁膜75の表面および複数の画素電極66の表面のどちらもが、本発明の基体の表面に対応する。さらに、このような場合には、図3に示すような素子基板100bが、本発明の機能基板に対応する。このように、カラーフィルタ基板100aおよび素子基板100bのどちらも、本発明の機能基板に対応する。
(実施形態2)
実施形態2では、図4(a)に示すように、まず、オーバーコート層8上にスパッタ蒸着法を用いて対向電極21を形成する。そして、図4(b)に示すように、対向電極21を覆う配向膜25を形成する。具体的には、厚さ約30nmのポリイミド膜を対向電極21上に形成して、そして、得られたポリイミド膜にラビング処理を行うことで、配向膜25を得る。
本実施形態の基体1bは、偏光板3と、基板4と、カラーフィルタエレメント7と、ブラックマトリクス5と、バンクパターン6と、オーバーコート層8と、対向電極21と、配向膜25と、を含む。そして、配向膜25の表面が、本発明の基体の表面に対応する。
次に、図4(c)および(d)に示すように、配向膜25を覆う撥液層23を設ける。具体的には、配向膜25の表面に対して、フルオロカーボン系ガスを反応ガスに用いるプラズマ処理を行うことで、配向膜25の表面にフッ素原子を導入する。ここで、本実施形態の反応ガスはCF4である。また、本実施形態では、フッ素原子が導入された配向膜25の表面が撥液層23に対応する。そして、実施形態1と同様に、撥液層23のうち、ブラックマトリクス5に対応する部分を「第1部分23a」と表記する。また、撥液層23のうち、ブラックマトリクス5が規定する光透過部5aに対応する部分を「第2部分23b」と表記する。
ここで、配向膜25上に撥液層23を形成する方法は、プラズマ処理に代えて、配向膜25上にFAS(フルオロアルキルシラン)膜を形成する処理を含んでもよい。この場合には、配向膜25が設けられた基体を、密閉されたFAS雰囲気下に放置すればよい。そうすれば、化学気相吸着によって配向膜25上にFAS膜が形成される。そして、このように形成されたFAS膜が分散液DS2に対して撥液性を呈するので、この場合にはFAS膜が、本実施形態の撥液層23である。なお、FAS膜は、フッ素を含有する有機分子からなる有機膜の一例である。また、FAS膜の厚さは、100nm以下になるように制御されている。
フッ素を含有する有機分子としては、分子の末端官能基が、基体の表面を構成する原子に選択的に化学的吸着するシランカップリング剤(有機ケイ素化合物)または界面活性剤を使用することができる。FASとは、これらの化合物の総称を指すものである。
ここで、シランカップリング剤とは、R1SiX1 m2 (3-m)で表される化合物であり、R1は有機基を表し、X1およびX2はどちらも−OR2、−R2、または−Clを表し、R2は炭素数1〜4のアルキル基を表し、mは1から3の整数である。
シランカップリング剤は基体の表面における水酸基に対して化学的に吸着する。さらに、シランカップリング剤は、金属や絶縁体などの幅広い材料の酸化物表面に反応性を示すため、撥液剤として好適に用いることができる。そして、R1がパ−フルオロアルキル構造Cn2n+1、またはパーフルオロアルキルエーテル構造Cp2p+1O(Cp2pO)rを有している場合には、そのようなシランカップリング剤から形成された有機膜上の表面自由エネルギーは25mJ/m2よりも低くなり、極性を持った材料との親和性が小さくなる。したがって、R1がパ−フルオロアルキル構造Cn2n+1、またはパーフルオロアルキルエーテル構造Cp2p+1O(Cp2pO)rを有しているシランカップリング剤が好適に用いられる。
より具体的には、シランカップリング剤としてはCF3−CH2CH2−Si(OCH33、CF3(CF23−CH2CH2−Si(OCH33、CF3(CF25−CH2CH2−Si(OCH33、CF3(CF25−CH2CH2−Si(OC253、CF3(CF27−CH2CH2−Si(OCH33、CF3(CF211−CH2CH2−Si(OC253、CF3(CF23−CH2CH2−Si(CH3)(OCH32、CF3(CF27−CH2CH2−Si(CH3)(OCH32、CF3(CF28−CH2CH2−Si(CH3)(OC252、CF3(CF28−CH2CH2−Si(C25)(OC252、CF3O(CF2O)6−CH2CH2−Si(OC253、CF3O(C36O)4−CH2CH2−Si(OCH33、CF3O(C36O)2(CF2O)3−CH2CH2−Si(OCH33、CF3O(C36O)8−CH2CH2−Si(OCH33、CF3O(C49O)5−CH2CH2−Si(OCH33、CF3O(C49O)5−CH2CH2−Si(CH3)(OC252、CF3O(C36O)4−CH2CH2−Si(C25)(OCH32等が挙げられる。ただし、これらの構造に限定されるものではない。
