TW493012B - Apparatus for and method of manufacturing plastic container coated with carbon film - Google Patents

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TW493012B
TW493012B TW084107275A TW84107275A TW493012B TW 493012 B TW493012 B TW 493012B TW 084107275 A TW084107275 A TW 084107275A TW 84107275 A TW84107275 A TW 84107275A TW 493012 B TW493012 B TW 493012B
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TW
Taiwan
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plastic
carbon
space
electrode
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TW084107275A
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Kazufumi Nagashima
Hideaki Shima
Original Assignee
Kirin Brewery Kk
Samuko Internatl Kenkyusho Kk
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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 493012 A7 B7 五、發明説明(t ) [發明之領域] 本發明係關於用硬質碳膜塗膜内壁面之塑膠容器之製造 裝置及製法。 [發明之背景] 一般而言,塑膠容器,係由於其容易成形及輕量性,成 本低等名種特性,在食品領域及翳藥品領域等之各種領域 中泛地做為包裝容器使用。 然而,塑膠具有使氧及二氧化碳等低分子氣體透過之性 質,再者,低分子有機化合物吸附於內部之性質,塑膠容 器與玻璃等其他容器比較,其使用對象及使用形態I受到 各種限制。 在此所謂吸附者,係指低分子有機化合物滲透而擴散於 塑膠之組成中而吸收於塑膠中而言。 例如,將啤酒等碳酸飮料填充於塑膠容器內時,内容物 之飲料,由於透過塑膠而滲透於容器内部之f ,經過一段 時間引起$化而劣化,或碳酸氣體透過塑膠而 放出於器 外部,使碳酸飲料成為洩了氣之飲料。 又,具有橘汁等香料成分之飲料填充於塑膠飲料容器時 ,含在飲料內之低分子有機化合物之香料成份(例如橘汁 之檸檬烯等)為由塑膠所吸附,破壞飲料之香料成份組成 平衡,有飲料品質劣化之0形。 又,塑膠容器之組成中所含有之低分子化合物之溶出成 為問題。即,塑膠容器內填充要求純度(尤其是液體)時, 含在塑膠組成中之可塑劑及殘留單體,及其他之添加劑溶 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ 4 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
493012 A7 B7 五、發明説明(2 進 題 問 會 。 社 性為 能成 可收 之 回 度 之 純器 物容 容過 内用 及使 損 , 有在 ’ 現 中 , 物面 容方 内 一 於另 出 器被 容 , 充内 填間 再期 為之 做收 器回 容 至 膠後 塑用 將使 欲在 而器 然容 , 璃 化玻 環於 循 異 再但 之 , 源用 資 使 行而 吸後 物淨 合洗 化在 機, 有物 子合 份化 低機 種有 各子 等分 臭低 霉 之 有附 ’ 吸 時該 中 .0 境 内 環器 然容 自膠 於塑 置在 放附 使溶 ο 而地題 器慢問 容 慢之 充而上 填份生 再成衛 為異及 做為低 器成降 容 物質 膠 合 品 塑化之 將機物 , 有 容 此子内 因分發 , 低 引 內 之 , 膠附内 塑吸物 在所容 留 , 内 然時於 仍用出 及提 質K 性向 ο 之 定 之過膠 用透塑 使體使 器 氣 而 容子 , 還 分 質 退低性 可使之 為 之 剖 做器内 未容於 β 0 【 toe: 幾塑吸 為 之 物 器述合 容 hib 膠如機 塑制有 , 抑子 此為分 因 低 之完 等 , 膜下 薄態 鋁狀 或的 膠性 塑特 之 之 低 器 更 容 。 性膠題 附塑問 吸 特之 合 維附 層在吸 用法及 使 無 性 或均擋 ,, 胆 度而體 ib然氣 晶 ,決 結法解 高 方全 實 之 等 瓶 燒 及 杯 燒 1a覆 ?塗 碳CB 之DL 0 幵 石 , 剛琨 金出 c(術 DL技 有 成 , 形 來膜 阼 薄 近 之 膜 η r Γ a (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
裝-
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ο 度 知硬 周 高 所 , 為碳 具 質 器 晶 驗非 之 間 碳 以 為 膜 之 體 主 為 合 結 滑 光 常 非 而 率 射 折 高 有 具 優 性 緣 絕 驗 實 等 瓶 燒 及 杯 燒 於 用 利 術 技 〇 成 i 形 之 炭 ί 膜 質 C fie TL· ® D 之 該 度將 波 , 面 前 表先 ΰ 膜 塗 之 具 。 器 者 平 開 特 利 專 本 曰 如 載 記 所 報 公 號 平 開 特 Ηϋ ί 專 本 曰 該 裝 成 形 之 膜 C L D 之 載 記 報 公 號 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格( 210X 297公釐)5修| 493012 A7 B7 五、發明説明(3 ) 置為如下述。即,如圖16所示,具有碳源氣體之導入口 1A 與排氣孔1B之反應室1內配置陰極2,形成在該陰極2之凹 部2A内收容燒杯等之實驗器具3。有接地之陽極4插入於該 實驗器具3之内側之後,從排氣孔1B排氣而減壓反應室1內 之壓力。然後,從導入口 1A導入碳源氣體之後,從高頻電 源5施加高頻電源於陰極3,激勵碳源氣體所發生之等離子 體而在實驗器具3之表面形成DLC膜。 然而,上述之DLC膜之形成裝置,在反應室1內收容陰極 2及陽極4,反應室1之容積,與塗膜對象之實驗器具3之大 小比較起來非常之大,真空操作所費時間多而能源之浪費 多,再者,該DLC膜之形成裝置之形成速度為10〜1000埃/ 分鐘,有其生成速度慢而廉價地連續生產困難之問題存在。 該先前之DLC膜之形成裝置,係Μ燒杯及燒瓶等實驗器 具為對象,對此加上附加價值為目的,因此不考慮製造成 本及製造時間,但啤酒及橘汁等飲料用之填充容器,則需 要大量之廉價品,因此,不能使用該DLC膜形成裝置來製 造飲料用容器。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又,依上述之DLC膜之形成裝置,碳源氣體會進入陰極2 與塗膜對象之實驗器具3之間的間隙,無法限定在器具3之 內面而實行塗膜。 飲料用之填充容器不同於燒杯或燒瓶,在工廠內之製造 過程中或在販賣途徑中,填充容器互相碰撞或互相摩擦之 機會極多。因此,在飲料用之填充容器外面形成DLC膜時, |lUC膜係薄而硬,因此DLC膜本身會損傷而填充容器之商 品價值。因此,關於飲料用之填充容器,需要只在容器之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ~~ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 493012 A7 B7 五、發明説明(4 ) 內^面形成D L C膜。 [發明之接要] 本發明係為解決上述先前之問題點所成。即,本發明Θ 的,在於提供可製造在維持塑膠容器之特性的狀態下,消除 塑膠之氣體阻擋性及吸附之問題,使退遷使用為可能以便 擴大塑膠容器之使用形態之同時,可廉價地連鑛生產,而 且在使用處理中不會損傷之碳膜塗膜塑膠容器之製造裝置 及製造方法者。 為達成上述目的,本發明之碳膜塗膜塑膠容器之製造裝 置,具備有為收容容器而形成,設有與所收容容器之外形 呈略相似形之空間之空心狀外部電極,及當容器收容於3 部電極之空間內時,該容器之口部擋接之同時τ絕緣外部電 極之絕緣構件,及被接地而從收专^外部電極之空間内之容 器之口部插入容器內側之內部電極,及連通於外部電極之 空間內而排出空間內氣體之排氣裝置,及對收容於外部電 極之空間內容器之內側供給原料氣體之供給裝置,及連接 於外部電極之高頻電源為其特黴。 再者,本發明之碳膜所塗膜塑膠容器之製造裝置,其內 部電極形係形與收容於外部電極空間内之容器內壁面 形狀略相似形,該內部電極形成有原料氣體之噴出孔,從 供給裝置所供給之原料氣體,係從內部電極之噴出孔噴出 於收容在外部電極空間內之容器內之構成,該內部電極之 噴出孔為形成有一個或複數個,又,在絕緣構件形成有溝 部,收容於外部電極空間内容器之口部擋接於該絕緣構件 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ” (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
