JP4703045B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4703045B2 JP4703045B2 JP2001208858A JP2001208858A JP4703045B2 JP 4703045 B2 JP4703045 B2 JP 4703045B2 JP 2001208858 A JP2001208858 A JP 2001208858A JP 2001208858 A JP2001208858 A JP 2001208858A JP 4703045 B2 JP4703045 B2 JP 4703045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photopolymerization initiator
- photosensitive resin
- extinction coefficient
- layer
- molar extinction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの製造方法に係り、特に液晶表示装置に使用されるカラーフィルタの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、フラットディスプレイとして、カラー液晶表示装置が注目されている。カラー液晶表示装置の一例として、ブラックマトリックス、複数の色(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色)からなる着色層、透明導電層(共通電極)、透明保護層および配向層を備えたカラーフィルタと、薄膜トランジスタ(TFT素子)、画素電極および配向層を備えたTFTアレイ基板とを所定の間隙をもたせて向かい合わせ、この間隙部に液晶材料を注入して液晶層としたものがある。
上記のカラーフィルタの製造方法として、感光性樹脂組成物を使用して赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色からなる着色層や透明保護層を形成する方法が従来から用いられている。使用する感光性樹脂組成物には、通常、ポリマー、モノマー、光重合開始剤等と、着色層形成の場合、所望の色材が含有されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、光重合開始剤のなかには、可視領域、特に紫外領域寄りの青色光に対して吸収を生じるものがあり、このような光吸収が生じると、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色からなる着色層のなかで、青色の光透過率が低下して、画像品質が悪くなるという問題がある。
また、感光性樹脂組成物の露光感度を高めるために、一般に露光装置が有する発光スペクトルに対応する波長における吸光係数の高い光重合開始剤が使用される。しかし、露光時に表面側の反応が進みすぎ、深さ方向への反応が不充分になると、現像したパターンが逆テーパ(断面形状において表面側の端辺が下側の端辺よりも長いもの)となる。着色層が逆テーパ構造であると、着色層上に形成された透明導電層が、その後の配向層のラビング処理時に剥離したりクラックが生じやすいという問題があった。この問題は、着色層上に透明保護層を設け、この透明保護層上に透明導電層を形成するような場合においても、透明保護層の断面形状に関して同様に存在する問題である。
【0004】
さらに、カラーフィルタの大面積化に伴う露光時間の増大防止、さらには、露光時間の短縮化の要請から、より吸光係数の高い光重合開始剤を使用して感光性樹脂組成物の感度を上げた場合、上記の逆テーパ構造による問題がさらに顕著になる。
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、表示品質に優れた液晶表示装置を可能とし、かつ、製造効率の高いカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、該基板上に所定のパターンで形成された複数色からなる着色層とを備える液晶表示装置用のカラーフィルタの製造方法であって、少なくともポリマー、モノマー、光重合開始剤、色材を含有するとともに該光重合開始剤の含有量が色材を除く固形分の5〜20重量%の範囲である感光性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層を形成し、その後、発光スペクトルとしてg線、h線、i線を有し、かつ、290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%以上のエネルギーをもつスペクトルを有する露光装置により所定のパターンで前記感光性樹脂層を露光し現像して、厚み1〜3μmの範囲の複数色の樹脂層を形成して前記着色層とする工程を備え、前記光重合開始剤は、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤を70重量%以上含有し、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300≧10000(I/mol・cm)なる関係が成立する第2の光重合開始剤を30重量%以下の範囲で含有するような構成とした。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されるカラーフィルタの一例を示す部分縦断面図である。図1において、カラーフィルタ1は、基板2と、この基板2上に形成されたブラックマトリックス3と着色層4を備え、これらの上に透明導電層5が形成されている。
【0008】
上記のカラーフィルタ1を構成する基板2としては、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。この中で特にコーニング社製1737ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであるため、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルタに適している。
【0009】
また、カラーフィルタ1を構成するブラックマトリックス3は、着色層4からなる表示画素部の間および着色層4の形成領域の外側に設けられている。このようなブラックマトリックス3は、スパッタリング法、真空蒸着法等により厚み1000〜2000Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子、金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの等、いずれであってもよい。