また、シランカップリング剤以外には、フッ素を含有する有機分子として界面活性剤を利用することもできる。界面活性剤とはR11で表される化合物であり、Y1は親水性の極性基、−OH、−(CH2CH2O)nH、−COOH、−COOK、−COONa、−CONH2、−SO3H、−SO3Na、−OSO3H、−OSO3Na、−PO32、−PO3Na2、−PO32、−NO2、−NH2、−NH3Cl(アンモニウム塩)、−NH3Br(アンモニウム塩)、≡NHCl(ピリジニウム塩)、≡NHBr(ピリジニウム塩)等である。R1は疎水性の官能基で構成されているが、特にパ−フルオロアルキル構造Cn2n+1、またはパーフルオロアルキルエーテル構造Cp2p+1O(Cp2pO)rを有する場合には、そのような界面活性剤から形成される有機膜上の表面自由エネルギーは25mJ/m2よりも低くなり、極性を持った材料との親和性が小さくなる。したがって、R1がパ−フルオロアルキル構造Cn2n+1、またはパーフルオロアルキルエーテル構造Cp2p+1O(Cp2pO)rを有する界面活性剤が好適に用いられる。
界面活性剤として、より具体的には、CF3−CH2CH2−COONa、CF3(CF23−CH2CH2−COONa、CF3(CF23−CH2CH2−NH3Br、CF3(CF25−CH2CH2−NH3Br、CF3(CF27−CH2CH2−NH3Br、CF3(CF27−CH2CH2−OSO3Na、CF3(CF211−CH2CH2−NH3Br、CF3(CF28−CH2CH2−OSO3Na、CF3O(CF2O)6−CH2CH2−OSO3Na、CF3O(C36O)2(CF2O)3−CH2CH2−OSO3Na、CF3O(C36O)4−CH2CH2−OSO3Na、CF3O(C49O)5−CH2CH2−OSO3Na、CF3O(C36O)8−CH2CH2−OSO3Na等が挙げられる。ただし、これらの構造に限定されるものではない。
次に、図5(a)および(b)に示すように、撥液層23をパターニングして、撥液パターン23pを形成する。具体的には、第1部分23aの撥液性の程度を第2部分23bの撥液性の程度よりも低下させることで、撥液パターン23pを形成する。
より具体的には、マスクパターン9を介して撥液層23に172nmまたは254nmの波長の光L1を照射する。ここで、マスクパターン9は、ブラックマトリクス5に対応する光透過部9aと、複数の画素領域Gに対応する遮光部9bと、を有している。そこで、このようなマスクパターン9の光透過部9aをブラックマトリクス5に重ねたうえで、光L1を照射する。この結果、撥液層23の第1部分23aは172nmまたは254nmの波長の光L1によって照射される。一方、撥液層23の第2部分23bはなんら光L1に照射されない。
図5(b)に示すように、第1部分23aに上記波長の光が照射されることによって、第1部分23aの撥液性の程度が第2部分23bの撥液性の程度より低くなる。具体的には、後述の分散液DS2(図5(c))と第1部分23aとがなす接触角と、分散液DS2と第2部分23bとがなす接触角と、の差が10°以上になる。
より具体的には、上記波長の光によって、第1部分23aにおける分子の分解、開裂、転移、酸化、第1部分23aにおける分子同士の結合、または第1部分23aにおける分子への水分子または酸素の結合が生じる。そして、第1部分23aにおけるこのような化学反応によって、分散液DS2に対して第1部分23aが親液性を呈するようになる。本実施形態では、上記波長の光によって、第1部分23aの水に対する接触角は80°以下になる。一方、第2部分23bの水に対する接触角は、90°以上を維持する。
