CN112083594A - 彩色滤光片基板及其制造方法、以及液晶显示装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 91
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 67
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 15
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 129
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 98
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 98
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
本发明是包括：多个间隔件，为层叠至少遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的层叠体；以及虚拟图案，为层叠至少上述遮光层以及第二感光性树脂层的层叠体，并且与上述彩色滤光片层不重叠；其中上述多个间隔件包含主间隔件、与上述主间隔件相比为高度低的副间隔件；上述副间隔件设为上述彩色滤光片层以及上述第一感光性树脂层的至少一方的厚度比上述主间隔件小；上述第一感光性树脂层与上述第二感光性树脂层以同种的材料构成，并且厚度不同的彩色滤光片基板。
Description
技术领域
本发明是关于彩色滤光片基板、液晶显示装置、以及、彩色滤光片基板的制造方法。
背景技术
液晶显示装置是为了显示而利用液晶组成物的显示装置，其代表性的显示方式是对于将液晶组成物封入一对基板间的液晶面板从背光照射光，对液晶组成物施加电压使液晶分子的取向变化，藉此控制透射液晶面板的光的量。如此的液晶显示装置由于具有所谓薄型、轻量以及低耗电的特长，利用于电视、智能电话、平板终端、车用导航等的电子设备。
液晶面板是包含液晶层被封入一对基板间的构成，一对基板间的距离(单元厚度)由间隔件决定。作为间隔件，不仅是用以控制单元厚度的主间隔件，为了确保液晶面板被加压时的强度，有设置有比主间隔件低的副间隔件的情形。例如，在专利文献1，公开了其特征在于包括彩色滤光片基板、为使用于在与此对向的基板之间封入液晶的液晶显示装置的彩色滤光片基板的，透明基板、形成在此透明基板上的，既定的图案的遮光层、二次元地配置在被此遮光层区划的区域的多颜色的像素着色层、在所述遮光层上三次元地层叠的，用以一定地保持所述基板间的间隔的单元间隔调整用间隔件，包括包含所述间隔件的高度不同的至少三个图案状构造体，所述至少三个图案状构造体由包含相同的材料，使用相同的曝光掩模包含一次曝光工序的过程形成的彩色滤光片基板。又，公开了所述至少三个图案状构造体包含单元间隔调整用间隔件、与此单元间隔调整用间隔件相比为高度低的补助间隔件、与此补助间隔件相比为高度低的液晶取向用突起、外涂层、或用以调整反射显示区域上的光路差的多间隔层的构成(参照权利要求3、4、6)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本公开特许公报“特开2009-9258号”
发明内容
本发明所要解决的技术问题
在以往的液晶显示装置的制造工序，在彩色滤光片基板与对向基板之间使液晶遍布的时候，有在彩色滤光片基板的表面中液晶无法以均匀的速度扩展，藉此在液晶层中产生真空气泡的情形。产生了真空气泡的位置由于无法控制液晶的取向，无法进行液晶显示。因此，为了防止液晶显示装置的显示不良，要求防止真空气泡的产生。
本发明是鉴于上述现状而成，将提供适于防止液晶层中的真空气泡的产生的彩色滤光片基板以及其制造方法、以及、包括所述彩色滤光片基板的液晶显示装置设为目的。
解决问题的方案
