JP5162965B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
aは、撥インキ性を付与する材料を含有した感光性樹脂組成物100を塗工する塗布工程を示し、塗布した基板1は、パターン露光工程b(1)、(2)にて、半透過膜6と遮光膜7をもつマスク8により、半透過膜6により光の強度9が30〜70%に減衰された強度10となり現像工程cの処理を行う事により周辺領域部の隔壁高さに差をもたすことが可能となる。
すなわち、ブラックマトリクスパターンを構成し開口部を仕切る隔壁2の断面が、基板1に接合される下部2002と、下部2002よりも小さい幅を有し下部2002の幅方向の中央から突出する中央部2004とを含んで構成される。
また、隔壁2の下部2002の光学濃度(OD値)は1.0以上であることが好ましい。
まずバインダー樹脂としては、アルカル可溶性の熱硬化性樹脂が好ましく、具体的には、クレゾール-ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂等が挙げられる。これらのバインダー樹脂は単独で用いても、2種類以上混合してもよい。また低温での硬化性を促進するため、これらの樹脂に加えてメラミン誘導体と光酸発生剤を含有させることもできる。メラミン誘導体としては、メチロール基あるいはメトキシメチル基を有している化合物であればよいが、特に溶剤に対する溶解性が大きいものが好ましい。
<比較例1〜2>
(ブラックマトリクスの作成)
撥インキ性を付与する材料を含有した感光性樹脂組成物として、下記組成比で配合し、3本ローラで十分混練したものを用いた。透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用い、その上にこの感光性樹脂組成物を塗布し、90℃で2分プリベークして膜厚2.0μmの被膜を形成した。
[感光性樹脂組成物A]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
ラジカル重合性を有する化合物“トリメチロールプロパントリアクリレート”(大阪有機社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 2重量部
含フッ素化合物“モディパーF−600”(日本油脂社製、重量平均分子量35000)
0.5重量部
その後周辺領域部(下部2002)に半透過膜を有さない格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、1000mJ/cm2の電子線照射処理を行った後、10分間ホットプレートで加熱処理を行った。
OD値=−log(I/I0)
上記のブラックマトリクスの作成において、周辺領域部(下部2002)に半透過膜を有する格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、1000mJ/cm2の電子線照射処理を行った後、10分間ホットプレートで加熱処理を行った。
2…隔壁(ブラックマトリックス)
3…着色層
4…保護層
5…塗布基板1
6…半透過膜
7…遮光膜
8…フォトマスク1
9…光強度1
10…光強度2
11…光照射或いは放射線照射
12…隔壁部(周辺領域部)
13…インキヘッド
Claims (4)
- 撥インキ性を付与する材料を含有した黒色感光性樹脂を基板に塗布する塗布工程、乾燥後、露光、現像して撥インキ性を有するブラックマトリクスパターンを形成するパターン形成工程、該ブラックマトリクスパターンの開口部にインキジェット方式により所望の色のインキを吐出して着色層を形成する着色層形成工程を有するカラーフィルタの製造方法において、
前記ブラックマトリクスパターンを構成し前記開口部を仕切る隔壁の断面が、基板に接合される下部と、前記下部よりも小さい幅を有し前記下部の幅方向の中央から突出する中央部とを含んで構成され、
前記パターン形成工程において、露光に使用するマスクが、前記下部に相当する部分が前記中央部に相当する部分よりも透過率が低い、いわゆるハーフトーンマスクを使用してなる、
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 撥インキ性を付与する材料を含有した黒色感光性樹脂を基板に塗布する塗布工程、乾燥後、露光、現像して撥インキ性を有するブラックマトリクスパターンを形成するパターン形成工程、該ブラックマトリクスパターンの開口部にインキジェット方式により所望の色のインキを吐出して着色層を形成する着色層形成工程を有するカラーフィルタの製造方法において、
前記ブラックマトリクスパターンを構成し前記開口部を仕切る隔壁の断面が、基板に接合される下部と、前記下部よりも小さい幅を有し前記下部の幅方向の中央から突出する中央部とを含んで構成され、
前記着色層形成工程において前記隔壁の下部上にもインキが吐出され、
前記パターン形成工程において、露光に使用するマスクが、前記下部に相当する部分が前記中央部に相当する部分よりも透過率が低い、いわゆるハーフトーンマスクを使用してなる、
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記撥インキ性を付与する材料が、重量平均分子量が10,000〜100,000の含フッ素共重合体であることを特徴とする請求項1または2記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記着色層形成工程が、インキジェット方式により有機溶剤系の顔料分散型インキを吐出して着色層を形成することを特徴とする請求項1から3に何れか1項記載のカラーフィルタの製造方法。
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