次に、図5(c)に示すように、撥液パターン23p上に分散液DS2を付与または塗布する。ここで、分散液DS2は、分散媒として機能する水と、水に分散された2μm径のスペーサS2と、を含んでいる。このようなスペーサS2としてナトコ株式会社製のナトコスペーサが利用可能である。さて、分散液DS2が撥液パターン23pを覆うように付与されると、図5(d)に示すように、撥液パターン23pに応じて、分散液DS2の自己組織化、または分散液DS2のセルフアライメントが生じる。具体的には、分散液DS2の表面張力によって分散液DS2の殆ど全てが、相対的に撥液性の低い第1部分23aに集合する。この際、分散媒である水と共に、スペーサS2も第1部分23aに集合する。一方、撥液性が高い第2部分23bには、分散媒もスペーサS2も残らない。しかも、分散媒が水なので、画素領域Gまたは第2部分23bに、なんら残渣が残らない。
このように、画素領域Gに対応する部分(第2部分23b)に撥液性が残っているので、撥液パターン23p上に分散液DS2が一様に塗布されても、スペーサS2が残るべきでない部分(第2部分23b)からスペーサS2を取り除くことができる。以上のことから、画素領域GにスペーサS2が残留していないので、液晶表示装置が画像を表示する際に、スペーサS2による光の散乱が生じない。
その後、図6に示すように、スペーサS2が設けられた基体1bを加熱して、分散媒(水)を蒸発させる。このことで、第1部分23aには、スペーサS2のみが残る。
以上の工程を経て、本実施形態のカラーフィルタ基板100dが形成される。その後、実施形態1で説明した素子基板100bと、上記カラーフィルタ基板100dとを張り合わせる。そして、素子基板100bとカラーフィルタ基板100dとの間に生じるギャップに液晶材料を充填して液晶層100cを形成すると、液晶表示装置が得られる。
(実施形態3)
実施形態3では、図7(a)に示すように、まず、オーバーコート層8上にスパッタ蒸着法を用いてITOからなる対向電極31を形成する。そして、図7(b)に示すように、対向電極31上に光触媒微粒子を塗布して、対向電極31を覆う光触媒層32を形成する。なお、光触媒微粒子として、石原産業株式会社から入手可能な「ST−K211」が利用できる。
ここで、本実施形態の光触媒層32は、酸化チタン(TiO2)とシリカ(SiO2)とを主成分とする微粒子を含んでいる。しかしながら、シリカ(SiO2)、酸化チタン(TiO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO2)、チタン酸ストロンチウム(SrTi3)、酸化タングステン(WO3)、酸化ビスマス(Bi23)、および酸化鉄(Fe23)から選択される1種以上の物質から構成される微粒子からなってもよい。このような微粒子を用いる場合には、該当する微粒子をオーバーコート層8上に塗布すればよい。
さて、図7(b)に示すように、本実施形態の基体1cは、偏光板3と、基板4と、カラーフィルタエレメント7と、ブラックマトリクス5と、バンクパターン6と、オーバーコート層8と、対向電極31と、光触媒層32と、を含む。そして、光触媒層32の表面が、本発明の基体の表面に対応する。
光触媒層32を形成した後、図7(c)および(d)に示すように、ODS(オクタデシルシラン)雰囲気下に基体1cを位置させて、光触媒層32を覆うODS膜を形成する。本実施形態では、光触媒層32上のODS膜を、撥液層33と表記する。そして、実施形態1と同様に、撥液層33のうち、ブラックマトリクス5に対応する部分を「第1部分33a」と表記する。また、撥液層33のうち、ブラックマトリクス5が規定する光透過部5aに対応する部分を「第2部分33b」と表記する。なお、ODS膜は、炭素18個からなる炭素鎖を有するシラン化合物であり、炭素4つ以上の炭化水素鎖を含有する有機分子からなる有機膜の一例である。
次に、図8(a)および(b)に示すように、撥液層33をパターニングして、撥液パターン33pを形成する。具体的には、第1部分33aの撥液性の程度を第2部分33bの撥液性の程度よりも低下させることで、撥液パターン33pを形成する。
より具体的には、マスクパターン9を介して撥液層33に254nmの波長の光L2を照射する。ここで、マスクパターン9は、ブラックマトリクス5に対応する光透過部9aと、複数の画素領域Gに対応する遮光部9bと、を有している。そこで、このようなマスクパターン9の光透過部9aをブラックマトリクス5に重ねたうえで、光L2を照射する。この結果、撥液層33の第1部分33aは254nmの波長の光L2によって照射される。一方、撥液層33の第2部分33bはなんら光L2に照射されない。