(1)本发明的第一实施方式是，包括：多个间隔件，为层叠至少遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的层叠体；以及虚拟图案(dummy pattern)，为层叠至少上述遮光层以及第二感光性树脂层的层叠体，并且与上述彩色滤光片层不重叠；其中上述多个间隔件包含主间隔件、与上述主间隔件相比为高度低的副间隔件；上述副间隔件设为上述彩色滤光片层以及上述第一感光性树脂层的至少一方的厚度比上述主间隔件小；上述第一感光性树脂层与上述第二感光性树脂层以同种的材料构成，并且厚度不同的彩色滤光片基板。
(2)又，本发明的某实施方式是，除了上述(1)的构成之外，上述虚拟图案的高度比上述副间隔件的高度低的彩色滤光片基板。
(3)又，本发明的某实施方式是，除了上述(1)或(2)的构成之外，上述副间隔件是上述彩色滤光片层的厚度比上述主间隔件小的彩色滤光片基板。
(4)又，本发明的某实施方式是，除了上述(1)或(2)的构成之外，上述副间隔件是上述第一感光性树脂层的厚度比上述主间隔件小的彩色滤光片基板。
(5)本发明的一实施方式是，包括：上述(1)、上述(2)、上述(3)或上述(4)的彩色滤光片基板；对向基板，与上述彩色滤光片基板对向；以及液晶层，配置在上述彩色滤光片基板与上述对向基板之间的液晶显示装置。
(6)本发明的一实施方式是，制造上述(1)、上述(2)、上述(3)或上述(4)的彩色滤光片基板，包含：光刻工序，在配置上述间隔件的间隔件配置区域、以及、配置上述虚拟图案的虚拟图案配置区域配置感光性树脂后，以对上述间隔件配置区域的曝光量与对上述虚拟图案配置区域的曝光量不同的方式将上述感光性树脂曝光，藉此形成上述第一感光性树脂层以及上述第二感光性树脂层的彩色滤光片基板的制造方法。
(7)又，本发明的某实施方式是，除了上述(6)的构成之外，在上述光刻工序中，介隔包括透射区域、半透射区域以及遮光区域的第一光掩模而将上述感光性树脂曝光；以在上述间隔件配置区域重叠配置上述透射区域，在上述虚拟图案配置区域重叠配置上述半透射区域的状态曝光的彩色滤光片基板的制造方法。
(8)又，本发明的某实施方式是，除了上述(6)的构成之外，上述间隔件配置区域包含配置上述主间隔件的主间隔件配置区域、配置上述副间隔件的副间隔件配置区域；在上述光刻工序中，介隔包括透射区域、第一半透射区域、第二半透射区域以及遮光区域的第二光掩模而将上述感光性树脂曝光；以在上述主间隔件配置区域重叠配置上述透射区域，在上述副间隔件配置区域重叠配置上述第一半透射区域，在上述虚拟图案配置区域重叠配置上述第二半透射区域的状态曝光的彩色滤光片基板的制造方法。
发明效果
根据本发明，能够提供适于防止液晶层中的真空气泡的产生的彩色滤光片基板以及其制造方法、以及、包括所述彩色滤光片基板的液晶显示装置。
附图说明
图1是表示实施例1的液晶显示装置的像素的构成的俯视示意图。
图2是沿着图1中的A-A’线的剖面示意图。
图3是将实施例1的彩色滤光片层16与第二感光性树脂层18进行对比的的剖面示意图。
图4是说明用以形成实施例1的第一感光性树脂层17以及第二感光性树脂层18的光刻工序的曝光状态的剖面示意图。
图5是说明用以形成实施例2的第一感光性树脂层17以及第二感光性树脂层18的光刻工序的曝光状态的剖面示意图。
具体实施方式
以下，针对本发明的实施方式的彩色滤光片基板、液晶显示装置、以及、彩色滤光片基板的制造方法进行说明。本发明不限定为在以下的实施方式记载的内容，在满足本发明的构成的范围内，可进行适当设计变更。
本发明的实施方式的彩色滤光片基板包括：多个间隔件，为层叠至少遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的层叠体；以及虚拟图案，为层叠至少上述遮光层以及第二感光性树脂层的层叠体，并且与上述彩色滤光片层不重叠；其中上述多个间隔件包含主间隔件、与上述主间隔件相比为高度低的副间隔件；上述副间隔件设为上述彩色滤光片层以及上述第一感光性树脂层的至少一方的厚度比上述主间隔件小；上述第一感光性树脂层与上述第二感光性树脂层以同种的材料构成，并且厚度不同。又，本实施方式的液晶显示装置包括：上述色滤光片基板；对向基板，与上述彩色滤光片基板对向；以及液晶层，配置在上述彩色滤光片基板与上述对向基板之间的液晶显示装置。