493012 A7 B7 五、發明説明(5 ) 時,形成在外部電極之內壁面與容器之外壁面之間的空間 ,及容器之內部為由溝部而連通為其特徵。 又,為達成上逑目的,本發明之碳膜所塗莫塑膠容器之 製造方法為,在外部電極形成收容容器而與所收容容器之 外形略相似形之空間,收容於該空間內之容器之口部擋接 之絕緣構件絕緣外部電極,從容器之口部插入内部電極於 收容於空間內之容器之內側的同時,內部電極予K接地, 排出外部電極空間内之氣體,對收容在外部電極空間内之 容器的內側供給原料氣體之後,對外部電極施加高頻為其 特黴。 上述碳膜塗膜塑膠容器之製造裝置及製法,係將塑膠容 器插入於外部電極內而收容。該時,內部電極插入於容器 内。然後,口部擋接於絕緣構件而容器定位於外部電極內 之後,封閉外部電極內。該時,外部電極之内壁面與容器 外壁面之間的間隔為保持為大致上均勻,且容器內壁面與 內部電極外壁面之間的間隔亦保持成為大致上均勻之狀態。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之後,用排氣裝置排出外部電極內之空氣,使外部電極 內成為真空狀態。該時,藉形成在絕緣構件之溝部,不僅 是排出容器之内部空間的空氣,而容器外壁面與外部電極 之內壁面之間的外部空間亦排氣而成為真空。 之後,從供給裝置供給原料氣體,從形成在内部電極之 噴出孔噴出於真空狀態之內部空間。 供給該原料氣體之後,從高頻電源對外部電極通電。由 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 众_ 493012 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(6 ) 於該通電,在外部電極與內部電極間發生等離子體。該時 ,内部電極係 接地,但外部電極為由絕緣構件所絕緣, 因此,外部電極發生負的自給偏壓,由此在沿著外部電 極之容器之內壁面均勻地形成碳膜。 根據上逑碳膜所塗膜塑膠容器之製造裝置及製法,由於 製造時間可縮短,且不浪費能源,故可連練生產廉價之碳 膜塗膜塑膠容器。再者,可只限定在容器之内壁面形成碳 膜。 將內部電極形成為內壁面形狀之相似形,藉Μ在容器之 內壁面可均勻地形成碳膜。 由於在内部電極形成有原料氣體之噴出孔,原料氣體為 從容器之中心部均勻地噴出,再者,該噴出孔為形成有一 個或複數個,因此可促進原料氣體之擴散。 再者,由於形成在絕緣構件之溝部,外部電極之内壁面 與容器外壁面之間的空間亦成為真空,可抑制等離子體發 生時之溫度上昇。又,Κ本發明所製造之容器為飲料用瓶 子時,取代先前玻璃容器,可當做可退遷容器使用之。 上述碳膜所塗咚雙膠容器之製法中,容器外壁面與外部電 極內壁面之間的外部空間剛排氣後,立即供給原料氣體於 外部電極之空間內所收容”拿器內側為宜。藉此,容器外部 空間內之壓力為比內部空間內之壓力稍遲開始下降,剛排 氣後外部空間內之壓力比內部空間之壓力稍高,因此,在 剛排氣後立即供給原料氣體,即噴出於内部空間之原料氣 體不會進入外部空間內。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 ϋ-ϋ Β^ιϋ mMmmmmtt immTmw il^i - m_i-· nm In·— ·ϋ·ϋ ϋ—^—
W1T 493012 85. A7 B7 五、發明説明(7 體化 氣性 機活 無面 M壁 應内 , 之 前 器 Μ 容 膜使 塗可 膜 , 碳此 行藉 進 ο 器宜 容為 膠理 塑處 對體 在子 , 離 者等 Hy 一丁 ^Hr /f 實 一 可 2 且 1 > 10間 為 時 定氣 設排 應 之 度化 ο 空空 性真真 接之短 密氣縮 之排可 膝内, 塑間此 與空如 膜極 。 塗電佳 膜 部 為 碳外ΓΓ 高,to 提者 5 可 再 - 量 匕匕 爾 之 需 Fr tK ί 省 節 裝 造 製 之 用 器 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 明 發 J 本 明造 說製 單 不 簡顯 之 為 式gl i圖 的 例 施 實 置 圖 圖 面 剖 之 示 顯 而 大 放 Μ 予 分 fy 0 之 例 施 質 該 為 2 圖 側 的 例 施 實 〇 之 圖't? 面容 平膠 之塑 板膜 熱塗 隔 所 之 膜 例 碳 施明 實 發 該本 示一不 顯顯 為 為 3 4 _11 評 的 等 厚 膜 之 膜 碳 質 硬 之 成 形 所 件 條 i - 之 碳5 質 圖 硬依 示 示 。 顯顯 圖 5 6 面圖圖 lir 表 件 條 成 形 之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '訂
表 果 結圖 fi--lp 顯 為 之 5 圓 依 一5 等 度 過 透、 氧 之 膜 碳 質 硬 之 成 形 所 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 紫 之 器 容 膠 塑 之 膜 碳 質 硬 有 成 杉 J/ 條 之 5 圖 ο 6 表TMr: ϊ為 8 評圖 視 可 外
II 譜 光 曼 拉 之 膜 碳 質 硬 ο 之 表成 _ 形 的所 譜件 光條 過 之 iil15 之 内 域 依 二卜 Μ δ 為 的 等 厚 膜 之 膜 。 碳 表質 件硬 條 之 成成 形 形 他所 其件 之 條 膜之 碳10 質圖 硬 依 示一不 顯顯 為為 Λυ ϋ oil 表圖圖 圖 木紙張您度適/0中阀同家標卒(CNS ) Λ4規格(210X297公雄)1 〇.條jp ▼ 493012 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(8 ) 評估結果表。 圖12為顯示依圖10之條件所形成之硬質碳膜之氧透過度 等的評估結果表。 圖13為顯示硬質碳膜之再其他形成條件表。 圖14為顯示依圖13之條件所形成之硬質碳膜之膜厚等的 評估結果表。 圖15為顯示依圖13之條件所形成之硬質碳膜之氧透過度 等的評估結果表。 圖16為顯示先前技術之剖面圖。 [發明之詳细描述] 玆根據圖式說明本發明之實施例如下。 圖1為顯示製造本發明碳膜所塗膜塑膠容器之製造裝置 。該製造裝置,在基台10上安裝陶磁製之絕緣板11,該絕 緣板11上安裝外部電極12。該外部電極12,兼作DLC膜形 成用之真空室,其內部形成有收容塗膜對象之容器20用的 空間。該外部電極12內之空間係形成為稍大於收容在該空 間之容器20的外形。該容器20為飲料用瓶子,但其他用途 之容器亦可。 外部電極1 2,係由本體部1 2 A,及裝卸自如地安裝在該 本體部12A上部而密封本體部12A內部之蓋體12B所構成。 藉整合器13而有高頻電源14連接於該外部電極12。又,在 外部電極12內之空間內有連通排氣管15,藉未圖示之真空 泵排出空間內之空氣。有內部電極16插入於外部電極12之 空間內,配置成為位於空間之中心部。該内部電極1 6係成為 (請先閲讀背面之注意事
> .ml atmmtF Βϋϋ Mmmtl eJmMmi ΜΜββ—. HJ— m·^ I —^裝-- -項再填寫本頁)
V1T
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 493012
經濟部中央標準局员工消费合作社印製 五、發明説明(9 ) 可從容器2 0之口部2 0 A插入於容器内且其外形與容器2 0之 内部形狀呈駱相似形。外部電極1 2與内部電極1 6之間隔,