図8(b)に示すように、第1部分33aに上記波長の光が照射されることによって、第1部分33aの撥液性の程度が第2部分33bの撥液性の程度より低くなる。具体的には、後述の分散液DS3と第1部分33aとがなす接触角と、分散液DS3と第2部分33bとがなす接触角と、の差が10°以上になる。
より具体的には、上記波長の光によって、光触媒層32における光触媒が活性化し、そしてこのため、第1部分33aにおける分子の分解、開裂、転移、酸化、第1部分33aにおける分子同士の結合、または第1部分33aにおける分子への水分子や酸素分子の結合が生じる。そして、第1部分33aにおけるこのような化学反応によって、分散液DS3に対して第1部分33aが親液性を呈するようになる。本実施形態では、上記波長の光によって、第1部分33aの水に対する接触角は80°以下になる。一方、第2部分33bの水に対する接触角は、90°以上を維持する。
次に、図8(c)に示すように、撥液パターン33p上に分散液DS3を付与または塗布する。ここで、分散液DS3は、分散媒として機能する水と、水に分散された4μm径のスペーサS3と、を含んでいる。このようなスペーサS3として積水化学工業株式会社製の熱硬化性表面処理のビーズが利用可能である。さて、分散液DS3が撥液パターン33pを覆うように付与されると、図8(d)に示すように、撥液パターン33pに応じて、分散液DS3の自己組織化、または分散液DS3のセルフアライメントが生じる。具体的には、分散液DS3の表面張力によって分散液DS3の殆ど全てが、相対的に撥液性の低い第1部分33aに集合する。この際、分散媒である水と共に、スペーサS3も第1部分33aに集合する。一方、撥液性が高い第2部分33bには、分散媒もスペーサS3も残らない。しかも、分散媒が水なので、画素領域Gまたは第2部分33bに、なんら残渣が残らない。
このように、画素領域Gに対応する部分(第2部分33b)に撥液性が残っているので、撥液パターン33p上に分散液DS3が一様に塗布されても、スペーサS3が残るべきでない部分(第2部分33b)からスペーサS3を取り除くことができる。以上のことから、画素領域GにスペーサS3が残留していないので、液晶表示装置が画像を表示する際に、スペーサS3による光の散乱が生じない。
その後、図9(a)に示すように、スペーサS3が設けられた基体1cを加熱して、分散媒(水)を蒸発させる。さらに、この加熱によって、スペーサS3の表面を構成する熱硬化性樹脂を硬化させる。そうすると、スペーサS3同士が第1部分33a上で互いに固着されるだけでなく、スペーサS3が第1部分33aの表面にも固着される。
そして、図9(b)に示すように、第1部分33a上のスペーサS3と、第2部分33bとを覆う配向膜35を形成する。配向膜35の厚さは約30nmである。そして、得られた配向膜35にラビング処理をして、カラーフィルタ基板100eを得る。
以上の工程を経て、本実施形態のカラーフィルタ基板100eが形成される。その後、実施形態1で説明した素子基板100bと、上記カラーフィルタ基板100eと、を張り合わせる。そして、素子基板100bとカラーフィルタ基板100eとの間に生じるギャップに液晶材料を充填して液晶層100cを形成すると、図9(c)に示す液晶表示装置300が得られる。
さて、図9(c)に示すように、液晶表示装置300は、上記構成要素に加えて2つの紫外線フィルタUFを備えてもよい。この場合には、2つの紫外線フィルタUFの間に、カラーフィルタ基板100eと、素子基板100bと、液晶層100cと、が位置するように、これら2つの紫外線フィルタUFが設けられる。そうすれば、光源(不図示)からの光に含まれる紫外光も、外光に含まれる紫外光も、光触媒層32に入射しないので、配向膜35などの有機層において光反応が生じず、この結果、光触媒層32が、カラーフィルタ基板100eにおける有機層を劣化させることがない。なお、外光に含まれる紫外光が無視できる強度であれば、外光が入射する側の紫外線フィルタUFが省略されてもよい。また、LED光源の場合ように、光源からの光に含まれる紫外光が無視できるのであれば、光源側の紫外線フィルタUFが省略されてもよい。
(実施形態4)
実施形態4では、まず、図10(a)に示すように、オーバーコート層8に紫外光UVを照射して、オーバーコート層8の表面を洗浄する。ここで、本実施形態の基体1dは、偏光板3と、基板4と、カラーフィルタエレメント7と、ブラックマトリクス5と、バンクパターン6と、オーバーコート層8と、を含む。そして、オーバーコート層8の表面が、本発明の基体の表面に対応する。