上述遮光层若为具有遮光功能的层则不特别限定，例如，使用形成为格子状的黑矩阵(BM)。上述彩色滤光片层，也可以使用在液晶显示装置的领域以往习知的，例如，使用包含红(R)、绿(G)、蓝(B)等的色料的感光性的透明树脂(彩色光阻)。较佳为在俯视彩色滤光片基板时排列液晶显示装置的像素的区域(显示区域)内，以配置在每上述彩色滤光片层构成像素的部分(像素区域)，并且上述遮光层划分像素区域的边界的方式配置。
上述彩色滤光片基板包括多个间隔件。间隔件是层叠至少遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的层叠体，配置在配置有遮光层的遮光区域内。间隔件也可以是，除了称为遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的厚膜之外，包括称为共通电极、取向膜的薄膜，例如，也可以在彩色滤光片层与第一感光性树脂层之间包括共通电极，也可以在第一感光性树脂层上包括取向膜。
上述多个间隔件包含主间隔件、与上述主间隔件相比为高度低的副间隔件。在本说明书中，“与主间隔件相比为高度低的副间隔件”指的是，主间隔件的顶部位于与副间隔件的顶部相比为对向基板侧。
上述主间隔件是为了控制彩色滤光片基板与对向基板之间的距离(单元间隔)而设置，在液晶面板未被加压的通常的状态中，上述主间隔件的顶部与对向基板抵接。
上述副间隔件是为了确保液晶面板被加压时的强度而设置，在液晶面板未被加压的通常的状态中，虽然与对向基板不抵接，但在液晶面板被加压的状态中，与对向基板抵接，防止液晶面板的过度的变形。由此，能够确保对于液晶面板的变形的强度。
上述副间隔件是将彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的至少一方的厚度设为比主间隔件小藉此形成。
上述彩色滤光片基板包括虚拟图案(dummy pattern)。设置有虚拟图案，藉此减低未配置有彩色滤光片层的区域的单元间隔与配置有彩色滤光片层的区域的单元间隔的高低差。其结果，由于抑制彩色滤光片基板的表面上的液晶的扩展的速度的差，能够防止真空气泡的产生。
上述虚拟图案是层叠至少上述遮光层以及第二感光性树脂层的层叠体，配置在配置有遮光层的遮光区域内。虚拟图案也可以是，除了称为遮光层以及第二感光性树脂层的厚膜之外，包括称为共通电极、取向膜的薄膜，例如，也可以在遮光层与第二感光性树脂层之间包括共通电极，也可以在第二感光性树脂层上包括取向膜。
用于上述间隔件的第一感光性树脂层与用于上述虚拟图案的第二感光性树脂层均是将感光性树脂硬化而获得的层。上述第一感光性树脂与第二感光性树脂虽然是以同种的材料构成，并且厚度不同，但如后述，在光刻中使间隔件配置区域的曝光量与虚拟图案配置区域的曝光量不同藉此能够以相同工序形成。
上述对向基板若为与彩色滤光片基板对向而配置，在彩色滤光片基板与对向基板之间保持液晶层则不特别限定，例如，也可以使用在液晶显示装置的领域中以往习知的有源矩阵基板。
针对上述实施方式的彩色滤光片基板的优选的方式，在以下进行说明。
上述虚拟图案的高度较佳为比上述副间隔件的高度低，更佳为设为与层叠遮光层以及彩色滤光片层的部分的高度同等以下。若虚拟图案的高度成为与副间隔件的高度同等以上，则有对单元厚度控制造成影响的疑虑。又，上述虚拟图案的配置面积较佳为，相对于与遮光层的彩色滤光片层不重叠的部分的面积，40％以上60％以下，更佳为45％以上55％以下的范围内。设为此范围内，藉此能够一边防止生产率的降低等的不利，一边充分地获得以均匀的速度扩展液晶的效果。
上述副间隔件也可以是上述彩色滤光片层的厚度比上述主间隔件小。在与彩色滤光片层的颜色相应使单元间隔不同的情况等，由于有在彩色滤光片基板内设置有厚度不同的多个彩色滤光片层的情形，也可以利用多个彩色滤光片层间的厚度的差分别制作主间隔件与副间隔件。
上述副间隔件也可以是上述第一感光性树脂层的厚度比上述主间隔件小。如后述，也可在光刻中使主间隔件配置区域的曝光量、副间隔件配置区域的曝光量、以及、虚拟图案配置区域的曝光量不同藉此以相同工序形成主间隔件、副间隔件以及虚拟图案。
本发明的实施方式的彩色滤光片基板的制造方法是制造上述彩色滤光片基板，包含：光刻工序，在配置上述间隔件的间隔件配置区域、以及、配置上述虚拟图案的虚拟图案配置区域配置感光性树脂后，以对上述间隔件配置区域的曝光量与对上述虚拟图案配置区域的曝光量不同的方式将上述感光性树脂曝光，藉此形成上述第一感光性树脂层以及上述第二感光性树脂层。光刻工序的实施方式不特别限定，例如，也可以使用下述的第一方法，也可以使用下述的第二方法。