I 在任何位置,在1 0〜1 5 0 in m之範圍内,保持成為均勻為宜。 有原料氣體供給管1 7連接於該內部電極1 6,藉未圖示之 氣體流量控制器,有原料氣體流入該原料氣體供給管1 7, 從形成在內部電極1 6之噴出孔1 6 A噴出之構成。 為了能使 所噴出之原料氣體均勻地擴散,在内部電極1 6之側部形成 複數個該噴岀孔1 6 如圖所示為宜,但若原科氣體立即可 均勻擴散時,在內§卩電極1 6之頂部形成一個亦可。内部電 極16為藉原料氣體供給管17而接地。 絕緣板11上,如在圖2及圖3所放大而顯示,形成有複數 個(在本實施例中即四個)之溝部Η A,從圖2可了解,收容 容器2 0於外部電極1 2内容器2 0之口部2 0 A擋接於絕緣板1 1 之狀態下,形成在外部電極12之內壁面與容器20外壁面之 間的容器之外部空間2 1 A與排氣管1 5為藉溝11 A而達通之構 成。 其次,將用上逑製造裝置形咸D L C膜之方法說明如下。 外部電極12內,卸下蓋體12B之狀態下,從本體部12A之 上部開口部插入塑膠製之容器20而收容之。該時,内部電 極1 6為從容器2 0之口部2 0 A插入於容器2 q內。然後,口部 2 0 A擋接於絕緣板1 1上,容器2 0在外部電極1 2内定位之後 ,關上篕體1 2 B,以密封外部電極1 2内部。該時,外部電 極1 2之内壁面與容器2 0外壁面之間的間隔係保持為略均勻 ,且容器2 0之内壁面與内部電極1 6之外壁面之間的間隔亦 本紙張尺度適;fl中國國家標率((’NS ) Λ4規格(210X 297公釐) _ ίο _ JtjL. χ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Μ 493012 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 Α7 Β7五、發明説明(1 Ο ) 保持成為略均匀。 之後,用真空泵排出外部電極1 2内之空氣,使外部電極 1 2内成為真空。該時,藉形成在絕緣板1 1之溝部1 1 A,不 僅是排出容器2 0之内部空間2 1 B,同時排出容器2 0之外壁 面與外部電極1 2内壁面之間的外部空間2 1 A之空氣而成真 空狀態。此乃若外部空間2 1 Λ非真空時,在後述要發生等 離子體之際,該外部空間2 1 /\内變為高溫,對容器2 0之塑 膠材質有不良影響之關ί系。 該時之真空度為以1 0 — 2〜1 0 — 5 t 〇 r r為宜。其原因為 ,10 - 1 Μ上之真空度時容器内之不純物過多,未滿 1 0 — 5之真空度時,排氣時需要過多時間及能量之關係。 之後,從未圖示之氣體流量控制器對原料氣體烘給管1 7 供給碳源之原料氣體,從形成在內部電極1 6之噴出孔1 6 Λ 噴出於真空狀態之内部空間2 1 Β内。該原料氣體Κ 1〜1 〇 〇 m 1 / m ί η之量烘給為宜,由於該原料氣體之供給而調整内部 空間2 1 Β内之壓力為0 . 5〜0 . 0 1 t 〇 r r之範圍内。 外部空間2 1 Λ内係藉溝部1 1 A而排氣,因此,外部空間2 1 A 内之壓力為較内部空間2 1 B内之壓力稍遲而降低。因此, 剛排氣之後外部空間2 1 Λ內之壓力稍為高於内部空間2 1 B。 因此,剛排氣之後立即供給原料氣體,即噴出於内部空間 2 1 Β内之原料氣體不會進入外部空間2 1 Λ内。 使用室溫下圼氣體或液體之脂肪族碳化氫類,芳香族碳化 氫類,含氧碳化氫類,含氮碳化氫類等做為原料氣體。尤其是 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、1Τ 木紙尕尺度適巾阀阀家標冬(CNS ) Λ4規格U10X297公f ) ! 3修正夏 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 493012 A7 B7 五、發明説明(u) 碳數量為6K上之苯,甲苯,〇 -二甲苯,m -二甲苯,p-二 甲苯,環己烷等為宜。該原料為可單獨使用,或M2種以 上之混合氣體而使用。再者,該等氣體用氩或氦等稀有氣 體稀釋使用亦可。 供給該原料氣體之後,從高頻電源14藉整合器13而對外 部電極12通電。由於該通電而在外部電極12與内部電極16 間發生等離子體。該時,内部電極16為接地,但外部電極 12為由絕緣板11所絕緣,因此,外部電極12發生負之自給 偏壓,因此在沿著外部電極12之容器20之內壁面均勻地形 成DLC膜。 即,容器20內壁面之DLC膜之形成,係由蚊良之等離子體 CVD法所實行。依該等雛子體CVD法,利用低溫等離子體, 而可將DLC膜形成時之溫度設定為較低溫度,因此,適合 於Μ塑膠等耐熱性不良物品做基盤時之處理,而且可以較 廉價而形成較廣大面積之DLC膜。 在此所諝低溫等離子體者,係指反應器內部維持成為低 壓時,等離子體中之電子溫度為高,而雛子及中性分子之 溫度為比該溫度顯著地低之狀態的等離子體,即,所諝非 平衡狀態之等雛子體而言。 在外部電極12與內部電極16之間發生等離子體時,被絕 緣之外部電極12之内壁面積存電子而該外部電極12為自給 偏壓成為負電位。由於該積存電子,在外部電極12側產生 500〜1000V左右之電位下降。該時,在等雛子體中有存在 成為碳源之碳酸氣體,因此*離子化#為正之碳源為撰擇 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 一 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
493012 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(1 2) 性碰撞於沿著外部電極1 2之容器2 0之内壁面,接著,接近 之碳為互相結合,在容器2 0之内壁面形成極細緻之D L C膜 所成之硬質碳膜。 再者,所謂由DLC膜所成之硬質碳膜係又稱為i碳膜或氫 化非晶質碳膜U - C : II)之硬質碳膜,M S P 3結合為主體之 非晶質碳膜。 DLC膜之膜厚係依高頻之輸出,容器20内之原料氣體之 壓力,供給氣體流量,等離子體發生時間,自給偏壓,及 原料之種類等而定,但為了求低分子有機化合物之吸著抑 制效果及氣體阻擋性之提昇效果,及與塑之密接性,耐久 性及透明性等之兩立,Κ0.05〜5/im為宜。 又,DLC膜之膜質亦同樣依高頻之輸出,容器20内之原 料氣體的壓力,供紿氣體流量,等離子體發生時間,自給 Μ壓,及原料之種類等而定。高頻輸出之增加,容器2 0内 原料氣體之壓力減少,供給氣體流量減少,自給偏壓之增 加,及原料之碳數降低等,均成為DLC膜之硬化,细緻度 之提高,壓縮應力之增大及脆弱增加之原因。因此,維持 與塑膠之密接性及膜之耐久性的同時要最大限度發揮低分 子有機化合物之吸著抑制效果及氣體阻擋效果,即設定成 為高頻輸出為5 0〜1 0 0 0 W ,容器2 0内之原料氣體壓力為0 · 2 0 〜0 , 0 1 t 〇 r r,供給氣之流量為1 0〜5 0 m 1 / m i η,自給偏壓為 -2 0 0〜-1 0 0 0 V,原料氣體之碳數量為1〜8個左右為佳ϋ 再著,為更提DLC高膜與塑膠之密接性,在形成DLC膜之 前,用氬或氧等無機氣體實行等離子處理,使容器2 0之内 本紙張尺度適用中國國家標準(CN、S ) Λ4規格(21〇X 297公釐)1 5修正頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493012 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 ____ 五、發明説明(13 ) 壁活性化亦可。 圖4為顯示Μ上述方法形成有DLC膜之塑膠容器之側剖面 。圖中,20A為塑膠材料,20B為形成在塑膠材料20A内壁 面之DLC膜。如此用DLC膜20B塗膜內壁面之塑膠容器’不 僅可顯著地減少氧及二氧化碳等低分子無機令體之透過度 ,而且可完全抑制具有氣味之各種低分子有機化合物K著 。又,因該DLC膜之形成而損 塑膠容器原有之透明性。 再者,形成容器20之塑膠材料’有如聚L烯樹脂’聚丙 烯樹脂,聚笨乙烯,環烯烴共聚體樹脂’聚對苯二甲酸乙 二醇酯樹脂,聚烯荼酯樹脂,乙烯—乙烯醇共聚體樹脂, 聚-4-甲基戊烷-1樹脂,聚甲基丙烯酸甲_樹酯,丙烯腈 樹脂,聚氯乙烯樹脂,聚偏二氯乙烯樹脂,丙烯腈苯乙烯 樹脂,丙烯腈‘ 丁二炔·笨乙烯樹脂,聚醯胺樹脂,聚醯 胺醯亞昀樹脂,聚縮醛樹脂,聚碳酸酯樹脂,聚丁烯對苯二 酸酯,離子鐽聚合樹脂,聚磺樹脂*及4-氟化乙烯樹脂等。 