【0010】
着色層4は、赤色パターン4R、緑色パターン4Gおよび青色パターン4Bが所望のパターン形状で配列されており、各パターンは逆テーパ構造となっていないことが特徴である。図2は、テーパ構造を示す図であり、断面形状において表面側の端辺の長さL1が、下側の端辺の長さL2よりも長いもの(図2(A))が逆テーパ構造である。着色層4の各パターンは、L1がL2よりも短い順テーパ構造(図2(B))、あるいは、L1とL2の長さが等しい無テーパ構造(図2(C))であり、図1では順テーパ構造の着色層を示している。これにより、着色層4上の透明導電層5と着色層4との密着性が高まり、例えば、配向層のラビング処理等による透明導電層5のクラック発生や剥離が防止される。しかし、逆テーパー構造の場合、鋭角部位(図2(A)において矢印で示すされる部位)における透明導電層5と着色層4との密着性が他の部位よりも低くなる。このため、配向層のラビング処理等において、上記部位が原因となって透明導電層のクラック発生や剥離が生じる可能性が高い。尚、上記の順テーパ構造の場合、断面形状において表面側の端辺の長さL1と下側の端辺の長さL2の比(L1/L2)は1未満であり、特に0.80〜0.95の範囲であることが好ましい。
【0011】
本発明では、着色層4を、例えば、赤色パターン4Rが最も薄く、緑色パターン4G、青色パターン4Bの順に厚くすることにより、着色層4の各色ごとに最適な液晶層厚みを設定するようにしてもよい。
カラーフィルタ1を構成する透明導電層5は、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)等、および、その合金等を用いて、スパッタリング法、真空蒸着法、CVD法等の一般的な成膜方法により形成することができ、厚みは0.01〜1μm程度である。
【0012】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法を、上述のカラーフィルタ1を例として図3を参照しながら説明する。
まず、基板2上にブラックマトリックス3を形成し、次いで、ブラックマトリックス3を覆うように基板2上に赤色パターン用の色材を含有した感光性樹脂組成物を、ダイレクトグラビアコーティング法、グラビアリバースコーティング法、リバースロールコーティング法、スライドダイコーティング法、スリットダイコーティング法、コンマコーティング法等の公知の塗布手段により塗布して感光性樹脂層4′Rを形成する(図3(A))。
【0013】
上記のブラックマトリックス3の形成は、例えば、以下のように行うことができる。まず、スパッタリング法、真空蒸着法等により形成したクロム等の金属薄膜、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有した樹脂層等からなる遮光層を基板2上に形成し、この遮光層上に公知のポジ型あるいはネガ型の感光性レジストを用いて感光性レジスト層を形成する。次いで、感光性レジスト層をブラックマトリックス用のフォトマスクを介して露光、現像し、露出した遮光層をエッチングした後、残存する感光性レジスト層を除去することによって、ブラックマトリックス3を形成する。
【0014】
感光性樹脂層4′Rを形成するための上記の感光性樹脂組成物は、少なくともポリマー、モノマー、光重合開始剤と色材とを含有するものである。また、この感光性樹脂組成物は、光重合開始剤の含有量が色材を除く固形分の5〜20重量%、好ましくは10〜20重量%の範囲である。光重合開始剤の含有量が5重量%未満であると、感光性樹脂組成物の感度が不充分となり、また、20重量%を超えると、露光時に表面側の反応が進みすぎ、深さ方向での反応阻害が顕著となり、現像して得られるパターンが逆テーパ構造となりやすく好ましくない。感光性樹脂組成物中に含有される光重合開始剤は、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤を全光重合開始剤中に70重量%以上含有する。上記の条件を満足する光重合開始剤の含有量が70重量%未満であると、露光時に表面側の反応が進みすぎ、深さ方向での反応阻害が顕著となり、現像したパターンが逆テーパ構造となりやすく好ましくない。
【0015】
図4は、光重合開始剤のモル吸光係数を例示する図である。図4において、線Aで示される光重合開始剤は、上記のモル吸光係数ε300とモル吸光係数ε365との関係を満足するものであり、モル吸光係数のピークは紫外領域にあり、可視領域では短波長側に低いモル吸光係数をもっている。モル吸光係数ε300とモル吸光係数ε365との関係において、ε300>ε365が満足されない場合、可視領域の短波長側のモル吸光係数が高くなり、青色光が吸収されやすくなるので、着色層4のなかで青色の光透過率が低下して、画像品質が悪くなる。また、ε300<10000(I/mol・cm)が満足されない場合、後述する露光において、表面側の反応が進みすぎ、深さ方向への反応が不充分となり、現像して得られるパターンが逆テーパ構造となりやすく好ましくない。
尚、感光性樹脂組成物は、上記のモル吸光係数ε300とモル吸光係数ε365との関係を満足する光重合開始剤として、1種のみを含有してもよく、また、2種以上を含有してもよい。
【0016】
また、感光性樹脂組成物中に含有される光重合開始剤は、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300≧10000(I/mol・cm)なる関係が成立する第2の光重合開始剤を全光重合開始剤中に30重量%以下の範囲で含有してもよい。図4の線Bは、このような第2の光重合開始剤を示しており、モル吸光係数のピークは紫外領域にあり、可視領域では短波長側に低いモル吸光係数をもっている。そして、このような第2の光重合開始剤は、ε300<10000(I/mol・cm)が満足されないため、露光時の深さ方向への反応をやや鈍らせる作用をもつが、可視領域の短波長側のモル吸光係数が主成分の光重合開示剤よりも低いことにより、青色光の光透過率が向上する。しかし、全光重合開始剤に占める第2の光重合開始剤の含有量が30重量%を超えると、露光時に表面側の反応が進みすぎ、深さ方向での反応阻害が顕著となり、現像したパターンが逆テーパ構造となりやすく好ましくない。
尚、上記のモル吸光係数ε300とモル吸光係数ε365との関係を満足する第2の光重合開始剤として、1種のみを含有してもよく、また、2種以上を含有してもよい。