(第一方法)
在上述光刻工序中，介隔包括透射区域、半透射区域以及遮光区域的第一光掩模将上述感光性树脂曝光。在第一方法中，半透射区域是光的透射率比透射区域低，比遮光区域高即可。在曝光时，在上述间隔件配置区域重叠配置上述透射区域，在上述虚拟图案配置区域重叠配置上述半透射区域，藉此能够同时地形成具有互相不同的厚度的第一感光性树脂层以及第二感光性树脂层。
(第二方法)
在上述光刻工序中，介隔包括透射区域、第一半透射区域、第二半透射区域以及遮光区域的第二光掩模将上述感光性树脂曝光。在第二方法中，第一半透射区域是光的透射率比透射区域低，比第二半透射区域高即可。第二半透射区域是光的透射率比第一半透射区域低，比遮光区域高即可。在曝光时，在上述主间隔件配置区域重叠配置上述透射区域，在上述副间隔件配置区域重叠配置上述第一半透射区域，在上述虚拟图案配置区域重叠配置上述第二半透射区域，藉此能够同时地形成具有不同的厚度的主间隔件用的第一感光性树脂层、副间隔件用的第一感光性树脂以及第二感光性树脂层。
在以下公开实施例，虽然使用图式说明本发明，但本发明不仅限定为这些实施例。
<实施例1>
图1是表示实施例1的液晶显示装置的像素的构成的俯视示意图，图2是沿着图1中的A-A’线的剖面示意图。图3是将实施例1的彩色滤光片层16与第二感光性树脂层18进行对比的的剖面示意图。图4是说明用以形成实施例1的第一感光性树脂层17以及第二感光性树脂层18的光刻工序的曝光状态的剖面示意图。使用图1～4，针对实施例1的液晶显示装置进行说明。
实施例1的液晶显示装置在彩色滤光片基板10与作为对向基板的TFT基板20之间保持液晶层30。彩色滤光片基板10，在玻璃基板14上，包含作为遮光层的黑矩阵(BM)15。BM15设置在与TFT基板20侧的TFT23、栅极信号线24、源极信号线25对向的区域，形成遮光区域。在被BM15区划的区域(像素区域)内，配置有彩色滤光片层16。彩色滤光片层16的颜色是每像素不同，设置有红(R)、绿(G)以及蓝(B)等的颜色的组合。在彩色滤光片基板10，也可以设置有用以对液晶层30施加电压的共通电极(ITO)19、用以控制液晶层30中的液晶的取向的取向膜(省略图示)等。
TFT基板20，在栅极信号线24与源极信号线25交叉的像素的角部，包含薄膜晶体管(TFT)23。在TFT23的漏极电极26，经由接触孔27电性连接像素电极28。
本实施例的彩色滤光片基板10包含在RGB彩色滤光片层16的厚度不同的“多间隔构造”。多间隔构造的彩色滤光片层16是每个颜色改变厚度藉此使每个颜色的有效的单元间隔变化，通常，为了将短波长侧的单元间隔设为小，以将彩色滤光片层16的厚度满足R≦G＜B的关系的方式调整。在本实施例中，蓝的彩色滤光片16B的厚度设为比红的彩色滤光片16R的厚度以及绿的彩色滤光片16G的厚度大。
在构成像素区域的边界的遮光区域，设置有突出到液晶层30侧的主间隔件11以及副间隔件12。主间隔件11是在配置在BM15上的蓝的彩色滤光片16B上层叠第一感光性树脂层17。副间隔件12设置有在配置在BM15上的红的彩色滤光片16R上层叠第一感光性树脂层17，以及，在配置在BM15上的绿的彩色滤光片16G上层叠第一感光性树脂层17的至少一方。另外，以不复杂化基板的制造工序的方式，在主间隔件11以及副间隔件12，在彩色滤光片层16与第一感光性树脂层17之间存在共通电极19，虽然在第一感光性树脂17上存在取向膜(省略图示)，但这些部件的厚度小，不实质性地具有调整主间隔件11以及副间隔件12的高度的功能。与蓝的彩色滤光片16B的厚度，红的彩色滤光片16R的厚度以及绿的彩色滤光片16G的厚度小的部分，副间隔件12与主间隔件11相比为高度低。以玻璃基板14的表面为基准时的主间隔件11的高度与副间隔件12的高度的差较佳为0.3～0.8μm。与此相对，多间隔构造的彩色滤光片层16的厚度的差虽然也根据液晶显示装置的显示模式、液晶层30的单元间隔，但被设定成0.3～0.5μm左右。因此，若利用彩色滤光片层16的厚度的差，能够获得主间隔件11与副间隔件12的高度的差，没有使液晶显示装置的显示性能降低的疑虑。