就上述製造裝置及製法所製造之碳膜所塗膜塑膠容器所 實行之(l)DLC膜之膜厚,(2)DLC膜之密度,(3)密接性1, (4)密接性2,(5)耐鹼性,(6)碳酸氣阻擋性,(7)氧氣阻 擋性,(8)低分子有機化合物(香料成份)之吸著性的各評 估結果為如下述。又,各評估方法係按下紡4爲之。 (1) DLC膜之膜厚 預先在容器之内面用萬能墨水等實行遮蔽,覆蓋DLC之 後,用二乙醚等徐去該遮蔽,用別克(VECC0)公司製造之 表面形狀測定器狄克達克3(DECTACK 3)測定膜厚。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 16 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 493012 A7 _B7__ 五、發明説明(14 ) (2 ) D L C膜之密度 測定成膜前膜後之重量差,從(1)所求得之膜厚算出 密度。 (3)密接性1 按照JlSk 5400之方格子帶子法之規定,以上述條件對容 器之側壁部實行之。 1 ·切痕之間隔:1mm 2·方格子之數量:100 (4 )密接性2 用新東科學公司製造之連續加重式刮傷試驗機黑頓22 (HEID0N 22),以下逑條件,對容器之側壁部實行。密接 之程度,係K加在膜開始剝離時之刮傷針的垂直加重表示 之0 1 .刮傷針之材料,形狀·•鑽石,5 0 a R。 2, 加重速度:100g/min 3. 台架速度:1000mm/min (5)耐鹸性 添加氫氧化納而成為10重之鹼性溶液填充於容器内 部,浸潰於75 °C之熱水中24小時,觀察DLC之形狀變化’ 有友剝離。結果,經24小時Μ上之浸瀆後無變化者為優, 經12小時Κ上之浸漬後無變化者為良而表示之。 (6 )碳酸氣阻擋性 使用摩登控制社(MODERN CONTROL)製造之巴馬杜籣型 (PERMATRANC-4),在25°C1:測定碳酸氣體之透過量。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐). _ 17 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-,1T 493012 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(15 ) (7 )氧氣阻擋性 使用摩登控制社(MODERN CONTROL)製造之歐克斯-杜籣 杜英(八m /L· :),在40 1C下測定氧之透過量。 (8)低分子有機化合物(香料成份)ϋϋ 使用具有氣味之低分子有機化合物(香料成份)做為環境 材料之一種,Κ松并等之方法(J. Ajic.Food.Chem. 1992, 40, 1902-1905)為參考而實行實驗。 順序為如下述。 1. 備製分別添加各種香料成份(η-辛烷,η-辛醛,η-辛 醇,己”酸乙基,d -檸檬烯)各1 0 0 ρ P m之0 · 3糖醚溶液,做 為試驗樣品香料溶液。 2. 將試驗樣品香料溶液700ml填充於容器內,加蓋之後 ,在20 °C下保存一個月。 3 . —個月後,廢棄試驗樣品香料溶液,用6 0 °C之蒸餾水 洗淨容器內部之後乾燥。 4. 填充二乙醚,抽出吸著於容器之香料成份。 5. 從容器內取出二乙醚,添加硫酸鈉酐而使其脫水之。 6. 戊烷基苯為內標準,用氣相色譜儀實行定量分析。结 果,在容器中有lppm之香料成份存在之水溶液時表 示吸著於容器之香料成份。因此,單位為wg/F>pm/|)〇ttle。 [試驗 1] 將容量700ml之聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂製容器(三井 PET樹脂公司製PET樹脂,型式L125)做為塑膠容器而收容 於圖1之外部電極12內而固定之。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -,ιτ 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 493012 A7 B7 五、發明説明(1 6) 其次,開動真空泵,外部電極1 2内成為1 0 _ 4 t 〇 r r K下 之真空(背壓)之後,K 3 0 m 1 . m i ri之流速導入氬於塑膠容器 内,使壓力成為0 . 0 4 t 〇 r r做為前處理,通Μ 3 0 0 W之R f電力 Μ等離子體處理容器內面。之後,使用氬做為輔助氣體, 導入Φ苯,環己烷,苯式Ρ -二甲苯,苯或Ρ -二甲苯於容器 内做為原料氣體,Κ圖5所示條件,在容器内面均勻地塗 覆 D L C。 [試驗結果] 膜厚,成膜速度,密度,密接性1,密接性2,耐鹼性之 各評估結果為如圖6所示。密度均為超過2 . 0 0 g / c m 3 ,膜 (系極為細緻。 方格子試驗之結果,可明白與聚乙烯對苯二酸酯樹脂之 密接性為良好,可充分耐實際使用。又,耐鹼性亦無間題 ,D L C之膜極為穩定,可了解完全地保護聚乙烯對二酸酯 樹脂。 關於氧透過度,二氧化碳透過度及各種香料成份之吸著 之程度的結果為如圖7所示。細緻之D L C膜不僅是可完全抑 制香料成份之吸著,且有效抑制二氣化碳之透過。 又,在圖8中顯示内面塗S D L C膜之塑膠容器軀幹部之紫 外可視光領域内之透過光譜。 從約5 0 0 n m前後到紫外部之範圍,透過率急遽減少,表 示D L C膜之塗膜可有效抑製内容物因受到紫外線之劣化。 圖9,Μ試驗1之條件塗覆在塑膠容器軀幹部之薄膜之拉 曼光譜。 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X297公釐)1 9修罗 ▼裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 493012 A7 B7 五、發明説明(17 ) [試驗 2 ] 除了使用容^ 700 ml之聚丙烯♦苯乙烯共聚合物樹脂製 容器(二菱孟山多化成公司製品:PAN樹脂,型號 L700)做為塑膠容器K外,其餘為如同試驗1之方法在容器 內面形成DLC膜。形成DLC膜之條件為如圖10所示。又,如 同試驗1之方法,就膜厚,密度,密接性1,密接性2,耐 鹼性,碳酸氣阻擋性,氧氣阻擋性,及低分子有機化合物 之吸著性分別實行試驗。 [試驗結果] 關於膜厚,密度,密接性1,密接性2,耐鹼性之試驗結 果為如圖11所示。關於膜厚及密度為如1¾式驗1,情形良好 。又,關於密接性1及密接性2為如因試驗1無任何問題, DLC與聚丙烯♦苯乙烯共聚合物樹脂之密接性為如同聚對 苯二甲酸乙二醇酯樹脂,實用上並無問題。 透過度,二氧化碳透過度各種香料成分之吸著之程 度之結果為如圖12所示。即,聚丙烯♦苯乙烯共聚合物樹 脂之氣體阻擋性本來就優良,再者,經塗覆DLC之後,明 白了氧及二氧化碳之透過量為到達極低之水準。各種香料 成份之吸著量,如同試驗1,在測出界限K下,在感官評 估中亦無問題。 [試驗 3 ] 除了使用容量700ml之環烯烴共聚合物樹脂製容器(三井 石油化學公司製品:C0C樹脂型號APL6015)做為塑膠容器 以外,其餘為如同試驗1之方法在容器内面形成DLC膜。形 -20 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
493012 87. Π· 1 6 五、發明説明(is 成 厚 膜 2 ο 性 示接 所 密 3 Ti , 圖丨 如 為 件 條 之 膜 度 密 性 接 就性 , 擋 法阻 方 氣 之 酸 1 碳 驗 試, 同 如 又 性 鹼 耐 試 行 實 wy S 分 性 著 吸 之 物 合 ]b 機 有 子 分 低 及 性 擋 阻 .氣 氧 驗 果 结 驗 試 结項 驗 驗 試試 之 個 性 一 鹼 耐何 , 任 2 性 2 接驗 密試 , 及 1i Ti 性 驗 接試 密同 , 如 度 。 密示 , 所 厚14 膜圓 於 如 關為 杲 著 吸 之 分 成 料 香 種 各 及 DL度 與過 器透 容碳 膠化 塑氧 是 二 其 , 尤 度 , 過 題透 問氧 無於 均II no 良 優 為 極 性 接 密 之 烯較 鐽比 為 量 脂著 樹 吸 物 份 合 成 聚料 共香 烴及 烯度 環 過 。 透 示碳 所化 15氧 圖二 如 , 為此DL 果 因 覆 结,塗 之 脂經 度 樹但 程 系 , 之烴大 準 水 之 低 當 相 HU 至 Ηϋ $ 抑 可 了 白 明 後 之 明 說 之器 號容 編 件 元 [ο 2 極 電 7\J- 葡 外
立口 P --------_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 經濟部中央標準局兵工消贽合作社印來
