JP4797417B2 - カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
前記隔壁の高さが1.5μm〜5.0μmであることを特徴とするカラーフィルタ。
<比較例1〜8>
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物A]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
ラジカル重合性を有する化合物“トリメチロールプロパントリアクリレート”(大阪有機社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 2重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、透明基板を表1の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表1に示す比較例1〜8)。
OD値=−log(I/I0)。
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物B]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 4重量部
ラジカル重合性を有する化合物“トリメチロールプロパントリアクリレート”(大阪有機社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 2重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、さらに現像処理を行った。続いて、透明基板を表1の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表1に示す実施例1〜3及び比較例9〜13)。
<実施例5〜7及び比較例14〜17及び参考例>
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物C]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
ラジカル重合性を有する化合物“トリメチロールプロパントリアクリレート”(大阪有機社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 2重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行った。その後、現像処理を行った。続いて、透明基板を表1の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表1に示す実施例5〜7及び比較例14〜17及び参考例)。
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物D]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
ペンタエリスリトールトリアクリレート“V#300”(大阪有機化学社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 1重量部
光酸発生剤(2−{2−(5−メチルフランー2−イル)エテニル}−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン) 3重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、透明基板を表2の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表2に示す実施例8〜11及び比較例18〜21)。
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物E](ポジ型)
バインダー樹脂 “SPR6812”(ローム・アンド・ハース電子材料社製)
100重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、透明基板を表2の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表2に示す比較例22〜29)。
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物F](ポジ型)
バインダー樹脂 “SPR6812”(ローム・アンド・ハース電子材料社製)
100重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 20重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行い、現像処理を行った。続いて、透明基板を表2の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱した(表2に示す実施例12〜14及び比較例30〜34)。
(ブラックマトリクスの作成)
比較例2で作製した透明基板上のブラックマトリクス(厚さ2μm)上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物X]
ポジ型バインダー樹脂 “SPR6812”(ローム・アンド・ハース電子材料社製)
100重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 20重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、比較例2で作製した透明基板上のブラックマトリクスをマスクの代わりとして、超高圧水銀灯により100mJ/cm2で裏露光を行い、現像処理を行った。続いて、透明基板を100℃で30分オーブン加熱した。
(ブラックマトリクスの作成)
比較例2で作製した透明基板上のブラックマトリクス(厚さ2μm)上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物X]
ポジ型バインダー樹脂 “SPR6812”(ローム・アンド・ハース電子材料社製)
100重量部含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、比較例2で作製した透明基板上のブラックマトリクスをマスクの代わりとして、超高圧水銀灯により100mJ/cm2で裏露光を行った。その後、現像処理を行った。続いて、透明基板を100℃で30分オーブン加熱した。
(ブラックマトリクスの作成)
実施例1で作製した透明基板上のブラックマトリクス(厚さ2μm)上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、2.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物X]
ポジ型バインダー樹脂 “SPR6812”(ローム・アンド・ハース電子材料社製)
100重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 20重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、実施例1で作製した透明基板上のブラックマトリクスをマスクの代わりとして、超高圧水銀灯により100mJ/cm2で裏露光を行った。その後、現像処理を行った。続いて、透明基板を100℃で30分オーブン加熱した。