次に、図10(b)に示すように、オーバーコート層8を覆う感光性分子膜(好適には単分子膜)を形成する。感光性分子膜の厚さは100nm以下であればよい。ここで、感光性分子膜の材料は、特開2003−321479号公報に開示されている光分解性シランカップリング剤、または特開平6−202343号公報に開示されている感光性シラン等である。本実施形態では、オーバーコート層8上の感光性分子膜を、撥液層43と表記する。そして、実施形態1と同様に、撥液層43のうち、ブラックマトリクス5に対応する部分を「第1部分43a」と表記する。また、撥液層43のうち、ブラックマトリクス5が規定する光透過部5aに対応する部分を「第2部分43b」と表記する。
次に、図10(c)および(d)に示すように、撥液層43をパターニングして、撥液パターン43pを形成する。具体的には、第1部分43aの撥液性の程度を第2部分43bの撥液性の程度よりも低下させることで、撥液パターン43pを形成する。
より具体的には、マスクパターン9を介して撥液層43に365nmまたは254nmの波長の光L3を照射する。ここで、マスクパターン9は、ブラックマトリクス5に対応する光透過部9aと、複数の画素領域Gに対応する遮光部9bと、を有している。そこで、このようなマスクパターン9の光透過部9aをブラックマトリクス5に重ねたうえで、光L3を照射する。この結果、撥液層43の第1部分43aは365nmまたは254nmの波長の光L3によって照射される。一方、撥液層43の第2部分43bはなんら光L3に照射されない。
さて、図10(d)に示すように、第1部分43aに上記波長の光が照射されることによって、第1部分43aの撥液性の程度が第2部分43bの撥液性の程度より低くなる。具体的には、後述の分散液DS4(図11)と第1部分43aとがなす接触角と、分散液DS4と第2部分43bとがなす接触角と、の差が10°以上になる。
より具体的には、上記波長の光によって、第1部分43aにおける分子の分解、開裂、転移、酸化、第1部分43aにおける分子同士の結合、または第1部分43aにおける分子への水分子または酸素分子の結合が生じる。そして、第1部分43aにおけるこのような化学反応によって、分散液DS4に対して第1部分43aが親液性を呈するようになる。本実施形態では、上記波長の光によって、第1部分43aの水に対する接触角は80°以下になる。一方、第2部分43bの水に対する接触角は、90°以上を維持する。
次に、図11(a)に示すように、撥液パターン43p上に分散液DS4を付与または塗布する。ここで、分散液DS4は、分散媒として機能する水と、水に分散された5μm径のスペーサS4と、を含んでいる。このようなスペーサS4としてナトコ株式会社製のナトコスペーサが利用可能である。さて、分散液DS4が撥液パターン43pを覆うように付与されると、図11(b)に示すように、撥液パターン43pに応じて、分散液DS4の自己組織化、または分散液DS4のセルフアライメントが生じる。具体的には、分散液DS4の表面張力によって分散液DS4の殆ど全てが、相対的に撥液性の低い第1部分43aに集合する。この際、分散媒である水と共に、スペーサS4も第1部分43aに集合する。一方、撥液性が高い第2部分43bには、分散媒もスペーサS4も残らない。しかも、分散媒が水なので、画素領域Gまたは第2部分43bに、なんら残渣が残らない。
このように、画素領域Gに対応する部分(第2部分43b)に撥液性が残っているので、たとえ撥液パターン43p上に分散液DS4が一様に塗布されても、スペーサS4が残るべきでない部分(第2部分43b)からスペーサS4を取り除くことができる。以上のことから、画素領域GにスペーサS4が残留していないので、液晶表示装置が画像を表示する際に、スペーサS4による光の散乱が生じない。
その後、図11(c)に示すように、スペーサS4が設けられた基体1dを加熱して、分散媒(水)を蒸発させる。このことで、第1部分43aには、スペーサS4のみが残る。
次に、図11(d)に示すように、第1部分43a上のスペーサS4と、第2部分43bと、を覆う対向電極41を設ける。具体的には、スペーサS4が設けられた基体に、スパッタ蒸着法でITOからなる対向電極41を設ける。次に、図12に示すように、対向電極41を覆う配向膜45を設ける。なお、配向膜45は、厚さ約30nmのポリイミド膜である。この後、得られた配向膜45にラビング処理を行って、カラーフィルタ基板100fを得る。