Ti 6 5 4 ri ii 1i ii i _ -1 件 置 搆 裝 緣 氣 ¥ ® ί源 板電管電孔 緣部氣頻出 0 内排高噴溝 立η 溝 本紙張尺度適川中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 一 21 修正頁

Claims (1)

  1. 493012
    申請專利範圍 87·11· 1 修正 修^正B本曰 具 為 徵 特 其 置 裝 造 製 之 器 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 種1 有 備 著 持 、U4J 維 面 壁 外 之 器 容 述 前 與 有 設 成 形 而 器 容 容 收 為 及 極 電 部 外 狀 空 中 的 間 空 之 狀 形 之 隔 間 下M 擋 部 P 之 器 容 該 , 及 時 , 内件 間構 空緣 之絕 極之 電 極 部 電. Lr RH 夕 剖 該外 於緣 容絕 收 , 器時 容同 當 之 接 之 内 間 空 之 極 電 β, 立口 外 於 容 收 入 :3 插 部及 Ρ , 之 極 器 電 容部 從内 而的 地側 接内 被器 容 置 裝 氣 hF 之 體 氣 内 間 空 出 kF 0 而 内 間 空 之 極 電 部 外 於 通 連及 之 體 氣 料 原 給 供 側 内 器 容 的 内 間 空 之 極 電 部 外及 於 , 容置 收裝 對給 供 造 製 之 器 容 膠 塑 膜 塗 所 。膜 者 g 碳 源之 電項 頻lr. 高 第 之 圍 極 範 電利 部專 , 外請中 於 申其 接如 , 連 2 置 裝 持 維 面 壁 内 之 器 容 述 前 與 為 成 形 係 肜 外 之 極 電 部 内 述οιη 前14 著 狀 形 之 隔 間 下Μ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 造 製 之 器· 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 之 項 1Χ 第 圍 範 利 專., 請中 申 其 如 , 3 置 裝 装 容 給收 供於 述出 前噴 從孔 ’ 出 孔噴 出,之 噴 極 之 電 體部 。 氣内者 料從内 原係器 有 , 容 成 體之 形氣内 極料間 電 原空 部 之 極 内 給 電 述供部 前所 ^ 置在 塑 膜 塗 所 膜 碳 之 項 3 第 圍 範 利 專 ’ 甲 中 如其 4 I 置 装 造 製 之 器 容
    本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 493012 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 者 個 數 複 或 個1 有 成 形 可 為 孔 出 第 噴圍 之 範 極利 電專 , 部請中 内申其 述如 , 前 5 置 装 造 製 之 器 容 塑 膜 塗 所 膜 碳 之 項 之 容 者 器 與 通 容 面 連 内 壁 而 間內部 空 之 溝 極極由 電 電 為 βΓ r) u 立口 立口 立口 fKl f-K·-— 一—μί 夕夕内 於 在 之 容成器 收形容 , , 和 部時 , 溝件間 成構空 形緣的 件絕間 構該之 緣於面 絕接壁 述擋外 前 部之 口 器 造 之 器 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 之 項 1 第 圍 範 利 專 , 請 中 申其 如 , 6.置 裝 為 徵 特 其 法 之 。 器 者容 子膠 瓶塑 用膜 料塗 飲所 為膜 器碳 容種 述 一 前 7 著 持 維 面 壁 ruu 夕 之 器 容 述 前 與 而 器 容 容 收 成 形 極 電 部 rt 夕 在 器 容 之 内 間 空 該 於 容 收M 間 空 之 狀 形 之 隔 間 下 以 入 部 插内 部該 口將 之 , 器 時 容 同 從的 極 内 電 之 部器 外容 緣之 絕内 件間 構空 緣於 絕容 之 收 接於 擋極 部電 口 部 的 内 外 電 在部 容外 收對 對 , , 後 體 之 氣,體 之氣 內料 間原 空給 極供 電 側 §Γ内 外之 出器 排容 , 之 〇 地 內 者 接間頻 以 空 高 予極加 極電施 電 部 極 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 法 製 之 器 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 之 項 7 第 圍 範 利 專 請 串 如 中 其 造 製 之 器 容 膠 塑 膜 塗 所 膜 碳 ο _ 之 者 I、 項 子7Γ 瓶第 用圍 料範 歆利 為專 器請 容 申 述如 前 9 器 容 述 前 與 為 成 形 面 内 之 極 電 部 外 述 前 將著 , 係持面 中 維 内 其 面之 , 壁極 法 外電 方 之部 外 述 前 將 且 並 狀 形 之 隔 間 下Μ 著 持 維 面 壁 内 之 器 容 述 前 與 為 成 形 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 一 2 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 493012 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 Μ下間隔之形狀。 1 0 .如申請專利範圍第7項之碳膜所塗膜塑膠容器之製法 ,其中, 在前逑絕緣構件上形成溝部,藉該溝部而將容器之内部 空間Μ及容器之外壁面與外部電極之內壁面之間的外部空 間亦同時排氣者。 11.如申請專利範圍第10項之碳膜所塗膜塑膠容器之製 法,其中, 在前逑容器之外壁面與外部電極之内壁面之間的外部空 間剛排氣之後,對收容於外部電極之空間内的容器內側供 給原料氣體者。 1 2 .如申請專利範圍第7項之碳膜所塗膜塑膠容器之製法 ,其中, 對塑膠容器塗膜碳膜之前,用無機氣體實行等離子處理 百 。 13.如申請專利範圍第7項之碳膜所塗膜塑膠容器之製法 ,其中, 外部電極之空間内之排氣的真空度為1 0 — 2〜1 0 — 5 ‘ t 〇 r r 者 0 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0853116A (ja) * 1994-08-11 1996-02-27 Kirin Brewery Co Ltd 炭素膜コーティングプラスチック容器
US5965217A (en) * 1996-10-08 1999-10-12 Citizen Watch Co., Ltd. Method of forming DLC films over inner surface of cylindrical member
KR100500656B1 (ko) * 1997-02-19 2005-07-11 기린 비루 가부시키가이샤 탄소막 코팅 플라스틱 용기의 제조 장치 및 제조 방법
AU776224B2 (en) * 1997-02-19 2004-09-02 Kirin Beer Kabushiki Kaisha Apparatus and method for manufacturing plastic container coated with carbon film
US5879763A (en) * 1997-09-03 1999-03-09 Citizen Watch Co., Ltd. Method of forming hard carbon film over inner surface of cylindrical member
BR9812701A (pt) * 1997-09-30 2000-08-22 Tetra Laval Holdings & Finance Método e aparelho para o tratamento da superfìcie interna de garrafas plásticas em um processo intensificado por plasma
JP3669138B2 (ja) 1998-03-05 2005-07-06 日新電機株式会社 プラズマcvd法、プラズマcvd装置及び電極