光酸発生剤に、
2−{2−(5−メチルフランー2−イル)エテニル}−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン“TME−トリアジン”(三和ケミカル社製)を、
を用いた以外は実施例5と全く同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例17で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
クレゾールノボラック樹脂の代わりに、
ポリ(4−ビニルフェノール)“マルリンカーM S−1”(丸善石油化学社製)を用いた以外は実施例1と同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例19で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
クレゾールノボラック樹脂の代わりに、
アクリレート樹脂“サイクロマーP−ACA200M”(ダイセル化学社製)を用いた以外は実施例1と同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例21で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
クレゾールノボラック樹脂の代わりに、
ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂“R−140p”(三井化学社製)を用いた以外は実施例1と同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例23で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
メラミン樹脂に、
メチル化メラミン樹脂“スミマールM−100”(住友化学社製)を用いた以外は実施例1と同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例25で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
光酸発生剤に、
トリフェニルスルホニウム塩“UVI−6992”(ダウケミカル社製)1重量部を、
を用いた以外は実施例9と全く同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例27で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
光酸発生剤に、
1,2−ナフトキノン−(2)−ジアジド−5−スルホン酸エステル“4NT−250”(東洋合成社製)3重量部を用いた以外は、実施例9と全く同様に、ブラックマトリクスを作製した。
実施例29で作製したブラックマトリクス上に、実施例16で示されている方法と同様の手段でブラックマトリクスを積層し、多層構造のブラックマトリクスとした。
(ブラックマトリクスの作成)
透明基板として、無アルカリガラス(“♯1737”コーニング社製)を用いた。この透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、1.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物B]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
シクロヘキサノン 80重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
ペンタエリスリトールトリアクリレート“V#300”(大阪有機化学社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 1重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行った。その後、現像処理を行った。この際、ポストベーク温度100℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(実施例31)と、ポストベーク温度150℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(比較例36)を作製した。これらのブラックマトリクスの形状を表4に示す。
(実施例32〜36、比較例37〜41)
実施例31で作製したブラックマトリクス(膜厚1μm)に上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、0.5μm、1.0μm、2.0μm、3.0μm、4.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物B]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
シクロヘキサノン 80重量部
ペンタエリスリトールトリアクリレート“V#300”(大阪有機化学社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 1重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行った。その後、現像処理を行った。この際、ポストベーク温度100℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(実施例32〜36)と、ポストベーク温度150℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(比較例37〜41)を作製した。これらのブラックマトリクスの形状を表4に示す。
(比較例42)
透明基板上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、1.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物A]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
シクロヘキサノン 80重量部
ペンタエリスリトールトリアクリレート“V#300”(大阪有機化学社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 1重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行った。その後、現像処理を行った。この際、ポストベーク温度100℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(比較例42)を作製した。これらのブラックマトリクスの形状を表4に示す。
比較例42で作製したブラックマトリクス(膜厚1μm)に上に、下記の組成比を有する感光性樹脂組成物を、0.5μm、1.0μm、2.0μm、3.0μm、4.0μmの膜厚に塗布した。
