JPH03130363A - ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品 - Google Patents
ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品Info
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- JPH03130363A JPH03130363A JP1266120A JP26612089A JPH03130363A JP H03130363 A JPH03130363 A JP H03130363A JP 1266120 A JP1266120 A JP 1266120A JP 26612089 A JP26612089 A JP 26612089A JP H03130363 A JPH03130363 A JP H03130363A
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Landscapes
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えば機械物品、光学物品に使用されるプラ
スチック物品表面に所謂ダイヤモンド状炭素と呼ばれる
非結晶炭素膜を有したダイヤモンド状炭素膜被覆プラス
チック物品に関するものである。
スチック物品表面に所謂ダイヤモンド状炭素と呼ばれる
非結晶炭素膜を有したダイヤモンド状炭素膜被覆プラス
チック物品に関するものである。
［従来の技術］
近年、光学機器は、その軽量性および易加工性からプラ
スチック物品が数多く使われるようになってきている。
スチック物品が数多く使われるようになってきている。
しかし、プラスチック物品は耐摩耗性・耐擦傷性・耐溶
剤性等が従来の金属物品、ガラス物品と比較して著しく
劣る事から、その表面を何らかの保護膜で被覆する事が
強く要求されていた。
剤性等が従来の金属物品、ガラス物品と比較して著しく
劣る事から、その表面を何らかの保護膜で被覆する事が
強く要求されていた。
一方、ダイヤモンド状炭素膜は、その優れた耐摩耗性・
耐擦傷性・化学安定性・光透過性から機械物品・光学物
品への応用が検討されている。
耐擦傷性・化学安定性・光透過性から機械物品・光学物
品への応用が検討されている。
このダイヤモンド状炭素膜とは、硬質炭素、水素化非晶
質炭素、ｉ−カーボンなどと呼ばれる硬くて光透過性の
炭素膜の総称であり、非結晶状態の炭素化合物であり、
ビッカース硬度で２０００〜５０００程度の高硬度の炭
素膜である。
質炭素、ｉ−カーボンなどと呼ばれる硬くて光透過性の
炭素膜の総称であり、非結晶状態の炭素化合物であり、
ビッカース硬度で２０００〜５０００程度の高硬度の炭
素膜である。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このダイヤモンド状炭素膜をプラスチッ
ク製機械物品、プラスチック製光学物品へ通用すると、
プラスチックとダイヤモンド状炭素膜との密着性が悪く
、すぐ剥離してしまい実際にプラスチック物品として実
用に供するものができなかった。
ク製機械物品、プラスチック製光学物品へ通用すると、
プラスチックとダイヤモンド状炭素膜との密着性が悪く
、すぐ剥離してしまい実際にプラスチック物品として実
用に供するものができなかった。
本発明は、プラスチック物品表面に、剥離し難い特性を
有したダイヤモンド状炭素膜を設けて表面を高硬度とし
たプラスチック物品を得ることを目的とする。
有したダイヤモンド状炭素膜を設けて表面を高硬度とし
たプラスチック物品を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的のために本発明では、プラスチック物品の表面
に、窒素を含有したダイヤモンド状炭素膜を有すること
を課題解決の手段とするものである。
に、窒素を含有したダイヤモンド状炭素膜を有すること
を課題解決の手段とするものである。
［作用］
本発明においては、プラスチック物品表面に、窒素を含
有したダイヤモンド状炭素膜を有するものであるため、
プラスチック表面とダイヤモンド状炭素膜との密着性の
良好なプラスチック物品を形成することができた。
有したダイヤモンド状炭素膜を有するものであるため、
プラスチック表面とダイヤモンド状炭素膜との密着性の
良好なプラスチック物品を形成することができた。
ダイヤモンド状炭素膜は、本実施例に開示したプラズマ
ＣＶＤ法の他に、イオンブレーティング法、イオンビー
ム法によっても作製することができる。
ＣＶＤ法の他に、イオンブレーティング法、イオンビー
ム法によっても作製することができる。
本実施例では製造原料とし・てアセトニトリル蒸気を用
いたが、他の有機窒素化合物たとえばトリメチルアくン
等のアミン類を用いても良い。
いたが、他の有機窒素化合物たとえばトリメチルアくン
等のアミン類を用いても良い。
また、反応ガスとして、メタンやアセチレンのような炭
化水素ガスと窒素ガスやアンモニアのような窒素含有ガ
スとの混合ガスを用いても良く、これらの原料ガスは各
々単独で用いても良い。
化水素ガスと窒素ガスやアンモニアのような窒素含有ガ
スとの混合ガスを用いても良く、これらの原料ガスは各
々単独で用いても良い。
また、２種以上の混合ガスとして用いる事も可能である
。更に、これらのガスをアルゴンやヘリウムのような希
ガスで希釈して用いても良い。
。更に、これらのガスをアルゴンやヘリウムのような希
ガスで希釈して用いても良い。
また、ダイヤモンド状炭素膜に窒素を含有することによ
り、被覆されるプラスチック基材との密着性が増すが、
被覆されるプラスチック基材として、特別に制限はない
。しかしながら、特にポリカーボネート・ボルイ主ド・
エポキシ系等の硬質で耐熱性を有したプラスチックとの
密着性が良好である。
り、被覆されるプラスチック基材との密着性が増すが、
被覆されるプラスチック基材として、特別に制限はない
。しかしながら、特にポリカーボネート・ボルイ主ド・
エポキシ系等の硬質で耐熱性を有したプラスチックとの
密着性が良好である。