US6461731B1 (en) 1999-05-03 2002-10-08 Guardian Industries Corp. Solar management coating system including protective DLC
US6368664B1 (en) 1999-05-03 2002-04-09 Guardian Industries Corp. Method of ion beam milling substrate prior to depositing diamond like carbon layer thereon
US6447891B1 (en) 1999-05-03 2002-09-10 Guardian Industries Corp. Low-E coating system including protective DLC
US6280834B1 (en) 1999-05-03 2001-08-28 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate
US6475573B1 (en) 1999-05-03 2002-11-05 Guardian Industries Corp. Method of depositing DLC inclusive coating on substrate
US6277480B1 (en) 1999-05-03 2001-08-21 Guardian Industries Corporation Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method
US6335086B1 (en) 1999-05-03 2002-01-01 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating including DLC on substrate
US6312808B1 (en) 1999-05-03 2001-11-06 Guardian Industries Corporation Hydrophobic coating with DLC & FAS on substrate
US6261693B1 (en) * 1999-05-03 2001-07-17 Guardian Industries Corporation Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass
WO2000071780A1 (fr) * 1999-05-19 2000-11-30 Mitsubishi Shoji Plastics Corporation Film dlc, contenant en plastique recouvert de dlc, et procede et appareil de fabrication de contenant en plastique recouvert de dlc
US6475579B1 (en) * 1999-08-06 2002-11-05 Plastipak Packaging, Inc. Multi-layer plastic container having a carbon-treated internal surface and method for making the same
ID29467A (id) 1999-08-06 2001-08-30 Plastipak Packaging Inc Kontainer plastik yang memiliki permukaan internal yang diproses-karbon
FR2799994B1 (fr) * 1999-10-25 2002-06-07 Sidel Sa Dispositif pour le traitement d'un recipient a l'aide d'un plasma a basse pression comportant un circuit de vide perfectionne
DE19957744A1 (de) * 1999-12-01 2001-06-07 Tetra Laval Holdings & Finance Vorrichtung zum Abdichten des Stirnrandes eines Behälterhalses
US6528947B1 (en) 1999-12-06 2003-03-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Hollow cathode array for plasma generation
US20030087030A1 (en) * 1999-12-27 2003-05-08 Kenichi Hama Pet container for foods and drinks containing recycled resin and having dlc coating film formed on surface thereof
DE10004274A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Tetra Laval Holdings & Finance Vorrichtung zum Beschichten der inneren Oberfläche eines Hohlkörpers
JP4492985B2 (ja) 2000-02-24 2010-06-30 三菱商事プラスチック株式会社 液体医薬品用プラスチック容器及び液体医薬品の保存回収方法
JP2001240115A (ja) * 2000-02-24 2001-09-04 Mitsubishi Shoji Plast Kk 乾燥固体食品用プラスチック容器
JP2001322656A (ja) * 2000-05-15 2001-11-20 Hokkai Can Co Ltd 合成樹脂製キャップ
FR2812665B1 (fr) * 2000-08-01 2003-08-08 Sidel Sa Procede de depot de revetement par plasma, dispositif de mise en oeuvre du procede et revetement obtenu par un tel procede
JP3993971B2 (ja) * 2000-08-09 2007-10-17 北海製罐株式会社 ガスバリア被覆層を有するプラスチック製容器及びその製法
FR2814382B1 (fr) * 2000-09-28 2003-05-09 Cebal Procede de depot d'un revetement interne dans un recipient en matiere plastique
US6461699B1 (en) * 2000-10-06 2002-10-08 Plastipak Packaging, Inc. Plastic container having a carbon-treated internal surface for non-carbonated food products
DE10054653A1 (de) * 2000-11-03 2002-05-08 Ver Foerderung Inst Kunststoff Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Hohlkörper
AU2001222223A1 (en) * 2000-12-21 2002-07-01 Mitsubishi Shoji Plastics Corporation Apparatus for manufacturing dlc-film-coated plastic container, method of manufacturing the same, and method for cleaning inner electrode
CN1235771C (zh) 2000-12-25 2006-01-11 三菱商事塑料株式会社 用于制造类金刚石薄膜涂敷的塑料容器的设备及其制造方法
JP4678959B2 (ja) * 2001-02-05 2011-04-27 サムコ株式会社 プラスチック容器の壁面への成膜方法、成膜装置及びプラスチック容器
CN1228213C (zh) 2001-04-19 2005-11-23 日精Asb机械株式会社 气障性合成树脂制容器及其制造装置以及装入物品的气障性合成树脂制容器