【0017】
次に、上記の感光性樹脂層4′Rを、所定のフォトマスクを介して露光し、現像することにより、基板2上の赤色パターン形成領域に赤色パターン4Rを形成する(図3(B))。本発明では、上記の露光において、g線、h線、i線の発光スペクトルを有し、かつ、290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%以上、好ましくは50%以上のエネルギーをもつスペクトルを有する露光装置を用いる。図5は、このような露光装置の発光スペクトルの一例を示す図である。本発明では、i線エネルギーの35%以上のエネルギーをもつスペクトルとは、290〜350nmの波長域のスペクトル強度の総和が、i線(360〜370nmの波長域のスペクトル強度の総和)の35%以上となることを意味している。
【0018】
この露光では、感光性樹脂層4′Rを構成する感光性樹脂組成物が上述の光重合開始剤を含有し、かつ、290〜350nmの波長域に所定のエネルギーをもつスペクトルを有する露光装置を使用するので、感光性樹脂層4′Rの深さ方向で反応が充分に行なわれ、現像後の赤色パターン4Rは、上述の順テーパ構造あるいは無テーパー構造となる。また、g線、h線、i線の発光スペクトルによる露光に加えて、290〜350nmの波長域のスペクトルによる露光が行なわれることにより、見かけ上の感度が向上し、露光時間を短縮することができる。
【0019】
次いで、上述の操作と同様にして、緑色パターン用の色材を含有した感光性樹脂組成物を塗布して緑色パターン4Gを形成し、さらに、青色パターン用の色材を含有した感光性樹脂組成物を塗布して青色パターン4Bを形成し、硬化処理を施すことによって、着色層4が形成される(図3(C))。尚、着色層4を構成する赤色パターン4R、緑色パターン4G、青色パターン4Bの形成順序には、特に制限はない。その後、着色層4上に酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)等、および、その合金等を用いて、スパッタリング法、真空蒸着法、CVD法等の一般的な成膜方法により透明導電層5を設けることにより、図1に示されるカラーフィルタ1が得られる。
【0020】
上述の製造方法の例では、着色層4上に透明導電層5が形成されるものであるが、ブラックマトリックス3および着色層4上に透明保護層を形成し、この透明保護層上に透明導電層5を形成するようなカラーフィルタの製造では、透明保護層が本発明の製造方法により形成される。これにより、透明保護層の端部は、逆テーパ構造となることがなく、したがって、透明導電層5との密着性が極めて良好なものとなる。また、透明保護層における青色光の吸収が少なく、表示品質の高い液晶表示装置が可能となる
【0021】
ここで、本発明に使用する感光性樹脂組成物の各構成成分について説明する。
感光性樹脂組成物を構成するポリマーとしては、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレンビニル共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ABS樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレンメタクリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニルアルコール、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等、および、重合可能なモノマーであるメチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、sec-ブチルアクリレート、sec-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、n−ペンチルアクリレート、n−ペンチルメタクリレート、n−ヘキシルアクリレート、n−ヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、n−オクチルアクリレート、n−オクチルメタクリレート、n−デシルアクリレート、n−デシルメタクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、N−ビニル−2−ピロリドン、グリシジル(メタ)アクリレートの1種以上と、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の2量体(例えば、東亜合成化学(株)製M−5600)、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、これらの酸無水物等の1種以上からなるポリマーまたはコポリマー等が挙げられる。
【0022】
また、上記のコポリマーにグリシジル基または水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させたポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
このようなポリマーの含有量は、感光性樹脂組成物の色材を除く固形分中において25〜45重量%の範囲で設定することができる。
【0023】
本発明の感光性樹脂組成物を構成するモノマーとしては、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシエチレングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソボニルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,5−ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,3−プロパンジオールアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリアクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、1,2,4−ブタントリオールトリアクリレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールジアクリレート、ジアリルフマレート、1,10−デカンジオールジメチルアクリレート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、および、上記のアクリレートをメタクリレートに変えたもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピロリドン等が挙げられる。本発明では、上記のモノマーを1種または2種以上の混合物として、あるいは、その他の化合物との混合物として使用することができる。