また、被覆するダイヤモンド状炭素膜はプラスチック基
材全表面はもとより、耐摩耗性を得るため、部分的に被
覆しても良い。
材全表面はもとより、耐摩耗性を得るため、部分的に被
覆しても良い。
本実施例で開示したポリカーボネート製プラスチックに
設けられた窒素含有ダイヤモンド状炭素膜中の炭素と窒
素の原子数の比は、窒素原子数／炭素原子数＝ ０．０
５〜０．１５であったが、被覆される基材の材質等によ
り、良好な密着性を得る炭素と窒素の原子数の比は相違
する。
設けられた窒素含有ダイヤモンド状炭素膜中の炭素と窒
素の原子数の比は、窒素原子数／炭素原子数＝ ０．０
５〜０．１５であったが、被覆される基材の材質等によ
り、良好な密着性を得る炭素と窒素の原子数の比は相違
する。
［実施例］
１、試料作製
ポリカーボネート製プラスチックを基板としてプラズマ
ＣＶＤ法によって、窒素含有ダイヤモンド状炭素膜で被
覆されたダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチック物品を
作製した。
ＣＶＤ法によって、窒素含有ダイヤモンド状炭素膜で被
覆されたダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチック物品を
作製した。
第１図は本発明を作製する装置の一つであるプラズマＣ
ＶＤ装置の概略図を示す。
ＶＤ装置の概略図を示す。
図において、真空容器１は排気口２を通して真空ポンプ
により真空に排気されている。真空容器ｌには、絶縁体
５を介して基板ホルダー４が取り付けられている。ガス
流量制御器につながっているガス導入配管８から真空容
器ｌ内に原料ガスを供給し、基板ホルダー４に整合器６
を通して高周波電源７から電力を投入し、プラズマを発
生させる。被覆すべき基板３は基板ホルダー４の上にお
かれる。
により真空に排気されている。真空容器ｌには、絶縁体
５を介して基板ホルダー４が取り付けられている。ガス
流量制御器につながっているガス導入配管８から真空容
器ｌ内に原料ガスを供給し、基板ホルダー４に整合器６
を通して高周波電源７から電力を投入し、プラズマを発
生させる。被覆すべき基板３は基板ホルダー４の上にお
かれる。
本実施例に用いた窒素含有ダイヤモンド状炭素膜の製造
条件を次の第１表に示す。
条件を次の第１表に示す。
第１表
得られたダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチック物品を
ＥＳＣＡの一種であるＸ線光電子分光分析（Ｘ−ｒａｙ
ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏ
ｐｙ）により膜中の炭素と窒素の比を測定した。
ＥＳＣＡの一種であるＸ線光電子分光分析（Ｘ−ｒａｙ
ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏ
ｐｙ）により膜中の炭素と窒素の比を測定した。
上記の条件では、膜厚的１μｍて、窒素原子数／炭素原
子数＝ ０．０５〜０．１５の被膜のものが得られた。
子数＝ ０．０５〜０．１５の被膜のものが得られた。
また、比較例として、窒素を含有しないダイヤモンド状
炭素膜で被覆した試料（比較例１）と、ポリカーボネー
ト基板のみの試料（比較例２）を用意した。比較例１の
ダイヤモンド状炭素膜の製造条件を次の第２表に示す。
炭素膜で被覆した試料（比較例１）と、ポリカーボネー
ト基板のみの試料（比較例２）を用意した。比較例１の
ダイヤモンド状炭素膜の製造条件を次の第２表に示す。
第２表
２、耐摩耗性試験
測定個所に一定の荷重をかけながら使い捨てのテープを
接触させるＲＣＡ摩耗試験機を用いて耐摩耗性試験を行
った。試験用テープとして磁気テープ（日立マクセル製
、ＵＤ−３５）を荷重５゜Ｏｇで試料の上を走行させ、
試料上に形成された摩耗痕を観察した。
接触させるＲＣＡ摩耗試験機を用いて耐摩耗性試験を行
った。試験用テープとして磁気テープ（日立マクセル製
、ＵＤ−３５）を荷重５゜Ｏｇで試料の上を走行させ、
試料上に形成された摩耗痕を観察した。
ダイヤモンド状炭素で被覆した実施例及び比較例１では
ほとんど摩耗痕が観察されなかったが、比較例２では摩
耗深さ１０μｍ以上の摩耗痕が観察された。
ほとんど摩耗痕が観察されなかったが、比較例２では摩
耗深さ１０μｍ以上の摩耗痕が観察された。
３、耐溶剤性試験
溶剤試験１
実施例と比較例１の試料を生理食塩水中で超音波洗浄し
膜面を観察した。実施例では何も変化がみられなかった
が、比較例１では約２分で膜が剥離した。
膜面を観察した。実施例では何も変化がみられなかった
が、比較例１では約２分で膜が剥離した。
溶剤試験２
実施例と比較例２の試料をメタノール中で超音波洗浄し
膜面を観察した。実施例では何も変化が見られなかった
が、比較例１ではメタノールに触れただけで膜が剥離し
た。
膜面を観察した。実施例では何も変化が見られなかった
が、比較例１ではメタノールに触れただけで膜が剥離し
た。
次の第３表に各試験の結果をまとめて示す。
（以下、余白）
第３表
以上の通り、窒素含有ダイヤモンド状炭素膜は、窒素を
含まないダイヤモンド状炭素膜に比べて剥離し難く、耐
摩耗性および耐溶剤性に優れたものであることが示され
た。
含まないダイヤモンド状炭素膜に比べて剥離し難く、耐
摩耗性および耐溶剤性に優れたものであることが示され
た。
［発明の効果］
本発明は以上説明したとおり、プラスチック物品表面に
、窒素を含有したダイヤモンド状炭素膜を有するため、
プラスチック表面への密着性が高く、しかも耐摩耗性お
よび耐溶剤性に優れたプラスチック機械物品を得ること
ができる。
、窒素を含有したダイヤモンド状炭素膜を有するため、
プラスチック表面への密着性が高く、しかも耐摩耗性お
よび耐溶剤性に優れたプラスチック機械物品を得ること
ができる。
また、ダイヤモンド状炭素のもつ光透過性を利用すれば
、耐擦傷性にすぐれ化学的に安定なプラスチック光学物
品を製造する事ができる。更に、化学的に安定であるこ
とから、とくにコンタクトレンズ・眼内レンズのように
人体に常に接する環境で使われる光学物品としても有用
であるという効果がある。
、耐擦傷性にすぐれ化学的に安定なプラスチック光学物
品を製造する事ができる。更に、化学的に安定であるこ
とから、とくにコンタクトレンズ・眼内レンズのように
人体に常に接する環境で使われる光学物品としても有用
であるという効果がある。
第１図はプラズマＣＶＤ装置の概略図である。
図において、１は真空容器、２は排気口、３は基板、４
は基板ホルダー ５は絶縁体、６は整合器、７は高周波
電源、８はガス導入配管である。
は基板ホルダー ５は絶縁体、６は整合器、７は高周波
電源、８はガス導入配管である。
Claims (1)
- プラスチック物品表面に、窒素を含有したダイヤモン
ド状炭素膜を有することを特徴とするダイヤモンド状炭
素膜被覆プラスチック物品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266120A JPH03130363A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266120A JPH03130363A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130363A true JPH03130363A (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=17426601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1266120A Pending JPH03130363A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | ダイヤモンド状炭素膜被覆プラスチツック物品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130363A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5319479A (en) * | 1990-09-04 | 1994-06-07 | Ricoh Company, Ltd. | Deposited multi-layer device with a plastic substrate having an inorganic thin film layer |
| DE4342649C1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-02-16 | Munsch Kunststoff Schweistechn | Magnetkreiselpumpe für aggressive Medien |
| GB2287473A (en) * | 1994-03-15 | 1995-09-20 | Dr Joseph Franks | Diamond coated polymer devices for biomedical applications |
| WO1996005112A1 (fr) * | 1994-08-11 | 1996-02-22 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Recipients de plastique a revetement mince de carbone, leur appareil de fabrication et procede associe |
| WO1996005111A1 (fr) * | 1994-08-11 | 1996-02-22 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Recipient plastique revetu d'un film de carbone |
| FR2738832A1 (fr) * | 1995-09-18 | 1997-03-21 | Suisse Electronique Microtech | Procede d'obtention d'une couche de diamant sur un support en matiere plastique et produit ainsi obtenu |
| US5691010A (en) * | 1993-10-19 | 1997-11-25 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Arc discharge plasma CVD method for forming diamond-like carbon films |
| US5695832A (en) * | 1993-07-07 | 1997-12-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method of forming a hard-carbon-film-coated substrate |
| EP0821077A3 (en) * | 1996-06-27 | 2000-09-06 | Nissin Electric Co., Ltd. | Object coated with carbon film and method of manufacturing the same |
| JP2003089065A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
| US6838174B2 (en) * | 2000-10-12 | 2005-01-04 | Nissan Electric Co., Ltd. | Object being in contact with human skin when used |
| US6893720B1 (en) | 1997-06-27 | 2005-05-17 | Nissin Electric Co., Ltd. | Object coated with carbon film and method of manufacturing the same |
| KR101024576B1 (ko) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | 김연 | 양궁용 핸들 제조방법 |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP1266120A patent/JPH03130363A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5319479A (en) * | 1990-09-04 | 1994-06-07 | Ricoh Company, Ltd. | Deposited multi-layer device with a plastic substrate having an inorganic thin film layer |
| US5695832A (en) * | 1993-07-07 | 1997-12-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method of forming a hard-carbon-film-coated substrate |
| US5691010A (en) * | 1993-10-19 | 1997-11-25 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Arc discharge plasma CVD method for forming diamond-like carbon films |
| DE4342649C1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-02-16 | Munsch Kunststoff Schweistechn | Magnetkreiselpumpe für aggressive Medien |
| GB2287473A (en) * | 1994-03-15 | 1995-09-20 | Dr Joseph Franks | Diamond coated polymer devices for biomedical applications |
| GB2287473B (en) * | 1994-03-15 | 1998-01-07 | Dr Joseph Franks | Coated polymer devices for biomedical applications |
| WO1996005111A1 (fr) * | 1994-08-11 | 1996-02-22 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Recipient plastique revetu d'un film de carbone |
| WO1996005112A1 (fr) * | 1994-08-11 | 1996-02-22 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Recipients de plastique a revetement mince de carbone, leur appareil de fabrication et procede associe |
| US6589619B1 (en) * | 1994-08-11 | 2003-07-08 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Recycling method |
| US6805931B2 (en) | 1994-08-11 | 2004-10-19 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Plastic container coated with carbon film |
| FR2738832A1 (fr) * | 1995-09-18 | 1997-03-21 | Suisse Electronique Microtech | Procede d'obtention d'une couche de diamant sur un support en matiere plastique et produit ainsi obtenu |
| EP0821077A3 (en) * | 1996-06-27 | 2000-09-06 | Nissin Electric Co., Ltd. | Object coated with carbon film and method of manufacturing the same |
| US6136386A (en) * | 1996-06-27 | 2000-10-24 | Nissin Electric Co., Ltd. | Method of coating polymer or glass objects with carbon films |
| US6893720B1 (en) | 1997-06-27 | 2005-05-17 | Nissin Electric Co., Ltd. | Object coated with carbon film and method of manufacturing the same |
| US6838174B2 (en) * | 2000-10-12 | 2005-01-04 | Nissan Electric Co., Ltd. | Object being in contact with human skin when used |
| JP2003089065A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削ホイール |
| KR101024576B1 (ko) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | 김연 | 양궁용 핸들 제조방법 |
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