JP4659279B2 (ja) * 2001-06-19 2011-03-30 北海製罐株式会社 プラスチック製ボトルの内面被膜検査方法
US20040146666A1 (en) * 2001-06-20 2004-07-29 Kenichi Hama Moisture and gas barrier plastic container with partition plates, and device for method manufacturing the plastic container
WO2003000559A1 (fr) * 2001-06-26 2003-01-03 Mitsubishi Shoji Plastics Corporation Dispositif de fabrication d'un recipient en plastique revetu d'un film de carbone sous forme de diamant amorphe, recipient ainsi obtenu et procede de fabrication dudit recipient
JP3653035B2 (ja) * 2001-07-31 2005-05-25 三菱重工業株式会社 プラスチック容器内面への炭素膜形成装置および内面炭素膜被覆プラスチック容器の製造方法
DE10138697B4 (de) * 2001-08-07 2005-02-24 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und Spritzblasen eines dreidimensionalen Körpers
DE10138696A1 (de) 2001-08-07 2003-03-06 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Beschichten und Formen eines dreidimensionalen Körpers
DE10139305A1 (de) 2001-08-07 2003-03-06 Schott Glas Verbundmaterial aus einem Substratmaterial und einem Barriereschichtmaterial
DE10204363A1 (de) * 2002-02-02 2003-08-14 Schott Glas Interferenzbeschichtung zur Verbesserung des Energiehaushaltes von HID-Lampen
WO2003086878A1 (fr) * 2002-04-15 2003-10-23 Mitsubishi Shoji Plastics Corporation Systeme et procede de formation d'un film dlc sur une surface interieure d'un contenant en plastique
WO2003100116A1 (de) * 2002-05-24 2003-12-04 Sig Technology Ltd. Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von werkstücken
CN100337881C (zh) 2002-05-28 2007-09-19 麒麟麦酒株式会社 包覆有dlc薄膜的塑料容器及其制造设备和制造方法
JP4132982B2 (ja) * 2002-05-28 2008-08-13 麒麟麦酒株式会社 Dlc膜コーティングプラスチック容器の製造装置
EP1510595A4 (en) 2002-06-05 2007-05-09 Mitsubishi Shoji Plastics Corp METHOD AND DEVICE FOR CLEANING A GAS INSERTION TUBE OF RAW MATERIALS USED IN A VAPOR PHASE CHEMICAL DEPOSITION FILM FORMING APPARATUS
JP4149748B2 (ja) 2002-06-24 2008-09-17 三菱商事プラスチック株式会社 ロータリー型量産用cvd成膜装置及びプラスチック容器内表面へのcvd膜成膜方法
DE10242086A1 (de) * 2002-09-11 2004-04-15 Sig Technology Ltd. Behälter zur Verpackung von Produkten, Vorrichtung zur Verarbeitung von Kunstoff sowie Verfahren zur Behälterherstellung
CN100445423C (zh) 2002-09-30 2008-12-24 凸版印刷株式会社 薄膜成膜方法、薄膜成膜装置和薄膜成膜过程的监视方法
US7513953B1 (en) * 2003-11-25 2009-04-07 Nano Scale Surface Systems, Inc. Continuous system for depositing films onto plastic bottles and method
FR2872718B1 (fr) * 2004-07-08 2006-10-20 Sidel Sa Sa Procede de traitement d'un recipient comportant des phases de pompage a vide et machine pour sa mise en oeuvre
JP4171452B2 (ja) 2004-10-18 2008-10-22 三菱重工食品包装機械株式会社 バリア膜形成用内部電極及び成膜装置
US20060198973A1 (en) * 2005-03-03 2006-09-07 Jester Randy D Packaging with cycloolefin food/beverage contact layer
AU2006250336B2 (en) 2005-05-27 2011-07-21 Kirin Beer Kabushiki Kaisha Apparatus for manufacturing gas barrier plastic container, method for manufacturing the container, and the container
DE102005040266A1 (de) * 2005-08-24 2007-03-01 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur innenseitigen Plasmabehandlung von Hohlkörpern
US20090142525A1 (en) * 2005-09-09 2009-06-04 Sidel Participations Barrier layer
JP5355860B2 (ja) * 2007-03-16 2013-11-27 三菱重工食品包装機械株式会社 バリア膜形成装置、バリア膜形成方法及びバリア膜被覆容器
DE102007041573A1 (de) 2007-09-01 2009-03-05 Khs Corpoplast Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Sterilisieren sowie Vorrichtung zur Blasformung von Behältern
DE102008037159A1 (de) * 2008-08-08 2010-02-11 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von Hohlkörpern
EP2398933B1 (en) * 2009-02-18 2013-08-07 Council of Scientific & Industrial Research Process to deposit diamond like carbon as protective coating on inner surface of a shaped object