このようなモノマーは、感光性樹脂組成物の色材を除く固形分中に35〜60重量%程度含有されることが好ましい。
【0024】
また、感光性樹脂組成物には、エポキシ樹脂を含有してもよい。このエポキシ樹脂としては、三菱油化シェル(株)製エピコートシリーズ、ダイセル(株)製セロキサイドシリーズ、エポリードシリーズ、または、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビスフェノール−S型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸グリシジルエステル、ポリオールグリシジルエステル、脂肪族または脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂、グリシジル(メタ)アクリレートとラジカル重合可能なモノマーとの共重合エポキシ化合物等を挙げることができる。本発明では、上記のエポキシ樹脂を単独で、または2種以上の混合物として使用することができる。
このようなエポキシ樹脂は、感光性樹脂組成物の固形分中に5〜10重量%程度含有されることが好ましい。
【0025】
感光性樹脂組成物を構成する光重合開始剤としては、その70重量%以上が、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤である。このような光重合開始剤としては、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等が挙げられる。
【0026】
また、第2の光重合開始剤として、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300≧10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤を全光重合開始剤中に30重量%以下の範囲で含有してもよい。このような第2の光重合開始剤としては、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等が挙げられる。
【0027】
感光性樹脂組成物に用いる溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類、α−もしくはβ−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の酢酸エステル類等が挙げられる。
【0028】
【実施例】
次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
【0029】
[参考例]
まず、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365の関係が異なる下記の3種の光重合開始剤を準備した。尚、光重合開始剤A、B、Cの各モル吸光係数は、図4に線A、線B、線Cで示されるようなものであった。
光重合開始剤A:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製
イルガキュアー369
ε300=9000(I/mol・cm)
ε365=3000(I/mol・cm)
光重合開始剤B:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製
イルガキュアー907
ε300=20000(I/mol・cm)
ε365=200(I/mol・cm)
光重合開始剤C:みどり化学(株)製TAZ−107
ε300=3000(I/mol・cm)
ε365=15000(I/mol・cm)
【0030】
次いで、上記の各光重合開始剤を用いた下記組成の3種の感光性樹脂組成物1−A、1−B、1−Cを調製した。これらの感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、固形分中20重量%とした。
感光性樹脂組成物の組成
・ポリマー … 45重量部
(メタクリル酸メチル−スチレン−メタクリル酸共重合体)
・モノマー … 35重量部
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
・光重合開始剤(A、B、Cのいずれか) … 20重量部
・色材(分散剤+顔料) … 35重量部
・溶剤 … 540重量部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
【0031】
次に、カラーフィルタ用の基板として、300mm×400mm、厚さ0.7mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側全面に上記の各感光性樹脂組成物(1−A、1−B、1−C)をスピンコート法により塗布して感光性樹脂層を形成し、プレベーク(80℃、3分間)を行った。その後、100×300μmの長方形状の開口部を複数備えたフォトマスクを介して感光性樹脂層を露光した。露光装置は、(株)トプコン製TME−400PRDを使用した。この露光装置は、g線、h線、i線の発光スペクトルを有し、さらに、290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%に相当するエネルギーをもつスペクトルを有する。照射エネルギー量は50(mJ/cm2)(i線モニター)とした。
【0032】
次に、現像液(KOH0.05重量%水溶液)にて現像を行い、次いで、ポストベーク(230℃、30分間)を行って、長方形状の樹脂パターン(試料A〜C、厚み1.8μm)を形成した。
上記のように形成した長方形状の樹脂パターン(試料A〜C)の長辺に沿った断面形状、および、短辺に沿った断面形状を観察し、図2に示されるL1とL2を測定して、順テーパ構造、無テーパ構造、逆テーパー構造のいずれに相当するか判定し、下記の表1に示した。また、樹脂パターンにおける400nmの透過率をOLYMPUS製OSP−SP200により測定して、下記の表1に示した。
【0033】
【表1】
【0034】