[感光性樹脂組成物A]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
シクロヘキサン 80重量部
ペンタエリスリトールトリアクリレート“V#300”(大阪有機化学社製) 5重量部
光重合開始剤“イルガキュア369”(チバスペシャリティケミカル社製) 1重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板をプリベークし、その後格子状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により100mJ/cm2露光を行った。その後、透明基板の現像処理を行った。この際、ポストベーク温度100℃で、30分オーブン加熱したブラックマトリクス(比較例43〜47)を作製した。これらのブラックマトリクスの形状を表4に示す。
透明基板上に、下記の組成比を有する印刷用樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に反転印刷法を用いて塗布した。尚、反転印刷に際し、ブランケット版としては、表面にシリコン樹脂を被覆した金属ロールを使用した。また、剥離部材として、表面を隔壁パターンの反転パターンに応じた凸凹パターンに加工した平板状ガラスを使用した。インク組成物をブランケット版上にスリットコーターを用いて塗布し、ブランケット版上に一様なインク層を形成した。次に、剥離部材によって、ブランケット版のインク層のうち不要な部分を除去し、ブランケット版上に遮光層パターンの反転パターンを形成した。その後、反転パターンが形成されたブランケット版を、透明基板の一方の主面を当接して、この透明基板面上に反転パターンを転写し、透明基板上にブラックマトリクスを形成した。
[印刷用樹脂組成物A]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
シクロヘキサン 80重量部
“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板を、表6の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱しブラックマトリクスを作製した。(表6に示す比較例48〜55)。
(実施例37〜39及び比較例56〜60)
透明基板上に、下記の組成比を有する印刷用樹脂組成物を、3本ローラで十分混練した後、2.0μmの膜厚に反転印刷法を用いて塗布した。尚、反転印刷に際し、ブランケット版としては、表面にシリコン樹脂を被覆した金属ロールを使用した。また、剥離部材として、表面を隔壁パターンの反転パターンに応じた凸凹パターンに加工した平板状ガラスを使用した。インク組成物をブランケット版上にスリットコーターを用いて塗布し、ブランケット版上に一様なインク層を形成した。次に、剥離部材によって、ブランケット版のインク層のうち不要な部分を除去し、ブランケット版上に遮光層パターンの反転パターンを形成した。その後、反転パターンが形成されたブランケット版を、透明基板の一方の主面を当接して、この透明基板面上に反転パターンを転写し、透明基板上にブラックマトリクスを形成した。
[印刷用樹脂組成物B]
クレゾール−ノボラック樹脂“EP4050G”(旭有機材社製) 20重量部
メラミン樹脂“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
シクロヘキサン 80重量部
“MX−706”(三和ケミカル社製) 6重量部
カーボン顔料“MA−8”(三菱マテリアル社製) 23重量部
分散剤“ソルスパース#5000”(ゼネカ社製) 1.4重量部
含フッ素化合物“F179” (大日本インキ化学社製) 0.5重量部
その後、透明基板を、表6の1〜8に示す温度条件で、30分オーブン加熱しブラックマトリクスを作製した。(表6に示す実施例37〜39及び比較例56〜60)。
<本発明のブラックマトリクスを用いたカラーフィルタの作成>
(着色インクの調整)
[着色インク組成物]
メタクリル酸 20重量部
メチルメタクリレート 10重量部
ブチルメタクリレート 55重量部
ヒドロキシエチルメタクリレート 15重量部
乳酸ブチル 300重量部
上記組成からなる着色インク組成物を、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル0.75重量部を加え、70℃5時間の条件で反応させ、アクリル共重合体樹脂を得た。得られたアクリル共重合体樹脂が、全体に対して10重量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて希釈し、アクリル共重合体樹脂の希釈液を得た。
(カラーフィルタの作製)
実施例1〜39で作成したブラックマトリクスを有する透明基板に対して、赤色、緑色、及び青色着色インクを使用し、12pl、180dpiヘッドを搭載したインクジェット印刷装置により、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)各々の着色層を形成した。
また、実施例32〜36で作成したブラックマトリクスを有するカラーフィルタにおいてインクジェットによる着色インクの混色の有無を検証したところ、表5のような結果を得た。
2…隔壁部(ブラックマトリクス)
3…着色層
4…遮光部
5…非遮光部
Claims (7)
- 隔壁で区切られた画素内に、インクジェット方式により着色層を印刷して形成するカラーフィルタの製造方法において、
前記隔壁が少なくとも、125℃以下の低温の加熱によりメラミン誘導体と十分に架橋反応するバインダー樹脂、メラミン誘導体を含む樹脂組成物からなり、
前記隔壁を形成する際に、前記樹脂組成物を100〜125℃で熱硬化する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記隔壁の一部又は全部が黒色であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記隔壁を形成する樹脂組成物が、光酸発生剤を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記隔壁を形成する樹脂組成物が、ラジカル重合性を有する化合物、光重合開始剤を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記隔壁を形成する樹脂組成物が、含フッ素化合物を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記隔壁を形成する樹脂組成物が、含ケイ素化合物を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
- 隔壁で区切られた画素内に、インクジェット方式により着色層を印刷して形成するカラーフィルタにおいて、前記隔壁が少なくとも125℃以下の低温の加熱によりメラミン誘導体と十分に架橋反応するバインダー樹脂、メラミン誘導体を含む樹脂組成物からなり、前記隔壁が四角又は逆テーパー形状であり、前記隔壁の高さが1.5μm以上であることを特徴とするカラーフィルタ。
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