JP4873037B2 (ja) * 2009-03-31 2012-02-08 東洋製罐株式会社 非耐圧性プラスチック容器
JP4372833B1 (ja) 2009-04-13 2009-11-25 麒麟麦酒株式会社 ガスバリア性薄膜コーティングプラスチック容器の製造方法
US20110001103A1 (en) * 2009-07-01 2011-01-06 Chi-Kuang Chen Elevating mechanism for measuring concentrations of medicines
DE102012201955A1 (de) * 2012-02-09 2013-08-14 Krones Ag Powerlanze und plasmaunterstützte Beschichtung mit Hochfrequenzeinkopplung
DE102012201956A1 (de) * 2012-02-09 2013-08-14 Krones Ag Hohlkathoden-Gaslanze für die Innenbeschichtung von Behältern
JP6047308B2 (ja) 2012-05-28 2016-12-21 日精エー・エス・ビー機械株式会社 樹脂容器用コーティング装置
JP6093552B2 (ja) 2012-11-08 2017-03-08 日精エー・エス・ビー機械株式会社 樹脂容器用コーティング装置
CN103014652B (zh) * 2012-12-07 2016-01-20 中国电子科技集团公司第十一研究所 单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置
ITFI20130001A1 (it) * 2013-01-02 2014-07-03 Enomatic S R L Dispositivo erogatore di bevande gassate.
CN104368482B (zh) * 2014-11-11 2016-06-29 深圳格普斯电热技术有限公司 电热膜的内壁喷涂装置及其喷涂方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60228250A (ja) * 1984-04-24 1985-11-13 テルモ株式会社 合成樹脂製容器の製造方法
FR2592874B1 (fr) * 1986-01-14 1990-08-03 Centre Nat Rech Scient Procede pour tremper un objet en verre ou vitreux et objet ainsi trempe
KR930001013B1 (ko) * 1987-08-10 1993-02-12 가부시끼가이샤 한도다이 에네르기 겐뀨소 할로겐을 함유하는 카본 재료 및 그의 침착방법
JPH01100277A (ja) * 1987-10-12 1989-04-18 Idemitsu Petrochem Co Ltd 硬質炭素膜付着湾曲板、硬質炭素膜付着湾曲板の製造方法および硬質炭素膜付着湾曲板の製造装置
JPH0270059A (ja) * 1987-12-02 1990-03-08 Idemitsu Petrochem Co Ltd 器具およびその製造方法
JPH0627342B2 (ja) * 1988-02-05 1994-04-13 株式会社半導体エネルギー研究所 炭素膜形成方法
JPH01239919A (ja) * 1988-03-22 1989-09-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置
US4846101A (en) * 1988-07-01 1989-07-11 Becton, Dickinson And Company Apparatus for plasma treatment of small diameter tubes
US4859489A (en) * 1988-07-18 1989-08-22 Vapor Technologies Inc. Method of coating a metal gas-pressure bottle or tank
US5041201A (en) * 1988-09-16 1991-08-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Plasma processing method and apparatus
US5185179A (en) * 1988-10-11 1993-02-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Plasma processing method and products thereof
JPH02138469A (ja) * 1988-11-16 1990-05-28 Hitachi Ltd ダイアモンド表面を有する真空用材料、この真空用材料の表面処理法、ダイアモンド膜表面の作製法、真空用材料を用いた真空容器とその部品,真空内駆動機構,電子放出源,真空内ヒータおよび蒸着源容器
JPH03130363A (ja) * 1989-10-16 1991-06-04 Nikon Corp ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品
US5112025A (en) * 1990-02-22 1992-05-12 Tdk Corporation Molds having wear resistant release coatings
US5169452A (en) * 1990-05-14 1992-12-08 Tdk Corporation Apparatus for the synthesis of diamond-like thin films
US5190807A (en) * 1990-10-18 1993-03-02 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant polymeric substrate product
JPH04304373A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Shimadzu Corp 硬質カーボン膜形成方法
MX9303141A (es) * 1992-05-28 1994-04-29 Polar Materials Inc Metodos y aparatos para depositar recubrimientos de barrera.
US5308649A (en) * 1992-06-26 1994-05-03 Polar Materials, Inc. Methods for externally treating a container with application of internal bias gas
US5470661A (en) * 1993-01-07 1995-11-28 International Business Machines Corporation Diamond-like carbon films from a hydrocarbon helium plasma
US5565248A (en) * 1994-02-09 1996-10-15 The Coca-Cola Company Method and apparatus for coating hollow containers through plasma-assisted deposition of an inorganic substance

Also Published As

Publication number Publication date
MY113185A (en) 2001-12-31
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ATE226166T1 (de) 2002-11-15
EP0773167A4 (en) 1999-08-18
CA2196894A1 (en) 1996-02-22

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