表1に示されるように、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤Aを含有する感光性樹脂組成物1−Aを用いて形成した樹脂パターン(試料A)は、断面形状が順テーパ構造であり、また、400nmの透過率が高いものであることが確認された。
しかし、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立しない光重合開始剤Bを含有する感光性樹脂組成物1−Bを用いて形成した樹脂パターン(試料B)は、400nmの透過率が高いものの、断面形状が逆テーパ構造となっていた。
さらに、ε300>ε365の関係が成立しない光重合開始剤Cを含有する感光性樹脂組成物1−Cを用いて形成した樹脂パターン(試料C)は、断面形状が順テーパ構造であるものの、400nmの吸収が大きく、透過率が低いものであった。
【0035】
[実施例]
まず、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365の関係が異なる下記の2種の光重合開始剤を準備した。
光重合開始剤I:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製
イルガキュアー369
ε300=9000(I/mol・cm)
ε365=3000(I/mol・cm)
光重合開始剤II:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製
イルガキュアー907
ε300=20000(I/mol・cm)
ε365=200(I/mol・cm)
【0036】
次いで、上記の光重合開始剤Iと光重合開始剤IIを共に含有した下記組成の2種の感光性樹脂組成物2−1、2−2を調製した。これらの感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、固形分中20重量%とし、光重合開始剤に占める光重合開始剤Iの量を、感光性樹脂組成物2−1では80重量%とし、感光性樹脂組成物2−2では60重量%とした。
感光性樹脂組成物の組成
・ポリマー … 45重量部
(メタクリル酸メチル−スチレン−メタクリル酸共重合体)
・モノマー … 35重量部
(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
・光重合開始剤(I、IIの混合物) … 20重量部
・色材(分散剤+顔料) … 35重量部
・溶剤 … 540重量部
(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
【0037】
次に、カラーフィルタ用の基板として、300mm×400mm、厚さ0.7mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、基板の片側全面に上記の各感光性樹脂組成物(2−1,2−2)をスピンコート法により塗布して感光性樹脂層を形成し、プレベーク(80℃、3分間)を行った。その後、100×300μmの長方形状の開口部をもつフォトマスクを介して感光性樹脂層を露光した。使用した露光装置は、(株)トプコン製TME−400PRDとし、この露光装置は、g線、h線、i線の発光スペクトルを有し、さらに、290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%に相当するエネルギーをもつスペクトルを有するものであった。照射エネルギー量は50(mJ/cm2)(i線モニター)とした。
【0038】
次に、現像液(KOH0.05重量%水溶液)にて現像を行い、次いで、ポストベーク(230℃、30分間)を行って、長方形状の樹脂パターン(試料1、試料2、厚み1.8μm)を形成した。
上記のように形成した長方形状の樹脂パターン(試料1、2)について、実施例1と同様に、断面形状を判定し、400nmの透過率を測定して、下記の表2に示した。
【0039】
【表2】
【0040】
表2に示されるように、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤Iを全光重合開始剤中に70重量%以上の範囲で含有する感光性樹脂組成物2−1を用いて形成した樹脂パターン(試料1)は、断面形状が順テーパ構造であり、また、400nmの透過率が高いものであることが確認された。
しかし、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立しない光重合開始剤IIを全光重合開始剤中に30重量%以上含有する感光性樹脂組成物2−2を用いて形成した樹脂パターン(試料2)は、400nmの透過率が高いものの、断面形状が逆テーパ構造となっていた。
【0041】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば感光性樹脂組成物に含有される光重合開始剤の含有量と、その300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365とが最適な範囲で設定されているため、露光、現像され形成された樹脂層は、逆テーパ形状を呈することがなく、この樹脂層上に形成された透明導電層と樹脂層との密着性が高まり、例えば、配向層のラビング処理等による透明導電層のクラック発生や剥離が防止される。また、光重合開始剤の可視領域、特に青色光に対する吸収が少ないため、樹脂層における青色光の透過率が高く、表示品質の高い液晶表示装置が可能となる。さらに、露光装置が290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%以上のエネルギーをもつスペクトルを有し、g線、h線、i線の各スペクトルによる露光に加えて、上記スペクトルによる露光が確実に行なわれるので、感光性樹脂組成物の見かけ上の感度が向上し、露光時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されるカラーフィルタの一例を示す部分縦断面図である。
【図2】樹脂層のテーパ構造を説明するための図である。
【図3】本発明のカラーフィルタの製造方法を説明するための工程図である。
【図4】光重合開始剤のモル吸光係数を例示する図である。
【図5】露光装置の発光スペクトルの一例を示す図である。
【符号の説明】
1…カラーフィルタ
2…基板
3…ブラックマトリックス
4…着色層
5…透明導電層
4′R…感光性樹脂層
Claims (1)
- 基板と、該基板上に所定のパターンで形成された複数色からなる着色層とを備える液晶表示装置用のカラーフィルタの製造方法において、