以上の工程を経て、本実施形態のカラーフィルタ基板100fが形成される。その後、実施形態1で説明した素子基板100bと、上記カラーフィルタ基板100fとを張り合わせる。そして、素子基板100bとカラーフィルタ基板100fとの間に生じるギャップに液晶材料を充填して液晶層100cを形成すると、液晶表示装置が得られる。
さて、上記実施形態1から4で説明した製造方法は、種々の電子機器の製造方法に適用され得る。例えば、本実施形態の製造方法は、図13に示すような、液晶表示装置520を備えた携帯電話機500の製造方法にも適用されるし、図14に示すような、液晶表示装置620を備えたパーソナルコンピュータ600の製造方法にも適用される。
(a)から(d)は実施形態1の製造方法を示す図である。 (a)から(d)は実施形態1の製造方法を示す図である。 本実施形態の液晶表示装置を示す模式図。 (a)から(d)は実施形態2の製造方法を示す図である。 (a)から(d)は実施形態2の製造方法を示す図である。 実施形態2のカラーフィルタ基板を示す模式図。 (a)から(d)は実施形態3の製造方法を示す図である。 (a)から(d)は実施形態3の製造方法を示す図である。 (a)から(c)は実施形態3の製造方法を示す図である。 (a)から(d)は実施形態4の製造方法を示す図である。 (a)から(d)は実施形態4の製造方法を示す図である。 実施形態4のカラーフィルタ基板を示す模式図。 実施形態1から4の液晶表示装置を備えた携帯電話を示す模式図。 実施形態1から4の液晶表示装置を備えたパーソナルコンピュータを示す模式図。
符号の説明
1a,1b,1c,1d…基体、L1,L2,L3…光、S1,S2,S3,S4…スペーサ、DS1,DS2,DS3,DS4…分散液、3…偏光板、4…基板、5…ブラックマトリクス、5b…遮光部、6…バンクパターン、6a…開口部、7…カラーフィルタエレメント、8…オーバーコート層、9…マスクパターン、9a…光透過部、9b…遮光部、11…対向電極、13…撥液層、13a…第1部分、13b…第2部分、13p…撥液パターン、15…配向膜、21…対向電極、23…撥液層、23a…第1部分、23b…第2部分、23p…撥液パターン、25…配向膜、31…対向電極、32…光触媒層、33…撥液層、33a…第1部分、33b…第2部分、33p…撥液パターン、35…配向膜、41…対向電極、43…撥液層、43a…第1部分、43b…第2部分、43p…撥液パターン、45…配向膜、62…基板、66…画素電極、71…配向膜、74…スイッチング素子、75…層間絶縁膜、100…液晶表示装置、100a…カラーフィルタ基板、100b…素子基板、100c…液晶層、100d…カラーフィルタ基板、100e…カラーフィルタ基板、500…携帯電話機、520…液晶表示装置、600…パーソナルコンピュータ、620…液晶表示装置。

Claims (3)

  1. 一対の基板の間にブラックマトリックスと、カラーフィルタと、スペーサと、液晶層とを有する液晶表示装置であって、
    前記カラーフィルタと前記スペーサとの間に光触媒層と撥液層とを有し、
    前記撥液層は、前記撥液層の他の部分より撥液性が低い第1部分を有し、
    前記スペーサは前記第1部分に対応する位置に選択的に配置されており、
    紫外線フィルタをさらに備え、
    前記第1部分は前記ブラックマトリックスに対応する位置に配置されていることを特徴とする液晶表示装置。
  2. 前記一対の基板は前記紫外線フィルタを各々有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記光触媒層は、シリカ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、チタン酸ストロンチウム、酸化タングステン、酸化ビスマス、および酸化鉄から選択される1種以上の物質から構成される微粒子を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示装置。
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