在构成像素区域的边界的遮光区域中，在未设置有主间隔件11以及副间隔件12的部分，配置有用以减低单元间隔的差的虚拟图案13。虚拟图案13是沿着格子状的遮光区域的图案，断续地配置。虚拟图案13是在BM15上层叠第二感光性树脂层18。另外，以不复杂化基板的制造工序的方式，在虚拟图案13，在BM15与第二感光性树脂层18之间存在共通电极19，虽然在第二感光性树脂层18上存在取向膜(省略图示)，但这些部件的厚度小，不实质性地具有调整虚拟图案13的高度的功能。第二感光性树脂层18是使与第一感光性树脂层17相同的感光性树脂硬化而形成，在与第一感光性树脂层17相比为厚度小的点不同。如图2以及图3所示，虚拟图案13的高度比副间隔件12的高度低，与BM15以及彩色滤光片层16的层叠部分的高度同等以下。在配置有彩色滤光片层16并且单元间隔狭窄的区域中，虽然液晶的扩展的速度快，但在未配置有彩色滤光片层16的区域配置有虚拟图案13藉此能够将液晶的扩展的速度的差设为小。
在光刻工序中，在配置主间隔件11以及副间隔件12的间隔件配置区域、以及、配置虚拟图案13的虚拟图案配置区域涂布感光性树脂后，将感光性树脂曝光。在本实施例中，如图4所示，使用包括透射区域51、半透射区域52以及遮光区域55的第一光掩模50A。半透射区域(半色调区域)52若为光的透射率比透射区域51低，并且比遮光区域55高的区域则不特别限定，例如，也可以使用将具有取出特定波长的带通滤波器的功能的ITO膜配置在透明基板上的部分。以在间隔件配置区域重叠配置透设区域51，在虚拟图案配置区域重叠配置半透射区域52的状态进行感光性树脂的曝光。由此，能够使对间隔件配置区域的曝光量与对虚拟图案配置区域的曝光量不同。在曝光后进行显影，藉此统一形成有厚度不同的第一感光性树脂层17以及第二感光性树脂层18。针对用以形成第二感光性树脂层18的半透射区域52的透射率，与期望的第二感光性树脂层18的厚度相应而设定即可。不仅是第一光掩模50A的透射率，也可以变更光源的光量。
使用以实施例1制作的彩色滤光片基板，实际上评价液晶的浸湿扩展的时候，与未设置有虚拟图案13的情况相比，液晶的扩展的速度的基板面内的偏差小，获得抑制真空气泡的发生的效果。
<实施例2>
图5是说明用以形成实施例2的第一感光性树脂层17以及第二感光性树脂层18的光刻工序的曝光状态的剖面示意图。虽然使用图5，针对实施例2的液晶显示装置进行说明，但针对与实施例1的液晶显示装置同样的构成省略说明。
实施例2的彩色滤光片基板10，如图5所示，包含在RGB彩色滤光片层16的厚度为一定的“平坦(flat)构造”。在平坦构造中，由于彩色滤光片层16的厚度满足R＝G＝B的关系，如实施例1般，无法活用基底的厚度分别制作主间隔件11以及副间隔件12。在实施例2中，将构成主间隔件11的第一感光性树脂层17A的厚度设为比构成副间隔件12的第一感光性树脂层17B的厚度小，藉此获得主间隔件11与副间隔件12的高度的差。
在实施例2中，如图5所示，使用包括透射区域51、第一半透射区域(半色调区域)53、第二半透射区域54以及遮光区域55的第二光掩模10B。第二半透射区域54也可以是，例如，在半色调区域适用了灰度的半色调、灰度倂用区域。灰度是以曝光机的分辨率以下的大小形成有部分地除去遮光膜的狭缝状的透光部，使光的强度减少的部分。以在主间隔件配置区域重叠配置透射区域51，在副间隔件配置区域重叠配置第一半透射区域53，在虚拟图案配置区域重叠配置第二半透射区域54的状态进行感光性树脂的曝光。由此，能够使对主间隔件配置区域的曝光量、对副间隔件配置区域的曝光量、对虚拟图案配置区域的曝光量分别不同。在曝光后进行显影，藉此统一形成有厚度分别不同的第一感光性树脂层17A、第一感光性树脂层17B以及第二感光性树脂层18。
使用以实施例2制作的彩色滤光片基板，实际上评价液晶的浸湿扩展的时候，也与实施例1同样，液晶的扩展的速度的基板面内的偏差小，获得抑制真空气泡的发生的效果。
附图标记说明
10...彩色滤光片基板；11…主间隔件；12…副间隔件；13…虚拟图案；14…玻璃基板；15...黑矩阵(BM)；16…彩色滤光片层；17、17A、17B…第一感光性树脂层；18…第二感光性树脂层；19…共通电极；20...TFT基板；23...薄膜晶体管(TFT)；24...栅极信号线；25...源极信号线；26...漏极电极；27...接触孔；28...像素电极；30...液晶层；50A...第一光掩模；50B...第二光掩模；51...透射区域；52...半透射区域；53...第一半透射区域；54...第二半透射区域；55...遮光区域。
Claims (8)
1.一种彩色滤光片基板，其特征在于，包括：
多个间隔件，为层叠至少遮光层、彩色滤光片层以及第一感光性树脂层的层叠体；以及
虚拟图案，为层叠至少所述遮光层以及第二感光性树脂层的层叠体，并且与所述彩色滤光片层不重叠；其中
所述多个间隔件包含主间隔件、与所述主间隔件相比为高度低的副间隔件；
所述副间隔件设为所述彩色滤光片层以及所述第一感光性树脂层的至少一方的厚度比所述主间隔件小；
所述第一感光性树脂层与所述第二感光性树脂层以同种的材料构成，并且厚度不同。
2.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板，其特征在于，
所述虚拟图案的高度比所述副间隔件的高度低。
3.根据权利要求1或2所述的彩色滤光片基板，其特征在于，
所述副间隔件是所述彩色滤光片层的厚度比所述主间隔件小。
4.根据权利要求1或2所述的彩色滤光片基板，其特征在于，
所述副间隔件是所述第一感光性树脂层的厚度比所述主间隔件小。
5.一种液晶显示装置，其特征在于，包括：
权利要求1至4中任一项所述的彩色滤光片基板；
对向基板，与所述彩色滤光片基板对向；以及
液晶层，配置在所述彩色滤光片基板与所述对向基板之间。
6.一种彩色滤光片基板的制造方法，制造权利要求1至4中任一项所述的彩色滤光片基板，其特征在于，包含：
光刻工序，在配置所述间隔件的间隔件配置区域、以及、配置所述虚拟图案的虚拟图案配置区域配置感光性树脂后，以对所述间隔件配置区域的曝光量与对所述虚拟图案配置区域的曝光量不同的方式将所述感光性树脂曝光，藉此形成所述第一感光性树脂层以及所述第二感光性树脂层。
7.根据权利要求6所述的彩色滤光片基板的制造方法，其特征在于，
在所述光刻工序中，介隔包括透射区域、半透射区域以及遮光区域的第一光掩模而将所述感光性树脂曝光；
以在所述间隔件配置区域重叠配置所述透射区域，在所述虚拟图案配置区域重叠配置所述半透射区域的状态曝光。
8.根据权利要求6所述的彩色滤光片基板的制造方法，其特征在于，
所述间隔件配置区域包含配置所述主间隔件的主间隔件配置区域、以及配置所述副间隔件的副间隔件配置区域；
在所述光刻工序中，介隔包括透射区域、第一半透射区域、第二半透射区域以及遮光区域的第二光掩模而将所述感光性树脂曝光；
以在所述主间隔件配置区域重叠而配置所述透射区域，在所述副间隔件配置区域重叠配置所述第一半透射区域，在所述虚拟图案配置区域重叠配置所述第二半透射区域的状态曝光。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201962860926P | 2019-06-13 | 2019-06-13 | |
| US62/860926 | 2019-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112083594A true CN112083594A (zh) | 2020-12-15 |
Family
ID=73736092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010531651.9A Pending CN112083594A (zh) | 2019-06-13 | 2020-06-11 | 彩色滤光片基板及其制造方法、以及液晶显示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112083594A (zh) |
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|
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