少なくともポリマー、モノマー、光重合開始剤、色材を含有するとともに該光重合開始剤の含有量が色材を除く固形分の5〜20重量%の範囲である感光性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層を形成し、その後、発光スペクトルとしてg線、h線、i線を有し、かつ、290〜350nmの波長域にi線エネルギーの35%以上のエネルギーをもつスペクトルを有する露光装置により所定のパターンで前記感光性樹脂層を露光し現像して、厚み1〜3μmの範囲の複数色の樹脂層を形成して前記着色層とする工程を備え、前記光重合開始剤は、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300<10000(I/mol・cm)なる関係が成立する光重合開始剤を70重量%以上含有し、300nmにおけるモル吸光係数ε300と365nmにおけるモル吸光係数ε365との間にε300>ε365、ε300≧10000(I/mol・cm)なる関係が成立する第2の光重合開始剤を30重量%以下の範囲で含有するものであることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001208858A JP4703045B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001208858A JP4703045B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003021713A JP2003021713A (ja) | 2003-01-24 |
JP4703045B2 true JP4703045B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=19044602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001208858A Expired - Fee Related JP4703045B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4703045B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4556479B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2010-10-06 | Jsr株式会社 | 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよび液晶表示パネル |
WO2006109528A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Jsr Corporation | 液状硬化性組成物、硬化膜及び帯電防止用積層体 |
JP2006348195A (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-28 | Jsr Corp | 液状硬化性組成物及び硬化膜 |
JP5040455B2 (ja) * | 2007-06-07 | 2012-10-03 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板及び液晶表示装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06123966A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
JPH09106071A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物とそれを用いたカラーフィルタ |
JPH09113881A (ja) * | 1995-10-20 | 1997-05-02 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH09134006A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色レジスト組成物 |
WO1999000705A1 (fr) * | 1997-06-26 | 1999-01-07 | Dainippon Printing Co., Ltd. | Procedes de formation de motifs creux et en relief et utilisation de ces motifs dans la fabrication de filtres de couleur d'ecrans a cristaux liquides |
JPH11333370A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗膜硬化方法、機能性フィルムの製造方法、帯電防止性ハードコートフィルムの製造方法、それらの方法により得られたもの、偏光板及び表示装置 |
JP2000199815A (ja) * | 1999-01-05 | 2000-07-18 | Dainippon Printing Co Ltd | カラ―フィルタおよびその製造方法 |
JP2000330128A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-30 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カラー液晶表示装置製造方法 |
JP2001040022A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-13 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 光重合性樹脂組成物並びにカラーフィルター |
-
2001
- 2001-07-10 JP JP2001208858A patent/JP4703045B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06123966A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Nippon Kayaku Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
JPH09106071A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物とそれを用いたカラーフィルタ |
JPH09113881A (ja) * | 1995-10-20 | 1997-05-02 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH09134006A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色レジスト組成物 |
WO1999000705A1 (fr) * | 1997-06-26 | 1999-01-07 | Dainippon Printing Co., Ltd. | Procedes de formation de motifs creux et en relief et utilisation de ces motifs dans la fabrication de filtres de couleur d'ecrans a cristaux liquides |
JPH11333370A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗膜硬化方法、機能性フィルムの製造方法、帯電防止性ハードコートフィルムの製造方法、それらの方法により得られたもの、偏光板及び表示装置 |
JP2000199815A (ja) * | 1999-01-05 | 2000-07-18 | Dainippon Printing Co Ltd | カラ―フィルタおよびその製造方法 |
JP2000330128A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-30 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カラー液晶表示装置製造方法 |
JP2001040022A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-13 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 光重合性樹脂組成物並びにカラーフィルター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003021713A (ja) | 2003-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI417664B (zh) | 負型感光性樹脂組成物 | |
JP4437651B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター | |
KR101874121B1 (ko) | 화소 패턴의 형성 방법, 컬러 필터, 표시 소자 및 착색 감방사선성 조성물 | |
KR101313538B1 (ko) | 네가티브 감광성 수지 조성물 | |
KR20070079608A (ko) | 네가티브 감광성 수지 조성물, 그 경화물을 갖는액정표시장치, 그를 사용한 액정표시장치의 패턴형성방법 | |
JP2006259716A (ja) | 感光性着色組成物およびカラーフィルター | |
JP3230794B2 (ja) | 高抵抗黒色感放射線性樹脂組成物及び黒色硬化膜並びにその黒色画像形成方法 | |
JP5281357B2 (ja) | ブラックレジスト用感光性樹脂組成物及びカラーフィルター遮光膜 | |
JP2010054561A (ja) | 保護膜用感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルタ | |
KR102408921B1 (ko) | 포토레지스트 조성물 및 이를 이용한 블랙 매트릭스의 제조방법 | |
JP4703048B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP4703045B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
TWI640578B (zh) | 著色組成物、著色硬化膜及顯示元件 | |
KR20000062226A (ko) | 칼라 필터 및 칼라 필터와 감광성 착색 조성물의 제조 방법 | |
JP5162965B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP4137497B2 (ja) | カラーフィルタ用感光性組成物、及びそれを用いたカラーフィルタ | |
KR20030084568A (ko) | 다이코팅용 경화성 수지조성물, 컬러필터, 컬러필터의제조방법 및 액정표시 장치 | |
JP3693035B2 (ja) | 放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよび液晶表示素子 | |
JP5824855B2 (ja) | 白色発光ダイオード光源用のカラーフィルタおよびそれを用いた液晶表示装置 | |
JP2001255520A (ja) | カラー液晶表示素子 | |
JP2009145882A (ja) | 異種部材一括形成用ネガ型レジスト組成物 | |
JP4852848B2 (ja) | スペーサ形成方法とこれに用いられる露光用マスク | |
US10495919B2 (en) | Photosensitive resin composition and manufacturing method of the same, black matrix, pixel layer, protection film, color filter, and liquid crystal display apparatus | |
JP3099523B2 (ja) | カラーフィルター用感放射線性組成物 | |
JP4464522B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびディスプレー用カラーフィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110308 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4703045 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |